KR100885560B1

KR100885560B1 - 기판검사장치

Info

Publication number: KR100885560B1
Application number: KR1020010014503A
Authority: KR
Inventors: 후지사키노부오; 나가미오사무
Original assignee: 올림푸스 가부시키가이샤
Priority date: 2000-09-05
Filing date: 2001-03-21
Publication date: 2009-02-24
Also published as: TW493071B; CN2470821Y; JP2002082067A; CN1179206C; KR20020019376A; CN1341853A

Abstract

본 발명은 예를 들면 액정디스플레이(LCD)의 유리기판 등의 결함검사에 이용되는 기판검사장치에 관한 것으로, 피검사기판을 홀딩하는 직사각형상의 기판홀딩수단과, 이 기판홀딩수단을 소정각도까지 일으켜 세우는 구동수단과, 상기 기판홀딩수단에 상기 피검사기판의 옆가장자리의 적어도 직교하는 2방향을 따라서 설치되어 상기 피검사기판상의 결함부의 위치좌표를 검출하는 위치좌표검출수단을 구비하고, 상기 위치좌표검출수단은 상기 피검사기판의 옆가장자리를 따라서 2방향에 설치된 2쌍의 가이드레일과, 상기 2방향 중 일방향에 설치된 1쌍의 가이드레일을 따라서 이동 가능하게 설치되어 이 일방향과 직교하는 방향으로 빛을 사출하는 광원과, 상기 피검사기판을 걸친 상태에서 2방향 중 다른 방향에 설치된 1쌍의 가이드레일을 따라서 이동 가능하게 설치되어 상기 광원으로부터 사출된 빛이 투사되는 투사부재와, 상기 광원으로부터 사출된 광선과 상기 투사부재를 상기 결함부상에 위치시켜서 상기 각 쌍의 가이드레일에 있어서의 상기 광원 및 상기 투사부재의 위치를 토대로 상기 결함부의 위치좌표를 검출하는 검출부를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

기판검사장치, 검사기판, 매크로관찰, 미크로관찰, LCD, 투사판, 반사판

Description

기판검사장치{APPARATUS FOR INSPECTING A SUBSTRATE}

도 1은 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판검사장치의 구성을 나타내는 사시도.

도 2는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판검사장치의 구성을 나타내는 측면도.

도 3은 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판검사장치의 구성을 나타내는 상면도.

도 4는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판검사장치에 있어서의 투과라인조명의 구성예를 나타내는 도면.

도 5는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판검사장치에 있어서의 홀더의 상세한 구성을 나타내는 도면.

도 6은 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판검사장치에 있어서의 위치검출부의 구성을 나타내는 도면.

도 7a∼도 7c는 본 발명의 실시형태에 관련되는 레이저광원의 구체적인 구성을 나타내는 도면.

도 8a∼도 8c는 본 발명의 실시형태에 관련되는 레이저광원의 구체적인 구성의 변형예를 나타내는 도면.

도 9는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판검사장치에 있어서의 검사상황을 나타내는 도면.

도 10a∼도 10d는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판검사장치에 있어서의 투사판의 퇴피기구를 나타내는 도면.

도 11a∼도 11d는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판검사장치에 있어서의 투사판의 퇴피기구의 변형예를 나타내는 도면.

도 12는 본 발명의 실시형태에 관련되는 구동기구의 변형예를 나타내는 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 장치본체 2: 홀더

3: 피검사기판 4: 가이드레일

5: 관찰유닛지지부 6: 관찰유닛

7: 투과라인조명광원 8: 지표용조명광원

9: 미크로관찰유닛 10: 부분매크로조명광원

11: 제어부 12: TV모니터

13: Y스케일 14: X스케일

15: 지지축 16: 풀리

17: 벨트 18: 모터

21: 레이저광원 30: 전체면매크로조명광원

31: 메탈할로겐램프 32: 반사거울

33: 프레넬렌즈 51: 이면판

71: 광원부 72: 유리로드

73: 백색줄무늬 91: 대물렌즈

92: 접안렌즈 93: TV카메라

101: 매크로조명광 111: 입력부

181: 회전축 201:; 기판위치결정부재

211: 레이저광원부 212, 213: 원기둥렌즈

702: 홀딩부재 704: 가이드레일

706: 가이드이동부 707: 반사체

709, 710: 풀리 712: 벨트

713, 714: 모터 716: 회전축

717, 718, 719, 720: 센서 721: 홀딩부재

730: 연결축 730a, 730b: 연결축

730c: 제 1캠 730d: 제 2캠

741, 742: 지주 743: 투사판

744: 가이드부재 750: 레이저광

751, 752: 코일스프링 801, 802, 901, 902: 렌즈틀

803: 차광통 805: 스프링

806: 조정비스 807, 907: 베이스

811∼814, 911∼914: 녹핀 815, 915: 레이저대

816, 916: 레이저누름부재 817: 비스

904: 고정비스 7011, 7012: 홀딩부재

7013, 7014: 수직면 7031, 7032: 가이드레일

7033, 7034: 스토퍼 7051, 7052: 가이드이동부

7071, 7072, 7081, 7082: 풀리 7111, 7112: 벨트

7130: 2축모터 7130a, 7130b, 7131: 회전축

7411, 7421: 회전축 7412: 7422: 핀

7431: 하변 7441: 사면

a: 결함부

본 발명은 예를 들면 액정디스플레이(LCD)의 유리기판 등의 결함검사에 이용되는 기판검사장치에 관한 것이다.

종래 LCD에 이용되는 유리기판의 결함을 검사하는 장치에는 유리기판 표면에 조명광을 맞추어 그 반사광의 광학적 변화로부터 상기 유리기판 표면의 흠 등의 결함부분을 관찰하는 매크로관찰과, 이 매크로관찰로 검출된 결함부분을 확대하여 관찰하는 미크로관찰을 전환하여 실시하는 것을 가능하게 한 것이 있다.

예를 들면 일본국 특개평 5-322783호 공보에는 X, Y 방향으로 수평 이동 가능하게 한 X-Y스테이지에 대응시켜서 매크로관찰계와 미크로관찰계를 설치하고, 상 기 X-Y스테이지상에 피검사기판을 재치한 상태에서 상기 X-Y스테이지를 X, Y 방향의 2차원 방향으로 이동하여 피검사기판의 검사부위를 매크로관찰계 또는 미크로관찰계의 관찰영역에 위치시키는 것으로, 상기 피검사기판 표면의 결함부분에 대한 매크로관찰 또는 미크로관찰을 가능하게 한 장치가 개시되어 있다.

