KR20060049154A

KR20060049154A - 표시용 패널의 검사장치

Info

Publication number: KR20060049154A
Application number: KR1020050105047A
Authority: KR
Inventors: 마사유끼 안자이; 히데키 이께우찌; 유타카 코사카
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2004-11-08
Filing date: 2005-11-03
Publication date: 2006-05-18
Also published as: TW200615637A; TWI314659B; JP2006133099A; KR100784274B1

Abstract

본 발명에 따른 표시용 패널의 검사장치는, 검사 스테이지를 변위시킴으로써, 좌우의 시야각 검사를 가능하게 하기 위한 것이다. 상기 검사장치는, 표시용 패널을 받는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지를 지지하는 베이스 프레임과, 검사 스테이지를 상기 베이스 프레임에 대하여 상하방향으로 연장하는 제1 축선 주위로 회전시키는 제1 회전기구와, 검사 스테이지를 베이스 프레임에 대하여 수평방향으로 연장하는 제2 축선 주위로 회전시키는 제2 회전기구를 포함한다.

표시용 패널, 검사장치, 검사 스테이지, 회전기구

Description

표시용 패널의 검사장치{Apparatus For Inspecting Of Display Panel}

도1은 본 발명에 따른 검사장치의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.

도2는 도1에 나타낸 검사장치의 측면도로서 검사 스테이지를 위를 향하게 한 상태로 나타낸다.

도3은 도1에 나타낸 검사장치의 측면도로서 검사 스테이지를 비스듬히 위로 향하게 한 상태로 나타낸다.

도4는 도1에 나타낸 검사장치의 평면도로서 검사 스테이지를 정면을 향하게 한 상태로 나타낸다.

도5는 도1에 나타낸 검사장치의 평면도로서 검사 스테이지를 비스듬히 왼쪽을 향하게 한 상태로 나타낸다.

도6은 도1에 나타낸 검사장치의 평면도로서 검사 스테이지를 비스듬히 오른쪽으로 향하게 한 상태로 나타낸다.

도7은 전기적 접속장치의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.

도8은 도7에 나타낸 전기적 접속장치의 평면도이다.

도9는 도7에 나타낸 전기적 접속장치의 정면도이다.

도10은 도8에서의 10-10선 단면도이다.

도11은 접촉자 유닛의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.

도12는 도11에 나타낸 접촉자 유닛의 평면도이다.

도13은 도12에서의 13-13선 단면도이다.

도14는 접촉자 유닛의 동작을 설명하기 위한 도면으로, (A)는 제1 이동 블록이 후퇴위치에 있을 때의 도면, (B)는 제1 이동 블록이 전진종료시기 및 후퇴개시시기에 있을 때의 도면, (C)는 제1 이동 블록이 전진위치에 있을 때의 도면이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

10: 검사장치 12: 표시용 패널

14: 검사 스테이지 16: 베이스 프레임(base frame)

18: 제1 회전기구 20: 제2 회전기구

22: 받음 영역 24: 기대(基台)

26: 이동대 28: 이동기구

34: 볼나사 36: 너트

40: 이동기구의 구동원 42: 베이스 부재

44: 지주 46: 제1 회전기구의 구동원

50: 추축(樞軸) 110: 전기적 접속장치

116: 지지대 118: 스테이지 본체

120: 백라이트 유닛 134: 설치 베이스(제1 베이스)

136: 프로브 베이스(제2 베이스) 138: 접촉자 유닛

140, 44: 개구 142: 패널 받이

146: 광 확산판 150: 위치 결정 핀

152: 스토퍼 핀 154: 푸셔

160: 베이스 판 162: 제1 이동 블록

164: 제2 이동 블록 166: 접촉자 블록

168: 가이드 레일 170: 가이드

발명의 분야

본 발명은 액정표시패널과 같은 표시용 패널을 검사하는 장치에 관한 것이다.

발명의 배경

액정표시패널이나 유리판상과 같은 표시용 패널은, 이것이 사양서 대로 작동하는지 아닌지의 통전시험 즉 검사가 된다.

이러한 종류의 검사장치의 하나로서, 표시용 패널을 받는 검사 스테이지를 수평방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전시켜, 표시용 패널을 수평상태 와 경사상태로 선택적으로 놓을 수 있도록 한 것이 있다(일본 특개2004-108921호 공보).

상기 종래의 검사장치에 있어서, 검사 스테이지는, 판상의 베이스와, 상기 베이스 위에 설치된 지지 스테이지와, 지지 스테이지 위에 설치되어 표시용 패널을 받는 워크 테이블 즉 지지대를 포함한다.

지지 스테이지는, 지지대를, 이것에 받은 표시용 패널과 평행한 면내에서 이차원적으로 이동시킴과 동시에, 그 표시용 패널에 수직인 방향으로 이동시키고, 게다가 그 표시용 패널에 수직인 축선 주위로 각도적으로 회전시킨다. 이에 의해, 지지대에 받아진 표시용 패널이 통전용 프로브에 대하여 이동되어 위치 결정된다.

검사장치에 있어서는, 표시용 패널을 좌우방향으로부터 비스듬히 관찰하여 그 표시용 패널에 의해 표시되는 화상을 눈으로 볼 수 있는 시야각의 검사를 하는 일이 있다.

