JPH09127156A - 液晶表示体用プローブカード - Google Patents
液晶表示体用プローブカードInfo
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- JPH09127156A JPH09127156A JP7308395A JP30839595A JPH09127156A JP H09127156 A JPH09127156 A JP H09127156A JP 7308395 A JP7308395 A JP 7308395A JP 30839595 A JP30839595 A JP 30839595A JP H09127156 A JPH09127156 A JP H09127156A
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- Japan
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- printed wiring
- wiring board
- support
- liquid crystal
- probe card
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のＬＣＤ用プローブカードの場合には、
バンプ接触子を有するプリント配線基板の接触圧力を円
柱状の弾性体によって調整するため、弾性体の大きさ
（特に直径）や材質の選定が難しく、ひいてはプリント
配線基板の撓み量に調整が難しい。 【解決手段】 本ＬＣＤ用プローブカード１０は、ＬＣ
Ｄ基板１２の周縁部に配列された多数の電極１２Ａの一
部に対応する複数のバンプ接触端子１４と、これらのバ
ンプ接触端子１４に接続されたプリント配線１５を有す
るプリント配線基板１６と、このプリント配線基板１６
を支持する支持ブロック１７と、この支持ブロック１７
が複数取り付けられた取付台１９とを備え、各バンプ接
触端子１４を各電極１２Ａに電気的に接触させてＬＣＤ
基板１２の電気的検査を行うもので、上記プリント配線
基板１６と支持ブロック１７の間に板バネ２１を介装す
ると共に、板バネ２１の基部を支持ブロック１７の基部
に固定したことを特徴とする。
バンプ接触子を有するプリント配線基板の接触圧力を円
柱状の弾性体によって調整するため、弾性体の大きさ
（特に直径）や材質の選定が難しく、ひいてはプリント
配線基板の撓み量に調整が難しい。 【解決手段】 本ＬＣＤ用プローブカード１０は、ＬＣ
Ｄ基板１２の周縁部に配列された多数の電極１２Ａの一
部に対応する複数のバンプ接触端子１４と、これらのバ
ンプ接触端子１４に接続されたプリント配線１５を有す
るプリント配線基板１６と、このプリント配線基板１６
を支持する支持ブロック１７と、この支持ブロック１７
が複数取り付けられた取付台１９とを備え、各バンプ接
触端子１４を各電極１２Ａに電気的に接触させてＬＣＤ
基板１２の電気的検査を行うもので、上記プリント配線
基板１６と支持ブロック１７の間に板バネ２１を介装す
ると共に、板バネ２１の基部を支持ブロック１７の基部
に固定したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示体（以
下、「ＬＣＤ」と称す。）用プローブカード（以下、単
に「端子接触機構」と称す。）に関する。
下、「ＬＣＤ」と称す。）用プローブカード（以下、単
に「端子接触機構」と称す。）に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＬＣＤ用プローブカードは、例え
ば図５に示すように、検査装置の載置台１上に載置され
たＬＣＤ基板２の横方向側縁に形成されたドレイン電極
（図示せず）に対応して配列された複数の端子接触機構
３Ａと、ＬＣＤ基板２の横方向側縁に形成されたゲート
電極（図示せず）に対応して配列された複数の端子接触
機構３Ｂとを備え、端子接触機構３Ａ、３Ｂをドレイン
電極及びゲート電極に接触させてＬＣＤ基板２の電気的
検査を行うように構成されている。上記両端子接触機構
３Ａ、３Ｂは同様に構成されている。そこで、以下では
必要に応じて両者３Ａ、３Ｂを区別せず端子接触機構３
として説明する。
ば図５に示すように、検査装置の載置台１上に載置され
たＬＣＤ基板２の横方向側縁に形成されたドレイン電極
（図示せず）に対応して配列された複数の端子接触機構
３Ａと、ＬＣＤ基板２の横方向側縁に形成されたゲート
電極（図示せず）に対応して配列された複数の端子接触
機構３Ｂとを備え、端子接触機構３Ａ、３Ｂをドレイン
電極及びゲート電極に接触させてＬＣＤ基板２の電気的
検査を行うように構成されている。上記両端子接触機構
３Ａ、３Ｂは同様に構成されている。そこで、以下では
必要に応じて両者３Ａ、３Ｂを区別せず端子接触機構３
として説明する。
【０００３】上記端子接触機構３は、図６の（ａ）、
（ｂ）に示すように、ＬＣＤ基板２（図５参照）の周縁
部に配列された多数のドレイン電極またはゲート電極の
一部に対応する複数のバンプ接触端子４と、これらのバ
ンプ接触端子４にそれぞれ接続されたプリント配線５を
