KR100856727B1

KR100856727B1 - 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치

Info

Publication number: KR100856727B1
Application number: KR1020060071325A
Authority: KR
Inventors: 한점열; 권순웅
Original assignee: 아프로시스템 주식회사
Priority date: 2006-07-28
Filing date: 2006-07-28
Publication date: 2008-09-09
Also published as: KR20080010800A

Abstract

본 발명은 평판 디스플레이의 매크로/마이크로 검사장치에서 평판 디스플레이 글라스 표면의 불량위치를 육안으로 검사하기 위한 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치에 있어서, 상기 글라스의 불량위치를 검사하기 위해 상기 글라스를 고정하여 안착하는 글라스 안착판과, 상기 글라스 안착판의 중앙 양측에 형성하여 서보 모터를 통해 상기 글라스 안착판을 상하로 회전할 수 있도록 하는 상하 회전 수단과, 상기 상하 회전 수단과 결합하여 하단에 형성된 서보 모터에 의해 상기 글라스 안착판과 결합된 상하 회전 수단을 상하로 구동할 수 있도록 하는 상하 구동 수단과, 상기 상하 구동 수단의 하단에 형성하여 상기 상하 구동 수단을 지지해 주는 제1플레이트와, 상기 제1플레이트의 하단에 형성하여 상기 제1플레이트를 좌우로 회전하도록 형성하는 좌우 회전부와 상기 좌우 회전부를 지지해주는 제2플레이트를 포함하는 좌우 회전 수단과, 상기 좌우 회전 수단의 제2플레이트 하단에 형성하여 상기 제2플레이트를 전후 구동할 수 있도록 하는 제3플레이트와 서보 모터를 포함하는 전후 구동 수단과, 상기 전후 구동 수단의 제3플레이트 하단에 형성하여 상기 제3플레이트를 좌우로 구동할 수 있도록 하는 제4플레이트와 서보 모터를 포함하는 좌우 구동 수단으로 이루어지는 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치를 제공한다.

매크로/마이크로, 평판 디스플레이, 글라스, 구동수단, 회전수단

Description

평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치{Eye inspection apparatus for flat panel display glass}

도1은 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치의 사시도.

도2는 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치의 분해 사시도.

도3은 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치의 정면도.

도4는 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치의 측면도.

도5는 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치의 구동 사시도.

** 도면의 주요부분 부호 설명 **

100 : 글라스 200 : 글라스 안착판

210 : 회전 레일 돌기 300 : 상하 회전 수단

310, 420, 640 : 서보 모터 320 : 회전 가이드 레일홈

400 : 상하 구동 수단 410 : 수직 지지대

411, 620 : 볼 스크류 500 : 좌우 회전 수단

510 : 제1플레이트 520 : 좌우 회전부

530 : 제2플레이트 540 : 전후 구동 레일홈

600 : 전후 구동 수단 610 : 제3플레이트

630 : 전후 구동 레일부 650 : 좌우 구동 레일홈

700 : 좌우 구동 수단 710 : 제4플레이트

720 : 좌우 구동 레일부

본 발명은 평판 디스플레이의 매크로/마이크로 검사장치에서 평판 디스플레이 글라스 표면의 불량위치를 육안으로 검사하기 위한 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치에 관한 것으로, 상기 글라스의 불량위치를 검사하기 위해 상기 글라스를 고정하여 안착하는 글라스 안착판과, 상기 글라스 안착판과 결합되어 상기 글라스가 고정된 글라스 안착판을 상하로 구동할 수 있도록 형성하는 상하 구동 수단과, 상기 상하 구동 수단과 결합되어 상기 글라스 안착판이 상하로 회전할 수 있도록 하는 상하 회전수단과, 상기 상하 구동 수단의 하단에 형성하여 상기 글라스 안착판과 상기 글라스 안착판에 연결된 상하 구동 수단을 좌우로 회전하도록 하는 좌우 회전 수단과, 상기 좌우 회전 수단의 하단에 형성하여 상기 글라스를 전후로 구동할 수 있도록 하는 전후 구동 수단과, 상기 전후 구동 수단의 하단에 형성하여 상기 글라스를 좌우로 구동할 수 있도록 하는 좌우 구동 수단으로 이루어지는 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 유리기판 검사장치는 육안으로 이물 등을 찾아내는 매크로(Macro) 검사장치와 현미경을 이용하여 불량 상태를 세밀하게 찾아내는 마이크로(Micro) 검사장치로 구분된다. 검사의 항목에 따라 매크로 검사와 마이크로 검사를 선택해야 하는 경우가 있기는 하지만, 작업자의 육안으로 유리기판 전체에 대하여 이물질 부착 등의 불량 상태를 먼저 검사하고, 매크로 검사 결과에 따라 세밀한 검사가 요구되는 부분에 대하여 약 25배 내지 100배로 확대하여 마이크로 검사를 수행하는 것이 보통이다.