그러나 상기와 같은 시야각 검사 시, 종래의 검사장치에서는, 표시용 패널을 통전용 프로브에 대하여 이동할 수 있는데 불과하기 때문에, 육안 점등검사의 경우에는, 작업자가 검사장치에 대하여 좌우로 이동해야 하고, 비디오카메라를 이용하는 자동검사의 경우에는, 비디오카메라를 검사 스테이지에 대하여 좌우로 이동시켜야 한다.

본 발명의 목적은, 검사 스테이지를 변위시킴으로써, 좌우의 시야각 검사를 가능하게 하기 위한 것이다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 검사장치는, 표시용 패널을 받는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지를 지지하는 베이스 프레임과, 상기 검사 스테이지를 상기 베이스 프레임에 대하여 상하방향으로 연장하는 제1 축선 주위로 회전시키는 제1 회전기구를 포함한다.

검사 스테이지를 제1 회전기구에 의해 제1 축선 주위로 각도적으로 회전시키면, 검사 스테이지가 이것에 받아진 표시용 패널과 함께 좌우방향으로 각도적으로 회전된다.

상기의 결과, 육안검사의 경우에는 작업자가 검사장치에 대하여 좌우로 이동하지 않고, 또 자동검사의 경우에는 비디오카메라를 검사 스테이지에 대하여 좌우로 이동시키지 않고, 좌우 시야각의 검사를 할 수 있다.

검사장치는, 상기 검사 스테이지를 상기 베이스 프레임에 대하여 수평방향으로 연장하는 제2 축선 주위로 회전시키는 제2 회전기구를 더 포함할 수 있다. 그와 같이 하면, 표시용 패널을 수평 및 경사의 어느 상태에서도 검사할 수 있다. 또, 육안검사의 경우에는 작업자가 검사장치에 대하여 상하로 이동하지 않고, 또 자동검사의 경우에는 비디오카메라를 검사 스테이지에 대하여 상하로 이동시키지 않고, 상하 시야각의 검사를 할 수 있다.

상기 제1 회전기구는 상기 베이스 프레임에 지지되어 있어도 좋고, 또 상기 제2 회전기구는 상기 제1 회전기구에 지지되어 있어도 좋고, 게다가 상기 검사 스테이지는 상기 제1 또는 제2 회전기구를 사이에 두고 상기 베이스 프레임에 지지되어 있어도 좋다. 그와 같이 하면, 제2 회전기구를 베이스 프레임에 지지시키고, 제1 회전기구를 제2 회전기구에 지지시킨 경우에 비해, 제1 축선 주위에서의 검사 스테이지의 회전 범위가 좁아진다.

상기 베이스 프레임은, 프레임에 설치되는 기대(基台)와, 상기 제2 축선과 교차하는 수평방향으로 이동 가능하게 지지된 이동대(移動台)와, 상기 이동대를 상기 기대에 대하여 이동시키는 이동기구를 갖출 수 있다.

상기 제1 회전기구는, 상기 제1 축선 주위로 회전 가능하게 상기 베이스 프레임에 배치된 베이스 부재와, 상기 베이스 부재를 상기 베이스 프레임에 대하여 상기 제1 축선 주위로 회전시키는 제1 구동원과, 상기 베이스 부재에서 상기 제2 축선 방향으로 간격을 두고 일어서는 한 쌍의 지주로서 상기 검사 스테이지를 상기 제2 축선 주위로 회전 가능하게 지지하는 지주를 포함할 수 있다.

상기 제2 회전기구는, 상기 검사 스테이지를 상기 제2 축선 주위로 회전시키기 위해 한 쪽의 상기 지주의 상부에 지지된 제2 구동원을 포함할 수 있다.

상기 이동기구는, 상기 이동대의 이동방향으로 연장하는 상태로 상기 기대에 회전 가능하게 지지된 볼나사와, 상기 볼나사에 결합되어 상기 이동대에 설치된 너트와, 상기 볼나사를 이것의 축선 주위로 회전시키는 제3 구동원을 포함할 수 있 다.

상기 검사 스테이지는, 상기 제1 회전기구에 의해 회전되는 스테이지 본체와, 상기 스테이지 본체에 배치된 지지대와, 상기 지지대에 배치된 전기적 접속장치로서 복수의 접촉자 유닛을 갖춘 전기적 접속장치를 포함할 수 있고, 또 상기 지지대 및 상기 전기적 접속장치의 어느 한 쪽은, 검사해야 할 표시용 패널을 받는 패널 받이를 갖출 수 있다. 그와 같이 하면, 전기적 접속장치를 지지대와 함께 제1 축선 주위로 각도적으로 회전시킬 수 있다.

상기 스테이지 본체는, 상기 지지대를 최소한 이차원적으로 이동시킬 수 있다.

상기 전기적 접속장치는, 제1 개구를 갖는 판상의 제1 베이스와, 상기 제1 베이스에 배치된 판상의 제2 베이스와, 상기 제2 베이스에 배치된 복수의 접촉자 유닛을 포함할 수 있고, 또 상기 제2 베이스는, 표시용 패널을 받는 패널 받이로서 상기 제1 개구와 마주보는 사각형의 제2 개구를 형성하는 패널 받이를 갖추고 있어도 좋다.

상기 전기적 접속장치는, 상기 패널 받이에 받아진 표시용 패널의 가장자리가 접할 수 있게 상기 제2 베이스에 배치된 복수의 스토퍼 핀과, 상기 패널 받이에 받아진 표시용 패널을 상기 스토퍼 핀을 향해 누르도록, 상기 제2 베이스에 배치된 복수의 푸셔를 더 포함할 수 있다. 그와 같이 하면, 패널 받이에 받아진 표시용 패널이 전기적 접속장치에 대하여, 용이하게 위치 결정된다.

