JP6124237B2 - 検査装置、検査方法及び基板の製造方法 - Google Patents

Description

本技術は、クリーム半田が印刷された基板、電子部品が実装された基板、液晶ガラス基板等の各種の検査対象物を検査する検査装置などの技術に関する。

従来から、クリーム半田が印刷された基板、電子部品が実装された基板、液晶ガラス基板等の各種の検査対象物を撮像部により撮像して、検査対象物を検査する検査装置が広く知られている。このような検査装置において、検査対象物を効率よく検査するために、複数の検査ヘッドによって検査対象物を検査する方法が提案されている（下記特許文献１参照）。

下記特許文献１に記載の複数ヘッド顕微鏡装置は、大型ガラス基板上でＸ軸方向にそれぞれ移動可能な２つのヘッドを備えている。この２つのヘッドは、照明光学系、結像光学系などの各種の光学系を含む光学ヘッドと、光学ヘッドに取り付けられたＴＶカメラとをそれぞれ含む。これらの２つのヘッドにより、同時に大型ガラス基板を撮像することができるため、検査効率を向上させることができる。

特開平８−１７１０５７号公報

一般的に、検査ヘッドは、照明部によって検査対象物に光を照射し、照明部によって光が照射された検査対象物を撮像部によって撮像する構成とされている。従って、複数の検査ヘッドによって検査対象物を撮像しようとする場合、複数の検査ヘッドがそれぞれ有する各照明部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されてしまう場合がある（照明干渉）。これによって、検査対象物を検査するときの照明輝度が変化してしまい、検査対象物を正確に検査することができないといった問題がある。

以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、複数の検査ヘッドがそれぞれ有する各照明部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されてしまうこと（照明干渉）を防止することができる技術を提供することにある。

本技術に係る検査装置は、第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドと、遮蔽部とを具備する。
前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドは、検査対象物に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記検査対象物を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する。
前記遮蔽部は、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの間に配置され、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する。

この検査装置では、遮蔽部によって、第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されてしまうこと（照明干渉）を防止することができる。これにより、検査対象物を正確に検査することができる。

上記検査装置は、搬送方向に向けて前記検査対象物を搬送する搬送機構をさらに具備していてもよい。この場合、前記遮蔽部は、前記搬送機構に設けられてもよい。

上記検査装置において、前記搬送機構は、前記第１の検査ヘッドによって検査される前記検査対象物を前記搬送方向に向けて搬送する第１の搬送機構と、前記第１の搬送機構と平行に配置され、前記第２の検査ヘッドによって検査される前記検査対象物を前記搬送方向に搬送する第２の搬送機構とを有していてもよい。この場合、前記遮蔽部は、前記第１の搬送機構又は前記第２の搬送機構に設けられてもよい。

上記検査装置において、前記第１の搬送機構及び前記第２の搬送機構は、前記検査対象物を前記搬送方向に向けてガイドする第１のガイドと、前記第１のガイドと平行に配置され、前記第１のガイドとともに前記検査対象物を前記搬送方向に向けてガイドする、他の搬送機構に近い側に位置する第２のガイドとをそれぞれ有していてもよい。この場合、前記遮蔽部は、前記第１の搬送機構又は前記第２の搬送機構が有する前記第２のガイドに設けられてもよい。

これにより、遮蔽部を適切な位置に配置することができる。

上記検査装置は、前記搬送方向に直交する方向に前記第２のガイドを移動させて、前記第２のガイドの位置を調整する調整機構をさらに具備していてもよい。この場合、前記遮蔽部は、前記調整機構による前記第２のガイドの移動に応じて、前記搬送方向に直交する方向に移動されてもよい。

この検査装置では、遮蔽部が第２のガイドの移動に応じて移動されるため、第２のガイドの位置が調整されたときに、この調整に追従して遮蔽部を適切な位置に移動させることができる。

上記検査装置は、前記検査対象物が所定の検査位置に固定されるように、検査対象物を下方から支持する支持機構をさらに具備していてもよい。この場合、前記遮蔽部は、前記支持機構に設けられてもよい。

上記検査装置は、前記支持機構を上下方向に移動させる移動機構をさらに具備していてもよい。この場合、前記遮蔽部は、前記移動機構による支持機構の上下方向の移動に応じて、前記上下方向に移動されてもよい。

上記検査装置において、前記遮蔽部は、前記第１の検査ヘッド又は第２の検査ヘッドに設けられてもよい。

上記検査装置において、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドを移動させるヘッド移動機構をさらに具備していてもよい。この場合、前記遮蔽部は、前記第１の検査ヘッド又は前記第２のヘッドの移動に応じて移動されてもよい。

この検査装置では、遮蔽部が第１の検査ヘッド又は第２の検査ヘッドの移動に応じて移動するため、第１の検査ヘッド又は第２の検査ヘッドが移動したときに、この移動に追従して遮蔽部を適切な位置に移動させることができる。

上記の検査装置は、検査装置本体をさらに具備していてもよい。この場合、前記遮蔽部は、前記検査装置本体に設けられてもよい。

上記検査装置は、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドを移動させるヘッド移動機構と、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの移動による前記遮蔽部への衝突を防止する衝突防止機構とをさらに具備していてもよい。