그런데, 최근 LCD의 대형화에 동반하는 유리기판의 사이즈는 점점 대형화의 경향에 있다. 이로 인해 이와 같은 대형사이즈 유리기판의 결함검사에 있어서 상술한 바와 같은 X-Y스테이지를 X, Y 방향의 2차원 방향으로 수평 이동하도록 한 장치에서는 상기 X-Y스테이지의 이동범위로서 유리기판 면적의 4배나 되는 범위가 필요하게 되어 유리기판 사이즈의 대형화와 함께 장치의 대형화를 피할 수 없다.

또 이와 같이 구성한 장치에서는 피검사기판의 표면이 검사자의 눈 위치로부터 멀리 떨어지기 때문에, 미소한 흠에 대한 검사가 곤란하다. 또한 검출된 피검사기판 표면의 결함부의 위치정보 등을 취득하는 것도 어려운 것 등으로부터 정밀도가 높은 결함검사를 실시할 수 없다고 하는 문제가 있다.

본 발명의 목적은 소형화를 실현할 수 있는 동시에 피검사기판에 대해 정밀도가 높은 결함검사를 효율 좋게 실시할 수 있는 기판검사장치를 제공하는 것에 있다.

(1) 본 발명의 기판검사장치는 피검사기판을 홀딩하는 직사각형상의 기판홀딩수단과, 이 기판홀딩수단을 소정각도까지 일으켜 세우는 구동수단과, 상기 기판홀딩수단에 상기 피검사기판 옆가장자리의 적어도 직교하는 2방향을 따라서 설치되 어 상기 피검사기판상의 결함부의 위치좌표를 검출하는 위치좌표검출수단을 구비하고, 상기 위치좌표검출수단은 상기 피검사기판의 옆가장자리를 따라서 2방향에 설치된 2쌍의 가이드레일과, 상기 2방향 중 일방향에 설치된 1쌍의 가이드레일을 따라서 이동 가능하게 설치되어 이 일방향과 직교하는 방향으로 빛을 사출하는 광원과, 상기 피검사기판을 걸친 상태에서 상기 2방향 중 다른 방향에 설치된 1쌍의 가이드레일을 따라서 이동 가능하게 설치되어 상기 광원으로부터 사출된 빛이 투사되는 투사부재와, 상기 광원으로부터 사출된 광선과 상기 투사부재를 상기 결함부상에 위치하게 하고, 상기 각 쌍의 가이드레일에 있어서의 상기 광원 및 상기 투사부재의 위치를 토대로 상기 결함부의 위치좌표를 검출하는 검출부를 구비하고 있다.

(2) 본 발명의 기판검사장치는 상기 (1)에 기재한 장치이며, 또한 상기 투사부재를 상기 1쌍의 가이드레일을 따라서 전동력(電動力)으로 이동하는 2개의 이동수단을 구비하고, 상기 2개 이동수단의 1개는 모터를 구비하며, 상기 각 이동수단은 상기 모터의 구동에 의해 동작되는 2개의 풀리와 벨트로 이루어지고, 추가로 상기 각 이동수단의 1개의 풀리끼리를 연결하는 연결축을 구비하고 있다.

(3) 본 발명의 기판검사장치는 상기 (1)에 기재한 장치이며, 또한 상기 투사부재를 상기 1쌍의 가이드레일을 따라서 전동력으로 이동하는 2개의 이동수단을 구비하고, 상기 각 이동수단은 2개의 풀리와 벨트로 이루어지며, 추가로 상기 각 이동수단의 1개의 풀리끼리를 연결하는 연결축과, 이 연결축을 구동하는 모터를 구비하고 있다.

(4) 본 발명의 기판검사장치는 상기 (1) 에서 (3) 중 어느 하나에 기재한 장 치이며, 또한 상기 투사부재를 상기 피검사기판상으로부터 퇴피시키는 퇴피기구를 구비하고 있다.

(5) 본 발명의 기판검사장치는 상기 (1) 에서 (3) 중 어느 하나에 기재한 장치이며, 또한 상기 광원으로부터 사출되는 빛의 광축을 조정하는 조절수단을 구비하고 있다.

(6) 본 발명의 기판검사장치는 상기 (4)에 기재한 장치이며, 또한 상기 광원으로부터 사출되는 빛의 광축을 조정하는 조절수단을 구비하고 있다.

이하 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1∼도 3은 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판검사장치의 구성을 나타내는 도면이며, 도 1은 사시도, 도 2는 측면도, 도 3은 상면도이다. 도 1∼도 3에 있어서 장치본체(1)상에는 피검사기판(3)을 홀딩하는 홀더(2)가 설치되어 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이 홀더(2)는 그 기단부가 지지축(15)에 의해 장치본체(1)에 대해 회전운동 자유롭게 지지되며, 지지축(15)의 주위에 풀리(16)가 설치되어 있다. 장치본체(1)에는 모터(18)가 구비되어 있으며, 모터(18)의 회전축(181)과 풀리(16)에 고리상의 벨트(17)가 걸어져 있다. 모터(18)의 회전구동력을 회전축 (181)으로부터 벨트(17)를 통해 풀리(16)에 전달하는 것으로, 지지축(15)을 축으로 하여 홀더(2)를 수평인 상태에서 예를 들면 이점쇄선의 위치까지 즉 소정각도 θ까지 일으켜 세워 경사시킬 수 있다.

또 홀더(2)는 테두리상을 이루고 있으며, 그 주연부에서 LCD에 이용되는 유 리기판과 같은 대형의 피검사기판(3)을 재치 홀딩한다. 홀더(2)에 있어서 그 주연부에 둘러싸인 공간부는 사각형상을 이루고, 상기 공간부의 면적은 피검사기판(3)의 면적보다 약간 작다. 홀더(2)에는 그 주연부를 따라서 X축방향과 Y축방향으로 복수의 원기둥상의 핀으로 이루어지는 기판위치결정부재(201)가 홀더(2) 표면으로부터 약간 돌출하도록 배치되어 있다. 홀더(2)상에서 피검사기판(3)의 2변을 각 기판위치결정부재(201)의 측부에 접촉시키는 것으로 피검사기판(3)의 위치결정이 이루어진다. 또 홀더(2)의 주연부 전체둘레를 따라서 설치된 도시하지 않는 복수의 구멍(흡착패드)으로부터 도시하지 않는 흡인기에 의해 피검사기판(3)의 주연부가 홀더(2) 표면에 흡착되는 것으로 피검사기판(3)이 홀더(2)상에서 탈락하지 않도록 홀딩된다. 또한 홀더(2)의 상세한 구성에 대해서는 후술한다.