각 접촉자 유닛은, 상기 패널 받이에 받아진 표시용 패널의 전극에 개방 가 능하게 접촉되는 복수의 접촉자를 갖는 접촉자 블록을 갖출 수 있다.

이하의 설명에서는, 검사 스테이지에 받아진 표시용 패널의 두께방향을 상하방향 또는 Z방향이라 하고, 그 패널에 대한 접촉자의 침선쪽(패널쪽)을 아래쪽이라 하고, 그 패널에 평행한 수평의 직각 좌표에서의 두 방향을 X방향 및 Y방향이라 한다. 그러나 검사 시에는, 그 패널의 두께방향을 경사 또는 횡방향으로 해도 좋고, 상하방향을 반대로 하여 사용해도 좋다.

도1∼도6을 참조하면, 검사장치(10)는, 뒤에 도7 내지 도14에 나타낸 검사 스테이지와 관련하여 설명하는 표시용 패널(12)의 통전시험(통전검사)에 이용된다. 표시용 패널(12)은, 사각형의 형상을 갖고 있고, 또 사각형의 각 변의 몇 개에 대응하는 가장자리의 각각에 복수의 전극을 갖춘다.

도시한 예에서는, 표시용 패널(12)은, 액정을 봉입한 액정표시패널이고, 또 서로 이웃하는 두 가장자리의 각각에 복수의 전극을 대응하는 가장자리의 길이방향으로 간격을 두고 갖고 있다. 이 때문에, 검사장치(10)는 액정표시패널의 점등검사에 이용된다.

도1∼도4를 참조하면, 검사장치(10)는, 표시용 패널(12)을 받는 검사 스테이지(14)와, 검사 스테이지(14)를 지지하는 베이스 프레임(16)과, 검사 스테이지(14)를 베이스 프레임(16)에 대하여 상하방향으로 연장하는 제1 축선 주위로 회전시키는 제1 회전기구(18)와, 검사 스테이지(14)를 베이스 프레임(16)에 대하여 수평방향으로 연장하는 제2 축선 주위로 회전시키는 제2 회전기구(20)를 포함한다.

검사 스테이지(14)는, 나중에 상세하게 설명하지만, 표시용 패널(12)을 받는 받음 영역(22)을 갖고 있다.

베이스 프레임(16)은, 판상의 기대(24)를 검사장치(10)의 하우징 프레임에 설치하고, 복수의 결합구(25)에 의해 간격을 둔 상태로 결합된 판상의 한 쌍의 이동대(26)를 기대(24)에 상기 제2 축선과 교차하는 수평방향으로 이동 가능하게 지지시키고, 이동대(26)를 이동기구(28)에 의해 기대(24)에 대하여 상기 제2 축선과 교차하는 수평방향으로 이동시키는 구조로 되어 있다.

기대(24)는, 이것의 윗면에, 한 쌍의 레일(30)을, 이들이 이동대(26)의 이동방향과 직교하는 방향(제1 축선 방향)으로 간격을 두고 이동대(26)의 이동방향으로 연장하도록 설치하고 있다.

이동대(26)는, 레일(30)과, 이들 레일(30)에 이동 가능하게 결합된 복수의 가이드(32)에 의해, 기대(24)에 이동 가능하게 결합되어 있다. 가이드(32)는 아래쪽 이동대(26)의 아래면에 설치되어 있다.

이동기구(28)는, 볼나사(34)를 이것이 이동대(26)의 이동방향으로 연장하는 상태로 기대(24)에 회전 가능하게 지지시키고, 볼나사(34)에 결합된 너트(36)를 이동대(26)의 아래면에 설치하고 있다.

볼나사(34)는, 이것의 길이방향에서의 양 단부에 있어서, 기대(24)로부터 볼나사(34)의 길이방향으로 간격을 두고 일어서는 한 쌍의 지지편(片)(38)에 의해, 기대(24)에 회전 가능하게 지지되어 있고, 또 한쪽 지지편(38)에 설치된 전동기와 같은 구동원(40)에 의해, 자신의 축선 주위로 회전된다.

제1 회전기구(18)는, 상기 제1 축선 주위로 회전 가능하게 위쪽 이동대(26)에 배치된 판상의 베이스 부재(42)와, 베이스 부재(42)로부터 상기 제2 축선 방향으로 간격을 두고 일어서는 한 쌍의 지주(44)와, 베이스 부재(42)를 지주(44)와 함께 이동대(26)에 대하여 상기 제1 축선 주위로 회전시키는 전동기와 같은 구동원(46)을 포함한다.

베이스 부재(42)는 축 부재(48)에 의해 이동대(26)에 회전 가능하게 지지되어 있고, 지주(44)는 베이스 부재(42)에 이동이 불가능하게 설치되어 있다. 구동원(46)은, 베이스 부재(42)의 아래쪽에 설치되어 있고, 또 축 부재(48)를 사이에 두고 베이스 부재(42)를 상기 제1 축선 주위로 회전시킨다.

