KR100606568B1

KR100606568B1 - 기판 외관 검사 장치

Info

Publication number: KR100606568B1
Application number: KR1020040013607A
Authority: KR
Inventors: 이영종; 최준영; 최태현; 김남희; 박장완; 김민수; 갈종훈
Original assignee: 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date: 2004-02-27
Filing date: 2004-02-27
Publication date: 2006-07-28
Also published as: KR20050087904A

Abstract

본 발명은 LCD 기판 표면의 결함 여부를 검사하기 위한 기판 외관 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 광원에서 출발한 빛이 반사부재와 집광부재인 프레넬렌즈를 거쳐서 검사대상 기판에 조사되고, 상기 검사대상 기판에 의하여 반사되는 빛을 검사자가 육안으로 검사할 수 있도록 하는 기판 외관 검사 장치에 있어서, 장치의 크기와 높이가 높지 않으면서도 대형 기판의 외관 검사에 적합한 기판 외관 검사 장치에 관한 것이다.

본 발명에 따른 기판 외관 검사 장치는, 기판 표면 상의 결함 유무를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 상방 조명계; 기판 내부 결함 유무를 검사하기 위하여 기판 후면에서 투과 조명을 조사하는 후방 조명계; 기판을 위치시키고 요동시킴으로써 기판의 모든 표면을 검사할 수 있도록 하는 기판 위치계; 로 구성되는 기판 외관 검사 장치에 있어서, 상기 기판 위치계에는 그 상부에 기판이 위치되며, 위치된 기판을 고정시키는 기판 고정부; 와 상기 기판 고정부를 전후방향, 좌우방향 또는 경사방향 중 적어도 어느 한 방향으로 슬라이딩(sliding) 운동시킬 수 있는 슬라이딩 구동부; 가 더 포함되는 것을 특징으로 한다.

기판, 기판 외관 검사, 기판 외관 검사 장치, 수동 매크로 검사기

Description

기판 외관 검사 장치{A Flood Light for appearance inspection of LCD surface}

도 1a, 1b, 2a, 2b, 3은 종래의 기판 외관 검사 장치의 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 4는 본 발명의 기판 외관 검사 장치의 대략적인 구조를 나타내는 단면도이다.

도 5는 본 발명의 기판 외관 검사 장치 중 기판 위치계의 구조를 나타내는 정면도이다.

도 6은 제1 실시예에 따른 슬라이딩 구동부의 구조를 나타내기 위한 사시도이다.

도 7은 제2 실시예에 따른 슬라이딩 구동부의 구조를 나타내기 위한 사시도이다.

도 8은 본 발명의 다수개의 조명계가 연결되어 구성되는 상방조명계의 구조를 나타내는 사시도이다.

도 9는 본 발명의 상방 조명계의 구조를 나타내는 사시도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

100 : 상방 조명계 110 : 광원부

120 : 반사부 130 : 집광부

140 : 산란부 150 : 프레임

160 : 각도 조정부 170 : 나트륨 광원

200 : 후방 조명계 210 : 조명부

220 : 이동부 300 : 기판 위치계

310 : 기판 고정부 330 : 수직 회전 구동부

삭제

일반적으로 반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, EL 등의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 얼룩 등의 결함을 발견하기 위하여 목시검사, 즉 검사자의 육안으로 결함 여부를 검사한다. 이때, 결함의 발견을 용이하게 하기 위하여 기 판 전체를 균일하게 조명하는 조명장치가 사용된다.

종래, LCD 기판의 결함 검사에는 도 1 a, b에 나타낸 바와 같은 조명장치가 이용되고 있었다. 즉, 광원부(10)로부터의 빛이 반사부(20)에서 반사되어 집광부(30)와 산란부(40)를 투과한 후, 검사대상 기판(50)에 조사된다. 그리고 기판(50)에 의하여 반사된 빛은 검사자(60) 부근으로 향하게 되고, 검사자(60)는 그 반사된 빛을 관찰함으로써 기판(50)의 결함여부를 검사하게 되는 것이다. 즉, 결함이 없는 기판 표면에서 반사되는 빛과 결함이 있는 부분에서 반사되는 빛의 강도 및 반사각의 차이에 의해 기판의 결함여부를 확인하는 육안 검사가 행해지는 것이다.