도 1∼도 3에 나타내는 바와 같이 장치본체(1)상에는 홀더(2)의 양측 가장자리를 따라서 Y축방향으로 한쌍의 가이드레일(4, 4)이 평행하게 배치되어 있다. 또 홀더(2)의 윗쪽에는 이 홀더(2)를 걸치도록 문기둥형의 관찰유닛지지부(5)가 배치되어 있으며, 이 관찰유닛지지부(5)는 가이드레일(4, 4)을 따라서 피검사기판(3) 윗쪽 즉 도 1 중의 실선으로 나타내는 수평인 상태로 홀딩된 홀더(2) 윗쪽을 Y축방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다.

관찰유닛지지부(5)에는 관찰유닛(6)가 관찰유닛지지부(5)의 이동방향 (Y축방향)에 대해 직교하는 방향(X축방향)으로 도시하지 않는 가이드레일을 따라서 이동 가능하게 지지되어 있다. 또한 관찰유닛지지부(5)에는 관찰유닛(6)의 이동라인에 대향하도록 투과라인조명광원(7)이 설치되어 있다. 이 투과라인조명광원 (7)은 홀 더(2) 아래쪽을 통과하는 지지부(5)의 이면판(51)상에 X축방향을 따라서 배치되어 있으며, 피검사기판(3)의 아래쪽으로부터 직선상의 투과조명을 실시하는 것으로, 관찰유닛지지부(5)와 함께 Y축방향으로 이동 가능하게 되어 있다.

관찰유닛(6)는 지표용조명광원(8)을 설치한 미크로관찰유닛(9)와 매크로관찰용의 부분매크로조명광원(10)을 갖고 있다. 지표용조명광원(8)은 피검사기판(3)상의 결함위치를 특정하기 위한 것이며, 광학적으로 집광된 스포트광을 피검사기판 (3) 표면에 투광한다. 이 스포트광에 의한 피검사기판(3) 표면으로부터의 반사광은 부분매크로조명광원(10)에 의한 피검사기판(3) 표면으로부터의 반사광보다 밝기 때문에 부분매크로조명광원(10)에 의한 매크로관찰 중에 스포트광에 의해 육안으로 관찰하는 것이 가능하다.

미크로관찰유닛(9)는 대물렌즈(91), 접안렌즈(92) 및 도시하지 않는 낙사(落射)조명광원을 갖는 현미경기능을 구비하고 있으며, 검사자는 피검사기판(3) 표면의 상을 대물렌즈(91)를 통해 접안렌즈(92)에 의해 관찰할 수 있다. 또 미크로관찰유닛(9)에는 3안경통을 통해 TV카메라(93)가 부착되어 있다. 또한 육안에 의한 미크로관찰이 불필요한 경우에는 직통(直筒)을 통해 TV카메라(93)만을 부착할 수도 있다. TV카메라(93)는 대물렌즈(91)에 의해 얻어지는 피검사기판(3) 표면의 관찰상을 촬상하여 제어부(11)로 보낸다. 제어부(11)는 TV카메라(93)로 촬상된 관찰상을 TV모니터(12)에 표시한다. 제어부(11)에는 검사자가 동작지시나 데이터입력을 실시하기 위한 입력부(111)가 접속되어 있다.

부분매크로조명광원(10)은 매크로관찰에 이용되는 것이며, 수평상태로 홀딩 된 홀더(2)상의 피검사기판(3) 표면의 일부분을 매크로조명광(101)으로 조사한다. 또 피검사기판(3) 표면에 대한 부분매크로조명광원(10)의 조명각도는 매크로관찰에 최적인 각도로 조정할 수 있다.

도 4는 투과라인조명광원(7)의 구성예를 나타내는 도면이다. 도 4에 나타내는 바와 같이 투과라인조명광원(7)은 광원부(71)와 솔리드의 유리로드(72)를 갖는 것이다. 광원부(71)로부터 사출되어 반사판(712)에 의해 난반사된 빛이 유리로드 (72)의 단부에 입사되어 유리로드(72)속에서 전반사 전송되는 동시에 유리로드(72)의 배부(하부)를 따라서 도포 가공된 백색줄무늬(73)에 의해 확산되는 것으로 유리로드(72)의 렌즈작용에 의해 라인상의 빛이 윗쪽으로 사출된다. 이 투과라인조명은 상기의 구성에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 형광등 등에 의한 라인조명이어도 좋다.

도 5는 본 기판검사장치에 있어서의 홀더(2)의 상세한 구성을 나타내는 도면이다. 도 5에 있어서 도 1과 동일한 부분에는 동일부호를 붙여서 있다. 도 5에 있어서 홀더(2)의 Y축방향의 양측면에는 각각 홀딩부재(7011, 7012)가 부착되어 있다. 또 홀더(2)의 X축방향의 일측면에는 홀딩부재(702)가 부착되어 있다. 홀딩부재(7011, 7012, 702)의 표면은 홀더(2)의 표면에 대해 단차를 발생하도록 아래쪽으로 위치하고 있다. 홀딩부재(7011, 7012)에는 각각 홀더(2) 옆가장자리의 Y축방향을 따르도록 가이드레일(7031, 7032)이 설치되어 있다. 또한 가이드이동부(7051, 7052)가 각각 가이드레일(7031, 7032)을 걸치도록 가이드레일(7031, 7032)을 따라서 이동 가능하게 설치되어 있다. 또 홀딩부재(702)에는 홀더(2) 옆가장자리의 X 축방향을 따르도록 가이드레일(704)이 설치되어 있다. 또한 가이드이동부(706)가 가이드레일(704)을 걸치도록 가이드레일(704)을 따라서 이동 가능하게 설치되어 있다.

홀딩부재(702)의 각 양단부에는 각각 풀리(709, 710)가 지지되어 있다. 풀리(709)와 풀리(710)에는 벨트(712)가 고리상으로 걸어져 있다. 벨트(712)의 일부에는 가이드이동부(706)가 걸어 부착되어 있다. 풀리(710)에는 모터(714)의 회전축(716)이 끼워 넣어져 있다. 홀더(2)의 X축방향의 일측면에는 가이드이동부(706)의 존재를 검지하기 위한 광학적인 센서(719, 720)가 설치되어 있다.

가이드이동부(706)에는 Y축방향의 반사체(거울)(707)가 피검사기판(3) 표면에 대해 직각 또는 예각을 이루도록 세워 설치되어 있다. 또 홀딩부재(7011과 702)가 교차하는 위치에는 홀더(2)와 대략 같은 높이를 갖는 홀딩부재(721)가 설치되어 있다. 홀딩부재(721)상에는 가이드레일(704)의 연장선상에 후술하는 레이저광원 (21)이 설치되어 있다.