검사 스테이지(14)는, 이것의 상기 제1 축선 방향에서의 각 단부로부터 바깥쪽으로 돌출하는 한 쌍의 추축(50)에 의해 양 지주(44)의 상단부에 회전 가능하게 지지되어 있다. 구동원(46)은 한쪽 추축(50)을 사이에 두고 검사 스테이지(14)를 상기 대(台)(1)의 축선 주위로 회전시킨다.

제2 회전기구(20)는, 한쪽 추축(50)을 사이에 두고 검사 스테이지(14)를 상기 제2 축선 주위로 회전시키도록 한쪽 지주(44)의 상부에 지지되어 있고, 또 전동기와 같은 구동원을 포함한다.

검사장치(10)에 있어서, 검사 스테이지(14)를 제1 회전기구(18)에 의해 제1 축선 주위로 각도적으로 회전시키면, 검사 스테이지(14)가 도4, 도5 또는 도6에 나타낸 바와 같이, 정면을 향한 상태, 비스듬히 오른쪽을 향한 상태 또는 비스듬히 왼쪽을 향한 상태로 회전된다. 이 때문에, 그들 어느 상태에 있어서도, 패널(12)의 점등검사를 할 수 있고, 패널(12)의 수도(受渡)를 할 수 있다.

상기의 결과, 육안검사의 경우에는 작업자가 검사장치에 대하여 좌우로 이동하지 않고, 또 자동검사의 경우에는 비디오카메라를 검사 스테이지에 대하여 좌우로 이동시키지 않고, 좌우 시야각의 검사를 할 수 있다. 또 비스듬히 오른쪽을 향하는 각도 및 비스듬히 왼쪽을 향하는 각도는 모두 목적에 따라 선택할 수 있다.

또, 검사장치(10)에 있어서, 검사 스테이지(14)를 제2 회전기구(20)에 의해 제2 축선 주위로 각도적으로 회전시키면, 검사 스테이지(14)가 도2, 도3 또는 도4에 나타낸 바와 같이, 위를 향하는 상태, 비스듬히 위 또는 아래를 향하는 상태 또는 정면을 향하는 상태로 회전된다. 이 때문에, 그들 어느 상태에 있어서도, 패널(12)의 점등검사를 할 수 있고, 패널(12)의 수도를 할 수 있다. 또 비스듬히 위 또는 아래를 향하는 각도는 모두 목적에 따라 선택할 수 있다.

상기의 결과, 육안검사의 경우에는 작업자가 검사장치에 대하여 상하로 이동하지 않고, 또 자동검사의 경우에는 비디오카메라를 검사 스테이지에 대하여 상하로 이동시키지 않고, 상하 시야각의 검사를 할 수 있다.

게다가, 검사장치(10)에 의하면, 제1 및 제2 회전기구(18 및 20)를 작동시켜, 검사 스테이지(14)를, 제1 축선 주위에서의 정면 향함, 비스듬히 오른쪽 향함 및 비스듬히 왼쪽 향함과, 제2 축선 주위에서의 위쪽 향함, 경사 또는 아래쪽 향함 및 정면 향함을 임의로 조합시킨 상태로 둘 수 있다.

도4∼도14를 참조하여, 검사 스테이지의 실시예에 대해서 설명한다.

검사 스테이지(14)는, 지지대(116)를 스테이지 본체(118) 위에 설치하고, 지 지대(116)에 백라이트 유닛(120)을 배치하고, 전기적 접속장치(110)를 지지대(116)에 지지하고 있다.

지지대(116)는, 사각형 판의 형상을 갖는 지지 베이스(122)와 사각형의 판의 형상을 갖는 받음 베이스(124)를, 이들이 상하방향으로 간격을 두고 평행하는 상태로, 복수의 지주(126)에 의해 설치하고 있다.

받음 베이스(124)는, 이것의 중앙영역을 두께방향으로 관통하는 개구(128)(도10 참조)에 의해, 틀 형상으로 형성되어 있다. 이에 의해, 개구(128)를 사이에 두고 위쪽으로 개방하는 공간이 지지대(116)에 형성되어 있다.

스테이지 본체(118)는, 지지대(116)를, X, Y 및 Z의 세방향으로(삼차원적으로) 변위시킴과 동시에, Z방향으로 연장하는 θ축선 주위로 각도적으로 회전시킨다.

백라이트 유닛(120)은, 백색 전구나 백색 형광등과 같은 복수의 백라이트(130)를 위쪽으로 개방하는 수납용기(132)에 수용하고 있다(도10 참조). 수납용기(132)는, 지지대(116)의 상기 공간에 배치되고, 지지 베이스(122)에 설치되어 있다.

전기적 접속장치(110)는, 받음 베이스(124) 위에 설치되는 사각형의 판상을 한 설치 베이스(134)와, 설치 베이스(134) 위에 사각형으로 배치된 4개의 프로브 베이스(136)와, 서로 이웃하는 2개의 프로브 베이스(136)에 배치된 복수의 접촉자 유닛(138)을 포함한다.

도10에 나타낸 바와 같이, 설치 베이스(134)는, 받음 베이스(124)의 개구 (128)와 서로 유사한 사각형의 개구(140)를 중앙에 갖고 있다. 개구(140)는 설치 베이스(134)의 두께방향으로 관통하고 있다.

도7 내지 도10에 나타낸 바와 같이, 프로브 베이스(136)는 긴 판의 형상을 갖고 있고, 또 표시용 패널(12)을 받는 패널 받이(142)를 상부에 갖추고 있다. 패널 받이(142)는 사각형의 단면형상을 갖는 소위 각주상을 한 장척(長尺)부재의 형상을 하고 있고, 또 대응하는 프로브 베이스(136)의 폭방향에서의 일단부를 대응하는 프로브 베이스(136)의 길이방향으로 연장하고 있다.

