KR20090078520A - 기판 지지기구 및 이를 구비한 기판 검사장치 - Google Patents

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KR20090078520A
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Abstract

본 발명은 기판의 외관을 검사하는 기판 검사장치에 관한 것으로서, 공급되는 기판의 크기에 맞게 가변 되도록 기판 지지기구를 구성하여 기판의 크기에 상관없이 견고히 고정 및 지지할 수 있는 기판 지지기구 및 이를 구비한 기판 검사장치에 관한 것이다.
기판 지지기구, 기판 검사장치. 지지바, 고정바, 슬릿홈, 탄성체

Description

기판 지지기구 및 이를 구비한 기판 검사장치{DEVICE FOR SUPPORTING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE WITH IT}
본 발명은 기판의 외관을 검사하는 기판 검사장치에 관한 것으로서, 공급되는 기판의 크기에 맞게 가변 되도록 기판 지지기구를 구성하여 기판의 크기에 상관없이 견고히 고정 및 지지할 수 있는 기판 지지기구 및 이를 구비한 기판 검사장치에 관한 것이다.
최근 디스플레이에 대한 관심이 고조되고, 휴대가 가능한 정보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서 기존의 표시장치인 브라운관(CRT, Cathode Ray Tube)을 대체하는 경량 박막형 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)에 대한 연구 및 상업화가 활발히 이루어지고 있다.
이러한 평판표시장치는 사용되는 물질을 기준으로 하여 무기물을 사용하는 소자와 유기물을 사용하는 소자로 구분된다. 무기물을 사용하는 소자에는 형광체로 PL(Photo Luminescence)을 이용하는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel)과 CE(Cathode Luminescence)를 이용한 전계방출 표시소자(FED, Field Emission Display) 등이 있고, 유기물을 사용하는 소자에는 액정표시소자(LCD, Liquid Crystal Display) 및 유기발광 표시소자(OLED, Organic Light Emitting Display) 등이 있다.
상기와 같은 평판표시장치는 상하판의 한 쌍의 유리기판에 전극, 유전체, 형광체 등을 형성하여 합착한 후 액정 또는 가스 등을 주입함으로써 제조된다. 이러한 유리기판에 도포되는 레지스트의 막 불균일이나 패턴의 결함, 먼지 등의 부착유무를 검사하여 불량으로 판단되는 유리기판을 재작업 또는 폐기함으로써, 평판표시장치의 불량율을 낮출 수 있다. 이러한 기판 검사는 기판을 고정하여 지지할 수 있는 기판 지지기구를 이용하여 작업자가 육안으로 관찰하기에 적합한 각도로 기판을 회전시킨다. 그리고, 기판 표면 또는 후방으로부터 전방을 향해 조명광을 조사하고, 기판으로부터의 반사광 또는 투사광을 작업자가 육안으로 관찰하여 비정상적인 반사광을 검지함으로써 행해진다. 한편, 작업자의 육안 검사 대신에 카메라 또는 광센서 등을 설치하여 반사광을 촬영 또는 집광함으로써 기판의 불량 여부를 검사하기도 한다.
또한, 평판표시장치는 반조립된 상하판의 유리기판이 압착된 패널에 액정 또는 유기물 등을 주입한 후 백라이트 등의 표시장치를 설치하기 위한 조립공정 또는 불량 요인의 수리공정 등이 진행될 때, 패널의 점등 상태를 테스트하는 소정의 점등 상태 검사 공정을 진행한다. 그에 따라 항상 일정 수준 이상의 점등 상태를 유지하는 양질의 제품만 출하되도록 하고 있다.
상기 액정표시장치의 패널 검사 과정은 일반적으로 패널 지지기구에 검사용 패널이 공급되면, 작업자가 육안으로 관찰하기에 적합한 각도로 패널 지지기구를 회전시키고, 패널에 전기신호를 인가하여 백라이트가 점등되면 패널을 통해 외부로 그 빛이 발산된다. 이 과정에서 작업자가 패널을 육안으로 관찰하면서 패널의 전체적인 색상, 불량 화소율 등을 확인하여 패널의 양부를 판정하게 된다.
도 1은 종래의 기판 검사장치를 도시한 구성도로서, 기판 지지기구(10), 상방 조명기구(20) 및 후방 조명기구(30)로 구성된다.