홀딩부재(7011, 7012)의 각 수직면(7013, 7014)의 양단부에는 각각 풀리 (7071, 7081)와 풀리(7072, 7082)가 축지되어 있다. 풀리(7071)와 풀리(7081)에는 벨트(7111)가, 풀리(7072)와 풀리(7082)에는 벨트(7112)가 고리상으로 걸어져 있다. 벨트(7111, 7112)의 각 일부에는 각각 가이드이동부(7051, 7052)가 걸어 부착되어 있다. 풀리(7071)에는 모터(713)의 회전축(7131)이 끼워 넣어져 있다. 홀더(2)의 Y축방향의 일측면에는 가이드이동부(7051)의 존재를 검지하기 위한 광학적인 센서 (717, 718)가 설치되어 있다. 또 홀더(2)의 하부에는 연결축(730)이 배 치 설치되어 있으며, 이 연결축(730)의 양단부는 각각 풀리(7081)와 풀리(7082)에 끼워 넣어져 있다.

가이드이동부(7051, 7052)의 홀더(2)측의 측면에는 각각 지주(741, 742)가 후술하는 바와 같이 회전운동 가능하게 축지되어 있다. 이들 지주(741, 742)의 각 꼭대기부에는 각각 긴판상의 투사판(743)의 양단부가 장착되어 있다. 투사판(743)의 표면은 예를 들면 흑색을 이루는 동시에 피검사기판(3) 표면에 대해 약 45°를 이루도록 경사하고, 반사체(707)의 방향으로 향하고 있다. 이 때 지주(741, 742)는 피검사기판(3) 표면에 대해 직립한 상태에 있다.

투사판(743)은 가이드이동부(7051과 7052)의 동기한 이동에 따라 피검사기판 (3)상을 그 표면에 대해 소정의 극간을 갖는 평행한 상태에서 Y축방향으로 이동한다. 또 홀딩부재(721) 부근에 있어서의 가이드레일(7031)의 홀더(2)측에 후술하는 바와 같이 지주(741)를 회전운동시키기 위한 가이드부재(744)가 고착되어 있다.

또한 센서(717 또는 718)로 가이드이동부(7051)의 존재가 검지된 경우, 제어부(11)에 의해 모터(713)의 구동이 자동적으로 정지된다. 즉 가이드이동부(7051)는 센서(717, 718)간에 대응하는 가이드레일(7031)상의 구간만을 왕복 이동할 수 있다. 똑같이 센서(719 또는 720)로 가이드이동부(706)의 존재가 검지된 경우, 제어부(11)에 의해 모터(714)의 구동이 자동적으로 정지된다. 즉 가이드이동부(706)는 센서(719, 720)간에 대응하는 가이드레일(704)상의 구간만을 왕복 이동할 수 있다.

또 홀더(2)의 기단부에 부착된 홀딩부재(702)가 도 2에 나타내는 바와 같이 지지축(15)에 의해 장치본체(1)에 대해 회전운동 자유롭게 지지되어 있다. 이로 인해 홀더(2)를 도 2 중 이점쇄선으로 나타내는 바와 같이 소정각도로 일으켜 세우거나 또는 요동 동작시킬 수 있다.

또 도 1에 나타내는 제어부(11)는 가이드레일(704, 7031)을 따라서 설치된 도시하지 않는 각 가이드스케일에 의해 검출되는 피검사기판(3)상의 결함부의 위치좌표(X, Y), Y스케일(13) 및 X스케일(14)에 의해 검출되는 관찰유닛지지부(5)와 관찰유닛(6)의 위치좌표에 대한 관리를 시작으로 하여 도시하지 않는 각 구동기구에 의한 관찰유닛지지부(5) 및 관찰유닛(6)의 이동 제어 등을 실시한다. 또한 제어부(11)는 도 2에 나타내는 바와 같이 지표용조명광원(8) 광축과 대물렌즈(91) 광축의 간격(X0)를 미리 자신의 도시하지 않는 메모리에 기억하고 있다. 제어부 (11)는 상기 각 가이드스케일로부터 부여된 피검사기판(3)상의 결함부의 위치좌표 (X, Y)에 미크로관찰유닛(9)에 있어서의 대물렌즈(91)의 관찰축이 합치하도록 관찰유닛지지부(5) 및 관찰유닛(6)를 이동 제어한다.

또 제어부(11)는 지표용조명광원(8)의 스포트 중심을 피검사기판(3)상의 결함부에 위치시킨 상태에서 검사자에 의해 입력부(111)로부터 소정의 지시가 부여된 경우, Y스케일(13) 및 X스케일(14)의 도시하지 않는 검출부에 의해 검출된 위치좌표데이터로부터 상기 결함부의 위치좌표를 구하고, 이 구한 위치좌표와, 지표용조명광원(8) 광축과 대물렌즈(91) 광축의 간격(X0)을 나타내는 데이터에 의거하여 피검사기판(3)상의 상기 결함부에 대물렌즈(91)의 관찰축이 합치하도록 관찰유닛지지부(5) 및 관찰유닛(6)를 이동 제어한다.

도 6은 본 기판검사장치에 있어서의 위치검출부의 구성을 나타내는 도면이다. 도 6에 있어서 도 5와 동일한 부분에는 동일부호를 붙이고 있다. 이 위치검출부는 레이저광원부(211) 및 원기둥렌즈(212, 213)로 이루어지는 레이저광원(21)과, 레이저광원부(211)로부터 발한 레이저광을 Y축방향으로 반사하는 반사체(거울) (707)로 이루어져 있다. 반사체(707)는 피검사기판(3) 표면에 대해 직각 또는 예각을 이루도록 세워 설치되어 있다.

광원(21)의 레이저광원부(211)로 부터 발하여 원기둥렌즈(212, 213)를 투과한 레이저광은 피검사기판(3) 표면에 대해 대략 수직인 면상의 레이저광으로 되어 X축방향으로 사출된다. 이 레이저광은 반사체(707)에서 직각방향 즉 Y축방향으로 반사되어 피검사기판(3) 표면에 대해 대략 수직인 면상의 레이저광(750)으로 되고, 투영판(743)의 경사한 표면으로 반사된다.

