JP2001074778A

JP2001074778A - 電気接続装置

Info

Publication number: JP2001074778A
Application number: JP25449899A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Kosaka; 裕小坂; Isao Ueki; 勲植木; Kamihito Oishi; 上人尾石
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1999-09-08
Filing date: 1999-09-08
Publication date: 2001-03-23
Anticipated expiration: 2019-09-08
Also published as: JP3545655B2; KR100340465B1; TW536625B; KR20010029582A

Abstract

(57)【要約】【目的】種類の異なる被検査基板を検査するとき
の装置自体の取り扱いを容易にすること【解決手段】電気接続装置は、装置本体に取り外し可
能に配置されかつ対応する辺の長手方向へ伸びるプロー
ブベースと、該プローブベースの一端部に配置された原
点マークと、該原点マークを被検査基板と垂直の方向か
ら撮影するようにプローブベースに配置されたカメラ
と、プローブベースに配置された複数のプローブとを含
む２以上のプローブユニットを装置本体に取り外し可能
に配置している。被検査基板の種類が変更されたとき
は、新たな被検査基板に応じたプローブユニットに交換
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルのよう
な被検査基板の通電試験に用いるプローブカードのよう
な電気接続装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】仮想的な四角形の少なくとも隣り合う２
つの辺のそれぞれに複数の電極を配列した液晶パネル
は、プローブカード、プローブユニット等の電気接続装
置を用いて通電試験をされる。

【０００３】この種の電気接続装置の１つとして、液晶
パネルの電極に個々に接触される複数のプローブを並列
的に配置した複数のプローブブロックを、矩形の開口を
有する板状のフレームに取り付けたものがある（例え
ば、特開平８−２０１４３０号公報）。

【０００４】この電気接続装置においては、プローブが
液晶パネルの電極に正確に接触するように、プローブブ
ロックがフレームに対して位置決められるとともに、電
気接続装置が液晶プローバに対して位置決められる。

【０００５】一方、液晶パネルには、パネル自体の大き
さ、電極の配置ピッチ、電極数等が異なる種々のものが
存在する。このため、液晶パネルの通電試験は、一般
に、検査すべき液晶パネルの種類に応じた電気接続装置
を用いて行われる。

【０００６】

【解決しようとする課題】しかし、従来の電気接続装置
では、電気接続装置全体が一種類の液晶パネルの検査に
使用し得るにすぎないから、電気接続装置全体を検査す
べき液晶パネルに応じたものに交換し、プローバに対す
る位置調整を行う作業を、検査すべき液晶パネルの種類
を変更するたびに行わなければならない。

【０００７】また、液晶パネルの大型化にともなって、
電気接続装置自体も大型化している今日では、そのよう
な電気接続装置の取り扱いが難しく、電気接続装置の交
換作業が困難になり、交換を複数の作業者により行わざ
るを得ない。

【０００８】それゆえに、電気接続装置においては、種
類の異なる被検査基板を検査するときの装置自体の取り
扱いを容易にすることが重要である。

【０００９】

【解決手段、作用及び効果】本発明に係る電気接続装置
は、仮想的な四角形の第１の辺にあって本体に取り外し
可能に配置された第１のプローブユニットと、前記第１
の辺の隣りの第２の辺にあって前記本体に取り外し可能
に配置された第２のプローブユニットとを含む。各プロ
ーブユニットは、前記本体に取り外し可能に配置されか
つ対応する辺の長手方向へ伸びるプローブベースと、該
プローブベースの一端部に配置された原点マークと、該
原点マークを被検査基板と垂直の方向から撮影するよう
に前記プローブベースに配置されたカメラと、前記プロ
ーブベースに配置された複数のプローブとを含む。

【００１０】電気接続装置は、各プローブユニットが本
体に取り外し可能に配置されているから、本体は複数種
類の被検査基板に共通に利用することができ、したがっ
て被検査基板の種類を変更するとき、装置全体を交換す
ることなく、プローブユニットを交換すればよく、交換
作業が容易になる。

【００１１】また、各プローブユニットが原点マークと
カメラとをプローブベースに配置しているから、新たな
プローブユニットは、対応する原点マークと被検査基板
に形成されているアライメントマークとを対応するカメ
ラで撮影し、両マークが一致するように、対応するプロ
ーブベースとプローバ又は被検査基板とを相対的に変位
させることにより、プローバ又は被検査基板に対するプ
ローブユニットの位置調整をすることができ、そのよう
な位置調整作業が容易になる。

【００１２】それゆえに、本発明によれば、種類の異な
る液晶パネルを検査するときの装置自体の取り扱いが容
易になる。

【００１３】前記第１又は第２のプローブユニットの原
点マーク及びカメラは、前記第２又は第１のプローブユ
ニットの側と反対の側の端部に配置してもよい。このよ
うにすれば、両プローブユニットの位置調整を別々に行
うことができる。また、両原点マーク間の距離及び両カ
メラ間の距離が大きくなるから、プローブユニットの位
置調整が正確になる。

