JP2005201907A - 基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 所定の傾斜角度に設定されたホルダ3と、ホルダ3上に保持された被検査基板4をマクロ照明光する光源411、光源411から出射されたマクロ照明光を被検査基板4表面に対して所定の照射角度になるように偏向させる反射ミラー42、反射ミラー42を回動可能に支持し、この反射ミラー42の回動角度を調整するミラー角度調整手段を備える。
【選択図】 図7
Description
図3は、本発明の第2の実施の形態の概略構成を示すもので、図1と同一部分には、同符号を付している。
上述した各実施の形態では、被検査基板4上の欠陥部をスポット照明8(21)のスポット照射範囲に位置させると、制御部12は、さらにホルダ3およびミクロ観察ユニット9(22)を移動制御し、目視で確認した被検査基板4上の欠陥部をミクロ観察ユニット9(22)の対物レンズ91(221)の観察範囲まで移動させ、その都度、観察者により被検査基板4上の欠陥部を顕微鏡観察するようにしたが、この第3の実施の形態では、被検査基板4上の全ての欠陥部を目視観察したのち、これら欠陥部についてミクロ観察ユニット9(22)による顕微鏡観察を行うようにしている。
上述した各実施の形態では、マクロ照明の下で目視観察により被検査基板4上の欠陥部を認識するようにしているが、この第4の実施の形態では、TVカメラを用いて被検査基板4の画像を取り込み、画像処理により欠陥部を検出し、ミクロ観察ユニット9(22)による顕微鏡観察を行うようにしている。
上述した各実施の形態では、マクロ照明用ユニット11によるベース2上のホルダ3面に対向するマクロ照明の照射角度は、一定になっているが、この第5の実施の形態では、ホルダ3面に対するマクロ照明の照射角度を変えられるようになっている。
4…被検査基板、5…位置決めピン、
6…Yスケール、7…Xカイド、8…スポット照明、
9…ミクロ観察ユニット、91…対物レンズ、92…接眼レンズ、
10…Xスケール、11…マクロ照明用ユニット、12…制御部、
121…記憶部、100…基板検査装置本体、21…スポット照明、
22…ミクロ観察ユニット、221…対物レンズ、
222…リレー光学系、223…接眼ユニット、
31…TVカメラ、32…画像処理部、33…制御部、
40…駆動部、401…制御部、402…記憶部、
41…マクロ照明用ユニット、42…反射ミラー、
43…ヒンジ、44…ブロック、45…スライド棒、
451…バネ、46…ボールブッシュ、47…ブッシュ支持部、
48…第1のベルト、49…プーリ、50…ジョイント、
51…第2のベルト、52…プーリ、53…軸、
54…レバー、55…押圧棒、56…固定部材、
561…アーム、57…摺動部材、58…ナット部、
59…ボールネジ、60…カップリング、61…ステッピングモータ。
Claims (8)
- 所定の傾斜角度に設定された基板保持手段と、
前記基板保持手段上に保持された被検査基板をマクロ照明光する光源と、
前記光源から出射されたマクロ照明光を前記被検査基板表面に対して所定の照射角度になるように偏向させる反射ミラーと、
前記反射ミラーを回動可能に支持し、この反射ミラーの回動角度を調整するミラー角度調整手段と、
を備えたことを特徴とする基板検査装置。 - 前記ミラー角度調整手段は、前記反射ミラーの回動角度を可変し、前記被検査基板面に対する前記マクロ照明光の照射角度が最適な状態になるように設定することを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記ミラー角度調整手段は、前記反射ミラーを回動駆動させる駆動部と、前記被検査基板に対するマクロ照明条件が最適な状態になるように前記駆動部を制御して前記反射ミラーの回動角度を調整する制御部とを有することを特徴とする請求項1、2記載の基板検査装置。
- 前記制御部は、観察者により設定された前記反射ミラーの回動角度データを記憶部に記憶し、この記憶部から前記回動角度データを読み出して前記駆動部を制御し前記反射ミラーの回動角度を自動的に設定することを特徴とする請求項3記載の基板検査装置。
- 前記制御部は、観察者ごとに前記マクロ照明条件が最適な状態となる前記反射ミラーの回動角度データを前記記憶部に記憶し、前記観察者を指定することにより前記記憶部から指定された観察者に対応する回動角度データを読み出して前記駆動部を制御し前記反射ミラーの回動角度を自動的に設定することを特徴とする請求項3記載の基板検査装置。
- 前記基板保持手段に対応して配置され前記マクロ照明光により照明された前記被検査基板を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された画像データを画像処理して前記被検査基板上の欠陥部を検出する画像処理部とを有することを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記基板保持手段は、重力方向に対してほぼ平行に近い状態に傾斜して支持されることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記光源は、前記被検査基板の寸法より狭い範囲で前記マクロ照明光を照明し、前記基板保持手段を前記傾斜角度方向に移動させて前記被検査基板の全面に対して前記マクロ照明光を照射することを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
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