프로브 베이스(136)는, 4개의 프로브 베이스 및 4개의 패널 받이(142)가 개구(140)와 마주보는 개구(144)를 함께 형성하도록, 설치 베이스(134)에 놓여 있다. 개구(144)는, 개구(128 및 140)와 서로 유사한 사각형의 형상을 갖는다.

전기적 접속장치(110)로서 조립된 상태에 있어서, 패널 받이(142)의 개구(144)쪽 가장자리는, 개구(144)를 함께 형성하는 가장자리로서 작용한다. 개구(128 및 140)는 같은 크기를 갖지만, 개구(144)는 개구(128 및 140)보다 작다.

개구(144)는, 패널 받이(142)에 지지된 광 확산판(146)에 의해 폐쇄되어 있다. 광 확산판(146)은, 백라이트(130)로부터의 빛을 확산시켜 표시용 패널(12)의 배면에 조사한다.

전기적 접속장치(110)는, 프로브 베이스(136) 및 설치 베이스(134)를 그들의 위쪽으로부터 관통하여 받음 베이스(124)에 결합된 복수의 나사(148)에 의해, 개구(140 및 144)가 개구(128)와 마주보도록, 받음 베이스(124) 위에 분리 가능하게 설치되어 있다.

전기적 접속장치(110)는, 받음 베이스(124), 설치 베이스(134) 및 프로브 베이스(136)에 끼워 넣어진 복수의 위치 결정 핀(150)에 의해, 받음 베이스(124)에 상대적 위치 결정이 되어 있다. 그들 위치 결정 핀(150)은, 받음 베이스(124), 설치 베이스(134) 및 프로브 베이스(136)의 어느 하나에 고정되어 있다.

서로 이웃하는 2개의 프로브 베이스(136)의 각각은, 표시용 패널(12)의 가장자리가 접할 수 있는 복수의 스토퍼 핀(152)을 설치하고 있다. 서로 이웃하는 다른 2개의 프로브 베이스(136)의 각각은, 표시용 패널(12)을 마주보는 스토퍼 핀(152)을 향해 누르는 1 이상의 푸셔(154)가 설치해 있다.

도시한 예에서는, 서로 이웃하는 2개의 프로브 베이스(136)의 각 패널 받이(142)에 2개의 스토퍼 핀(152)이 패널 받이(142)의 길이방향으로 간격을 두고 설치되어 있고, 서로 이웃하는 다른 2개의 프로브 베이스(136)의 각각에 하나의 푸셔(154)가 설치되어 있다.

각 스토퍼 핀(152)은, 이것이 대응하는 패널 받이(142)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로, 대응하는 패널 받이(142)에 설치되어 있다. 이에 의해, 표시용 패널(12)의 가장자리는, 표시용 패널(12)이 푸셔(154)에 의해 눌림으로써, 스토퍼 핀(152)에 접하게 된다.

각 푸셔(154)는, 도14(A), (B) 및 (C)에 나타낸 예에서는, 솔레노이드 기구나 실린더 기구와 같이 왕복 운동을 하는 푸쉬 기구(156)와, 푸쉬 기구(156)에 의해 표시용 패널(12)에 대하여 왕복 이동되는 푸쉬 편(片)(158)을 갖추고 있고, 푸쉬 기구(156)에 있어서 프로브 베이스(136)에 설치되어 있다.

푸쉬 기구(156)는, 그 출력축(157)의 이동방향이 좌우방향이 되도록, 프로브 베이스(136)에 설치되어 있고, 또 상하방향으로 연장하는 지지 핀(161)을 출력축(157)의 선단에 설치하고, 지지 핀(161)의 상단에 푸쉬 편(158)을 설치하고 있다.

각 푸셔(154)는, 푸쉬 편(158)이 표시용 패널(12)을 향해 전진됨으로써, 그 표시용 패널(12)을 스토퍼 핀(152)을 향해 누르고, 그에 의해 스토퍼 핀(152)과 함께 표시용 패널(12)을 파지(把持)한다.

푸쉬 편(158)이 표시용 패널(12)에 대하여 후퇴되면, 각 푸셔(154)는, 스토퍼 핀(152)과 함께 한 표시용 패널(12)의 파지를 해제한다.

푸셔(154)가 배치된 프로브 베이스(136)의 패널 받이(142)는, 푸셔(154)의 선단측 부분을 받아들이는 요흠부(凹欠部)(159)를 갖고 있다.

요흠부(159)는, 푸쉬 기구(156) 쪽으로 개방하여 상하방향으로 연장하는 홈이고, 또 푸쉬 편(158)이 푸쉬 기구(156)에 의해 전진된 때, 지지 핀(161)을 받아들인다.

푸셔(154)는, 푸쉬 편(158)을 정확하고 확실하게 이동시키는 가이드를 갖추고 있어도 좋다. 또, 다른 타입의 푸셔를 이용해도 좋다.

각 접촉자 유닛(138)은, 도11 내지 도13에 나타낸 바와 같이, 나사에 의해 프로브 베이스(136)에 설치된 베이스 판(160)과, 패널 받이(142)에 대하여 전진 및 후퇴 가능하게 베이스 판(160)에 놓인 제1 이동 블록(162)과, 패널 받이(142)에 받아진 표시용 패널(12)에 대하여 경사진 방향으로 이동 가능하게 제1 이동 블록(162)에 배치된 제2 이동 블록(164)과, 제2 이동 블록(164)에 지지된 접촉자 블록 (166)을 포함한다.