상기 육안으로 유리기판의 불량 상태를 검사하는 매크로 검사장치는 상기 유리기판을 고정하여 상기 유리기판의 상, 하, 좌, 우와 각도 등으로 움직여 유리기판을 검사한다.

상기와 같은 유리기판의 불량 상태를 검사하기 위해 검사자가 직접 손으로 들고 조명에 비춰가면서 검사하였으나, 최근 유리기판이 대형화함에 따라 상기 대형 유리기판을 여러 방향으로 움직이면서 불량 상태를 검사하기 위한 검사장치가 제공되었다.

그러나 종래의 유리기판 육안 검사장치는 통상적으로 검사자가 손으로 들고 검사하여 위험하고 어려운 방법에 비하면 상당히 편안하고 정확하면서도 안정되게 검사할 수 있도록 하고, 대형화에 따른 문제점을 해결하는 등 유리기판 육안 검사장치로 인해 대량생산에 따른 생산성의 향상에 지대한 공헌을 할 것으로 인정되나 각도조절을 위한 구성이 복잡하고, 유리기판 육안 검사장치를 생산하는 제작비용과 사용에 따른 관리비용이 상당히 부과되었으며, 유리기판을 무빙(moving)하기 위한 구동 장치가 대형화되어 이로 인한 제조비용의 증가와 실 사용시 작동이 번거로워 검사자가 올바른 검사를 하기 위해 일정교육에 의한 숙달을 필요하게 되는 문제점이 발생되었고, 상기 검사장치의 자동화로 인해 검사장치의 구동 속도와 검사자의 검사 속도가 일치하지 않아 불량요소를 판별하기 어려운 문제점이 발생되었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로 글라스 안착판에 평판 디스플레이용 글라스를 고정하여 상기 글라스를 구동수단에 의해 X축과, Y축과, Z축으로 서보 모터를 이용하여 이동할 수 있으며, 상기 글라스의 각도조절을 위해 θX축을 고정형태로 하여 상하 회전수단과 좌우 회전수단에 의해 θZ축과 θY축으로 상기 글라스의 센터 위치에서 서보 모터에 의해 구동되어 5축으로 구동할 수 있는 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 상기 X축과, Y축과, Z축과, θZ축과 θY축에 대하여 서보 모터를 통해 각각 개별 구동을 실시할 수 있고 구동 속도를 제어할 수 있어 검사자가 쉽게 조작할 수 있으며, 이로 인해 정확하게 불량 요소를 판별할 수 있고, 구동 장치의 간단함에 의해 제조비용을 절감할 수 있는 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.

본 발명은 평판 디스플레이의 매크로/마이크로 검사장치에서 평판 디스플레이 글라스 표면의 불량위치를 육안으로 검사하기 위한 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치에 있어서,

상기 글라스의 불량위치를 검사하기 위해 상기 글라스를 고정하여 안착하는 글라스 안착판;

상기 글라스 안착판의 중앙 양측에 형성하여 서보 모터를 통해 상기 글라스 안착판을 상하로 회전할 수 있도록 하는 상하 회전 수단;

상기 상하 회전 수단과 결합하여 하단에 형성된 서보 모터에 의해 상기 글라스 안착판과 결합된 상하 회전 수단을 상하로 구동할 수 있도록 하는 상하 구동 수단;

상기 상하 구동 수단의 하단에 형성하여 상기 상하 구동 수단을 지지해 주는 제1플레이트와, 상기 제1플레이트의 하단에 형성하여 상기 제1플레이트를 좌우로 회전하도록 형성하는 좌우 회전부와, 상기 좌우 회전부를 지지해주는 제2플레이트 를 포함하는 좌우 회전 수단;

상기 좌우 회전 수단의 제2플레이트 하단에 형성하여 상기 제2플레이트를 전후 구동할 수 있도록 하는 제3플레이트와, 서보 모터를 포함하는 전후 구동 수단;

상기 전후 구동 수단의 제3플레이트 하단에 형성하여 상기 제3플레이트를 좌우로 구동할 수 있도록 하는 제4플레이트와, 서보 모터를 포함하는 좌우 구동 수단;으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 상하 회전 수단은 내측에 서보 모터를 기준으로 반원 모양의 회전 가이드 레일홈을 형성하여 상기 글라스 안착판의 일측과 타측에 형성된 회전 레일 돌기와 결합되어 상기 글라스 안착판을 상하로 회전하는 것을 특징으로 한다.