도 7a, 도 7b, 도 7c는 도 6에 나타낸 레이저광원(21)의 구체적인 구성을 나타내는 도면이고, 도 7a는 상면도, 도 7b는 도 7a의 A-A에 의한 측면일부단면도(중앙), 도 7c는 도 7a의 B-B에 의한 측면일부단면도이다. 원기둥렌즈(213)는 렌즈틀 (801)의 할당면(8011)에 할당되어 붙여져 있다. 원기둥렌즈(212)는 렌즈틀(802)의 할당면(8021)에 할당되어 붙여져 있다. 차광통(803)은 렌즈틀(801)에 삽입되어 도시하지 않는 고정비스로 렌즈틀(801)에 고정되어 있다. 렌즈틀(802)은 스프링 (805)이 부착되어 조정비스(806)로 렌즈틀(801)에 임시 고정되어 있다.

베이스(807)에는 복수의 녹핀(knock pin)(811∼814)이 세워져 있다. 녹핀 (811, 812)을 가이드로 하여 렌즈틀(801, 802)이 베이스(807)에 임시 고정되어 있 다. 또 녹핀(813, 814)을 가이드로 하여 레이저대(815)가 베이스(807)에 고정되어 있다. 레이저누름부재((816)에 의해 레이저광원부(211)가 레이저대(815)에 고정되어 있다. 또한 베이스(807)는 도 5에 나타낸 홀딩부재(721)에 고정되어 있다.

레이저광의 광축을 조정하는 경우, 검사자는 레이저광원부(211)로부터 레이저광을 발광시키면서 렌즈틀(801)의 아래에 심(shim)을 넣어 렌즈(212, 213)간의 광축에 비틀어짐이 없어지도록 조절하고, 비스(817)에 의해 렌즈틀(801)을 베이스 (807)에 고정한다. 다음으로 검사자는 조정비스(806)를 이용하여 렌즈틀(803)을 전후시켜서 렌즈(212, 213)간의 광축거리를 조절하고, 비스(818)에 의해 렌즈틀 (803)을 베이스(807)에 고정한다.

도 8a, 도 8b, 도 8c는 도 6에 나타낸 레이저광원(21)의 구체적인 구성의 변형예를 나타내는 도면이며, 도 8a는 상면도, 도 8b는 도 8a의 A-A에 의한 측면일부단면도(중앙). 도 8c는 도 8a의 B-B에 의한 측면일부단면도이다. 원기둥렌즈(213)는 렌즈틀(901)의 할당면(9011)에 할당되어 붙여져 있다. 원기둥렌즈(212)는 렌즈틀(902)의 할당면(9021)에 할당되어 붙여져 있다. 렌즈틀(901)은 렌즈틀(902)에 삽입되어 고정비스(904)로 렌즈틀(902)에 임시 고정되어 있다.

베이스(907)에는 복수의 녹핀(911∼914)이 세워져 있다. 녹핀(911, 912)을 가이드로 하여 렌즈틀(901, 902)이 베이스(907)에 고정되어 있다. 또 녹핀(913, 914)을 가이드로 하여 레이저대(915)가 베이스(907)에 고정되어 있다. 레이저누름부재(916)에 의해 레이저광원부(211)가 레이저대(915)에 고정되어 있다. 또한 베이스(907)는 도 5에 나타낸 홀딩부재(721)에 고정되어 있다.

레이저광의 광축을 조정하는 경우, 검사자는 레이저광원부(211)로부터 레이저광을 발광시키면서 고정비스(904)를 이용하여 렌즈틀(901)의 위치를 조정한다. 이 때 검사자는 렌즈(212, 213)간의 광축에 비틀어짐이 없어지도록 조절하는 동시에 레이저광이 평행광이 되도록 렌즈(212, 213)간의 광축거리를 조절한다. 그 후 검사자는 고정비스(904)로 렌즈틀(901)을 렌즈틀(902)에 고정한다.

종래의 레이저광원에서는 콜리메이터(collimator)광을 구성하기 위한 광학부재가 일체화로 가공되어 있었기 때문에 렌즈간의 거리를 적정하게 조절할 수 없었다. 또 렌즈의 붙임법에 따라서는 광축이 비틀어져 버린다고 하는 문제가 있었다. 이에 따라 레이저광은 원기둥렌즈(212, 213)를 통과 후, 확산 또는 수속(收束)을 하거나 비틀어져 비뚤어짐이 발생하거나 하고 있었다.

렌즈를 붙이는 렌즈틀을 분할하고, 렌즈간의 광축비틀어짐과 광축거리를 조절 가능하게 하는 것으로 원기둥렌즈(212, 213)간의 광축의 비틀어짐을 없애어 적정한 렌즈간 거리로 조절할 수 있도록 되고, 원기둥렌즈(212, 213)를 통과한 후의 레이저광은 평행 또는 비틀어짐이 없는 레이저광으로 된다.

도 9는 본 기판검사장치에 있어서의 검사상황을 나타내는 도면이다. 도 9에 나타내는 바와 같이 장치본체(1)의 윗쪽에는 홀더(2)상의 피검사기판(3)의 전체면을 조사하는 전체면매크로조명광원(30)이 설치되어 있다. 이 전체면매크로조명광원(30)은 점광원으로서의 메탈할로겐램프(31)와, 이 메탈할로겐램프(31)에 대향하도록 배치된 반사거울(32)과, 반사거울(32)의 아래쪽에 배치된 프레넬렌즈(33)로 이루어진다. 반사거울(32)은 장치본체(1)에 대해 대략 45°기울여서 설치되어 있 으며, 메탈할로겐램프(31)로부터의 빛을 반사하여 프레넬렌즈(33)에 부여한다. 프레넬렌즈(33)는 반사거울(32)에서 반사된 빛을 도시하는 바와 같이 수속광으로 하여 홀더(2)상의 피검사기판(3) 전체면에 조사한다. 또한 도 1에 나타내는 바와 같이 장치본체(1)에는 관찰유닛지지부(5)의 Y축방향의 위치좌표를 검출하기 위한 Y스케일(13)이 설치되며, 관찰유닛지지부(5)에는 관찰유닛(6)의 X축방향의 위치좌표를 검출하기 위한 X스케일(14)이 설치되어 있다.

이상과 같이 구성된 본 기판검사장치의 동작을 설명한다. 우선 피검사기판 (3) 표면의 매크로관찰을 실시하는 경우, 검사자는 입력부(111)로부터 제어부(11)에 소정의 지시를 부여하는 것으로 제어부(11)의 구동제어에 의해 관찰유닛지지부 (5)를 도 1에 나타내는 초기위치로 후퇴시킨다. 그 후 검사자가 수평인 상태로 되어 있는 홀더(2)상에 피검사기판(3)을 공급한다. 이 상태에서 복수의 기판위치결정부재(201)에 피검사기판(3)을 눌러 놓아 위치 결정되는 동시에 상기 흡인기에 의해 피검사기판(3)이 홀더(2)상으로부터 탈락하지 않도록 흡착 홀딩되어 매크로관찰에 의한 결함검사가 개시된다.

