KR101309169B1

KR101309169B1 - 프로브 장치

Info

Publication number: KR101309169B1
Application number: KR1020110099450A
Authority: KR
Inventors: 슈지 나라오카; 타카오 야스타; 마코토 요코야마; 토시오 후쿠시; 야스아키 오사나이; 타케시 기무라
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2011-03-29
Filing date: 2011-09-30
Publication date: 2013-09-23
Also published as: JP2012215534A; JP5745926B2; KR20120111881A

Abstract

본 발명은 프로브 장치의 접촉 전극을 피검사체의 전극에 확실하게 접속하기 위한 것이다.
프로브 장치는, 전후방향으로 연장하는 프로브 블록과, 상기 프로브 블록의 앞 부분의 아래쪽에 설치된 가요성의 배선 시트 지지체와, 상기 배선 시트 지지체의 아래쪽에 지지된 배선 시트를 포함한다. 상기 배선 시트 지지체는, 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 경사 방향으로 연장하는 연장부를 갖춘다. 상기 배선 시트는, 시트상 부재와, 상기 시트상 부재에 형성된 복수의 배선과, 각 배선의 앞 부분에 형성된 접촉 전극을 갖춘다. 각 접촉 전극은, 상기 배선에서 아래로 서는 전단면과, 상기 경사 방향으로 직선상 또는 활 형상으로 연장하는 아랫면과, 상기 전단면 및 상기 아랫면에 의해 형성되는 모서리부를 갖는다.

Description

프로브 장치{Probing apparatus}

본 발명은, 액정 표시 패널과 같은 평판상 피검사체의 전기적 시험에 이용하는 프로브 장치에 관한 것이다.

액정이 넣어져 봉해진 액정 표시 패널과 같은 평판상의 피검사체는, 일반적으로, 프로브 유닛과 같은, 프로브 장치를 이용하는 검사장치 즉 시험장치에 의해 검사 즉 시험된다. 그와 같은 시험에서, 시험장치에 설치된 테스터로부터의 전기신호가 프로브 장치를 통해 피검사체로 공급된다.

예를 들어, 특허문헌 1에 기재된 프로브 장치는, 복수의 배선을 한쪽 면에 갖는 가요성의 배선 시트와, 상기 배선 시트가 지지된 프로브 블록을 포함한다. 프로브 블록은, 그 앞 부분의 아랫면이 수평방향에 대하여 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 기울기로 경사진 상태로 형성되어 있고, 배선 시트는, 그 경사진 아랫면에 붙여져, 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 기울기로 경사진 상태로 프로브 블록에 지지되어 있다.

배선 시트는, 프로브 블록의 아랫면에 붙여진 주체부와, 그 주체부에 연속되어 프로브 블록의 앞 하단부(下端部)에서 연장하는 연재부(延在部)를 갖추고, 주체부 및 연재부는, 프로브 블록의 경사진 아랫면과 동일한 경사방향, 즉 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 기울기로 경사진 방향으로 연장한다.

배선 시트는, 시트상 부재와, 시트상 부재에 설치되어, 시트상 부재를 따라 전후방향으로 연장하는 배선과, 배선의 앞 부분에 형성된 접촉 전극을 갖춘다. 시트상 부재에 형성된 배선 및 이것에 형성된 접촉 전극은, 프로브 장치가 접속되는 테스터와 피검사체의 전극 사이에 개재하여, 전기 신호를 주고 받는 프로브로서 작용한다. 접촉 전극은, 니켈과 같은 도전성 재료로 이루어지고, 배선 시트의 배선 위에 반구상의 형상으로 형성되어 있고, 그 반구상의 곡면에서 피검사체의 전극에 접촉된다.

피검사체의 시험에 있어서는, 프로브 장치와 피검사체가 서로 가까워지도록 상하방향으로 상대적으로 이동하여, 프로브 장치의 접촉 전극과, 피검사체의 전극이 접속된다. 이때, 배선 시트는, 경사 방향으로 연장하는 배선 시트의 연재부가 접촉 전극을 통하여 피검사체에 의해 위쪽으로 눌려지고, 배선 시트의 주체부와 연재부와의 경계를 규정하는 프로브 블록의 앞 하단부의 가장자리를 따라 굴곡한다.

이 배선 시트의 굴곡에 의해, 접촉 전극이 피검사체의 전극 위를 앞쪽으로 이동하게 되므로, 피검사체의 전극의 표면이 산화되어 전극 표면에 산화막이 형성되어 있다고 해도, 접촉 전극이 피검사체의 전극 위의 산화막을 벗겨낸다. 이에 의해, 산화막이 벗겨진 전극 부분에 프로브 장치의 접촉 전극이 접촉하게 되므로, 접촉 전극과 피검사체의 전극이 전기적으로 접속된다.

그러나, 인용문헌 1의 프로브 장치에서는, 접촉 전극이 반구상의 형상이므로, 접촉 전극은, 그 곡면이 피검사체의 전극에 접촉한 상태에서 전극 위를 미끄러지게 된다. 접촉 전극이 전극 위를 미끄러져 버리면, 산화막의 제거가 효과적으로 행해지지 않는다. 이에 의해, 산화막이 제거되지 않고 접촉 전극과 피검사체의 전극 사이에 개재해 버려, 접촉 전극과 피검사체의 전극이 확실하게 접속할 수 없는 경우가 있다.

또한, 피검사체의 전극 위에 이물질이 존재할 때, 접촉 전극이 피검사체의 전극 위를 이동하여 이물질을 밀어내려고 해도, 이물질이 접촉 전극의 곡면을 미끄러지듯이 접촉 전극과 피검사체의 전극 사이로 들어가, 접촉 전극과 피검사체의 전극이 정확하게 접촉할 수 없는 경우가 있다.

특허문헌 1: 일본 공개특허 특개2001-4662호 공보

본 발명의 목적은, 프로브 장치의 접촉 전극을 피검사체의 전극에 확실하게 접속시키는데 있다.

본 발명에 따른 프로브 장치는, 뒷면에서 지지대에 지지되고 표면에 전극이 설치된 피검사체의 전기 검사를 위한 프로브 장치로서, 상기 지지대로부터 간격을 두고 그 지지대를 따라 신장하도록 프레임 부재에 지지되고, 상기 지지대와 마주보는 면을 갖는 프로브 블록과, 상기 프로브 블록의 상기 지지대와 마주보는 면에 배치되는 배선 시트로서 상기 프로브 블록의 상기 지지대와 마주보는 면에서 떨어져 소정의 경사 각도로 상기 지지대를 향해 신장하는 연재부를 갖추는 배선 시트를 포함한다.

상기 배선 시트는, 한쪽 면이 상기 프로브 블록의 상기 지지대와 마주보는 면에 붙여진 전기 절연 재료로 이루어지는 제1 시트상 부재와, 상기 제1 시트상 부재의 다른 쪽 면에 형성되어 상기 프로브 블록의 신장 방향과 직각인 방향으로 서로 간격을 두고 상기 블록의 신장 방향으로 연장하는 복수의 제1 배선과, 상기 배선 시트의 연재부에서 각 제1 배선으로부터 상기 피검사체의 대응하는 상기 전극을 향해 돌출하도록 상기 제1 배선에 형성된 접촉 전극을 갖추고, 각 접촉 전극은, 상기 제1 배선에서 상기 지지대를 향해 돌출하는 전단면(前端面)과, 상기 전단면에 연속하는 직선상 또는 활 형상의 면을 가지며, 상기 전단면은 이 전단면에 연속하는 상기 직선상 또는 활 형상의 면보다도 상기 제1 배선의 신장단(端) 쪽에 위치하고, 상기 전단면에 연속하는 상기 직선상 또는 활 형상의 면과 상기 전단면에, 상기 피검사체의 상기 전극의 표면을 깎기 위한 모서리가 형성되어 있다. 상기 전단면은, 상기 제1 배선의 폭방향으로 배선과 교차하는 평탄면으로 할 수 있다.

게다가, 상기 프로브 장치는, 상기 프로브 볼록의 상기 신장단의 근방 부분에서 상기 지지대와 마주보는 면에 설치된 가요성의 배선 시트 지지체로서 상기 프로브 블록의 상기 신장단을 넘어서 상기 소정의 경사각으로 신장하고, 상기 배선 시트의 상기 연재부를 지지하는 연장부(延長部)를 갖추는 배선 시트 지지체를 포함할 수 있다.

상기 배선 시트 지지체는, 상기 소정의 경사각을 따르도록 한쪽 면에서 상기 프로브 블록에 설치된 가요성을 갖는 판상 부재와, 상기 판상 부재의 다른쪽 면에 한쪽 면이 설치된 제1 탄성 부재를 갖추고 있어도 좋고, 상기 제1 시트상 부재는, 상기 제1 탄성 부재의 다른 쪽 면에 설치되어 있어도 좋다. 또한, 상기 배선 시트 지지체는 반투명 또는 투명한 재료로 형성되어 있어도 좋다.

상기 프로브 장치는, 상기 배선 시트의 뒤쪽에서 상기 배선 시트에 대응하여 배치된 접속 시트로서, 상기 제1 시트상 부재에 대응하여 상기 프로브 블록의 신장 방향을 따라 연장하는 제2 시트상 부재와, 상기 배선 시트의 상기 제1 배선에 대응하여 상기 제2 시트상 부재에 형성된 복수의 제2 배선으로서 상기 제2 시트상 부재를 따라 그 시트 부재의 신장 방향으로 연장하는 복수의 제2 배선을 갖추는 접속 시트를 더 포함할 수 있다.

