KR20050095539A

KR20050095539A - 프로브장치

Info

Publication number: KR20050095539A
Application number: KR1020040110241A
Authority: KR
Inventors: 미우라가즈요시; 오사나이야스아키; 후쿠시도시오
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2004-03-26
Filing date: 2004-12-22
Publication date: 2005-09-29
Also published as: JP4790997B2; KR100673717B1; JP2005274487A; TW200532208A; TWI255344B

Abstract

(과제) 프로브조립체의 위치조정을 용이하게 하는 것에 있다.

(해결수단) 프로브장치는 개구를 형성하는 프레임과 개구와 평행인 면내를 연장하는 제 1 방향으로 이동할 수 있도록 상기 프레임에 배치된 복수의 프로브조립체와, 제 1 방향에 있어서의 복수의 프로브조립체의 위치를 해제할 수 있도록 유지하는 위치결정구를 포함한다. 위치결정구는, 제 1 방향으로 간격을 둔 복수의 위치결정부재로서 상기 면내를 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 연장하는 축선을 가지는 복수의 위치결정부재와, 복수의 위치결정부재를 각각 수납하기 위해 제 2 방향으로 개방됨과 아울러 상기 면과 교차하는 제 3 방향으로 개방되는 복수의 오목개소 중 어느 일측을 포함하고, 각 프로브조립체는 위치결정부재 및 오목개소의 타측을 포함한다.

Description

프로브장치{PROBING APPARATUS}

본 발명은 액정표시패널과 같은 표시용 기판의 통전시험에 사용되는 프로브장치에 관한 것이다.

박막트랜지스터 어레이를 일측의 면에 형성한 유리기판, 액정을 봉입한 액정표시패널 등의 표시용 기판은, 사양서대로의 성능을 가지는지 아닌지에 대한 시험(검사)을 행한다. 이 검사는 일반적으로 복수의 프로브(접촉자)를 구비한 프로브 유닛과 같은 프로브장치를 사용하고, 각 접촉자를 표시용 기판의 전극에 압압한 상태에서, 소정의 전극에 소정의 전기신호를 공급함으로써 행하여진다.

이러한 종류의 프로브장치의 하나로서, 종류가 다른 표시용 기판의 통전시험에 공통으로 사용할 수 있도록 한 것이 있다(특허문헌 1).

[특허문헌 1] 일본국 특개평9-229965호 공보

이러한 종래의 프로브장치는 서로 직교하는 Ⅹ변 및 Y변을 가지는 테두리형상의 프로브 베이스와, Y방향에 있어서의 위치를 조절할 수 있도록 프로브 베이스의 Ⅹ변에 배치된 제 1 가동 베이스와, Ⅹ방향에 있어서의 위치를 조절할 수 있도록 프로브 베이스의 Y변에 배치된 제 2 가동 베이스와, Ⅹ방향에 있어서의 위치를 조절할 수 있도록 제 1 가동 베이스에 배치된 복수의 프로브조립체(프로브블록)와, Y방향에 있어서의 위치를 조절할 수 있도록 제 2 가동 베이스에 배치된 복수의 프로브조립체(프로브블록)를 구비한다.

각 프로브조립체는 전기 절연성의 블록에 복수의 프로브를 일방향으로 간격을 두어서 병렬적으로 배치되어 있다. 검사할 표시용 패널은 검사장치의 척 톱(chuck top)에 배치되고, 프로브장치는 척 톱의 상방에 배치된다.

상기 종래의 프로브장치는 Y 및 Ⅹ방향에 있어서의 제 1 및 제 2 가동 베이스의 위치를 조정하고, Ⅹ 및 Y방향에 있어서의 각 프로브조립체의 위치를 조정함으로써, 크기, 전극의 위치 등이 상이한 이종의 표시용 패널의 통전시험에 공통으로 이용된다.

그러나, 상기 종래의 프로브장치에서는 프로브 베이스에 대한 각 가동 베이스의 위치조정과, 가동 베이스에 대한 각 프로브조립체의 위치조정을 사람의 손에 의해 행하지 않으면 안된다. 이 때문에, 이러한 위치조정작업이 복잡하고도 번잡하고, 그 결과 프로브의 선단부(바늘끝)가 표시용 패널의 전극의 위치에 일치하지 않는 경우가 있다.

본 발명의 목적은 프로브조립체의 위치조정을 용이하게 하는 것에 있다.

본 발명에 관한 프로브장치는 개구를 형성하는 프레임과, 상기 개구와 평행인 면내를 연장하는 제 1 방향으로 이동할 수 있도록 상기 프레임에 배치된 복수의 프로브조립체와, 상기 제 1 방향에 있어서의 상기 복수의 프로브조립체의 위치를 해제할 수 있도록 유지하는 위치결정구를 포함한다.

상기 위치결정구는 상기 제 1 방향으로 간격을 둔 복수의 위치결정부재로서 상기 면내를 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 연장하는 축선을 가지는 복수의 위치결정부재와, 상기 복수의 위치결정부재를 각각 수납하기 위해 상기 제 2 방향으로 개방됨과 아울러 상기 면과 교차하는 제 3 방향으로 개방되는 복수의 오목개소 중 어느 일측을 포함하고, 각 프로브조립체는 상기 위치결정부재 및 상기 오목개소의 타측을 포함한다.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)

이하, 본 발명의 실시예를 도면에 의거해서 설명한다.

도 1∼도 4를 참조함에 있어서, 프로브장치(10)는 액정표시패널용의 박막트랜지스터 어레이가 형성된 유리기판을 표시용 기판(12)으로 하는 검사장치에 사용된다. 유리기판은 복수개로 이루어진 큰 유리기판이고, 또 직사각형의 형상을 가지고 있다.

이하의 설명에서는 표시용 기판(12)의 단변의 방향을 X방향이라 하고, 장변의 방향을 Y방향이라 하고, 두께방향을 Z방향 또는 상하방향이라 한다.

도 1에 나타낸 유리기판은 1개의 기판으로부터 최종적으로 3×6개의 기판을 얻는 18개로 이루어진 기판이다. 도 2에 나타낸 유리기판은 2×3개로 이루어진 기판이다. 그러나, 유리기판의 종류가 상이하더라도 동일한 부호를 사용해서 설명한다.

이하, 설명을 간략화함에 있어서, 도 1에 나타낸 유리기판의 각 피검사영역(14a)과 도 2에 나타낸 유리기판의 각 피검사영역(14b)은, 도 15에 나타낸 바와 같이 사이즈가 상이하더라도 전극군(16a) 및 (16b)의 배치 피치는 상이하나, 전극군(16a,16b)내에 있어서의 전극의 배치 피치(배열 피치)는 동일한 것으로 한다.

