KR100940199B1 - 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치 및 제조 방법 - Google Patents

평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치 및 제조 방법 Download PDF

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Abstract

평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치는 와이어 공급부, 권취부, 구동부 및 후속 공정부를 포함한다. 와이어 공급부는 프로브 핀들을 형성하기 위한 와이어를 공급한다. 권취부에는 일정한 피치의 슬릿들이 형성된 복수의 슬라이싱 블록들이 부착되고, 권취부는 회전축 둘레로 회전 이동함과 동시에 회전축 방향으로 직선 이동하여 복수의 슬라이싱 블록들의 슬릿들을 따라 와이어 공급부로부터 공급되는 와이어를 나선형으로 동시에 정렬한다. 구동부는 권취부의 회전 이동과 회전축 방향의 직선 이동을 조절한다. 후속 공정부는 복수의 슬라이싱 블록들의 각각에 대하여 와이어를 접착하고 와이어의 일부가 슬라이싱 블록으로부터 노출되도록 절단하여 각각의 핀 정렬 블록으로 분리한다.

Description

평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치 및 제조 방법{Device and Method of Manufacturing Pin Alignment Block for Testing Flat Panel Display Devices}
본 발명은 프로브 핀의 정렬 블록에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 와이어형 핀으로 구현된 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 TFT-LCD, PDP, OLED 등의 평판표시장치의 패널은 무수히 많은 셀로 이루어진 화소(픽셀, pixel)들이 배열되어 있고, 내부 구조는 장치마다 특징이 있지만 영상 신호를 인가하는 영상신호 전극 및 구동 회로는 공통적으로 구비되어 있다. 평판표시장치의 패널의 제조를 완료한 후, 패드 전극에 프로브 블록의 탐침 또는 프로브 핀(probe pin)들을 접촉하여 전기신호를 인가함으로써 최종적으로 제품화되기 전에 제조 공정에서 발생할 수 있는 결함의 유무를 검사하는 테스트 공정이 수행된다.
평판표시장치의 테스트는, 프로브 블록 및 이를 포함하는 프로브 조립체와 같은 프로빙 장치를 이용하여 평판표시장치의 패드 전극과 테스트 장비의 인쇄회로 기판(PCB; Printed Circuit Board) 블록을 전기적으로 연결하여 이루어진다. 이러한 프로브 블록은 니들 타입(Needle-type), 블레이드 타입(Blade-type), 필름 타입(Film-type), 멤스 타입(MEMS-type) 등과 같이 다양한 형태로 개발 사용되고 있다.
최근에 평판표시장치가 고집적화됨에 따라 평판표시장치의 패턴의 선폭이 극도로 작아지고 있으며 생산 수율을 관리하기 위해 반복 재현성 및 신뢰성이 확보된 프로빙 장치를 필요로 하고 있다. 따라서 평판표시장치의 미세 피치(Fine Pitch)에 대응이 가능함과 동시에 재현성, 신뢰성, 및 생산성이 뛰어난 프로브 장치의 개발이 절실히 요구되고 있다. 종래의 기술에서 니들 타입의 경우 니들을 소정의 길이로 정열한 후 에폭시와 같은 접착제를 이용하여 고정한 후 사용하기 때문에 작업 시간이 오래 걸려 생산량을 증가 시키는데 문제가 있으며 많은 노동력을 요구하고 있다. 그리고 블레이드 타입은 미세 가공된 부품을 많이 사용하여 재료비 부담 및 미세 정렬에 필요한 숙련된 많은 조립 인력이 필요하게 된다. 필름 타입과 멤스 타입은 이물질에 의한 접촉 불량이 자주 발생할 수 있으며 테스트 준비 작업에 있어서 탐침이 보이지 않는 문제로 인해 테스트 준비 시간이 많이 걸리는 문제점이 있다. 이러한 문제점들을 보완한 제품이 절실하게 요구되고 있는 실정이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일 목적은, 미세 정렬 공정에 의해 와이어형 프로브 핀들을 효율적으로 정렬하고 가공할 수 있는 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 미세 정렬 공정에 의해 와이어형 프로브 핀들을 효율적으로 정렬하고 가공할 수 있는 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치를 제공하는 것이다.