상기 배선 시트는, 상기 연재부가 설치된 쪽과 반대쪽인 뒷부분에 있어서 상기 제1 배선이 설치된 면이 뒤쪽을 향하는 상태로 꺾어 구부러진 제1 접속 영역을 가지고 있어도 좋고, 상기 접속 시트는, 상기 배선 시트의 상기 뒷부분에 인접하는 앞 부분에 있어서 상기 제2 배선이 설치된 면이 앞쪽으로 향하는 상태로 꺾어 구부러진 제2 접속 영역으로서, 상기 제1 및 제2 배선이 접촉하도록 상기 제1 접속 영역과 마주보는 제2 접속 영역을 가지고 있어도 좋다. 상기 제1 및 제2 접속 영역은, 그들의 마주보는 면에서 상기 제1 및 제2 배선이 접촉하도록 협지(挾持)수단에 의해 전후 방향에서 협지되어 있어도 좋다.

상기 협지 수단은, 상기 제1 및 제2 접속 영역을 협지하도록, 전후 방향으로 마주보고 배치되어 서로 결합되는 제1 및 제2 협지 블록을 포함할 수 있다. 상기 프로브 블록과 상기 제1 및 제2 협지 블록은, 지지 블록에 의해 지지할 수 있다. 게다가, 상기 프로브 장치는, 상기 제1 및 제2 협지 블록의 적어도 어느 한쪽에 설치된 제2 탄성 부재로서, 상기 제2 또는 제2 접속 영역과 상기 제1 또는 제2 협지 블록과의 사이에 개재하는 제2 탄성체를 갖추고 있어도 좋다.

상기 프로브 장치는, 상기 프로브 블록에 설치되어, 상기 프로브 블록과 상기 지지대와의 상대운동에 의해 상기 배선 시트의 상기 접촉 전극이 상기 피검사체의 대응하는 상기 전극에 내리눌려졌을 때 상기 배선 시트의 상기 연재부의 과대한 변형을 억제하도록, 상기 프로브 블록에서 상기 배선 시트의 상기 연재부에서의 상기 제1 시트상 부재의 상기 한쪽 면에 간격을 두고 그 한쪽 면에 접촉 가능하게 신장하는 스토퍼를 더 포함할 수 있다.

상기 스토퍼는, 탄성을 갖는 제1 탄성 부재와, 상기 제1 탄성 부재를 덮어 상기 배선 시트의 상기 제1 시트상 부재에 대한 마찰을 줄이기 위한 표면층을 갖추고 있어도 좋다.

본 발명에 의하면, 프로브 장치와 피검사체가 서로 가까워지도록 상대적으로 이동되면, 우선, 배선 시트의 접촉 전극의 모서리가 피검사체의 전극에 접촉한다. 이에 의해, 상기 접촉 전극이 상기 피검사체에 의해 눌리기 때문에, 경사 방향으로 연장하는 배선 시트의 연재부는, 배선 시트의 주체부와 연재부와의 경계를 규정하는 프로브 블록의 신장단의 하단부의 가장자리를 따라 회전하도록 굴곡한다.

이 배선 시트의 굴곡에 의해, 접촉 전극의 모서리부가 피검사체의 전극 위를 앞쪽으로 이동하기 때문에, 상기 모서리가, 피검사체의 전극 표면 위의 산화막을 깎고, 또 전극 위의 이물질을 앞쪽으로 밀어낸다. 게다가 상기 프로브 장치와 상기 피검사체와의 상대 이동에 의해, 상기 접촉 전극의 상기 모서리에 의해 산화막이 깎이고, 그리고 이물질이 제거된 피검사체의 전극에, 상기 모서리에 연속하는 상기 접촉 전극의 면(面)이 접촉함으로써, 접촉 전극과 피검사체의 전극을 정확하게 접속시킬 수가 있다.

게다가, 프로브 장치는, 상기 배선 시트의 상기 연재부를 지지하는 배선 시트 지지체를 포함하고, 상기 배선 시트 지지체가 탄성을 갖는 판상 부재를 갖추기 때문에, 상기 접촉 전극은, 상기 판상 부재의 탄성력에 의해 적절한 힘으로 피검사체의 전극에 눌려지고, 그리고 적절한 힘으로 전극 위의 산화막을 벗겨낸다. 따라서, 접촉 전극과 피검사체의 전극을 보다 정확하게 접속시킬 수 있다.

도1은 본 발명에 따른 프로브 장치를 이용한 시험 장치의 일부를 나타낸 사시도이다.
도2는 본 발명에 따른 프로브 장치의 제1 실시예를 나타낸 정면도이다.
도3은 도2에 나타낸 프로브 장치의 평면도이다.
도4는 도2에 나타낸 프로브 장치의 측면이다.
도5는 본 발명에 따른 프로브 장치의 배선 시트를 나타내고, 도5(A)는 배선 시트의 정면도이며, 도5(B)는 배선 시트의 측면도이고, 도5(C)는 배선 시트의 접촉 전극의 주위를 확대하여 나타낸 측면도이며, 도5(D)는 배선 시트의 사시도이다.
도6은 본 발명에 따른 프로브 장치의 접촉 전극과 피검사체의 전극과의 접속 방법을 설명하는 도면이며, 도6(A)는 접촉 전극과 피검사체의 전극이 접촉을 시작한 상태를 나타내고, 도6(B)는 접촉 전극과 피검사체의 전극이 접속하는 과정을 나타내며, 도6(C)은 접촉 전극과 피검사체의 전극이 접속한 상태를 나타낸 측면도이다.
도7은 본 발명에 따른 프로브 장치의 배선 시트의 제조방법을 설명하기 위한 측면도이다.
도8은 본 발명에 따른 프로브 장치의 제2 실시예를 나타낸 정면도이다.
도9는 도8에 나타낸 프로브 장치의 측면도이다.
도10은 도8에 나타낸 프로브 장치의 앞 부분을 확대하여 나타낸 측면도이다.
도11은 본 발명에 따른 프로브 장치의 제3 실시예를 나타낸 정면도이다.
도12는 도11에 나타낸 프로브 장치의 측면도이다.
도13은 도11에 나타낸 프로브 장치의 앞 부분을 확대하여 나타낸 측면도이다.
도14는 본 발명에 따른 프로브 장치의 제4 실시예를 나타낸 평면도이다.
도15는 도14에서의 15-15선 단면도이다.
도16은 도15에 나타낸 16A 및 16B 부분의 단면도로서, 도16(A) 및 16(B)는, 각각 도15의 16A 및 16B 부분을 확대하여 나타낸다.
도17은 본 발명에 따른 프로브 장치의 배선 시트의 다른 실시예를 나타낸 측면도이다.

[용어의 설명]

본 발명에 있어서는, 도4에 있어서, 상하방향을 상하방향 또는 Z방향이라 하고, 좌우방향을 프로브 장치의 피검사체 쪽을 앞쪽으로 하고, 프로브 장치의 프로브 베이스 쪽을 뒤쪽으로 하는 전후방향 또는 Y방향이라 하며, 종이 뒷면 방향을 좌우방향 또는 X방향이라고 한다. 그러나, 그들 방향은, 워크 테이블과 같은 패널 받이에 받아진 피검사체의 자세에 따라 다르다.

따라서, 프로브 장치 및 프로브 블록은, 본 발명에서 말하는 상하방향(Z방향)이, 실제로는, 상하방향이 되는 상태, 상하 반대로 되는 상태, 경사 방향이 되는 상태 등, 어느 한 방향이 되는 상태로 시험장치에 설치되어 사용된다.

[검사장치]

도1을 참조하면, 시험장치(10)는, 액정 표시 패널과 같은 평판상의 피검사체(12)의 점등검사에 이용된다. 시험장치(10)는, 피검사체(12)를 시험하기 위한 신호를 송신하는 테스터(도시하지 않음)를 갖춘다. 피검사체(12)에는, 검사를 위해 필요한, 예를 들어, 액정 표시 패널을 검정(黑) 표시시키기 위한 시험 신호 또는 구동 신호가 테스터로부터 시험장치(10)를 통해서 피검사체(12)에 공급된다.

피검사체(12)는 사각형의 형상을 갖고 있고, 그 표면에는, 사각형의 적어도 1개의 변에 대응하는 가장자리에, 복수의 전극(14)이 소정의 간격으로 형성되어 있다. 각 전극(14)은, 이것이 형성된 가장자리의 길이방향과 직교하는 X방향 또는 Y방향으로 연장하는 띠 형상을 가지고 있다. 도시한 예에서는, 피검사체(12)의 서로 이웃하는 2개의 변에, 복수의 전극(14)이 설치되어 있다.

시험장치(10)는, 피검사체(12)를 지지하기 위한, 그 피검사체의 뒷면을 받는 지지대로서 작용하는 척 톱(chuck top)(16)과, 척 톱(16)의 위쪽에 배치된 복수의 프로브 유닛(18)을 포함한다. 프로브 유닛(18)은, 척 톱(16)에 지지된 피검사체(12)의 전극(14)이 형성된 가장자리의 위쪽에 배치되어 있다. 프로브 유닛(18)과 척 톱(16)은 서로 가까워지고 서로 멀어지도록 Z방향으로 상대적으로 이동 가능하다.

자세가 조정된 피검사체(12)는, 대기압보다도 낮은 척 톱(16)의 흡인 압력에 의해 척 톱(16) 위에 지지된다. 척 톱(16)은, 종래 잘 알려진 바와 같이, x, y, z, θ대(台) 위에 설치되어 있다. 이에 의해, 척 톱(16) 위의 피검사체(12)는, 척 톱(16)과 일체로, X축 방향, Y축 방향 및 X-Y면에 직각인 Z축 방향으로 이동 가능하며, 또한 Z축의 주위(즉, θ방향)로 회전 가능하다.

각 프로브 유닛(18)은, 척 톱(16)과 평행한 면 위에 척 톱(16)으로부터 간격을 두고 배치된 프로브 베이스(24)와, 프로브 베이스(24)에 지지된 복수의 프로브 장치(30)를 갖춘다. 프로브 베이스(24)는, 척 톱(16)에 받아진 피검사체(12)의 대응하는 가장자리를 따라 연장하고, 또 상하방향을 두께방향으로 하는 판상의 프레임 부재이다. 프로브 장치(30)는, 프로브 베이스(24)의 길이방향으로 간격을 두고 프로브 베이스(24)에 배치되어 있다.