これにより、第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドと、遮蔽部との衝突を防止することができる。

上記検査装置において、前記遮蔽部は、前記検査対象物が搬送される方向である搬送方向に沿って配置されてもよい。

上記検査装置において、前記遮蔽部は、前記検査対象物が搬送される方向である搬送方向に直交する方向に沿って配置されてもよい。

本技術に係る検査方法は、検査対象物に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記検査対象物を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドと、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの間に配置され、前記第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する遮蔽部とを具備する検査装置の前記撮像部によって撮像された画像が解析される。
前記画像に基づいて、前記検査対象物の良否が判定される。

本技術に係る基板の製造方法は、基板に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記基板を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドと、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの間に配置され、前記第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する遮蔽部とを具備する検査装置の前記撮像部によって撮像された画像が解析される。
前記画像に基づいて、前記基板の良否が判定される。
不良品と判定された前記基板が破棄され、良品と判定された前記基板が残される。

以上のように、本技術によれば、複数の検査ヘッドがそれぞれ有する各照明部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されてしまうこと（照明干渉）を防止することができる技術を提供することができる。

本技術の第１実施形態に係る検査装置を示す側面図である。 検査装置を示す上面図 検査装置が有する搬送機構及び支持機構を示す拡大側面図である 検査装置が有する調整機構を示す上面図である 照明部から照射された光がどのような状態となるかを示す図である。 遮蔽部が設けられていない場合（比較例）において、照明部から照射された光がどのような状態となるかを示す図である。 本技術の第２実施形態に係る検査装置を示す側面図である。 本技術の第３実施形態に係る検査装置を示す側面図である。 遮蔽部が搬送方向に直交する方向に向けて配置された場合の一例を示す図である。 遮蔽部が検査対象物の搬送方向に向かう方向に配置された遮蔽部と、搬送方向と直交する方向に向けて配置された遮蔽部との組み合わせにより構成された場合の一例を示す図である 検査装置の遮蔽部のさらに別の例を示す図である。

以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、本技術の第１実施形態に係る検査装置１００を示す側面図である。図２は、検査装置１００を示す上面図である。図３は、検査装置１００が有する搬送機構４０及び支持機構５０を示す拡大側面図である。図４は、検査装置１００が有する調整機構６０を示す上面図である。

この検査装置１００は、例えば、クリーム半田が印刷された基板、抵抗、コンデンサ、ＩＣ（Integrated Circuit）等の電子部品が実装された基板、液晶ガラス基板等の各種の検査対象物１を検査する検査装置１００である。

検査装置１００は、例えば、照度差ステレオ法、レーザ光走査法、レーザ光切断法、位相シフト法、合焦法等の光学的方法を使用して、検査対象物１を３次元解析する検査装置１００である。検査装置１００は、検査対象物１を３次元解析する検査装置１００に限られず、単純に検査対象物１を２次元解析する検査装置１００であってもよい。

図１乃至図４に示すように、検査装置１００は、検査装置本体１０と、検査装置本体１０の内部に設けられ、検査対象物１を検査する２つの検査ヘッド２０と、２つの検査ヘッド２０を移動させるヘッド移動機構３０とを備える。

また、検査装置１００は、検査対象物１を搬送する２つの搬送機構４０と、検査対象物１を所定の検査位置に固定する２つの支持機構５０とを備える（特に、図３参照）。また、検査装置１００は、搬送機構４０が有するガイド４１の位置を検査対象物１の搬送方向に直交する方向（Ｙ軸方向）で調整する調整機構６０を備えている（特に、図４参照）。さらに、この検査装置１００は、２つの検査ヘッド２０の間に配置された遮蔽部７０を備えている。

本実施形態の説明において、２つの検査ヘッド２０を区別する場合には、便宜的に、フロント側（図１において左側）の検査ヘッド２０を第１の検査ヘッド２０ａと呼び、リア側（図１において右側）の検査ヘッド２０を第２の検査ヘッド２０ｂと呼ぶ。同様に、フロント側の搬送機構４０を第１の搬送機構４０ａと呼び、リア側の搬送機構４０を第２の搬送機構４０ｂと呼ぶ。同様に、フロント側の支持機構５０を第１の支持機構５０ａと呼び、リア側の支持機構５０を第２の支持機構５０ｂと呼ぶ。もちろん「第１」及び「第２」の文言が付されることにより、検査ヘッドや各機構が配置される位置が規定されるわけではない。

なお、図示は省略しているが、検査装置１００は、検査装置１００の各部を統括的に制御するＣＰＵなどの制御部と、制御部の作業領域として用いられる揮発性のメモリと、制御部の処理に必要な各種のプログラムが記憶される不揮発性のメモリを有している。上記各種プログラムは、半導体メモリや、光ディスクなどの可搬性の記録媒体から読み取られても構わない。

検査装置本体１０は、ベース１１と、ベース１１上に立設された側壁部１２と、側壁部１２上に設けられた天板１３とを含む。

２つの検査ヘッド２０は、それぞれ、検査対象物１に光を照射する照明部２１と、照明部２１によって光が照射された検査対象物１を検査領域内で撮像する撮像部２６と、検査対象物１の像を拡大、結像するレンズ部２４とを含む。これらの各部は、上方から、撮像部２６、レンズ部２４、照明部２１の順番で同心軸上に配置される。

