KR20100092865A

KR20100092865A - 프로브 유닛 및 검사장치

Info

Publication number: KR20100092865A
Application number: KR1020090133721A
Authority: KR
Inventors: 슈지 나라오카
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2009-02-13
Filing date: 2009-12-30
Publication date: 2010-08-23
Also published as: KR101055343B1

Abstract

본 발명의 목적은 통상 점등검사와 간이 점등검사에서 장치의 공유화를 도모하여 부품의 교환빈도를 저감해, 검사효율을 향상시키는데 있다. 본 발명은, 검사대상기판의 회로의 복수의 단자에 각 프로브가 각각 접촉해 적어도 간이 점등검사신호 또는 통상 점등검사신호를 선택적으로 인가하는 프로브 유닛으로서, 상기 프로브에 접속되며, 적어도 간이 점등검사신호용 단자 및 통상 점등검사신호용 단자를 갖춘 FPC접속판과, 적어도 상기 간이 점등검사신호용 단자 또는 상기 통상 점등검사신호용 단자 중 어느 한 신호용 단자로의 접속을 선택적으로 전환하는 검사신호전환 접속장치를 갖추었다.

프로브 유닛, 액정패널, 통상 점등검사, 간이 점등검사, 검사신호전환 접속장치, FPC접속판, 패널 수도(受渡)장치, 압압(押壓)부재

Description

프로브 유닛 및 검사장치{Probe Unit and Inspection Apparatus}

본 발명은, 액정패널 등의 검사대상기판의 간이 점등검사 및 통상 점등검사에 사용하는 프로브 유닛 및 검사장치에 관한 것이다.

액정패널 등의 제조공정에서는, 그 액정패널 등의 점등검사가 행해진다. 이 검사에는, 일반적으로, 복수의 프로브를 갖는 프로브 유닛을 갖춘 검사장치가 사용된다. 이 경우에, 점등검사는, 상기 프로브 유닛의 각 프로브를 액정패널 등의 전극에 내리누른 상태로, 각 전극에 검사신호를 공급함으로써 통상 점등검사가 행해진다. 통상 검사란, 제품의 사용조건과 동일한 신호를 액정패널 등에 인가해, 각 셀을 풀 컬러 등으로 표시시켜, 점 결함, 선 결함, 얼룩 등의 다양한 검사를 하는 것을 말한다.

상기 프로브 유닛의 일례를 도2에 나타낸다. 프로브 유닛(1)은, 프로브 베이스(2)와, 지지부(3)와, 프로브 조립체(4)와, 접속 케이블부(5)와, 신호발생기(6)를 갖추어 구성되어 있다.

상기 프로브 베이스(2)는, 프로브 조립체(4)를 지지한 복수의 지지부(3)를 일체로 지지하는 판재이다. 상기 프로브 베이스(2)에 의해, 복수의 프로브 조립 체(4)가 지지부(3)를 통해, 워크테이블(도시되지 않음) 상의 액정패널(7)에 대향한 상태로 지지되어 있다.

상기 지지부(3)는, 그 기단(基端, proximal end)쪽이 상기 프로브 베이스(2)에 지지된 상태로, 그 선단(先端)쪽에서 상기 프로브 조립체(4)를 지지하기 위한 부재이다.

프로브 조립체(4)는, 액정패널(7)의 회로의 단자에 접촉하여, 검사신호를 전달하기 위한 부재이다. 프로브 조립체(4)는, 지지부(3)에 지지되어 있다. 상기 프로브 조립체(4)는, 프로브 블록(8)과, 프로브(9)를 갖추어 구성되어 있다. 프로브 블록(8)은 지지부(3)에 설치되어 있다. 상기 프로브 블록(8)에 프로브(9)가 설치되어 있다. 프로브(9)는, 액정패널(7)의 회로의 단자에 직접 접촉하는 부재이다. 프로브(9)는, 그 선단부가 액정패널(7)의 회로의 단자에 접촉되고, 기단부가 접속 케이블부(5)의 단자에 접촉된다.

접속 케이블부(5)는, 상기 프로브(9)와 신호발생기(6)를 전기적으로 접속하기 위한 부재이다. 상기 접속 케이블부(5)는 구체적으로는, 프로브(9)의 기단부에 전기적으로 접속되는 TCP플레이트(11)와, 상기 TCP플레이트(11)에 접속된 FPC(12)와, 상기 FPC(12)가 접속되는 FC기판(13)과, 상기 FC기판(13)과 신호발생기(6)를 접속하는 케이블(14)로 구성되어 있다. 이에 의해, 접속 케이블부(5)는, 신호발생기(6)와 프로브(9)를 전기적으로 접속하고 있다.

신호발생기(6)는, 통상 점등검사신호를 발생시키기 위한 장치이다. 상기 신호발생기(6)에서 발생한 통상 점등검사신호는, 접속 케이블부(5) 및 프로브(9)를 통해 액정패널(7)의 회로의 단자에 인가되어 액정패널(7)에 테스트 패턴을 투영하는 검사가 행해진다.

간이 점등검사를 할 경우는, 간이 점등검사용 프로브 유닛이나, 간이 점등검사장치가 사용된다. 즉, 상기 프로브 유닛을 간이 점등검사용 프로브 유닛으로 갈아끼워 간이 점등검사를 하거나, 간이 점등검사장치를 설치해 간이 점등검사를 한다. 간이검사란, 제품의 사용조건보다 적은 신호 또는 의사적(擬似的)으로 작성한 신호를 액정패널 등에 인가하여, 전면 일색, 각종 표시패턴 등을 표시시켜, 점 결함, 선 결함, 얼룩 등의 다양한 검사를 하는 것을 말한다.

이 같은 점등검사장치로는 특허문헌 1이 있다.

특허문헌 1: 일본 특허출원 공개 평9-138422호 공보

그러나, 종래의 점등검사장치에서는, 통상 점등검사에서 간이 점등검사로 전환할 경우는, 통상 점등검사용 프로브 유닛을 떼어내고 간이 점등검사용 프로브 유닛으로 갈아끼운다. 또한, 간이 점등검사에서 통상 점등검사로 전환할 경우는, 간이 점등검사용 프로브 유닛을 떼어내고 통상 점등검사용 프로브 유닛으로 갈아끼운다. 프로브 유닛을 갈아끼울 경우는, 그때마다 교환작업이 필요해져, 검사효율이 나빠진다는 문제가 있다.

통상 검사장치와는 별도로 간이 점등검사장치를 설치할 경우는, 그 장치의 설치공간이 필요해지는 것 등으로 인해, 비용이 증대한다는 문제가 있다.