상기 일 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치는 와이어 공급부, 권취부, 구동부 및 후속 공정부를 포함한다.
상기 와이어 공급부는 프로브 핀들을 형성하기 위한 와이어를 공급한다. 상기 권취부에는 일정한 피치의 슬릿들이 형성된 복수의 슬라이싱 블록들이 부착되고, 상기 권취부는 회전축 둘레로 회전 이동함과 동시에 회전축 방향으로 직선 이동하여 상기 복수의 슬라이싱 블록들의 슬릿들을 따라 상기 와이어 공급부로부터 공급되는 와이어를 나선형으로 동시에 정렬한다. 상기 구동부는 상기 권취부의 회전 이동과 회전축 방향의 직선 이동을 조절한다. 상기 후속 공정부는 상기 복수의 슬라이싱 블록들의 각각에 대하여 와이어를 접착하고 상기 와이어의 일부가 상기 슬라이싱 블록으로부터 노출되도록 절단하여 각각의 핀 정렬 블록으로 분리한다.
상기 구동부는, 상기 권취부가 1회전할 때마다 상기 피치만큼 회전축 방향으로 직선 이동하도록 조절할 수 있다.
상기 슬릿들의 피치(P)에 대하여, 상기 권취부의 회전 이동의 평균 각속도(Wa)와 회전축 방향의 평균 직선 이동 속도(Vy)는 2πVy=PW 를 만족할 수 있다.
상기 와이어의 지름은 20 내지 50 미크론일 수 있으며, 상기 와이어의 노출된 일부의 길이는 0.005 내지 3 밀리미터일 수 있다.
상기 다른 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 방법은, 복수의 슬라이싱 블록들의 각각에 일정한 피치의 슬릿들을 형성하는 단계, 상기 복수의 슬라이싱 블록들을 권취부의 둘레에 부착하는 단계, 상기 권취부를 회전축 둘레로 회전 이동함과 동시에 회전축 방향으로 직선 이동하여, 프로브 핀들을 형성하기 위한 와이어를 상기 복수의 슬라이싱 블록들의 슬릿들을 따라 나선형으로 동시에 정렬하는 단계, 상기 복수의 슬라이싱 블록들의 각각에 대하여 상기 정렬된 와이어를 접착하는 단계, 및 상기 복수의 슬라이싱 블록들의 각각에 대하여 상기 와이어의 일부가 상기 슬라이싱 블록으로부터 노출되도록 절단하여 각각의 핀 정렬 블록으로 분리하는 단계를 포함한다.
상기 와이어를 나선형으로 동시에 정렬하는 단계는, 상기 권취부가 1회전할 때마다 상기 피치만큼 회전축 방향으로 직선 이동하도록 조절하는 단계를 포함할 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 실시예들에 따른 핀 정렬 블록의 제조 장치 및 제조 방법은 자동화 공정에 의해 복수의 핀 정렬 블록들을 동시에 제조함으로써 생산성을 향상시키고, 고집적화되고 있는 평판표시장치의 미세 피치에 적극적으로 대응할 수 있다. 또한 상기 제조 장치 및 방법에 의해 제조된 핀 정렬 블록을 이용한 프로브 블록은 미세 가공 및 미세 정렬된 와이어형 프로브 핀들의 탄성을 이용하여 장치의 파손 가능성을 감소하고 평판표시장치의 테스트 효율성을 향상시킬 수 있다.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제 1 구성요소는 제 2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성요소도 제 1 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
한편, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정 블록 내에 명기된 기능 또는 동작이 순서도에 명기된 순서와 다르게 일어날 수도 있다. 예를 들어, 연속하는 두 블록이 실제로는 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 관련된 기능 또는 동작에 따라서는 상기 블록들이 거꾸로 수행될 수도 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 핀 정렬 블록의 제조 장치(1000)는 와이어 공급부(20), 권취부(30), 구동부(40) 및 후속 공정부(50)를 포함한다. 제조 장치(1000)에는 시각을 통하여 제조 공정을 모니터링하기 위한 비젼 검사 카메라(60), 공정 조건, 비젼 검사 카메라(60)로부터의 영상을 표시하는 디스플레이(80), 제조 장치(1000)의 전체적인 동작을 제어하는 제어부(70) 등을 더 포함할 수 있으며, 상기 구성 요소들은 선반(10) 상에 고정될 수 있다.