이때 반사부(20)는 광원부(10)에서 출발한 빛의 경로를 집광부(30) 쪽으로 변화시키기 위하여 사용되는 것이며, 상기 집광부(30)는 빛을 집광시키기 위한 도구이며, 상기 산란부(40)는 집광부(30)를 통과한 빛을 산란시켜 부드러운 빛이 발생하도록 하는 도구이다. 특히 상기 산란부(40)는 액정산란판으로 구비되는데 액정산란판은 도 2 a, b에 도시된 바와 같이, 전압인가 여부에 따라 투명과 불투명 상태로 변화되기 때문에, 액정산란판을 통과하는 빛을 수렴광 또는 산란광으로 전환 가능하게 한다.

그런데 최근 기판이 대형화되면서 집광부(30)의 크기를 확대하거나, 여러개의 집광부를 결합하여 보다 넓은 영역에 빛을 조사할 수 있도록 하고 있으나, 기판 표면 전체를 한 번에 조사할 수는 없다. 따라서 도 3에 도시된 바와 같이, 기판을 전후 좌우로 이동시키면서 조사영역을 달리하여 전체 표면에 대한 조사를 가능하게 하는 기판 외관 검사 장치가 개시되어 있다.

이러한 기판 외관 검사 장치는 상판(80)과 하판(90)의 각 모서리에 하나씩 4개의 연결봉(70)을 구비시키되, 각 연결봉은 각 판과 볼 베어링에 의하여 연결되므로 모든 방향으로 움직일 수 있다. 따라서 각 연결봉(70)의 길이를 신장 또는 수축시키거나 방향을 제어함으로써 기판의 위치를 전후 좌우 및 회전 시키면서 기판의 결함 여부를 검사하는 것이다.

그러나 최근 기판이 가로 세로 모두 2m 이상의 크기를 가지는 초대형기판이 되면서 도 3에 도시된 바와 같은 기판 외관 검사 장치로 기판을 전후좌우로 이동시켜 기판 전체에 빛을 조사할 수 있도록 하기 위해서는 기판 외관 검사 장치의 높이가 5m 이상이 되어야 하고, 전체적인 크기도 지나치게 대형화되어 제조단가가 상승하며, 검사자의 검사 자체도 어려워지는 문제점이 있다.

그 이유는 도 3에 도시된 바와 같이, 종래의 기판 외관 검사 장치는 연결봉(70)의 높이에 비하여 전후 좌우 즉 수평 방향 이동폭이 좁기 때문에 기판을 수평방향으로 크게 움직여야 하는 초대형기판의 검사를 위해서는 연결봉(70)의 길이가 매우 길어져야 하기 때문이다. 따라서 장치 자체의 높이가 매우 높아지며, 장치의 크기는 매우 커지게 된다.

더불어 기판 외관 검사 장치는 클린룸내에 설치되는 장비이므로 그 높이나 크기가 대형화되면 클린룸내에 설치할 수 없거나 클린룸 자체를 대형으로 건축하여야 하는 문제점이 발생한다.

본 발명의 목적은 대형 기판의 외관 검사가 가능하면서도 장치 자체의 크기나 높이가 높지 않은 기판 외관 검사 장치를 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 외관 검사 장치는, 기판 표면 상의 결함 유무를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 상방 조명계; 기판 내부 결함 유무를 검사하기 위하여 기판 후면에서 투과 조명을 조사하는 후방 조명계; 기판을 위치시키고 요동시킴으로써 기판의 모든 표면을 검사할 수 있도록 하는 기판 위치계; 로 구성되는 기판 외관 검사 장치에 있어서, 상기 기판 위치계에는 그 상부에 기판이 위치되며, 위치된 기판을 고정시키는 기판 고정부; 와 상기 기판 고정부를 전후방향, 좌우방향 또는 경사방향 중 적어도 어느 한 방향으로 슬라이딩(sliding) 운동시킬 수 있는 슬라이딩 구동부; 가 더 포함되는 것을 특징으로 한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성, 작용 및 실시예를 상세하게 설명한다.

본 발명에 따른 기판 외관 검사 장치는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상방 조명계(100), 후방 조명계(200), 기판 위치계(300)로 구성된다.