【００１４】前記本体は、開口を有するフレームと、前
記第１のプローブユニットを前記第１の辺の長手方向へ
移動させる移動機構とを備えていてもよい。このように
すれば、第２のプローブユニットの位置調整はプローバ
の測定ステージにより被検査基板を第２のプローブユニ
ットに対して移動させることにより行い、第１のプロー
ブユニットの位置調整は第２のプローブユニットの位置
調整後に移動機構により第１のプローブユニットを被検
査基板に対して移動させることにより行うことができ
る。その結果、プローバ又は被検査基板に対するプロー
ブユニットの位置調整をより容易にかつより正確に行う
ことができる。

【００１５】本体は、また、前記第１のプローブユニッ
トを前記被検査基板と垂直の軸線の周りに角度的に回転
させる回転機構を備えていてもよい。このようにすれ
ば、熱伸縮等によりプローブの配置ピッチにすれが生じ
たとき、被検査基板の電極の配列方向に対するプローブ
の配列方向を回転機構により修正してコンタクト不良を
解消することができる。

【００１６】電気接続装置は、さらに、前記第１の辺と
対向する第３の辺にあって前記本体に取り外し可能に配
置された第３のプローブユニットを含み、第３のプロー
ブユニットは、前記本体に取り外し可能に配置されかつ
対応する辺の長手方向へ伸びる第３のプローブベース
と、該第３のプローブベースの一端部に配置された第３
の原点マークと、該第３の原点マークを被検査基板と垂
直の方向から撮影するように前記第３のプローブベース
に配置された第３のカメラと、前記第３のプローブベー
スに配置された複数の第３のプローブとを含むことがで
きる。このようにすれば、矩形の３つの辺に複数の電極
を備えた被検査基板の通電試験をすることができる。

【００１７】前記第２のプローブユニットは、さらに、
そのプローブベースの他端部に配置された第４の原点マ
ークと、該第４の原点マークを前記本体と垂直の方向か
ら撮影するように前記プローブベースに配置された第４
のカメラとを含むことができる。このようにすれば、先
ず第２のプローブユニットの両原点マーク及び両カメラ
を利用して、被検査基板に対する第２のプローブユニッ
トの位置調整をし、第１のプローブユニットの原点マー
ク及びカメラを利用して、被検査基板に対する第１のプ
ローブユニットの位置調整をすることができるから、第
１及び第２のプローブユニットに位置合わせが容易にか
つ正確になる。

【００１８】好ましい実施例において、各カメラは対応
するプローブベースに取り外し可能に配置されており、
各原点マークはマークホルダにより対応するプローブベ
ースに組み付けられている。

【００１９】また、本体は、さらに、前記第３のプロー
ブユニットを前記第３の辺の長手方向へ移動させる第３
の移動機構を備えていてもよいし、前記第２又は第３の
プローブユニットを前記被検査基板と垂直の軸線の周り
に角度的に回転させる回転機構を備えていてもよい。

【００２０】好ましい実施例において、各移動機構は、
前記本体のフレームに配置されたガイドであって前記第
１又は第３の辺の長手方向へ伸びるガイド部を有するガ
イドと、該ガイドに配置された移動体と、該移動体を前
記ガイドに対し前記第１又は第３の辺の長手方向へ移動
させる機構とを備える。

【００２１】好ましい実施例において、各回転機構は、
一端部及び他端部のいずれか一方において前記垂直な軸
線の周りに角度的に回転可能に前記移動体に組み付けら
れた回転体と、該回転体を前記垂直な軸線の周りに角度
的に回転移動させる機構とを備える。

【００２２】各カメラは、その焦点位置を少なくとも、
原点マークの高さ位置に対応する原点位置と、プローブ
に接触している被検査基板の高さ位置に対応するコンタ
クト位置と、プローブから離された被検査基板の位置合
わせをする位置に対応するアライメント位置とに変更可
能のカメラとすることができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】図１から図４を参照するに、プロ
ーブカードすなわち電気接続装置１０は、長方形をした
液晶パネル１２の通電試験に用いられる。液晶パネル１
２は、長方形をした複数の電極を長方形の隣り合う２つ
の辺（Ｘ辺及びＹ辺）のそれぞれに並列的に配置してお
り、また図５に示すように十字状のアライメントマーク
１４を少なくとも３つの隅角部に有している。

【００２４】液晶パネル１２は、液晶プローバの検査ス
テージ１６に載置され、その状態で検査ステージ１６に
より電気接続装置１０に対し、液晶パネル１２の長手方
向（Ｘ方向）と、液晶パネル１２の幅方向（Ｙ方向）
と、液晶パネル１２と垂直の方向（Ｚ方向）とへ移動さ
れるとともに、Ｚ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回
転される。