상기한 바와 같은 표시용 패널(12)에 있어서 동일한 화면을 표시하는 경우, 해상도에 차이가 발생하지만, 동일한 전극군(16a) 및 (16b)내에 있어서의 동일한 배치위치의 전극에 통전된다. 표시용 패널(12)은 검사장치의 검사 스테이지에 탑재된 척 톱(18)(도 3참조)에 배치된다.

도 1 내지 도 4를 참조함에 있어서, 프로브장치(10)는 프레임(20)을 포함한다. 프레임(20)은 직사각형의 개구(22)를 가지는 프레임 본체(24)상에 Ⅹ방향으로 연장되는 복수의 가동 프레임(26)을 Y방향으로 간격을 두고 배치하고 있다. Ⅹ방향에 있어서의 각 가동 프레임(26)의 중간영역(26a)은 개구(22)에 도달하는 역L자형상의 단면형상으로 되어 있다.

가동 프레임(26)은 프레임 본체(24)상에 Ⅹ방향으로 간격을 두고 Y방향으로 연장되는 상태로 부착된 한쌍의 가이드레일(28)과 각 가동 프레임(26)의 양단부에 부착되어서 가이드레일(28)에 상측으로부터 끼워맞춰지는 가이드부재(30)에 의해, 프레임 본체(24)에 Y방향으로 이동할 수 있도록 조합되어 있다.

프레임(20)은 또 Y방향으로 연장되는 한쌍의 프로브부착판(32)을 프레임 본체(24)에 Ⅹ방향으로 대향시켜서 부착하고 있고, X방향으로 연장되는 프로브부착판(34)을 각 가동 프레임(26)에 부착하고 있다.

각각이 복수의 프로브조립체(36)를 포함하는 복수의 프로브 그룹은, Y방향에 있어서의 일측의 프로브부착판(32)에 Y방향으로 간격을 두고 배치되어 있다. 각 프로브 그룹의 복수의 프로브조립체(36)는 하나의 피검사영역(14a) 또는 (14b)의 검사에 동시에 사용되고, 또 Y방향으로 간격을 두고 있다.

Ⅹ방향용의 복수의 프로브조립체(38)는 각 프로브부착판(34)에 Ⅹ방향으로 간격을 두고 부착되어 있다. 각 프로브부착판(34)의 복수의 프로브조립체(38)는 하나의 피검사영역(14a) 또는 (14b)의 검사에 동시에 사용되는 Ⅹ방향용의 프로브 그룹을 형성하고 있다.

프로브조립체(36)는 프로브부착판(32)에 Y방향으로 연장되는 상태로 부착된 가이드레일(40)(도 11참조)과, 이 가이드레일에 끼워맞춰지고 각 프로브조립체(36)에 부착된 가이드부재(42)(도 11참조)에 의해 Y방향으로 이동할 수 있도록 프로브부착판(32)에 조합되어서 지지되고 있다.

각 프로브 그룹의 프로브조립체(38)는 대응하는 프로브부착판(34)에 Ⅹ방향으로 연장되는 상태로 부착된 가이드레일(44)(도 11참조)과, 이 가이드레일(44)에 끼워맞춰지고 각 프로브조립체(38)에 부착된 가이드부재(46)(도 11참조)에 의해 X방향으로 이동할 수 있도록 프로브부착판(34)에 조합되어서 지지되고 있다.

가이드레일(28,40,44) 및 가이드부재(30,42,46)는 각각 리니어 가이드의 리니어 가이드레일 및 리니어 가이드부재로 할 수 있다. 가이드부재(30,42,46)는 어느 것이나 수동으로 이동하게 할 수 있다.

프로브조립체(36) 및 (38)의 각각은, 그 1개를 도 9 내지 도 13에 나타낸 바와 같이, 프로브블록(50)과, 플랫 케이블(52)과, 플랫 케이블(52)을 프로브블록(50)에 접속하는 접속블록(54)과, 프로브블록(50)을 지지하는 지지블록(56)과, 지지블록(56)을 프로브부착판(32){또는, (34)}에 부착하는 부착블록(58)과, 부착블록(58)을 다음에 설명하는 위치결정구(62)에 연관시키는 가이드블록(64)을 포함한다.

각 프로브블록(50)은 각각이 첨예한 선단부 바늘끝 및 후단부 바늘끝을 가지는 복수의 프로브(66)를, 이들이 Y(또는, Ⅹ)방향으로 간격을 두고 Ⅹ(또는, Y)방향으로 연장되는 상태로 전기 절연성 블록(68)에 병렬적으로 배치하고 있다.

각 프로브(66)는 그 중앙영역이 띠형상을 한 블레이드타입의 접촉자이다. 각 프로브(66)의 선단부 및 후단부는 상기 중앙영역보다 작은 폭치수를 가지고 있고, 또 각각 중앙영역의 선단 하부 및 후단 상부로부터 선방 및 후방으로 돌출되어 있다. 각 프로브(66)의 선단 바늘끝 및 후단 바늘끝은, 각각 선단부 및 후단부로부터 하방 및 상방으로 돌출되어 있다.

각 전기 절연성 블록(68)은 하측으로 개방된 오목개소를 가지고 있고, 또 프로브(66)를 이들의 중앙부가 상기 오목개소내에 위치하도록, 한쌍의 측판(70), 전기 절연성의 한쌍의 부착 바(72), 나사부재(도시생략) 등의 적당한 조립수단에 의해서, 이동되지 않게 조립하여 지지하고 있다. 인접하는 프로브(66)의 중앙영역은 대향되어 있다.

각 프로브조립체(36){또는, (38)}는 또 전기 절연성의 슬릿 바(74)를 상기 절연성 블록의 하면 선단부와 하면 후단부에 배치하고 있다. 각 슬릿 바(74)는 Y(또는, Ⅹ)방향으로 간격을 두고 Ⅹ(또는, Y)방향으로 연장되어서 하방으로 개방되는 복수의 슬릿을 가진다.

각 슬릿에는 프로브(66)의 선단부 또는 후단부가 수납되어 있다. 이것에 의해서 인접하는 프로브(66)의 접촉이 방지되고 있음과 아울러, 인접하는 프로브(66)의 배치 피치가 표시용 패널(12)의 전극의 배치 피치에 유지된다.

각 플랫 케이블(52)은 폭방향(Ⅹ 또는 Y방향)으로 간격을 두고 길이방향(Y 또는 Ⅹ방향)으로 연장되는 복수의 배선을 전기 절연성 필름의 일측의 면에 형성한 기지(旣知)의 것이고, 길이방향의 일단부에 있어서 배선을 하측이 되는 상태로 접속블록(54)의 하면에 부착하고 있다.

플랫 케이블(52)의 일단부 하면에는, 전기 절연성의 가이드 필름(76)이 접착되어 있다. 가이드 필름(76)은 프로브(66)의 후단부 바늘끝을 수납하는 플랫 케이블(52)에 폭방향으로 간격을 둔 복수의 가이드구멍을 가진다.