상방 조명계(100)는 기판 위치계(300)의 상방에 설치되어, 기판 표면 상에 결함이 있는지 여부를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 역할을 하며, 광원부(110), 반사부(120), 집광부(130), 산란부(140)로 구성된다. 광원부(110)는 기판 표면에 조사되는 빛을 최초로 생성하는 구성요소이며, 반사부(120)는 광원부(110)에서 조사되는 빛의 방향을 집광부(130)로 변경시키는 역할을 하며, 기판 외관 검사 장치의 높이가 높아지는 것을 방지한다. 또한 집광부(130)는 반사부(120)로부터 조사되는 확산광을 집속하는 역할을 하며, 산란부(140)는 전원의 인가 여부에 따라 빛을 그대로 통과시키거나 산란시켜서 기판 검사자의 기판 검사를 용이하게 하는 역할을 한다.

이때 광원부(110), 반사부(120), 집광부(130), 산란부(140)는 모두 그 각도를 조정할 수 있는 구조로 구비된다. 즉, 상방 조명계(100)의 하부에 위치된 기판 표면의 결함 유무를 가장 용이하게 검사할 수 있는 상방 조명계(100)의 각도를 선정할 수 있도록 상방 조명계의 각 구성요소의 각도를 개별적으로 조정할 수 있는 구조로 구비시키는 것이다.

다만, 상방 조명계(100)의 각 구성요소에 대한 각도 조정은 기판 위치계(300)에 기판을 위치시키기 전에 완료하여야 하고, 기판을 기판 위치계(300)에 위치시킨 후에는 상방 조명계(100)를 움직이지 않는 것이 바람직하다. 그 이유는 기판을 기판 위치계(300)에 위치시킨 후 상방 조명계(100)를 움직이면, 상방 조명계(100)가 움직이는 과정에서 미세한 파티클이 발생하여 기판 상에 떨어지는 등 좋지 않은 영향을 미치기 때문이다.

또한 기판이 대형화되면서 하나의 집광부로 조사할 수 있는 영역이 기판 전체 면적 중 극히 일부분이어서, 다수개의 집광부를 연결하여 구비시킴으로써 한 번 에 조사되는 영역을 확장시킬 필요가 있다.

따라서 본 발명에서는 도 8에 도시된 바와 같이, 상방 조명계(100)를, 각기 광원부, 반사부, 집광부, 산란부로 구성된 조명계 3개(100a, b, c)가 나란히 연결된 구조로 구비시키되, 외곽에 구비된 조명계(100a, c)는 기판 외관 검사 장치의 외곽에 구비된 프레임(150)에 그 일단이 연결되고, 그 타단은 조명계(100a, c)에 연결된 각도 조정부(160a, c)에 의하여 조사 각도가 조정되도록 한다. 이때 각도 조정부(160a, c)의 양단의 결합은 볼 베어링에 의하여 결합시킴으로써 각도 조정부(160a, c)의 운동 자유도를 높이는 것이 바람직하다. 물론 연결되어 있는 3개의 조명계(100a, b, c) 각각에 구비되어 있는 광원부, 반사부, 집광부, 산란부의 각도는 독립적으로 조정가능하도록 구비된다.

그리고 도 9에 도시된 바와 같이, 상방 조명계(100)에는 광원부(110)와 별도로 나트륨 광원(170)이 더 구비될 수도 있다. 나트륨 광원(170)은 광원부(110)에서 조사되는 일반적인 조명으로 검사되지 않는 결함의 검사를 위해 사용된다. 따라서 나트륨 광원(170)은 광원부(110)와 반사부(120) 사이에 위치되되, 광원부(110)에서 조사되는 광원 및 반사부(120)에서 반사되는 빛과 간섭되지 않도록 위치되어야 하며, 상기 광원부(110)와 일체로 조사 각도가 조정되도록 구비되는 것이 바람직하다.

다음으로 후방 조명계(200)는 도 4에 도시된 바와 같이, 기판 위치계(300)의 후방에 위치되며, 기판의 내부 결함여부를 검사하기 위하여 기판 후면에서 투과 조 명을 조사하는 역할을 한다. 후방 조명계(200)는 조명부(210)와 이동부(220)로 구성되며, 조명부(210)는 투과 조명을 발생시키는 구성요소이며, 이동부(220)는 조명부(210)를 전후 방향으로 구동시키는 구성요소이다.

