KR100891309B1 - 기판검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판검사장치에 관한 것으로, 그 목적은 조명과 디스플레이 일체형 헬멧과, 기판홀더의 구동장치를 조작할 수 있는 착용형 입력장치가 서로 연동되는 기판검사장치를 제공함에 있다.

본 발명은 기판에 빛을 조사하여 기판 표면의 이물 부착, 번짐 및 표면 흠집 등의 결함을 검사하는 장치로서, 검사대상인 평판 디스플레이 패널이 그 위에 안착되어 흡착 고정될 수 있는 공간을 제공하는 기판홀더와; 상기 기판홀더 양 측부를 지지하면서 기판홀더가 3차원내 전방향 자유도를 지니도록 다축 가동되며 베이스상에 설치되는 이동수단과; 상기 기판홀더의 배면부에서 기판홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 백라이트 유닛과; 상기 기판홀더의 전면부에서 기판홀더 상의 피검사 기판의 결함을 작업자가 조사하는 관측실과; 상기 관측실에서 작업자가 검사를 위해 착용하는 헬멧과; 상기 헬멧과 상기 이동수단을 조작가능하도록 연동하는 착용형 입력장치;를 포함하며, 상기 헬멧은, 상기 기판홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 조명장치와, 상기 기판홀더 상의 피검사 기판의 표면을 확인하며 구동시스템의 모니터가 디스플레이되는 안경부를 구비하여, 매크로검사와 요부 확대검사를 동시에 검사할 수 있는 기판검사장치에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.

매크로검사장치, 유리기판, FPD, 평판디스플레이패널, 헬멧.

Description

기판검사장치 {APPARATUS FOR INSPECTING FPD}

도 1 은 종래기술의 실시예에 따른 사용 예시도이고,

도 2 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 예시도이고,

도 3 은 본 발명에 따른 사용 예의 후면 예시도이며,

도 4 는 본 발명에 따른 착용형 입력장치와 헬멧의 확대도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 베이스 2 : 이동수단

3 : 기판홀더 4 : 백라이트유닛

5 : 관측실 6 : 착용형 입력장치

61 : 조이스틱 62 : 자판

7 : 헬멧 71 : 조명장치

711 : 램프 712 : 조명각도조절기

72 : 안경부 721 : 줌렌즈장치

722 : 화상표시기 8 : 기판

본 발명은 기판검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 조명과 디스플레이 일체형 헬멧과, 기판홀더의 구동장치를 조작할 수 있는 착용형 입력장치가 서로 연동되는 기판검사장치를 제공함에 있다.

본 발명은 액정디스플레이에 이용되는 대형 유리기판 표면을 관찰하여 결함 등을 검출하기 위한 평판 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것으로, 특히 3차원내의 전방향 자유도를 지녀 보다 다양한 각도에서 패널의 표면 결함을 검출할 수 있는 평판 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것이다.

CRT(Cathode Ray Tube, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 등은 TV나 PC의 모니터를 통하여 정보를 시각적으로 제공하는 영상 인터페이스 장치로서, 영상 정보를 디스플레이하는 원리는 다르지만 디스플레이를 실현시켜 주는 핵심부품의 하나로서 유리기판을 사용한다.

예로서, TFT(Thin Film Transistor) LCD 디스플레이를 제조하는 공정을 보면, 디스플레이에 사용되는 유리기판은 컷팅 및 액정 주입이 이루어지기 전에 블랙 매트릭스(BM) 공정, RGB 공정, ITO 공정을 거치는 데, 이 때 유리기판은 그 면상에 이물 부착, 번짐, 공정 불량 및 표면 흠집 등의 결함이 발생할 수 있다. 이러한 유리기판의 이물이나 번짐(얼룩) 및 표면 흠집 등은 TFT LCD디스플레이의 성능에 치명적 영향을 끼치므로 사전검사를 통해 철저히 검출/제거되어야만 한다. 이러한 유 리기판의 이물이나 얼룩 등을 찾아내는 장치가 유리기판 검사장치이다.