제1 이동 블록(162)의 이동방향은 패널 받이(142)에 받아진 표시용 패널(12)과 평행한 제1 방향이고, 제2 이동 블록(164)의 이동방향은 그 표시용 패널(12)에 대하여 경사져 비스듬히 상하방향으로 연장하는 제2 방향이다.

베이스 판(160)은, 이 위에 가이드 레일(168)을 이것이 X 또는 Y방향으로 연장하는 상태로 설치하고, 가이드(170)를 가이드 레일(168)에 미끄러져 움직일 수 있게 끼워서 결합시키고, 가이드(170)에 제1 이동 블록(162)을 지지시키고 있다.

베이스 판(160)에는, 2조(組)의 스토퍼(174, 176)가 제1 이동 블록(162)의 이동방향으로 간격을 둔 상태로 설치되어 있다. 스토퍼(174, 176)는, 도시한 예에서는, 베이스 판(160)에 직립으로 설치되어 있고, 또 스토퍼(174, 176)의 조(組)마다 제1 이동 블록(162)을 사이에 두고 제1 이동 블록(162)의 이동방향과 직교하는 방향으로 간격을 두고 있다.

제1 이동 블록(162)은, 도시하지 않은 구동기구에 의해, 나중에 설명하는 접촉자(172)가 표시용 패널(12)의 전극에 접촉하는 전진위치와, 접촉자(172)가 표시용 패널(12)로부터 떨어져 후퇴하는 대기위치 즉 후퇴위치로 이동된다.

상기와 같은 이동기구로서, 잭(jack)식 구동기구, 솔레노이드 구동기구 등, 제1 방향에서의 제1 이동 블록(162)의 위치를 조정 가능한 것을 이용할 수 있다.

제1 이동 블록(162)은, 이것이 전진위치로 전진한 때에, 스토퍼(174)에 접하여 제1 이동 블록(162)의 전진을 제한하는 제한 블록(178)을 각 측부에 갖추고 있다.

제2 이동 블록(164)은, 이것이 제1 이동 블록(162)과 함께 전진한 때에, 스토퍼(176)에 접하는 2조의 회전체(180)를 갖추고 있다. 각 조의 회전체(180)는, 제2 이동 블록(164)으로부터 제1 이동 블록(162)의 측방을 제2 이동 블록(164)이 후퇴하는 방향으로 연장하는 스토퍼 암(182)의 후단부에, 수평방향으로 연장하는 축선 주위로 회전 가능하게 설치되어 있다.

제1 이동 블록(162)이 전진위치 및 후퇴위치로 이동된 것을, 각각 베이스 판(160)에 배치된 센서(도시하지 않음)로 검출해도 좋다.

제1 이동 블록(162)의 선단면(즉, 패널 받이(142)쪽 면)은, 패널 받이(142)쪽 만큼 패널 받이(142)로부터 위쪽으로 멀어지도록, 표시용 패널(12)에 대하여 경사진 비스듬히 아래를 향하는 경사면(184)으로 되어 있다. 제1 이동 블록(162)은 경사면(184)을 따라 비스듬히 상하방향으로 연장하는 가이드 레일(186)을 경사면(184)에 설치하고 있다.

제2 이동 블록(164)은, 가이드 레일(186)에 이동 가능하게 끼워진 가이드(88)에 의해, 제1 이동 블록(162)에 설치되어 있다. 스토퍼 암(182)은, 제2 이동 블록(162)에 나사로 고정되어 있다.

각 조의 회전체(180)는, 스토퍼(176)에 접촉하여 회전하면서 경사면(184)의 경사방향으로 이동하도록, 상하방향으로 간격을 두고 있다. 각 회전체(180)는, 도시한 예에서는, 스토퍼 암(182)에 장착된 롤러이지만, 볼과 같은 다른 부재여도 좋다.

제1 이동 블록(162)은, 경사면(184)에 경사면(184)과 직각으로 설치된 지지 부(190)와, 지지부(190)로부터 경사면(184)과 평행하게 비스듬히 위쪽으로 연장하는 로드(192)를 더 갖춘다.

제2 이동 블록(164)은, 로드(192)를 이것의 상부로부터 받아들이는 구멍(194)을 갖추고 있고, 또 로드(192)에 배치된 압축 코일 스프링과 같은 탄성체(196)에 의해, 제1 이동 블록(162)으로부터 멀어지도록 제2 방향으로 힘이 가해지고 있다.

각 접촉자(172)는, 포고핀 타입 또는 스프링핀 타입의 프로브이고, 접촉자 블록(166)을 관통하여 연장하고 있다. 접촉자(172)는, 표시용 패널(12)의 전극의 배열과 같은 배열로 배치되어 있고, 또 접촉자 블록(166)에 설치된 배선기판(도시하지 않음)과, 상기 배선기판에 설치된 커넥터(도시하지 않음)와, 상기 커넥터에 접속된 플렉시블(flexible) 인쇄배선판(도시하지 않음)을 사이에 두고, 검사장치의 전기회로에 전기적으로 접속된다.