【００２５】検査ステージ１６は、液晶パネル１２をＸ
方向へ移動させるＸステージ１８と、ステージ１８に支
持されて液晶パネル１２をＹ方向へ移動させるＹステー
ジ２０と、ステージ２０に支持されて液晶パネル１２を
Ｚ方向へ移動させるＺステージ２２と、ステージ２２に
支持されて液晶パネル１２をＺ方向へ伸びる軸線の周り
に角度的に回転させるθステージ２４とを備える。

【００２６】電気接続装置１０は、装置本体３０と、仮
想的な四角形のＸ辺にあって本体３０に取り外し可能に
配置されたプローブユニット３２と、Ｘ辺の隣りのＹ辺
にあって本体３２に取り外し可能に配置されたプローブ
ユニット３４とを含む。

【００２７】図示の例では、プローブユニット３２はデ
ータ側プローブユニットとして用いられ、プローブユニ
ット３４はゲート側プローブユニットとして用いられ
る。しかし、前記と逆に用いてもよい。

【００２８】本体３０は、プローブユニット３２をＸ辺
の長手方向（Ｘ方向）へ移動させる移動機構３６を、長
方形の開口３８を有する板状のフレーム４０の上に配置
している。移動機構３６は、Ｘ方向へ伸びるガイド部を
有する１以上のガイド４２をフレーム４０の上に配置
し、Ｘ方向へ伸びる板状の移動体４４をＸ方向へ移動可
能にガイド４２の上に配置している。

【００２９】ガイド４２は、Ｘ方向へ伸びるＸ軸レール
であり、図示しない複数のねじ部材によりフレーム４０
に取り付けられている。移動体４４は、ガイド４２のガ
イド部に滑動可能に嵌合された複数のスライドガイド４
６を有しており、またほぼ水平に維持されている。スラ
イドガイド４６は、移動体４４の長手方向に間隔をおい
ている。

【００３０】移動機構３６のリードナット４８は、移動
体４４に組み付けられており、またリードスクリュー５
０と螺合されている。移動体４４は、リードスクリュー
５０がＸ軸モータ５２により回転されることにより、Ｘ
辺方向へ移動される。モータ５２は、ブラケット５４に
よりフレーム４０の上に組み付けられている。

【００３１】プローブユニット３２は、Ｘ方向へ伸びる
板状のプローブベース５６を移動体４４上に配置し、複
数のプローブブロック５８をプローブベース５６に配置
し、図５に示す十字状の原点マーク６０を有するガラス
板のような透明板６２をマークホルダ６４によりプロー
ブベース５６の一端部に組み付け、原点マーク６０を撮
影するテレビカメラ６６をプローブベース５６の一端部
に組み付けている。

【００３２】プローブユニット３４は、Ｙ方向へ伸びる
板状のプローブベース６８をフレーム４０上に配置し、
複数のプローブブロック７０をプローブベース６８に配
置し、図５に示す十字状の原点マーク６０を有するガラ
ス板のような透明板７２をマークホルダ７４によりプロ
ーブベース６８の一端部及び他端部に組み付け、原点マ
ークを撮影するテレビカメラ７６をプローブベース６８
の一端部及び他端部のそおれぞれに組み付けている。

【００３３】プローブユニット３２のプローブベース５
６は、長手方向の各端部において位置決めピン７８と取
付ねじ８０とにより移動体４４の上に組み付けられてい
ることにより、フレーム４０ひいては本体３０に対し取
り外し可能である。

【００３４】これに対し、プローブユニット３４のプロ
ーブベース６８は、長手方向の各端部において位置決め
ピン８２と取付ねじ８４とにより、スペーサ８６を介し
てフレーム４０の上に組み付けられていることにより、
本体３０に対し取り外し可能である。

【００３５】各プローブブロック５８は、複数のプロー
ブ８８を幅方向（Ｘ方向）に並列的に配列しており、ま
たプローブ８８の先端（針先）をフレーム４０の下方へ
突出させた状態に、プローブベース５６に組み付けられ
ている。図示の例では、各プローブ８８は、ポゴピンタ
イプすなわちスプリングピンタイプのプローブである
が、ニードルタイプのプローブ、ブレードタイプのプロ
ーブ又はバンプタイプのプローブであってもよい。

【００３６】各プローブブロック７０も、複数のプロー
ブ８８を幅方向（Ｙ方向）に並列的に配列しており、ま
たプローブ８８の先端（針先）をフレーム４０の下方へ
突出させた状態に、プローブベース６８に組み付けられ
ている。

【００３７】マークホルダ６４及び７４は、それぞれ、
原点マーク６０がプローブ８８の先端（針先）より数ｍ
ｍ程度高くなるように、対応するプローブベース５６及
び６８に組み付けられている。