배선의 배열 피치 및 가이드구멍의 배열 피치는, 대응하는 프로브조립체(36){또는, (38)}의 프로브(66)의 배치 피치와 동일하다. 가이드 필름(76)은 플랫 케이블(52)의 배선이 가이드 필름(76)의 가이드구멍으로부터 노출되는 상태로, 플랫 케이블(52)에 부착되어 있다.

각 전기 절연성 블록(68)은 상방 및 후방을 향하는 L자형상의 단턱부를 후단부에 구비하고 있고, 각 접속블록(54)은 하방 및 전방을 향하는 역L자형상의 단턱부를 전단부(前端部)에 구비하고 있다. 전기 절연성 블록(68)과 접속블록(54)은 양단턱부를 대향하게 하고 있다. 각 플랫 케이블(52)은 이것의 타단부에 설치된 커넥터(78)에 의해서 검사장치의 전기회로에 접속된다.

전기 절연성 블록(68)과 접속블록(54)은, 접속블록(54)으로부터 하방으로 연장되어서 전기 절연성 블록(68)의 위치결정 구멍(79)에 삽입되는 복수의 위치결정 핀(80)과, 접속블록(54)을 관통해서 전기 절연성 블록(68)의 나사구멍(81)에 나사결합되는 복수의 나사부재(82)에 의해 프로브(66)의 후단 바늘끝이 가이드 필름(76)의 가이드구멍에 수납되어서 플랫 케이블(52)의 배선에 압압된 상태로, 결합되어 있다.

각 프로브블록(50)은 프로브(66)의 길이방향으로 연장되는 돌출부(84)를 전기 절연성 블록(68)의 상부에 구비하고 있다. 돌출부(84)는 지지블록(56)의 하부에 형성된 가이드부(86)의 가이드홈에 프로브(66)의 길이방향으로 이동할 수 있도록 끼워맞춰져 있다.

각 프로브블록(50)은 이것의 전측(前側) 상부에서 상방으로 돌출된 스토퍼 핀(88)이 가이드부(86)의 선단면에 맞닿은 상태로, 나사부재(90)에 의해서 지지블록(56)에 떼어낼 수 있게 부착되어 있다. 나사부재(90)는 지지블록(56)을 상하방향으로 관통하고, 프로브블록(50)에 나사결합되어 있다.

프로브(66)의 배열방향에 있어서의 지지블록(56)에 대한 프로브블록(50)의 위치는, 가이드부(86)의 일측의 개소에 프로브(66)의 길이방향으로 간격을 두고 배치된 한쌍의 푸셔(92)에 의해서 프로브블록(50)이 가이드부(86)의 대향하는 개소에 압압됨으로써 유지된다.

각 지지블록(56)은 부착블록(58)을 상하방향으로 관통해서 지지블록(56)에 나사결합된 조정나사(94)에 의해 부착블록(58)에 매달려 있고, 또 지지블록(56)과 부착블록(58) 사이에 배치된 복수의 탄성체(96)에 의해 하방으로 탄지되어 있다.

부착블록(58)에 대한 지지블록(56)의 높이위치는, 지지블록(56)에 대한 조정나사(94)의 비틀어 넣는 양을 조정함으로써, 조정할 수 있다. 지지블록(56)은 리니어 가이드부재와 리니어 가이드레일을 사용한 리니어 가이드(98)에 의해 부착블록(58)에 상하방향으로 이동할 수 있도록 결합되어 있다.

각 부착블록(58)은 지지블록(56)이 부착된 L형 부재(100)와, 가이드레일(40) 또는 (44) 및 가이드부재(42) 또는 (46)에 의해 프로브부착판(32) 또는 (34)에 조립된 판상 베이스(102)를 구비한다. L형 부재(100) 및 판상 베이스(102)는 프로브(66)의 배열방향으로 연장되어 있고, 또 한쌍의 나사부재(104)에 의해 서로 분리가능하게 결합되어 있다.

각 지지블록(56)은 리니어 가이드레일(98)에 의해 판상 베이스(102)에 상하방향으로 이동할 수 있도록 결합되어 있다. 각 가이드블록(64)은 한쌍의 나사부재(106)에 의해 판상 베이스(102)에 부착되어 있다.

도 9 내지 도 11에 나타낸 바와 같이, 각 가이드블록(64)은 제 1 및 제 2 부재(110) 및 (112)에 의해 프로브(66)의 길이방향의 양방 및 상방으로 개방되는 U자형상의 오목개소(114)를 형성하고 있다.

제 1 부재(110)는 일단부에 L자형상의 절결부(단턱부)를 가지는 판상부재이고, 나사부재(106)에 의해 판상 베이스(102)에 부착되어 있다.

이것에 대해, 제 2 부재(112)는 제 1 부재(110)와 공동으로 상기 절결부를 U자형상의 오목개소(114)로서 작용시키도록, 제 1 부재(110)의 측부에 배치된 판상부재이다.

제 2 부재(112)는 상하방향으로 간격을 둔 한쌍의 결합 핀(116)에 의해 제 1 부재(110)에 대해 프로브(66)의 길이방향으로 연장되는 축선의 주위에 각도적으로 회전가능하게 결합되어 있다.

각 결합 핀(116)은 이것이 제 1 부재(110)를 프로브(66)의 배열방향으로 관통하도록, 제 2 부재(112)로부터 이것과 반대측으로 연장되어 있고, 또 일단부에 있어서 제 2 부재(112)에 나사결합되어서 지지되고 있다.

제 2 부재(112)는 또 결합 핀(116)에 배치된 탄성체(118)에 의해 제 1 부재(110)에 접근하는 방향으로 탄지되고 있지만, 결합 핀(116)이 나사결합되어 있는 위치의 상하 양측의 개소가 제 1 부재(110)에 맞닿음함으로써, 그 이상의 각도적 회전이 저지되고 있다.

오목개소(114)의 상부는, 폭치수가 하부만큼 작아지는 경사 안내면으로 되어 있다.

상기한 바와 같은 프로브조립체(36) 및 (38)에 있어서는, 플랫 케이블(52) 및 접속블록(54)을 조립하는 제 1 조립작업과, 프로브블록(50), 지지블록(56), 부착블록(58)을 조립하는 제 2 조립작업을 따로따로 행하고, 그 후 접속블록(54)을 프로브블록(50)에 결합시킴으로써, 조립할 수 있다.

조립된 프로브조립체(36) 및 (38)는 각각 최종적으로 부착블록(58)에 있어서, 프로브부착판(32) 및 (34)에 부착된다. 이 때문에, 프로브조립체(36) 및 (38)의 조립작업 및 프로브부착판(32) 및 (34)에 대한 프로브조립체(36) 및 (38)의 부착작업이 용이하게 된다.