본 실시예에 있어서, 시험장치(10)는, X방향 및 Y방향으로, 각각, 5개의 프로브 장치(30) 및 3개의 프로브 장치(30)를 갖추고 있으나, 피검사체(12)의 전극(14)의 위치에 대응하여, 각 방향으로 그 이상의 프로브 장치(30)를 갖추고 있어도 좋다.

또한, 본 실시예에 있어서, 피검사체(12)는, 서로 이웃하는 2개의 변에 대응한 가장자리에 전극(14)을 갖추고 있지만, 다른 변에 대응한 가장자리에 전극(14)을 갖추는 경우가 있다. 그와 같은 경우, 시험장치(10)는, 상기한 다른 변의 가장자리에 대응하여 그 다른 가장자리의 위쪽에 배치된 프로브 유닛(18)을 갖추고 있어도 좋다.

[프로브 장치의 제1 실시예]

도2∼4를 참조하면, X방향으로 간격을 두고 배치된 복수의 프로브 장치(30) 각각은, 프로브 베이스(24)에 놓이고 연결된 연결 블록(32)과, 연결 블록(32)에 지지된 결합 블록(34)과, 결합 블록(34)에 결합된 지지 블록(36)과, 지지 블록(36)에 지지된 프로브 블록(38)과, 프로브 블록(38)에 지지된 배선 시트(40)와, 배선 시트(40)에 전기적으로 접속된 접속 회로(42)를 포함한다.

연결 블록(32)은, 도4에서 단면으로 나타내어져 있고, 프로브 베이스(24)로부터 일어서도록 프로브 베이스(24)에 연결된 본체부(32a)와, 본체부(32a)의 상부에서 앞쪽으로 연장하는 보조부(32b)에 의해, L자상의 단면 형상을 갖는다. 연결 블록(32)은, 본체부(32a)를 위쪽에서 아래쪽으로 관통하여 프로브 베이스(24)에 결합된 복수의 볼트(41)에 의해 프로브 베이스(24)에 분리 가능하게 결합되어 있다.

결합 블록(34)은, 도4에서 단면으로 나타내어져 있고, 직방체 형상의 본체부(34a)와, 본체부(34a)의 하부에서 앞쪽으로 연장하는 보조부(34b)에 의해 역 L자상의 단면 형상을 갖는다. 결합 블록(34)은, 한 조(組)의 가이드(44) 및 가이드 레일(46)에 의해 상하방향으로 이동 가능하게, 연결 블록(32)의 본체부(32a)의 전면(前面)에 본체부(34a)의 뒷면에서 연결되어 있음과 동시에, 볼트(48)에 의해 상하방향의 위치를 조정 가능하게 연결 블록(32)의 보조부(32b)의 아래쪽에 지지되어 있다.

볼트(48)는, 연결 블록(32)의 보조부(32b)를 위쪽에서 아래쪽으로 관통하고 있고, 또한 결합 블록(34)에 형성된 나사 구멍(50)에 결합되어 있다. 결합 블록(34)은, 좌우방향으로 간격을 두고 연결 블록(32)의 보조부(32b)와 결합 블록(34)과의 사이에 배치된 한 쌍의 압축 코일 스프링(52)(도2를 참조)에 의해 아래쪽으로 힘이 가해지고 있다. 이에 의해, 결합 블록(34)으로의 볼트(48)의 조임량을 조정함으로써, 결합 블록(34), 나아가서는 결합 블록(34)에 결합된 지지 블록(36)을 통하여 프로브 블록(38)의 높이 위치를 조정할 수 있다.

지지 블록(36)은, 상하방향을 두께방향으로 하고, 좌우방향으로 긴 판상 부재이며, 그 중앙 영역에서 결합 블록(34)의 아래쪽에 결합되어 있다. 지지 블록(36)과 결합 블록(34)은, 결합 블록(34)의 보조부(34b)를 위쪽에서 아래쪽으로 관통하여 지지 블록(36)에 결합된 볼트(54)에 의해 결합되어 있다.

프로브 블록(38)은, 좌우방향으로 간격을 두고 지지 블록(36)을 위쪽에서 아래쪽으로 관통하여 프로브 블록(38)에 결합된 한 쌍의 볼트(56)에 의해, 지지 블록(36)에 결합되어 있다. 이에 의해, 프로브 블록(38)은, 상기 지지대(16)로부터 간격을 두고 그 지지대를 따라 지지대(16) 위의 피검사체(12)의 가장자리의 바깥쪽에서 전극(14)을 향해서 신장한다.

프로브 블록(38)은, 전후방향으로 긴 사각형의 형상을 갖는 본체부(38a)와, 본체부(38a)의 앞 부분에서 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 경사 방향으로 연장하는 보조부(38b)를 갖춘다. 보조부(38b)의 아랫면 즉 지지대(16)와 마주보는 면은, 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 경사 방향으로, 소정의 경사 각도로 연장하는 경사면(38c)으로 되어 있다. 경사면(38c)의 경사각은, 프로브 장치(30)의 설계에 따라 다양한 각도로 할 수 있다. 예를 들어, 경사면(38c)의 경사각은, 수평면(XY면)에 대하여 5°∼40° 사이의 각도로 되어 있어도 좋다.

프로브 블록(38)의 본체부(38a)의 아랫면에는, 접속회로(42)가 배치되어 있다. 접속회로(42)는, 액정 표시용 패널을 구동하는 구동 신호를 발생시키는 집적회로(60)가 장착된 배선기판(62)과, 배선기판(62)에 전기적으로 접속되고, 또한 프로브 블록(38)에서 뒤쪽으로 연장하는 접속배선시트(64)를 갖춘다. 배선기판(62)과 접속배선시트(64)는 커넥터(66)에 의해 접속되어 있다.

접속배선시트(64)는, 프로브 베이스(24)에 배치된 중계기판(도시하지 않음)을 통하여 테스터에 전기적으로 접속된다. 배선 시트(40)는, 배선기판(62)에 접속됨으로써, 상기 중계기판, 접속배선시트(64) 및 배선기판(62)을 통해 테스터에 전기적으로 접속되어 있다. 집적회로(60)는, 테스터로부터의 시험신호를 받아서, 액정 표시용 패널을 구동하는 구동신호를 발생시키고, 그 구동신호가 배선 시트(40)를 통해 피검사체(12)로 공급된다.

배선 시트(40)는, 한쪽 면 즉 윗면에서 프로브 블록(38)의 경사면(38c)에, 예를 들어, 열경화성의 접착재에 의해 접착됨으로써 설치되어, 프로브 블록(38)에 지지되어 있다. 배선 시트(40)는, 경사면(38c)에 접착된 주체부(40a)와, 배선기판(62)에 전기적으로 접속된 뒷부분(40b)과, 주체부(40a)에 연속하여, 프로브 블록(38)의 앞 하단부(38d)로부터 연장하는 연재부(40c)를 갖춘다. 또한, 배선 시트(40)는, 척 톱(16)에 받아진 피검사체(12)에 대하여 좌우방향에 있어서 평행이 되도록 프로브 블록(38)에 설치되어 있다.

배선 시트(40)의 주체부(40a)는, 프로브 블록(38)의 경사면(38c)에 붙어져 있기 때문에, 경사면(38c)의 경사 방향과 동일한 방향, 즉 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 경사 방향으로 연장하고, 주체부(40a)에 연속하는 연재부(40c)는, 경사면(38c)의 경사 방향과 동일한 방향으로 연장한다. 그러나, 프로브 장치(30)는, 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 경사 방향으로 연장하는 연재부를 갖는 배선 시트(40)를 포함하고 있으면 좋고, 배선 시트(40)의 주체부(40a)는 비스듬히 연장해 있지 않아도 좋다. 즉, 프로브 블록(38)의 주체부(40a)가 붙여지는 아랫면 즉 지지대(16)와 마주보는 면은 경사면이 아니어도 좋다.

도5를 참조하면, 배선 시트(40)는, 프로브 블록(38)의 보조부(38b)의 아랫면에 한쪽 면이 붙여진 가요성의 제1 시트상 부재(68)와, 상기 시트상 부재의 아랫면에 설치된 복수의 제1 배선(70)과, 각 제1 배선(70)의 일단부의 아랫면에 설치된 접촉 전극(72)을 갖는다. 도시한 예에서는, 배선 시트(40)는, 제1 시트상 부재(68)에 복수의 제1 배선(70)을 형성한, 이른바 플렉시블 인쇄배선회로(FPC: Flexible Printed Circuits) 또는 TAB(Tape Automated Bonding) 테이프와 같은 가요성을 갖는 시트상의 인쇄배선회로로 할 수 있다. 도시하지 않았지만, 배선 시트(40)는, 복수의 제1 배선(70)을 덮는 커버레이 필름과 같은 절연성 및 가요성의 시트상 부재를 가지고 있어도 좋다.

제1 시트상 부재(68)는, 폴리이미드와 같은 전기절연성을 갖는 재료로 제작되어 있다. 복수의 제1 배선(70)은, 제1 시트상 부재(68)의 다른쪽 면에 설치되어 있고, 또한 프로브 블록(38)의 신장 방향과 직각인 좌우방향으로 간격을 두고 프로브 블록(38)의 신장 방향을 따라 전후방향으로 연장하고 있다. 그와 같은 제1 시트상 부재(68)와 제1 배선(70)을 갖춘 배선 시트(40)로서 FPC 또는 TAB 테이프를 이용함으로써, 제1 배선(70)의 배치 및 형상, 즉 배선 패턴은, FPC 또는 TAB 테이프의 종래의 설계 및 제조방법으로 여러 가지 변경할 수 있다.