상기 상하 구동 수단은 상기 상하 회전 수단의 일측과 타측에 수직으로 형성하여 상기 상하 회전 수단을 지지해주는 수직 지지대와, 상기 수직 지지대의 내측에 수직으로 결합된 한 쌍의 볼 스크류를 형성하여 상기 상하 회전 수단과의 결합으로 상기 볼 스크류의 하단에 형성된 서보 모터의 구동에 의해 상하로 구동하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 좌우 회전 수단은 원통형으로 이루어진 좌우 회전부에 서보 모터를 형성하여 회전 축을 기준으로 좌우로 회전할 수 있는 것을 특징으로 한다.

상기 전후 구동 수단은 제2플레이트의 하단면에 형성된 전후 구동 레일홈과, 제3플레이트 상단면에 형성된 전후 구동 레일부를 형성하여 서보 모터에 의해 볼 스크류로 전후 구동하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 좌우 구동 수단은 제3플레이트의 하단면에 형성된 좌우 구동 레일홈과, 제4플레이트의 상단면에 형성된 좌우 구동 레일부를 형성하여 서보 모터에 의해 볼 스크류로 좌우 구동하는 것을 특징으로 한다.

상기 상하 회전 수단과 좌우 회전 수단은 θZ축과 θY로 글라스의 센터 위치에서 구동되며, θX축은 고정 형태인 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도1은 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치의 사시도이다.

상기 도1에 도시된 바와 같이 본 발명은 평판 디스플레이의 매크로/마이크로 검사장치에서 평판 디스플레이용 글라스(100) 표면의 불량위치를 육안으로 검사하기 위하여 평판 디스플레이용 글라스(100)를 X축, Y축, Z축, θZ축, θY축의 5축으 로 구동하는 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치에 관한 것으로, θX축은 고정 형태로 고정하여 X축, Y축, Z축, θZ축, θY축의 5축을 기본 동작할 수 있도록 구성한다. 상기 X축 방향은 본 발명의 하단에 형성된 좌우 구동 수단((700)에 의해 구동되며, 상기 Y축은 상기 좌우 구동 수단(700)의 상단에 형성된 전후 구동 수단(600)에 의해 구동되고, 상기 θY축은 상기 전후 구동 수단(600)의 상단에 형성된 좌우 회전 수단(500)에 의해 구동된다.

또한, 상기 Z축은 상기 좌우 회전 수단(500)에 형성된 상하 구동 수단(400)에 의해 구동되며, 상기 θZ축은 상기 상하 구동 수단(400)에 결합된 상하 회전 수단(300)에 의해 구동되어 상기 글라스(100)를 고정하여 안착하는 글라스 안착판(200)을 회전하도록 한다.

상기 5축 기본 동작에서 θZ축과 θY축은 글라스(100)의 센터 위치에서 구동됨을 원칙으로 하고 θX축을 고정 형태로 하는 것을 특징으로 한다.

도2는 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치의 분해 사시도이고, 도3은 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치의 정면도이며, 도4는 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치의 측면도이다.

상기 도2와, 도3과 도4를 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 본 발명의 상단에 글라스(100)를 고정하여 안착하기 위한 글라스 안착판(200)을 형성하며, 상기 글라스 안착판(200)의 중앙 양측에 θZ축으로 상하 회전 운동을 할 수 있는 상하 회전 수단(300)을 형성한다. 상기 상하 회전 수단(300)은 글라스 안착판(200)의 중앙 양측에 각각 형성하며, 상기 상하 회전 수단(300)의 내측에 반원 모양의 회전 가이드 레일홈(320)을 형성하여 상기 글라스 안착판(200)의 일측과 타측에 형성된 회전 레일 돌기(210)와 결합하여 상기 상하 회전 수단(300)의 중앙에 형성된 서보 모터(310)에 의해 상하 360도 회전을 할 수 있도록 한다.