有するフィルム状の可撓性プリント配線基板（以下、
「プリント配線基板」と称す。）６と、このプリント配
線基板６を支持する支持ブロック７と、この支持ブロッ
ク７が上記各電極に沿って配列して取り付けられた取付
台（図示せず）とを備え、各バンプ接触端子４がドレイ
ン電極またはゲート電極に電気的に接触するようになっ
ている。また、上記プリント配線５は図示しないテスタ
側に接続され、バンプ接触子４とテスタ側とで電気信号
を導通する伝送路になっている。
（ｂ）に示すように、ＬＣＤ基板２（図５参照）の周縁
部に配列された多数のドレイン電極またはゲート電極の
一部に対応する複数のバンプ接触端子４と、これらのバ
ンプ接触端子４にそれぞれ接続されたプリント配線５を
有するフィルム状の可撓性プリント配線基板（以下、
「プリント配線基板」と称す。）６と、このプリント配
線基板６を支持する支持ブロック７と、この支持ブロッ
ク７が上記各電極に沿って配列して取り付けられた取付
台（図示せず）とを備え、各バンプ接触端子４がドレイ
ン電極またはゲート電極に電気的に接触するようになっ
ている。また、上記プリント配線５は図示しないテスタ
側に接続され、バンプ接触子４とテスタ側とで電気信号
を導通する伝送路になっている。
【０００４】また、上記プリント配線基板６の先端は、
図６の（ａ）、（ｂ）に示すように、支持ブロック７の
先端より僅かに突出して自由端になっている。また、こ
のプリント配線基板６は、支持ブロック７の基部に接着
剤等により固定されている。そして、プリント配線基板
６の先端近傍と支持ブロック７との間にはゴム等の円柱
状の弾性体８が介装され、オーバードライブしたバンプ
接触子４が電極に圧接する時にプリント配線基板６の自
由端（バンプ接触子４）に弾力を付与するようにしてあ
る。この弾性体８の上半分が同図の（ｂ）に示すように
支持ブロック７の下面に形成された円弧状の溝に埋め込
まれている。
図６の（ａ）、（ｂ）に示すように、支持ブロック７の
先端より僅かに突出して自由端になっている。また、こ
のプリント配線基板６は、支持ブロック７の基部に接着
剤等により固定されている。そして、プリント配線基板
６の先端近傍と支持ブロック７との間にはゴム等の円柱
状の弾性体８が介装され、オーバードライブしたバンプ
接触子４が電極に圧接する時にプリント配線基板６の自
由端（バンプ接触子４）に弾力を付与するようにしてあ
る。この弾性体８の上半分が同図の（ｂ）に示すように
支持ブロック７の下面に形成された円弧状の溝に埋め込
まれている。
【０００５】従って、ＬＣＤ基板２の電気的検査を行う
時に載置台１が上昇すると、ＬＣＤ基板２のドレイン電
極及びゲート電極が各端子接触機構３Ａ、３Ｂのバンプ
接触端子４に接触し、更に、載置台１が所定の寸法だけ
オーバードライブされると、各電極が弾性体８の弾性力
に抗してバンプ接触子４と所定の圧力で接触する。その
結果、バンプ接触子４の尖端が各電極と電気的に導通
し、所定の電気的検査を実行することができる。
時に載置台１が上昇すると、ＬＣＤ基板２のドレイン電
極及びゲート電極が各端子接触機構３Ａ、３Ｂのバンプ
接触端子４に接触し、更に、載置台１が所定の寸法だけ
オーバードライブされると、各電極が弾性体８の弾性力
に抗してバンプ接触子４と所定の圧力で接触する。その
結果、バンプ接触子４の尖端が各電極と電気的に導通
し、所定の電気的検査を実行することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＬＣＤ用プローブカードの場合には、載置台１がオーバ
ードライブされて所定の圧力を確保するために弾性体８
の大きさ（特に直径）や弾性係数等の材質を適宜選択し
てプリント配線基板６の接触圧力を得るようにしている
が、その接触圧力は弾性体８の大きさや弾性係数等の材
質に依存しているため、接触圧力の調整が難しいという
課題があった。また、プリント配線基板６に所定の接触
圧力を得るためには弾性体８の直径をある程度大きくす
る必要があるが、弾性体８の直径が大きくなるとそれだ
けその下面のバンプ接触子４の位置が見えなくなる。そ
のため、端子接触機構３を取付台８に取り付ける際に、
バンプ接触子４とＬＣＤ基板２の各電極との位置合わせ
が難しくなり、バンプ接触子４と電極とを試行錯誤で位
置合わせしなくてはならず、その位置合わせ作業に多大
な時間を要すると共に作業者に過度の負担を強いるとい
う課題があった。
ＬＣＤ用プローブカードの場合には、載置台１がオーバ
ードライブされて所定の圧力を確保するために弾性体８
の大きさ（特に直径）や弾性係数等の材質を適宜選択し
てプリント配線基板６の接触圧力を得るようにしている
が、その接触圧力は弾性体８の大きさや弾性係数等の材
質に依存しているため、接触圧力の調整が難しいという
課題があった。また、プリント配線基板６に所定の接触
圧力を得るためには弾性体８の直径をある程度大きくす
る必要があるが、弾性体８の直径が大きくなるとそれだ
けその下面のバンプ接触子４の位置が見えなくなる。そ
のため、端子接触機構３を取付台８に取り付ける際に、
バンプ接触子４とＬＣＤ基板２の各電極との位置合わせ