프로브 핀(도 3, 162)들을 형성하기 위한 와이어(wire)(24)를 공급하는 와이어 공급부(20)는 와이어(24)가 권취되어 있는 수납부(21) 및 와이어의 공급 경로를 고정하기 위한 가이드(22, 23)를 포함할 수 있다. 가이드(22, 23)는 링 또는 풀리(pulley) 등의 형태로 구현될 수 있다. 가이드(22, 23)는 와이어의 공급 경로를 고정하는 역할뿐만 아니라 와이어가(24)가 권취부(30)에 권취될 때 일정한 장력을 제공하는 역할을 할 수 있다.
권취부(30)에는 일정한 피치의 슬릿들이 형성된 복수의 슬라이싱 블록(90들이 부착된다. 권취부(30)는 회전축 둘레로 회전 이동함과 동시에 회전축 방향(Y)으로 직선 이동하여 복수의 슬라이싱 블록(90)들의 슬릿들을 따라 와이어 공급부(20)로부터 공급되는 와이어(24)를 나선형으로 동시에 정렬한다. 구동부(40)는 전동 모터 및 기어를 포함할 수 있고, 권취부(30)의 회전 이동과 회전축 방향의 직선 이동을 조절한다. 후속 공정부(50)는 복수의 슬라이싱 블록(90)들의 각각에 대하여 와이어(24)를 접착하고 와이어(24)의 일부가 슬라이싱 블록(90)으로부터 노출되도록 절단한다. 이를 위하여 후속 공정부(50)는 레이저 절단기를 포함할 수 있다. 이와 같이 절단되어 분리된 각각의 슬라이싱 블록(90) 및 이에 부착된 와이어(24)는 각각의 핀 정렬 블록(도 3, 160)을 형성한다.
도 2는 복수의 슬라이싱 블록들이 부착된 권취부 및 권취 동작을 나타내는 도면이다.
도 2에는 설명의 편의상 4개의 슬라이싱 블록(90)들이 부착된 예가 도시되어 있으나, 권취부(30)의 둘레에 동시에 부착되는 슬라이싱 블록(90)들의 개수는 실시예에 따라 변경될 수 있다. 슬라이싱 블록(90)들은 권취부(30)에 구비된 클립(32)과 같은 체결 수단에 의해 부착될 수 있다. 권취부(30)가 회전 이동을 하면 가이드(23)를 따라 와이어(24)가 연속적으로 공급된다. 이때 권취부(30)는 회전 이동과 동시에 회전축 방향(Y)으로 직선 이동을 하고, 결과적으로 복수의 슬라이싱 블 록(90)들의 슬릿들을 따라 와이어(24)가 나선형으로 권취되어 복수의 슬라이싱 블록(90)들에 대하여 프로브 핀(162)을 형성하기 위한 와이어(24)가 동시에 정렬된다.
