KR101282020B1 - 매크로형 기판 검사 장치 - Google Patents

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KR101282020B1
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Abstract

본 발명에 따른 매크로형 기판 검사 장치는, 기판 스테이지에 리뷰 카메라가 직접 설치되는 구조 또는 리뷰 카메라가 설치되는 구조물과 전체 장비의 구조물이 기구적으로 분리되게 설치되는 구조로 이루어지거나, 이러한 두 구조가 조합된 구조로 이루어짐으로써 카메라 촬영 검사시에 전체 장비의 내외부에서 발생된 진동에 의한 영향을 최소화할 수 있고, 이에 따라 기판의 특정 부분을 보다 안정적이고 정확하게 촬영하여, 더 높은 기판 검사 성능을 구현할 수 있게 된다.
Figure R1020060075225
매크로, 기판, 리뷰 카메라, 진동, 이미지, 프레임

Description

매크로형 기판 검사 장치{Macro type device for inspecting substrate}
도 1은 종래 기술의 매크로형 기판 검사 장치가 도시된 사시도,
도 2는 종래 기술의 매크로형 기판 검사 장치의 개략적인 측면도,
도 3은 종래 기술의 매크로형 기판 검사 장치의 개략적인 평면도,
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 사시도,
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 주요부 사시도,
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 사시도,
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 측면도,
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 개략적인 평면도,
도 9는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 사시도,
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 측면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
50 : 베이스 프레임 51 : 베이스부
52 : 가이드 55 : 프레임부
57 : 검사대 60 : 기판 스테이지
61 : 받침대 63 : 지지대
65 : 기판 홀더 66 : 가이드부
70 : 제 1 리뷰 기구 71 : 리뷰 카메라
75 : 카메라 지지대 75a :수직부
75b : 수평부 76 : 가이드부
80 : 조명 기구 81 : 광원부
83 : 반사부 85 : 집광부 및 산란부
90 : 리뷰 프레임 95 : 제 2 리뷰 기구
96 : 리뷰 카메라 97 : 리뷰 지지대
98 : 수직 지지대 99 : 수평 지지대
100 : 디스플레이 기구
본 발명은 LCD 등의 평판 표시 소자용 기판의 결함 여부를 검사하는 기판 검사 장치에 관한 것으로서, 특히 리뷰 카메라를 적절하게 설치하여 대형 기판의 결함 여부를 보다 정확하게 검사할 수 있도록 한 매크로형 기판 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로 매크로형 기판 검사 장치는 반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, EL 등 평판표시소자의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 얼룩 등의 결함을 검사하기 위한 장치이다. 이러한 검사 장치는 통상 검사자의 육안으로 결함 여부를 직접 검사하게 되는데, 기판의 결함을 용이하게 검사할 수 있도록 대형 프레임에 조명 장치와 리뷰 카메라 등이 설치되는 구조로 이루어진다.
도 1은 종래 매크로형 기판 검사 장치의 일례를 도시한 사시도이고, 도 2는 개략적인 측면도, 도 3은 개략적인 평면도로서, 이를 참조하여 종래 매크로형 기판 검사 장치를 설명한다.
종래의 매크로형 기판 검사 장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 크게 베이스 프레임(10)과, 이 프레임에 설치되는 기판 스테이지(20), 조명 기구(30), 리뷰 기구(40)로 구성된다.
이러한 매크로형 기판 검사 장치의 주요 구성 부분을 살펴보면 다음과 같다.
상기 베이스 프레임(10)은 매크로형 기판 검사 장치의 모든 장비를 지지하는 장치로서, 바닥을 구성하는 베이스(11)와, 이 베이스에 상부에 골조 구조로 설치되는 프레임(15)으로 이루어진다.
상기 기판 스테이지(20)는 상기 검사할 기판(S)을 안착 고정하는 장비로서, 상기 베이스 위에서 전후 방향으로 이동 가능하게 설치되기도 한다.
이러한 기판 스테이지(20)는 베이스(11) 위에 고정된 받침대(21), 이 받침대에서 수직으로 세워진 한 쌍의 지지대(23), 이 지지대에 회전각도 조절이 가능하게 설치되어 검사할 기판이 안착되는 기판 홀더(25)로 이루어진다.