【００３８】テレビカメラ６６及び７６は、それぞれ、
対応する原点マーク６０とその下側に配置される液晶パ
ネル１２の対応するアライメントマーク１４とを上方か
ら撮影するように、対応するプローブベース５６及び６
８の端部に組み付けられている。テレビカメラ６６及び
マークホルダ６４は、プローブユニット３４側と反対側
の部位に設けられている。

【００３９】プローブユニット３２及び３４の各原点マ
ーク６０と対応するプローブ８８との位置関係は、液晶
パネル１２の対応するアライメントマーク１４と電極と
の位置関係と同じになるように、予め調整されている。

【００４０】テレビカメラ６６及び７６は、その焦点位
置を、電気接続装置１０における原点マーク６０の高さ
位置に対応する原点位置と、プローブ８８に接触する液
晶パネル１２の高さ位置に対応するコンタクト位置と、
液晶パネル１２をプローブ８８から離して液晶パネル１
２の位置合わせをする位置に対応するアライメント位置
とに変更可能の３焦点式のカメラである。

【００４１】電気接続装置１０は、プローブユニット３
２側のプローブ８８の配列方向とプローブユニット３４
側のプローブ８８の配列方向とが直角となるとともに、
移動機構３６による移動方向とプローブユニット３４側
のプローブ８８の配列方向とが直角となるように、製作
されている。また、各テレビカメラ６６及び７６は、対
応する原点マーク６０を視野の中央で撮影するように、
それぞれ対応するプローブベース５６及び６８に組み付
けられている。

【００４２】異なる種類の液晶基板１２の通電試験をす
るとき、その液晶基板１２に応じたプローブユニット３
２及び３４がそれぞれ移動体４４及びスペーサ８６に取
り付けられる。

【００４３】プローブユニット３２及び３４がそれぞれ
移動体４４及びスペーサ８６に取り付けられた状態にお
いて、Ｘ方向及びＹ方向におけるプローブユニット３２
及び３４の位置が相対的にずれている可能性があり、ま
たＸ方向及びＹ方向における検査ステージ１６上の液晶
基板１２に対するプローブユニット３２及び３４の位置
が相対的にずれている可能性があり、さらにプローブユ
ニット３２及び３４の対応するテレビカメラ６６又は７
２の光軸が検査ステージ１６のＺ軸線に対し傾いている
可能性がある。

【００４４】特に、テレビカメラの光軸が検査ステージ
のＺ軸線（Ｚステージによる移動方向）に対して傾いて
いると、たとえ原点マークとアライメントマークとがア
ライメント位置において一致していても、液晶パネルが
コンタクト位置に移動されたとき、液晶パネルがプロー
ブユニットに対しＸ方向又はＹ方向へ変位し、コンタク
ト位置において液晶パネルの電極がプローブに接触しな
いことがある。

【００４５】このため、液晶パネル１２をアライメント
位置とコンタクト位置とに移動させてプローブユニット
３２及び３４の位置調整をすること、特にコンタクト位
置において原点マーク６０とアライメントマーク１４と
を一致させた後、液晶パネル１２をアライメント位置に
下降させ、その位置における原点マーク６０とアライメ
ントマーク１４とのすれ量又はその位置における液晶パ
ネルの座標位置を得ることは、テレビカメラの光軸とＺ
軸線とが直角でない場合に重要である。

【００４６】それえゆえに、次に、装置本体３０（プロ
ーバ）及び液晶パネル１２に対するプローブユニット３
２及び３４の位置調整がプローブユニット３４及び３２
の順に以下のような手順により自動的に行われる。

【００４７】先ず、図６（Ａ）に示すように、液晶パネ
ル１２が検査ステージ１６によりプローブユニット３４
のプローブ８８から下方へ離れたアライメント位置に移
動される。

【００４８】次いで、プローブユニット３４用の各アラ
イメントマーク１４が対応するテレビカメラ７６の視野
に入るように、液晶パネル１２が検査ステージ１６によ
りＸ方向及びＹ方向へ移動されるとともに、Ｚ軸線の周
りに角度的に回転される。

【００４９】プローブユニット３４用の各アライメント
マーク１４が対応するテレビカメラ７６の視野に入る
と、そのときのプローブユニット３４の原点マークとア
ライメントマークとのずれ量ΔＸ及びΔＹ（又は、液晶
パネルの座標位置）が測定され、そのずれ量（又は、ず
れ量）が図示しないメモリに記憶される。

【００５０】次いで、図６（Ｂ）に示すように、液晶パ
ネル１２のアライメントマーク１４がプローブユニット
３４の原点マーク６０と一致するように、液晶パネル１
２が検査ステージ１６により所定量（前記メモリに記憶
したずれ量ΔＸ及びΔＹ）だけ移動される。アライメン
トマーク１４が原点マーク６０と一致すると、そのとき
の液晶パネル１２の座標位置が前記メモリに記憶され
る。