유리기판 검사장치는 일반적으로 육안으로 이물 등을 찾아내는 매크로(Macro) 검사장치와 현미경을 이용하여 불량 상태를 세밀하게 찾아내는 마이크로(Micro) 검사장치로 구분될 수 있다. 검사의 항목에 따라 매크로 검사와 마이크로 검사를 선택해야 하는 경우가 있기는 하지만, 작업자의 육안으로 유리기판 전체에 대하여 이물질 부착 등의 불량 상태를 선(先)검사하고, 매크로 검사 결과에 따라 세밀한 검사가 요구되는 부분에 대하여 대물렌즈 기준 약 20배 내지 50배로 확대하여 마이크로 검사를 수행하는 것이 보통이다.

일본 특개평 5-322783호에는 기판을 X-Y 방향 이동이 가능한 X-Y 스테이지에 홀딩시키고 이 X-Y 스테이지를 매크로 관찰 기능을 갖춘 매크로 관찰 시스템 및 마이크로 관찰 기능을 갖춘 마이크로 관찰 시스템 상으로 2차원 이동시켜 결함 검사를 수행하는 장치를 개시하고 있다. 이 장치는 비교적 소형의 유리기판을 검사하기에 적합한 장치로서 최근의 대형화 추세에 있는 예를 들어, 소위 8세대와 9세대의 유리기판의 표면 결함 검사에는 부적합한 문제가 있다.

대한민국 등록실용신안공보 20-0238929호(2001년 10월 08일 공고)에서는 "기판검사장치"라는 제목으로 선회가능한 스테이지와 조명수단을 갖는 기판검사장치를 개시하고 있다. 상기 등록실용신안공보 20-0238929호는 1축 방향으로 선회가능한 스테이지 상에 기판을 홀딩시킨 다음, 매크로 관찰시 스테이지를 선회시켜 경사지게 한 상태에서 장치의 상부에 설치된 광원으로부터 조사되는 조명광을 이용하여 매크로 관찰 검사를 수행하고, 마이크로 관찰시에는 스테이지를 수평하게 한 상태 에서 자체 조명이 구비된 마이크로 관찰 시스템을 스테이지 상에서 수평 이동시키며 검사를 수행한다. 이와 같은 검사장치는 다각도에서 기판 표면 불량 검사를 시행하므로 상기한 일본국 선행기술에 비해 보다 세밀한 관찰이 가능하다는 이점이 있다. 그러나, 스테이지 동선이 선회방향으로 한정되어 있어 보다 다양한 각도에서의 표면 결함 관찰이 불가능한 결점이 있다. 즉, 보다 세밀한 표면 이물 및 흠집등의 불량을 검출하기에는 그 기능상 한계가 있는 것이다.

도 1 은 대표적인 종래의 매크로검사장치로서, 기판을 파지하는 기판홀더(30)와, 기판홀더(30)를 다각축으로 방향을 구동하도록 하는 다관절로봇(20)과, 기판의 후면에 빛을 조사하는 백라이트유닛(40)과, 기판의 전면상부에서 빛을 조사하여 매크로검사의 육안검사를 용이하게 하는 조명부(700)와, 기판의 전면부에서 오퍼레이터가 육안검사를 실시하는 관측실(50)로 구성되어 있다.

이러한 매크로검사장치는 다관절로봇(20)의 복잡한 구조를 제작하고 설치함으로 다양한 각도를 연출하여 이상유무를 관측할 수 있지만 조작 메커니즘이 복잡하여 작업시 많은 고사양의 컴퓨터시스템을 요구하게 되며, 한번 설치된 대형 조명부(700)의 각도를 조절하는 것이 매우 번거롭고, 오퍼레이터가 관측실(50)에서 관측 후 컴퓨터 모니터 확인과 입력하고, 또, 다관절로봇(20)을 수시로 조작해야 하므로 다수의 오퍼레이터가 필요하게 되고, 오퍼레이터의 불필요한 작업요건이 많아지게 된다.

