JP2017538117A5

JP2017538117A5 -

Info

Publication number: JP2017538117A5
Application number: JP2017529614A
Authority: JP
Filing date: 2015-12-04
Publication date: 2019-01-17
Anticipated expiration: 2035-12-04

Claims

ワークピース欠陥検出装置であって、
ワークピースが透明になる波長域の照明光をもたらす少なくとも１個の光源と、
ワークピースの少なくとも一面からの光を自カメラの検出器上にイメージングするレンズ付きのカメラと、
ワークピースを動かすため及びそのワークピースの上記少なくとも一面を完全にイメージングするためのステージと、
を備える装置。
請求項１記載の装置であって、上記照明光がワークピースの一側面へと差し向けられ、上記カメラがそのワークピースの遠方側面から出射される光を受光するよう、上記少なくとも１個の光源が配列されている装置。
請求項２記載の装置であって、バックライト照明を得るべくワークピースの上記遠方側面がそのワークピースの側面のうち上記照明光を受光する側面の逆側に存する装置。
請求項２記載の装置であって、上記遠方側面の暗視野像が得られうるよう、ワークピースの側面のうち上記照明光を受光する側面に対しそのワークピースの遠方側面が向けられている装置。
請求項１記載の装置であって、上記照明光がワークピースの頂面へと差し向けられ、上記カメラがそのワークピースの頂面から放たれる光を受光するよう、上記少なくとも１個の光源が配列されている装置。
請求項１記載の装置であって、上記カメラの検出器がラインセンサであり、そのカメラがラインスキャンカメラとして構成されている装置。
請求項６記載の装置であって、上記カメラのレンズが、ワークピースの側面から出射されるライン状の光を上記ラインセンサ上にイメージングし、側面から出射した光が、バックライト照明が得られるよう配列された少なくとも１個の照明源を起源としている装置。
請求項７記載の装置であって、ワークピースの側面のうち少なくとも１個の完全な像が生成されるよう、イメージング対象ラインに対し垂直なスキャン方向に沿い、そのワークピースを保持するステージが動かされる装置。
請求項６記載の装置であって、ワークピースの頂面の少なくとも一部分からのライン状の光を上記カメラのレンズが上記ラインセンサ上にイメージングし、そのライン状の光がそのワークピースの側面の隣に位置し、且つ、そのワークピースの頂面上へと差し向けられる光に対しその頂面からの光が同軸になるよう上記少なくとも１個の光源が配列されている装置。
請求項９記載の装置であって、ワークピースの頂面の一部分でありそのワークピースの側面のうち少なくとも１個に隣り合っている部分の完全な像が生成されるよう、ラインに対し垂直なスキャン方向に沿い、そのワークピースを保持するステージが動かされる装置。
請求項６記載の装置であって、ワークピースの側面から出射されるライン状の光の像及びそのワークピースの頂面からのライン状の光の像を同時に生成する光学的セットアップが設けられていて、頂面からのライン状の光がそのワークピースの各側面のライン状の光の隣に位置している装置。
請求項１１記載の装置であって、上記光学的セットアップの先端が上ミラー並びに第１下ミラー及び第２下ミラーを運んでおり、上ミラーがワークピースの頂面の一部分からのライン状の光の像を捉え、且つ、第１下ミラー及び第２下ミラーがそのワークピースの側面から出射されるライン状の光の像を捉える装置。
請求項１１記載の装置であって、ワークピースの側面から出射されるライン状の光の像及びそのワークピースの頂面からのライン状の光の像が同時に合焦状態になるよう、上記光学的セットアップが設計されている装置。
請求項１１記載の装置であって、少なくとも１個の光源からの光をワークピースの一側面及びそのワークピースの頂面に個別に結合させうる装置。
請求項１記載の装置であって、上記少なくとも１個の光源とワークピースの頂面と各側面の少なくともいずれかとの間に光導波路が配置されている装置。
請求項１記載の装置であって、ワークピースが個片化半導体デバイスである装置。
請求項１６記載の装置であって、上記照明光の波長域がＩＲ光の波長域である装置。
ワークピース欠陥検出方法であって、
ワークピースの少なくとも一面の一部分をそのワークピースが透明になる波長域の照明光で以て照明するステップと、
ワークピースの上記少なくとも一面の上記一部分からの光をカメラの検出器上にイメージングするステップと、