が難しくなり、バンプ接触子４と電極とを試行錯誤で位
置合わせしなくてはならず、その位置合わせ作業に多大
な時間を要すると共に作業者に過度の負担を強いるとい
う課題があった。
【０００７】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、プリント配線基板の接触圧力を簡単且つ容
易に調整することができる液晶表示体用プローブカード
を提供することを目的としている。また、本発明の他の
目的は、プリント配線基板のプリント配線パターンとＬ
ＣＤ基板の電極パターンを容易且つ短時間で位置合わせ
することができ、もって作業者の労力を軽減することが
できる液晶表示体用プローブカードを提供することにあ
る。
れたもので、プリント配線基板の接触圧力を簡単且つ容
易に調整することができる液晶表示体用プローブカード
を提供することを目的としている。また、本発明の他の
目的は、プリント配線基板のプリント配線パターンとＬ
ＣＤ基板の電極パターンを容易且つ短時間で位置合わせ
することができ、もって作業者の労力を軽減することが
できる液晶表示体用プローブカードを提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の液晶表示体用プローブカードは、液晶表示体基板の周
縁部に配列された多数の電極の一部に対応する複数のバ
ンプ接触端子と、これらのバンプ接触端子に接続された
プリント配線を有するプリント配線基板と、このプリン
ト配線基板を支持する支持体と、この支持体が複数取り
付けられた取付台とを備え、上記各バンプ接触端子と上
記各電極とを電気的に接触させて上記液晶表示体基板の
電気的検査を行う液晶表示体用プローブカードにおい
て、上記プリント配線基板と上記支持ブロックの間に板
バネを介装すると共に、上記板バネを上記支持体に固定
したことを特徴とするものである。
の液晶表示体用プローブカードは、液晶表示体基板の周
縁部に配列された多数の電極の一部に対応する複数のバ
ンプ接触端子と、これらのバンプ接触端子に接続された
プリント配線を有するプリント配線基板と、このプリン
ト配線基板を支持する支持体と、この支持体が複数取り
付けられた取付台とを備え、上記各バンプ接触端子と上
記各電極とを電気的に接触させて上記液晶表示体基板の
電気的検査を行う液晶表示体用プローブカードにおい
て、上記プリント配線基板と上記支持ブロックの間に板
バネを介装すると共に、上記板バネを上記支持体に固定
したことを特徴とするものである。
【０００９】また、本発明の請求項２に記載の液晶表示
体用プローブカードは、請求項１に記載の発明におい
て、上記板バネを押し下げて上記各バンプ接触端子の高
さを調整する高さ調整部材を上記取付台から上記支持体
に亘って設けたことを特徴とするものである。
体用プローブカードは、請求項１に記載の発明におい
て、上記板バネを押し下げて上記各バンプ接触端子の高
さを調整する高さ調整部材を上記取付台から上記支持体
に亘って設けたことを特徴とするものである。
【００１０】また、本発明の請求項３に記載の液晶表示
体用プローブカードは、請求項１または請求項２に記載
の発明において、上記プリント配線基板の先端を上記板
バネの自由端から突出させ、その突出端部に、上記プリ
ント配線と上記電極との一致度を観る開口部を設けたこ
とを特徴とするものである。
体用プローブカードは、請求項１または請求項２に記載
の発明において、上記プリント配線基板の先端を上記板
バネの自由端から突出させ、その突出端部に、上記プリ
ント配線と上記電極との一致度を観る開口部を設けたこ
とを特徴とするものである。
【００１１】また、本発明の請求項４に記載の液晶表示
体用プローブカードは、請求項１〜請求項３のいずれか
一つに記載の発明において、上記支持体の基部中心と上
記取付台の基部中心をピンにより連結すると共に、上記
ピンを中心にして上記支持体を水平方向でθ方向に正逆
回転させて上記バンプ接触子の位置を調整するθ方向調
整機構を上記取付台から上記支持体に亘って設けたこと
を特徴とするものである。
体用プローブカードは、請求項１〜請求項３のいずれか
一つに記載の発明において、上記支持体の基部中心と上
記取付台の基部中心をピンにより連結すると共に、上記
ピンを中心にして上記支持体を水平方向でθ方向に正逆
回転させて上記バンプ接触子の位置を調整するθ方向調
整機構を上記取付台から上記支持体に亘って設けたこと
を特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図４に示す実施形態
に基づいて本発明を説明する。本実施形態のプローブカ
ード１０は、図１〜図４に示すように、ＬＣＤ基板（図
示せず）の横方向に配列されたドレイン電極及び縦方向
に配列されたゲート電極（以下単に「電極」と称す。）
に対応して配列された複数個の端子接触機構１３を備え
ている。この端子接触機構１３は、ＬＣＤ基板１２の周
縁部に配列された多数の電極１２Ａ（図３の（ｂ）参
照）の一部に対応する複数のバンプ接触端子１４と、こ
れらのバンプ接触端子１４に接続されたプリント配線１
５（図３の（ｂ）参照）を有する細長形状の可撓性のプ