이러한 번거로운 여러작업은 FPD 기판의 검사를 위해 필수 불가결하게 발생 한다.

또한, 조명부(700)는 전체적인 검사장치중 가장 높이 설치되어 공간적 낭비로 인해 공간적 활용성을 크게 손실한다.

그리고, 조명부(700)에 구비된 다수개의 조명들이 일사불란하게 조명각도를 조절하는 조절장치를 필요로 하게 되고, 그에 따른 구동에 의해 조명에 쌓인 먼지가 기판에 낙하함으로 그로 인해 오히려 기판에 오염을 발생시키는 일도 발생한다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 그 목적은 조명장치의 위치이동과 공간활용성을 증대하며, 조명각도와 유동성을 높이고, 모니터를 즉각적으로 확인하며, 기판의 위치와 각도를 조절하는 관절로봇을 단순화하여 관절로봇의 조작을 일률적으로 편리하게 하고, 오퍼레이터가 매크로검사의 국소부위 확대를 수시로 변경하며 검사가 가능한 기판검사장치를 제공함에 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은 기판에 빛을 조사하여 기판 표면의 이물 부착, 번짐 및 표면 흠집 등의 결함을 검사하는 장치로서, 검사대상인 평판 디스플레이 패널이 그 위에 안착되어 흡착 고정될 수 있는 공간을 제공하는 기판홀더와; 상기 기판홀더 양 측부를 지지하면서 기판홀더가 3차원내 전방향 자유도를 지니도록 다축 가동되며 베이스상에 설치되는 이동수단과; 상기 기판홀더의 배면부에서 기판홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 백라이트 유닛과; 상기 기판홀더의 전면부에서 기판홀더 상의 피검사 기판의 결함을 작업자가 조사하는 관측실과; 상기 관측실에서 작업자가 검사를 위해 착용하는 헬멧과; 상기 헬멧과 상기 이동수단을 조작가능하도록 연동하는 착용형 입력장치;를 포함하며, 상기 헬멧은, 상기 기판홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 조명장치와, 상기 기판홀더 상의 피검사 기판의 표면을 확인하며 구동시스템의 모니터가 디스플레이되는 안경부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치에 의해 달성된다.

또한, 상기 조명장치는 넓은면에 균일하게 빛을 내는 면광원 램프와, 기판 표면에 조사되는 빛의 각도를 조절하는 조명각도조절기가 구비될 수 있다.

또한, 상기 램프는 메탈 할로이드 램프 또는 LED로 구비될 수 있다.

또, 상기 안경부는 상기 기판홀더 상의 피검사 기판의 표면을 확대관찰하는 줌렌즈장치와, 상기 줌렌즈장치에 결합되어 구동 상 시스템의 작업상태를 도시하는 화상표시기로 구비될 수 있다.

또한, 상기 착용형 입력장치는 구동장치를 조작시켜 기판의 방향을 다각으로 구동시키는 조이스틱과, 컴퓨터시스템에 송신가능한 자판이 구비될 수 있다.

또, 상기 이동수단은 상기 베이스 상에 설치되어 상기 기판홀더의 양측부를 지지하면서 횡축으로 회전시키는 횡축회전부와, 상기 횡축회전부를 상하로 오르내리도록 구동하는 승강기둥부와, 상기 승강기둥부가 전후로 구동되도록 하는 전후구동부로 구비될 수 있다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.

들어가기에 앞서, 본 발명을 설명하는데 있어서, 그 실시 예가 상이하더라도 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조번호를 사용하고, 필요에 따라 그 설명을 생략할 수 있다.

도 2 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 예시도이고, 도 3 은 본 발명에 따른 사용 예의 후면 예시도이며, 도 4 는 본 발명에 따른 착용형 입력장치와 헬멧의 확대도이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명은 베이스(1), 이동수단(2), 기판홀더(3), 백라이트유닛(4), 관측실(5), 착용형 입력장치(6), 헬멧(7)을 포함한다.

베이스(1)는 기본설치구조물로서, 각 구성물의 골조를 이루며 상기 이동수단(2)을 지지하는 바닥면으로도 이루어진다.