본 발명은, 위에서 설명한 문제점을 해결하기 위해 만들어진 것으로, 통상 점등검사와 간이 점등검사에서 장치의 공유화를 도모함으로써, 비용을 억제해 검사효율을 향상시킨 프로브 유닛 및 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 프로브 유닛은, 검사대상기판의 회로의 복수의 단자에 각 프로브가 각각 접촉해 적어도 간이 점등검사신호 또는 통상 점등검사신호를 선택적으로 인가하는 프로브 유닛으로서, 상기 프로브에 접속되며, 적어도 간이 점등검사신호용 단자 및 통상 점등검사신호용 단자를 갖춘 FPC접속판과, 적어도 상기 간이 점등검사신호용 단자 또는 상기 통상 점등검사신호용 단 자 중 어느 한 신호용 단자로의 접속을 선택적으로 전환하는 검사신호전환 접속장치를 갖춘 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 검사장치는, 검사대상기판의 검사에 사용하는 검사장치로서, 외부에서 삽입된 검사대상기판을 검사종료후에 외부로 반출하는 패널셋트부와, 상기 패널셋트부로부터 건네받은 검사대상기판을 지지해 시험하는 측정부를 갖추고, 상기 측정부의 프로브 유닛으로서, 위에서 설명한 프로브 유닛을 사용한 것을 특징으로 한다.

이상과 같이, 상기 간이 점등검사신호용 단자 및 통상 점등검사신호용 단자를 상기 프로브 유닛쪽에 선택적으로 접속시켜 어느 하나의 검사신호를 프로브 유닛에 인가시키므로, 통상 점등검사 및 간이 점등검사 등에서 장치의 공유화를 도모할 수 있고, 장치의 교환빈도를 저감시켜 검사효율을 향상시킬 수 있다.

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛 및 검사장치에 관하여, 첨부도면을 참조하면서 설명한다.

[제1 실시형태]

우선, 본 발명의 제1 실시형태에 관해 설명한다. 본 실시형태에 따른 검사장 치(21)는, 도3에 나타낸 것처럼 주로, 패널셋트부(22)와, 측정부(23)로 구성되어 있다.

패널셋트부(22)는, 외부에서 삽입된 검사대상기판으로서의 액정패널(7)을 받아 측정부(23)로 반송(搬送)하고, 검사종료후의 액정패널(7)을 외부로 건네기 위한 장치이다. 패널셋트부(22)는, 개구부(26) 속에 패널 수도(受渡)장치(27)를 가지며, 그 패널 수도장치(27)로 액정패널(7)을 외부에서 받고, 반송 암(搬送 arm)(28)으로 지지하여 측정부(23)로 반송한다. 또한, 패널 수도장치(27)는, 측정부(23)에서 검사종료후의 액정패널(7)을 받아 외부로 건넨다.

측정부(23)는, 패널셋트부(22)로부터 건네받은 액정패널(7)을 지지하여 점등하기 위한 장치이다. 측정부(23)는, 도4에 나타나 있듯이, 얼라인먼트 스테이지(29)와, 백라이트(도시되지 않음)와, 워크테이블(30)과, 프로브 유닛(31)과, 패널받이부(30A)를 갖추어 구성되어 있다.

얼라인먼트 스테이지(29)는, 그 내부에, X이동기구, Y이동기구, Z이동기구, θ회전기구(모두 도시되지 않음)를 갖추어 구성되어 있다.

백라이트는, 패널받이부(30A)에 지지된 액정패널(7)에 그 뒷면에서 빛을 비추기 위한 조명장치이다. 상기 백라이트는, 얼라인먼트 스테이지(29) 위쪽에 지지되어 있다.

패널받이부(30A)는, 액정패널(7)의 위치를 결정하여 지지하기 위한 부재이다. 워크테이블(30)은, 패널받이부(30A)를 지지하고 있다. 패널받이부(30A)에 지지된 액정패널(7)은, 얼라인먼트 스테이지(29)가 XYZθ방향으로 동작함으로써, 프로 브 유닛(31)과 정확히 위치가 맞춰진다.

프로브 유닛(31)은, 도4, 5에 나타나 있듯이, 액정패널(7)의 단자(7C)에 접촉해 검사신호를 인가하여, 액정패널(7)을 검사하기 위해 점등시키는 장치이다. 프로브 유닛(31)은, 프로브 베이스(32)와, 프로브 장치(33)와, 얼라인먼트 카메라(34)를 갖추어 구성되어 있다.

프로브 베이스(32)는, 프로브 장치(33)나 얼라인먼트 카메라(34)를 일체로 지지하기 위한 판재이다. 상기 프로브 베이스(32)는, 검사장치(21)의 본체쪽에 고정된 상태로, 프로브 장치(33), 얼라인먼트 카메라(34) 등을, 워크테이블(30) 상의 액정패널(7)에 대향시켜 지지되어 있다.

프로브 장치(33)는, 각 프로브 베이스(32)에 복수 설치되어 있다. 상기 프로브 장치(33)는, 지지부(37)와, 프로브 조립체(38)로 구성되어 있다.

상기 지지부(37)는, 그 기단쪽이 상기 프로브 베이스(32)에 지지된 상태로, 그 선단쪽에서 상기 프로브 조립체(38)를 지지하기 위한 부재이다. 상기 지지부(37)는, 상기 프로브 베이스(32)에 직접 설치되어 전체를 지지하는 서스펜션 블록(40)과, 상기 서스펜션 블록(40)의 선단부에 가이드 레일(41)을 통해 슬라이드 가능하게 지지된 슬라이드 블록(42)과, 상기 슬라이드 블록(42)의 아래쪽 면에 일체로 설치된 프로브 플레이트(43)를 갖추어 구성되어 있다. 슬라이드 블록(42)은, 서스펜션 블록(40)에 대해 조정나사(44)로 높이가 조정된다.

프로브 조립체(38)는, 액정패널(7)의 회로의 단자(7C)에 접촉해 검사신호를 인가하기 위한 부재이다. 프로브 조립체(38)는, 프로브 플레이트(43)의 아래쪽 면 에 설치되어 있다. 상기 프로브 조립체(38)는, 도1에 나타나 있듯이, 프로브 블록(46)과, 프로브(47)와, FPC접속판(48)과, 검사신호전환 접속장치(49)를 갖추어 구성되어 있다.

프로브 블록(46)은, 도1, 6에 나타나 있듯이, 액정패널(7)의 회로의 단자(7C)에 직접 접촉해, 간이 점등검사신호 또는 통상 점등검사신호를 선택적으로 인가함으로써, 간이 점등검사 및 통상 점등검사를 하기 위한 부재이다.

프로브 블록(46)은, 프로브 플레이트(43)의 아래쪽 면에 직접 설치되어 있다. 상기 프로브 블록(46)에는 프로브(47)가 설치되어 있다. 프로브(47)는, 액정패널(7)의 회로의 단자(7C)에 접촉해 점등을 위한 검사신호를 인가하는 블레이드 타입의 접촉자이다. 프로브(47)는, 프로브 블록(46) 아래쪽에 액정패널의 회로의 단자(7C)와 같은 수가 회로 단자의 위치에 정합해 설치되어 있다. 상기 프로브(47)를 구성하는 각 블레이드의 선단쪽 침부(針部)(47A)가 액정패널(7)의 회로의 단자(7C)에 직접 접촉되고, 기단쪽 침부(47B)가 FPC접속판(48)의 뒤에서 설명하는 배선(53)에 접촉하게 되어 있다.

FPC접속판(48)은, 프로브(47)와 검사신호전환 접속장치(49)를 전기적으로 접속하기 위한 부재이다. FPC접속판(48)은, FPC(51)와, 콘택트 프로브(52A, 52B)로 구성되어 있다.