상기 조명 기구(30)는 상기 기판 스테이지(20)의 상측에서 상기 프레임(15)에 설치되어 기판(S) 표면에 빛을 조사하는 장비로서, 크게 광원부(31), 반사부(33), 집광부 및 산란부(35)로 구성되어 전체적으로 조사 각도 조절이 가능하도록 구성된다.
이와 같은 조명 기구(30)는 기판(S)의 전면에 빛을 조사하는 장비로서, 기판의 배면에서 빛을 조사하도록 상기 기판 스테이지(20)의 뒤쪽에 투과 조명기구가 설치된 구성도 가능하다.
상기 리뷰 기구(40)는 상기 베이스 프레임(10)에 설치되어 상기 기판 스테이지(20)에 안착된 기판(S)의 특정 부분을 고배율로 촬영하여 검사자가 확대하여 볼 수 있도록 하는 장비로서, 기판을 촬영하는 리뷰 카메라(41)와, 이 리뷰 카메라가 X,Y,Z의 3축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 카메라 지지대(43)와, 상기 리뷰 카메라(41)에서 촬영된 이미지를 보여주는 모니터(45)로 구성된다.
상기와 같이 구성되는 매크로형 기판 검사 장치는 검사할 기판(S)을 기판 스테이지(20)에 고정한 다음, 조명 기구(30)를 통해 기판에 빛을 조사하면서 검사자가 직접 육안으로 기판의 결함 여부를 검사하게 된다.
특히, 기판(S)의 특정 부분을 정밀하게 검사 또는 측정할 경우에 상기 리뷰 기구(40)의 고배율 리뷰 카메라(41)를 작동시켜 모니터(45)를 통해 기판의 특정 부분을 확대하여 자세히 검사하게 된다.
그러나 상기와 같은 종래 매크로형 기판 검사 장치는, 일체로 결합된 베이스 프레임(10)에 모든 장비가 설치되어 있기 때문에 리뷰 기구(40)를 이용하여 정밀한 검사를 실시할 때, 검사 장비의 내부 및 외부에서 발생되는 진동에 의해 기판을 정확하고 정밀하게 측정하기 어려운 문제가 발생된다.
즉, 매크로형 기판 검사 장치에서 발생하는 진동 원인은 크게 외부 진동과 내부 진동으로 나눌 수 있는데, 외부 진동은 일체형 베이스 프레임(10)으로 이루어진 FAB(Fabrication)내의 고유 진동, 각종 주변 구동 장치에 의한 진동, 인접 장비나 작업자에 의한 진동 등이 있고, 내부 진동은 기판 스테이지(20) 구동 중에 발생하는 진동, 조명 기구(30)의 냉각 시스템에 의한 진동, 각종 구동 모터에 의한 진동 등이 있다.
이와 같은 외부 및 내부 진동이 발생하는 조건에서, 기판(S)이 고정된 기판 스테이지(20)와 리뷰 기구(40)가 하나의 베이스 프레임(10)에 연결되어 설치되어 있기 때문에 외부와 내부에서 전달되는 진동이 기판 스테이지(20)와 리뷰 카메라(21)에 그대로 전달되므로, 촬영된 이미지가 흔들리고 포커싱이 어려워 기판의 평행도를 맞추기 어렵게 되고, 이로 인하여 보다 정확하고 정밀한 이미지 획득이 쉽지 않게 되므로, 결과적으로 매크로형 기판 검사 장치의 성능이 저하되는 문제가 발생된다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판 스테이지를 포함한 주변 장비에 진동이 발생하더라도 리뷰 카메라에 전달되는 영향을 최소화할 수 있도록 구성하여, 보다 정확하고 정밀한 기판 검사가 가능하도록 하여, 전체적으로 검사 성능이 향상될 수 있는 매크로형 기판 검사 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
또한 본 발명은, 복수의 위치에 리뷰 카메라를 별도로 설치하여 기판의 검사 조건이나 상태에 따라 선택적으로 리뷰 카메라를 이용하여 검사할 수 있도록 함으로써 기판 검사의 다양성 및 편의성이 높아지도록 하는 매크로형 기판 검사 장치를 제공하는 데 다른 목적이 있다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 매크로형 기판 검사 장치는, 베이스부와 그 위에 골조 구조로 설치된 프레임부로 이루어진 베이스 프레임과; 상기 베이스부 위에 설치되고, 검사할 기판이 안착되는 기판 스테이지와; 상기 기판 스테이지에 일체로 장착되어 상기 기판을 촬영하여 전송하는 제 1 리뷰 기구와; 상기 프레임부에 설치되어 상기 기판에 빛을 조사하는 조명 기구와; 상기 베이스 프레임과 기구적으로 분리된 위치에 설치되는 리뷰 프레임과; 상기 리뷰 프레임 상에 설치되어 상기 기판을 촬영하여 전송하는 제 2 리뷰 기구와; 상기 제 1 및 제 2 리뷰 기구에서 촬영된 이미지를 표현하는 디스플레이 기구를 포함한 것을 특징으로 g한다.