구동부(40)는 권취부(30)가 1회전할 때마다 슬릿(92)들의 피치만큼 회전축 방향으로 직선 이동하도록 조절한다. 일 실시예에서, 구동부(40)는 권취부(30)가 1회전을 완결할 때마다 단속적으로 슬릿(92)들의 피치만큼 권취부(30)가 회전축 방향으로 직선 이동하도록 조절할 수 있다. 다른 실시예에서, 구동부(40)는 권취부(30)의 회전 이동에 대해서 연속적으로 권취부(30)가 회전축 방향으로 직선 이동하도록 조절할 수도 있다. 이 경우 슬릿(92)들의 피치를 P라고 하면, 권취부(30)의 회전 이동의 평균 각속도(Wa)와 회전축 방향의 평균 직선 이동 속도(Vy)는 다음 식을 만족한다.
W:2π=Vy:P, 즉, 2πVy=PW
각각의 핀 정렬 블록(160)으로 분리된 후 프로브 핀(162)이 긴 막대 형상으로 복원될 수 있도록 와이어(24)의 권취 반경은 충분히 확보되어야 한다. 즉 와이어(24)가 견딜 수 있는 탄성력을 넘지 않도록 와이어(24)의 권취 반경이 결정되며, 이는 와이어(24)의 재질 및 지름에 따라 결정될 수 있다.
예를 들어, 프로브 핀(162)을 형성하기 위한 와이어(24)의 지름은 20 내지 50 미크론일 수 있으며, 슬라이싱 블록(90)으로부터 노출된 와이어의 일부의 길이는 0.005 내지 3 밀리미터일 수 있다. 이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록(160)의 제조 장치(1000)는 고집적화되고 있는 평판표 시장치의 미세 피치에 적극적으로 대응하기에 적합하다.
도 3은 도 1의 제조 장치에 의해 제조된 핀 정렬 블록을 나타내는 도면이고, 도 4는 핀 정렬 블록에 정렬된 프로브 핀들의 상태를 나타내는 도면이다. 도 3에는 제조된 핀 정렬 블록(160)의 정면도, 평면도 및 좌측면도가 도시되어 있으며, 도 3에는 핀 정렬 블록(160)의 하면 상단의 일부를 촬상한 사진이 도시되어 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 프로브 핀(162)들이 접착 테이프(164)에 의해 슬라이싱된 핀 정렬 블록(160)에 고정되어 있다. 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 프로브 핀(162)은 긴 막대 형상의 와이어형 핀이다. 도 3에 도시된 사진은, 프로브 핀(162)을 형성하는 와이어(24)는 핀의 강도 및 탄성을 고려하여 30미크론의 직경을 갖는 텅스텐 원형 와이어를 사용하고, 프로브 핀(162)의 상단의 노출 길이는 약 800 미크론으로 한 실시예를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 5를 참조하면, 먼저 복수의 슬라이싱 블록(90)들의 각각에 일정한 피치의 슬릿(92)들을 형성한다(단계 S110). 슬릿(92)들이 형성된 슬라이싱 블록(90)들을 권취부(30)의 둘레에 부착한다(단계 S120). 슬라이싱 블록(90)들을 권취부(30)의 둘레에 부착한 상태에서, 권취부(30)를 회전축(34) 둘레로 회전 이동함과 동시에 회전축 방향(Y)으로 직선 이동하여, 프로브 핀(162)들을 형성하기 위한 와이어(24)를 슬라이싱 블록(90)들의 슬릿(92)들을 따라 나선형으로 동시에 정렬한다(단계 S130). 이후 핀 정렬 블록(160)의 제조를 위한 후속 공정이 수행된다. 즉, 슬라이 싱 블록(90)들의 각각에 대하여 정렬된 와이어(24)를 접착하고(단계 S140), 슬라이싱 블록(90)들의 각각에 대하여 와이어(24)의 일부가 슬라이싱 블록(90)으로부터 노출되도록 절단하여 각각의 핀 정렬 블록(160)으로 분리한다(단계 S150).