또한, 상기 상하 회전 수단(300)과 결합하여 상기 글라스 안착판(200)을 Z축으로 상하 운동을 할 수 있도록 하는 상하 구동 수단(400)은 상기 상하 회전 수단(300)의 일측과 타측에 형성하여 상기 상하 회전 수단(300)을 지지해주는 수직 지지대(410)를 형성하고, 상기 수직 지지대(410)의 내측에 수직으로 결합된 한 쌍의 볼 스크류(411)를 형성한다. 상기 볼 스크류(411)는 상하 회전 수단(300)과 결합되어 상기 수직 지지대(410)의 하단에 형성된 서보 모터(420)에 의해 상기 글라스 안착판(200)을 상하로 업다운 구동시킬 수 있도록 한다.

또한, 상기 상하 구동 수단(400)의 하단에 형성하여 상기 글라스 안착판(200)과 상하 회전 수단(300)과 상하 구동 수단(400)을 θY축으로 구동할 수 있도록 하는 좌우 회전 수단(500)은 상기 상하 구동 수단(400)의 수직 지지대(410)와 결합되어 상기 상하 구동 수단(400)을 지지하는 제1플레이트(510)와, 상기 제1플레이트(510)의 하단에 원통형의 좌우 회전부(520)를 형성하여 내장된 서보 모터에 의해 상기 글라스 안착판(200)을 좌우로 360도 회전할 수 있도록 하며, 상기 좌우 회전부(520)의 하단에 제2플레이트(530)를 형성하여 상기 좌우 회전부(520)를 지지할 수 있도록 한다.

또한, 상기 좌우 회전 수단(500)의 제2플레이트(530) 하단에 형성하여 상기 글라스 안착판(200)을 Y축으로 전후 직선 구동할 수 있도록 하는 전후 구동 수단(600)은 제3플레이트(610)를 형성하여 상기 제3플레이트(610)의 상단 양측에 전후 구동 레일부(630)를 형성하며, 상기 전후 구동 레일부(630)는 상기 제2플레이트(530)의 하단에 형성된 전후 구동 레일홈(540)과 결합되어 상기 제3플레이트(610)의 중앙에 형성된 볼 스크류(620)에 의해 서보 모터(640)로 구동하여 전후로 구동한다.

또한, 상기 전후 구동 수단(600)의 하단에 형성하여 상기 글라스 안착판(200)을 X축으로 좌우 직선 구동할 수 있도록 하는 좌우 구동 수단(700)은 제4플레이트(710)를 형성하여 상기 제4플레이트(710)의 상단에 3개의 좌우 구동 레일부(720)를 형성하여 상기 제3플레이트(610)의 하단에 형성된 좌우 구동 레일홈(650)과 결합되어 상기 제4플레이트(710)의 중앙에 형성된 볼 스크류에 의해 서보 모터로 구동하여 좌우로 구동한다.

도5는 본 발명에 따른 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치의 구동 사시도이다.

상기 도5에 도시된 바와 같이 X축, Y축, Z축, θZ축, θY축의 5축을 기본 구동으로 하여 X축과 Y축과 Z축은 상기 좌우 구동 수단(700)과 전후 구동 수단(600)과 상하 구동 수단(400)에 의해 구동되며, 상기 구동 수단은 서보 모터에 연결된 볼 스크류에 의해 구동된다. 또한, 상기 θZ축과 θY축은 상하 회전 수단(300)과 좌우 회전 수단(500)에 형성된 서보 모터에 의해 구동되며, 상기 θZ축과 θY축은 글라스의 중심을 기준으로 하여 구동되고 θX축은 고정 형태로 구성된다.

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명은 제어부를 통해 각각의 구동 수단과 회전 수단을 개별적으로 제어가 가능하고 구동 속도에 대해 글라스를 육안으로 검사하는 검사자의 편의에 따라 조절할 수 있도록 하며, 각 구성이 간단하게 구성되어 제조비용의 절감과 5축 구동에 대한 미세한 조절이 가능하여 상기 글라스의 불량 위치를 정확하게 판별할 수 있도록 한다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누 구든 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