조명부(210)를 전후 방향으로 구동시키는 이유는 다음과 같다. 검사되는 기판이 대형화되면서, 기판의 회전 반경을 확보하기 위하여 후방 조명계(200)를 기판 위치계(300)로부터 상당 거리 이상 이격시켜야 한다. 그러나 후방 조명계(200)가 기판 위치계(300)로부터 상당 거리 이격되어 있으면, 기판 내부 결함 검사시 조도가 약해지는 문제점이 있으므로 기판 내부 결함 검사시에는 조명부(210)를 기판 위치계(300) 쪽으로 접근시킬 필요가 있다. 따라서 조명부(210)를 전후 방향으로 이동가능하게 구비시킬 필요가 있는 것이다.

이때 이동부(220)는 소정 길이의 제4 리니어 가이드(도면에 미도시)를 전후방향으로 구비시키고, 그 리니어 가이드와 결합하여 그 리니어 가이드를 따라서 이동하는 제4 리니어블럭(도면에 미도시)으로 구성되며, 제4 리니어 블럭은 조명부(210)와 결합되어 있는 구조 또는 조명부(210)와 일체로 형성되는 구조를 취한다.

따라서 제4 리니어 블럭을 제4 리니어 가이드를 따라서 이동시키면 이에 결합되어 있는 조명부(210)가 함께 전후 방향으로 이동되는 것이다.

다음으로 기판 위치계(300)는 그 소정 부분에 기판을 위치시키고 요동시킴으로써 기판의 모든 표면을 검사할 수 있도록 하는 역할을 한다. 도 5에 도시된 바와 같이, 기판 위치계(300)에는 그 상부에 기판이 위치되며, 위치된 기판을 고정시키는 기판 고정부(310)와 기판 고정부(310)를 슬라이딩(sliding) 운동시킬 수 있는 슬라이딩 구동부로 구성된다. 여기서 슬라이딩 운동이라 함은 기판 고정부(310)와 슬라이딩 구동부가 서로 분리되지 않고, 부착되어 있는 상태에서 미끄러지면서 이동하는 것을 말한다. 그리고 본 발명에 있어서 슬라이딩 구동부는 기판을 전후 방향, 좌우 방향 또는 경사 방향으로 슬라이딩 운동시킬 수 있는 전후, 좌우, 경사 슬라이딩 구동부로 구성된다. 이때 경사 방향이라 함은 지면과 수평을 이루지 않고, 지면과 소정 각도를 이루도록 기울어진 방향을 말하는 것이다. 이하에서는 슬라이딩 구동부의 구체적인 실시예인 전후, 좌우, 경사 슬라이딩 구동부를 세가지 실시예로 설명한다.

이때 슬라이딩 구동부의 제1 실시예(320)는 도 6에 도시된 바와 같이, 기판 위치계(300)를 유지하는 프레임(324)의 양 측단에 제1 리니어 가이드(322)를 설치하고, 기판 고정부(310)에 결합되며, 제1 리니어 가이드(322)를 따라 이동하는 제1 리니어 블럭(도면에 미도시)으로 구성된다.

그리고 슬라이딩 구동부의 제2 실시예(340)는 도 7에 도시된 바와 같이, 좌우 방향으로 구비된 소정 길이의 제2 리니어 가이드(342)와, 기판 위치계(300)에 결합되고, 제2 리니어 가이드(342)를 따라 이동하는 제2 리니어 블럭(344)으로 구성된다. 슬라이딩 구동부의 제2 실시예(340)는 기판 고정부(310)와 프레임(346)에 의하여 결합되고, 슬라이딩 구동부의 제2 실시예(340)가 이동함으로써 이에 결합된 기판 고정부(310)가 함께 좌우 방향으로 수평 이동하는 것이다.

특히, 슬라이딩 구동부의 제2 실시예(340)는 소정 길이를 가지는 제2 리니어 가이드로 구성되므로, 기판 외관 검사 장치의 높이가 높아지지 않으면서도 리니어 가이드의 길이에 따라 기판을 좌우로 이동시킬 수 있는 폭을 마음대로 결정할 수 있다. 따라서 검사되는 기판이 대형화되면 리니어 가이드의 길이만 신장시키면 별도의 장치를 사용하지 않고도 기판의 모든 면을 검사할 수 있는 장점이 있다.

