JP2010211183A - プローブユニット及び検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】通常点灯検査と簡易点灯検査とで装置の共有化を図って部品の交換頻度を低減して、検査効率を向上させる。
【解決手段】検査対象基板の回路の複数の端子に各プローブがそれぞれ接触し少なくとも簡易点灯検査信号又は通常点灯検査信号を選択的に印加するプローブユニットであり、前記プローブに接続され、少なくとも簡易点灯検査信号用の端子及び通常点灯検査信号用の端子を備えたＦＰＣ接続板と、少なくとも前記簡易点灯検査信号用の端子または前記通常点灯検査信号用の端子のいずれかの信号用の端子への接続を選択的に切り換える検査信号切換接続装置とを備えた。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶パネル等の検査対象基板の簡易点灯検査及び通常点灯検査に用いるプローブユニット及び検査装置に関するものである。

液晶パネル等の製造工程においては、その液晶パネル等の点灯検査が行われる。この検査には、一般に、複数のプローブを有するプローブユニットを備えた検査装置が用いられる。この場合において、点灯検査は、前記プローブユニットの各プローブを液晶パネル等の電極に押し当てた状態で、各電極に検査信号を供給することにより通常点灯検査が行われる。通常検査とは、製品の使用条件と同様な信号を液晶パネル等に印加して、各セルをフルカラーなどで表示させ、点欠陥、線欠陥、ムラ等の多様な検査を行うことを言う。

前記プローブユニットの一例を図２に示す。プローブユニット１は、プローブベース２と、支持部３と、プローブ組立体４と、接続ケーブル部５と、信号発生器６とを備えて構成されている。

前記プローブベース２は、プローブ組立体４を支持した複数の支持部３を一体的に支持する板材である。このプローブベース２で、複数のプローブ組立体４が支持部３を介して、ワークテーブル(図示せず)上の液晶パネル７に対向した状態で支持されている。

前記支持部３は、その基端側が前記プローブベース２に支持された状態で、その先端側で前記プローブ組立体４を支持するための部材である。

プローブ組立体４は、液晶パネル７の回路の端子に接触して、検査信号を伝えるための部材である。プローブ組立体４は、支持部３に支持されている。このプローブ組立体４は、プローブブロック８と、プローブ９とを備えて構成されている。プローブブロック８は支持部３に取り付けられている。このプローブブロック８にプローブ９が取り付けられている。プローブ９は、液晶パネル７の回路の端子に直接接触する部材である。プローブ９は、その先端部が液晶パネル７の回路の端子に接触され、基端部が接続ケーブル部５の端子に接触される。

接続ケーブル部５は、前記プローブ９と信号発生器６とを電気的に接続するための部材である。この接続ケーブル部５は具体的には、プローブ９の基端部に電気的に接続されるＴＣＰプレート１１と、このＴＣＰプレート１１に接続されたＦＰＣ１２と、このＦＰＣ１２が接続されるＦＣ基板１３と、このＦＣ基板１３と信号発生器６とを接続するケーブル１４とから構成されている。これにより、接続ケーブル部５は、信号発生器６とプローブ９とを電気的に接続している。

信号発生器６は、通常点灯検査信号を発生させるための装置である。この信号発生器６で発生した通常点灯検査信号は、接続ケーブル部５及びプローブ９を介して液晶パネル７の回路の端子に印加されて液晶パネル７にテストパターンを映し出し検査が行われる。

簡易点灯検査を行う場合は、簡易点灯検査用のプローブユニットや、簡易点灯検査装置が用いられる。即ち、前記プローブユニットを簡易点灯検査用のプローブユニットに付け換えて簡易点灯検査を行ったり、簡易点灯検査装置を設置して簡易点灯検査を行ったりする。簡易検査とは製品の使用条件より少ない信号又は擬似的に作成した信号を液晶パネル等に印加して、全面一色、各種表示パターンなどを表示させ、点欠陥、線欠陥、ムラ等の多様な検査を行うことを言う。

このような点灯検査装置としては特許文献１がある。

特開平９−１３８４２２号公報

ところが、従来の点灯検査装置では、通常点灯検査から簡易点灯検査に切り換える場合は、通常点灯検査用のプローブユニットを取り外して簡易点灯検査用のプローブユニットに付け換える。また簡易点灯検査から通常点灯検査に切り換える場合は、簡易点灯検査用のプローブユニットを取り外して通常点灯検査用プローブユニットに付け換える。プローブユニットを付け換える場合は、その都度交換作業が必要になり、検査効率が悪いという問題がある。

通常検査装置とは別に簡易点灯検査装置を設ける場合は、その装置の設置スペースが必要になること等によって、コストが嵩むという問題がある。

本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、通常点灯検査と簡易点灯検査とで装置の共有化を図ることで、コストを抑えて検査効率を向上させたプローブユニット及び検査装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために本発明に係るプローブユニットは、検査対象基板の回路の複数の端子に各プローブがそれぞれ接触し少なくとも簡易点灯検査信号又は通常点灯検査信号を選択的に印加するプローブユニットであり、前記プローブに接続され、少なくとも簡易点灯検査信号用の端子及び通常点灯検査信号用の端子を備えたＦＰＣ接続板と、なくとも前記簡易点灯検査信号用の端子または前記通常点灯検査信号用の端子のいずれかの信号用の端子への接続を選択的に切り換える検査信号切換接続装置とを備えたことを特徴とする。

本発明に係る検査装置は、検査対象基板の検査に用いる検査装置であって、外部から挿入された検査対象基板を検査終了後に外部へ搬出するパネルセット部と、当該パネルセット部から渡された検査対象基板を支持して試験する測定部とを備え、前記測定部のプローブユニットとして、上述したプローブユニットを用いたことを特徴とする。

以上のように、前記簡易点灯検査信号用の端子及び通常点灯検査信号用の端子を前記プローブユニット側に選択的に接続させていずれかの検査信号をプローブユニットに印加させるので、通常点灯検査及び簡易点灯検査等で装置の共有化を図ることができ、装置の交換頻度を低減させて検査効率を向上させることができる。