본 발명은 평판 디스플레이용 글라스를 글라스 안착판에 고정하여 상기 글라스를 구동수단에 의해 X축과, Y축과, Z축으로 서보 모터를 이용하여 이동할 수 있고, 상하 회전수단과 좌우 회전수단에 의해 θZ축과 θY축으로 상기 글라스의 센터 위치에서 서보 모터에 의해 상기 글라스의 각도를 조절하며, θX축을 고정하여 상기 X축, Y축, Z축, θZ축, θY축의 5축으로 글라스를 움직일 수 있도록 하여 검사자가 글라스의 방향 및 각도를 미세하게 조절하는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 상기 X축과, Y축과, Z축과, θZ축과 θY축에 대한 5축이 서보 모터를 통해 각각 개별 구동을 실시할 수 있으며, 구동 속도를 제어할 수 있어 검사자가 쉽게 조작할 수 있고, 이로 인해 정확하게 불량 요소를 판별할 수 있으며, 구동 장치가 간단하게 제조되며 이로 인해 제조비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

Claims

평판 디스플레이의 매크로/마이크로 검사장치에서 평판 디스플레이 글라스 표면의 불량위치를 육안으로 검사하기 위한 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치에 있어서,

상기 글라스(100)의 불량위치를 검사하기 위해 상기 글라스(100)를 고정하여 안착하는 글라스 안착판(200);

상기 글라스 안착판(200)의 중앙 양측에 형성하여 서보 모터(310)를 통해 상기 글라스 안착판(200)을 상하로 회전할 수 있도록 하는 상하 회전 수단(300);

상기 상하 회전 수단(300)과 결합하여 하단에 형성된 서보 모터(420)에 의해 상기 글라스 안착판(200)과 결합된 상하 회전 수단(300)을 상하로 구동할 수 있도록 하는 상하 구동 수단(400);

상기 상하 구동 수단(400)의 하단에 형성하여 상기 상하 구동 수단(400)을 지지해 주는 제1플레이트(510)와, 상기 제1플레이트(510)의 하단에 형성하여 상기 제1플레이트(510)를 좌우로 회전하도록 형성하는 좌우 회전부(520)와, 상기 좌우 회전부(520)를 지지해주는 제2플레이트(530)를 포함하는 좌우 회전 수단(500);

상기 좌우 회전 수단(500)의 제2플레이트(530) 하단에 형성하여 상기 제2플레이트(530)를 전후 구동할 수 있도록 하는 제3플레이트(610)와, 서보 모터(640)를 포함하는 전후 구동 수단(600);

상기 전후 구동 수단(600)의 제3플레이트(610) 하단에 형성하여 상기 제3플레이트(610)를 좌우로 구동할 수 있도록 하는 제4플레이트(710)와, 서보 모터를 포함하는 좌우 구동 수단(700);으로 이루어지는 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 상하 회전 수단(300)은 내측에 서보 모터(310)를 기준으로 반원 모양의 회전 가이드 레일홈(320)을 형성하여 상기 글라스 안착판(200)의 일측과 타측에 형성된 회전 레일 돌기(210)와 결합되어 상기 글라스 안착판(200)을 상하로 회전하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 상하 구동 수단(400)은 상기 상하 회전 수단(300)의 일측과 타측에 수직으로 형성하여 상기 상하 회전 수단을 지지해주는 수직 지지대(410)와, 상기 수직 지지대(410)의 내측에 수직으로 결합된 한 쌍의 볼 스크류(411)를 형성하여 상기 상하 회전 수단(300)과의 결합으로 상기 볼 스크류(411)의 하단에 형성된 서보 모터(420)의 구동에 의해 상하로 구동하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 좌우 회전 수단(500)은 원통형으로 이루어진 좌우 회전부(520)에 서보 모터(640)를 형성하여 회전 축을 기준으로 좌우로 회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 전후 구동 수단(600)은 제2플레이트(530)의 하단면에 형성된 전후 구동 레일홈(540)과, 제3플레이트(610) 상단면에 형성된 전후 구동 레일부(630)를 형성하여 서보 모터(640)에 의해 볼 스크류(620)로 전후 구동하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 좌우 구동 수단(700)은 제3플레이트(610)의 하단면에 형성된 좌우 구동 레일홈(650)과, 제4플레이트(710)의 상단면에 형성된 좌우 구동 레일부(720)를 형성하여 서보 모터에 의해 볼 스크류로 좌우 구동하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 상하 회전수단(300)과 좌우 회전 수단(500)은 θZ축과 θY로 글라스의 센터 위치에서 구동되며, θX축은 고정 형태인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치.