또한 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 매크로형 기판 검사 장치는, 베이스부와 그 위에 골조 구조로 설치된 프레임부로 이루어진 베이스 프레임과; 상기 베이스 프레임에 설치되고, 검사할 기판이 안착되는 기판 스테이지와; 상 기 기판 스테이지에 일체로 장착되어 상기 기판을 촬영하여 전송하는 제 1 리뷰 기구와; 상기 베이스 프레임의 프레임에 지지되어 상기 기판에 빛을 조사하는 조명 기구와; 상기 제 1 리뷰 기구에서 촬영된 이미지를 표현하는 디스플레이 기구를 포함한 것을 특징으로 한다.
또한 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 매크로형 기판 검사 장치는, 베이스부와 그 위에 골조 구조로 설치된 프레임부로 이루어진 베이스 프레임과; 상기 베이스부 위에 설치되고, 검사할 기판이 안착되는 기판 스테이지와; 상기 프레임부에 설치되어 상기 기판에 빛을 조사하는 조명 기구와; 상기 베이스 프레임과 기구적으로 분리된 위치에 설치되는 리뷰 프레임과; 상기 리뷰 프레임 상에 설치되어 상기 기판을 촬영하여 전송하는 제 2 리뷰 기구와; 상기 제 2 리뷰 기구에서 촬영된 이미지를 표현하는 디스플레이 기구를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 각각의 구성에서, 상기 기판 스테이지는 사각 테두리 구조를 가진 기판 홀더가 포함되고, 상기 제 1 리뷰 기구는, 상기 기판 홀더에 양단부가 결합된 카메라 지지대와, 상기 카메라 지지대에 설치되어 기판을 촬영하는 리뷰 카메라로 구성되되, 상기 리뷰 카메라는 상기 카메라 지지대를 통해 적어도 2 축 방향으로 이동이 가능하도록 설치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제 2 리뷰 기구는 기판을 촬영하는 리뷰 카메라와, 상기 리뷰 프레임에 지지되어 상기 리뷰 카메라가 적어도 2 축 방향으로 이동이 가능하도록 이루어진 리뷰 지지대를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
도 4 내지 도 5에 예시된 제 1 실시예는 리뷰 기구가 기판 스테이지에 직접 설치된 구성으로 이루어지고, 도 6 내지 도 8에 예시된 제 2 실시예는 리뷰 기구가 기구적으로 분리되어 설치된 구성으로 이루어지며, 도 9 내지 도 10에 예시된 제 3 실시예는 리뷰 기구가 기판 스테이지와 설치됨과 아울러 기구적으로 분리되어 설치된 구성으로 이루어진다. 참고로 본 발명의 여러 실시예를 설명함에 있어서, 동일 유사한 구성 부분에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 그에 대한 반복 설명은 생략한다.
먼저, 본 발명의 제 1 실시예를 설명한다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 사시도이고, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 주요부 사시도이다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치는, 육면체 구조로 이루어진 베이스 프레임(50)과, 상기 베이스 프레임(50)에 설치되고 검사할 기판(S)이 안착되는 기판 스테이지(60)와, 상기 기판 스테이지(60)에 일체로 장착되어 상기 기판(S)을 촬영하여 전송하는 제 1 리뷰 기구(70)와, 상기 베이스 프레임(50)의 프레임부(55)에 지지되어 상기 기판(S)에 빛을 조사하는 조명 기구(80)와, 상기 제 1 리뷰 기구(70)에서 촬영된 이미지를 표현하는 디스플레이 기구(100)를 포함하여 구성된다.