本発明の第１実施形態に係るプローブユニットの要部を示す側面図である。 従来のプローブユニットを示す側面図である。 本発明の第１実施形態に係る検査装置を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る検査装置の測定部を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る検査装置のプローブユニットを示す側面図である。 本発明の第１実施形態に係るプローブユニットの要部をその下側から示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係るプローブユニットの要部を示す側面図である。 本発明の第１実施形態に係るプローブユニットの検査信号切換ブロックを示す平面図である。 本発明の第１実施形態に係るプローブユニットの要部を示す断面図である。 本発明の第１実施形態に係るプローブユニットの要部拡大図である。 本発明の第１実施形態に係るプローブユニットの要部拡大図である。 本発明の第２実施形態に係るプローブユニットの要部を示す側面図である。 本発明の第２実施形態に係るプローブユニットの要部をその下側から示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係るプローブユニットの要部を示す側面図である。 本発明の第１変形例を示す側面図である。 本発明の第２変形例を示す側面図である。

以下、本発明の実施形態に係るプローブユニット及び検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。

[第１実施形態]
まず、本発明の第１実施形態について説明する。本実施形態に係る検査装置２１は、図３に示すように主に、パネルセット部２２と、測定部２３とから構成されている。

パネルセット部２２は、外部から挿入された検査対象基板としての液晶パネル７を受け取り測定部２３へ搬送し、検査終了後の液晶パネル７を外部へ受け渡すための装置である。パネルセット部２２は、開口部２６の奥にパネル受渡装置２７を有し、このパネル受渡装置２７で液晶パネル７を外部から受け取り、搬送アーム２８で支持して測定部２３へ搬送する。また、パネル受渡装置２７は、測定部２３で検査終了後の液晶パネル７を受け取って外部へ受け渡す。

測定部２３は、パネルセット部２２から渡された液晶パネル７を支持して点灯するための装置である。測定部２３は、図４に示すように、アライメントステージ２９と、バックライト(図示せず)と、ワークテーブル３０と、プローブユニット３１と、パネル受け部３０Ａとを備えて構成されている。

アライメントステージ２９は、その内部に、Ｘ移動機構、Ｙ移動機構、Ｚ移動機構、θ回転機構（何れも図示せず）を備えて構成されている。

バックライトは、パネル受け部３０Ａに支持された液晶パネル７にその裏面から光を当てるための照明装置である。このバックライトは、アライメントステージ２９の上側に支持されている。

パネル受け部３０Ａは、液晶パネル７を位置決めして支持するための部材である。ワークテーブル３０は、パネル受け部３０Ａを支持している。パネル受け部３０Ａに支持された液晶パネル７は、アライメントステージ２９がＸＹＺθ方向に動作することで、プローブユニット３１と正確に位置合わせされる。

プローブユニット３１は、図４、５に示すように、液晶パネル７の端子７Ｃに接触して検査信号を印加して、液晶パネル７を検査するために点灯させる装置である。プローブユニット３１は、プローブベース３２と、ブローブ装置３３と、アライメントカメラ３４とを備えて構成されている。

プローブベース３２は、ブローブ装置３３やアライメントカメラ３４を一体的に支持するための板材である。このプローブベース３２は、検査装置２１の本体側に固定された状態で、ブローブ装置３３、アライメントカメラ３４等を、ワークテーブル３０上の液晶パネル７に臨ませて支持されている。

ブローブ装置３３は、各プローブベース３２に複数設けられている。このブローブ装置３３は、支持部３７と、プローブ組立体３８とから構成されている。

前記支持部３７は、その基端側が前記プローブベース３２に支持された状態で、その先端側で前記プローブ組立体３８を支持するための部材である。この支持部３７は、前記プローブベース３２に直接取り付けられて全体を支持するサスペンションブロック４０と、このサスペンションブロック４０の先端部にガイドレール４１を介してスライド可能に支持されたスライドブロック４２と、このスライドブロック４２の下側面に一体的に取り付けられたプローブプレート４３とを備えて構成されている。スライドブロック４２は、サスペンションブロック４０に対して調整ネジ４４で高さ調整が行われる。

プローブ組立体３８は、液晶パネル７の回路の端子７Ｃに接触して検査信号を印加するための部材である。プローブ組立体３８は、プローブプレート４３の下側面に取り付けられている。このプローブ組立体３８は、図１に示すように、プローブブロック４６と、プローブ４７と、ＦＰＣ接続板４８と、検査信号切換接続装置４９とを備えて構成されている。

プローブブロック４６は、図１、６に示すように、液晶パネル７の回路の端子７Ｃに直接接触して、簡易点灯検査信号又は通常点灯検査信号を選択的に印加することで、簡易点灯検査及び通常点灯検査を行うための部材である。

プローブブロック４６は、プローブプレート４３の下側面に直接取り付けられている。このプローブブロック４６にはプローブ４７が取り付けられている。プローブ４７は、液晶パネル７の回路の端子７Ｃに接触して点灯のための検査信号を印加するブレードタイプの接触子である。プローブ４７は、プローブブロック４６の下側に液晶パネルの回路の端子７Ｃと同数が回路端子の位置に整合して設けられている。このプローブ４７を構成する各ブレードの先端側の針部４７Ａが液晶パネル７の回路の端子７Ｃに直接接触され、基端側の針部４７ＢがＦＰＣ接続板４８の後述する配線５３に接触するようになっている。

ＦＰＣ接続板４８は、プローブ４７と検査信号切換接続装置４９とを電気的に接続するための部材である。ＦＰＣ接続板４８は、ＦＰＣ５１と、コンタクトプローブ５２Ａ、５２Ｂとから構成されている。