FPC(51)는, 절연성 및 가요성이 있는 합성수지 등으로 구성되는 공지된 플렉서블 배선기판이다. FPC(51)는, 그 선단쪽이 프로브 블록(46)에 고정되고, 기단쪽이 뒤에서 설명하는 검사신호 전환블록(55)에 고정되어 있다. FPC(51)의 기단쪽은, 검사신호 전환블록(55)의 유리기판(58) 윗면에 일정한 공간을 두고 이 검사신호 전환블록(55)에 지지되어 있다. 구체적으로는, FPC(51)의 콘택트 프로브(52A, 52B)가, 유리기판(58)의 각 패드(61, 62)와 서로 대응한 위치에서 일정한 공간을 둔 상태로, FPC(51)가 검사신호 전환블록(55)에 지지되어 있다. 이에 의해, 뒤에서 설명하는 압압(押壓)부재(73A, 73B)에 의해 FPC(51)가 눌려짐으로써, 이 FPC(51)가 휘어, 콘택트 프로브(52A, 52B)와 각 패드(61, 62)가 서로 압접되게 되어 있다(도10, 11 참조).

FPC(51)의 아래쪽 면에는 배선(53)이 설치되어 있다. 배선(53)은, 프로브(47) 수만큼 평행하게 배설되어 있다. 상기 각 배선(53)의 선단쪽이 각 프로브(47)의 기단쪽 침부(47B)에 각각 전기적으로 접촉해 있다.

각 배선(53)의 기단쪽에는, 간이 점등검사신호용 단자인 콘택트 프로브(52A)와, 통상 점등검사신호용 단자인 콘택트 프로브(52B)가, 배선의 길이방향으로 간격을 두고 배설되어 있다.

콘택트 프로브(52A, 52B)는, 검사신호 전환블록(55) 및 전환기구(56)와 협동하여, 간이 점등검사신호의 회선 또는 통상 점등검사신호의 회선을, 프로브 블록(46)의 프로브(47)에 선택적으로 접속하기 위한 부재이다.

콘택트 프로브(52A) 열(列)은, 뒤에서 설명하는 검사신호 전환블록(55)의 간이 점등검사신호용 패드(61)에 정합하는 위치에 설치되어 있다. 콘택트 프로브(52B) 열은, 뒤에서 설명하는 검사신호 전환블록(55)의 통상 점등검사신호용 패드(62)에 정합하는 위치에 설치되어 있다. 이에 의해, 콘택트 프로브(52A, 52B)가 유리기판(58)의 각 패드(61, 62)에 선택적으로 접촉함으로써, 간이 점등검사회로와 통상 점등검사회로가 전환하게 되어 있다(도10, 11 참조).

검사신호전환 접속장치(49)는, 상기 간이 점등검사신호용 단자인 콘택트 프로브(52A) 또는 상기 통상 점등검사신호용 단자인 콘택트 프로브(52B) 중 어느 한 신호용 단자로의 접속을 선택적으로 전환하여 검사신호회로를 선택해 접속하기 위한 장치이다. 상기 검사신호전환 접속장치(49)는, 도1, 7~9에 나타나 있듯이, 검사신호 전환블록(55)과, 전환기구(56)로 구성되어 있다.

검사신호 전환블록(55)은, 그 위쪽 면에 형성된 간이 점등검사신호의 회선의 단자(간이 점등검사신호용 패드(62)) 또는 통상 점등검사신호의 회선의 단자(통상 점등검사신호용 패드(61))를, 상기 FPC접속판(48)의 콘택트 프로브(52A, 52B)에 선택적으로 접촉시켜, 어느 하나의 점등검사신호를 액정패널(7)에 인가시키기 위한 블록이다.

검사신호 전환블록(55)은, 베이스 플레이트(54) 아래쪽에 설치되어 있다. 검사신호 전환블록(55)은, FPC접속판(48) 및 전환기구(56)와 협동해, 간이 점등검사신호의 회선 또는 통상 점등검사신호의 회선을, 프로브(47)에 선택적으로 접속시키게 되어 있다.

검사신호 전환블록(55)은, 도1, 8, 10, 11에 나타나 있듯이, 베이스판부(57)와, 유리기판(58)과, FPC(59)와, TCP유닛(60)과, 간이 점등용 패드(61)와, 통상 점등용 패드(62)로 구성되어 있다.

베이스판부(57)는, 두꺼운 사각형 판상(板狀)으로 형성되고, 위쪽에 유리기 판(58)이 설치된다. 베이스판부(57)의 네 모서리에는, 지지 암부(arm portion)(64)가 설치되고, 이 지지 암부(64)에 의해 베이스판부(57)가 베이스 플레이트(54)의 아래쪽 면에 일체로 설치되어 있다.

유리기판(58)은, 그 위쪽 면에 2개의 회로를 형성한 기판이다. 즉, 유리기판(58)의 위쪽 면에는, 간이 점등검사신호의 회선의 간이 점등회로(65)와, 통상 점등검사신호의 회선의 통상 점등회로(66)가 각각 설치되어 있다.

FPC(59)는, 간이 점등검사신호의 회선의 간이 점등회로(65)와 간이 점등검사 신호발생기(도시되지 않음)를 접속하기 위한 부재이다. TCP유닛(60)은, 통상 점등검사신호의 회선의 통상 점등회로(66)와 통상 점등검사 신호발생기(도시되지 않음)를 접속하기 위한 부재이다. TCP유닛(60)의 위쪽에는 IC(67)가 설치되어 있다.

간이 점등용 패드(61)는, 간이 점등검사신호의 회선의 단자이다. 즉, 간이 점등용 패드(61)는, 프로브(47)와 상기 간이 점등검사 신호발생기를 전기적으로 접속하기 위한 단자이다. 간이 점등용 패드(61)와 콘택트 프로브(52A)가 접촉함으로써, 간이 점등검사신호가 프로브(47)를 통해 액정패널(7)의 단자(7C)에 인가되어 테스트패턴이 투영되고 간이 점등검사가 행해지게 되어 있다. 간이 점등용 패드(61)는, 본 실시형태에서는 일렬로 나란히 구성되어 있다. 또한, 상기 간이 점등용 패드(61)의 배열은, 간이 점등용 패드(61)의 설치수 등의 모든 조건에 따라 다르며, 2열 이상으로 배열되는 경우도 있다. 지그재그 형태 등의 다른 배열패턴으로 배열되는 경우도 있다.

통상 점등용 패드(62)는, 통상 점등검사신호의 회선의 단자이다. 즉, 통상 점등용 패드(62)는, 프로브(47)와 상기 통상 점등검사 신호발생기를 접속하기 위한 단자이다. 통상 점등용 패드(62)와 콘택트 프로브(52B)가 접촉함으로써, 통상 점등검사신호가 프로브(47)를 통해 액정패널(7)의 단자(7C)에 인가되어 테스트패턴이 투영되고 통상 점등검사가 행해지게 되어 있다. 통상 점등용 패드(62)의 배열도 상기 간이 점등용 패드(61)와 마찬가지로, 일렬로 나란히 구성되어 있다. 상기 통상 점등용 패드(62)의 배열도, 통상 점등용 패드(62)의 설치수 등의 모든 조건에 따라 다르며, 2열 이상으로 배열되는 경우도 있다. 지그재그 형태 등의 다른 배열패턴으로 배열되는 경우도 있다.