상기 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치 및 제조 방법은 복수의 핀 정렬 블록들을 동시에 제조하여 생산성을 향상하고, 평판표시장치 패널의 미세화되는 피치에 상응하는 프로브 장치를 구현할 수 있다.
이하 본 발명의 실시예들에 따른 장치 및 방법에 의해 제조된 핀 정렬 블록(160)을 이용한 프로브 장치에 대하여 설명한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록을 이용한 프로브 블록을 나타내는 사시도이고, 도 7은 도 6의 프로브 블록의 분리 사시도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 프로브 블록(100)은 피검사 장치인 평판표시장치의 전극 패드에 전기적으로 연결되고, 연성회로기판(300)은 프로브 블록(100)을 테스트 장치의 인쇄회로기판(PCB)과 전기적으로 연결한다.
프로브 블록(100)은 상부 블록(120), 하부 블록(140) 및 핀 정렬 블록(160)을 포함한다. 핀 정렬 블록(160)은 상기 설명한 장치 및 방법에 의해 제조된 와이어형(Wire-type) 프로브 핀(162)들로 구현된 것이다.
상부 블록(120)의 전단에는 수평면과 예각(A)을 이루는 하면을 갖는 제1 경사부(128)가 형성된다. 상부 블록(120)에는 프로브 블록(100)의 높이 단차를 조절 하는 메니플레이트와의 결합을 위한 체결공(122), 측면 보호 커버(130)와의 결합을 위한 체결공(124), 하부 블록(140)과의 결합을 위한 체결공(126)이 형성될 수 있다.
하부 블록(140)의 전단에는 수평면과 예각(A)을 이루는 상면을 갖는 제2 경사부(148)가 형성된다. 상부 블록(120)의 제1 경사부(128)의 하면과 하부 블록(140)의 제2 경사부(148)의 상면 사이에 핀 정렬 블록(160)이 고정된다. 예를 들어, 하부 블록(140)에는 상부 블록(120)과의 체결을 위한 돌출부(144)가 형성될 수 있으며, 이 경우, 상부 블록(120)의 체결공(126)과 돌출부(144)의 체결공(146)을 통하여 체결 나사(142)를 결합함으로써 하부 블록(140)과 상부 블록(120)이 체결될 수 있다.
핀 정렬 블록(160)의 하면에는 일정한 피치(pitch)의 슬릿들이 형성되고, 슬릿들의 피치는 피검사장치인 평판표시장치의 전극 패드의 전극 사이의 피치와 같도록 형성된다. 여기서 와이어형 핀(162)들은 와이어를 절단한 긴 막대 모양의 형상을 가지며, 와이어형 핀(162)핀들은 정렬 블록(160)의 하면에 형성된 슬릿들에 정렬되고 접착 부재를 이용하여 고정될 수 있다.
이와 같은 핀 정렬 블록(160)이 상부 블록(120)의 제1 경사부(128)의 하면과 하부 블록(140)의 제2 경사부(148)의 상면 사이에 고정됨으로써 와이어형 핀(162)들이 수평면과 예각(A)을 이룬다. 와이어형 핀(162)들의 탄성에 의해 평판표시장치의 전극 패드에 예각(A)을 이루면서 접촉하도록 와이어형 핀(162)들의 전단이 핀 정렬 블록(160)의 전단으로부터 노출된다. 예각(A)은 프로브 핀(162)의 탄성율 및 접촉 면적을 고려하여 결정될 수 있다.