그리고 슬라이딩 구동부의 제3 실시예(350)는 전후 방향으로 구비된 소정 길이의 제3 리니어 가이드(도면에 미도시)와, 기판 위치계(300)에 결합되고, 제3 리니어 가이드를 따라 이동하는 제3 리니어 블럭(도면에 미도시)으로 구성된다. 슬라이딩 구동부의 제3 실시예(350) 역시 제2 실시예(340)와 마찬가지로 리니어 가이드의 길이에 따라 전후로 이동할 수 있는 범위가 결정되므로 기판 외관 검사 장치의 높이를 높이지 않고도 대형 기판의 표면 전부를 검사할 수 있는 장점이 있다.

물론 본 발명에서는 기판 외관 검사 장치에 슬라이딩 구동부의 어느 한 실시예를 구비할 수도 있지만, 어느 두가지 실시예를 조합하거나 세가지 실시예를 모두 구비할 수도 있다.

그리고 도 5에 도시된 바와 같이, 기판 위치계(300)에는 기판(50), 기판 고정부(310)를 지면과 수직되는 방향으로 회전시킬 수 있는 수직 회전 구동부(330)가 더 구비될 수도 있다. 수직 회전 구동부(330)는 기판 표면에 대한 외관 검사시 가장 적합한 기판 위치 각도를 찾을 때 이용되며, 기판 내부결합 검사를 위하여 기판을 지면에 수직되게 위치시키는 경우에 이용된다.

또한 기판 위치계(300)에는 기판 위치계(300)를 수평 방향으로 회전시킬 수 있는 수평 회전 구동부(도면에 미도시)가 더 구비될 수도 있다. 수평 회전 구동부는 기판을 수평방향으로 요동시키면서 기판 표면에 존재하는 결함을 보다 용이하게 검사할 수 있도록 한다.

이하에서는 본 발명에 따른 기판 외관 검사 장치를 사용하여 기판의 외관을 검사하는 방법을 상세하게 설명한다.

먼저 기판의 전면 검사 방법에 대하여 설명한다. 기판의 전면에 대한 외관 검사를 하는 경우에는 우선 기판을 기판 고정부에 위치시킨다. 그리고 수직 회전 구동부를 구동시켜 기판의 각도를 조정하는데, 기판(50)의 각도는 도 4에 도시된 바와 같이, 지면과 60±15˚정도가 되도록 경사지게 위치시키는 것이 가장 바람직하다.

다만, 약 60˚정도로 기울어져 있는 기판에, 검사자가 가장 검사 하기 용이한 각도로 빛을 조사하기 위해서는, 집광부(130)가 지면과 20±10˚의 각도를 가지도록 경사지는 것이 바람직하다. 따라서 광원부(110), 반사부(120), 집광부(130), 산란부(140)의 각도를 상방 조명계가 지면과 약 20˚의 각도로 기울어지도록 조정한 후 기판을 기판 위치계에 위치시킨 후 검사를 시작하는 것이 바람직하다.

그리고 나서 기판의 전면에 대한 외관 검사를 시작하는데, 상방 조명계에 의하여 빛이 조사되는 부분은 기판의 일부분에 한정되므로, 슬라이딩 구동부의 제1 실시예(320)을 이용하여 기판을 경사방향으로 슬라이딩 운동시키면서 기판을 검사한다. 이때 기판이 경사진 상태에서 슬라이딩 운동하므로 검사자는 자신의 시력에 가장 적합한 부분에 시선을 고정시킨 상태에서 기판을 이동시키면서 검사할 수 있는 장점이 있다. 물론 이때 슬라이딩 구동부의 제2 실시예(340)를 구동시켜 기판을 좌우 방향으로 슬라이딩 운동시키면서 기판의 모든 면에 대하여 검사를 수행할 수 있다. 또한 슬라이딩 구동부의 제3 실시예(350)를 구동시켜 기판이 검사자가 가장 잘 검사할 수 있는 거리에 위치되도록 이동시킬 수도 있다.