リント配線基板１６と、このプリント配線基板１６を支
持する矩形状の支持ブロック１７と、この支持ブロック
１７が複数配列してボルト１８によって取り付けられた
取付台１９とを備えている。そして、支持ブロック１
７、取付台１９及び板バネ２１はいずれもステンレス等
の金属によって形成されている。また、ボルト１８は支
持ブロック１７に形成されたネジ孔（図示せず）と螺合
し、取付台１９に形成された貫通孔には遊嵌するように
してある。
に基づいて本発明を説明する。本実施形態のプローブカ
ード１０は、図１〜図４に示すように、ＬＣＤ基板（図
示せず）の横方向に配列されたドレイン電極及び縦方向
に配列されたゲート電極（以下単に「電極」と称す。）
に対応して配列された複数個の端子接触機構１３を備え
ている。この端子接触機構１３は、ＬＣＤ基板１２の周
縁部に配列された多数の電極１２Ａ（図３の（ｂ）参
照）の一部に対応する複数のバンプ接触端子１４と、こ
れらのバンプ接触端子１４に接続されたプリント配線１
５（図３の（ｂ）参照）を有する細長形状の可撓性のプ
リント配線基板１６と、このプリント配線基板１６を支
持する矩形状の支持ブロック１７と、この支持ブロック
１７が複数配列してボルト１８によって取り付けられた
取付台１９とを備えている。そして、支持ブロック１
７、取付台１９及び板バネ２１はいずれもステンレス等
の金属によって形成されている。また、ボルト１８は支
持ブロック１７に形成されたネジ孔（図示せず）と螺合
し、取付台１９に形成された貫通孔には遊嵌するように
してある。
【００１３】また、支持ブロック１７と取付台１９は支
持ブロックの基端部中央でピン２０によって結合され、
端子接触機構１３を組み立て段階でバンプ接触子１４と
ＬＣＤ基板１２の電極１２Ａとを一致させる際に、支持
ブロック１７が後述のようにピン２０を中心に水平面内
でθ方向に正逆方向に回転できるようにしてある。
持ブロックの基端部中央でピン２０によって結合され、
端子接触機構１３を組み立て段階でバンプ接触子１４と
ＬＣＤ基板１２の電極１２Ａとを一致させる際に、支持
ブロック１７が後述のようにピン２０を中心に水平面内
でθ方向に正逆方向に回転できるようにしてある。
【００１４】また、図１に示すように、上記プリント配
線基板１６と支持ブロック１７の間に板バネ２１が介装
されている。そして、プリント配線基板１６は板バネ２
１の長手方向中程から基端部に至る部分へ接着剤（図示
せず）によって接着、固定されていると共に、板バネ２
１の先端部にはゴム等の弾性部材２２が０.３ｍｍ程度
の厚さでコーティングされている。この弾性部材２２は
バンプ接触子１４が電極に圧接した時に弾性変形し、取
付台１９に取り付けられた全ての端子接触機構１３のバ
ンプ接触子１４の高さ方向のバラツキ（５μｍ程度）を
吸収するようにしてある。また、板バネ２１は基部で支
持ブロック１７の基部にレーザビーム溶接や電子ビーム
溶接により溶着され、この溶着部２３で板バネ２１が支
持ブロック１７に固定されている。その結果、プリント
配線基板１６が支持ブロック１７の下面に固定され、支
持ブロック１７によって支持されている。
線基板１６と支持ブロック１７の間に板バネ２１が介装
されている。そして、プリント配線基板１６は板バネ２
１の長手方向中程から基端部に至る部分へ接着剤（図示
せず）によって接着、固定されていると共に、板バネ２
１の先端部にはゴム等の弾性部材２２が０.３ｍｍ程度
の厚さでコーティングされている。この弾性部材２２は
バンプ接触子１４が電極に圧接した時に弾性変形し、取
付台１９に取り付けられた全ての端子接触機構１３のバ
ンプ接触子１４の高さ方向のバラツキ（５μｍ程度）を
吸収するようにしてある。また、板バネ２１は基部で支
持ブロック１７の基部にレーザビーム溶接や電子ビーム
溶接により溶着され、この溶着部２３で板バネ２１が支
持ブロック１７に固定されている。その結果、プリント
配線基板１６が支持ブロック１７の下面に固定され、支
持ブロック１７によって支持されている。
【００１５】更に、図１、図２に示すように取付台１９
先端近傍の左右には一対の貫通孔１９Ａが形成され、ま
た、支持ブロック１７先端近傍の左右には取付台１９の
貫通孔１９Ａに対応したネジ孔１７Ａが形成されてい
る。そして、各ネジ孔１７Ａ及び貫通孔１９Ａには高さ
調整ネジ２４が装着されている。この高さ調整ネジ２４
は、図１に示すように、尖った下端が支持ブロック１７
のネジ孔１７Ａから下方へ突出し、板バネ２１に圧接し
て板バネ２１に弾力を付与するようにしてある。更に、
高さ調整ネジ２４の下端にはボール（図示せず）が埋め
込まれてボールペンのペン先のように構成され、高さ調
整ネジ２４で板バネ２１の弾力を調整する際に高さ調整
ネジ２４の下端が板バネ２１上で滑らかに滑り、塵埃を
発生しないようにしてある。
先端近傍の左右には一対の貫通孔１９Ａが形成され、ま
た、支持ブロック１７先端近傍の左右には取付台１９の
貫通孔１９Ａに対応したネジ孔１７Ａが形成されてい
る。そして、各ネジ孔１７Ａ及び貫通孔１９Ａには高さ
調整ネジ２４が装着されている。この高さ調整ネジ２４
は、図１に示すように、尖った下端が支持ブロック１７