照明部２１は、カバー部材２２と、カバー部材２２の内周面側に設けられた複数の光源２３とを含む。カバー部材２２は、下側に向かうに従って直径が徐々に大きくなる円錐筒形状とされ、その中央に光を通過させるための開口を有している。複数の光源２３は、カバー部材２２の内周面に、所定の間隔で環状に配置される。この環状の光源２３は、上下方向に複数列に亘って配置される。図１に示す例では、環状の光源２３が５列に配置された例が示されている。光源２３としては、典型的には、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）が用いられるが、ハロゲンランプ、キセノンランプなどが用いられてもよい。

撮像部２６は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）などの撮像素子を有しており、この撮像素子によって、検査対象物１を撮像する。

レンズ部２４は、検査対象物１の像を拡大する拡大レンズ、検査対象物１の像を撮像素子の撮像面に結像する結像レンズ等の各種のレンズと、これらの各種のレンズを内包する鏡筒２５を含む。

ヘッド移動機構３０は、検査装置本体１０の天板１３の下側にＹ軸方向に向けて取り付けられた２本のＹ軸ビーム３１と、２本のＹ軸ビーム３１の下側にＸ軸方向に向けて取り付けられた２本のＸ軸ビーム３２とを含む。Ｘ軸ビーム３２は、Ｙ軸ビーム３１の下側において、Ｙ軸ビーム３１に対してＹ軸方向に移動可能に取り付けられており、図示しない移動機構（例えば、ボールネジ機構、ラックアンドピニオン等）の駆動によってＹ軸方向に移動される。

ヘッド移動機構３０は、２つのＸ軸ビーム３２の下側にＸ軸方向に移動可能に取り付けられた２つのキャリッジ３３を含む。この２つのキャリッジ３３は、図示しない移動機構（例えば、ボールネジ機構、ラックアンドピニオン等）の駆動によってＸ軸方向に移動される。

２つのキャリッジ３３は、それぞれ、Ｘ軸ビーム３２に取り付けられるキャリッジ本体３４と、キャリッジ本体３４に対して上下方向に移動可能に取り付けられた可動部３５と、可動部３５の下端側に取り付けられた保持部３６とを有する。可動部３５は、図示しない移動機構（例えば、ボールネジ機構、ラックアンドピニオン等）の駆動によって上下方向に移動される。保持部３６は、環状に形成されており、その内周面が鏡筒２５の外周面に固着されている。これにより、保持部３６は、検査ヘッド２０を保持している。

検査ヘッド２０は、Ｙ軸ビーム３１と、Ｘ軸ビーム３２とによって、Ｘ−Ｙ平面内で移動可能とされ、キャリッジ３３の可動部３５によって上下方向に移動可能とされる。なお、検査ヘッド２０が移動される場合、検査ヘッド２０の撮像部２６、レンズ部２４及び照明部２１は、一体的に移動される。

第１の搬送機構４０ａは、第１の検査ヘッド２０ａによって検査される検査対象物１を搬送方向（Ｘ軸方向）に向けて搬送する。第２の搬送機構４０ｂは、第１の搬送機構４０ａと平行に配置され、第２の検査ヘッド２０ｂによって検査される検査対象物１を搬送方向に向けて搬送する。

２つの搬送機構４０は、それぞれ、検査対象物１の搬送方向に向けて配置された板状の第１のガイド４１ａ及び第２のガイド４１ｂと、検査対象物１を搬送方向に向けて搬送する一対のコンベアベルト４２とを含む。

２つのガイド４１は、幅方向（Ｙ軸方向）で、検査対象物１を互いに挟み込む位置に配置されて、検査対象物１を搬送方向に向けてガイドする。ここで、第１のガイド４１ａは、他の搬送機構４０から遠い側に位置するガイド４１であり、第２のガイド４１ｂは、他の搬送機構４０に近い側に位置するガイド４１である。

コンベアベルト４２は、第１のガイド４１ａの内面側と、第２のガイド４１ｂの内面側とに設けられる。このコンベアベルト４２は、検査対象物１の幅方向の端部を下方から支持しつつ、検査対象物１を搬送方向へ向けて搬送する（特に、図３（Ａ）参照）。

ガイド４１の上端部には、幅方向（Ｙ軸方向）でガイド４１よりも検査対象物１側に向けて突出するクランプ部５１が設けられている。

第１の搬送機構４０ａが有する第１のガイド４１ａは、ベース１１上に固定されている。一方、第１の搬送機構４０ａの第２のガイド４１ｂ、第２の搬送機構４０ｂの第１のガイド４１ａ及び第２の搬送機構４０ｂの第２のガイド４１ｂは、ベース１１に対してＹ軸方向に移動可能に取り付けられている。

図１及び図４を参照して、調整機構６０は、ベース１１上にＹ軸方向に向けて設けられた２本のレール６１と、レール６１上に移動可能に取り付けられたスライド部材６２と、３つのボールネジ機構６３とを含む。スライド部材６２は、第１の搬送機構４０ａの第２のガイド４１ｂ、第２の搬送機構４０ｂの第１のガイド４１ａ及び第２の搬送機構４０ｂの第２のガイド４１ｂの下側でこれらのガイド４１を支持する支持部材４３の下側に固定されている。３つのボールネジ機構６３は、それぞれ、Ｙ軸方向に向けて配置されたボールネジ６４と、このボールネジ６４と噛み合うボールネジナット６５と、ボールネジ６４を駆動させる駆動源としてのモータ６６とを含む。