접촉자(172)의 선단과 표시용 패널(12)과의 평행도나 높이 위치는, 접촉자 유닛(138)마다 조정할 수 있다. 이 때문에, 그와 같은 평행도나 높이 위치의 조정작업이 용이해지고, 표시용 패널(12)과 접촉자(172)와의 사이에 콘택트 벗어남이 생길 우려가 저감된다.

이어서, 도14를 참조하여 검사장치의 동작을 설명한다.

대기시, 제1 이동 블록(162)은, 도14(A)에 나타낸 바와 같이, 패널 받이(142)로부터 제1 방향으로 멀어진 대기위치로 후퇴되어 있다. 이 때문에, 제2 이동 블록(164)은, 패널 받이(142) 상의 표시용 패널(12)로부터 후퇴되어 있음과 동시 에, 탄성체(196)에 의해 비스듬히 위쪽으로 힘을 받아 표시용 패널(12)로부터 위쪽으로 멀어져 있다.

대기상태에 있어서는, 제1 및 제2 이동 블록(162, 164) 및 접촉자 블록(166)이 패널 받이(142)로의 표시용 패널(12)의 배치영역으로부터 X방향 또는 Y방향으로 멀어져 있기 때문에, 표시용 패널(12)을 패널 받이(142)에 대하여 용이하게 탈착할 수 있다.

푸셔(22)는, 표시용 패널(12)을 패널 받이(142)에 대하여 탈착할 때, 푸쉬 편(158)을, 패널 받이(142)로부터 X방향 또는 Y방향으로 멀어지도록 후퇴시키고 있다.

상기 상태에 있어서, 표시용 패널(12)이 패널 받이(142)에 놓여지면, 푸셔(22)는, 푸쉬 편(158)을 표시용 패널(12)을 향해 전진시킨다. 이에 의해, 패널 받이(142) 위의 표시용 패널(12)은, 스토퍼 핀(152)에 눌리고, 패널 받이(142)에 대하여 소정의 상태로 위치 결정된다. 이 때문에, 패널 받이(142)에 받아진 표시용 패널(12)을 전기적 접속장치(110)에 대하여 용이하게 위치 결정할 수 있다.

푸셔(22)의 푸쉬 편(158)이 전진되었을 때, 푸셔(22)의 지지 핀(60)은 패널 받이(142)의 요흠부(62)에 받아들여진다. 이 때문에, 패널 받이(142)가 존재함에도 불구하고, 푸쉬 편(158)의 이동 범위는 작아서 좋다.

검사시, 제1 이동 블록(162)이 구동기구(도시하지 않음)에 의해 패널 받이(142)를 향해 전진된다. 도14(B)에 나타낸 바와 같이, 제1 이동 블록(162)의 전진종료시기에, 제2 이동 블록(164)의 회전체(180)가 스토퍼(176)에 접촉한다. 이에 의해, 제2 이동 블록(164)의 전진이 저지되고, 그 상태로 제1 이동 블록(162)이 더 전진된다.

제1 이동 블록(162)의 더한 전진에 의해, 제2 이동 블록(164)이 탄성체(196)의 힘에 저항하여 제1 이동 블록(162)에 대하여 제2 방향으로 후퇴된다. 이 때, 제2 이동 블록(164)은, 제1 이동 블록(162)이 패널 받이(142)에 접근하면 할수록 접촉자 블록(166)이 표시용 패널(12) 쪽으로 변위하도록 하강된다. 이 때, 회전체(180)는, 스토퍼(176)에 접촉하여 회전하면서 하강한다.

도14(C)에 나타낸 바와 같이, 제1 이동 블록(162)이 전진위치까지 전진되면, 제한 블록(178)이 스토퍼(174)에 접함으로써, 정지된다. 이에 의해, 제2 이동 블록(164) 및 접촉자 블록(166)은, 접촉자(172)가 표시용 패널(12)의 전극에 눌린 상태로, 하강이 정지된다.

상기 상태로, 표시용 패널(12)에 통전되고, 점등검사가 행해진다. 검사가 종료하면, 전기적 접속장치(110)는, 상기와 반대로 동작하여 도14(A)에 나타낸 상태로 되돌아간다. 이 상태에 있어서, 표시용 패널(12)의 교환이 행해진다.

점등검사시, 광 확산판(146)이 패널 받이(142)에 설치되어 있기 때문에, 검사해야 할 표시용 패널(12)이 광 확산판(146)의 가까이에 받아지고, 그 결과 광 확산판(146)에서 확산된 빛이 표시용 패널(12)에 효과적으로 조사된다.

제1 이동 블록(162)의 전진종료시기 및 후퇴 개시 시, 제1 이동 블록(162)의 이동로를 사이로 한 2조의 회전체(180)가 조마다 스토퍼(176)의 2곳에 접촉하면서 회전 이동하기 때문에, 제2 방향으로의 제2 이동 블록(164)의 이동이 안정하고 원 활해진다.

상기와 같이 검사장치(10)에 있어서는, 패널 받이(142)를 이동시키지 않고, 표시용 패널(12)을 패널 받이(142)에 대하여 탈착할 수 있고, 제1 이동 블록(162)을 X방향 또는 Y방향으로 이동시키는 것만으로, 접촉자(172)를 이것이 표시용 패널(12)에 접촉하는 위치와 표시용 패널(12)로부터 멀어지는 위치로 변위시킬 수 있다. 그 결과, 표시용 패널(12)을 패널 받이(142)에 대하여 탈착하는 시간이 단축된다.