のネジ孔１７Ａから下方へ突出し、板バネ２１に圧接し
て板バネ２１に弾力を付与するようにしてある。更に、
高さ調整ネジ２４の下端にはボール（図示せず）が埋め
込まれてボールペンのペン先のように構成され、高さ調
整ネジ２４で板バネ２１の弾力を調整する際に高さ調整
ネジ２４の下端が板バネ２１上で滑らかに滑り、塵埃を
発生しないようにしてある。
【００１６】上記プリント配線基板１６の先端は、図１
〜図３に示すように、板バネ２１の先端から僅かに（例
えば、０.５ｍｍ程度）突出している。そして、突出端
部１６Ａの左右には図２、図３に（ａ）に示すように矩
形状の開口部１６Ｂが形成され、この開口部１６Ｂから
図３の（ｂ）で拡大して示すようにプリント配線１５の
パターンと電極１２Ａのパターンとの一致度を顕微鏡で
観ることによりこれら両者１５、１２Ａの位置合わせを
行うようにしてある。
〜図３に示すように、板バネ２１の先端から僅かに（例
えば、０.５ｍｍ程度）突出している。そして、突出端
部１６Ａの左右には図２、図３に（ａ）に示すように矩
形状の開口部１６Ｂが形成され、この開口部１６Ｂから
図３の（ｂ）で拡大して示すようにプリント配線１５の
パターンと電極１２Ａのパターンとの一致度を顕微鏡で
観ることによりこれら両者１５、１２Ａの位置合わせを
行うようにしてある。
【００１７】また、図４に示すように上記支持ブロック
１７には高さ調整ネジ２４より先端寄りピン２０を中心
にして支持ブロック１７を取付台１９に対してθ方向で
正逆回転させてバンプ接触子１４の位置調整を行うθ方
向調整機構２５が取り付けられている。このθ方向調整
機構２５は、支持ブロック１７先端部の左右に形成され
た深い井戸状の孔１７Ｂ、１７Ｃと、これら両者１７
Ｂ、１７Ｃに対応して取付台１９に形成された上下方向
の貫通孔１９Ｂ及び逆井戸状の孔１９Ｃと、孔１７Ｂ及
び貫通孔１９Ｂに装着されたテーパネジ２５Ａと、孔１
７Ｃ及び孔１９Ｃに装着された円柱状の弾性部材２５Ｂ
とから構成されている。従って、プリント配線基板１６
及び板バネ２１を支持した支持ブロック１７を取付台１
９に取り付ける段階で、テーパネジ２５Ａの挿入深さを
調整することによりテーパ面を利用して支持ブロック１
７をピン２０を中心に左右に振って位置調整するように
してある。この時、弾性部材２５Ｂは、図４に示すよう
に、テーパネジ２５Ａを深く挿入すれば孔１９Ｃの孔１
７Ｃからの位置ズレに応じて弾性変形し、テーパネジ２
５Ａを浅くすれば弾性部材２５Ｂの弾性により位置ズレ
を軽減するようになっている。
１７には高さ調整ネジ２４より先端寄りピン２０を中心
にして支持ブロック１７を取付台１９に対してθ方向で
正逆回転させてバンプ接触子１４の位置調整を行うθ方
向調整機構２５が取り付けられている。このθ方向調整
機構２５は、支持ブロック１７先端部の左右に形成され
た深い井戸状の孔１７Ｂ、１７Ｃと、これら両者１７
Ｂ、１７Ｃに対応して取付台１９に形成された上下方向
の貫通孔１９Ｂ及び逆井戸状の孔１９Ｃと、孔１７Ｂ及
び貫通孔１９Ｂに装着されたテーパネジ２５Ａと、孔１
７Ｃ及び孔１９Ｃに装着された円柱状の弾性部材２５Ｂ
とから構成されている。従って、プリント配線基板１６
及び板バネ２１を支持した支持ブロック１７を取付台１
９に取り付ける段階で、テーパネジ２５Ａの挿入深さを
調整することによりテーパ面を利用して支持ブロック１
７をピン２０を中心に左右に振って位置調整するように
してある。この時、弾性部材２５Ｂは、図４に示すよう
に、テーパネジ２５Ａを深く挿入すれば孔１９Ｃの孔１
７Ｃからの位置ズレに応じて弾性変形し、テーパネジ２
５Ａを浅くすれば弾性部材２５Ｂの弾性により位置ズレ
を軽減するようになっている。
【００１８】次に動作について説明する。まず、板バネ
２１の先端部にゴム等の弾性部材２２を０.３ｍｍ程度
の厚さでコーティングした後、板バネ２１をレーザビー
ム溶接あるいは電子ビーム溶接により支持ブロック１７
に固定する。この板バネ２１基部の下面にバンプ接触子
１４を有するプリント配線基板１６を接着剤等を用いて
固定して図３に示す状態にする。その後、この支持ブロ
ック１７の孔にピン２０、弾性部材２６Ｂを装着し、ピ
ン２０及び弾性部材２６Ｂを取付台１９のそれぞれの孔
に合わせて支持ブロック１７を取付台１９に取り付け、
ボルト１８により両者１７、１９を仮止めする。同様に
して全ての支持ブロック１７を取付台１９に取り付けて
端子接触機構１３の仮組を終える。
２１の先端部にゴム等の弾性部材２２を０.３ｍｍ程度
の厚さでコーティングした後、板バネ２１をレーザビー
ム溶接あるいは電子ビーム溶接により支持ブロック１７
に固定する。この板バネ２１基部の下面にバンプ接触子
１４を有するプリント配線基板１６を接着剤等を用いて
固定して図３に示す状態にする。その後、この支持ブロ
ック１７の孔にピン２０、弾性部材２６Ｂを装着し、ピ
ン２０及び弾性部材２６Ｂを取付台１９のそれぞれの孔
に合わせて支持ブロック１７を取付台１９に取り付け、
ボルト１８により両者１７、１９を仮止めする。同様に
して全ての支持ブロック１７を取付台１９に取り付けて
端子接触機構１３の仮組を終える。