전환기구(56)는, 상기 검사신호 전환블록(55)의 각 회선의 패드(61, 62)와, 그에 대응하는 상기 FPC접속판(48)의 각 콘택트 프로브(52A, 52B)를 선택적으로 압접시켜 검사신호를 전환하기 위한 기구이다. 전환기구(56)는, 2개의 압압부재(73A, 73B)와, 압압수단(74)으로 구성되어 있다.

압압부재(73A, 73B)는, 상기 가요성 판재로서의 FPC접속판(48)을 내리눌러 상기 각 회선의 단자(패드(61, 62))와, 각 콘택트 프로브(52A, 52B)를 선택적으로 압접시키기 위한 부재이다. 압압부재(73A, 73B)는, 통상 점등검사신호용 패드(61)와 간이 점등검사신호용 패드(62)에 대응해 2개 설치되어 있다.

압압부재(73A, 73B)는, 상하동 가능하게 지지되어, 간이 점등검사신호용의 모든 콘택트 프로브(52A) 또는 통상 점등검사신호용의 모든 콘택트 프로브(52B)를 상기 FPC(51)를 통해 동시에 내리누른다. 압압부재(73A, 73B)는, 탄성부재(75)와, 지지 프레임(76)으로 구성되어 있다.

탄성부재(75)는, 상기 FPC접속판(48)에 직접적으로 접촉해 콘택트 프로브(52A, 52B)를 탄성적으로 내리누르는 부재이다. 탄성부재(75)는, 절연성을 갖춘 탄성재료를 사용한다. 탄성부재(75)는, FPC(51)의 가로폭 치수보다 긴 두꺼운 판상 또는 봉 형태로 형성되어 있다. 이에 의해, 탄성부재(75)는, 일렬로 늘어선 모든 콘택트 프로브(52A) 또는 콘택트 프로브(52B)를, 충분한 압력으로 균등하게 내리누를 수 있게 되어 있다. 즉, 탄성부재(75)는, 일렬로 늘어선 모든 콘택트 프로브(52A) 또는 콘택트 프로브(52B)를, 통상 점등검사신호용 패드(61) 또는 간이 점등검사신호용 패드(62)에 전기적으로 접속시키는데 충분한 압력으로 균등하게 내리누를 수 있게 되어 있다. 탄성부재(75)의 단면 형상은, 거의 팔각형이나 사각형 등으로 형성된다. 또한, 탄성부재(75)의 단면 형상은, 상기 2개의 부재를, 전기적으로 접속시키는데 충분한 압력으로 균등하게 내리누르게 하는데 충분한 형상이면 된다.

지지 프레임(76)은, 수평봉부(도시되지 않음)와, 상기 수평봉부의 양쪽에서 위쪽으로 솟아오른 수직봉부(76A)로 구성되며, 전체 형상을 위쪽으로 개방한 コ자형 또는 C자형으로 형성되어 있다. 수평봉부는, 탄성부재(75) 내부에 수용되어, 그 탄성부재(75)를 지지하고 있다. 수직봉부(76A)는, 슬라이드판(84)의 압압 가이드 홈(90)의 압압 가이드 핀(81)을 통해 지지되어 있다.

수직봉부(76A)의 측면에는 슬라이드 핀(79)이 설치되어 있다. 상기 슬라이드 핀(79)은, 샤프트 홀더(78)에 설치된 핀 홈(80)에 끼워져 상하방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 이로 인해, 수직봉부(76A)의 상하방향으로의 슬라이드량 이 규제되어 있다.

수직봉부(76A)의 양쪽 면의 상부에는, 뒤에서 설명하는 슬라이드판(84)의 압압 가이드 홈(90)에 끼우는 압압 가이드 핀(81)이 설치되어 있다. 압압 가이드 핀(81)은, 2개의 압압부재(73A, 73B)의 양 수직봉부(76A)에 각각 설치되어 있다. 각 쌍의 압압 가이드 핀(81)은, 압압 가이드 홈(90)에 안내되어 각각의 압압부재(73A, 73B)를 간이 점등검사와 통상 점등검사에 맞춰 선택적으로 상하동시키게 되어 있다.

2개의 지지 프레임(76)은, 간이 점등검사신호용 콘택트 프로브(52A) 열과, 통상 점등검사신호용 콘택트 프로브(52B) 열에 각각 정합하는 위치에 배설되어 있다.

압압수단(74)은, 2개의 압압부재(73A, 73B)를 선택적으로 상하동시켜, 상기 각 콘택트 프로브(52A, 52B)와, 각 패드(61, 62)를 선택적으로 접촉시키기 위한 장치이다. 압압수단(74)은, 슬라이드판(84)과, 구동기구(85)로 구성되어 있다.

슬라이드판(84)은, 압압 가이드 홈(90)에 압압 가이드 핀(81)을 통해 각 압압부재(73)를 지지함으로써, 각 압압부재(73A, 73B)를 선택적으로 상하동시키기 위한 판재이다.

슬라이드판(84)은, 베이스 플레이트(54) 위쪽에, 그 베이스 플레이트(54)를 따라 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 베이스 플레이트(54) 위쪽에는, 도9에 나타나 있듯이, 가이드판(86)이 설치되어 있다. 상기 가이드판(86)의 양쪽 면에는 가이드 레일(87)이 설치되어 있다. 상기 각 가이드 레일(87)에는, 슬라이드 가이 드(88)가 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 상기 각 슬라이드 가이드(88)에 각 슬라이드판(84)이 각각 고정됨으로써, 각 슬라이드판(84)이 슬라이드 가능하게 설치되어 있다.

2장의 슬라이드판(84)은, 일체로 설치되어, 베이스 플레이트(54)의 위쪽 면을 따라 수평방향(도1의 좌우방향)으로 동시에 슬라이드하게 되어 있다. 각 슬라이드판(84)에는, 도1, 7에 나타나 있듯이, 압압 가이드 홈(90)이 설치되어 있다. 상기 압압 가이드 홈(90)에는, 2개의 압압부재(73A, 73B)의 압압 가이드 핀(81)이 각각 끼워져, 각 압압부재(73A, 73B)를 지지하고 있다.

압압 가이드 홈(90)은, 거의 수평방향으로 연장해 설치되어 있다. 구체적으로, 압압 가이드 홈(90)은, 중립 홈부(90A)와, 간이 점등용 홈부(90B)와, 통상 점등용 홈부(90C)로 구성되어 있다.

중립 홈부(90A)는, 압압 가이드 홈(90)의 중간에 위치하고 수평방향으로 연장해 형성되며, 2개의 압압부재(73A, 73B)를 중립상태로 지지하는 홈부이다. 상기 중립 홈부(90A)에 압압부재(73A, 73B)의 압압 가이드 핀(81)이 위치해, 각 압압부재(73A, 73B)가 중립상태가 된다. 이 상태가 도7(B)의 중립포지션으로, 2개의 압압부재(73A, 73B)가 위쪽에 지지되어, 간이 및 통상 점등검사신호가 인가되지 않는 상태가 된다.