복수의 프로브(66)를 전기 절연성 블록(68)에 장착한 프로브블록(50)은 먼저 도 13(A)에 나타낸 바와 같이 그 돌출부(84)가 지지블록(56)의 가이드부(86)의 가이드홈에 걸어맞춰지고, 이어서 도 13(B)에 나타낸 바와 같이 스토퍼 핀(88)이 가이드부(86)의 선단면에 맞닿음되고, 이어서 도 13(B)에 나타낸 바와 같이 나사부재(90)가 전기 절연성 블록(68)에 나사결합됨으로써, 지지블록(56)에 결합된다.

상기의 부착작업시에, 플랫 케이블(52)이 프로브블록(50)에 부착되어 있지 않기 때문에, 지지블록(56)에 대한 프로브블록(50)의 부착작업이 용이하게 된다.

플랫 케이블(52)을 장착한 접속블록(54)은, 도 13(B) 및 (C)에 나타낸 바와 같이, 먼저 접속블록(54)에 형성되어 있는 위치결정 핀(80)이 전기 절연성 블록(68)에 구비된 위치결정 구멍(79)에 끼워 넣어지고, 이어서 나사부재(82)를 전기 절연성 블록(68)에 구비된 나사구멍(81)에 나사결합함으로써, 프로브블록(50)에 조립된다.

따라서, 접속블록(54)을 전기 절연성 블록(68)에 조립하는 것만으로, 프로브(66)와 플랫 케이블(52)의 배선이 전기적으로 바르게 접속되기 때문에, 전기 절연성 블록(68)에 대한 접속블록(54)의 조립작업도 용이하게 된다.

각 위치결정구(62)는 프로브 그룹마다 구비되어 있고, 또 프로브부착판(32) 또는 (34)의 상측에 떼어낼 수 있게 부착되어 있다. 각 위치결정구(62)는 대응하는 그룹의 복수의 프로브조립체(36) 또는 (38)를 프로브부착판(32) 또는 (34)에, 검사할 표시용 패널(12)의 종류에 따른 위치관계로 위치결정해서 유지하도록, 부착하는 것에 사용된다.

도 4 내지 도 11에 나타낸 바와 같이, 각 위치결정구(62)는 Y(또는 Ⅹ)방향으로 연장되는 상태로 프로브부착판(32){또는 (34)}에 떼어낼 수 있게 부착된 각 기둥형상의 긴부재(120)와, Y(또는 Ⅹ)방향으로 간격을 둔 상태로 긴부재(120)에 배치된 복수의 위치결정부재(122)와, 프로브부착판(32){또는 (34)}의 Y(또는 Ⅹ)방향으로 간격을 둔 2개소로부터 상방으로 연장되는 한쌍의 위치결정 핀(124)과, 긴부재(120)의 위치결정 핀(124)보다 외측의 2개소를 관통해서 상하방향으로 연장되는 한쌍의 세팅 핀(126)을 포함한다.

긴부재(120)는 위치결정 핀(124)이 관통하는 한쌍의 관통구멍(128)과 세팅 핀(126)이 관통하는 한쌍의 세팅구멍(130)을 구비하고 있고, 또 세팅 핀(126)의 상부에 해제가능하게 걸림하는 플런저(132)를 세팅구멍(130)에 관련된 위치에 구비하고 있다.

도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 각 위치결정부재(122)는 Ⅹ(또는 Y)방향으로 연장되는 회전축선을 가지는 롤러를 포함한다. 각 롤러는 원형의 편심 캠(134)을 그 회전축선 주위에 있어서의 위치를 변경가능하도록 긴부재(120)에 부착하고, 원형의 캠 폴로어(136)를 편심 캠(134)에 이것의 주위에 변위가능하도록 배치하고, 체결너트(138)를 편심 캠(134)에 나사결합시키고 있다.

회전축선 주위에 있어서의 편심 캠(134)의 편심방향은, 편심 캠(134)이 체결너트(138)에 의해 긴부재(120)에 체결고정되어 있음으로써, 유지된다.

편심 캠(134)의 편심방향의 조정은, 체결너트(138)에 의한 긴부재(120)로의 편심 캠(134)에 체결상태를 느슨하게 하고, 그 상태에서 편심 캠(134)을 각도적으로 회전시킴으로써 조정할 수 있다.

조정 후의 편심방향은 편심 캠(134)을 체결너트(138)에 의해 긴부재(120)에 다시 체결하여 고정함으로써, 유지된다.

캠 폴로어(136)는, 이것이 프로브조립체(36){또는 (38)}의 오목개소(114)에 수납되도록 오목개소(114)의 폭치수와 거의 동일한 외경치수를 가진다.

도 4 내지 도 9에 나타낸 바와 같이, 긴부재(120)는 세팅 핀(126)을 세팅구멍(130)에 통과하게 하고, 플런저(132)를 세팅 핀(126)의 상단부에 걸림하게 하고, 위치결정 핀(124)를 관통구멍(128)에 수납한 상태로, 프로브지지판(32){또는 (34)}상에 배치된다.

이것에 의해서, 도 5에 나타낸 바와 같이, 긴부재(120) 및 위치결정부재(122)는 각각 프로브부착판(32) 또는 (34) 및 프로브조립체(36) 또는 (38)로부터 상방으로 떨어진 위치에 일시적으로 유지된다.

상기 상태에 있어서 위치결정구(62)와 피검사영역(14a){또는 (14b)}의 상대 적 위치관계가 조정된다. 이 때문에 각 관통구멍(128)은 긴부재(120)의 길이방향으로 긴 긴구멍으로 되어 있고, 원점 마크 홀더(140)가 긴부재(120)에 부착되어 있고, 프로브부착판(32){또는 (34)}에 대한 Y(또는 Ⅹ)방향에 있어서의 긴부재(120)의 위치를 조정하는 한쌍의 위치조정기구(142,144)가 긴부재(120)에 구비되어 있다.

원점 마크 홀더(140)는 긴부재(120)로부터 표시용 패널(12)을 향해서 하방으로 연장되는 상태로, 긴부재(120)에 부착되어 있다.

도 14에 나타낸 바와 같이, 원점 마크 홀더(140)의 하단부는 표시용 패널(12)과 평행으로 구부러져 있다. 투명 유리판(146)은 원점 마크 홀더(140)의 하단부에 부착되어 있고, 이 유리판(146)에 원점 마크(148)가 형성되어 있다.

원점 마크(148)는 표시용 패널(12)의 피검사영역(14a){또는 (14b)}에 형성된 원점 마크와 동일한 형상, 예를 들면 十자형상으로 할 수 있다.

일측의 위치조정기구(142)는 위치결정 핀(124)에 맞닿음가능한 블록(150)을 결합나사(152)에 의해 긴부재(120)에 이것의 길이방향에 있어서의 위치를 조정가능하게 부착하고, 긴부재(120)의 길이방향으로 연장되는 나사구멍을 가지는 보조부재(154)를 긴부재(120)에 이동불가능하게 부착하고, 조정볼트(156)를 보조부재(154)의 나사구멍에 나사결합시키고 있다.