각 접촉 전극(72)은, 제1 배선(70)의 신장단(端)인 전단부(前端部)에 형성되어 있고, 좌우방향에서 보면 대략 부채형(扇型) 형상으로 되어 있다. 또한, 접촉 전극(72)은, 제1 시트상 부재(68)에 대하여 수직방향으로 제1 배선(70)에서 직선상으로 일어서는 전단면(72a)과, 제1 시트상 부재(68)에 대하여 수평방향으로 활 형상으로 연장하는 아랫면(72b)과, 전단면(72a) 및 아랫면(72b)에 의해 형성되는 모서리부(72c)를 갖는다. 제1 배선(70)의 신장단 쪽에서 제1 배선(70)으로부터 각 전극(14)을 향해서 돌출하는 각각의 접촉 전극(72)의 전단면(72a)은, 그 전단면에 연속하는 아랫면(72b)보다도 제1 배선(70)의 신장단 쪽에 위치하고, 앞쪽에서 보면 사각형 형상의 단면을 갖고, 동일한 XZ면 위에 위치하고 있다. 도5에 나타낸 예에서는, 전단면(72a)은, 대응하는 제1 배선(70)의 폭방향으로 그 배선과 교차하는 직각인 평탄면으로 구성되어 있다.

좌우방향으로 간격을 두고 늘어서는 복수의 접촉 전극(72)의 모서리부, 즉 각 전단면(72a)과 각 아랫면(72b)으로 형성되는 모서리(72c)는, 제1 시트상 부재(68)에 대하여 동일한 높이 위치로 되어 있다. 따라서, 제1 시트상 부재(68)를 갖는 배선 시트(40)와 피검사체(12)가 서로 가까워지도록 상하방향으로 평행 이동하고, 접촉 전극(72)이 전극(14)에 접촉할 때, 복수의 접촉 전극(72)의 모서리부(72c)의 각각이, 대응하는 전극(14)에 동시에 접촉한다. 이에 의해, 피검사체(12)의 복수의 전극(14)이, 대응하는 접촉 전극(72)으로부터 받는 힘을 균일하게 할 수 있다.

[접촉 전극과 피검사체의 전극과의 전기적 접속에 대하여]

다음으로, 도6에 나타낸 본 발명에 따른 프로브 장치(30)의 접촉 전극(72)과, 피검사체(12)의 전극(14)과의 전기적 접속에 대하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 피검사체(12)가 프로브 장치(30)에 대하여 이동하듯이 설명하지만, 실제는, 프로브 장치(30)가 피검사체(12)에 대하여 이동해도 좋다.

먼저, 피검사체(12)의 전극(14)이 배선 시트(40)의 접촉 전극(72)에 접촉하도록, 피검사체(12)가 프로브 장치(30)에 서로 가까워지는 방향, 즉 위쪽으로 이동한다. 배선 시트(40)의 연재부(40c)가, 피검사체(12)에 대하여 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 경사 방향으로 경사진 상태로 프로브 블록(38)에 설치되고, 그리고 접촉 전극(72)이 아래쪽으로 향해져 있기 때문에, 배선 시트(40)의 연재부(40c)의 선단에 설치된 접촉전극(72)의 모서리부(72c)가 배선 시트(40)의 최하단으로 되어 있다. 이에 의해, 도6(A)에 나타나 있듯이, 피검사체(12)가 제1 접촉위치에 놓였을 때, 접촉 전극(72)의 모서리부(72c)가 피검사체(12)의 전극(14)에 접촉한다.

이어서, 피검사체(12)는, 더 위쪽으로의 이동에 의해 도6(B)에 있어서, 이점쇄선으로 나타낸 제1 위치부터 실선으로 나타낸 제2 위치까지 이동된다. 이때, 배선 시트(40)는, 접촉 전극(72)을 통하여 피검사체(12)로부터 위쪽으로 눌려진다. 이에 의해, 배선 시트(40)는, 연재부(40c)가 프로브 블록(38)의 앞 하단부(38d)를 좌우방향으로 연장하는 축선으로 한 주위로 회전하도록 굴곡된다. 이 배선 시트(40)의 굴곡에 의해, 배선 시트(40)의 모서리부(72c)는, 도6(B)에 이점쇄선으로 나타낸 위치부터, 실선으로 나타낸 위치까지 피검사체(12)의 전극(14) 위를 앞쪽을 향해 거리 L만큼 이동한다.

피검사체(12)의 전극(14) 위를 접촉 전극(72)의 모서리부(72c)가 이동함으로써, 모서리부(72c)가 전극(14) 위의 산화막을 제거한다. 또한, 전극(14) 위에 이물질이 있는 경우에, 접촉 전극(72)의 모서리부(72c) 또는 전단면(72a)이 이물질을 앞쪽으로 밀어낸다.

이때, 접촉 전극(72)이 산화막을 깎는 힘 및 이물질을 밀어내는 힘은, 배선 시트(40)의 제1 시트상 부재(68) 및 제1 배선(70)의 가요성에 의존한다. 즉, 배선 시트(40)의 가요성을 변경함으로써, 산화막을 깎는 힘 및 이물질을 밀어내는 힘을 조정할 수 있다.

배선 시트(40)의 가요성은, 제1 시트상 부재(68) 또는 제1 배선(70)의 두께 및 재료를 바꿈으로써, 변경할 수 있다. 예를 들어, 제1 시트상 부재(68)는, 폴리이미드, 액정 폴리머(LCP: Liquid Crystal Polymer) 등을 재료로 할 수 있다. 또한, 폴리이미드, LCP의 시트 등에는, 다양한 두께 치수를 갖는 것이 있다.

계속해서, 도6(C)에 나타나 있듯이, 접촉 전극(72)은, 그 아랫면(72b)을 피검사체(12)의 전극(14)에 접촉시키고 있다. 아랫면(72b)이 접촉하고 있는 전극(14) 부분은, 모서리부(72c)에 의해 산화막이 깎이고, 이물질이 제거되어 있다. 따라서, 접촉 전극(72)은 전극(14)에 확실하게 전기적으로 접속된다.

또한, 모서리부(72c)가 산화막을 깎아냄으로써, 모서리부(72c)와 전극(14)의 사이에 깎인 산화막의 잔재가 있어도, 접촉 전극(72)은, 모서리부(72c)와 다른 아랫면(72b)에서 피검사체(12)의 전극(14)에 접촉하기 때문에, 접촉 전극(72)과 전극(14)이 확실하게 전기적으로 접속된다.

[배선 시트의 제조방법]

배선 시트(40)의 제조에 있어서, 먼저, 절연시트에 금속시트가 붙여진 것 같은 동장적층판(銅張積層板)을 출발 재료로 하고, 제1 시트상 부재(68)로서 작용하는 상기 절연시트 위에, 포토리소그래피 기술 및 에칭 기술에 의해 상기 금속시트가 에칭되어 복수의 제1 배선(70)으로서 형성된다.

다음에, 복수의 제1 배선(70) 위에 도금 기술과 같은 퇴적 기술에 의해 접촉 전극(72)으로서 작용하는 복수의 범프(80)가 형성된다. 퇴적 기술에 의해, 복수의 범프(80)가 형성되기 때문에, 복수의 범프(80)는 서로 동일 형상으로 할 수 있다. 또, 범프(80)는, 제1 시트상 부재(68) 및 제1 배선(70)은 별개로 제작되어, 도전성 접착재에 의해 제1 배선(70)에 설치되어도 좋다.

이어서, 도7을 참조하면, 제1 배선(70) 및 범프(80)가 형성된 제1 시트상 부재(68)가 절단용 지그(治具, jig)(82)에 고정된 상태로 분리 가능하게 배치된다. 도시한 예에서는, 범프(80) 및 제1 시트상 부재(68)의 각각은, 그것들과 같은 치수의 요소(凹所)(84 및 86)에 끼워 넣어지도록 절단용 지그(82)에 배치되어 있다. 그러나, 제1 시트상 부재(68)는, 절단용 지그(82)에 고정되어 있으면 좋고, 요소(84 및 86)는, 각각, 범프(80) 및 제1 시트상 부재(68)보다도 큰 치수를 가지고 있어도 좋다.

계속해서, 제1 시트상 부재(68), 제1 배선(70) 및 범프(80)는, 도7에 나타낸 일점쇄선을 따라, 절단 장치(88)에 의해 절단된다. 도시한 예에서는, 절단 장치(88)는, 커터와 같은 절단 수단(90)을 갖추지만, 이 대신에 레이저와 같은 다른 절단 수단을 갖추고 있어도 좋다. 절단 수단(90)에 의해 절단된 범프(80)가 접촉 전극(72)으로서 작용하고, 범프(80)의 절단면이 접촉 전극(72)의 전단면(72a)으로서 작용한다.

도시한 예에서는, 1개의 제1 배선(70) 및 1개의 범프(80)가 절단되도록 나타내어져 있지만, 실제로는, 좌우방향으로 간격을 두고 복수의 제1 배선(70) 및 복수의 범프(80)가 제1 시트상 부재(68)에 설치되어 있다. 따라서, 절단 수단(90)에 의해, 복수의 제1 배선(70) 및 복수의 범프(80)가 동시에 절단된다.

이에 의해, 범프(80)의 절단면은, 동일면(절단면) 위에 형성된 접촉 전극(72)의 전단면(72a)으로서 작용한다. 또, 복수의 범프(80)가 동일 형상을 갖기 때문에, 복수의 전단면(72a)의 하단은, 각각이 제1 시트상 부재(68)로부터 동일한 높이에 위치하는 모서리부(72c)로서 작용한다.

[프로브 장치의 제2 실시예]

도8∼10을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 장치(130)는, 프로브 베이스(24)에 놓여지고 연결된 연결 블록(132)과, 연결 블록(132)에 지지된 결합 블록(134)과, 결합 블록(134)에 결합된 지지 블록(136)과, 지지 블록(136)에 지지된 프로브 블록(138)과, 프로브 블록(138)에 설치된 배선 시트 지지체(180)와, 프로브 블록(138) 및 배선 시트 지지체(180)에 지지된 배선 시트(140)와, 배선 시트(140)에 전기적으로 접속된 접속 회로(142)를 포함한다.