다음으로 기판의 배면에 대한 외관 검사는 수직 회전 구동부를 구동시켜서 기판을 180˚회전시킨 후에, 기판의 전면에 대한 검사 때와 동일한 방법으로 외관 검사를 실시한다.

또한 일반적인 조명으로 검사되지 않는 결함까지 발견하기 위해서 나트륨 광원을 이용하여 기판의 전면 및 배면에 대한 검사를 실시한다. 다만, 그 검사 방법은 기판의 전면에 대한 검사 방법과 동일하다.

다음으로 기판의 내부 결함 검사를 위해서 후방 조명계를 이용하여 투광 검사를 실시한다. 이때에는 기판이 지면과 수직이 되도록 위치시킨 후 후방 조명계를 검사자 방향으로 전진시켜서 조도를 높인 후 투광 검사를 실시한다.

본 발명에 따른 기판 외관 검사 장치를 사용하면, 대형 기판의 검사에 있어서 기판을 경사진 상태에서 슬라이딩 구동시킬 수 있을 뿐만아니라, 기판의 위치를 전후 좌우로 길게 이동시키면서 조사영역을 확대시키며, 기판을 전후 좌우로 요동시키더라도 작업자와 기판 사이의 거리를 최소화할 수 있어서, 작업자가 결함을 검출할 수 있는 최상의 조건에서 검사할 수 있는 장점이 있다.

또한 본 발명에 따르면 간단한 구조의 슬라이딩 구동부를 사용하여 대형 기판의 모든 면을 검사할 수 있으므로, 기판 외관 검사 장치의 높이를 높이지 않고서 구성할 수 있는 장점이 있다.

Claims

기판 표면 상의 결함 유무를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 상방 조명계;

전후 방향으로 이동할 수 있도록 구비되며, 기판 내부 결함 유무를 검사하기 위하여 기판 후면에서 투과 조명을 조사하는 후방 조명계;

기판을 위치시키고 요동시킴으로써 기판의 모든 표면을 검사할 수 있도록 하는 기판 위치계;

로 구성되는 기판 외관 검사 장치에 있어서,

상기 기판 위치계에는 그 상부에 기판이 위치되며, 위치된 기판을 고정시키는 기판 고정부; 와

상기 기판 고정부를 전후방향, 좌우방향 또는 경사방향 중 적어도 어느 한 방향으로 슬라이딩(sliding) 운동시킬 수 있는 슬라이딩 구동부; 가

더 포함되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
제1항에 있어서, 상기 슬라이딩 구동부는,

기판 위치계를 유지하는 프레임의 양 측단에 설치되는 제1 리니어 가이드;와

상기 기판 고정부에 결합되며, 상기 제1 리니어 가이드를 따라 이동하는 제1 리니어 블럭; 을

포함하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
제1항에 있어서, 상기 슬라이딩 구동부는,

좌우 방향으로 구비된 소정 길이의 제2 리니어 가이드;와

상기 기판 위치계에 결합되고, 상기 제2 리니어 가이드를 따라 이동하는 제2 리니어 블럭;을

포함는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
제1항에 있어서, 상기 슬라이딩 구동부는,

전후 방향으로 구비된 소정 길이의 제3 리니어 가이드;와

상기 기판 위치계에 결합되고, 상기 제3 리니어 가이드를 따라 이동하는 제3 리니어 블럭;을

포함하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

상방 조명계는 지면과 20±10˚ 경사지도록 구비되며, 기판은 지면과 60±15°경사지도록 위치시킨 상태에서 기판의 외관을 검사하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
삭제
제1항에 있어서, 상기 상방 조명계는,

각기 광원부, 반사부, 집광부, 산란부로 구성된 3개의 조명계가 나란히 연결된 구조로 이루어지되, 외곽에 구비된 조명계는 기판 외관 검사 장치의 외곽에 구비된 프레임에 그 일단이 볼 베어링 구조로 연결되고, 그 타단은 상기 조명계에 볼 베어링 구조로 연결된 각도 조정부에 의하여 조사 각도가 조정되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
제1항에 있어서, 상기 상방 조명계에는,

광원부와 반사부 사이에 위치되되, 광원부에서 조사되는 빛 및 반사부에서 반사되는 빛과 간섭되지 않도록 위치되며, 상기 광원부와 일체로 조사 각도가 조정되는 나트륨 광원이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.