블록(150)은 긴부재(120)의 길이방향에 있어서의 블록(150)의 위치가 미리 조정되어 있고, 또 그 상태로 결합나사(152)에 의해 긴부재(120)에 떼어낼 수 있게 고정되어 있다.

조정볼트(156)는 위치결정구(62)가 프로브지지판(32){또는 (34)}에 배치된 상태에 있어서, 블록(150)의 선단부가 일측의 위치결정 핀(124)에 맞닿음하는 상태로, 고정너트(158)에 의해 유지되고 있다.

타측의 위치조정기구(144)는 위치결정 핀(124)에 맞닿음가능한 다른 블록(160)을 다른 결합나사(162)에 의해서 긴부재(120)에 이것의 길이방향에 있어서의 위치를 조정가능하게 부착하고, 긴부재(120)의 길이방향으로 연장되는 관통구멍을 가지는 다른 보조부재(164)를 긴부재(120)에 이동불가능하게 부착하고, 다른 조정볼트(166)를 보조부재(164)에 통과하게 하고 있다.

타측의 조정볼트(166)는 이것의 선단부에 있어서 타측의 블록(160)에 캔틸레버형상으로 지지되어 있고, 또 타단부측에 다른 고정너트(168)를 나사결합하고 있다. 조정볼트(166)는 압축코일스프링(170)에 의해 고정너트(168)가 보조부재(164)에 맞닿음한 상태로 탄지되어 있다.

블록(160)은 위치결정구(62)가 프로브지지판(32){또는 (34)}에 배치될 때까지는, 결합나사(162)가 느슨하게 되어 있음으로써, 긴부재(120)의 길이방향으로 자유롭게 이동가능하게 되어 있다.

그러나, 위치결정구(62)가 프로브지지판(32){또는 (34)}에 배치되고, 위치결정구(62)의 위치조정이 행하여지면, 블록(160)은 위치결정 핀(124)에 압압된 상태로 결합나사(162)에 의해 유지된다.

위치결정구(62)의 위치조정은 플런저(132)와 세팅 핀(126)의 걸림을 해제시키도록 긴부재(120)를 눌러 내리고, 양 위치결정 핀(124)을 긴부재(120)에 관통시킴으로써 행하여진다.

상기의 위치조정은, 예를 들면 블록(150) 및 (160)이 각각 위치결정 핀(124) 및 (124)에 압압되도록, 위치조정기구(142) 및 (144)를 위치결정함으로써 행할 수 있다. 이 위치조정 후, 타측의 블록(160)은 결합나사(162)에 의해 긴부재에 이동 불가능하게 부착된다.

상기의 위치조정에 있어서, 보조부재(154)의 나사구멍에 대한 조정볼트(156)의 비틀어 넣는 양을 조정해도 된다.

긴부재(120)는 이것이 위치결정된 상태로, 한쌍의 부착나사(172)를 긴부재(120)에 통과하게 해서 프로브부착판(32) 또는 (34)에 나사결합시킴으로써, 프로브부착판(32) 또는 (34)에 떼어낼 수 있게 부착된다.

각 프로브조립체(36){또는 (38)}는, 플런저(132)와 세팅 핀(126)의 걸림이 도 5에 나타낸 바와 같이 걸림되어 있는 상태에 있어서, 작업자에 의해 대응하는 위치결정부재(122)를 오목개소(114)에 수납하는 위치로 이동된다.

각 프로브조립체(36){또는 (38)}가 소정의 위치로 이동된 후, 긴부재(120)는 플런저(132)와 세팅 핀(126)의 걸림이 해제되고 또한 양 위치결정 핀(124)이 긴부재(120)를 관통한 상태로, 눌러 내려져서 프로브지지판(32){또는 (34)}에 얹어 놓이게 된다.

긴부재(120)의 길이방향에 있어서의 오목개소(114) 및 위치결정부재(122)의 위치에 다소의 어긋남이 있어도, 이 위치 어긋남은 양 위치결정 핀(124)이 관통구멍(128)을 관통할 때 자연히 수정된다.

즉, 위치결정부재(122)는 이것의 하강에 따라서, 먼저 도 9(A)에 나타낸 바와 같이 오목개소(114)의 상부의 경사 안내면에 맞닿음되기 때문에, 도 9(B)에 나타낸 바와 같이 오목개소(114)에 완전히 수납되기까지, 프로브조립체(36){또는 (38)}를 긴부재(120)의 길이방향으로 이동시킨다. 이것에 의해서 오목개소(114) 및 위치결정부재(122)의 위치 어긋남이 수정된다.

상기 위치 어긋남의 수정 시, 캠 폴로어(136)가 오목개소(114)를 형성하는 내면을 회전하기 때문에, 위치결정부재(122)는 오목개소(114)에 확실히 수납되고 프로브조립체(36){또는 (38)}를 확실히 이동시킨다.

또 도 9(A)에 나타낸 바와 같이, 위치결정부재(122)가 최초로 제 2 부재(112)에 맞닿음하는 경우, 위치결정부재(122)는 제 2 부재(112)를 제 1 부재(110)에 대해 탄성체(118)의 탄지력에 저항하여 기울어지면서, 오목개소(114)의 안으로 이동한다.

그러나, 위치결정부재(122)가 오목개소(114)의 안에 도달되면, 제 2 부재(112)가 탄성체(118)에 의해서 원래의 상태로 되돌려지기 때문에, 오목개소(114) 및 위치결정부재(122)의 위치 어긋남이 바르게 수정된다.

오목개소(114) 및 위치결정부재(122)에 의해 얻어지는 작용 효과는, 오목개소(114)를 위치결정구(62)에 형성하고, 위치결정부재(122)를 프로브조립체(36,38)에 구비해도 얻을 수 있다.

도 8 및 도 9에 나타낸 바와 같이, Y방향용의 프로브부착판(32)에 부착된 각 위치결정구(62)는 Y방향에 있어서의 가동 프레임(26)의 위치조정을 위하여, 또한, 긴부재(120)에 이동불가능하게 나사고정된 브래킷(180)과, Y방향으로 연장되는 상태로 가동 프레임(26)에 캔틸레버형상으로 지지된 위치결정 핀(182)을 포함한다.

브래킷(180)은 상단부를 Y방향으로 관통하는 나사구멍을 가지고 있고, 이 나사구멍에 조정나사(184)를 나사결합시키고 있다. 조정나사(184)는 한쌍의 고정너트(186)에 의해 이동이 저지되고 있다.

위치결정 핀(182)은 일단부에 있어서 가동 프레임(26)이 나사결합되고, 조정나사(184)를 향해서 연장되고, 조정나사(184)의 단부면에 맞닿음되어 있다.