연결 블록(132), 결합 블록(134), 지지 블록(136), 배선 시트(140) 및 접속 회로(142)의 각각의 형상, 설치 관계 등은, 제1 실시예에서의 연결 블록(32), 결합 블록(34), 지지 블록(36), 배선 시트(40) 및 접속 회로(42)와 같다.

배선 시트(140)는, 제1 실시예에서의 배선 시트(40)와 마찬가지로, 가요성의 제1 시트상 부재(168)와, 제1 시트상 부재(168)에 설치된 복수의 제1 배선(170)과, 각 제1 배선(170)의 일단부의 아랫면에 설치된 접촉 전극(172)을 갖는다. 복수의 제1 배선(170)은, 제1 시트상 부재(168)의 아랫면에 설치되어 있고, 좌우방향으로 간격을 두고 프로브 블록(138)의 신장 방향을 따른 제1 시트상 부재(168)를 따라서 전후방향으로 연장해 있다.

각 접촉 전극(172)은, 제1 배선(170)의 신장단인 전단부에 형성되어 있고, 좌우방향에서 보면 대략 부채형 형상으로 되어 있다(도10을 참조). 또한, 접촉 전극(172)은, 제1 시트상 부재(168)에 수직인 방향으로 제1 배선(170)에서 아래로 서는 전단면(172a)과, 제1 시트상 부재(168)에 수평한 방향으로 활 형상으로 연장하는 아랫면(172b)과, 전단면(172a) 및 아랫면(172b)에 의해 형성되는 모서리부(172c)를 갖는다. 제1 배선(170)의 신장단 쪽에서 제1 배선(170)에서 각 전극(14)을 향해서 돌출하는 각각의 접촉 전극(172)의 전단면(172a)은, 그 전단면에 연속하는 아랫면(172b)보다도 제1 배선(170)의 신장단 쪽에 위치하고, 앞쪽에서 보면 사각형 형상의 단면을 갖고, 동일한 XZ면 위에 위치하고 있다. 전단면(172a)은, 도5에 나타낸 예와 동일하게, 대응하는 제1 배선(170)의 폭방향으로 상기 배선과 교차하는 직각인 평탄면으로 구성되어 있다.

배선 시트(140)의 일부를 지지하는 프로브 블록(138)은, 전후방향으로 긴 사각형의 단면 형상을 갖는 본체부(138a)와, 본체부(138a)의 앞 부분에서 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 경사 방향으로 연장하는 보조부(138b)를 포함한다. 보조부(138b)는, 그 아래쪽에 단부(138c)를 갖춘다(도10을 참조).

프로브 블록(138)에 지지된 배선 시트 지지체(180)는, 판상으로 형성되어 있고, 그 일부가 단부(段部)(138c)에 받아들여진 상태로 프로브 블록(138)에 설치되어 있다. 배선 시트 지지체(180)의 두께 치수가, 단부(138c)의 높이 치수에 대응하여 동일 치수로 되고 있고, 프로브 블록(138)의 경사진 아랫면과 배선 시트 지지체(180)의 아랫면은 함께 평탄면을 형성하고 있다.

배선 시트 지지체(180)는, 단부(138c)에 받아진 본체부(180a)와, 본체부(180a)에 연속하여 프로브 블록(138)에서 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 소정의 경사각으로 경사 방향으로 연장하는 연장부(180b)를 갖춘다.

배선 시트 지지체(180)는, 프로브 블록(138)에 설치되고, 가요성을 갖는 판상 부재(182)와, 판상 부재(182)의 아랫면에 설치된 판상의 탄성 부재(184)를 갖춘다. 가요성을 갖는 판상 부재(182)는, 아크릴 시트, 유리 함유 에폭시 시트, LCP 시트, PET 시트 등으로 이루어지고, 그 두께방향으로 힘을 받으면, 그 가요성에 의해 굴곡 또는 활처럼 만곡한다.

탄성 부재(184)는, LCP 필름, PET 필름 등의 재료로 이루어지며, 그 두께방향으로 힘을 받으면 두께방향으로 압축된다. 판상 부재(182) 및 탄성 부재(184)의 재료가, LCP, PET 등의 반투명 또는 투명의 재료로 됨으로써, 프로브 장치(130)의 위쪽에서 배선 시트 지지체(180)를 통하여 제1 배선(170)의 위치를 확인할 수 있다.

배선 시트(140)는, 프로브 블록(138)의 아랫면과 배선 시트 지지체(180)의 아랫면으로 형성된 상기 평탄면에 그 일부가 설치되어 있다. 배선 시트 지지체(180)에 붙여진 배선 시트(140)의 일부는, 프로브 블록(138)의 앞 하단부(138d)에서 연장하는 연재부(140c)로서 작용한다.

도10을 참조하면, 제2 실시예에 있어서의 프로브 장치(130)는, 피검사체(12)의 전극(14)에 접촉할 때, 배선 시트(140)가 굴곡되는 것에 더하여, 판상 부재(182)가, 그 가요성에 의해 프로브 블록(138)의 앞 하단부(138d)를 좌우방향으로 연장하는 축선으로 한 주위로 회전하도록 굴곡되는, 즉 앞 하단부(138d)의 가장자리를 따라서 굴곡된다. 게다가, 이 판상 부재(182)의 굴곡에 더하여 탄성 부재(184)가 압축된다.

따라서, 판상 부재(182)의 가요성 및 탄성 부재(184)의 탄성에 의한 반발력에 의해, 접촉 전극(172)이 피검사체(12)의 전극(14)에 대하여 눌려진다. 이에 의해, 접촉 전극(172)의 모서리부(172c)는, 적절한 힘에 의해 전극(14)에 눌려진 상태로 전극(14) 위를 앞쪽으로 이동하여, 전극(14) 위의 산화막을 깎거나, 또는 이물질을 제거한다.

제1 실시예에 따른 프로브 장치(30)의 배선 시트(40)의 제조 공정에 있어서, 절단 수단(90)에 의해 배선 시트(40)를 절단했다. 제2 실시예에 따른 프로브 장치(130)의 배선 시트(140)의 제조에 있어서는, 배선 시트(140)에 배선 시트 지지체(180)를 설치한 상태로, 배선 시트(140)에 더하여 배선 시트 지지체(180)를 함께 절단해도 좋다.

[프로브 장치의 제3 실시예]

도11∼13을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 프로브 장치(230)는, 프로브 베이스(24)에 놓이고 연결된 연결 블록(232)과, 연결 블록(232)에 지지된 결합 블록(234)과, 결합 블록(234)에 결합된 지지 블록(236)과, 지지 블록(236)에 지지된 프로브 블록(238)과, 프로브 블록(238)에 설치된 스토퍼(280)와, 프로브 블록(238)에 지지된 배선 시트(240)와, 배선 시트(240)에 전기적으로 접속된 접속회로(242)를 포함한다.

연결 블록(232), 결합 블록(234), 지지 블록(236), 배선 시트(240) 및 접속 회로(242)의 각각의 형상, 설치 관계 등은, 제1 실시예에 있어서의 연결 블록(32), 결합 블록(34), 지지 블록(36), 배선 시트(40) 및 접속 회로(42)의 관계와 동일하다.

배선 시트(240)는, 제1 실시예에 있어서의 배선 시트(40)와 마찬가지로, 가요성의 제1 시트상 부재(268)와, 그 아랫면에 설치된 복수의 제1 배선(270)과, 각 제1 배선(270)의 일단부의 아랫면에 설치된 접촉 전극(272)을 갖춘다. 복수의 제1 배선(270)은, 제1 시트상 부재(268)의 아랫면에 설치되어 있고, 좌우방향으로 간격을 두고 프로브 블록(238)의 신장 방향을 따른 제1 시트상 부재(268)를 따라서 전후방향으로 연장하고 있다.

각 접촉 전극(272)은, 제1 배선(270)의 앞 부분에 형성되어 있고, 좌우방향에서 보면 대략 부채형 형상으로 되어 있다(도13을 참조). 이에 의해, 접촉 전극(272)은, 제1 시트상 부재(268)에 수직인 방향으로 제1 배선(270)에서 아래로 서는 전단면(272a)과, 제1 시트상 부재(268)에 수평인 방향으로 활 형상으로 연장하는 아랫면(272b)과, 전단면(272a) 및 아랫면(272b)에 의해 형성되는 모서리부(272c)를 갖는다. 제1 배선(270)의 신장단 쪽에서 제1 배선(270)에서 각 전극(14)을 향해서 돌출하는 각각의 접촉 전극(272)의 전단면(272a)은, 상기 전단면에 연속하는 아랫면(272b)보다도 제1 배선(270)의 신장단 쪽에 위치하고, 앞쪽에서 보면 사각형 형상의 단면을 가지고, 동일한 XZ면 위에 위치하고 있다. 전단면(272a)은, 상기한 예와 동일하게, 대응하는 제1 배선(270)의 폭방향으로 상기 배선과 교차하는 직각인 평탄면으로 구성되어 있다.

배선 시트(240)는, 프로브 블록(238)의 아랫면에, 예를 들어, 열경화성의 접착재에 의해 접착됨으로써 설치되어, 프로브 블록(238)에 지지되어 있다. 배선 시트(240)는, 프로브 블록(238)의 아랫면에 접착된 본체부(240a)와, 본체부(240a)에 연속하고, 프로브 블록(238)의 아랫면에서 상하방향으로 간격을 두고 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 경사 방향으로 연장하는 연재부(240c)를 갖춘다.