상기와 같은 기판 검사 장치의 구요 구성 부분을 자세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 베이스 프레임(50)은 바닥에 설치된 베이스부(51)와 이 베이스부(51) 위에 골조 구조로 설치된 프레임부(55)로 이루어진다.
다음, 상기 기판 스테이지(60)는 상기 베이스부(51)에 지지되는 받침대(61)와, 이 받침대의 양쪽에 수직으로 세워지는 지지대(63)와, 이 지지대의 상부에 회전 가능하게 지지됨과 아울러 기판(S)이 안착되는 기판 홀더(65)로 이루어진다.
여기서 상기 기판 홀더(65)는 사각 테두리 구조로 형성되고, 그 양쪽 테두리 부분에는 상기 제 1 리뷰 기구(70)가 설치됨과 아울러 직선 이동을 안내하도록 가이드부(66)가 형성된다.
다음, 상기 제 1 리뷰 기구(70)는 상기 기판 홀더(65)의 가이드부(66)에 양단부가 결합되어 상하 이동되는 카메라 지지대(75)와, 상기 카메라 지지대(75)에 설치되어 기판(S)을 고배율로 촬영하는 리뷰 카메라(71)로 구성된다.
상기 카메라 지지대(75)는 도 5를 참고하면, 양쪽 수직부(75a)와 이 수직부(75a)의 상단부에서 수평 방향으로 연결되는 수평부(75b)로 이루어지는데, 상기 수직부(75a)는 상기 기판 홀더(65)의 가이드부(66)에 연결되고, 상기 수평부(75b)는 상기 리뷰 카메라(71)가 수평 방향으로 이동될 수 있도록 가이드부(76)가 형성된다.
상기 리뷰 카메라(71)는 통상 기판의 특정 부분을 정밀하게 촬영할 수 있는 카메라로 이루어지고, 상기 그 후방에 카메라 구동부(73)가 구비되어 구동부의 작 동에 따라 카메라(71)가 수평 방향으로 이동할 수 있도록 구성된다.
따라서 상기 리뷰 카메라(71)는 상기 수평부(75b)의 가이드부(76)를 따라 수평 방향으로 이동하게 되고, 상기 카메라 지지대(75) 전체가 도시가 생략된 지지대 구동부의 작동에 의해 상기 기판 홀더(65)의 가이드부(66)를 따라 상하 방향으로 이동함에 따라, 상하 방향으로도 이동할 수 있도록 이루어진다.
또한 상기 리뷰 카메라(71)를 돌출 길이를 조절할 수 있도록 구성하는 경우에는 상기 리뷰 카메라(71)는 카메라 지지대(75) 및 카메라 구동부(73) 등에 의해 기판을 중심으로 X,Y,Z의 3 축 방향으로의 이동이 가능하게 된다.
한편, 상기 리뷰 카메라(71)의 수평 이동 및 수직 이동을 가능하게 하는 구조는 통상적으로 널리 사용되는 직선 이동 기구를 이용하게 되는데, 수평 방향으로의 직선 이동 기구의 구성은 상기 카메라 구동부(73)에 모터의 의해 회전하는 피니언을 설치하고, 상기 수평부(75b)의 가이드부(76)를 랙 구조로 형성하여 구성하는 것이 가능하다.
또한 상하 방향으로의 직선 이동 구조는 상기 기판 홀더(65)의 내부에서 구동 모터를 설치하여 피니언과 랙 구조를 이용하거나, 타이밍 벨트 또는 볼 스크류 구조 등을 이용하여 구성할 수 있다.
이와 같은 직선 이동 구조는 실시 조건에 따라 공지 기술을 다양하게 변형 적용하여 사용할 수 있음은 물론이다.
다음, 상기 조명 기구(80)는 다시 도 4를 참고하면, 빛을 조사하는 광원부(81), 이 광원부로부터 조사된 빛을 기판 방향으로 반사시키는 반사부(83), 이 반사부에서 반사된 빛을 집광 산란시켜 기판으로 빛을 전달하는 집광부 및 산란부(85)로 구성될 수 있다.
다음, 상기 디스플레이 기구(100)는 상기 리뷰 카메라(71)에서 촬영된 영상을 검사자에게 보여주는 모니터로 구성된다.