간이 점등용 홈부(90B)는, 중립 홈부(90A)의 한쪽(도1의 왼쪽)에 위치하여 아래방향으로 연장해 형성된 홈부이다. 상기 간이 점등용 홈부(90B)에, 간이 점등용 압압부재(73A)의 압압 가이드 핀(81)을 안내해 눌러 내림과 동시에, 통상 점등 용 압압부재(73B)의 압압 가이드 핀(81)을 중립상태로 유지함으로써, 간이 점등검사신호가 액정패널(7)의 단자(7C)에 인가되는 상태가 된다. 이 상태가, 도7(C)의 간이 점등검사 포지션이다.

통상 점등용 홈부(90C)는, 중립 홈부(90A)의 다른쪽(도1의 오른쪽)에 위치하여 아래방향으로 연장해 형성된 홈부이다. 상기 통상 점등용 홈부(90C)는, 통상 점등용 압압부재(73B)의 압압 가이드 핀(81)을 안내해 눌러 내림과 동시에, 간이 점등용 압압부재(73B)의 압압 가이드 핀(81)을 중립 상태로 유지함으로써, 통상 점등검사신호가 액정패널(7)의 단자(7C)에 인가되는 상태가 된다. 이 상태가, 도7(A)의 통상 점등검사 포지션이다.

구동기구(85)는, 2장의 슬라이드판(84)을 일체로 슬라이드시키기 위한 기구이다. 구동기구(85)는, 2장의 슬라이드판(84)에 연결된 에어 실린더(92)와, 에어 공급장치(도시되지 않음)로 구성되어 있다. 에어 실린더(92)는, 세 포지션에서의 홀드기능을 갖추고 있다. 즉, 위에서 설명한 중립포지션, 간이 점등검사포지션 및 통상 점등검사포지션 각각에서 2장의 슬라이드판(84)을 유지할 수 있게 되어 있다.

에어 공급장치는, 전환밸브(도시되지 않음)를 갖추고, 그 전환밸브로 에어 실린더(92)로의 공기의 공급경로를 전환함으로써, 슬라이드판(84)의 위치를 적당히 선택할 수 있게 되어 있다.

얼라인먼트 카메라(34)는, 프로브 장치(33)의 프로브 조립체(38)의 각 프로브(47)와, 액정패널(7)의 단자(7C)의 위치맞춤시, 액정패널(7) 표면에 설치된 얼라인먼트 마크(도시되지 않음)를 촬영하기 위한 카메라이다. 얼라인먼트 카메라(34) 는, 설정위치에 3개 설치되어 있다.

이상과 같이 구성된 검사장치(21)는 다음과 같이 작용한다. 또한, 검사장치 전체의 작용은 종래의 검사장치와 동일하기 때문에, 여기서는, 프로브 유닛(31)의 작용을 중심으로 설명한다.

우선, 통상 점등검사에 관해 설명한다. 통상 점등검사에서는, 도7(A)에 나타나 있듯이, 구동기구(85)의 에어 공급장치로 제어된 에어 실린더(92)가, 2장의 슬라이드판(84)을 슬라이드시켜, 통상 점등검사포지션에 유지한다. 이에 의해, 압압부재(73B)의 압압 가이드 핀(81)이 압압 가이드 홈(90)의 통상 점등용 홈부(90C)에 위치해 압압부재(73B)가 눌려 내려가고, 콘택트 프로브(52B)가 통상 점등용 패드(62)에 압접된다.

이어서, 패널받이(30A)에 지지된 액정패널(7)이 정확히 위치가 맞춰져, 액정패널(7)의 단자(7C)와, 프로브(47)가 서로 접촉된다.

이어서, 통상 점등검사 신호발생기에서 발생시킨 통상 점등검사신호가, 프로브(47)에서 액정패널(7)의 단자(7C)에 인가되어, 테스트패턴이 투영되고 액정패널(7)의 통상 점등검사가 행해진다.

간이 점등검사를 할 경우는, 구동기구(85)의 에어 공급장치로 제어된 에어 실린더(92)가, 2장의 슬라이드판(84)을, 도7(A)~(C)에 나타나 있듯이 슬라이드시켜, 간이 점등검사포지션에 홀드한다. 이에 의해, 압압부재(73A)의 압압 가이드 핀(81)이 압압 가이드 홈(90)의 간이 점등용 홈부(90B)에 위치해 압압부재(73A)가 눌려 내려가고, 콘택트 프로브(52A)가 간이 점등용 패드(61)에 눌린다.

이어서, 간이 점등검사 신호발생기에서 간이 점등검사신호가 발생되고, 그 간이 점등검사신호가 프로브(47)에서 액정패널(7)의 단자(7C)에 인가되어, 테스트 패턴이 투영되고 액정패널(7)의 간이 점등검사가 행해진다.

통상 점등검사로 되돌아갈 경우는, 구동기구(85)의 에어 공급장치로 에어 실린더(92)를 제어해 2장의 슬라이드판(84)을 슬라이드시켜, 통상 점등검사포지션으로 이동시킨다.

이상과 같이, 구동기구(85)의 에어 공급장치로 에어 실린더(92)를 제어해 2장의 슬라이드판(84)을 슬라이드시켜 접속회로를 전환하고, 어느 하나의 점등 검사신호를 프로브 블록에 인가시키므로, 통상 점등검사와 간이 점등검사를 위한 장치를 2개 설치할 필요가 없어진다. 이에 의해, 통상 점등검사와 간이 점등검사에서 장치의 공유화를 도모할 수 있고, 통상 점등검사와 간이 점등검사에서 장치를 교환할 필요도 없어진다. 그 결과, 검사효율을 대폭 향상시킬 수 있다.

검사신호전환 접속장치(49)의 전환기구(56)로 간이 점등검사와 통상 점등검사를 용이하게 전환할 수 있기 때문에, 1대의 장치로 간이 점등검사와 통상 점등검사를 하는 것도 가능해져, 비용을 삭감해 검사효율을 향상시킬 수 있다.

[제2 실시형태]

다음으로, 본 발명의 제2 실시형태에 관해 설명한다. 본 실시형태에 따른 검사장치의 전체구성은, 위에서 설명한 제1 실시형태의 검사장치(21)와 거의 동일하기 때문에, 여기서는 프로브 조립체(95)를 중심으로 설명한다.

프로브 조립체(95)는, 제1 실시형태의 프로브 조립체(38)와 마찬가지로, 액정패널(7)의 회로의 단자(7C)에 접촉해 검사신호를 인가하기 위한 부재이다. 프로브 조립체(95)는, 프로브 플레이트(43)의 아래쪽 면에 설치되어 있다. 상기 프로브조립체(95)는, 도12에 나타나 있듯이, 프로브 블록(96)과, 프로브(97)와, FPC플레이트(98)를 갖추어 구성되어 있다.

프로브 블록(96)은, 제1 실시형태의 프로브 블록(96)과 마찬가지로, 액정패널(7)의 회로의 단자(7C)에 집적 접촉하여, 간이 점등검사신호 또는 통상 점등검사신호를 선택적으로 인가함으로써, 간이 점등검사 및 통상 점등검사를 하기 위한 부재이다.