ＦＰＣ５１は、絶縁性及び可撓性のある合成樹脂等で構成される公知のプレキシブル配線基板である。ＦＰＣ５１は、その先端側がプローブブロック４６に固定され、基端側が後述する検査信号切換ブロック５５に固定されている。ＦＰＣ５１の基端側は、検査信号切換ブロック５５のガラス基板５８の上面に一定の空間をあけてこの検査信号切換ブロック５５に支持されている。具体的には、ＦＰＣ５１のコンタクトプローブ５２Ａ、５２Ｂが、ガラス基板５８の各パッド６１、６２と互いに対応した位置において一定空間をあけた状態で、ＦＰＣ５１が検査信号切換ブロック５５に支持されている。これにより、後述する押圧部材７３Ａ、７３ＢでＦＰＣ５１が押圧されることで、このＦＰＣ５１が撓んで、コンタクトプローブ５２Ａ、５２Ｂと各パッド６１、６２とが互いに圧接されるようになっている（図１０、１１参照）。

ＦＰＣ５１の下側面には配線５３が施されている。配線５３は、プローブ４７の数だけ平行に配設されている。この各配線５３の先端側が各プローブ４７の基端側の針部４７Ｂにそれぞれ電気的に接触している。

各配線５３の基端側には、簡易点灯検査信号用の端子であるコンタクトプローブ５２Ａと、通常点灯検査信号用の端子であるコンタクトプローブ５２Ｂとが、配線の長手方向に間隔をおいて配設されている。

コンタクトプローブ５２Ａ、５２Ｂは、検査信号切換ブロック５５及び切換機構５６と協働して、簡易点灯検査信号の回線又は通常点灯検査信号の回線を、プローブブロック４６のプローブ４７に選択的に接続するための部材である。

コンタクトプローブ５２Ａの列は、後述する検査信号切換ブロック５５の簡易点灯検査信号用のパッド６１に整合する位置に設けられている。コンタクトプローブ５２Ｂの列は、後述する検査信号切換ブロック５５の通常点灯検査信号用のパッド６２に整合する位置に設けられている。これにより、コンタクトプローブ５２Ａ、５２Ｂがガラス基板５８の各パッド６１、６２に選択的に接触することにより、簡易点灯検査回路と通常点灯検査回路とが切り換わるようになっている（図１０、１１参照）。

検査信号切換接続装置４９は、前記簡易点灯検査信号用の端子であるコンタクトプローブ５２Ａまたは前記通常点灯検査信号用の端子であるコンタクトプローブ５２Ｂのいずれかの信号用の端子への接続を選択的に切り換えて検査信号回路を選択して接続するための装置である。この検査信号切換接続装置４９は、図１、７〜９に示すように、検査信号切換ブロック５５と、切換機構５６とから構成されている。

検査信号切換ブロック５５は、その上側面に形成された簡易点灯検査信号の回線の端子（簡易点灯検査信号用のパッド６２）又は通常点灯検査信号の回線の端子（通常点灯検査信号用のパッド６１）を、前記ＦＰＣ接続板４８のコンタクトプローブ５２Ａ、５２Ｂに選択的に接触させて、いずれかの点灯検査信号を液晶パネル７に印加させるためのブロックである。

検査信号切換ブロック５５は、ベースプレート５４の下側に取り付けられている。検査信号切換ブロック５５は、ＦＰＣ接続板４８及び切換機構５６と協働して、簡易点灯検査信号の回線又は通常点灯検査信号の回線を、プローブ４７に選択的に接続させるようになっている。

検査信号切換ブロック５５は、図１、８、１０，１１に示すように、ベース板部５７と、ガラス基板５８と、FPC５９と、ＴＣＰユニット６０と、簡易点灯用パッド６１と、通常点灯用パッド６２とから構成されている。

ベース板部５７は、肉厚の四角形板状に形成され、上側にガラス基板５８が設けられる。ベース板部５７の四隅には、支持腕部６４が設けられ、この支持腕部６４によりベース板部５７がベースプレート５４の下側面に一体的に取り付けられている。

ガラス基板５８は、その上側面に２つの回路を形成した基板である。即ち、ガラス基板５８の上側面には、簡易点灯検査信号の回線の簡易点灯回路６５と、通常点灯検査信号の回線の通常点灯回路６６とがそれぞれ設けられている。

ＦＰＣ５９は、簡易点灯検査信号の回線の簡易点灯回路６５と簡易点灯検査信号発生器(図示せず)とを接続するための部材である。ＴＣＰユニット６０は、通常点灯検査信号の回線の通常点灯回路６６と通常点灯検査信号発生器(図示せず)とを接続するための部材である。ＴＣＰユニット６０の上側には駆動ＩＣ６７が設けられている。

簡易点灯用パッド６１は、簡易点灯検査信号の回線の端子である。即ち、簡易点灯用パッド６１は、プローブ４７と前記簡易点灯検査信号発生器とを電気的に接続するための端子である。簡易点灯用パッド６１とコンタクトプローブ５２Ａとが接触することで、簡易点灯検査信号がプローブ４７を介して液晶パネル７の端子７Ｃに印加されてテストパターンが映し出され簡易点灯検査が行われるようになっている。簡易点灯用パッド６１は、本実施形態においては一列に並べて構成されている。なお、この簡易点灯用パッド６１の配列は、簡易点灯用パッド６１の設置数等の諸条件によって異なり、２列以上に配列される場合もある。千鳥足状等の他の配列パターンで配列される場合もある。

通常点灯用パッド６２は、液晶パネル７を通常点灯検査信号の回線の端子である。即ち、通常点灯用パッド６２は、プローブ４７と前記通常点灯検査信号発生器とを接続するための端子である。通常点灯用パッド６２とコンタクトプローブ５２Ｂとが接触することで、通常点灯検査信号がプローブ４７を介して液晶パネル７の端子７Ｃに印加されてテストパターンが映し出され通常点灯検査が行われるようになっている。通常点灯用パッド６２の配列も前記簡易点灯用パッド６１と同様に、一列に並べて構成されている。この通常点灯用パッド６２の配列も、通常点灯用パッド６２の設置数等の諸条件によって異なり、２列以上に配列される場合もある。千鳥足状等の他の配列パターンで配列される場合もある。