【００１９】次いで、全ての端子接触機構１３のバンプ
接触子１４がＬＣＤ基板１２の電極１２Ａに位置合わせ
する。それにはまず、高さ調整ネジ２４を支持ブロック
１７のネジ孔１７Ａに、テーパネジ２５Ａを取付台１９
のネジ孔１９Ｂにそれぞれ装着し、高さ調整ネジ２４を
用いて板バネ２１の弾力を所定の大きさに調整してバン
プ接触子１４の高さを略一定の高さに調整する。
接触子１４がＬＣＤ基板１２の電極１２Ａに位置合わせ
する。それにはまず、高さ調整ネジ２４を支持ブロック
１７のネジ孔１７Ａに、テーパネジ２５Ａを取付台１９
のネジ孔１９Ｂにそれぞれ装着し、高さ調整ネジ２４を
用いて板バネ２１の弾力を所定の大きさに調整してバン
プ接触子１４の高さを略一定の高さに調整する。
【００２０】その後、顕微鏡を覗きながらプリント配線
１５のパターンと電極１２Ａのパターンの位置合わせを
行う。この時、顕微鏡でプリント配線基板１６の開口部
１６Ｂから電極１２Ａのパターンを覗き、プリント配線
基板１６の先端部１６Ａのプリント配線１５のパターン
と開口部１６Ｂから見える電極１２Ａのパターンとを一
致具合を調べ、一致していなければ、顕微鏡を覗きなが
らθ方向調整機構２５のテーパネジ２５Ａを取付台１９
のネジ孔１９Ｂで出し入れして支持ブロック１７の先端
を左右に振り、両パターンを一致させる。一致した段階
でボルト１８を締め付け、支持ブロック１７を取付台１
９に固定する。
１５のパターンと電極１２Ａのパターンの位置合わせを
行う。この時、顕微鏡でプリント配線基板１６の開口部
１６Ｂから電極１２Ａのパターンを覗き、プリント配線
基板１６の先端部１６Ａのプリント配線１５のパターン
と開口部１６Ｂから見える電極１２Ａのパターンとを一
致具合を調べ、一致していなければ、顕微鏡を覗きなが
らθ方向調整機構２５のテーパネジ２５Ａを取付台１９
のネジ孔１９Ｂで出し入れして支持ブロック１７の先端
を左右に振り、両パターンを一致させる。一致した段階
でボルト１８を締め付け、支持ブロック１７を取付台１
９に固定する。
【００２１】以上説明したように本実施形態によれば、
プリント配線基板１６と支持ブロック１７の間に板バネ
２１を介装すると共に、板バネ２１の基部を支持ブロッ
ク１７の基部に固定したため、板バネ２１の接触圧力、
即ちプリント配線基板１６の接触圧力を簡単且つ容易に
調整することができる。
プリント配線基板１６と支持ブロック１７の間に板バネ
２１を介装すると共に、板バネ２１の基部を支持ブロッ
ク１７の基部に固定したため、板バネ２１の接触圧力、
即ちプリント配線基板１６の接触圧力を簡単且つ容易に
調整することができる。
【００２２】また、本実施形態によれば、板バネ２１を
押し下げて各バンプ接触端子１４の高さを調整する高さ
調整ネジ２４を支持ブロック１７及び取付台１９に設け
たため、高さ調整ネジ２４でバンプ接触子１４の高さを
調整するだけで板バネ２１の弾力を簡単且つ短時間で調
整することができ、もって作業者の労力を軽減すること
ができる。
押し下げて各バンプ接触端子１４の高さを調整する高さ
調整ネジ２４を支持ブロック１７及び取付台１９に設け
たため、高さ調整ネジ２４でバンプ接触子１４の高さを
調整するだけで板バネ２１の弾力を簡単且つ短時間で調
整することができ、もって作業者の労力を軽減すること
ができる。
【００２３】また、本実施形態によれば、プリント配線
基板１６の先端を板バネ２１の自由端から突出させ、そ
の突出端部１６Ａに、プリント配線１５と電極１２Ａと
の一致度を観る開口部１６Ｂを設けたため、プリント配
線１５のパターン（バンプ接触子１４）と電極１２Ａの
パターンとを容易に位置合わせでき、もって作業者の労
力を軽減することができる。
基板１６の先端を板バネ２１の自由端から突出させ、そ
の突出端部１６Ａに、プリント配線１５と電極１２Ａと
の一致度を観る開口部１６Ｂを設けたため、プリント配
線１５のパターン（バンプ接触子１４）と電極１２Ａの
パターンとを容易に位置合わせでき、もって作業者の労
力を軽減することができる。
【００２４】また、本実施形態によれば、支持ブロック
１７の基部中心と取付台１９の基部中心をピン２０によ
り連結すると共に、ピン２０を中心にして支持ブロック
１７をθ方向で正逆回転させて位置調整するθ方向調整
機構２５を支持ブロック１７及び取付台１９に設けたた
め、θ方向調整機構２５を操作するだけバンプ接触子１
４と電極１２Ａとを容易に位置合わせすることができ
る。
１７の基部中心と取付台１９の基部中心をピン２０によ
り連結すると共に、ピン２０を中心にして支持ブロック
１７をθ方向で正逆回転させて位置調整するθ方向調整
機構２５を支持ブロック１７及び取付台１９に設けたた
め、θ方向調整機構２５を操作するだけバンプ接触子１
４と電極１２Ａとを容易に位置合わせすることができ
る。
【００２５】尚、本発明は上記実施形態に何等制限され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限りそのよ
うな発明は本発明に包含される。
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限りそのよ