상기와 같은 본 발명의 주요 구성은 육면체형 골조 구조로 이루어진 베이스 프레임(50)에 일체로 설치되어 구성되고, 특히 상기 제 1 리뷰 기구(70)는 상기 기판 홀더(65)에 직접 설치되는 구성으로 이루어진다.
따라서 기판(S)의 특정 지점을 상기 제 1 리뷰 기구(70)를 통해 정밀하게 검사할 때, 리뷰 구동 기구를 이용하여 리뷰 카메라(71)를 원하는 위치로 이동시키면서 기판(S)의 결함을 촬영하여 검사하게 된다.
이때, 상기 제 1 리뷰 기구(70)가 기판 홀더(65)에 직접 설치되어 있으므로, 종래 기술에서 언급한 내부 또는 외부의 진동이 발생하더라도 리뷰 기구가 기판 홀더(65)의 진동 주파수 대역이 일치하게 됨에 따라 촬영된 이미지가 흔들리거나 포커싱이 맞지 않는 등의 문제를 해결하여 보다 정밀하고 정확한 촬영이 가능해진다.
다음, 본 발명의 제 2 실시예를 설명한다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 사시도이고, 도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 측면도이이며, 도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 개략적인 평면도이다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치는, 베이스 프레임(50)과, 상기 베이스 프레임(50)에 설치되어 검사할 기판(S)이 안착되는 기판 스테이지(60)와, 상기 베이스 프레임(50)에 설치되어 상기 기판에 빛을 조사하는 조명 기구(80)와, 상기 베이스 프레임(50)과 기구적으로 분리된 위치에 설치되는 리뷰 프레임(90)과, 상기 리뷰 프레임(90) 상에 설치되어 상기 기판(S)을 촬영하여 전송하는 제 2 리뷰 기구(95)와, 상기 제 2 리뷰 기구(95)에서 촬영된 이미지를 표현하는 디스플레이 기구(100)를 포함하여 구성된다.
이와 같은 제 2 실시예의 매크로형 기판 검사 장치는 제 2 리뷰 기구(95)가 상기 베이스 프레임(50)을 중심으로 한 구조물과 기구적으로 분리되어 내부 및 외부로부터 전달되는 진동으로부터 자유롭도록 설치되는 구성으로 이루어진다.
이러한 제 2 실시예의 주요 구성 부분을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 베이스 프레임(50)은 상기 제 2 리뷰 기구(95)와 분리되어 구성되고, 이 리뷰 기구(95)의 뒤쪽에 검사자가 올라가서 검사를 시행할 수 있는 검사대(57)가 별도로 설치되는 구성으로 이루어질 수 있다. 여기서 상기 검사대(57)에는 상기 디스플레이 기구(100)를 구성하는 모니터가 설치된다.
다음, 상기 기판 스테이지(60), 조명 기구(80) 등의 구성은 전술한 제 1 실시예에서와 같이 베이스 프레임(50)에 설치되어 구성된다.
다음, 상기 리뷰 프레임(90)은 상기 베이스 프레임(50)과 분리되고, 도면에서와 같이 검사대(57)와 베이스 프레임(50) 사이에 독립적으로 위치된다.
이러한 리뷰 프레임(90)은 상기 제 2 리뷰 기구(95)를 안정적으로 지지할 수 있도록 좌우로 길게 설치되는 것이 바람직하다.
다음, 상기 제 2 리뷰 기구(95)는 기판을 촬영하는 리뷰 카메라(96)와, 상기 리뷰 프레임(90)에 지지되어 상기 리뷰 카메라(96)가 적어도 2 축 방향으로 이동이 가능하도록 이루어진 리뷰 지지대(97)로 구성된다.
상기 리뷰 지지대(97)는 수직 지지대(98)와 수평 지지대(99)로 이루어지는데, 상기 수직 지지대(98)는 상기 수평 지지대(99)가 상하 방향으로 이동할 수 있도록 직선 이동 기구가 구성되고, 상기 수평 지지대(99)에는 상기 리뷰 카메라(96)가 수평 방향으로 이동하도록 직선 이동 기구가 설치된다.