３つのボールネジ機構６３のうち、第１のボールネジ機構６３ａ（図４中、左側）は、モータ６６の駆動により、第１の搬送機構４０ａの第２のガイド４１ｂを幅方向に移動させる。第２のボールネジ機構６３ｂ（図４中、中央）は、モータ６６の駆動により、第２の搬送機構４０ｂの第２のガイド４１ｂを幅方向に移動させる。第３のボールネジ機構６３ｃ（図４中、右側）は、第２の搬送機構４０ｂの第１のガイド４１ａを幅方向に移動させる。

第１の搬送機構４０ａの第２のガイド４１ｂが幅方向に移動されると、第１の搬送機構４０ａの第１のガイド４１ａ及び第２のガイド４１ｂの間の距離が変更される。第２の搬送機構４０ｂの第１のガイド４１ａ及び第２のガイド４１ｂのうち、一方のガイド４１が固定された状態で、他方のガイド４１が幅方向に移動されると、第２の搬送機構４０ｂの第１のガイド４１ａ及び第２のガイド４１ｂの間の距離が変更される。第２の搬送機構４０ｂの第１のガイド４１ａ及び第２のガイド４１ｂが同時に移動される場合を想定する。この場合、第１のガイド４１ａ及び第２のガイド４１ｂの移動の向き及び移動距離のうち少なくとも一方が異なれば、第１のガイド４１ａ及び第２のガイド４１ｂの間の距離が変更される。このように、調整機構６０は、検査対象物１の幅の大きさに合わせて、搬送機構４０の第１のガイド４１ａと、第２のガイド４１ｂとの間の距離を調整することができる。

なお、第２の搬送機構４０ｂの第１のガイド４１ａと、第２のガイド４１ｂとが調整機構６０の駆動によって同時に移動される場合において、第１のガイド４１ａ及び第２のガイド４１ｂの移動の向き及び移動距離が同じである場合を想定する。この場合、第１のガイド４１ａ及び第２のガイド４１ｂの間の距離が変更されずに、第２の搬送機構４０ｂが全体的に幅方向に移動される。このように、調整機構６０は、第２の搬送機構４０ｂの第１のガイド４１ａ及び第２のガイド４１ｂの間の距離を変更せずに、第１の搬送機構４０ａと、第２の搬送機構４０ｂとの間の距離を調整することもできる。

図１及び図３を参照して、支持機構５０は、搬送機構４０に対して上下方向に移動可能に取り付けられている。支持機構５０は、図示しない移動機構（例えば、ボールネジ機構６３、ラックアンドピニオン等）の駆動によって、上下方向に移動される。支持機構５０としては、例えば、コンプレッサなどの駆動によって検査対象物１を下方から吸引保持する形態や、複数のピンによって検査対象物１を下方から支持する形態などが挙げられるが、支持機構５０は、どのような形態であっても構わない。

支持機構５０は、搬送機構４０によって検査対象物１が所定の検査位置に搬送されたときに移動機構の駆動によって上方へ移動される。支持機構５０が上方へ移動されると、支持機構５０によって検査対象物１が下方から支持されて上方へ押し上げられ、検査対象物１がコンベアベルト４２から離れる。そして、支持機構５０がさらに上方へ移動されると、支持機構５０によって上方に移動された検査対象物１の幅方向の端部がクランプ部５１によって、上方から支持される。これにより、支持機構５０と、クランプ部５１との間で、検査対象物１が挟みこまれて、検査対象物１が所定の位置に固定される。このように検査対象物１が検査位置に固定された状態で、検査ヘッド２０によって検査対象物１が検査される。

図１及び図２を参照して、遮蔽部７０は、検査装置本体１０のベース１１上に固定されており、検査対象物１の搬送方向に沿うように配置されている。遮蔽部７０は、例えば、樹脂や、金属などの材料により構成された平板状の板部材である。遮蔽部７０は、黒の素材が用いられるか、あるいは、黒の塗装処理が施されており、その表面が黒とされる。遮蔽部７０の表面が黒とされることで、照明部２１から照射された光が遮蔽部７０で反射される光の量を低減することができる。

この遮蔽部７０は、第１の検査ヘッド２０ａ及び前記第２の検査ヘッド２０ｂがそれぞれ有する各照明部２１から照射された光が、他の検査ヘッド２０の検査領域に照射されないように、光を遮蔽する。遮蔽部７０のサイズは、遮蔽部７０が適切に光を遮蔽することができるように適宜設定される。例えば、遮蔽部７０の高さは、遮蔽部７０の上端部が照明部２１のカバー部材２２の下端部よりも上方に位置するように設定される。

図５は、照明部２１から照射された光がどのような状態となるかを示す図である。図６は、遮蔽部７０が設けられていない場合（比較例）において、照明部２１から照射された光がどのような状態となるかを示す図である。