이동수단(2)은 상기 베이스(1) 상에 설치되어 상기 기판홀더(3)의 양측부를 지지하면서 횡축으로 회전시키는 횡축회전부(21)와, 상기 횡축회전부(21)를 상하로 오르내리도록 하는 승강기둥부(22)와, 상기 승강기둥부(22)가 전후로 구동되도록 하는 전후구동부(23)으로 구성되어, 기판(8)이 설치된 상기 기판홀더(3)가 3차원 전방향으로 다축 가동할 수 있다.

기판홀더(3)는 상기 이동수단(2)에 설치되어 다축으로 가동되며 검사 기판(8)을 파지한다.

백라이트유닛(4)은 상기 기판홀더(3)의 후면부에 설치되어 상기 기판홀더(3)에 파지된 기판(8)에 빛을 조사한다.

관측실(5)은 상기 기판홀더(3)의 전면부에 구비되어 오퍼레이터가 상기 기판(8)의 얼룩을 관측할 수 있는 작업공간으로서 발판 등이 구비된다.

또한, 관측실(5) 일측에 제어장치(51)가 구비되어 이동수단(2)과 착용형 입력장치(6)가 연동할 수 있도록 제어한다.

상기 제어장치(51)는 통상 컴퓨터시스템을 지칭하는 것으로 기존의 매크로 검사장치의 제어시스템을 지향하므로 그에 따른 상세한 설명은 생략한다.

또, 제어장치(51)는 작업의 자유로운 공간활용성을 높이기 위해 무선 송수신기가 더 구비될 수 있다.

착용형 입력장치(6)는 오퍼레이터가 착용하여 상기 이동수단(2)이 조작되도 록 연동한다.

착용형 입력장치(6)는 적어도 두 개 이상의 손가락들 끝부분에 각각의 하나씩 센서들이 구비되고, 장갑을 낀 사용자의 손가락 움직임에 따른 장갑의 형태 혹은 위치의 변화와 그로 인해 적어도 하나 이상의 접촉면들에서 감지되는 압력의 정도를 감지하여 소정의 감지신호를 출력하며, 상기 센서들 중 적어도 하나는 방향의 인식을 위한 센서조각들로 이루어진 장갑형 데이터 입력장치를 사용할 수 있다.

상기 착용형 입력장치(6)는 한국특허공보 10-0446531, 한국특허공보 10-0498713 에서 기술된 바과 같이 손가락의 움직임 또는 입력점들의 센서 입력으로 조작신호를 보내는 센서가 구비된 장갑형 조작장치로 구비될 수 있다.

또한, 착용형 입력장치(6)는 도 4에 도시된 바와 같이, 조이스틱(61)과, 자판(62)을 구비할 수 있다.

여기서, 조이스틱(61)은 상기 이동수단(2)의 다축으로 가동하도록 조작할 수 있고, 자판(62)은 검사장치와 연계된 컴퓨터시스템을 작동하도록 송신기(도시되지 않음)를 구비한다.

헬멧(7)은 도 4에 도시된 바와 같이, 조명장치(71)와, 안경부(72)를 일체형으로 포함한다.

조명장치(71)는 빛을 조사하는 램프(711)와, 램프(711)의 조사범위 또는 조사각도를 조절하는 조명각도조절기(712)가 구비되어 있다.

상기 램프(711)는 면광원램프(FFL : Flat Florescent Lamp)를 사용하는 것이 바람직하다.

면광원램프는 넓은 면에서 균일하게 빛을 내는 광원을 내는 램프로서, 메탈등이나, 브렌디드 램프 또는 LED 등이 있다.

상기 램프(711)는 면광원램프로서, 메탈할라이드 램프(Metal Halide Lamps)를 사용하는 것이 바람직하다.

안경부(72)는 망원줌 조절이 가능한 줌렌즈장치(721)와, 컴퓨터시스템상의 모니터 역할을 하는 화상표시기(722)가 서로 결합하여 구비되어 있다.