【００５１】次いで、図６（Ｃ）に示すように、液晶パ
ネル１２が検査ステージ１６によりプローブユニット３
４のプローブ８８に接触するコンタクト位置に移動さ
れ、その位置におけるプローブユニット３４の原点マー
ク６０と液晶パネル１２のアライメントマーク１４との
ずれ量ΔＸ及びΔＹ（又は、液晶パネル１２の座標位
置）が再度測定され、そのずれ量（又は、座標位置）が
前記メモリに記憶される。

【００５２】次いで、図７（Ａ）に示すように、液晶パ
ネル１２のアライメントマーク１４がコンタクト位置に
おいてプローブユニット３４の原点マーク６０と一致す
るように、液晶パネル１２の下降、その状態での液晶パ
ネル１２の移動、液晶パネル１２のコンタクト位置への
上昇、及び、その位置における原点マークとアライメン
トマークとの位置関係の確認が一回以上行われる。この
ときの液晶パネルの下降、移動及び上昇は、いずれも、
検査ステージ１６により行われる。

【００５３】液晶パネル１２のアライメントマーク１４
がコンタクト位置においてプローブユニット３４の原点
マーク６０と一致すると、そのときの液晶パネル１２の
座標位置が前記メモリに記憶される。

【００５４】次いで、図７（Ｂ）に示すように、液晶パ
ネル１２が検査ステージ１６によりアライメント位置に
下降され、その位置におけるプローブユニット３４の原
点マーク６０とアライメントマーク１４とのずれ量ΔＸ
及びΔＹ（又は、そのときの液晶パネル１２の座標位
置）が測定され、そのずれ量（又は、座標位置）が前記
メモリに記憶される。

【００５５】上記の作業すなわち工程は、プローブユニ
ット３４用の両アライメントマークを用いて行われる。
このため、装置本体３０に対するプローブユニット３４
の位置決めが正確に行われる。前記のような工程によ
り、本体３０ひいてはプローバと液晶基板１２とに対す
るプローブユニット３４の位置調整が終了する。

【００５６】この状態においては、一般に図８（Ａ）に
示すように、プローブユニット３２の原点マーク６０に
対応するアライメントマーク１４はプローブユニット３
２のテレビカメラ６６の視野内に入っている。

【００５７】しかし、プローブユニット３２の原点マー
ク６０に対応するアライメントマーク１４が対応するテ
レビカメラ６６の視野内に入っていないと、そのアライ
メントマーク１４が対応するテレビカメラ６６の視野内
に入るように、プローブユニット３２が移動機構３６に
よりＸ方向に移動される。

【００５８】次いで、そのアライメントマーク１４が対
応するテレビカメラ６６の視野内に入ると、そのときの
プローブユニット３２の原点マーク６０とアライメント
マーク１４とのずれ量ΔＸ、ΔＹ（又は、そのときの液
晶パネル１２の座標位置）が測定され、そのずれ量（又
は、座標位置）が前記メモリに記憶される。

【００５９】次いで、図８（Ｂ）に示すように、プロー
ブユニット３２の原点マーク６０が液晶パネル１２のア
ライメントマーク１４と一致するように、プローブユニ
ット３２が移動機構３６により所定量Ｘ方向へ移動され
る。

【００６０】次いで、図８（Ｃ）に示すように、液晶パ
ネル１２が検査ステージ１６によりプローブユニット３
２のプローブ８８に接触するコンタクト位置に移動さ
れ、その位置におけるプローブユニット３２の原点マー
クと液晶パネル１２のアライメントマーク１４とのずれ
量ΔＸ及びΔＹ（又は、液晶パネル１２の座標位置）が
再度測定され、そのずれ量（又は、座標位置）が前記メ
モリに記憶される。

【００６１】次いで、図９（Ａ）に示すように、コンタ
クト位置においてプローブユニット３２の原点マークが
少なくともＸ方向において液晶パネル１２のアライメン
トマーク１４と一致するように、検査ステージ１６によ
る液晶パネル１２の下降、その状態での移動機構３６に
よるＸ方向へのプローブユニット３２の移動、検査ステ
ージ１６による液晶パネル１２のコンタクト位置への上
昇、及び、コンタクト位置における原点マークとアライ
メントマークとの位置関係の確認が一回以上行われる。

【００６２】液晶パネル１２のアライメントマーク１４
がコンタクト位置においてプローブユニット３２の原点
マークと一致すると、そのときの液晶パネル１２の座標
位置が前記メモリに記憶される。

【００６３】次いで、図９（Ｂ）に示すように、液晶パ
ネル１２が検査ステージ１６によりアライメント位置に
下降され、その位置におけるプローブユニット３２の原
点マーク６０とアライメントマーク１４とのずれ量ΔＸ
及びΔＹ（又は、液晶パネルの座標位置）が測定され、
そのずれ量（又は、座標位置）が前記メモリに記憶され
る。