이에 의해, 배선 시트(240)는, 프로브 블록(238)에 붙여진 본체부(240a)와 프로브 블록(238)으로부터 간격을 둔 연재부(240c)와의 경계(240d)를 좌우방향으로 연장하는 축선으로 한 주위로 회전하도록 굴곡 가능하고, 연재부(240c)의 전단(前端)은 자유단으로 되어 있다.

배선 시트(240)를 지지하는 프로브 블록(238)은, 전후방향으로 긴 사각형의 단면 형상을 갖는 본체부(238a)와, 본체부(238a)의 앞 부분에서 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 경사 방향으로 연장하는 보조부(238b)를 포함한다. 보조부(238b)의 앞 부분은, 아래쪽으로 갈수록 앞쪽이 되는 경사 방향으로 개방하는 요소(凹所)(238c)를 갖고, 요소(238c)가 스토퍼(280)를 받아들이도록, 스토퍼(280)가 프로브 블록(238)에 설치되어 있다.

스토퍼(280)는, 설형(楔型)의 측면 형상을 갖고 있고, 상기 쐐기의 선단을 아래쪽으로 한 상태에서 프로브 블록(238)에 설치되어 있다. 스토퍼(280)는, 설형의 선단부가 배선 시트(240)의 연재부(240c)의 위쪽에 간격을 두고 위치하도록, 프로브 블록(238)의 보조부(238b)의 전면에 설치되어 있다.

스토퍼(280)의 선단은, 접촉 전극(272)에 대응된 위치에 배치되어 있다. 이에 의해, 배선 시트(240)의 접촉 전극(272)이 피검사체(12)의 전극(14)에 의해 위쪽으로 눌렸을 때, 스토퍼(280)는, 제1 시트상 부재(268)의 접촉 전극(272)이 설치된 쪽과 반대쪽 부위에 접촉된다. 따라서, 접촉 전극(272)이 전극(14)에 접촉할 때, 접촉 전극(272)은, 제1 시트상 부재(268)를 통하여 스토퍼(280)에 의해 아래쪽으로 눌려, 전극(14)에 확실하게 전기적으로 접속된다.

또한, 스토퍼(280)는, 탄성을 갖는 탄성 부재(282)와, 탄성 부재(282)의 표면의 일부를 덮는 표면층(284)을 갖춘다. 표면층(284)은, 적어도 탄성 부재(282)의 배선 시트(240)에 접촉하는 부분을 덮고 있다. 표면층(284)은, 배선 시트(240)와 탄성 부재(282)와의 사이에 윤활성을 제공하도록, 불소 코팅된 테이프와 같은 저마찰의 재료를 탄성 부재(282)에 붙이거나 또는 도포함으로써 형성된다.

피검사체(12)의 시험에 앞서, 피검사체(12)와 프로브 장치(230)가 서로 가까워지도록 상대적으로 이동된다. 이에 의해, 배선 시트(240)의 접촉 전극(272)이 피검사체(12)의 전극(14)에 접촉한다. 그러한 상대적 이동이 더 진행되면, 피검사체(12)의 전극(14)이 배선 시트(240)를 아래쪽에서 민다. 이에 의해, 배선 시트(240)가 위쪽으로 굴곡되어 배선 시트(240)의 연재부(240c)가 스토퍼(280)에 접촉한다.

피검사체(12)와 프로브 장치(230)가 서로 가까워지는 방향으로 더 이동되면, 배선 시트(240)의 연재부(240c)가 스토퍼(280)의 선단에 눌린다. 이때, 탄성부재(282)가 탄성을 갖기 때문에, 배선 시트(240)의 접촉 전극(272)은, 피검사체(12)의 전극(14)에 적절한 힘으로 눌려 확실하게 전기적으로 접속된다. 또한, 탄성 부재(282)와 배선 시트(240)와의 사이에 윤활성을 갖는 표면층(284)이 개재하기 때문에, 배선 시트(240)는, 스토퍼(280)에 스침으로 인한 손상이 방지된다.

[프로브 장치의 제4 실시예]

도14 및 도15를 참조하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 프로브 장치(330)는, 프로브 베이스(324)에 결합된 지지 블록(336)과, 지지 블록(336)에 지지된 프로브 블록(338)과, 프로브 블록(338)에 설치된 배선 시트 지지체(180)와, 프로브 블록(338)의 뒤쪽에 배치되어 지지 블록(336)에 지지된 협지(挾持) 수단(312)과, 프로브 블록(338) 및 배선 시트 지지체(180)의 아랫면에 설치된 배선 시트(340)와, 배선 시트(340)와 함께 협지 수단(312)에 협지된 접속시트(342)를 포함한다.

지지 블록(336)은, 프로브 베이스(324)에 결합된 결합부(336a)와, 결합부(336a)의 상부에서 앞쪽으로 연장하는 연장부(336b)와, 연장부(336b)의 앞 부분에서 아래쪽으로 연장하는 지지부(336c)에 의해, 아래쪽 및 좌우방향으로 개방하는 요소(凹所)(336d)를 갖도록 좌우방향에서 보면 단면 コ자 형상으로 형성되어 있다.

지지 블록(336)은, 결합부(336a)를 상하방향으로 관통하여 프로브 베이스(324)에 결합된 볼트(303)에 의해 프로브 베이스(324)에 분리 가능하게 결합되어 있다. 지지 블록(336)은, 전후방향으로 이간된 한 쌍의 위치결정 핀(302)에 의해 프로브 베이스(324)에 대하여 좌우방향 및 전후방향으로 위치가 결정되어 결합되어 있다.

프로브 블록(338)은, 지지 블록(336)의 지지부(336c)를 상하방향으로 관통하여 프로브 블록(338)에 결합하는 볼트(305)에 의해 지지부(336c)의 아래쪽에 분리 가능하게 결합되어 있다. 프로브 블록(338)은, 전후방향으로 이간된 한 쌍의 위치결정 핀(304)에 의해 지지 블록(336)에 대하여 좌우방향 및 전후방향으로 위치가 결정되어 결합되어 있다.

프로브 블록(338)은, 그 아랫면이 앞쪽으로 갈수록 아래쪽이 되는 기울기로 경사진 상태로 형성되어 있고, 배선 시트(340)가 상기 아랫면에 설치되어 있다. 또한, 프로브 블록(338)은, 그 앞 하부에 배선 시트 지지체(180)가 설치되는 단부(段部)(338a)를 갖춘다.

프로브 블록(338)에 지지된 배선 시트 지지체(180)는, 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 장치(130)의 배선 시트 지지체(180)이며, 그 일부가 프로브 블록(338)의 단부(338a)로 받아들여진 상태로 프로브 블록(338)에 설치되어 있다. 프로브 블록(338)의 경사진 상기 아랫면과 배선 시트 지지체(180)의 아랫면은, 함께 평탄면을 형성하고 있다.

배선 시트(340)는, 프로브 블록(338) 및 배선 시트 지지체(180)에 의해 형성된 상기 평탄면에 설치되어 있다. 배선 시트(340)는, 프로브 블록(338)의 아랫면에 설치된 주체부(340a)와, 배선 시트 지지체(180)의 아랫면에 설치된 연재부(340b)와, 주체부(340a)의 뒷부분에서 뒤쪽으로 연장하는 연재부(340c)와, 연재부(340c)의 뒷부분에서 위쪽으로 접힌 제1 접속영역(340d)을 갖는다.

배선 시트(340)는, 제1 실시예에 있어서의 배선 시트(40)와 마찬가지로, 가요성의 제1 시트상 부재(368)(도16(A) 참조)와, 제1 시트상 부재(368)에 설치된 복수의 배선(370)(도16(A) 참조)과, 각 배선(370)의 일단부의 아랫면에 설치된 접촉 전극(372)을 갖는다. 복수의 배선(370)은, 제1 시트상 부재(368)의 한쪽 면에 설치되어 있고, 좌우방향으로 간격을 두고 제1 시트상 부재(368)를 따라 전후방향으로 연장해 있다.

접속시트(342)는, 프로브 베이스(324) 및 지지 블록(336)의 연장부(336b)의 아래쪽에 배치되어 있다. 프로브 베이스(324)의 아랫면에는, 설치판(310)이 나사 부재(311)에 의해 설치되어 있고, 접속시트(342)는, 설치판(310)에 그 일부가 설치되어 있다.

접속시트(342)는, 전후방향으로 연장하는 제2 시트상 부재(306)와, 좌우방향으로 간격을 두고 전후방향으로 연장하는 상태로 제2 시트상 부재(306)의 아랫면에 설치된 제2 배선(308)을 갖추고(도16(A)를 참조), 전후방향으로 긴 FPC로 되어 있다. 또한, 접속시트(342)는, 액정 표시용 패널을 구동하는 구동 신호를 발생시키는 집적회로(60)가 장착되어 있다.

도16(A)를 참조하면, 접속시트(342)는, 그 앞 부분에 있어서, 접속시트(342)의 아랫면에 형성된 제2 배선(308)이 앞쪽을 향하는 상태로 위쪽으로 접힌 제2 접속영역(342a)을 갖춘다. 제2 접속영역(342a)에 있어서, 제2 배선(308)은, 배선 시트(340)의 제1 배선(370)에 대응되고, 제1 배선(370)과 동일한 숫자, 동일한 배선 간격으로 제2 시트상 부재(306)에 설치되어 있다.

배선 시트(340)와 접속시트(342)는, 제1 접속영역(340d)의 뒷면과 제2 접속영역(342a)의 앞면이 마주본 상태에서, 제1 및 제2 배선(370 및 308)이 접촉하도록 협지수단(312)에 의해 협지되어 있다.

제1 접속영역(340d)의 제1 배선(370) 및 제2 접속영역(342a)의 제2 배선(308)은 서로 동일한 간격으로 설치되어 있기 때문에, 배선 시트(340) 및 접속시트(342)가 협지될 때, 제1 및 제2 접속영역(340d 및 342a)이 좌우방향으로 위치가 맞추어지면, 제1 배선(370)과 이에 대응하는 제2 배선(308)이 정확하게 접속된다.