切換機構５６は、前記検査信号切換ブロック５５の各回線のパッド６１、６２と、それに対応する前記ＦＰＣ接続板４８の各コンタクトプローブ５２Ａ、５２Ｂとを選択的に圧接させて検査信号を切り換えるための機構である。切換機構５６は、２つの押圧部材７３Ａ、７３Ｂと、押圧手段７４とから構成されている。

押圧部材７３Ａ、７３Ｂは、前記可撓性板材としてのＦＰＣ接続板４８を押圧して前記各回線の端子（パッド６１、６２）と、各コンタクトプローブ５２Ａ、５２Ｂとを選択的に圧接させるための部材である。押圧部材７３Ａ、７３Ｂは、通常点灯検査信号用のパッド６１と簡易点灯検査信号用のパッド６２に対応して２つ設けられている。

押圧部材７３Ａ、７３Ｂは、上下動可能に支持されて、簡易点灯検査信号用のすべてのコンタクトプローブ５２Ａ、又は通常点灯検査信号用のすべてのコンタクトプローブ５２Ｂを前記ＦＰＣ５１を介して同時に押圧する。押圧部材７３Ａ、７３Ｂは、弾性部材７５と、支持フレーム７６とから構成されている。

弾性部材７５は、前記ＦＰＣ接続板４８に直接的に接触してコンタクトプローブ５２Ａ、５２Ｂを弾性的に押圧する部材である。弾性部材７５は、絶縁性を備えた弾性材料を用いる。弾性部材７５は、ＦＰＣ５１の横幅寸法よりも長い肉厚板状又は棒状に形成されている。これにより、弾性部材７５は、一列に並んだすべてのコンタクトプローブ５２Ａ又はコンタクトプローブ５２Ｂを、十分な圧力で均等に押圧できるようになっている。即ち、弾性部材７５は、一列に並んだすべてのコンタクトプローブ５２Ａ又はコンタクトプローブ５２Ｂを、通常点灯検査信号用のパッド６１又は簡易点灯検査信号用のパッド６２に電気的に接続させるのに十分な圧力で均等に押圧できるようになっている。弾性部材７５の断面形状は、ほぼ八角形や四角形等に形成される。なお、弾性部材７５の断面形状は、前記２つの部材を、電気的に接続させるのに十分な圧力で均等に押圧させるのに十分な形状であればよい。

支持フレーム７６は、水平棒部（図示せず）と、この水平棒部の両側から上方へ立ち上がった垂直棒部７６Ａとから構成され、全体形状を上方へ開放したコの字型又はＣ字型に形成されている。水平棒部は、弾性部材７５の内部に埋め込まれて、この弾性部材７５を支持している。垂直棒部７６Ａは、スライド板８４の押圧ガイド溝９０の押圧ガイドピン８１を介して支持されている。

垂直棒部７６Ａの側面にはスライドピン７９が設けられている。このスライドピン７９は、シャフトホルダー７８に設けられたピン溝８０に嵌り合って上下方向にスライド可能に支持されている。これにより、垂直棒部７６Ａの上下方向へのスライド量が規制されている。

垂直棒部７６Ａの両側面の上部には、後述するスライド板８４の押圧ガイド溝９０に嵌り合う押圧ガイドピン８１が設けられている。押圧ガイドピン８１は、２つの押圧部材７３Ａ、７３Ｂの両垂直棒部７６Ａにそれぞれ設けられている。各対の押圧ガイドピン８１は、押圧ガイド溝９０に案内されてそれぞれの押圧部材７３Ａ、７３Ｂを簡易点灯検査と通常点灯検査に合わせて選択的に上下動させるようになっている。

２つの支持フレーム７６は、簡易点灯検査信号用のコンタクトプローブ５２Ａの列と、通常点灯検査信号用のコンタクトプローブ５２Ｂの列にそれぞれ整合する位置に配設されている。

押圧手段７４は、２つの押圧部材７３Ａ、７３Ｂを選択的に上下動させて、前記各コンタクトプローブ５２Ａ、５２Ｂと、各パッド６１、６２とを選択的に接触させるための装置である。押圧手段７４は、スライド板８４と、駆動機構８５とから構成されている。

スライド板８４は、押圧ガイド溝９０に押圧ガイドピン８１を介して各押圧部材７３を支持することで、各押圧部材７３Ａ、７３Ｂを選択的に上下動させるための板材である。

スライド板８４は、ベースプレート５４の上側に、このベースプレート５４に沿ってスライド可能に取り付けられている。ベースプレート５４の上側には、図９に示すように、ガイド板８６が取り付けられている。このガイド板８６の両側面にはガイドレール８７が設けられている。この各ガイドレール８７には、スライドガイド８８がスライド可能に取り付けられている。この各スライドガイド８８に各スライド板８４がそれぞれ固定されることで、各スライド板８４がスライド可能に取り付けられている。

２枚のスライド板８４は、一体的に設けられて、ベースプレート５４の上側面に沿って水平方向（図１の左右方向）に同時にスライドするようになっている。各スライド板８４には、図１、７に示すように、押圧ガイド溝９０が設けられている。この押圧ガイド溝９０には、２つの押圧部材７３Ａ、７３Ｂの押圧ガイドピン８１がそれぞれ嵌め込まれて、各押圧部材７３Ａ、７３Ｂを支持している。

押圧ガイド溝９０は、ほぼ水平方向に延ばして設けられている。具体的には、押圧ガイド溝９０は、中立溝部９０Ａと、簡易点灯用溝部９０Ｂと、通常点灯用溝部９０Ｃとから構成されている。

中立溝部９０Ａは、押圧ガイド溝９０の中間に位置し水平方向に延ばして形成され、２つの押圧部材７３Ａ、７３Ｂを中立状態に支持する溝部である。この中立溝部９０Ａに押圧部材７３Ａ、７３Ｂの押圧ガイドピン８１が位置して、各押圧部材７３Ａ、７３Ｂが中立状態になる。この状態が図７（Ｂ）の中立ポジションであり、２つの押圧部材７３Ａ、７３Ｂが上側に支持され、簡易及び通常の点灯検査信号が印加されない状態となる。