【００６４】上記のような工程により、プローブユニッ
ト３４に対するプローブユニット３４の位置調整が終了
し、本体３０ひいてはプローバと液晶基板１２とに対す
るプローブユニット３４の位置調整が終了する。

【００６５】プローブユニット３２に関する上記工程に
おいては、プローブユニット３２のＸ方向における位置
を調整していが、Ｙ方向における位置を調整していな
い。これは、液晶パネルの電極が一般にその配列方向と
直角の方向に長いから（図１３参照）、Ｙ方向における
プローブユニット３２の位置は、プローバ及び液晶パネ
ルに対するプローブユニット３４の調整が終了したこと
により、許容範囲内に調整されるためである。

【００６６】上記のように、液晶パネル１２をアライメ
ント位置とコンタクト位置とに移動させてプローブユニ
ット３２及び３４の位置調整をする理由、特にコンタク
ト位置において原点マークとアライメントマークとを一
致させた後、液晶パネルをアライメント位置に下降さ
せ、その位置における原点マークとアライメントマーク
とのずれ量又はその位置における液晶パネルの座標位置
を得る理由は、対応するテレビカメラの光軸が検査ステ
ージのＺ軸線に対して傾いていることによる。

【００６７】図７（Ｂ）及び図９（Ｂ）のようにして最
終的に得られたずれ量（又は、座標位置）は、その後の
同種の液晶パネルの検査時のアライメントに利用され
る。

【００６８】以後の同種の液晶パネルは、アライメント
位置においてアライメントマーク１４が原点マーク６０
に対し図７（Ｂ）及び図９（Ｂ）に示す最終的なずれ量
（又は、座標位置）を有するように、検査ステージ１６
により位置を調整される。

【００６９】しかし、以後の同種の液晶パネルのアライ
メントは、プローブユニット３４の側の両テレビカメラ
のみを用いて行ってもよい。また、コンタクト位置にお
いてアライメントマーク１４の位置の確認を時々行って
もよい。

【００７０】原点マークとアライメントマークとが一致
しているか否かの確認をする工程及び原点マークとアラ
イメントマークとのずれ量を算出する工程において、各
テレビカメラは、液晶基板１２がアライメント位置に移
動されている状態において焦点位置を対応する原点位置
とアライメント位置とに少なくとも一回切り換えられ、
また液晶基板１２がコンタクト位置に移動されている状
態において焦点位置を対応する原点位置とコンタクト位
置とに少なくとも一回切り換えられる。

【００７１】上記のように、本体３０を複数種類の液晶
パネルに共通に利用し、検査すべき液晶パネルの種類を
変更するときは、装置全体を交換することなく、プロー
ブユニット３２，３４のみを交換するならば、装置全体
を交換する場合に比べ、ユニットの交換作業が容易にな
る。

【００７２】また、原点マーク６０と液晶パネルのアラ
イメントマーク１４とを所定のテレビカメラ６６又は７
６で撮影し、両マークが一致するように、新たなプロー
ブユニットのプローブベースをプローバに対して変位さ
せることにより、プローバに対する位置調整をするなら
ば、装置全体の位置調整をする場合に比べ、位置調整作
業が容易になる。

【００７３】液晶パネル１２の場合、一般に図１３に示
すように、長い複数の電極１１２が矩形の辺の方向に並
列的に形成されている。また、プローブの配置ピッチが
検査中の温度変化によるプローブブロック等の伸縮によ
り変化すると、それに起因する配置ピッチの累積誤差に
より、電極１１２に接触しないプローブが存在すること
がある。このようなコンタクト不良は、特に、電極数の
多いデータ側プローブユニットにおいて生じやすい。

【００７４】そのようなプローブの配置ピッチすれによ
るコンタクト不良が生じたときは、図１３に示すよう
に、電極１１２へのプローブのコンタクトラインを１１
４から１１６に又はその逆に所定量θだけ変化させて、
プローブの配置ピッチを見かけ上変化させることが好ま
しい。

【００７５】そのような見かけ上の変化は、図１０から
図１２に示すように、プローブユニット３２を液晶パネ
ルと垂直のＺ軸線の周りに角度的に回転させる回転機構
９０により発生することができる。

【００７６】回転機構９０は、長い板状の回転体９２を
その一端部においてピン９４及び軸受９６によりＺ軸線
の周りに角度的に回転可能に移動体４４に組み付けてい
る。プローブベース５６は、回転体９２の上に組み付け
られている。ピン９４及び軸受９６は、テレビカメラ６
２が配置された側に設けられている。

【００７７】回転体９２の回転精度は、ピン９４と、軸
受９６と、移動体４４の上に取り付けられたＲガイドレ
ール９８と、Ｒガイドレール９８に滑動可能に嵌合され
かつ回転体９２に取り付けられたＲガイド１００とによ
り規制されている。Ｒガイド１００は、回転体９２の他
端部の下側に下向きに取り付けられている。