まず、図６を参照して、遮蔽部７０が設けられていない場合について説明する。図６に示すように、遮蔽部７０が設けられていない場合、第１の検査ヘッド２０ａ及び第２の検査ヘッド２０ｂがそれぞれ有する各照明部２１から照射された光が、一部で干渉し合って、他の検査ヘッド２０の検査領域に照射されてしまう（照明干渉）。これによって、検査対象物１を検査するときの照明輝度が変化してしまい、検査対象物１を正確に検査することができない。

一方、図５に示すように、本実施形態に係る検査装置１００では、第１の検査ヘッド２０ａ及び第２の検査ヘッド２０ｂがそれぞれ有する各照明部２１から照射された光が、遮蔽部７０によって遮蔽される。これにより、各照明部２１から照射された光が、一部で干渉し合って、他の検査ヘッド２０の検査領域に照射されてしまうこと（照明干渉）を防止することができる。

検査ヘッド２０は、図５に示すように、照明干渉が除去された状態で、撮像部２６によって検査対象物１を撮像し、検査対象物１の部分画像を得る。そして、検査ヘッド２０は、Ｘ−Ｙ軸方向に移動して、他の位置で再び検査対象物１を撮像し、検査対象物１の部分画像を得る。これにより、検査ヘッド２０は、検査対象物１を全体的に撮像して、検査対象物１の全体の画像を得る。なお、検査ヘッド２０は、１つのポイントで、複数回の撮像を行なう場合もある。

制御部は、撮像部２６によって撮像された画像に基づいて、例えば、照度差ステレオ法等によって、検査対象物１の２次元解析及び／又は３次元解析を行なう。上記したように、本実施形態では、照明干渉が防止されているので、制御部は、検査対象物１の２次元解析及び／又は３次元解析を正確に行なうことができる。すなわち、制御部は、検査対象物１を正確に検査することができる。

そして制御部は、検査対象物１の検査結果に基づいて、検査対象物１の良否を判定し、不良品と判定された検査対象物１を破棄し、良品と判定された検査対象物１を次の工程を実行する装置に受け渡す。例えば、検査装置１００がクリーム半田が印刷された基板を検査する検査装置１００である場合を想定する。この場合、クリーム半田が印刷された位置や、量などが判定され、不良品であると判定された基板は破棄され、良品と判定された基板は次の工程を実行する電子部品の実装装置へ受け渡される。

検査装置１００は、検査ヘッド２０と、遮蔽部７０との衝突を防止する衝突防止機構（図示せず）を備えていてもよい。この衝突防止機構としては、例えば、ストッパが挙げられる。このストッパは、例えば、Ｙ軸ビーム３１に設けられ、Ｘ軸ビーム３２のＹ軸方向への移動を部分的に規制する。これにより、検査ヘッド２０（照明部２１）が検査装置１００の中央側に移動して遮蔽部７０に衝突してしまうことを防止することができる。あるいは、衝突防止機構としては、ゴムなどの弾性材料により構成された緩衝体が挙げられる。この緩衝体は、例えば、照明部２１のカバー部材２２の外周面側において、遮蔽部７０に対向する位置に設けられる。あるいは、緩衝体は、遮蔽部７０側に設けられていてもよい。

遮蔽部７０は、例えば、ボールネジ機構などにより幅方向（Ｙ軸方向）に移動可能にベース１１上に設けられていてもよい。例えば、図４を参照して説明したように、第１のガイド４１ａと第２のガイド４１ｂとの間の距離が検査対象物１の幅の大きさに合わせて調整されたり、第１の搬送機構４０ａと第２の搬送機構４０ｂとの間の距離が調整されたりする場合がある。このような場合に、幅方向に遮蔽部７０を移動させることで、遮蔽部７０を適切な位置に移動させることができる。

＜第２実施形態＞
次に、本技術の第２実施形態に係る検査装置２００について説明する。

図７は、本技術の第２実施形態に係る検査装置２００を示す側面図である。第２実施形態では、遮蔽部７１が設けられる位置や、形状などが第１実施形態に係る遮蔽部７０と異なっている。従って、その点を中心に説明する。なお、第２実施形態以降の説明では、上述の第１実施形態と同様の構成及び機能有する部材については、説明を省略又は簡略化する。

図７に示すように、第２実施形態に係る検査装置２００では、遮蔽部７１が第２の搬送機構４０ｂの第２のガイド４１ｂ（２つのガイド４１のうち、第１の搬送機構４０ａに近い側のガイド４１）の上端部に設けられている。

遮蔽部７１は、一端部側が第２のガイド４１ｂの上端部に取り付けられる水平部７１ａと、水平部７１ａの他端部側が上方に向けて折れ曲がるようにして形成された垂直部７１ｂとを有する。水平部７１ａの一端部側は、幅方向で第２のガイド４１ｂよりも検査対象物１側に突出するように設けられており、この突出した部分がクランプ部として機能する。垂直部７１ｂの上端部の位置は、照明部２１のカバー部材２２の下端部よりも上方に位置するように設定される。遮蔽部７１は、光の反射を防止するために、黒の素材が用いられるか、または、その表面に黒の塗装処理が施されている。