簡易点灯用溝部９０Ｂは、中立溝部９０Ａの一側（図１の左側）に位置して下方向に延ばして形成された溝部である。この簡易点灯用溝部９０Ｂに、簡易点灯用の押圧部材７３Ａの押圧ガイドピン８１を案内して押し下げると共に、通常点灯用の押圧部材７３Ｂの押圧ガイドピン８１を中立状態に維持することで、簡易点灯検査信号が液晶パネル７の端子７Ｃに印加される状態になる。この状態が、図７（Ｃ）の簡易点灯検査ポジションである。

通常点灯用溝部９０Ｃは、中立溝部９０Ａの他側（図１の右側）に位置して下方向に延ばして形成された溝部である。この通常点灯用溝部９０Ｃは、通常点灯用の押圧部材７３Ｂの押圧ガイドピン８１を案内して押し下げると共に、簡易点灯用の押圧部材７３Ｂの押圧ガイドピン８１を中立状態に維持することで、通常点灯検査信号が液晶パネル７の端子７Ｃに印加される状態になる。この状態が、図７（Ａ）の通常点灯検査ポジションである。

駆動機構８５は、２枚のスライド板８４を一体的にスライドさせるための機構である。駆動機構８５は、２枚のスライド板８４に連結されたエアシリンダ９２と、エア供給装置（図示せず）とから構成されている。エアシリンダ９２は、３ポジションでのホールド機能を備えている。即ち、上述した中立ポジション、簡易点灯検査ポジション及び通常点灯検査ポジションのそれぞれで２枚のスライド板８４を維持することができるようになっている。

エア供給装置は、切換バルブ（図示せず）を備え、この切換バルブでエアシリンダ９２へのエアの供給経路を切り換えることで、スライド板８４の位置を適宜選択できるようになっている。

アライメントカメラ３４は、ブローブ装置３３のプローブ組立体３８の各プローブ４７と、液晶パネル７の端子７Ｃとの位置合わせに際して、液晶パネル７の表面に設けられたアライメントマーク(図示せず)を撮影するためのカメラである。アライメントカメラ３４は、設定位置に３つ設けられている。

以上のように構成された検査装置２１は次のように作用する。なお、検査装置全体の作用は従来の検査装置と同様であるため、ここでは、プローブユニット３１の作用を中心に説明する。

まず、通常点灯検査について説明する。通常点灯検査では、図７（Ａ）に示すように、駆動機構８５のエア供給装置で制御されたエアシリンダ９２が、２枚のスライド板８４をスライドさせて、通常点灯検査ポジションに維持する。これにより、押圧部材７３Ｂの押圧ガイドピン８１が押圧ガイド溝９０の通常点灯用溝部９０Ｃに位置して押圧部材７３Ｂが押し下げられ、コンタクトプローブ５２Ｂが通常点灯用パッド６２に圧接される。

次いで、パネル受け３０Ａに支持された液晶パネル７が正確に位置合わせされて、液晶パネル７の端子７Ｃと、プローブ４７とが互いに接触される。

次いで、通常点灯検査信号発生器で発生させた通常点灯検査信号が、プローブ４７から液晶パネル７の端子７Ｃに印加されて、テストパターンが映し出され液晶パネル７の通常点灯検査が行われる。

簡易点灯検査を行う場合は、駆動機構８５のエア供給装置で制御されたエアシリンダ９２が、２枚のスライド板８４を、図７（Ａ）〜（Ｃ）に示すようにスライドさせて、簡易点灯検査ポジションにホールドする。これにより、押圧部材７３Ａの押圧ガイドピン８１が押圧ガイド溝９０の簡易点灯用溝部９０Ｂに位置して押圧部材７３Ａが押し下げられ、コンタクトプローブ５２Ａが簡易点灯用パッド６１に押し付けられる。

次いで、簡易点灯検査信号発生器で簡易点灯検査信号が発生され、その簡易点灯検査信号がプローブ４７から液晶パネル７の端子７Ｃに印加されて、テストパターンが映し出され液晶パネル７の簡易点灯検査が行われる。

通常点灯検査に戻す場合は、駆動機構８５のエア供給装置でエアシリ９２を制御して２枚のスライド板８４をスライドさせて、通常点灯検査ポジションに移動させる。

以上のように、駆動機構８５のエア供給装置でエアシリンダ９２を制御して２枚のスライド板８４をスライドさせて接続回路を切り換え、いずれかの点灯検査信号をプローブブロックに印加させるので、通常点灯検査と簡易点灯検査のための装置を２つ設ける必要がなくなる。これにより、通常点灯検査と簡易点灯検査とで装置の共有化を図ることができ、通常点灯検査と簡易点灯検査とで装置を交換する必要もなくなる。この結果、検査効率を大幅に向上させることができる。

検査信号切換接続装置４９の切換機構５６で簡易点灯検査と通常点灯検査とを容易に切り換えることができるため、一台の装置で簡易点灯検査と通常点灯検査を行うことも可能になり、コストを削減して検査効率を向上させることができる。

[第２実施形態]
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態に係る検査装置の全体構成は、上述した第１実施形態の検査装置２１とほぼ同様であるため、ここではプローブ組立体９５を中心に説明する。

プローブ組立体９５は、第１実施形態のプローブ組立体３８と同様に、液晶パネル７の回路の端子７Ｃに接触して検査信号を印加するための部材である。プローブ組立体９５は、プローブプレート４３の下側面に取り付けられている。このプローブ組立体９５は、図１２に示すように、プローブブロック９６と、プローブ９７と、ＦＰＣプレート９８とを備えて構成されている。

プローブブロック９６は、第１実施形態のプローブブロック９６と同様に、液晶パネル７の回路の端子７Ｃに直接接触して、簡易点灯検査信号又は通常点灯検査信号を選択的に印加することで、簡易点灯検査及び通常点灯検査を行うための部材である。