본 실시예에 있어서, 배선 시트(340) 및 접속시트(342)는, 제1 및 제2 접속영역(340d 및 342a)이 마주보는 상태, 즉 90° 정도의 각도로 접혀 있다. 이에 의해, 배선 시트(340) 또는 접속시트(342)를 180° 접는 경우와 비교하여, 제1 또는 제2 배선(370 또는 308)이 굴곡됨으로 인한 단선(斷線)을 방지할 수 있다.

특히, 프로브 장치(330)에 배선 시트(340) 및 접속시트(342)를 분리 가능하게 하여 양 시트(340 및 342)의 설치 및 분리를 여러 차례 실시하는 경우에, 양 시트(340 및 342)의 접는 각도를 작게 하는 것은, 양 시트(340 및 342)의 단선 불량을 방지하기 때문에 유효하다.

협지 수단(312)은, 제1 및 제2 협지 블록(314 및 316)을 포함하고, 제1 및 제2 협지 블록(314 및 316)은, 각각, 뒷면 및 앞면을 마주보게 한 상태에서, 제1 협지 블록(314)을 전후방향으로 관통하여 제2 협지 블록(316)에 결합하는 볼트(309)에 의해 결합되어 있다. 볼트(309)는, 제2 협지 블록(316)을 전후방향으로 관통하여 제1 협지 블록(314)에 결합되어도 좋다.

협지 부재(314)는, 지지 블록(336)의 연장부(336b)를 상하방향으로 관통하여 제2 협지 블록(316)에 결합하는 볼트(307)에 의해 결합되어 있다. 볼트(307)는, 연장부(336b)를 상하방향으로 관통하여 제1 협지 블록(314)에 결합되어도 좋다.

배선 시트(340)의 제1 접속영역(340d) 및 접속시트(342)의 제2 접속영역(342a)은, 제1 및 제2 협지 블록(314 및 316) 사이에 배치되어 협지되어 있다. 또한, 프로브 장치(330)는, 제1 협지 블록(314)과 제1 접속영역(340d)과의 사이에 배치된 탄성 부재(318)를 포함한다. 탄성 부재(318)는, 제2 협지블록(316)과 제2 접속영역(342a) 사이에 배치되어도 좋다.

배선 시트(340)와 접속시트(342)는, 금속 필러를 갖는 도전성 접착재와 같은 접착재에 의해 접속되어도 좋다. 그러나, 이 경우, 접착재에 의한 접속은, 접착재의 경화가 충분하지 않기 때문에 생기는 접속 불량의 문제를 갖는다. 본 실시예에 있어서, 배선 시트(340) 및 접속시트(342)는, 제1 및 제2 협지 블록(314 및 316) 및 볼트(309)에 의해 협지되어 접속되어 있다. 따라서, 접착재의 경화 불량에 의한 접속 불량의 문제를 일으키는 일은 없다.

그 때문에, 배선 시트(340)와 접속시트(342)는, 금속 필러를 갖는 도전성 접착재와 같은 접착재에 의해 접속되는 경우와 비교하여, 확실하게 접속된다. 또한, 탄성 부재(318)를 배치함으로써, 배선 시트(340)와 접속시트(342)는, 적절한 힘으로 협지되어 접속된다.

또한, 제1 배선(370)과 제2 배선(308)을 도전성 접착재에 의해 가(假)결합시키고 나서, 제1 및 제2의 협지 블록에 의해 제1 및 제2 접속 영역을 협지시켜도 좋다. 이 경우는, 배선 시트(340)와 접속시트(342)가 도전성 접착재만으로 결합되어 접속되는 경우와 비교하여, 도전성 접착재가 완전하게 경화하기 전에 협지 수단(312)에 의해 배선 시트(340)와 접속시트(342)를 협지시키면 되므로 양 시트의 접속 작업시간이 단축되어 접속 작업이 용이해진다.

또한, 접속시트(342)는, 그 뒷부분에서 접속회로(350)에 전기적으로 접속되어 있다. 도16(B)를 참조하면, 접속회로(350)는, 전후방향으로 연장하는 제3 시트상 부재(352)와, 좌우방향으로 간격을 두고 전후방향으로 연장하는 상태로 제3 시트상 부재(352)의 윗면에 설치된 제3 배선(354)을 갖추고, 전후방향으로 긴 FPC로 되어 있다. 제3 배선(354)은, 접속시트(342)의 제2 배선(308)에 대응되어, 제2 배선(308)과 동일한 수, 동일한 배선 간격으로 제3 시트상 부재(352)에 설치되어 있다.

접속시트(342) 및 접속회로(350)는, 접속시트(342)의 뒷부분의 아랫면과, 접속회로(350)의 앞 부분의 윗면이 마주보고, 제2 배선(308)과 제3 배선(354)가 접촉하도록 접속되어 있다. 제2 및 제3 배선(308 및 354)의 접촉하는 부분에 있어서, 프로브 베이스(324)의 설치판(310)에는, 좌우방향으로 연장하는 단면 반구 형상의 탄성부재(320)가 묻혀 있다.

접속 회로(350)의 아래쪽에는 판상 부재(322)가 배치되고, 판상 부재(322)는, 판상 부재(322)를 관통하여 프로브 베이스(324)에 결합하는 나사 부재(313)에 의해, 접속시트(342) 및 접속 회로(350)가 개재한 상태로 프로브 베이스에 결합되어 있다. 나사 부재(313)의 조임량을 조정함으로써, 판상 부재(322)는, 탄성 부재(320)와 함께 접속시트(342)와 접속 회로(350)를 적절한 힘으로 협지할 수 있다.

접속 회로(350)는, 프로브 베이스(324)에 배치된 중계 기판(도시하지 않음)을 통하여 시험장치(10)의 테스터에 전기적으로 접속되어 있다. 이에 의해, 상기 테스터로부터의 전기신호가 접속 회로(350), 접속시트(342) 및 배선 시트(340)를 통하여 피검사체(12)에 공급된다.

본 발명에 따른 프로브 장치에 있어서, 지지 블록(336)의 지지부(336c)를 전후방향으로 관통하는 관통 구멍을 볼트(309)에 대응시켜 설치해도 좋다. 그와 같이 하면, 프로브 장치를 조립한 후에, 상기 관통 구멍을 통하여 드라이버와 같은 공구에 의해 볼트(309)를 회전시킬 수 있다. 그와 같이 하면, 배선 시트(340) 및 접속시트(342)를 프로브 장치(330)에 부착한 후에도, 볼트(309)를 회전시킴으로써, 양 시트의 접속 작업을 할 수 있다.

[배선 시트의 다른 실시예]

배선 시트(40)는, 예를 들어, 도17(A)∼(D)에 나타낸 것과 같은, 여러 가지 형상의 접촉 전극을 가질 수 있다.

도17(A)를 참조하면, 배선 시트(40A)는, 제1 시트상 부재(68)와, 제1 시트상 부재(68)에 설치된 제1 배선(70)과, 사각형 및 부채형상을 조합시킨듯한 측면 형상을 갖는 접촉 전극(472)을 갖춘다. 접촉 전극(472)은, 제1 배선(70)의 전단부에서 제1 시트상 부재(68)에 대하여 수직 방향으로 직선상으로 아래로 서는 전단면(472a)과, 제1 시트상 부재(68)에 대하여 수평 방향으로 직선상으로 연장하는 아랫면(472b)과, 전단면(472a) 및 아랫면(472b)에 의해 형성되는 모서리부(472c)를 갖는다. 제1 배선(70)의 전단부인 신장단에서 각 전극(14)을 향하여 돌출하는 각각의 접촉 전극(472)의 전단면(472a)은, 그 전단면에 연속하는 아랫면(472b)보다도 제1 배선(70)의 신장단 쪽에 위치하고, 전단면(472a)은, 상기한 예와 동일하게, 대응하는 제1 배선(70)의 폭방향으로 그 배선과 교차하는 직각인 평탄면으로 구성되어 있다.

도17(B)를 참조하면, 배선 시트(40B)는, 제1 시트상 부재(68)와, 제1 시트상 부재(68)에 설치된 제1 배선(70)과, 사각형의 측면 형상을 갖는 접촉 전극(572)을 갖춘다. 접촉 전극(572)은, 제1 배선(70)의 전단부에서 제1 시트상 부재(68)에 대하여 수직 방향으로 직선상으로 아래로 서는 전단면(572a)과, 제1 시트상 부재(68)에 대하여 수평 방향으로 직선상으로 연장하는 아랫면(572b)과, 전단면(572a) 및 아랫면(572b)에 의해 형성되는 모서리부(572c)를 갖는다. 제1 배선(70)의 전단부인 신장단에서 각 전극(14)을 향하여 돌출하는 각각의 접촉 전극(572)의 전단면(572a)은, 그 전단면에 연속하는 아랫면(572b)보다도 제1 배선(70)의 신장단 쪽에 위치하고, 전단면(572a)은, 상기한 것과 같이, 대응하는 제1 배선(70)의 폭방향으로 그 배선과 교차하는 직각인 평탄면으로 구성되어 있다.

접촉 전극(472 및 572)을 갖는 배선 시트(40A 및 40B)에 의하면, 아랫면(472b 및 572b)이 제1 시트상 부재(68)에 대하여 직선상으로 연장하고 있기 때문에, 전극(14)에 접촉하는 면적은, 접촉 전극(72)의 활 형상으로 연장하는 아랫면(72b)보다도 크다. 따라서, 접촉 전극(72)과 전극(14)과의 접촉 저항을 줄일 수 있다.