ワークピースの上記少なくとも一面が上記カメラによって完全にイメージングされるよう、そのワークピースを保持するステージとカメラの相対運動を実行するステップと、
を有する方法。
請求項１８の方法であって、更に、
少なくとも１個の光源の上記照明光をワークピースの一側面に差し向けるステップと、
そのワークピースの遠方側面から出射される光をカメラで以てイメージングするステップと、
を有する方法。
請求項１９の方法であって、上記カメラが、ワークピースの上記遠方側面から出射される光をレンズによってラインセンサ上へとイメージングする方法。
請求項１８の方法であって、更に、
上記少なくとも１個の光源の上記照明光をワークピースの頂面に差し向けるステップと、
ワークピースの頂面から放たれる光を上記カメラで以てイメージングするステップと、
を有する方法。
請求項２１の方法であって、上記カメラが、ワークピースの頂面から輝き出る光をレンズによってラインセンサ上へとイメージングする方法。
請求項１８の方法であって、更に、
上記カメラであってラインセンサを伴うものを準備するステップと、
ワークピースの側面から出射される光のライン像、並びにそのワークピースの頂面の一部分であり同ワークピースの各側面の隣に位置している部分からの光のライン像を、ある光学的セットアップで以て同時に生成するステップと、
を有する方法。
請求項２３の方法であって、上記光学的セットアップの先端が上ミラー及び２個の下ミラーを運んでおり、上ミラーがワークピースの頂面の一部分から光のライン像を捉え、且つ、上記２個の下ミラーがそのワークピースの側面から出射される光のライン像を捉える方法。
請求項２３の方法であって、ワークピースの側面から捉えられるライン像及びそのワークピースの頂面の一部分のライン像が同時に合焦状態になるよう、上記光学的セットアップが設計される方法。
請求項１８の方法であって、更に、
上記少なくとも１個の光源からの光をワークピースの一側面及びそのワークピースの頂面に個別に結合させるステップを有する方法。
請求項１８の方法であって、上記少なくとも１個の光源と、ワークピースの頂面と各側面の少なくともいずれかとの間に光導波路が配置される方法。
請求項１８の方法であって、少なくとも二側面並びに各頂面の一部分をイメージングするためのステージの相対運動を実行するステップが、更に、
ａ）上記カメラの像面が上記側面のうち１個に対し平行になるよう、ワークピースを伴う上記ステージと上記カメラとの間の直線的相対運動を実行するステップと、
ｂ）上記ステージをワークピースと共に回動させるステップと、
ｃ）ワークピースの全側面が上記カメラによりイメージングされるまで前のステップを反復するステップと、
を有する方法。
請求項２８の方法であって、上記ステージ・上記カメラ間の上記直線的相対運動がそのカメラ単体の直線運動によってのみ実現され、且つ、後続する上記ステージの回動ステップの間でそのカメラの直線運動が逆方向を向く方法。
請求項１８の方法であって、ステージの相対運動を実行するステップが、更に、上記ステージの回転運動中に上記カメラの焦点が各側面上に存し続けるよう、そのステージを回動させるのと並行しそのステージのＸＹ平面内運動を実行するステップを有する方法。
請求項１８の方法であって、ワークピースが半導体デバイスである方法。
請求項３１の方法であって、上記照明光の波長域がＩＲ光の波長域である方法。
ワークピース欠陥検出装置であって、
ワークピースが透明になる波長域の照明光をもたらす少なくとも１個の光源であり、その照明光が一側面にてワークピースに入射するよう配列されている少なくとも１個の光源と、
ワークピースの遠方側面から出射される光を自カメラのラインセンサ上にイメージングするレンズ付きのカメラと、
ワークピースを保持するためのチャックと、
上記チャックを搬送するためのステージと、
ワークピースを伴う上記ステージと上記カメラとの間に相対運動をもたらすことでそのワークピースの上記少なくとも一側面を完全にイメージングすべくコンピュータに接続されているコントローラと、
を備える装置。
請求項３３記載の装置であって、上記ステージの全運動を通じ上記カメラの焦点が各側面上に存するようそのステージが動かされる装置。
請求項３３記載の装置であって、バックライト照明を得るべくワークピースの上記遠方側面がそのワークピースの側面のうち上記照明光を受光する側面の逆側に存する装置。
請求項３３記載の装置であって、上記遠方側面の暗視野像が得られうるよう、ワークピースの側面のうち上記照明光を受光する側面に対しそのワークピースの上記遠方側面が向けられている装置。
請求項３３記載の装置であって、上記少なくとも１個の光源からの上記照明光をワークピースの各側面へと案内するため光導波路が使用される装置。