Y방향에 있어서의 가동 프레임(26)의 위치는, 조정나사(184)에 대한 고정너트(186)의 나사결합상태를 느슨하게 하고, 브래킷(180)의 나사구멍에 대한 조정나사(184)의 비틀어 넣는 양을 조정함으로써, 조정할 수 있다. 조정 후, 조정나사(184)는 고정너트(186)에 의해 브래킷(180)에 대해 이동불가능하게 유지된다.

Y방향에 있어서의 가동 프레임(26)의 위치가 조정되면, 가동 프레임(26)은 프레임 본체(24)에 대해, 위치결정 핀(182)이 조정나사(184)에 맞닿음한 상태로, 가동 프레임(26)의 양단부에 배치된 한쌍의 클램프(188)에 의해 해제가능하게 유지된다.

위치결정 핀(182) 및 조정나사(184)를 각각 가동 프레임(26) 및 브래킷(180)에 배치하는 대신에, 위치결정 핀(182) 및 조정나사(184)를 각각 브래킷(180) 및 가동 프레임(26)에 배치해도 된다.

프로브장치(10)에 있어서는, 제 1 방향에 있어서의 위치결정부재(122)의 간격 또는 제 1 방향에 있어서의 오목개소(114)의 간격이 검사할 표시용 패널(12)의 종류에 따라서 상이한 복수의 위치결정구(62)가 미리 준비된다.

검사할 표시용 패널(12)의 종류를 변경할 때, 새로운 표시용 패널의 종류에 따른 위치결정구(62)가 선택되고, 그것의 각 위치결정부재(122)가 오목개소(114)에 수납되도록, 프로브조립체(36) 또는 (38)가 이동됨과 아울러, 그 위치결정구(62)가 프레임(20)에 위치된다. 이것에 의해서 프로브조립체(36) 또는 (38)가 새로운 종류의 표시용 패널(12)에 따른 위치에 위치된다.

(산업상이용가능성)

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 그 취지를 일탈하지 않는 한, 여러 가지로 변경할 수 있다.

본 발명에 관한 프로브장치에 있어서는, 제 1 방향에 있어서의 위치결정부재 또는 오목개소의 간격이 상이한 복수의 위치결정구가 미리 준비된다.

검사할 표시용 패널의 종류를 변경할 때, 새로운 표시용 패널에 따른 위치결정구가 선택되고, 이것의 각 위치결정부재가 오목개소에 수납되도록, 프로브조립체가 이동됨과 아울러, 그 위치결정구가 프레임에 위치된다. 이것에 의해 프로브조립체가 새로운 종류의 표시용 패널에 따른 위치에 위치된다.

위치결정부재가 오목개소에 수납되면 프로브조립체는 위치결정구에 의해 결정되는 위치에 자연히 유지된다. 이 때문에, 프로브조립체의 위치조정이 용이하게 되고, 그 결과 프로브의 바늘끝을 표시용 패널의 전극의 위치에 정확하게 또한 용이하게 일치시킬 수 있다.

상기 위치결정구는 상기 제 1 방향으로 연장되는 상태로 상기 프레임에 떼어 낼 수 있게 부착된 긴부재와, 각각이 상기 위치결정부재로서 작용하는 복수의 롤러로서 상기 긴부재에 상기 제 1 방향으로 간격을 둔 상태로 부착된, 상기 제 2 방향으로 연장되는 회전축선을 가지는 롤러를 포함하고, 각 프로브조립체는 상기 오목개소를 가지는 가이드블록을 포함할 수 있다. 이와 같이 하면, 롤러가 오목개소에 수납되기 쉽기 때문에, 제 1 방향에 있어서의 롤러와 오목개소의 상대적 위치가 다소 어긋나 있어도 롤러가 오목개소에 수납됨으로써, 프로브조립체가 제 1 방향으로 이동되고, 표시용 패널의 전극에 대한 오목개소, 나아가서는 프로브조립체의 위치가 조정된다.

상기 롤러는 상기 회전축선 주위의 위치를 변경가능하도록 상기 긴부재에 부착된 원형의 편심 캠과, 상기 편심 캠에 이것의 주위에 변위가능하도록 배치된 원형의 캠 폴로어(cam follower)를 구비할 수 있다. 이와 같이 하면, 회전축선 주위에 있어서의 편심 캠의 편심방향을 조정하고, 편심 캠을 그 위치에 해제가능하게 고정함으로써, 프로브의 선단부를 표시용 패널의 전극에 정확하게 위치하게 할 수 있다.

상기 가이드블록은 일단부에 L자형상의 절결부를 가지는 제 1 부재와, 상기 절결부를 상기 오목개소로서 작용하게 하기 위해 상기 제 1 방향에 있어서의 상기 제 1 부재의 개소에 배치된 제 2 부재와, 상기 제 2 부재를 상기 제 1 부재에 상기 제 2 방향으로 연장되는 축선의 주위에 각도적으로 회전가능하게 결합시키는 결합 핀과, 상기 제 2 부재가 상기 제 1 부재에 접근하는 방향으로 상기 결합 핀을 탄지하는 탄성체를 구비할 수 있다. 이와 같이 하면, 제 1 방향에 있어서의 오목개소의 위치가 위치결정부재에 대해 다소 어긋나 있어도 위치결정부재가 오목개소에 완전히 수납됨으로써, 프로브조립체가 위치결정부재에 대하여 정확하게 위치결정된다.

상기 위치결정구는 또한 상기 긴부재를 상기 제 3 방향으로 관통해서 상기 프레임을 향하여 연장되는 세팅 핀과, 상기 세팅 핀에 걸림가능하게 상기 긴부재에 배치된 플런저와, 상기 긴부재를 관통해서 상기 프레임에 나사결합되는 부착나사를 포함할 수 있다.

상기 위치결정구는 또한 상기 제 1 방향으로 간격을 둔 상기 프레임의 2개소에서 상기 제 3 방향으로 연장하여 상기 긴부재를 관통하는 한쌍의 위치결정 핀과, 상기 긴부재에 배치된 한쌍의 블록으로서 상기 위치결정 핀의 상기 제 1 방향에 있어서의 중앙측의 개소 및 단부측의 개소의 어느 일측에 맞닿음가능한 한쌍의 블록과, 상기 블록을 상기 긴부재에 부착하는 결합나사와, 상기 제 1 방향으로 연장하여 일측의 상기 블록의 상기 위치결정 핀과 반대측의 개소에 맞닿음가능하게 상기 긴부재에 나사결합된 한쌍의 조정나사와, 상기 일측의 블록과 상기 조정나사를 접촉시키기 위해 타측의 상기 블록을 탄지하는 스프링을 포함할 수 있다.