검사해야 할 표시용 패널을 크기가 다른 다른 표시용 기판으로 변경할 때, 전기적 접속장치(110)는, 새로운 표시용 패널(12)에 적합한 것으로 변경된다. 따라서, 검사 스테이지(14)를 교환하지 않고, 다른 크기의 표시용 패널의 검사가 가능해진다. 또, 패널 받이(142)는 이미 서술한 받음 영역(22)을 형성하고 있다.

전기적 접속장치(110)는, 접촉자 유닛(138)을 프로브 베이스(136)에 설치하고, 프로브 베이스(136)를 설치 베이스(134)에 설치하여, 미리 완성한 전기적 접속장치에 설치해 두고, 크기가 다른 표시용 패널을 검사할 때는, 전기적 접속장치를 조립된 상태로 교환하는 것만으로 되기 때문에, 교환 작업이 보다 용이해진다.

전기적 접속장치는, 상기와 같이 교환 가능한 것일 필요는 없고, 프로브 베이스(136)를 설치 베이스(134)에 대하여 X방향 및 Y방향으로 이동시킴으로써 검사해야 할 표시용 패널의 크기에 적합하게 해도 좋고, 또 교환 불가능한 것, 예를 들어 단일 종류의 표시용 패널 전용의 것이어도 좋다.

본 발명은, 액정표시패널뿐만 아니라, 그와 같은 유리기판, 유기 EL 등, 다 른 표시용 패널의 검사장치에도 적용할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

본 발명은, 검사 스테이지를 변위시킴으로써, 좌우의 시야각 검사를 가능하게 하는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

표시용 패널을 받는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지를 지지하는 베이스 프레임과, 상기 검사 스테이지를 상기 베이스 프레임에 대하여 상하방향으로 연장하는 제1 축선 주위로 회전시키는 제1 회전기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 검사 스테이지를 상기 베이스 프레임에 대하여 수평방향으로 연장하는 제2 축선 주위로 회전시키는 제2 회전기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.
제2항에 있어서, 상기 제1 회전기구는 상기 베이스 프레임에 지지되어 있고, 상기 제2 회전기구는 상기 제1 회전기구에 지지되어 있고, 상기 검사 스테이지는 상기 제1 또는 제2 회전기구를 사이에 두고 상기 베이스 프레임에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.
제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 베이스 프레임은, 프레임에 설치되는 기대 와, 상기 제2 축선과 교차하는 수평방향으로 이동 가능하게 지지된 이동대와, 상기 이동대를 상기 기대에 대하여 이동시키는 이동기구를 갖춘 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.
제2항, 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 제1 회전기구는, 상기 제1 축선 주위로 회전 가능하게 상기 베이스 프레임에 배치된 베이스 부재와, 상기 베이스 부재를 상기 베이스 프레임에 대하여 상기 제1 축선 주위로 회전시키는 제1 구동원과, 상기 베이스 부재로부터 상기 제2 축선 방향으로 간격을 두고 일어서는 한 쌍의 지주로서 상기 검사 스테이지를 상기 제2 축선 주위로 회전 가능하게 지지하는 지주를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.
제5항에 있어서, 상기 제2 회전기구는, 상기 검사 스테이지를 상기 제2 축선 주위로 회전시키도록 한쪽 상기 지주의 상부에 지지된 제2 구동원을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.
제4항에 있어서, 상기 이동기구는, 상기 이동대의 이동방향으로 연장하는 상태로 상기 기대에 회전 가능하게 지지된 볼나사와, 상기 볼나사에 결합되어 상기 이동대에 설치된 너트와, 상기 볼나사를 이 축선 주위로 회전시키는 제3 구동원을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.
제1항 내지 제7항의 어느 한 항에 있어서, 상기 검사 스테이지는, 상기 제1 회전기구에 의해 회전되는 스테이지 본체와, 상기 스테이지 본체에 배치된 지지대와, 상기 지지대에 배치된 전기적 접속장치로서 복수의 접촉자 유닛을 갖추는 전기적 접속장치를 포함하고,

상기 지지대 및 상기 전기적 접속장치의 어느 한 쪽은, 검사해야 하는 표시용 패널을 받는 패널 받이를 갖춘 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.
제8항에 있어서, 상기 스테이지 본체는, 상기 지지대를 최소한 이차원적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.
제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 전기적 접속장치는, 제1 개구를 갖는 판상의 제1 베이스와, 상기 제1 베이스에 배치된 판상의 제2 베이스와, 상기 제2 베이스에 배치된 복수의 접촉자 유닛을 포함하고,

상기 제2 베이스는, 표시용 패널을 받는 패널 받이로서 상기 제1 개구와 마 주보는 사각형의 제2 개구를 형성하는 패널 받이를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.
제10항에 있어서, 상기 전기적 접속장치는, 상기 패널 받이에 받아진 표시용 패널의 가장자리가 접할 수 있게 상기 제2 베이스에 배치된 복수의 스토퍼 핀과, 상기 패널 받이에 받아진 표시용 패널을 상기 스토퍼 핀을 향해 누르도록, 상기 제2 베이스에 배치된 복수의 푸셔를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.
제10항 또는 제11항에 있어서, 각 접촉자 유닛은, 상기 패널 받이에 받아진 표시용 패널의 전극에 개방 가능하게 접촉되는 복수의 접촉자를 갖는 접촉자 블록을 갖춘 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.