상기 수직 지지대(98)에 설치되는 직선 이동 기구는 상기 리뷰 프레임(90)에 설치된 구동부(93)에 의해 타이밍 벨트 또는 볼 스크류 등을 구동하여 상기 수평 지지대(99)를 상하 이동시킬 수 있도록 구성되고, 상기 수평 지지대(99)에 설치되는 직선 이동 기구는 리뷰 카메라(96)에 부설된 구동 모터에 의해 리뷰 카메라(96)가 수평 지지대(99)를 따라 수평 방향으로 이동할 수 있도록 구성된다.
이와 같이 두 축 방향의 직선 이동 기구는 전술한 바와 같이 공지의 직선 이동 기구를 실시 조건에 따라 다양하게 선택하여 사용할 수 있다.
한편, 상기 수직 지지대(98)는 상기 리뷰 프레임(90)에 연결되는 하측 부분이 상대적으로 넓게 형성되어 보다 안정적으로 지지될 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 리뷰 카메라(96)가 앞쪽으로 길어지면서 기판과 근접하게 이동하게 구성할 수 있고, 이와는 달리 기판 스테이지(60)를 베이스(51)에 구비된 가이 드(52)를 따라 상기 리뷰 카메라(96) 쪽으로 전후진 하도록 구성할 수 있다.
이러한 기판 스테이지(60)의 이동 방식은 공지의 구성이므로, 자세한 이동 구조에 대한 설명은 생략한다.
상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치는 기판 검사할 때, 기판의 특정 부분을 정밀 검사하기 위해서는 제 2 리뷰 기구(95)에 구성되는 직선 이동 기구를 구동하여 리뷰 카메라(96)를 수직 및 수평 방향으로 이동시키면서 기판을 특정 부분을 촬영하면서 검사하게 된다.
이와 같은 제 2 실시예의 검사 장치는 제 2 리뷰 기구(95)가 베이스 프레임(50)과 기구적으로 독립된 리뷰 프레임(90)에 설치되므로, 제 1 실시예에서와 같이 검사 장비의 내부 또는 외부에서 발생되는 진동으로부터 영향이 최소화되어 리뷰 카메라(96)를 통해 기판을 보다 정밀하고 정확하게 촬영하면서 검사할 수 있게 된다.
다음, 본 발명의 제 3 실시예를 설명한다.
도 9는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 사시도이고, 도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 매크로형 기판 검사 장치의 측면도이다.
본 발명의 제 3 실시예는 전술한 제 1 실시예의 제 1 리뷰 기구(70)와 제 2 실시예의 제 2 리뷰 기구(95)가 함께 설치된 구성으로, 기판 검사 조건에 따라 두 개의 리뷰 기구 중 어느 하나를 선택적으로 사용할 수 있는 구성을 예시한 것이다.
즉, 본 발명의 제 3 실시예는 베이스 프레임(50)과, 상기 베이스 프레임(50)에 설치되어 검사할 기판이 안착되는 기판 스테이지(60)와, 상기 기판 스테이지(60)에 일체로 장착되어 상기 기판(S)을 촬영하여 전송하는 제 1 리뷰 기구(70)와, 상기 베이스 프레임(50)에 설치되어 상기 기판에 빛을 조사하는 조명 기구(80)와, 상기 베이스 프레임(50)과 기구적으로 분리된 위치에 설치되는 리뷰 프레임(90)과, 상기 리뷰 프레임(90) 상에 설치되어 상기 기판을 촬영하여 전송하는 제 2 리뷰 기구(95)와, 상기 제 1 및 제 2 리뷰 기구(95)에서 촬영된 이미지를 표현하는 디스플레이 기구(100)로 구성된다.
이와 같은 제 3 실시예의 각각의 구성은 전술한 제 1 실시예와 제 2 실시예의 구성과 동일하므로, 그에 대한 자세한 설명은 생략한다.
다만, 본 발명의 제 3 실시예에서도 제 1 리뷰 기구(70)와 제 2 리뷰 기구(95)가 내외부 진동으로부터 영향을 받지 않도록 구성되므로, 각각의 리뷰 카메라(71)(96)를 통해 검사의 정확성 및 신뢰성을 높일 수 있게 된다.
또한, 두 리뷰 기구(70)(95)를 통해 기판의 상태나 검사 조건에 따라 독립적으로 구동하면서 기판의 특정 위치를 정밀하게 검사할 수 있게 되므로, 검사의 다양성을 확보할 수 있고, 기판 검사의 편의성도 향상될 수 있게 된다.