【００７８】回転体９２は、リードスクリュー１０２
と、リードスクリュー１０２を前進後退させる中空モー
タ１０４と、回転体９２をリードスクリュー１０２に向
けて付勢している引っ張りコイルばね１０６とにより、
ピン９４の周りに角度的に回転される。

【００７９】リードスクリュー１０２は、モータ１０４
を貫通して、回転体９２の他端部側面に当接している。
中空モータ１０４は、ブラケット１０８によりフレーム
４０の上に取り付けられている。

【００８０】上記のような回転機構９０を備えた電気接
続装置において、検査中に温度上昇によると思われるコ
ンタクト不良が発生したときは、先ず検査ステージ上の
液晶パネルに対するゲート側プローブユニット３４の位
置が再度確認される。この作業は図７及び図８に関連し
て説明した手法で行われる。

【００８１】次いで、データ側プローブユニット３２の
原点マークと液晶パネル１２のアライメントマーク１４
との位置すれ量が確認される。

【００８２】次いで、確認したすれ量からそれに対応す
る補正量θが、予め設定されているプログラムにしたが
って計算される。

【００８３】次いで、プローブユニット３２を移動機構
３６によりＸ方向へ移動させることにより、プローブユ
ニット３２の原点マークと液晶基板１２のアライメント
マーク１４との位置合わせが行われる。

【００８４】次いで、回転機構９０の中空モータ１０４
が回転されて、プローブユニット３２がピン９４の周り
に所定角度回転される。これにより、プローブの配置ピ
ッチが見かけ上変化し、温度変化に起因するコンタクト
不良が解消される。

【００８５】上記のような見かけ上の変化は、プローブ
ブロックの温度それに配置された温度センサにより監視
し、そのプローブブロックの温度が変化したとき、予め
設定されたプログラムにしたがって移動機構３６及び回
転機構９０を作動させることにより、発生してもよい。

【００８６】図１４に示すように、Ｘ辺と対向する第３
の辺に複数の電極を配置した液晶パネルは、さらに、第
３の移動機構１２０と第３のプローブユニット１２２と
を第３の辺に配置した電気接続装置を用いて検査され
る。

【００８７】第３の移動機構１２０及び第３のプローブ
ユニット１２２は、図１から図４の実施例における移動
機構３６及びプローブユニット３２と同様に同様の部材
で構成されている。

【００８８】それゆえに、第３の移動機構１２０は、ガ
イド４２、移動体４４、スライドガイド４６、リードナ
ット４８、リードスクリュー５０、Ｘ軸モータ５２、ブ
ラケット５４等を備えている。これらの部材は、移動機
構３６のそれらと同じである。

【００８９】プローブユニット１２２は、プローブベー
ス５６、複数のプローブブロック５８、原点マーク６０
を有する透明板６２、マークホルダ６４、テレビカメラ
６６等を備えている。これらの部材は、プローブユニッ
ト３２におけるそれらと同じである。

【００９０】なお、図１０から図１２に示すような回転
機構をプローブユニット３２用又はプローブユニット１
２２用にも設けてもよい。本発明は、液晶パネルの通電
試験に用いる電気接続装置のみならず、他の平板状の被
検査基板の通電試験に用いる電気接続装置にも適用する
ことができる。

【００９１】上記実施例では、プローブユニット３２及
び３４をそれぞれ移動機構３６及びスペーサ８６により
フレーム４０に取り付けているが、移動機構３６及びス
ペーサ８６を用いることなくプローブユニット３２及び
３４をフレーム４０に取り付けてもよい。また、プロー
ブユニット３２，３４を、Ｌ字状又はコ字状の補助部材
若しくはプローブユニット毎の補助部材によりフレーム
４０に取り付けてもよい。

【００９２】本発明は、上記実施例に限定されない。本
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電気接続装置の一実施例を示す平
面図