うな発明は本発明に包含される。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項１及
び請求項２に記載の発明によれば、プリント配線基板と
支持体の間に板バネを介装すると共に、板バネを支持体
に固定したため、プリント配線基板の接触圧力を簡単且
つ容易に調整することができる液晶表示体用プローブカ
ードを提供することができる。
び請求項２に記載の発明によれば、プリント配線基板と
支持体の間に板バネを介装すると共に、板バネを支持体
に固定したため、プリント配線基板の接触圧力を簡単且
つ容易に調整することができる液晶表示体用プローブカ
ードを提供することができる。
【００２７】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、請求項１または請求項２に記載の発明において、
プリント配線基板の先端を板バネの自由端から突出さ
せ、その突出端部に、プリント配線と電極との一致度を
観る開口部を設けたため、プリント配線基板のプリント
配線パターンとＬＣＤ基板の電極パターンを容易且つ短
時間で位置合わせすることができ、もって作業者の労力
を軽減することができるＬＣＤ用プローブカードを提供
することができる。
れば、請求項１または請求項２に記載の発明において、
プリント配線基板の先端を板バネの自由端から突出さ
せ、その突出端部に、プリント配線と電極との一致度を
観る開口部を設けたため、プリント配線基板のプリント
配線パターンとＬＣＤ基板の電極パターンを容易且つ短
時間で位置合わせすることができ、もって作業者の労力
を軽減することができるＬＣＤ用プローブカードを提供
することができる。
【００２８】また、本発明の請求項４に記載の発明によ
れば、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の発明
において、支持体の基部中心と取付台の基部中心をピン
により連結すると共に、ピンを中心にして支持体を水平
方向でθ方向に正逆回転させてバンプ接触子の位置を調
整するθ方向調整機構を支持体及び取付台に設けたた
め、θ方向調整機構２５を操作するだけバンプ接触子１
４と電極１２Ａとを容易に位置合わせすることができる
ＬＣＤ用プローブカードを提供することができる。
れば、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の発明
において、支持体の基部中心と取付台の基部中心をピン
により連結すると共に、ピンを中心にして支持体を水平
方向でθ方向に正逆回転させてバンプ接触子の位置を調
整するθ方向調整機構を支持体及び取付台に設けたた
め、θ方向調整機構２５を操作するだけバンプ接触子１
４と電極１２Ａとを容易に位置合わせすることができる
ＬＣＤ用プローブカードを提供することができる。
【図１】本発明のＬＣＤ用プローブカードの一実施形態
の端子接触機構を示す長手方向の断面図である。
の端子接触機構を示す長手方向の断面図である。
【図２】図１に示す端子接触子機構の上方からの平面図
である。
である。
【図３】（ａ）は図２に示す端子接触子機構を取付台か
ら取り外した状態を示す上方からの平面図、（ｂ）は
（ａ）の○で囲んだ部分を拡大して示す平面図である。
ら取り外した状態を示す上方からの平面図、（ｂ）は
（ａ）の○で囲んだ部分を拡大して示す平面図である。
【図４】図１に示す端子接触子機構の取付台の先端部分
の横方向の断面図である。
の横方向の断面図である。
【図５】従来のＬＣＤ用プローブカードを示す平面図で
ある。
ある。
【図６】（ａ）は図５に示す液晶表示体用プローブカー
ドの側面図、（ｂ）は（ａ）に示す端子接触機構の下方
からの平面図である。
ドの側面図、（ｂ）は（ａ）に示す端子接触機構の下方
からの平面図である。
１０ ＬＣＤ用プローブカード １２ ＬＣＤ １２Ａ ドレイン電極またはゲート電極 １３ 端子接触機構 １４ バンプ接触子 １５ プリント配線 １６ プリント配線基板 １６Ａ プリント配線基板の先端部 １６Ｂ 開口部 １７ 支持ブロック（支持体） １９ 取付台 ２０ ピン ２１ 板バネ ２４ 高さ調整ネジ（高さ調整部材） ２５ θ方向調整機構
Claims (4)
- 【請求項１】 液晶表示体基板の周縁部に配列された多
数の電極の一部に対応する複数のバンプ接触端子と、こ
れらのバンプ接触端子に接続されたプリント配線を有す
るプリント配線基板と、このプリント配線基板を支持す
る支持体と、この支持体が複数取り付けられた取付台と
を備え、上記各バンプ接触端子と上記各電極とを電気的
に接触させて上記液晶表示体基板の電気的検査を行う液
晶表示体用プローブカードにおいて、上記プリント配線
基板と上記支持体の間に板バネを介装すると共に、上記
板バネを上記支持体に固定したことを特徴とする液晶表
示体用プローブカード。 - 【請求項２】 上記板バネを押し下げて上記各バンプ接
触端子の高さを調整する高さ調整部材を上記取付台から
上記支持体に亘って設けたことを特徴とする請求項１に
記載の液晶表示体用プローブカード。 - 【請求項３】 上記プリント配線基板の先端を上記板バ