다음으로 매크로조명을 이용하여 피검사기판(3)의 전체면을 일괄하여 매크로 관찰하는 경우에 대해서 설명한다. 이 전체면매크로관찰의 경우, 검사자는 도 2에 나타내는 모터(18)를 기동하여 회전축(181) 및 벨트(17)를 통해 풀리(16)에 의해 지지축(15)을 회전시키고, 이 지지축(15)을 중심으로 홀더(2)를 소정의 각도 θ, 바람직하게는 30∼45°로 경사시킨 후, 모터(18)를 정지하여 홀더(2)를 정지(靜止)시킨다. 이어서 검사자는 도 9에 나타내는 메탈할로겐램프(31)를 점등시켜 메탈할 로겐램프(31)로부터의 빛을 반사거울(32) 및 프레넬렌즈(33)를 통해 수속광으로서 홀더(2)상의 피검사기판(3) 전체면에 조사시킨다. 이 상태에서 검사자는 홀더(2)상의 피검사기판(3)을 육안에 의해 피검사기판(3)상의 흠이나 오염 등의 결함검사를 실시한다. 또한 홀더(2)를 소정의 각도로 경사시켜 정지(靜止)시킨 상태에서 결함검사를 실시할뿐만 아니라 모터(18)의 회전방향을 주기적으로 바꾸도록 제어부 (11)에 의해 제어하는 것으로 지지축(15)을 중심으로 홀더(2)를 소정범위의 각도내에서 슬라이딩시키면서 결함검사를 실시할 수 도 있다. 이 경우 메탈할로겐램프 (31)로부터의 조사광의 피검사기판(3)으로의 입사각이 가변으로 되기 때문에 피검사기판(3)을 여러 가지 각도로부터 입사하는 조사광으로 관찰할 수 있다.

검사자는 도 9에 나타내는 바와 같이 홀더(2)를 소정각도까지 일으켜 세운 상태에서 피검사기판(3)의 표면을 매크로조사하고, 그 매크로관찰에 있어서 피검사기판(3)상에서 결함부(a)를 인식하면 상기 조작부(조이스틱)를 조작해서 모터(714)를 구동하여 회전축(716)을 일방향 또는 타방향으로 회전시키는 것으로 풀리(710, 709)를 통해 벨트(712)를 X축의 일방향 또는 타방향으로 작동시킨다. 이에 따라 피검사기판(3)면상의 결함부(a)에 대해 가이드레일(704)을 따라서 가이드이동부 (706)상의 반사체(707)를 이동하여 레이저광(750)을 결합부(a)에 일치시킨다.

또한 검사자는 상기 조작부를 조작해서 모터(713)를 구동하여 회전축(7131)을 일방향 또는 타방향으로 회전시키는 것으로 풀리(7071, 7081)를 통해 벨트 (7111)를 Y축의 일방향 또는 타방향으로 작동시킨다. 이에 따라 피검사기판 (3)면상의 결함부(a)에 대해 가이드레일(7031)을 따라서 가이드이동부(7051)와 함께 지 주(741) 및 투사판(743)을 이동하여 투사판(743)의 하변(7431)을 결함부(a)상에 일치시킨다. 이 때 풀리(7081)의 회전에 동반하여 연결축(730)을 통해 풀리(7082)가 풀리(7081)와 동방향으로 회전하며, 풀리(7072, 7082)를 통해 벨트(7112)가 벨트 (7111)와 동방향으로 작동하고 있다. 즉 가이드이동부(7051과 7052)가 동기하여 Y측의 동방향으로 이동하기 때문에 투사판(743)은 항상 X축과 평행한 상태에서 Y축방향으로 이동한다.

또한 결함위치를 지정할 때에는 상기와는 반대로 투사판(743)을 결함부(a)에 일치시킨 후에 레이저광(750)을 일치시켜도 좋다.

그 후, 검사자는 상기 풋스위치를 ON으로 한다. 그러면 이 때의 가이드레일 (7031, 704)을 따라서 설치된 도시하지 않는 각 가이드스케일의 값, 즉 투사판 (743)의 소정의 원점에서 Y축방향으로의 변위량과 반사체(707)의 소정의 원점에서 X축방향으로의 변위량이 상기 각 가이드스케일의 도시하지 않는 각 검출부에 의해 상기 결함부(a)의 위치좌표(X, Y)로서 검출되고, 이 검출결과가 상기 각 검출부로부터 제어부(11)에 출력된다.

이 후, 검사자가 피검사기판(3)상에서 결함부를 인식할 때마다에 똑같은 동작을 반복하는 것으로 각 결함부의 각 위치좌표(X, Y)를 나타내는 데이터가 제어부 (11)에 입력되어 기억된다. 검사자는 이상과 같은 매크로관찰을 피검사기판(3) 전체면에 대해서 종료하면 재차 모터(18)를 기동하여 회전축(181) 및 벨트(17)를 통해 풀리(16)에 의해 지지축(15)을 상술과 반대방향으로 회전시켜 홀더(2)를 최초의 수평인 상태로 되돌린다. 이상의 매크로관찰이 종료하면 이하에 나타내는 투사판 (743)의 퇴피조작이 실시된 후, 미크로관찰이 실시된다.

도 10a∼도 10d는 투사판(743)의 퇴피기구를 나타내는 도면이며, 도 10a는 가이드이동부(7051) 부분의 상면도, 도 10b는 그 측면도, 도 10c는 가이드부재 (744) 부분의 상면도, 도 10d는 그 측면도이다. 상술한 투사판(743)을 결함부(a)상에 일치시키는 동작 중은 도 10a, 도 10b에 나타내는 바와 같이 지주(741, 742)는 직립한 상태에 있고, 투사판(743)은 약 45°경사한 상태로 피검사기판(3)의 윗쪽으로 위치하고 있다. 또한 지주(741, 742)는 각각 회전축(7411, 7421)(도시하지 않음)에 의해 가이드이동부(7051, 7052)에 회전운동 자유롭게 지지되어 있다.