【図２】図１の２−２線に沿って得た断面図

【図３】図１の３−３線に沿って得た断面図

【図４】図１に示す電気接続装置の後面図

【図５】アライメントマークと原点マークとを示す斜視
図

【図６】ゲート側プローブユニットと液晶パネルとの位
置合わせ方法を説明するための図

【図７】位置合わせ方法の図６に続く工程のを説明する
ための図

【図８】データ側プローブユニットと液晶パネルとの位
置合わせ方法を説明するための図

【図９】位置合わせ方法の図８に続く工程のを説明する
ための図

【図１０】電気接続装置の他の実施例を示す断面図

【図１１】図１０に示す電気接続装置の右側面図

【図１２】図１０に示す電気接続装置の平面図

【図１３】コンタクト不良を修正する方法を説明するた
めの図

【図１４】３つのプローブユニットを備えた電気接続装
置の実施例を示す平面図

【符号の説明】

１０電気接続装置１２液晶パネル１４アライメントマーク１６検査ステージ３０装置本体３２，３４，１２２プローブユニット３６，１２０移動機構３８開口４０フレーム４２ガイド４４移動体５２Ｘ軸モータ５６、６８プローブベース５８，７０プローブブロック６０原点マーク６６，７６テレビカメラ８８プローブ９０回転機構９２回転体１０４中空モータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者尾石上人東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号株式会社日本マイクロニクス内Ｆターム(参考） 2G011 AA02 AA16 AB07 AC01 AC02 AC06 AC12 AC14 AE01 AE03 2G014 AA13 AA32 AB21 AC10 2G032 AA00 AB01 AE04 AF02 AF03 AF04 AK03 AL03 4M106 AB09 BA01 DD01 DD10 DD13 DD30 DG10 DG25 DJ04 DJ06 DJ07 DJ21

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】本体と、仮想的な四角形の第１の辺にあ
って前記本体に取り外し可能に配置された第１のプロー
ブユニットと、前記第１の辺の隣りの第２の辺にあって
前記本体に取り外し可能に配置された第２のプローブユ
ニットとを含み、各プローブユニットは、前記本体に取り外し可能に配置
されかつ対応する辺の長手方向へ伸びるプローブベース
と、該プローブベースの一端部に配置された原点マーク
と、該原点マークを被検査基板と垂直の方向から撮影す
るように前記プローブベースに配置されたカメラと、前
記プローブベースに配置された複数のプローブとを含
む、電気接続装置。
【請求項２】前記第１又は第２のプローブユニットの
原点マーク及びカメラは、前記第２又は第１のプローブ
ユニットの側と反対の側の端部に配置されている、請求
項１に記載の電気接続装置。
【請求項３】前記本体は、開口を有するフレームと、
前記第１のプローブユニットを前記第１の辺の長手方向
へ移動させる移動機構とを備える、請求項１又は２に記
載の電気接続装置。
【請求項４】前記本体は、さらに、前記第１のプロー
ブユニットを被検査基板と垂直の軸線の周りに角度的に
回転させる回転機構を備える、請求項１，２又は３に記
載の電気接続装置。
【請求項５】さらに、前記第１の辺と対向する第３の
辺にあって前記本体に取り外し可能に配置された第３の
プローブユニットを含み、第３のプローブユニットは、
前記本体に取り外し可能に配置されかつ対応する辺の長
手方向へ伸びる第３のプローブベースと、該第３のプロ
ーブベースの一端部に配置された第３の原点マークと、
該第３の原点マークを被検査基板と垂直の方向から撮影
するように前記第３のプローブベースに配置された第３
のカメラと、前記第３のプローブベースに配置された複
数の第３のプローブとを含む、請求項１から４のいずれ
か１項に記載の電気接続装置。
【請求項６】前記第２のプローブユニットは、さら
に、そのプローブベースの他端部に配置された第４の原
点マークと、該第４の原点マークを前記本体に垂直な方
向から撮影するように前記プローブベースに配置された
第４のカメラとを含む、請求項１から４のいずれか１項
に記載の電気接続装置。
【請求項７】各カメラは対応するプローブベースに取
り外し可能に配置されており、各原点マークはマークホ
ルダにより対応するプローブベースに組み付けられてい
る、請求項１から６のいずれか１項に記載のプローブユ
ニット。
【請求項８】前記本体は、さらに、前記第３のプロー
ブユニットを前記第３の辺の長手方向へ移動させる移動
機構を備える、請求項５に記載の電気接続装置。
【請求項９】各移動機構は、前記本体のフレームに配
置されたガイドであって前記第１又は第３の辺の長手方
向へ伸びるガイド部を有するガイドと、該ガイドに配置
された移動体と、該移動体を前記ガイドに対し前記第１
又は第３の辺の長手方向へ移動させる機構とを備える、
請求項８に記載の電気接続装置。
【請求項１０】前記本体は、さらに、前記第２又は第
３のプローブユニットを被検査基板と垂直の軸線の周り
に角度的に回転させる回転機構を備える、請求項５，８
又は９に記載の電気接続装置。
【請求項１１】各回転機構は、一端部及び他端部のい
ずれか一方において前記垂直な軸線の周りに角度的に回
転可能に前記移動体に組み付けられた回転体と、該回転
体を前記垂直な軸線の周りに角度的に回転移動させる機
構とを備える、請求項１０に記載の電気接続装置。
【請求項１２】各カメラは、その焦点位置を、原点マ
ークの高さ位置に対応する原点位置と、プローブに接触
している被検査基板の高さ位置に対応するコンタクト位
置と、プローブから離された被検査基板の位置合わせを
する位置に対応するアライメント位置とに変更可能の３
焦点式のカメラである、請求項１から１１のいずれか１
項に記載の電気接続装置。