구동 회로 유닛(150)은 와이어형 핀(162)들의 후단과 전기적으로 연결되고, 상부 블록(120)과 하부 블록(140) 사이에 고정된다. 구동 회로 유닛(150)의 후단은 연성회로기판(300)과의 전기적 연결을 위한 전극부(152)에 해당하며, 전극부(152)는 상부 블록(120)의 후단으로 노출될 수 있다. 이 경우 상부 블록(120), 하부 블록(140) 및 구동 회로 유닛(150)이 모두 결합된 후에도 구동 회로 유닛(150)과 연성회로기판(300)의 결합 작업이 수행될 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이 프로브 블록(100)은 측면 보호 커버(130)를 더 포함할 수 있다. 상부 블록(120)의 체결공(124)과 측면 보호 커버(130)의 체결공(134)을 통하여 체결 나사(132)를 결합함으로써 상부 블록(140)의 제1 경사부(128)의 양 측면에 측면 보호 커버(134)가 결합될 수 있다. 측면 보호 커버(130)는 평판표시장치의 전극 패드와의 접촉시에 와이어형 핀(162)들에 가해지는 탄성력이 임계값을 초과하는 것을 방지하는 역할을 한다. 측면 보호 커버(130) 아래로 노출되는 와이어형 핀(162)의 길이는, 와이어형 핀(162)과 수평면이 이루는 예각(A), 와이어형 핀(162)의 길이, 단면적, 재질 등을 고려하여 결정될 수 있고, 이와 같이 측면 보호 커버(130)는 와이어형 핀(162)들의 탄성력에 의해 평판표시장치의 전극 패드와의 안정적인 접촉을 보장함과 동시에 과도한 구부러짐에 의해 와이어형 핀(162)들이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도 8 및 도 9는 프로브 핀과 구동 회로 유닛의 연결 방법을 나타내는 도면들이다.
도 8을 참조하면, 와이어형 핀(162)들의 후단과 구동 회로 유닛(150)은 전도성 접착제 또는 이방성 전도 필름과 같은 접착 부재(166)에 의해 전기적으로 연결될 수 있다. 이 경우 상기 설명한 도 5의 단계 S150에서, 에폭시, 접착 테이프와 같은 접착 부재(164)에 의해 핀 정렬 블록(160)의 슬릿에 정렬되어 고정된 프로브 핀(162)들은 평판표시장치의 전극 패드에 접촉되는 전단만이 핀 정렬 블록(160)의 전단으로부터 노출되고 후단은 노출되지 않을 수 있다.
도 9를 참조하면, 와이어형 핀(162)들의 후단과 구동 회로 유닛(150)의 결합은 접착 부재(166)를 사용하지 않고, 와이어형 핀(162)들의 탄성에 의해 이루어질 수 있다. 이 경우 상기 설명한 도 5의 단계 S150에서, 프로브 핀(162)들의 전단(162a) 뿐만 아니라 구동 회로 유닛(150)에 접촉하도록 와이어형 핀(162)들의 후단(162b)이 핀 정렬 블록(160)의 후단으로부터 노출될 수 있다. 도 9에 도시된 바와 같이, 상부 블록(120)의 하면에는 구동 회로 유닛(150)의 파손을 방지하기 위한 보강판(170)이 부착될 수 있고, 프로브 핀(162)은 구동 회로 유닛(150)과 예각을 이루면서 탄성에 의해 전기적으로 연결될 수 있다.
본 발명은 평판표시장치의 테스트를 위한 핀 정렬 블록의 제조에 유용하게 이용될 수 있으며 핀 정렬 블록이 요구되는 프로브 블록, 프로브 조립체 및 이를 포함하는 테스트 시스템에 유용하게 이용될 수 있다. 특히 본 발명은 고집적화된 와이어형 핀들의 탄성을 이용하여 피검사 장치와의 접촉을 수행함으로써 미세 피치가 요구되는 테스트 시스템에 더욱 유용하게 이용될 수 있다.
상기에서는 본 발명이 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 복수의 슬라이싱 블록들이 부착된 권취부 및 권취 동작을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 제조 장치에 의해 제조된 핀 정렬 블록을 나타내는 도면이다.
도 4는 핀 정렬 블록에 정렬된 프로브 핀들의 상태를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록을 이용한 프로브 블록을 나타내는 사시도이다.
도 7은 도 6의 프로브 블록의 분리 사시도이다.