プローブブロック９６はプローブプレート４３の下側面に直接取り付けられている。このプローブブロック９６にはプローブ９７が取り付けられている。プローブ９７は、ブレードを複数枚並べて構成されている。このプローブ９７を構成する各ブレードの先端側の針部９７Ａが液晶パネル７の回路の端子７Ｃに直接接触され、基端側の針部９７ＢがＦＰＣプレート９８の後述するプリント配線１０６に接触するようになっている。

ＦＰＣプレート９８は、検査信号切換ブロック５５と協働して、簡易点灯検査信号の回線又は通常点灯検査信号の回線を、プローブブロック９６のプローブ９７に選択的に接続するための部材である。ＦＰＣプレート９８は、図１２〜１４に示すように、本体部１０１と、FPC板１０２と、コンタクトプローブ１０３とから構成されている。

本体部１０１は、ほぼ四角板状に形成されている。本体部１０１の中央の下側には、切り欠き溝１０５が設けられている。この切り欠き溝１０５は、本体部１０１を軽量化すると共に、多少撓むことができるようにするためである。これにより、パッド６１、６２がコンタクトプローブ１０３に接触したときに多少撓んで、コンタクトプローブ１０３がパッド６１、６２に大きなキズを付けずに確実に電気的接続を実現できるようになっている。

FPC板１０２は、その下側面にプリント配線１０６を施したフレキシブル基板である。プリント配線１０６は、プローブ９７のブレードの数だけ平行に配設されている。このプリント配線１０６の先端側がプローブ９７の基端側の針部９７Ｂに電気的に接触している。プリント配線１０６の基端側には、コンタクトプローブ１０３が設けられている。

コンタクトプローブ１０３は、２つのパッド６１、６２にそれぞれ電気的に接触するための針部である。コンタクトプローブ１０３は、円錐形や多角錐形の突起によって構成されている。コンタクトプローブ１０３の先端は、各パッド６１、６２との兼ね合いで、最も電気的接続が良好になるように、尖らせたり、丸みを付けたりする。

これにより、コンタクトプローブ１０３に２つのパッド６１、６２のいずれかが接触したときに、コンタクトプローブ１０３と各パッド６１、６２との確実な電気的接続を実現できるようになっている。このとき、コンタクトプローブ１０３とパッド６１、６２とが強く押し付けられた場合でも、切り欠き溝１０５によって本体部１０１が僅かに撓んで互いの圧接を緩和して確実な電気的接続を実現できるようになっている。

検査信号切換ブロック５５は、簡易点灯検査信号の回線又は通常点灯検査信号の回線のいずれかの端子をプローブブロック９６のコンタクトプローブ１０３に選択的に接続するための装置である。検査信号切換ブロック５５をずらされることで、簡易点灯検査信号の回線又は通常点灯検査信号の回線のいずれかの端子をプローブブロック９６のコンタクトプローブ１０３に選択的に接続して、簡易点灯検査又は通常点灯検査のための検査信号を印加させるようになっている。検査信号切換ブロック５５は、図８、１２、１４に示すように、ガラス基板５８と、ＦＰＣ５９と、ＴＣＰユニット６０と、簡易点灯用パッド６１と、通常点灯用パッド６２とから構成されている。

ベース板部１０７は、肉厚の四角形板状に形成され、上側にガラス基板１０８が設けられる。ベース板部５７の両側には、後述する切換機構１２３のスライドピン１２５が２本ずつ設けられている。

ガラス基板５は、その上側面に２つの回路を形成した基板である。即ち、ガラス基板５８の上側面には、簡易点灯検査信号の回線の簡易点灯回路６５と通常点灯検査信号の回線の通常点灯回路６６とがそれぞれ設けられている。

ＦＰＣ５９は、簡易点灯検査信号の回線の簡易点灯回路６５と簡易点灯検査信号発生器(図示せず)とを接続するための部材である。ＴＣＰユニット６０は、通常点灯検査信号の回線の通常点灯回路６６と通常点灯検査信号発生器(図示せず)とを接続するための部材である。ＴＣＰユニット６０の上側には駆動ＩＣ６６が設けられている。

簡易点灯用パッド６１は、簡易点灯検査信号の回線の端子である。即ち、簡易点灯用パッド６１は、プローブ９７と前記簡易点灯検査信号発生器とを接続するための端子である。簡易点灯用パッド６１は、ＦＰＣ接続板上に設けられた簡易点灯回路６５の各線の端部に接続されている。そして、簡易点灯用パッド６１とコンタクトプローブ１０３とが接触することで、簡易点灯検査信号がプローブ９７を介して液晶パネル７の端子７Ｃに印加されて液晶パネルにテストパターンが映し出され、簡易点灯検査が行われる。

通常点灯用パッド６２は、通常点灯検査信号の回線の端子である。即ち、通常点灯用パッド６２は、プローブ９７と前記通常点灯検査信号発生器とを接続するための端子である。通常点灯用パッド６２は、ＦＰＣ接続板上に設けられた６６の各線の端部に接続されている。そして、各電極１２１とコンタクトプローブ１０３とが接触することで、通常点灯検査信号がプローブ９７を介して液晶パネル７の端子７Ｃに印加されてテストパターンが映し出され通常点灯検査が行われる。

前記検査信号切換ブロック１１３は、図１２，１４に示すように、切換機構１２３によってスライド可能に支持されている。この切換機構１２３は、前記検査信号切換ブロック５５を支持して移動させることによって前記検査信号切換ブロック５５をずらし、前記簡易点灯用パッド６１又は通常点灯用パッド６２のいずれかを前記コンタクトプローブ１０３に選択的に圧接させて電気的に接触させるための機構である。切換機構１２３は、支持板１２４と、スライドピン１２５とから構成されている。

支持板１２４は、プローブブロック９６の両側にそれぞれ取り付けられる２枚の板材である。各支持板１２４は、プローブブロック９６の両側に取り付けられた状態で、検査信号切換ブロック５５を両側から挟むように配設されている。各支持板１２４にはスライド溝１２６が設けられている。このスライド溝１２６は、スライドピン１２５をスライド可能に支持するための溝である。スライド溝１２６は、Ｖ字型に形成されて、検査信号切換ブロック１１３をＶ字型にスライドさせるようになっている。スライド溝１２６は、その中央部に位置して下方へ垂れ下がったＶ字溝部１２６Ａと、このＶ字溝部１２６Ａの両端部に位置する水平溝部１２６Ｂとから構成されている。