도 1에 실선으로 나타내는 바와 같이 홀더(2)를 수평으로 한 상태에서 미크로관찰유닛(9)에 의한 미크로관찰을 실시하는 경우, 대물렌즈(31)가 투사판(743)에 충돌하지 않도록 투사판(743)을 피검사기판(3)상으로부터 퇴피시키지 않으면 안된다. 이 경우, 조작자는 상기 조작부를 조작하여 모터(713)를 구동하여 가이드이동부(7051과 7052)를 홀딩부재(702)방향으로 이동한다. 동시에 지주(741)가 도 10c에 나타내는 가이드부재(744)에 도달하면 도 10d에 나타내는 바와 같이 지주(741)하부의 돌기부가 가이드부재(744)의 사면(7441)을 따라서 서서히 윗쪽으로 밀어 올려진다. 이에 동반하여 지주(741, 742)는 각각 회전축(7411, 7421) 주위로 회전운동하고, 최종적으로 피검사기판(3)과 평행인 상태로 된다. 이 때 지주(741, 742)는 홀더(2)와 가이드레일(704)간의 공간의 연장부에 수납하여 퇴피된 상태로 되기 때문에 홀더(2)로부터 아래쪽으로 위치한다. 이에 따라 미크로 관찰 때 대물렌즈 (91)가 투사판(743)에 충돌하는 일은 없다.

도 11a∼도 11d는 투사판(743)의 퇴피기구의 변형예를 나타내는 도면이며, 도 11a는 상면도, 도 11b는 정면도, 도 11c, 도 11d는 측면도이다. 지주(741, 742)는 각각 회전축(7411, 7421)에 의해 가이드이동부(7051, 7052)에 회전운동 자유롭게 지지되어 있다. 회전축(7411, 7421)의 주위에는 각각 코일스프링(751, 752)이 둘러 감겨져 있다.

코일스프링(751, 752)의 일단편(7511, 7521)은 각각 가이드이동부(7051, 7052)의 천정부 이면에 걸려있다. 또 코일스프링(751, 752)의 타단편(7512, 7522)은 각각 일단편(7511, 7521)에 대해 대략 90°를 이루는 상태로 지주(741, 742)의 아래쪽 측부에 돌출 설치된 핀(7412(도시하지 않음), 7422)에 걸어져 있다. 또 가이드레일 (7031, 7032)의 내측 측면에는 각각 원기둥상의 스토퍼(7033, 7034)가 회전 가능하게 축지되어 있다.

도 11a∼도 11c에 나타내는 바와 같이 지주(741, 742)가 직립한 상태에 있는 경우, 코일스프링(751, 752)의 탄성지지력이 각각 핀(7412(도시하지 않음), 7422)을 통해 지주(741, 742)에 걸어져 있다.

이 상태에서 투사판(743)을 피검사기판(3)상으로부터 퇴피시키는 경우, 조작자는 상기 조작부를 조작하여 모터(713)를 구동하고, 가이드이동부(7051과 7052)를 홀딩부재(702)방향으로 이동한다. 동시에 지주(741, 742)가 스토퍼(7033, 7034)에 도달하면, 도 11d에 나타내는 바와 같이 지주(741, 742) 아래쪽의 돌출부(7413, 7423)가 각각 스토퍼(7033, 7034)의 곡면을 따라서 서서히 윗쪽으로 밀어 올려진다. 이에 동반하여 지주(741, 742)는 각각 코일스프링(751, 752)의 탄성지지력에 반대하여 회전축(7411, 7421) 주위로 회전운동하고, 최종적으로 피검사기판(3)과 평행한 상태로 된다. 이 때 코일스프링(751, 752)의 각 일단편(7511, 7521)과 타단편 (7512, 7522)은 대략 평행을 이루는 상태로 된다.

이어서 상술한 매크로관찰에 의해 검출한 각 결함부에 대해서 미크로관찰유닛(9)에 의해 미크로관찰을 실시하는 경우에 대해서 설명한다. 우선 제어부(11)에 의해 상기 메모리에 기억된 결함부의 위치좌표(X, Y)가 판독되고, 이어서 이 위치좌표(X, Y)에 미크로관찰유닛(9)에 있어서의 대물렌즈(91)의 관찰축이 합치하도록 관찰유닛지지부(5) 및 관찰유닛(6)가 가이드레일(4, 4 및 X) 상기 도시하지 않는 가이드레일을 따라서 이동 제어된다.

이에 따라 검사자는 미크로관찰유닛(9)의 접안렌즈(92)를 들여다 보는 것으로 대물렌즈(91)를 통해 얻어지는 피검사기판(3)상의 결함부를 현미경에 의한 미크로관찰할 수 있다. 또 TV카메라(93)에 대물렌즈(91)로부터 얻어지는 피검사기판 (3) 표면의 결함부가 촬상되고, 그 상이 TV모니터(12)에 표시되어 검사자가 그 상을 보는 것으로 미크로관찰이 실시된다.

본 실시형태의 기판검사장치에 따르면 피검사기판(3)을 홀딩한 홀더(2)를 지지축(15)을 중심으로 회전운동시켜서 소정각도 일으켜 세우는 것으로 검사자는 눈에 가까운 위치에서, 또한 결함을 보기 쉬운 각도로 피검사기판(3)을 경사시켜서 매크로검사를 실시할 수 있기 때문에, 편한 자세로 정밀도가 높은 육안검사를 실시할 수 있다. 또 홀더(2)가 어떠한 각도로 일으켜 세워져도 홀더(2)와 일체로 되어 위치좌표검출부를 일으켜 세워지는 것으로 되기 때문에 피검사기판(3)을 어떠한 각 도로 경사해도 항상 결함위치를 정확히 검지할 수 있다. 또한 투사판(743)에 레이저광(750)을 투사함으로써 레이저지표점이 투사판(743)상에 확실히 비추어지는 것으로부터 육안에 의해 용이하게 결함위치에 맞출 수 있다.

또 위치좌표검출부를 구성하는 가이드이동부(7051, 706)를 전기적으로 구동시키기 때문에 검사자가 상기 조작부를 조작함으로써 눈앞에서 반사체(707)와 투사판(743)의 동작을 제어할 수 있다. 따라서 특히 대형의 피검사기판을 검사하는 경우, 레이저광과 투사판(743)을 결함부에 일치시키는 것으로 검사자로부터 멀리 떨어진 결함부에 대해서도 용이하게 위치정보를 꺼낼 수 있다.