請求項３３記載の装置であって、ワークピースが個片化半導体デバイスである装置。
請求項３８記載の装置であって、上記照明光の波長域がＩＲ光の波長域である装置。
ワークピース欠陥検出装置であって、
ワークピースが透明になる波長域の照明光をもたらす少なくとも１個の光源であり、その照明光がそのワークピースの頂面に差し向けられるよう配列されている少なくとも１個の光源と、
ワークピースの頂面から放たれる光を自カメラのラインセンサ上にイメージングするレンズ付きのカメラと、
を備える装置。
請求項４０記載の装置であって、ワークピースの頂面上へと差し向けられる光に対しその頂面から輝き出る光が同軸になるよう上記少なくとも１個の光源が配列されている装置。
請求項４０記載の装置であって、上記少なくとも１個の光源からワークピースの各側面へと上記照明光を案内するため光導波路が使用される装置。
請求項４０記載の装置であって、ワークピースが個片化半導体デバイスである装置。
請求項４３記載の装置であって、上記照明光の波長域がＩＲ光の波長域である装置。
ワークピース欠陥検出装置であって、
ワークピースが透明になる波長域の照明光をもたらす少なくとも１個の光源であり、その照明光が一側面にて且つ頂面からワークピースに入射するよう配列されている少なくとも１個の光源と、
ワークピースの遠方側面から出射される光を自カメラのラインセンサ上にイメージングし、及び／又は、そのワークピースの頂面からの光であり同ワークピースの頂面上へと差し向けられる光に対し同軸な光をイメージングするレンズ付きのカメラと、
ワークピースの側面から出射されるライン状の光の像並びにそのワークピースの頂面からのライン状の光の像を同時に生成する光学的セットアップであり、頂面からのライン状の光がそのワークピースの各側面のライン状の光の隣に位置する光学的セットアップと、
ワークピースを動かすため及びそのワークピースの頂面の一部分及び各側面を完全にイメージングするためのステージであり、スキャン方向がイメージング対象ラインに対し垂直なステージと、
を備える装置。
請求項４５記載の装置であって、上記少なくとも１個の光源からワークピースの各側面へ且つそのワークピースの頂面のうち同ワークピースの各側面に隣り合うエリアへと上記照明光を案内する光導波路が設けられている装置。
請求項４５記載の装置であって、上記照明光の波長域がＩＲ光の波長域である装置。
請求項４５記載の装置であって、上記ステージがθステージである装置。
ワークピースにおける欠陥検出のため非一時的コンピュータ可読媒体上に配されたコンピュータプログラム製品であり、その製品に備わるコンピュータ可実行処理ステップを実行してコンピュータを制御することで、
ワークピースをステージ上に載置し、
ワークピースの少なくとも一面をそのワークピースが透明になる波長域の照明光で照明し、
ある光学的セットアップで以て、ワークピースの上記少なくとも一面からカメラに備わる少なくとも１個のラインセンサへと光をさしむけることで、そのワークピースの上記少なくとも一面のライン状の光をイメージングし、且つ、
ワークピースの上記少なくとも一面が、少なくとも上記カメラのラインセンサによって完全にイメージングされるよう且つそのステージの運動の間そのカメラの焦点に位置するよう、そのワークピースを保持するステージを動かす、
ことが可能なコンピュータプログラム製品。
請求項４９のコンピュータプログラム製品であって、ワークピースの上記少なくとも一面が側面であり、上記カメラの焦点がそのワークピースのイメージング対象側面上に存し続けるよう、上記ステージの運動がそのステージの継起する直線及び回転運動で構成されるコンピュータプログラム製品。
請求項４９のコンピュータプログラム製品であって、ワークピースの上記少なくとも一面が側面であり、上記カメラの焦点がそのワークピースのイメージング対象側面上に存し続けるよう、上記ステージの運動がそのステージの同時的直線及び回転運動で構成されるコンピュータプログラム製品。
請求項４９のコンピュータプログラム製品であって、ワークピースの上記少なくとも一面が、そのワークピースの頂面のうち同ワークピースのエッジに所在する部分であり、上記カメラの焦点がそのワークピースの頂面のイメージング対象部分上に存し続けるよう、上記ステージの運動がそのステージの継起する直線運動及び回転運動で構成されるコンピュータプログラム製品。
請求項４９のコンピュータプログラム製品であって、ワークピースの上記少なくとも一面が、そのワークピースの頂面の一部分及びその隣にある側面であり、上記カメラの焦点が、イメージング対象たるワークピースの頂面の部分及び側面上に存し続けるよう、上記ステージの運動がそのステージの継起する直線運動及び回転運動で構成されるコンピュータプログラム製品。