上記のように、第２実施形態に係る遮蔽部７１は、第２の搬送機構４０ｂの第２のガイド４１ｂに対して取り付けられている。従って、例えば、第２の搬送機構４０ｂの第１のガイド４１ａと第２のガイド４１ｂとの間の距離を調整したり、第１の搬送機構４０ａと第２の搬送機構４０ｂとの間の距離を調整したりするなどの目的で、第２の搬送機構４０ｂの第２のガイド４１ｂが移動されるときに、この動作に追従して遮蔽部７１も移動する。これにより、遮蔽部７１を適切な位置に移動させることができる。

図７で示す例では、遮蔽部７１が第２の搬送機構４０ｂの第２のガイド４１ｂに設けられる場合の一例が示されているが、遮蔽部７０は、第１の搬送機構４０ａの第２のガイド４１ｂに設けられていても構わない。また、遮蔽部７０は、第２のガイド４１ｂの上端部に限られず、例えば、第２のガイド４１ｂの外面側に設けられていてもよい。

＜第３実施形態＞
次に、本技術の第３実施形態について説明する。
図８は、第３実施形態に係る検査装置３００を示す側面図である。
図８に示すように、第３実施形態に係る遮蔽部７２は、第２の支持機構５０ｂに対して取り付けられている。遮蔽部７２は、一端側が第２の支持機構５０ｂに取り付けられる水平部７２ａと、水平部７２ａの他端部が上方に向けて折れ曲がるようにして形成された垂直部７２ｂとを有する。遮蔽部７２は、光の反射を防止するために、黒の素材が用いられるか、または、その表面に黒の塗装処理が施されている。

この遮蔽部７２は、第２の搬送機構４０ｂによって検査対象物１が検査位置にまで移動され、検査位置で検査対象物１を固定するために第２の支持機構５０ｂが上方に移動されるときに、この上方への移動に追従して、上方へ向けて移動される。すなわち、遮蔽部７２は、第２の検査ヘッド２０ｂによって検査対象物１の検査が開始されるタイミングに合わせて上方へ移動され、第１の検査ヘッド２０ａと、第２の検査ヘッド２０ｂとの間に配置される。つまり、遮蔽部７０は、第２の検査ヘッド２０ｂによって検査対象物１の検査が開始されて、第１の検査ヘッド２０ａと第２の検査ヘッド２０ｂとの間で照明干渉が生じる可能性が発生するタイミングで、第１の検査ヘッド２０ａ及び第２の検査ヘッド２０ｂの間に配置される。

一方、遮蔽部７２は、第２の検査ヘッド２０ｂによる検査が終了し、第２の支持機構５０ｂが下方へ移動されるとき、この下方への移動に追従して、下方へ向けて移動される。すなわち、遮蔽部７２は、第２の検査ヘッド２０ｂによる検査対象物１の検査の終了のタイミングに合わせて、下方へ移動される。

このように、第３実施形態に係る検査装置３００では、第２の検査ヘッド２０ｂによる検査対象物１の検査の開始タイミング及び終了タイミングに合わせた適切なタイミングで、遮蔽部７２を上下方向に移動させることができる。

図８では、遮蔽部７２が第２の支持機構５０ｂに設けられた場合の一例が示されているが、遮蔽部７２は、第１の支持機構５０ａに設けられていてもよい。

＜各種変形例＞
上述の各実施形態では、遮蔽部が検査装置本体１０（ベース１１）、搬送機構４０又は支持機構５０に設けられる場合について説明した。しかし、これに限られず、遮蔽部は、第１の検査ヘッド２０ａ又は第２の検査ヘッド２０ｂに設けられていてもよい。この場合、例えば、遮蔽部は、照明部２１のカバー部材２２の外周面側において、他の検査装置１００に対向する位置に取り付けられる。この遮蔽部は、第１の検査ヘッド２０ａ又は第２の検査ヘッド２０ｂの移動に応じて移動するため、第１の検査ヘッド２０ａ又は第２の検査ヘッド２０ｂが移動したときに、この移動に追従して遮蔽部を適切な位置に移動させることができる。

上述の各実施形態では、遮蔽部が検査対象物１の搬送方向（Ｘ軸方向）に向けて配置される場合について説明した。一方、遮蔽部は、搬送方向に直交する方向（検査対象物１の幅方向（Ｙ軸方向））に向けて配置されていてもよい。

図９は、遮蔽部が搬送方向に直交する方向に向けて配置された場合の一例を示す図である。図９に示す例では、搬送機構４０、支持機構５０などの数が４つとされている。遮蔽部７３は、例えば、ベース１１上に上下方向に移動可能に設けられる。遮蔽部７３は、検査対象物１の検査の開始タイミングで上方に移動されて、２つの検査ヘッド２０の間に配置される。一方、遮蔽部７３は、検査対象物１の検査の終了タイミングで、下方に移動され、コンベアベルト４２による検査対象物１の搬送の邪魔にならない位置まで移動される。

あるいは、遮蔽部７３は、支持機構５０に設けられていてもよい。上記したように、遮蔽部７０が支持機構５０に設けられる場合、検査対象物１の検査の開始タイミング及び終了タイミングに合わせた適切なタイミングで、遮蔽部７３を上下方向に移動させることができるため、特に有利である。