도17(C)를 참조하면, 배선 시트(40C)는, 제1 시트상 부재(68)와, 제1 시트상 부재(68)에 설치된 제1 배선(70)과, 대략 부채형상의 단면을 갖는 접촉 전극(672)을 갖는다. 접촉 전극(672)은, 제1 배선(70)의 전단부에서 제1 시트상 부재(68)에 대하여 아래쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사 방향으로 직선상으로 예각으로 아래로 서는 전단면(672a)과, 배선 시트에 대하여 수평 방향으로 활 형상으로 연장하는 아랫면(672b)과, 전단면(672a) 및 아랫면(672b)에 의해 형성되는 모서리부(672c)를 갖는다. 즉, 전단면(672a)의 아래로 서는 각도를 변경함으로써, 모서리부(672c)의 각도를 조정할 수 있다. 제1 배선(70)의 신장단 쪽에서 각 전극(14)을 향하여 돌출하는 각각의 접촉 전극(472)의 전단면(672a)은, 그 전단면에 연속하는 아랫면(672b)보다도 제1 배선(70)의 신장단 쪽에 위치하고, 전단면(672a)은, 대응하는 제1 배선(70)의 폭방향으로 그 배선과 예각으로 교차하는 경사 평탄면으로 구성되어 있다.

도17(D)를 참조하면, 배선 시트(40D)는, 제1 시트상 부재(68)와, 제1 시트상 부재(68)에 설치된 제1 배선(70)과, 대략 부채형상의 단면을 갖는 접촉 전극(772)을 갖는다. 접촉 전극(772)은, 제1 배선(70)에서 제1 시트상 부재(68)에 대하여 수직 방향으로 직선상으로 아래로 서는 전단면(772a)과, 제1 시트상 부재(68)에 대하여 수평 방향으로 활 형상으로 연장하는 아랫면(772b)과, 전단면(772a) 및 아랫면(772b)에 의해 형성되는 모서리부(772c)를 갖는다. 제1 배선(70)의 신장단으로부터 간격을 두고 배치되고 각 전극(14)을 향하여 돌출하는 각각의 접촉 전극(772)의 전단면(772a)은, 그 전단면에 연속하는 아랫면(472b)보다도 제1 배선(70)의 신장단 쪽에 위치하고, 전단면(772a)은, 상기한 것과 같이, 대응하는 제1 배선(70)의 폭방향으로 그 배선과 교차하는 직각인 평탄면으로 구성되어 있다.

제1 시트상 부재(68) 및 제1 배선(70)의 각각은, 접촉 전극(772)의 전단면(772a)에서 앞쪽까지 연장하는 연장부(68a) 및 연장부(70a)를 갖고, 연장부(68a 및 70a)는, 전단면(772a)의 높이 치수와 대략 동일한 길이 치수를 갖는다. 이러한 배선 시트(40D)를 프로브 장치(30)에 이용함으로써, 접촉 전극(772)을 피검사체(12)의 전극(14)에 접촉시킬 때, 제1 배선(70)의 연장부(70a)의 선단도 피검사체(12)에 접촉시킬 수 있기 때문에, 제1 시트상 부재(68), 제1 배선(70) 및 접촉 전극(772)은, 배선 시트(40D)의 피검사체(12)로부터 눌리는 힘을 분산하여 받을 수 있다.

본 발명은, 상기 실시예에 한정되지 않고, 특허 청구의 범위에 기재된 취지를 벗어나지 않는 한, 여러 가지로 변경할 수 있다.

10: 시험장치 12: 피검사체
30, 130, 230, 330: 프로브 장치 38, 138, 238, 338: 프로브 블록
38d, 138d: (프로브 블록의) 앞 하단부(前下端部)
40, 140, 240, 340: 배선 시트
40c, 140c, 240c: (배선 시트의) 연재부(延在部)
68, 168, 268, 368: 제1 시트상 부재
70, 170, 270, 370: 제1 배선 72, 172, 272, 372: 접촉 전극
72a, 172a, 272a: (접촉 전극의) 전단면(前端面)
72b, 172b, 272b: (접촉 전극의) 아랫면
72c, 172c, 272c: (접촉 전극의) 모서리부
180: 배선 시트 지지체 180b: (배선 시트 지지체의) 연장부
182: 판상 부재 184: 탄성 부재
280: 스토퍼 282: 탄성 부재
284: 표면층 306: 제2 시트상 부재
308: 제2 배선 312: 협지(挾持) 수단
314: 제1 협지블록 316: 제2 협지블록
318: 제2 탄성 부재 336: 지지블록
340d: 제1 접속영역 342: 접속시트
342a: 제2 접속영역

Claims

뒷면에서 지지대에 지지되고 표면에 전극이 설치된 피검사체의 전기 검사를 위한 프로브 장치로서,
상기 지지대로부터 간격을 두고 그 지지대를 따라서 신장하도록 프레임 부재에 지지되고, 상기 지지대와 마주보는 면을 갖는 프로브 블록; 및
상기 프로브 블록의 상기 지지대와 마주보는 면에 배치되는 배선 시트로서 상기 프로브 블록의 상기 지지대와 마주보는 면으로부터 떨어져 경사 각도로 상기 지지대를 향해 신장하는 연재부를 갖추는 배선 시트를 포함하고,
상기 배선 시트는, 한쪽 면이 상기 프로브 블록의 상기 지지대와 마주보는 면에 붙여진 전기 절연 재료로 이루어지는 제1 시트상 부재와, 상기 제1 시트상 부재의 다른쪽 면에 형성되어 상기 프로브 블록의 신장 방향과 직각인 방향으로 서로 간격을 두고 상기 블록의 신장 방향으로 연장하는 복수의 제1 배선과, 상기 배선 시트의 연재부에서 각 제1 배선으로부터 상기 피검사체의 대응하는 전기 전극을 향하여 돌출하도록 상기 제1 배선에 형성된 접촉 전극을 갖추고,
각 접촉 전극은, 상기 제1 배선에서 상기 지지대를 향하여 돌출하는 전단면과, 상기 전단면에 연속하는 직선상 또는 활 형상의 면을 갖고, 상기 전단면은 그 전단면에 연속하는 상기 직선상 또는 활 형상의 면보다도 상기 제1 배선의 신장단 쪽에 위치하여 상기 전단면에 연속하는 상기 직선상 또는 활 형상의 면과 상기 전단면으로, 상기 피검사체의 상기 전극의 표면을 깎기 위한 모서리가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제1항에 있어서, 상기 전단면은, 상기 제1 배선의 폭방향으로 제1 배선과 교차하는 평탄면인 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제1항에 있어서, 상기 프로브 블록의 상기 신장단 부분에서 상기 지지대와 마주보는 면에 설치된 가요성의 배선 시트 지지체로서 상기 프로브 블록의 상기 신장단을 넘어 상기 경사 각도로 신장하고, 상기 배선 시트의 상기 연재부를 지지하는 연장부를 갖추는 배선 시트 지지체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제3항에 있어서, 상기 배선 시트 지지체는, 상기 경사 각도를 따르도록 한쪽 면에서 상기 프로브 블록에 설치된 가요성을 갖는 판상 부재와, 상기 판상 부재의 다른쪽 면에 한쪽 면이 설치된 제1 탄성 부재를 갖추고,
상기 제1 시트상 부재는, 상기 제1 탄성 부재의 다른쪽 면에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 배선 시트 지지체는 반투명 또는 투명한 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 프로브 블록의 뒤쪽에서 상기 배선 시트에 대응하여 배치된 접속시트로서, 상기 제1 시트상 부재에 대응하여 상기 프로브 블록의 신장 방향을 따라 연장하는 제2 시트상 부재와, 상기 제1 배선에 대응하여 상기 제2 시트상 부재에 형성된 복수의 제2 배선으로서 상기 제2 시트상 부재를 따라 상기 제2 시트상 부재의 신장 방향으로 연장하는 복수의 제2 배선을 갖추는 접속시트를 더 포함하고,
상기 배선 시트는, 상기 연재부가 설치된 쪽과 반대쪽인 뒷부분에서 상기 제1 배선이 설치된 면이 뒤쪽을 향하는 상태로 꺽어 구부러진 제1 접속영역를 갖고,
상기 접속시트는, 상기 배선 시트의 상기 뒷부분에 인접하는 앞 부분에서 상기 제2 배선이 설치된 면이 앞쪽을 향하는 상태로 꺽어 구부러진 제2 접속영역으로서, 상기 제1 및 제2 배선이 접촉하도록 상기 제1 접속영역과 마주보는 제2 접속영역을 갖고,
상기 제1 및 제2 접속영역은, 상기 제1 및 제2 접속영역이 마주보는 면에서 상기 제1 및 제2 배선이 접촉하도록 협지수단에 의해 전후방향에서 협지되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제6항에 있어서, 상기 협지수단은, 상기 제1 및 제2 접속영역을 협지하도록, 전후방향으로 마주보고 배치되어 서로 결합되는 제1 및 제2 협지블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제7항에 있어서, 상기 프로브 블록과 상기 제1 및 제2 협지블록은, 지지블록을 거쳐서 상기 프레임 부재에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2 협지블록의 적어도 어느 한쪽에 설치된 제2 탄성 부재로서, 상기 제1 또는 제2 접속영역과 상기 제1 또는 제2 협지블록의 사이에 개재하는 제2 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제1항에 있어서, 상기 프로브 블록에 설치되고, 상기 프로브 블록과 상기 지지대와의 상대 운동에 의해 상기 배선 시트의 상기 접촉 전극이 상기 피검사체의 대응하는 상기 전극에 내리눌렸을 때 상기 배선 시트의 상기 연재부의 과대한 변형을 억제하도록, 상기 프로브 블록으로부터 상기 배선 시트의 상기 연재부에서의 상기 제1 시트상 부재의 상기 한쪽 면에 간격을 두고 그 한쪽 면에 접촉 가능하게 신장하는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
제10항에 있어서, 상기 스토퍼는, 탄성을 갖는 제1 탄성 부재와, 상기 제1 탄성 부재를 덮어 상기 배선 시트의 상기 제1 시트상 부재에 대한 마찰을 줄이기 위한 표면층을 갖추는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.