検査信号切換ブロック１１３をスライド溝１２６とスライドピン１２５に沿って逆サイド方向に移動させることで、コンタクトプローブと接続される点灯用パッドが切換わる。

Ｖ字溝部１２６Ａは、スライドピン１２５がこの溝に沿ってスライドすることで、通常全点灯用パッド１１２又は簡易点灯用パッド１１１のいずれかの電極１１９，１２１とコンタクトプローブ１０３とが接触した状態から、コンタクトプローブ１０３に接触している一方のパッド１１１，１１２を下方に引き離しながらずらして他方のパッド１１２，１１１をコンタクトプローブ１０３に接触させるようになっている。

水平溝部１２６Ｂは、Ｖ字溝部１２６Ａの両端に位置して、その両端から僅かに水平に伸ばして形成されている。この水平溝部１２６Ｂは、検査信号切換ブロック１１３をずれないように支持する部分である。スライドピン１２５がＶ字溝部１２６Ａをスライドしながら、簡易点灯用パッド６１また通常点灯用パッド６２がコンタクトプローブ１０３と接触して押し付けられた後、横へ僅かにずらして互いの接触を確実なものにすると共に、スライドピン１２５がＶ字溝部１２６Ａ側へずれ落ちないようになっている。

以上のように構成された検査装置２１は次のように作用する。なお、検査装置全体の作用は従来の検査装置と同様であるため、ここでは、プローブユニット３１の作用を中心に説明する。

まず、通常点灯検査について説明する。通常点灯検査では、図１４（ｂ）に示すように、検査信号切換ブロック５５が先端側（図１４の左側）へずらされる。これにより、スライド溝１２６のＶ字溝部１２６Ａをスライドピン１２５がずれて、通常点灯用パッド１１２がコンタクトプローブ１０３に押し付けられる。さらに、スライドピン１２５がスライド溝１２６の水平溝部１２６Ｂを水平にずれて、通常点灯用パッド１１２がコンタクトプローブ１０３に押し付けられた状態で、横へ僅かにずらされて互いの接触を確実なものにする。

次いで、ワークテーブル３０に支持された液晶パネル７が正確に位置合わせされて、液晶パネル７の端子７Ｃと、プローブブロック９６のプローブ９７とが互いに接触される。

次いで、通常点灯検査信号発生器で発生させた通常点灯検査信号が、プローブ９７から液晶パネル７の端子７Ｃに印加されて、液晶パネル７にテストパターンが映し出され通常点灯検査が行われる。

簡易点灯検査を行う場合は、図１４（ａ）に示すように、検査信号切換ブロック５５が基端側へずらされる。これにより、スライド溝１２６のＶ字溝部１２６Ａをスライドピン１２５がずれて、通常点灯用パッド６２がコンタクトプローブ１０３から引き離されながら、簡易点灯用パッド６１がコンタクトプローブ１０３に近づき、押し付けられる。さらに、水平溝部１２６Ｂをスライドピン１２５がずれて、通常点灯用パッド１１２がコンタクトプローブ１０３に押し付けられた状態で、横へ僅かにずらされて互いの接触を確実なものにする。

次いで、簡易点灯検査信号発生器で簡易点灯検査信号が発生され、その簡易点灯検査信号がプローブ９７から液晶パネル７の端子７Ｃに印加されて、液晶パネル７にテストパターンが映し出され簡易点灯検査が行われる。

通常点灯検査に戻す場合は、上述のように検査信号切換ブロック１１３を通常点灯用パッド１１２側へずらす。

以上のように、前記簡易点灯検査信号の回線の端子（簡易点灯用パッド１１１）及び通常点灯検査信号の回線の端子（通常点灯用パッド１１２）をそれぞれ備えた前記検査信号切換ブロック５５をずらすことで、いずれかの端子を、前記プローブブロック９６のＦＰＣプレート９８のコンタクトプローブ１０３に選択的に接続させていずれかの点灯検査信号をプローブブロックに印加させるので、通常点灯検査と簡易点灯検査のための装置を２つ設ける必要がなくなる。これにより、通常点灯検査と簡易点灯検査とで装置の共有化を図ることができ、装置の交換頻度を低減させることができる。この結果、コストを低減して、検査効率を向上させることができる。

前記各実施形態に係る検査装置は、通常点灯検査と簡易点灯検査を行う検査装置全てに適用することができる。

前記各実施形態に係る検査装置では、検査信号として、簡易点灯検査信号と通常点灯検査信号を用いたが、これ以外の信号がある場合でも本願発明を適用することができる。例えば、第１実施形態において、押圧部材を３つ設け、３つの押圧部材に対応して押圧ガイド溝９０に各押圧部材を押し下げるポジションを３箇所に設けることになる。この場合も、前記第１実施形態と同様に作用、効果を奏することができる。

前記第１実施形態では、ＦＰＣ５１にコンタクトプローブ５２Ａ、５２Ｂを設けたが、パッド６１、６２をＦＰＣ５１に設けてもよい。この場合も、前記第１実施形態と同様に作用、効果を奏することができる。

前記第２実施形態では、切換機構７３を、検査信号切換ブロック１１３をスライドさせることで、コンタクトプローブ１０３に簡易点灯用パッド１１１又は通常点灯用パッド１１２を選択的に接触させるようにしたが、図１５に示すように、２つリンク１２８で検査信号切換ブロック１１３を移動させるようにしてもよい。この場合、検査信号切換ブロック１１３がリンク１２８で移動された後、検査信号切換ブロック１１３をＦＰＣプレート９８に固定するための手段を設けて、通常点灯検査と簡易点灯検査とに切り換える。この場合も、前記同様の作用、効果を奏することができる。