遮蔽部は、検査対象物１の搬送方向に向かう方向に配置された遮蔽部と、搬送方向と直交する方向に向けて配置された遮蔽部との組み合わせにより構成されていてもよい。

図１０は、遮蔽部が検査対象物１の搬送方向に向かう方向に配置された遮蔽部７４ａと、搬送方向と直交する方向に向けて配置された遮蔽部７４ｂとの組み合わせにより構成された場合の一例を示す図である。

図１０では、検査ヘッド２０、搬送機構４０、支持機構５０などの数がそれぞれ６つとされている。遮蔽部７４は、互いに隣接する２つの検査ヘッド２０の間に配置されて、照明干渉を防止する。

図１１は、検査装置の遮蔽部のさらに別の例を示す図である。
この例では、第１の検査ヘッド２０ａの検査位置（検査対象物１の固定位置）と、第２の検査ヘッド２０ｂの検査位置とが、搬送方向で異なる位置とされている。このように、検査位置を異ならせることで、より大きいサイズの検査対象物１の検査に対応することができる。図１１に示す例では、遮蔽部７５は、搬送方向に向かう方向と、斜め方向の組み合わせで構成されている。変形例で説明した各種の遮蔽部についても、光の反射を防止するために、黒の素材が用いられるか、または、その表面に黒の塗装処理が施されている。

本技術は、以下の構成をとることもできる。
（１）検査対象物に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記検査対象物を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドと、
前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの間に配置され、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する遮蔽部と
を具備する検査装置。
（２） 上記（１）に記載の検査装置であって、
搬送方向に向けて前記検査対象物を搬送する搬送機構をさらに具備し、
前記遮蔽部は、前記搬送機構に設けられる
検査装置。
（３） 上記（２）に記載の検査装置であって、
前記搬送機構は、前記第１の検査ヘッドによって検査される前記検査対象物を前記搬送方向に向けて搬送する第１の搬送機構と、前記第１の搬送機構と平行に配置され、前記第２の検査ヘッドによって検査される前記検査対象物を前記搬送方向に搬送する第２の搬送機構とを有し、
前記遮蔽部は、前記第１の搬送機構又は前記第２の搬送機構に設けられる
検査装置。
（４） 上記（３）に記載の検査装置であって、
前記第１の搬送機構及び前記第２の搬送機構は、前記検査対象物を前記搬送方向に向けてガイドする第１のガイドと、前記第１のガイドと平行に配置され、前記第１のガイドとともに前記検査対象物を前記搬送方向に向けてガイドする、他の搬送機構に近い側に位置する第２のガイドとをそれぞれ有し、
前記遮蔽部は、前記第１の搬送機構又は前記第２の搬送機構が有する前記第２のガイドに設けられる
検査装置。
（５） 上記（４）に記載の検査装置であって、
前記搬送方向に直交する方向に前記第２のガイドを移動させて、前記第２のガイドの位置を調整する調整機構をさらに具備し、
前記遮蔽部は、前記調整機構による前記第２のガイドの移動に応じて、前記搬送方向に直交する方向に移動される
検査装置。
（６） 上記（１）に記載の検査装置であって、
前記検査対象物が所定の検査位置に固定されるように、検査対象物を下方から支持する支持機構をさらに具備し、
前記遮蔽部は、前記支持機構に設けられる
検査装置。
（７） 上記（６）に記載の検査装置であって、
前記支持機構を上下方向に移動させる移動機構をさらに具備し、
前記遮蔽部は、前記移動機構による支持機構の上下方向の移動に応じて、前記上下方向に移動される
検査装置。
（８）上記（１）に記載の検査装置であって、
前記遮蔽部は、前記第１の検査ヘッド又は第２の検査ヘッドに設けられる
検査装置。
（９）上記（８）に記載の検査装置であって、
前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドを移動させるヘッド移動機構をさらに具備し、
前記遮蔽部は、前記第１の検査ヘッド又は前記第２のヘッドの移動に応じて移動される
検査装置。
（１０）上記（１）に記載の検査装置であって、
検査装置本体をさらに具備し、
前記遮蔽部は、前記検査装置本体に設けられる
検査装置。
（１１）上記（１）乃至（１０）のうち、いずれか１つに記載の検査装置であって、
前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドを移動させるヘッド移動機構と、
前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの移動による前記遮蔽部への衝突を防止する衝突防止機構と
をさらに具備する検査装置。
（１２）上記（１）乃至（１１）のうち、いずれか１つに記載の検査装置であって、
前記遮蔽部は、前記検査対象物が搬送される方向である搬送方向に沿って配置される
検査装置。
（１３）上記（１）乃至（１１）のうち、いずれか１つに記載の検査装置であって、
前記遮蔽部は、前記検査対象物が搬送される方向である搬送方向に直交する方向に沿って配置される
検査装置。
（１４） 検査対象物に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記検査対象物を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドと、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの間に配置され、前記第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する遮蔽部とを具備する検査装置の前記撮像部によって撮像された画像を解析し、
前記画像に基づいて、前記検査対象物の良否を判定する
検査対象物の検査方法。
（１５） 基板に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記基板を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドと、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの間に配置され、前記第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する遮蔽部とを具備する検査装置の前記撮像部によって撮像された画像を解析し、
前記画像に基づいて、前記基板の良否を判定し
不良品と判定された前記基板を破棄し、良品と判定された前記基板を残す
基板の製造方法。