상기 안경부(72)는 헬멧(7)과 탈부착 될 수 있다.

상기 안경부(72)와 헬멧(7)의 탈착관계는 통상적인 회전결합 또는 힌지결합으로 이루어질 수 있으며, 그에 따른 상세한 설명은 생략한다.

상기 안경부(72)는 상기 헬멧(7)에 연결되는 상단면에 힌지(도시되지 않음)로 인해 상향으로 젖혀질 수 있다.

상기 안경부(72)는 헬멧(7)과 결합되지 않고, 개별적으로 착용가능 할 수 있다.

상기 제어장치(51)는 상기 안경부(72)의 줌렌즈장치를 통해 입력되는 화상을 수신하고, 그에 따른 데이터와 착용형 입력장치(6)에 의해 작동되는 이동수단(2)의 구동상태의 모니터를 상기 화상표시기(722)에 출력하도록 제어한다.

이하 본 발명의 실시 예에 의한 작용을 첨부도면과 연계하여 설명하면 다음과 같다.

FPD 기판(8) 표면의 결함 유무를 검사하는 매크로검사장치에 있어서, 본 발명은 기판(8)를 파지하는 기판홀더(3)와, 베이스(1)에 설치되어 전방향으로 상기 기판홀더(3)를 구동시키는 이동수단(2)과, 상기 기판(8) 후면에 빛을 조사하는 백라이트유닛(4)과, 상기 기판(8) 전면에 결함 유무를 육안으로 검사하는 오퍼레이터가 작업하는 공간인 관측실(5)을 포함하고 있다.

여기서, 이동수단(2)은 횡축회전부(21)로 기판홀더(3)를 횡축으로 회전시키고, 승강기둥부(22)로 상하조절이 가능하며, 전후구동부(23)로 기판(8)의 앞뒤 위치를 조정할 수 있다.

상기 이동수단(2)은 착용형 입력장치(6)에 구비된 조이스틱(61)을 통해 구동할 수 있다.

그리고, 착용형 입력장치(6)에 구비된 자판(62)을 통해 컴퓨터시스템의 작업을 일률적으로 작업내용을 입력하여 전송할 수 있다.

본 발명은 도 1에 도시된 바와 같이, 기존의 매크로검사장치에서 기판(8)의 전면 상부에서 조사하던 조명부(700) 대신에 오퍼레이터가 착용한 헬멧(7)에 구비된 조명장치(71)에 의해 기판(8) 전면에 빛을 조사한다.

이때, 도 1의 다관절 로봇(20)과 같은 복잡한 구동장치 대신에 오퍼레이터가 헬멧(7)을 회전시키거나 몸을 움직이므로 다양한 각도로 빛을 조사하며 기판(8)을 관측함으로 효율적인 관측을 요한다.

또한, 헬멧(7)에 구비된 안경부(72)의 줌렌즈장치(721)로 기판(8) 요부를 확대하여 표면과 이면을 검사하므로 즉각적인 확대검사장치로서 사용할 수 있다.

이때, 줌렌즈장치(721)로 입력된 영상을 컴퓨터시스템에 전송함에 따라 더욱 세밀한 관측이 가능하다.

그리고, 안경부(72)에 줌렌즈장치(721)와 연동하여 설치된 화상표시기(722)로 실시간으로 작업의 모니터상황을 확인할 수 있다.

여기서, 상기 화상표시기(722)를 통해 작업 상황을 확인하며, 상기 자판(62)을 통해 입력하여 기판검사와 동시에 실시간으로 컴퓨터 작업을 일률적으로 할 수 있다.

그리고, 상기 화상표시기(722)와 줌렌즈장치(721)는 안경부(72) 내에서 순차적으로 영상투시내용을 확인할 수 있도록 상호 호환하여 사용할 수 있다.