또한 홀더(2)에 대해 피검사기판(3)면상에 있어서의 관찰유닛지지부(5)의 일방향을 따른 이동과, 관찰유닛지지부(5)의 이동방향과 직교하는 방향으로의 관찰유닛(6)의 이동에 의해 관찰유닛(6)를 피검사기판(3)상의 어느쪽 위치에라도 이동시킬 수 있다. 따라서 홀더(2)의 면적을 피검사기판(3)의 면적과 대략 같은 크기로 고정시킬 수 있어 기판검사장치의 소형화를 실현할 수 있는 동시에 기판검사장치의 설치면적도 대폭으로 작게할 수 있다.

또한 가이드이동부(7051, 7052)와 투사판(743)을 구동시키기 위해 가이드부착 볼나사나 리니어모터를 이용할 수 도 있다. 또 LED와 같은 광형의 평행광속을 발하는 광원을 이용하는 것도 가능하며, 이 광원을 반사체(707)로 바꿔 가이드이동부(706)에 부착해도 좋다. 또한 투사판(743)은 레이저광 등의 슬릿광 또는 스포트광을 투영할 수 있는 것이면 긴판에 한정되지 않고 선재나 삼각기둥의 봉체이어도 좋다.

또 상기한 도 5의 구성에서는 풀리(7071)에 모터(713)가 부착되어 있으나, 도 12에 나타내는 바와 같이 2축모터(7130)를 연결축(730)에 부착하는 구성으로 해도 좋다. 2축모터(7130)의 한쪽의 회전축(7130a)이 제 1 캠(730c)을 통해 한쪽의 연결축(730a)에 연결되어 있으며, 다른쪽의 회전축(7130b)이 제 2 캠(730d)을 통해 다른쪽의 연결축(730b)에 연결되어 있다.

이와 같은 구성에 따르면 2축모터(7130)를 구동하고, 연결축(730a, 730b)을 통해 풀리(7081, 7082)를 동방향으로 회전시켜 벨트(7111, 7112)를 동방향으로 작동시킨다. 이에 따라 가이드이동부(7051과 7052)를 보다 정확히 동기시켜서 이동시킬 수 있다.

본 발명에 따르면 이하와 같은 작용을 이룬다.

(1) 본 발명의 기판검사장치에 따르면 검사자는 눈에 가까운 위치에서 피검사기판의 매크로검사를 실시할 수 있기 때문에 편한 자세로 결함검사를 실시할 수 있어 기판홀딩수단이 어떠한 각도로 일으켜 세워져도 기판홀딩수단과 일체로 되어 위치좌표검출수단을 일으켜 세워지는 것으로 되기 때문에, 피검사기판을 어떠한 각도로 경사해도 항상 결함위치를 정확히 검지할 수 있다. 특히 대형의 피검사기판을 검사하는 경우, 빛과 투사부재를 결함부에 일치시키는 것으로 검사자로부터 멀리 떨어진 결함부에 대해서도 용이하게 위치정보를 꺼낼 수 있다. 또한 기판홀딩수단의 면적을 피검사기판의 면적과 대략 같은 크기로 고정할 수 있어 기판검사장치의 소형화를 실현할 수 있는 동시에 기판검사장치의 설치면적도 대폭으로 작게할 수 있다.

(2) 본 발명의 기판검사장치에 따르면 연결축을 통해 연결된 2개의 풀리가 동방향으로 회전하고, 2개의 벨트가 동방향으로 작동하기 때문에 2개의 이동수단이 동기하여 동방향으로 이동하며, 투사부재는 항상 평행한 상태를 유지하여 이동한다.

(3) 본 발명의 기판검사장치에 따르면 미크로관찰 때 투사부재를 피검사기판상으로부터 퇴피시키는 것으로 미크로관찰계가 투사부재에 충돌하는 일이 없다.

또한 본 발명은 상기 실시형태에만 한정되지 않고, 요지를 변경하지 않는 범위에서 적절히 변형하여 실시할 수 있다.

본 발명에 따르면 소형화를 실현할 수 있는 동시에 피검사기판에 대해 정밀도가 높은 결함검사를 효율 좋게 실시할 수 있는 기판검사장치를 제공할 수 있다.

Claims

피검사기판을 홀딩하는 직사각형상의 기판홀딩수단과,

이 기판홀딩수단을 소정각도까지 일으켜 세우는 구동수단과,

상기 기판홀딩수단에 상기 피검사기판 옆 가장자리의 적어도 직교하는 2방향을 따라서 설치되어 상기 피검사기판 상의 결함부의 위치 좌표를 검출하는 위치좌표 검출수단을 구비하며;

상기 위치좌표검출수단은,

상기 피검사기판의 옆 가장자리를 따라 2방향으로 설치된 1쌍의 제 1 가이드레일 및 제 2 가이드레일과,

상기 2방향 중 1방향에 설치된 상기 제 2 가이드레일을 따라서 이동가능하게 설치되고, 이 1방향과 같은 방향으로 빛을 사출하는 광원으로부터의 빛을 상기 피검사기판 방향으로 반사하는 반사부재와,

상기 피검사기판을 걸친 상태에서 상기 2방향 중 다른 방향에 설치된 1쌍의 가이드레일을 따라서 이동가능하게 설치되고, 상기 광원으로부터 사출된 빛이 투사되는 투사부재와,

상기 광원으로부터 사출된 광선과 상기 투사부재를 상기 결함부상에 위치하게 하고, 상기 가이드레일에 있어서의 상기 광원 및 상기 투사부재의 위치를 토대로 상기 결함부의 위치좌표를 검출하는 검출부를 구비한 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
제 1 항에 있어서,

상기 투사부재를 상기 1쌍의 제 1 가이드레일을 따라서 전동력으로 이동하는 2개의 이동수단을 구비하고,

상기 2개의 이동수단의 1개는 모터를 구비하며,

상기 각 이동수단은,

상기 모터의 구동에 의해 작동되는 2개의 풀리와 벨트로 이루어지고,

추가로 상기 각 이동수단의 1개의 풀리끼리를 연결하는 연결축을 구비한 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
제 1 항에 있어서,

상기 투사부재를 상기 1쌍의 제 1 가이드레일을 따라서 전동력으로 이동하는 2개의 이동수단을 구비하고,

상기 각 이동수단은,

상기 기판홀딩수단의 대향하는 2변의 각 측면을 따라서 설치되는 2개의 풀리와, 이들 풀리에 건너 걸쳐진 벨트로 이루어지며,

추가로 상기 각 이동수단의 1개의 풀리끼리를 연결하여 동기 회전시키는 연결축과,

이 연결축의 도중에 모터를 구비한 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 투사부재를 상기 피검사기판상으로부터 퇴피시키는 퇴피기구를 구비한 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 광원으로부터 사출되는 빛의 광축을 조정하는 조절수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
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