１…検査対象物
１０…検査装置本体
２０…検査ヘッド
２１…照明部
２４…レンズ部
２６…撮像部
３０…ヘッド移動機構
４０…搬送機構
４１…ガイド
５０…支持機構
６０…調整機構
７０、７１、７２、７３、７４、７５…遮蔽部
１００、２００、３００…検査装置

Claims (10)

1. 検査対象物に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記検査対象物を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドと、
   前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの間の所定の位置に配置され、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する遮蔽部と、
   前記第２の検査ヘッドによる検査が開始されるタイミングに合わせて前記遮蔽部を前記第１及び前記第２の検査ヘッドの間の前記所定の位置に移動させ、前記第２の検査ヘッドによる検査が終了するタイミングに合わせて前記遮蔽部を前記所定の位置から移動させる遮蔽部移動機構と
   を具備する検査装置。
2. 請求項１に記載の検査装置であって、さらに、
   前記検査対象物が所定の検査位置に固定されるように前記検査対象物を下方から支持する支持機構と、前記支持機構を上下方向に移動させる移動機構とを具備し、
   前記遮蔽部は、前記支持機構に設けられ、前記移動機構による前記支持機構の上下方向の移動に応じて前記上下方向に移動されることで、前記検査が開始されるタイミングに合わせて前記所定の位置へ移動され、前記検査が終了するタイミングに合わせて前記所定の位置から移動される
   検査装置。
3. 検査対象物に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記検査対象物を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドと、
   前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの間に配置され、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する遮蔽部と、
   前記第１の検査ヘッドによって検査される前記検査対象物を搬送方向に向けて搬送する第１の搬送機構と、前記第１の搬送機構と平行に配置され、前記第２の検査ヘッドによって検査される前記検査対象物を前記搬送方向に搬送する第２の搬送機構とを含む搬送機構と
   を具備し、
   前記第１の搬送機構及び前記第２の搬送機構は、前記検査対象物を前記搬送方向に向けてガイドする第１のガイドと、前記第１のガイドと平行に配置され、前記第１のガイドとともに前記検査対象物を前記搬送方向に向けてガイドする、他の搬送機構に近い側に位置する第２のガイドとをそれぞれ有し、
   前記遮蔽部は、前記第１の搬送機構又は前記第２の搬送機構が有する前記第２のガイドに設けられる
   検査装置。
4. 請求項３に記載の検査装置であって、
   前記搬送方向に直交する方向に前記第２のガイドを移動させて、前記第２のガイドの位置を調整する調整機構をさらに具備し、
   前記遮蔽部は、前記調整機構による前記第２のガイドの移動に応じて、前記搬送方向に直交する方向に移動される
   検査装置。
5. 検査対象物に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記検査対象物を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドと、
   前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの間に配置され、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する遮蔽部と、
   前記検査対象物が所定の検査位置に固定されるように、前記検査対象物を下方から支持する支持機構と、
   前記支持機構を上下方向に移動させる移動機構と
   を具備し、
   前記遮蔽部は、前記支持機構に設けられ、前記移動機構による支持機構の上下方向の移動に応じて、前記上下方向に移動される
   検査装置。
6. 請求項１から５のうちいずれか１項に記載の検査装置であって、
   前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドを移動させるヘッド移動機構と、
   前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの移動による前記遮蔽部への衝突を防止する衝突防止機構と
   をさらに具備する検査装置。
7. 請求項１から６のうちいずれか１項に記載の検査装置であって、
   前記遮蔽部は、前記検査対象物が搬送される方向である搬送方向に沿って配置される
   検査装置。
8. 請求項１から６のうちいずれか１項に記載の検査装置であって、
   前記遮蔽部は、前記検査対象物が搬送される方向である搬送方向に直交する方向に沿って配置される
   検査装置。
9. 検査対象物に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記検査対象物を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドと、
   前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの間の所定の位置に配置され、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する遮蔽部と、
   前記第２の検査ヘッドによる検査が開始されるタイミングに合わせて前記遮蔽部を前記第１及び前記第２の検査ヘッドの間の前記所定の位置に移動させ、前記第２の検査ヘッドによる検査が終了するタイミングに合わせて前記遮蔽部を前記所定の位置から移動させる遮蔽部移動機構と
   を具備する検査装置の前記撮像部によって撮像された画像を解析し、
   前記画像に基づいて、前記検査対象物の良否を判定する
   検査対象物の検査方法。
10. 基板に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記基板を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する第１の検査ヘッド及び第２の検査ヘッドと、
    前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドの間の所定の位置に配置され、前記第１の検査ヘッド及び前記第２の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する遮蔽部と、
    前記第２の検査ヘッドによる検査が開始されるタイミングに合わせて前記遮蔽部を前記第１及び前記第２の検査ヘッドの間の前記所定の位置に移動させ、前記第２の検査ヘッドによる検査が終了するタイミングに合わせて前記遮蔽部を前記所定の位置から移動させる遮蔽部移動機構と
    を具備する検査装置の前記撮像部によって撮像された画像を解析し、
    前記画像に基づいて、前記基板の良否を判定し
    不良品と判定された前記基板を破棄し、良品と判定された前記基板を残す
    基板の製造方法。