이러한 작업을 통해, 헬멧(7)의 자유 구동성으로 다양한 각도로 조명장치(71)로 빛을 조사하며, 헬멧(7)의 안경부(72)를 통해 실시간으로 매크로검사와 극부확대 검사를 동시다발적으로 관측할 수 있으며, 착용형 입력장치(6)로 이동수단(2)을 구동하여 즉각적으로 기판(8)의 각도와 위치를 조정할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져 서는 아니 된다. 따라서 상기에서 설명한 것 외에도 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 사람은 본 발명의 실시 예에 대한 설명만으로도 쉽게 상기 실시 예와 동일 범주 내의 다른 형태의 본 발명을 실시할 수 있거나, 본 발명과 균등한 영역의 발명을 실시할 수 있을 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명은 헬멧의 자유 구동성으로 인해 다양한 각도로 조명장치를 이용하여 빛을 조사하며, 줌렌즈장치로 극소부위를 동시 다발적으로 확대관측함으로 여러가지 작업을 동시에 하므로 다양한 구성과 구동관계가 줄어들고, 복잡한 관절로봇을 요구하지 않아 검사시간이 단축하는 효과가 있다.

또한, 착용형 입력장치로 이동수단을 조작하므로 이중작업으로 인한 작동작업이 필요치 않으며, 착용형 입력장치의 자판과 화상표시기로 컴퓨터시스템과의 즉각적인 검사 상태 내용확인과 조작입력이 가능하여 작업자의 업무능률을 높여 실효성이 증가하는 효과가 있다.

또한, 극소부위 확대 재검사장치가 필요없어 검사시간과 비용이 절감되는 효과가 있다.

Claims (16)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 삭제
8. 삭제
9. 삭제
10. 기판에 빛을 조사하여 기판 표면의 이물 부착, 번짐 및 표면 흠집 등의 결함을 검사하는 장치로서,

    검사대상인 평판 디스플레이 패널이 그 위에 안착되어 고정될 수 있는 공간을 제공하는 기판홀더;

    상기 기판홀더 양 측부를 지지하면서 기판홀더가 3차원내 전방향 자유도를 지니도록 다축 가동되며 베이스상에 설치되는 이동수단;

    상기 기판홀더의 배면부에서 기판홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 백라이트 유닛;

    상기 이동수단의 동작을 제어하는 제어장치;

    작업자가 검사를 위해 착용하며 상기 기판홀더 상의 검사대상인 기판으로 빛을 조사하는 조명장치를 구비하는 헬멧;

    상기 제어장치의 입력수단으로서 작업자가 착용할 수 있는 형태를 갖는 착용형 입력장치; 및

    상기 기판홀더 상의 검사대상인 기판의 표면을 확인하기 위해 작업자가 착용하며, 상기 기판홀더 상의 피검사 기판의 표면을 확대관찰하는 줌렌즈장치와,

    상기 줌렌즈장치에 결합되어 구동 상 시스템의 작업상태를 도시하는 화상표시기로 구비되어 제어장치의 출력이 디스플레이되는 안경부

    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 조명장치는 넓은면에 균일하게 빛을 내는 면광원 램프와, 기판 표면에 조사되는 빛의 각도를 조절하는 조명각도조절기가 구비된 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
12. 제 11 항에 있어서,

    상기 램프는 메탈 할로이드 램프 또는 LED로 구비된 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
13. 삭제
14. 제 10 항에 있어서,

    상기 착용형 입력장치는 손가락에 구비된 센서로 데이터가 입력되는 조작글러브인 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
15. 제 10 항에 있어서,

    상기 착용형 입력장치는 구동장치를 조작시켜 기판의 방향을 다각으로 구동시키는 조이스틱과, 컴퓨터시스템에 송신가능한 자판이 구비된 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
16. 제 10 항에 있어서,

    상기 이동수단은 상기 베이스 상에 설치되어 상기 기판홀더의 양측부를 지지하면서 횡축으로 회전시키는 횡축회전부와,

    상기 횡축회전부를 상하로 오르내리도록 구동하는 승강기둥부와,

    상기 승강기둥부가 전후로 구동되도록 하는 전후구동부로 구비된 것을 특징으로 하는 기판검사장치.

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