상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명에 따른 매크로형 기판 검사 장치는 다음과 같은 효과를 갖게 된다.
본 발명은, 리뷰 카메라와 기판 사이의 상대 움직임이 최소화되도록 구성되기 때문에 리뷰 카메라를 이용하여 기판을 검사할 때, 보다 정확하고 정밀한 검사가 가능하고, 이에 따라 기판 검사 성능이 향상되는 이점이 있다.
또한 본 발명은, 기판 스테이지에 리뷰 카메라가 직접 설치된 경우에, 기판 스테이지와 리뷰 카메라의 진동 주파수 대역을 일치시킬 수 있게 되고, 이에 따라 상대 움직임을 최소화할 수 있게 되어 간단한 구조로 기판 검사 성능을 높일 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명은, 리뷰 카메라가 설치되는 구조물과 전체 장비의 구조물이 기구적으로 분리되게 설치된 경우에, 리뷰 카메라로 전달되는 진동을 최소화하여 정확한 정밀 검사가 가능하고, 분리 구조로 인하여 분리 생산 및 별도 조립이 가능하며, 장비 이동시 분리 포장이 가능하여 전체 장비의 사이즈를 축소할 수 있는 이점도 있다.
또한 본 발명은, 기판 스테이지나 독립적인 구조물에 리뷰 카메라를 각각 설치한 경우에, 기판의 검사 조건이나 기판의 상태에 따라 필요한 리뷰 카메라를 선택하여, 적절하게 검사를 실시할 수 있기 때문에 기판 검사의 다양성 및 편의성이 향상될 수 있는 이점이 있다.

Claims (5)

  1. 베이스부 및 상기 베이스부 위에 골조 구조로 설치된 프레임부로 이루어진 베이스 프레임과;
    상기 베이스 프레임의 베이스부 위에 설치되고, 검사할 기판이 안착되는 기판 스테이지와;
    상기 기판 스테이지에 일체로 장착되어 상기 기판을 촬영하여 전송하는 제 1 리뷰 기구와;
    상기 베이스 프레임의 프레임부에 설치되어 상기 기판에 빛을 조사하는 조명 기구와;
    상기 베이스 프레임과 기구적으로 분리된 위치에 설치되는 리뷰 프레임과;
    상기 리뷰 프레임 상에 설치되어 상기 기판을 촬영하여 전송하는 제 2 리뷰 기구와;
    상기 제 1 및 제 2 리뷰 기구에서 촬영된 이미지를 표현하는 디스플레이 기구를 포함한 것을 특징으로 하는 매크로형 기판 검사 장치.
  2. 삭제
  3. 베이스부 및 상기 베이스부 위에 골조 구조로 설치된 프레임부로 이루어진 베이스 프레임과;
    상기 베이스 프레임의 베이스부 위에 설치되고, 검사할 기판이 안착되는 기판 스테이지와;
    상기 베이스 프레임의 프레임부에 설치되어 상기 기판에 빛을 조사하는 조명 기구와;
    상기 베이스 프레임과 기구적으로 분리된 위치에 설치되는 리뷰 프레임과;
    상기 리뷰 프레임 상에 설치되어 상기 기판을 촬영하여 전송하는 제 2 리뷰 기구와;
    상기 제 2 리뷰 기구에서 촬영된 이미지를 표현하는 디스플레이 기구를 포함한 것을 특징으로 하는 매크로형 기판 검사 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 스테이지는 사각 테두리 구조를 가진 기판 홀더가 포함되고,
    상기 제 1 리뷰 기구는, 상기 기판 홀더에 양단부가 결합된 카메라 지지대와, 상기 카메라 지지대에 설치되어 기판을 촬영하는 리뷰 카메라로 구성되되, 상기 리뷰 카메라는 상기 카메라 지지대를 통해 적어도 2 축 방향으로 이동이 가능하도록 설치된 것을 특징으로 하는 매크로형 기판 검사 장치.
  5. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 제 2 리뷰 기구는 기판을 촬영하는 리뷰 카메라와, 상기 리뷰 프레임에 지지되어 상기 리뷰 카메라가 적어도 2 축 방향으로 이동이 가능하도록 이루어진 리뷰 지지대를 포함한 것을 특징으로 하는 매크로형 기판 검사 장치.
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