상기 프레임은 상기 개구를 가지는 프레임 본체와, 상기 제 2 방향으로 이동가능하게 상기 프레임 본체에 지지된 가동 프레임을 포함하고, 상기 프로브조립체와 상기 위치결정구는 상기 가동 프레임에 배치되어 있어도 된다.

복수의 상기 가동 프레임이 상기 제 2 방향으로 간격을 두고 상기 프레임 본체에 지지되어 있고, 각각이 상기 복수의 프로브조립체를 포함하는 복수의 프로브 그룹이 상기 가동 프레임에 각각 지지되어 있고, 복수의 상기 위치결정구가 상기 가동 프레임에 각각 구비되어 있어도 된다. 이와 같이 하면, 제 2 방향으로 복수개로 이루어진 표시용 패널의 검사에 사용할 수 있다.

프로브장치는 또한, 상기 제 1 방향에 있어서의 상기 개구의 일단부측에 있어서, 상기 제 2 방향으로 간격을 두고, 또 상기 제 2 방향으로 이동가능하게 상기 프레임에 배치된 복수의 제 2 프로브조립체와, 상기 제 2 방향에 있어서의 상기 제 2 프로브조립체의 위치를 해제가능하게 결정하는 복수의 제 2 위치결정구를 포함하고, 상기 제 2 위치결정구는 상기 제 2 방향으로 간격을 둔 상태로 부착된 복수의 제 2 위치결정부재로서 각각이 상기 제 1 방향으로 연장되는 축선을 가지는 복수의 제 2 위치결정부재와, 상기 복수의 제 2 위치결정부재를 각각 수납하기 위해 상기 제 1 방향과 상기 제 3 방향으로 개방되는 복수의 제 2 오목개소 중 어느 일측을 포함하고, 각 제 2 프로브조립체는 상기 제 2 위치결정부재 및 상기 제 2 오목개소의 타측을 포함할 수 있다. 이와 같이 하면, 제 1 및 제 2 방향의 각각에 복수의 전극을 배치한 표시용 패널의 검사에 사용할 수 있다.

각각이 상기 복수의 제 2 프로브조립체를 포함하는 복수의 프로브 그룹이 상기 제 2 방향으로 간격을 두고, 또 상기 제 2 방향으로 이동가능하게 상기 프레임에 배치되어 있고, 상기 제 2 위치결정구가 상기 프로브 그룹마다 구비되어 있어도 된다. 이와 같이 하면, 제 1 및 제 2 방향의 각각에 복수개로 이루어진 표시용 패널의 검사에 사용할 수 있다.

상기 제 2 위치결정구는 상기 제 2 방향으로 연장되는 상태로 상기 가동 프레임에 떼어낼 수 있게 부착된 제 2 긴부재와, 상기 제 2 긴부재에 부착된 브래킷과, 상기 가동 프레임 및 상기 브래킷의 어느 일측에 상기 제 2 방향으로 연장되는 상태로 지지되고 상기 가동 프레임 및 상기 브래킷의 타측을 향해서 연장되는 위치결정 핀과, 상기 위치결정 핀을 상기 가동 프레임 및 상기 브래킷의 타측에 맞닿음하게 한 상태로 상기 가동 프레임을 상기 프레임에 해제가능하게 유지하는 클램프를 포함할 수 있다.

상기 브래킷은 이것을 상기 제 2 방향으로 관통하는 나사구멍과, 상기 나사구멍에 나사결합되어서 상기 위치결정 핀에 맞닿음하는 조정나사를 가질 수 있다.

도 1은 본 발명에 관한 프로브장치의 일실시예를 나타낸 평면도

도 2는 도 1에 나타낸 프로브장치를 종류가 상이한 표시용 패널의 검사에 적용하기 위해 프로브조립체의 배치위치를 변경한 상태의 일례를 나타낸 평면도

도 3은 도 1에 있어서의 3-3선을 따라서 얻은 단면도

도 4는 도 3에 있어서의 일부를 확대해서 나타낸 도면

도 5는 위치결정구와 프로브조립체의 관계를 나타낸 도면

도 6은 위치결정구를 프로브지지판에 배치한 상태를 나타낸 도 5와 마찬가지의 도면

도 7은 Y방향용 위치결정구의 다른 부재를 설명하기 위한 평면도

도 8은 도 7에 있어서의 8-8선을 따라서 얻은 단면도

도 9는 위치결정부재와 오목개소의 작용을 설명하기 위한 도면으로서, (A)는 위치결정부재가 오목개소에 수납되기 시작한 상태를 나타내고, (B)는 위치결정부재가 오목개소에 완전히 수납된 상태를 나타낸 도면

도 10은 프로브조립체의 일실시예를 나타낸 도면

도 11은 도 10에 있어서의 11-11선을 따라서 얻은 단면도

도 12는 프로브블록과 플랫 케이블의 관계를 나타낸 단면도

도 13은 프로브조립체의 조립순서를 설명하기 위한 도면

도 14는 위치맞춤 마크를 설명하기 위한 도면으로서, (A) 및 (B)는 각각 원점 마크 홀더의 하단부의 평면도 및 정면도

도 15는 표시용 패널의 피검사영역을 설명하기 위한 도면

* 도면 중 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 - 프로브장치 12 - 표시용 기판

14a,14b - 피검사영역 16a,16b - 전극군

20 - 프레임 22 - 개구

24 - 프레임 본체 26 - 가동 프레임

26a - 가동 프레임의 중간영역 28,40,44 - 가이드레일

30,42,46 - 가이드부재 32,34 - 프로브부착판

36,38 - 프로브조립체 50 - 프로브블록

52 - 플랫 케이블 54 - 접속블록

56 - 지지블록 58 - 부착블록

62 - 위치결정구 64 - 가이드블록

66 - 프로브 68 - 전기절연성 블록

70 - 측판 72 - 부착 바

74 - 슬릿 바 76 - 가이드 필름

78 - 커넥터 79 - 위치결정 구멍

80 - 위치결정 핀 81 - 나사구멍

82,90,104,106 - 나사부재 84 - 돌출부

86 - 가이드부 88 - 스토퍼 핀

92 - 푸셔 94 - 조정나사

98 - 리니어 가이드 100 - L형 부재

102 - 판상 베이스 110,112 - 제 1 및 제 2 부재

116 - 결합 핀 118 - 탄성체

120 - 긴 부재 122 - 위치결정부재

124 - 위치결정 핀 126 - 세팅 핀

128 - 관통구멍 130 - 세팅구멍

132 - 플런저 134 - 편심 캠

136 - 캠 폴로어(cam follower) 138 - 체결너트

140 - 원점 마크 홀더 142,144 - 위치조정기구

146 - 투명 유리판 148 - 원점 마크

150,160 - 블록 152,162 - 결합나사

154,164 - 보조부재 156,166 - 조정볼트

158,168 - 고정너트 170 - 압축코일스프링

180 - 브래킷 182 - 위치결정 핀

184 - 조정나사 158,168,186 - 고정너트

188 - 클램프

Claims

개구를 형성하는 프레임과, 상기 개구와 평행인 면내를 연장하는 제 1 방향으로 이동할 수 있도록 상기 프레임에 배치된 복수의 프로브조립체와, 상기 제 1 방향에 있어서의 상기 복수의 프로브조립체의 위치를 해제할 수 있도록 유지하는 위치결정구를 포함하고,