ネの自由端から突出させ、その突出端部に、上記プリン
ト配線と上記電極との一致度を観る開口部を設けたこと
を特徴とする請求項１または請求項２に記載の液晶表示
体基板用プローブカード。 - 【請求項４】 上記支持体の基部中心と上記取付台の基
部中心をピンにより連結すると共に、上記ピンを中心に
して上記支持体を水平方向でθ方向に正逆回転させて上
記バンプ接触子の位置を調整するθ方向調整機構を上記
取付台から上記支持体に亘って設けたことを特徴とする
請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の液晶表示体
用プローブカード。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7308395A JPH09127156A (ja) | 1995-11-01 | 1995-11-01 | 液晶表示体用プローブカード |
| TW085113108A TW358160B (en) | 1995-11-01 | 1996-10-28 | LCD tester and the probe plate in use |
| KR1019960050726A KR970030585A (ko) | 1995-11-01 | 1996-10-31 | 액정 표시체용 프로브 카드 및 액정 표시체용 검사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7308395A JPH09127156A (ja) | 1995-11-01 | 1995-11-01 | 液晶表示体用プローブカード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09127156A true JPH09127156A (ja) | 1997-05-16 |
Family
ID=17980554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7308395A Pending JPH09127156A (ja) | 1995-11-01 | 1995-11-01 | 液晶表示体用プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09127156A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100307216B1 (ko) * | 1999-06-16 | 2001-11-01 | 허기호 | 엘.씨.디. 검사용 프로브 블록 |
| KR100773732B1 (ko) * | 2006-05-09 | 2007-11-09 | 주식회사 파이컴 | 프로브 유닛 및 이를 포함하는 프로브 장치 |
| JP2012215534A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-11-08 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ装置 |
| KR101309620B1 (ko) * | 2011-12-23 | 2013-09-17 | 주식회사 케이피에스 | 디스플레이 패널 검사용 프로브 유니트 |
| KR101309621B1 (ko) * | 2011-12-23 | 2013-09-17 | 주식회사 케이피에스 | 디스플레이 패널 검사용 프로브 유니트 |
-
1995
- 1995-11-01 JP JP7308395A patent/JPH09127156A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100307216B1 (ko) * | 1999-06-16 | 2001-11-01 | 허기호 | 엘.씨.디. 검사용 프로브 블록 |
| KR100773732B1 (ko) * | 2006-05-09 | 2007-11-09 | 주식회사 파이컴 | 프로브 유닛 및 이를 포함하는 프로브 장치 |
| JP2012215534A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-11-08 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ装置 |
| KR101309620B1 (ko) * | 2011-12-23 | 2013-09-17 | 주식회사 케이피에스 | 디스플레이 패널 검사용 프로브 유니트 |
| KR101309621B1 (ko) * | 2011-12-23 | 2013-09-17 | 주식회사 케이피에스 | 디스플레이 패널 검사용 프로브 유니트 |
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Legal Events
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