また、前記第２実施形態では、スライドピン１２５をスライド溝１２６に嵌合してスライドするだけの機構としたが、図１６に示すように、スライドピン１２５にネジ部１２９を設けて、スライドピン１２５が水平溝部１２６Ｂに移動した後、前記ネジ部１２９で検査信号切換ブロック８５をＦＰＣプレート９８に固定するようにしても良い。これにより、検査信号切換ブロック１１３をずらした後、容易に且つ確実に固定することができる。

７：液晶パネル、７Ａ：パネル表示部、７Ｂ：パネル端子部、７Ｃ：端子、２１：検査装置、２２：パネルセット部、２３：測定部、２６：開口部、２７：パネル受渡装置、２８：搬送アーム、２９：アライメントステージ、３０：ワークテーブル、３０Ａ：パネル受け部、３１：プローブユニット、３２：パネル受け部、３３：ブローブ装置、３４：アライメントカメラ、３５：検査信号切換ブロック、３７：支持部、３８：プローブ組立体、４０：サスペンションブロック、４１：ガイドレール、４２：スライドブロック、４３：プローブプレート、４４：調整ネジ、４６：プローブブロック、４７：プローブ、４８：ＦＰＣ接続板、４９：検査信号切換接続装置、５１：ＦＰＣ、５２Ａ、５２Ｂ：コンタクトプローブ、５３：配線、５４：ベースプレート、５５：検査信号切換ブロック、５６：切換機構、５７：ベース板部、５８：ガラス基板、５９：FPC、６０：ＴＣＰユニット、６１：簡易点灯用パッド、６２：通常点灯用パッド、６４：支持腕部、６５：簡易点灯回路、６６：通常点灯回路、６７：駆動ＩＣ、７３Ａ、７３Ｂ：押圧部材、７４：押圧手段、７５：弾性部材、７６：支持フレーム、７６Ａ：垂直棒部、７８：シャフトホルダー、７９：スライドピン、８０：ピン溝、８１：押圧ガイドピン、８４：スライド板、８５：駆動機構、８６：ガイド板、８７：ガイドレール、８８：スライドガイド、９０：押圧ガイド溝、９０Ａ：中立溝部、９０Ｂ：簡易点灯用溝部、９０Ｃ：通常点灯用溝部、９２：エアシリンダ、９５：プローブ組立体、９６：プローブブロック、９７：プローブ、９８：ＦＰＣプレート、１０１：本体部、１０２：FPC板、１０３：コンタクトプローブ、１０５：切り欠き溝、１０６：プリント配線、１０７：ベース板部、１０８：ガラス基板、１０９：FPC、１１０：COF、１１１：簡易点灯用パッド、１１２：通常点灯用パッド、１１３：検査信号切換ブロック、１１６：駆動ＩＣ、１１８：台座、１１９：電極、１２０：台座、１２１：電極，１２３：切換機構，１２４：支持板，１２５：スライドピン、１２６：スライド溝、１２６Ａ：Ｖ字溝部、１２６Ｂ：水平溝部、１２８：リンク、１２９：ネジ部。

Claims (7)

1. 検査対象基板の回路の複数の端子に各プローブがそれぞれ接触し少なくとも簡易点灯検査信号又は通常点灯検査信号を選択的に印加するプローブユニットであり、
   前記プローブに接続され、少なくとも簡易点灯検査信号用の端子及び通常点灯検査信号用の端子を備えたＦＰＣ接続板と、
   少なくとも前記簡易点灯検査信号用の端子または前記通常点灯検査信号用の端子のいずれかの信号用の端子への接続を選択的に切り換える検査信号切換接続装置と
   を備えたことを特徴とするプローブユニット。
2. 請求項１に記載のプローブユニットにおいて、
   前記検査信号切換接続装置が、少なくとも前記簡易点灯検査信号用の端子及び通常点灯検査信号用の端子をそれぞれ備え、いずれかの端子を前記ＦＰＣ接続板の各端子に選択的に接触させていずれかの検査信号を前記検査対象基板の端子に印加させる検査信号切換ブロックと、
   前記検査信号切換ブロックの各端子及びそれに対応する前記ＦＰＣ接続板の各端子を選択的に圧接させて検査信号を切り換える切換機構とを備えたことを特徴とするプローブユニット。
3. 請求項２に記載のプローブユニットにおいて、
   前記検査信号切換ブロックの各端子と前記ＦＰＣ接続板の各端子とが互いに対応した位置で一定空間をあけて配設され、
   前記切換機構が、前記ＦＰＣ接続板を押圧して前記各端子を選択的に圧接させて電気的に接触させる複数の押圧部材と、当該複数の押圧部材を選択的に移動させて前記各端子を選択的に接触させる押圧手段とを備えたことを特徴とするプローブユニット。
4. 請求項３に記載のプローブユニットにおいて、
   前記押圧部材が、上下動可能に支持されて、前記ＦＰＣ接続板の簡易点灯検査信号用のすべての端子を同時に押圧する弾性部材及び通常点灯検査信号用のすべての端子を同時に押圧する弾性部材を備えて構成され、
   前記押圧手段が、前記各弾性部材の基端側にそれぞれ係合してスライドすることで各弾性部材を選択的に上下動させるスライド溝を有するスライド板を備えて構成されたことを特徴とするプローブユニット。
5. 請求項２に記載のプローブユニットにおいて、
   前記切換機構が、前記検査信号切換ブロックを移動可能に支持して、当該検査信号切換ブロックをずらすことで、前記各端子を選択的に圧接させて電気的に接触させることを特徴とするプローブユニット。
6. 請求項５に記載のプローブユニットにおいて、
   前記切換機構が、前記検査信号切換ブロックをＶ字型にスライドさせるスライド溝を備えたことを特徴とするプローブユニット。
7. 検査対象基板の検査に用いる検査装置であって、
   外部から挿入された検査対象基板を検査終了後に外部へ搬出するパネルセット部と、当該パネルセット部から渡された検査対象基板を支持して試験する測定部とを備え、
   前記測定部のプローブユニットとして、請求項１乃至６のいずれか１項に記載のプローブユニットを用いたことを特徴とする検査装置。

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