상기 위치결정구는, 상기 제 1 방향으로 간격을 둔 복수의 위치결정부재로서 상기 면내를 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 연장하는 축선을 가지는 복수의 위치결정부재와, 상기 복수의 위치결정부재를 각각 수납하기 위해 상기 제 2 방향으로 개방됨과 아울러 상기 면과 교차하는 제 3 방향으로 개방되는 복수의 오목개소 중 어느 일측을 포함하고, 각 프로브조립체는, 상기 위치결정부재 및 상기 오목개소의 타측을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
청구항 1에 있어서,

상기 위치결정구는, 상기 제 1 방향으로 연장되는 상태로 상기 프레임에 떼어 낼 수 있게 부착된 긴부재와, 각각이 상기 위치결정부재로서 작용하는 복수의 롤러로서 상기 긴부재에 상기 제 1 방향으로 간격을 둔 상태로 부착된, 상기 제 2 방향으로 연장되는 회전축선을 가지는 롤러를 포함하고,

각 프로브조립체는, 상기 오목개소를 가지는 가이드블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
청구항 2에 있어서,

상기 롤러는, 상기 회전축선 주위의 위치를 변경가능하도록 상기 긴부재에 부착된 원형의 편심 캠과, 상기 편심 캠에 이것의 주위에 변위가능하도록 배치된 원형의 캠 폴로어(cam follower)를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
청구항 2에 있어서,

상기 가이드블록은, 일단부에 L자형상의 절결부를 가지는 제 1 부재와, 상기 절결부를 상기 오목개소로서 작용하게 하기 위해 상기 제 1 방향에 있어서의 상기 제 1 부재의 개소에 배치된 제 2 부재와, 상기 제 2 부재를 상기 제 1 부재에 상기 제 2 방향으로 연장되는 축선의 주위에 각도적으로 회전가능하게 결합시키는 결합 핀과, 상기 제 2 부재가 상기 제 1 부재에 접근하는 방향으로 상기 결합 핀을 탄지하는 탄성체를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
청구항 2에 있어서,

상기 위치결정구는, 또한 상기 긴부재를 상기 제 3 방향으로 관통해서 상기 프레임을 향하여 연장되는 세팅 핀과, 상기 세팅 핀에 걸림가능하게 상기 긴부재에 배치된 플런저와, 상기 긴부재를 관통해서 상기 프레임에 나사결합되는 부착나사를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
청구항 2에 있어서,

상기 위치결정구는, 또한 상기 제 1 방향으로 간격을 두고 상기 프레임에서 상기 제 3 방향으로 연장하여 상기 긴부재를 관통하는 한쌍의 위치결정 핀과,

상기 긴부재에 배치된 한쌍의 블록으로서 상기 위치결정 핀의 상기 제 1 방향에 있어서의 중앙측의 개소 및 단부측의 개소의 어느 일측에 맞닿음가능한 한쌍의 블록과,

상기 블록을 상기 긴부재에 부착하는 결합나사와,

상기 제 1 방향으로 연장하여 일측의 상기 블록의 상기 위치결정 핀과 반대측의 개소에 맞닿음가능하게 상기 긴부재에 나사결합된 한쌍의 조정나사와,

상기 일측의 블록과 상기 조정나사를 접촉시키기 위해 타측의 상기 블록을 탄지하는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
청구항 1에 있어서,

상기 프레임은, 상기 개구를 가지는 프레임 본체와, 상기 제 2 방향으로 이동가능하게 상기 프레임 본체에 지지된 가동 프레임을 포함하고,

상기 프로브조립체와 상기 위치결정구는, 상기 가동 프레임에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
청구항 7에 있어서,

복수의 상기 가동 프레임이 상기 제 2 방향으로 간격을 두고 상기 프레임 본체에 지지되어 있고, 각각이 상기 복수의 프로브조립체를 포함하는 복수의 프로브 그룹이 상기 가동 프레임에 각각 지지되어 있고, 복수의 상기 위치결정구가 상기 가동 프레임에 각각 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
청구항 7에 있어서,

또한, 상기 제 1 방향에 있어서의 상기 개구의 일단부측에 있어서, 상기 제 2 방향으로 간격을 두고, 또 상기 제 2 방향으로 이동가능하게 상기 프레임에 배치된 복수의 제 2 프로브조립체와, 상기 제 2 방향에 있어서의 상기 제 2 프로브조립체의 위치를 해제가능하게 결정하는 복수의 제 2 위치결정구를 포함하고,

상기 제 2 위치결정구는, 상기 제 2 방향으로 간격을 둔 상태로 부착된 복수의 제 2 위치결정부재로서 각각이 상기 제 1 방향으로 연장되는 축선을 가지는 복수의 제 2 위치결정부재와, 상기 복수의 제 2 위치결정부재를 각각 수납하기 위해 상기 제 1 방향과 상기 제 3 방향으로 개방되는 복수의 제 2 오목개소 중 어느 일측을 포함하고,

각 제 2 프로브조립체는, 상기 제 2 위치결정부재 및 상기 제 2 오목개소의 타측을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
청구항 9에 있어서,

각각이 상기 복수의 제 2 프로브조립체를 포함하는 복수의 프로브 그룹이 상기 제 2 방향으로 간격을 두고, 또 상기 제 2 방향으로 이동가능하게 상기 프레임에 배치되어 있고, 상기 제 2 위치결정구가 상기 프로브 그룹마다 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
청구항 9에 있어서,

상기 제 2 위치결정구는, 상기 제 2 방향으로 연장되는 상태로 상기 가동 프레임에 떼어낼 수 있게 부착된 제 2 긴부재와,

상기 제 2 긴부재에 부착된 브래킷과,

상기 가동 프레임 및 상기 브래킷의 어느 일측에 상기 제 2 방향으로 연장되는 상태로 지지되고 상기 가동 프레임 및 상기 브래킷의 타측을 향해서 연장되는 위치결정 핀과,

상기 위치결정 핀을 상기 가동 프레임 및 상기 브래킷의 타측에 맞닿음하게 한 상태로 상기 가동 프레임을 상기 프레임에 해제가능하게 유지하는 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
청구항 11에 있어서,

상기 브래킷은, 이것을 상기 제 2 방향으로 관통하는 나사구멍과, 상기 나사구멍에 나사결합되어서 상기 위치결정 핀에 맞닿음하는 조정나사를 가진 것을 특징으로 하는 프로브장치.