프로브 블록(96)은 프로브 플레이트(43)의 아래쪽 면에 직접 설치되어 있다. 상기 프로브 블록(96)에는 프로브(97)가 설치되어 있다. 프로브(97)는, 블레이드가 복수장 나란히 놓여 구성되어 있다. 상기 프로브(97)를 구성하는 각 블레이드의 선단쪽 침부(97A)가 액정패널(7)의 회로의 단자(7C)에 직접 접촉되고, 기단쪽 침부(97B)가 FPC플레이트(98)의 뒤에서 설명하는 프린트 배선(106)에 접촉하게 되어 있다.

FPC플레이트(98)는, 검사신호 전환블록(55)과 협동하여, 간이 점등검사신호의 회선 또는 통상 점등검사신호의 회선을, 프로브 블록(96)의 프로브(97)에 선택적으로 접속하기 위한 부재이다. FPC플레이트(98)는, 도12~14에 나타나 있듯이, 본체부(101)와, FPC판(102)과, 콘택트 프로브(103)로 구성되어 있다.

본체부(101)는, 거의 사각판형으로 형성되어 있다. 본체부(101) 중앙의 아래 쪽에는, 절취홈(105)이 형성되어 있다. 상기 절취홈(105)은, 본체부(101)를 경량화함과 동시에, 다소 휠 수 있게 하기 때문이다. 이에 의해, 패드(61, 62)가 콘택트 프로브(103)에 접촉했을 때 다소 휘어, 콘택트 프로브(103)가 패드(61, 62)에 큰 흠집을 내지 않고 확실히 전기적 접속을 실현할 수 있게 되어 있다.

FPC판(102)은, 그 아래쪽 면에 프린트 배선(106)을 설치한 플렉서블 기판이다. 프린트 배선(106)은, 프로브(97)의 블레이드 수만큼 평행하게 배설되어 있다. 상기 프린트 배선(106)의 선단쪽이 프로브(97)의 기단쪽 침부(97B)에 전기적으로 접촉해 있다. 프린트 배선(106)의 기단쪽에는, 콘택트 프로브(103)가 설치되어 있다.

콘택트 프로브(103)는, 2개의 패드(61, 62)에 각각 전기적으로 접촉하기 위한 침부이다. 콘택트 프로브(103)는, 원뿔형이나 다각뿔형 돌기로 구성되어 있다. 콘택트 프로브(103)의 선단은, 각 패드(61, 62)와의 균형으로, 가장 전기적 접속이 양호해지도록, 뾰족하게 하거나, 둥그스름하게 만든다.

이에 의해, 콘택트 프로브(103)에 2개의 패드(61, 62) 중 어느 하나가 접촉했을 때, 콘택트 프로브(103)와 각 패드(61, 62)의 확실한 전기적 접속을 실현할 수 있게 되어 있다. 이때, 콘택트 프로브(103)와 패드(61, 62)가 강하게 눌린 경우라도, 절취홈(105)에 의해 본체부(101)가 약간 휘어 서로의 압접을 완화해 확실한 전기적 접속을 실현할 수 있게 되어 있다.

검사신호 전환블록(55)은, 간이 점등검사신호의 회선 또는 통상 점등검사신호의 회선 중 어느 하나의 단자를 프로브 블록(96)의 콘택트 프로브(103)에 선택적 으로 접속하기 위한 장치이다. 검사신호 전환블록(55)을 옮김으로써, 간이 점등검사신호의 회선 또는 통상 점등검사신호의 회선 중 어느 하나의 단자를 프로브 블록(96)의 콘택트 프로브(103)에 선택적으로 접속하여, 간이 점등검사 또는 통상 점등검사를 위한 검사신호를 인가시키게 되어 있다. 검사신호 전환블록(55)은, 도8, 12, 14에 나타나 있듯이, 유리기판(58)과, FPC(59)와, TCP유닛(60)과, 간이 점등용 패드(61)와, 통상 점등용 패드(62)로 구성되어 있다.

베이스판부(107)는, 두꺼운 사각형 판상으로 형성되며, 위쪽에 유리기판(108)이 설치된다. 베이스판부(57) 양쪽에는, 뒤에서 설명하는 전환기구(123)의 슬라이드 핀(125)이 2개씩 설치되어 있다.

유리기판(5)은, 그 위쪽 면에 2개의 회로를 형성한 기판이다. 즉, 유리기판(58)의 위쪽 면에는, 간이 점등검사신호의 회선의 간이 점등회로(65)와 통상 점등검사신호의 회선의 통상 점등회로(66)가 각각 설치되어 있다.

FPC(59)는, 간이 점등검사신호의 회선의 간이 점등회로(65)와 간이 점등검사 신호발생기(도시되지 않음)를 접속하기 위한 부재이다. TCP유닛(60)은, 통상 점등검사신호의 회선의 통상 점등회로(66)와 통상 점등검사 신호발생기(도시되지 않음)를 접속하기 위한 부재이다. TCP유닛(60) 위쪽에는 구동IC(66)가 설치되어 있다.

간이 점등용 패드(61)는, 간이 점등검사신호의 회선의 단자이다. 즉, 간이 점등용 패드(61)는, 프로브(97)와 상기 간이 점등검사 신호발생기를 접속하기 위한 단자이다. 간이 점등용 패드(61)는, FPC접속판 상에 설치된 간이 점등회로(65)의 각 선의 단부(端部)에 접속되어 있다. 그리고, 간이 점등용 패드(61)와 콘택트 프 로브(103)가 접촉함으로써, 간이 점등검사신호가 프로브(97)를 통해 액정패널(7)의 단자(7C)에 인가되어 액정패널에 테스트패턴이 투영되고, 간이 점등검사가 행해진다.

통상 점등용 패드(62)는, 통상 점등검사신호의 회선의 단자이다. 즉, 통상 점등용 패드(62)는, 프로브(97)와 상기 통상 점등검사 신호발생기를 접속하기 위한 단자이다. 통상 점등용 패드(62)는, FPC접속판 상에 설치된 구동IC(66)의 각 선의 단부에 접속되어 있다. 그리고, 각 전극(121)과 콘택트 프로브(103)가 접촉함으로써, 통상 점등검사신호가 프로브(97)를 통해 액정패널(7)의 단자(7C)에 인가되어 테스트패턴이 투영되고 통상 점등검사가 행해진다.

상기 검사신호 전환블록(113)은, 도12, 14에 나타나 있듯이, 전환기구(123)에 의해 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 상기 전환기구(123)는, 상기 검사신호 전환블록(55)을 지지해 이동시킴으로써 상기 검사신호 전환블록(55)을 옮기고, 상기 간이 점등용 패드(61) 또는 통상 점등용 패드(62) 중 어느 하나를 상기 콘택트 프로브(103)에 선택적으로 압접시켜 전기적으로 접촉시키기 위한 기구이다. 전환기구(123)는, 지지판(124)과, 슬라이드 핀(125)으로 구성되어 있다.