도 8 및 도 9는 프로브 핀과 구동 회로 유닛의 연결 방법을 나타내는 도면들이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
20: 와이어 공급부 30: 권취부
40: 구동부 50: 후속 공정부
60: 비젼 검사 카메라 70: 제어부
80: 디스플레이 90: 슬라이싱 블록
92: 슬릿 160: 핀 정렬 블록
162: 프로브 핀

Claims (7)

  1. 프로브 핀들을 형성하기 위한 와이어를 공급하는 와이어 공급부;
    일정한 피치의 슬릿들이 형성된 복수의 슬라이싱 블록들이 부착되고, 회전축 둘레로 회전 이동함과 동시에 회전축 방향으로 직선 이동하여 상기 복수의 슬라이싱 블록들의 슬릿들을 따라 상기 와이어 공급부로부터 공급되는 와이어를 나선형으로 상기 복수의 슬라이싱 블록들에 대하여 동시에 정렬하는 권취부;
    상기 권취부의 회전 이동과 회전축 방향의 직선 이동을 조절하는 구동부; 및
    상기 복수의 슬라이싱 블록들의 각각에 대하여 와이어를 접착하고 상기 와이어의 일부가 상기 슬라이싱 블록으로부터 노출되도록 절단하여 상기 각각의 슬라이싱 블록의 상기 슬릿들이 형성된 일면에 긴 막대 형상의 프로브 핀들이 접착된 각각의 핀 정렬 블록으로 분리하는 후속 공정부를 포함하고,
    상기 각각의 핀 정렬 블록으로 분리된 후 상기 프로브 핀들이 긴 막대 형상으로 복원될 수 있도록 상기 와이어의 권취 반경이 결정되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 구동부는, 상기 권취부가 1회전할 때마다 상기 피치만큼 회전축 방향으로 직선 이동하도록 조절하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 슬릿들의 피치(P)에 대하여, 상기 권취부의 회전 이동의 평균 각속 도(Wa)와 회전축 방향의 평균 직선 이동 속도(Vy)는
    2πVy=PW
    를 만족하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 와이어의 지름은 20 내지 50 미크론인 것을 특징으로 하는 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 와이어의 노출된 일부의 길이가 0.005 내지 3 밀리미터인 것을 특징으로 하는 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 장치.
  6. 복수의 슬라이싱 블록들의 각각에 일정한 피치의 슬릿들을 형성하는 단계;
    상기 복수의 슬라이싱 블록들을 권취부의 둘레에 부착하는 단계;
    상기 권취부를 회전축 둘레로 회전 이동함과 동시에 회전축 방향으로 직선 이동하여, 프로브 핀들을 형성하기 위한 와이어를 상기 복수의 슬라이싱 블록들의 슬릿들을 따라 나선형으로 상기 복수의 슬라이싱 블록들에 대하여 동시에 정렬하는 단계;
    상기 복수의 슬라이싱 블록들의 각각에 대하여 상기 정렬된 와이어를 접착하는 단계; 및
    상기 복수의 슬라이싱 블록들의 각각에 대하여 상기 와이어의 일부가 상기 슬라이싱 블록으로부터 노출되도록 절단하여 상기 각각의 슬라이싱 블록의 상기 슬릿들이 형성된 일면에 긴 막대 형상의 프로브 핀들이 접착된 각각의 핀 정렬 블록으로 분리하는 단계를 포함하고,
    상기 각각의 핀 정렬 블록으로 분리된 후 상기 프로브 핀들이 긴 막대 형상으로 복원될 수 있도록 상기 와이어의 권취 반경이 결정되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 방법.
  7. 제6 항에 있어서, 상기 와이어를 나선형으로 동시에 정렬하는 단계는
    상기 권취부가 1회전할 때마다 상기 피치만큼 회전축 방향으로 직선 이동하도록 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치 검사용 핀 정렬 블록의 제조 방법.
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