지지판(124)은, 프로브 블록(96) 양쪽에 각각 설치되는 2장의 판재이다. 각 지지판(124)은, 프로브 블록(96) 양쪽에 설치된 상태로, 검사신호 전환블록(55)을 양쪽에서 끼우도록 배설되어 있다. 각 지지판(124)에는 슬라이드 홈(126)이 형성되어 있다. 상기 슬라이드 홈(126)은, 슬라이드 핀(125)을 슬라이드 가능하게 지지하기 위한 홈이다. 슬라이드 홈(126)은, V자형으로 형성되어, 검사신호 전환블 록(113)을 V자형으로 슬라이드시키게 되어 있다. 슬라이드 홈(126)은, 그 중앙부에 위치해 아래쪽으로 늘어진 V자 홈부(126A)와, 상기 V자 홈부(126A)의 양 단부에 위치하는 수평 홈부(126B)로 구성되어 있다.

검사신호 전환블록(113)을 슬라이드 홈(126)과 슬라이드 핀(125)을 따라 역 사이드방향으로 이동시킴으로써, 콘택트 프로브와 접속되는 점등용 패드가 전환된다.

V자 홈부(126A)는, 슬라이드 핀(125)이 이 홈을 따라 슬라이드함으로써, 통상 전(全)점등용 패드(112) 또는 간이 점등용 패드(111) 중 어느 하나의 전극(119, 121)과 콘택트 프로브(103)가 접촉한 상태에서, 콘택트 프로브(103)에 접촉해 있는 한쪽 패드(111, 112)를 아래쪽으로 떼면서 옮겨 다른쪽 패드(112, 111)를 콘택트 프로브(103)에 접촉시키게 되어 있다.

수평 홈부(126B)는, V자 홈부(126A)의 양끝에 위치해, 그 양끝에서 약간 수평으로 연장해 형성되어 있다. 상기 수평 홈부(126B)는, 검사신호 전환블록(113)이 이동되지 않도록 지지하는 부분이다. 슬라이드 핀(125)이 V자 홈부(126A)를 슬라이드하면서, 간이 점등용 패드(61) 또는 통상 점등용 패드(62)가 콘택트 프로브(103)와 접촉해 눌린 후, 가로로 약간 옮겨 서로의 접촉을 확실한 것으로 만듦과 동시에, 슬라이드 핀(125)이 V자 홈부(126A)쪽으로 내려가지 않게 되어 있다.

우선, 통상 점등검사에 관해 설명한다. 통상 점등검사에서는, 도14(b)에 나타나 있듯이, 검사신호 전환블록(55)이 선단쪽(도14의 왼쪽)으로 옮겨진다. 이에 의해, 슬라이드 홈(126)의 V자 홈부(126A)를 슬라이드 핀(125)이 이동해, 통상 점등용 패드(112)가 콘택트 프로브(103)에 눌린다. 그리고, 슬라이드 핀(125)이 슬라이드 홈(126)의 수평 홈부(126B)를 수평으로 이동해, 통상 점등용 패드(112)가 콘택트 프로브(103)에 눌린 상태로, 가로로 약간 옮겨져 서로의 접촉을 확실한 것으로 만든다.

이어서, 워크테이블(30)에 지지된 액정패널(7)이 정확히 위치가 맞춰져, 액정패널(7)의 단자(7C)와, 프로브 블록(96)의 프로브(97)가 서로 접촉된다.

이어서, 통상 점등검사 신호발생기에서 발생시킨 통상 점등검사신호가, 프로브(97)에서 액정패널(7)의 단자(7C)에 인가되어, 액정패널(7)에 테스트패턴이 투영되고 통상 점등검사가 행해진다.

간이 점등검사를 할 경우는, 도14(a)에 나타나 있듯이, 검사신호 전환블록(55)이 기단쪽으로 옮겨진다. 이에 의해, 슬라이드 홈(126)의 V자 홈부(126A)를 슬라이드 핀(125)이 이동해, 통상 점등용 패드(62)가 콘택트 프로브(103)에서 떼어지면서, 간이 점등용 패드(61)가 콘택트 프로브(103)에 접근해, 눌린다. 그리고, 수평 홈부(126B)를 슬라이드 핀(125)이 이동해, 통상 점등용 패드(112)가 콘택트 프로브(103)에 눌린 상태로, 가로로 약간 옮겨져 서로의 접촉을 확실한 것으로 만든다.

이어서, 간이 점등검사 신호발생기에서 간이 점등검사신호가 발생되고, 그 간이 점등검사신호가 프로브(97)에서 액정패널(7)의 단자(7C)에 인가되어, 액정패널(7)에 테스트패턴이 투영되고 간이 점등검사가 행해진다.

통상 점등검사로 되돌아갈 경우는, 위에서 설명했듯이 검사신호 전환블록(113)을 통상 점등용 패드(112)쪽으로 옮긴다.

이상과 같이, 상기 간이 점등검사신호의 회선의 단자(간이 점등용 패드(111)) 및 통상 점등검사신호의 회선의 단자(통상 점등용 패드(112))를 각각 갖춘 상기 검사신호 전환블록(55)을 옮김으로써, 어느 하나의 단자를, 상기 프로브 블록(96)의 FPC플레이트(98)의 콘택트 프로브(103)에 선택적으로 접속시켜 어느 하나의 점등검사신호를 프로브 블록에 인가시키므로, 통상 점등검사와 간이 점등검사를 위한 장치를 2개 설치할 필요가 없어진다. 이에 의해, 통상 점등검사와 간이 점등검사에서 장치의 공유화를 도모할 수 있어, 장치의 교환빈도를 저감시킬 수 있다. 그 결과, 비용을 저감해, 검사효율을 향상시킬 수 있다.

상기 각 실시형태에 따른 검사장치는, 통상 점등검사와 간이 점등검사를 하는 검사장치 모두에 적용할 수 있다.

상기 각 실시형태에 따른 검사장치에서는, 검사신호로서, 간이 점등검사신호와 통상 점등검사신호를 사용했으나, 그 이외의 신호가 있는 경우여도 본원 발명을 적용할 수 있다. 예를 들어, 제1 실시형태에서, 압압부재를 3개 설치하고, 3개의 압압부재에 대응해 압압 가이드 홈(90)에 각 압압부재를 눌러 내리는 포지션을 3군 데 설치하게 된다. 이 경우도, 상기 제1 실시형태와 동일한 작용, 효과를 가져올 수 있다.

상기 제1 실시형태에서는, FPC(51)에 콘택트 프로브(52A, 52B)를 설치했지만, 패드(61, 62)를 FPC(51)에 설치해도 된다. 이 경우도, 상기 제1 실시형태와 동일한 작용, 효과를 가져올 수 있다.

상기 제2 실시형태에서는, 전환기구(73)를, 검사신호 전환블록(113)을 슬라이드시킴으로써, 콘택트 프로브(103)에 간이 점등용 패드(111) 또는 통상 점등용 패드(112)를 선택적으로 접촉시키게 했지만, 도15에 나타나 있듯이, 2개의 링크(128)에 의해 검사신호 전환블록(113)을 이동시키게 해도 된다. 이 경우, 검사신호 전환블록(113)이 링크(128)에 의해 이동된 후, 검사신호 전환블록(113)을 FPC플레이트(98)에 고정하기 위한 수단을 설치해, 통상 점등검사와 간이 점등검사로 전환한다. 이 경우도, 상기와 동일한 작용, 효과를 가져올 수 있다.

또한, 상기 제2 실시형태에서는, 슬라이드 핀(125)을 슬라이드 홈(126)에 끼워 슬라이드할 뿐인 기구로 했으나, 도16에 나타나 있듯이, 슬라이드 핀(125)에 나사부(129)를 설치해, 슬라이드 핀(125)이 수평 홈부(126B)로 이동한 후, 상기 나사부(129)로 검사신호 전환블록(85)을 FPC플레이트(98)에 고정하게 해도 된다. 이에 의해, 검사신호 전환블록(113)을 옮긴 후, 용이하고 확실하게 고정할 수 있다.

도1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 프로브 유닛의 요부(要部)를 나타낸 측면도이다.

도2는 종래의 프로브 유닛을 나타낸 측면도이다.

도3은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 검사장치를 나타낸 사시도이다.

도4는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 검사장치의 측정부를 나타낸 사시도이다.

도5는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 검사장치의 프로브 유닛을 나타낸 측면도이다.

도6은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 프로브 유닛의 요부를 그 아래쪽에서 나타낸 사시도이다.

도7은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 프로브 유닛의 요부를 나타낸 측면도이다.

도8은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 프로브 유닛의 검사신호 전환블록을 나타낸 평면도이다.

도9는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 프로브 유닛의 요부를 나타낸 단면도이다.

도10은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 프로브 유닛의 요부 확대도이다.

도11은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 프로브 유닛의 요부 확대도이다.

도12는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 프로브 유닛의 요부를 나타낸 측면도 이다.

도13은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 프로브 유닛의 요부를 그 아래쪽에서 나타낸 사시도이다.

도14는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 프로브 유닛의 요부를 나타낸 측면도이다.

도15는 본 발명의 제1 변형예를 나타낸 측면도이다.

도16은 본 발명의 제2 변형예를 나타낸 측면도이다.

*도면의 주요 부호에 대한 설명*

7: 액정패널 7A: 패널표시부

7B: 패널단자부 7C: 단자

21: 검사장치 22: 패널셋트부

23: 측정부 26: 개구부

27: 패널 수도(受渡)장치 28: 반송 암(搬送 arm)

29: 얼라인먼트 스테이지 30: 워크테이블

30A: 패널받이부 31: 프로브 유닛

32: 패널받이부 33: 프로브 장치

34: 얼라인먼트 카메라 35: 검사신호 전환블록

37: 지지부 38: 프로브 조립체

40: 서스펜션 블록 41: 가이드 레일

42: 슬라이드 블록 43: 프로브 플레이트

44: 조정나사 46: 프로브 블록

47: 프로브 48: FPC접속판

49: 검사신호전환 접속장치 51: FPC

52A, 52B: 콘택트 프로브 53: 배선

54: 베이스 플레이트 55: 검사신호 전환블록

56: 전환기구 57: 베이스판부

58: 유리기판 59: FPC

60: TCP유닛 61: 간이 점등용 패드

62: 통상 점등용 패드 64: 지지 암부(support arm portion)

65: 간이 점등회로 66: 통상 점등회로

67: 구동IC 73A, 73B: 압압(押壓)부재

74: 압압수단 75: 탄성부재

76: 지지 프레임 76A: 수직봉부

78: 샤프트 홀더 79: 슬라이드 핀

80: 핀 홈 81: 압압 가이드 핀

84: 슬라이드판 85: 구동기구

86: 가이드판 87: 가이드 레일

88: 슬라이드 가이드 90: 압압 가이드 홈

90A: 중립 홈부 90B: 간이 점등용 홈부

90C: 통상 점등용 홈부 92: 에어 실린더

95: 프로브 조립체 96: 프로브 블록

97: 프로브 98: FPC플레이트

101: 본체부 102: FPC판

103: 콘택트 프로브 105: 절취홈

106: 프린트 배선 107: 베이스판부

108: 유리기판 109: FPC

110: COF 111: 간이 점등용 패드

112: 통상 점등용 패드 113: 검사신호 전환블록

116: 구동IC 118: 받침대

119: 전극 120: 받침대

121: 전극 123: 전환기구

124: 지지판 125: 슬라이드 핀

126: 슬라이드 홈 126A: V자 홈부

126B: 수평 홈부 128: 링크

129: 나사부

Claims

검사대상기판의 회로의 복수의 단자에 각 프로브가 각각 접촉해 적어도 간이 점등검사신호 또는 통상 점등검사신호를 선택적으로 인가하는 프로브 유닛으로서,

상기 프로브에 접속되며, 적어도 간이 점등검사신호용 단자 및 통상 점등검사신호용 단자를 갖춘 FPC접속판; 및

적어도 상기 간이 점등검사신호용 단자 또는 상기 통상 점등검사신호용 단자 중 어느 한 신호용 단자로의 접속을 선택적으로 전환하는 검사신호전환 접속장치;

를 갖춘 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제1항에 있어서, 상기 검사신호전환 접속장치가, 적어도 상기 간이 점등검사신호용 단자 및 통상 점등검사신호용 단자를 각각 갖추고, 어느 한 단자를 상기 FPC접속판의 각 단자에 선택적으로 접촉시켜 어느 하나의 검사신호를 상기 검사대상기판의 단자에 인가시키는 검사신호 전환블록; 및

상기 검사신호 전환블록의 각 단자 및 그에 대응하는 상기 FPC접속판의 각 단자를 선택적으로 압접시켜 검사신호를 전환하는 전환기구;

를 갖춘 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제2항에 있어서, 상기 검사신호 전환블록의 각 단자와 상기 FPC접속판의 각 단자가 서로 대응한 위치에서 일정한 공간을 두고 배설되고,

상기 전환기구가, 상기 FPC접속판을 내리눌러 상기 각 단자를 선택적으로 압접시켜 전기적으로 접촉시키는 복수의 압압(押壓)부재와, 상기 복수의 압압부재를 선택적으로 이동시켜 상기 각 단자를 선택적으로 접촉시키는 압압수단을 갖춘 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제3항에 있어서, 상기 압압부재가, 상하동 가능하게 지지되어, 상기 FPC접속판의 간이 점등검사신호용의 모든 단자를 동시에 내리누르는 탄성부재 및 통상 점등검사신호용의 모든 단자를 동시에 내리누르는 탄성부재를 갖추어 구성되고,

상기 압압수단이, 상기 각 탄성부재의 기단(基端, proximal end)쪽에 각각 맞물려 슬라이드함으로써 각 탄성부재를 선택적으로 상하동시키는 슬라이드 홈을 갖는 슬라이드판을 갖추어 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제2항에 있어서, 상기 전환기구가, 상기 검사신호 전환블록을 이동가능하게 지지하여, 그 검사신호 전환블록을 옮김으로써, 상기 각 단자를 선택적으로 압접시켜 전기적으로 접촉시키는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제5항에 있어서, 상기 전환기구가, 상기 검사신호 전환블록을 V자형으로 슬라이드시키는 슬라이드 홈을 갖춘 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
검사대상기판의 검사에 사용하는 검사장치로서,

외부에서 삽입된 검사대상기판을 검사종료후에 외부로 반출하는 패널셋트부와, 상기 패널셋트부로부터 건네받은 검사대상기판을 지지해 시험하는 측정부를 갖추고,

상기 측정부의 프로브 유닛으로서, 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 프로브 유닛을 사용한 것을 특징으로 하는 검사장치.