먼저, 상방 조명기구(20)는 기판 지지기구(10)의 상방에 설치되어 기판(1) 표면상에 결함이 있는지 여부를 검사하기 위하여 기판(1) 표면에 광을 조사하는 역할을 하며, 광원부(21), 반사부(22), 집광부(23), 산란부(24)로 구성된다. 광원부(21)에서 광을 조사하고, 반사부(22)에서 광을 반사하여 집광부(23)에서 집광한다. 산란부(24)는 전원의 인가 여부에 따라 광을 그대로 통과시키거나 산란시켜서 기판 검사를 하는 작업자의 기판 검사를 용이하게 한다.
후방 조명기구(30)는 기판 지지기구(10)의 후방에 설치되어 기판(1)의 내부 결함 여부를 검사하기 위하여 기판(1) 후면에서 투과 조명을 조사하는 역할을 한다. 이러한 후방 조명기구(30)는 조명부(31) 및 이동부(32)로 구성되어 조명부(31)에서 투과 조명을 발생시키고, 이동부(32)에 의해 조명부(31)를 전후 방향으로 구동시킨다.
기판 지지기구(10)는 공급된 기판(1)을 고정 및 지지하는 역할을 하는 것으로서, 전방에서 기판(1)을 검사하는 작업자가 용이하게 기판을 바라볼 수 있도록 회전 가능하게 설치된다.
도 2는 종래의 기판 지지기구를 도시한 사시도로서, 기판 지지기구(10)는 사각틀 형상의 프레임(11)과, 상기 프레임(11) 상에 설치되어 공급된 기판(1)의 둘레를 고정하여 지지하는 지지틀(12)로 구성된다. 상기 기판 지지기구(10)를 구성하는 지지틀(12)은 공급되는 기판(1)의 크기에 대응되도록 상이한 규격으로 다수개 준비하여 두고, 각각의 크기에 맞는 지지틀(12)을 상기 프레임(11)에 장착하여 기판 검사를 수행한다.
그러나, 상기 종래의 기판 지지기구는 공급되는 기판(1)의 크기에 따라 지지틀(12)을 교체해야 하고, 상이한 크기의 지지틀(12)을 프레임(11)에 설치하기 위하여 프레임(11) 또는 지지틀(12)에 또 다른 구성요소를 부가해야 하며, 각각의 지지틀(12)을 보관하거나 프레임(11)에 조립 또는 분해시키기 위한 시간 및 노력 등이 소요되어 여러 가지 크기의 기판(1)에 대한 신속한 검사가 어렵다는 문제가 있다.
상기와 같이 종래기술에 따른 기판 지지기구는, 기판의 크기에 따라 지지틀을 교체해야 하므로 많은 시간이 소요되고, 여러 가지 크기의 지지틀을 구비해야 하므로 제작 원가의 상승을 가져오며, 비효율적인 기판 검사를 수행하게 되는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명의 목적은, 공급되는 기판의 크기에 맞게 가변 되도록 기판 지지기구를 구성하여 기판의 크기에 상관없이 견고히 고정 및 지지할 수 있어 효율적인 기판 검사를 수행할 수 있는 기판 지지기구 및 이를 구비한 기판 검사장치를 제공하는 데 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 기판 지지기구는, 한 쌍의 세로빔 및 가로빔으로 구성된 사각틀 형상의 프레임과, 상기 한 쌍의 세로빔의 상방에 서로 대응되게 각각 위치하고, 각각의 양단이 상기 한 쌍의 가로빔을 따라 슬라이드 가능하게 각각 설치되어 서로 근접하거나 멀어지도록 이동하는 한 쌍의 세로 지지바와, 상기 한 쌍의 가로빔의 상방에 서로 대응되게 각각 위치하고, 각각의 양단이 상기 한 쌍의 세로빔을 따라 슬라이드 가능하게 각각 설치되어 서로 근접하거나 멀어지도록 이동하는 한 쌍의 가로 지지바와, 상기 한 쌍의 세로 지지바의 상 부에 각각 돌출 형성되어 공급되는 기판의 세로 측면을 각각 접촉 고정시키는 한 쌍의 세로 고정바와, 상기 한 쌍의 가로 지지바의 상부에 각각 돌출 형성되어 공급되는 기판의 가로 측면을 각각 접촉 고정시키는 한 쌍의 가로 고정바를 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 한 쌍의 세로 고정바 및 가로 고정바 각각은, 상기 기판의 측면과 각각 접촉되는 면에 상기 기판의 측면이 삽입 고정되도록 슬릿홈이 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 한 쌍의 세로 고정바 및 가로 고정바 각각은, 상기 기판의 측면과 각각 접촉되는 면에 탄성체가 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 한 쌍의 가로 고정바 각각은, 양측단이 절곡되어 상기 기판의 각 모서리를 접촉 고정시킬 수 있고, 중앙을 중심으로 두 개의 하프 고정바로 분리되어 각각이 상기 가로 지지바의 상부에 서로 근접하거나 멀어지도록 슬라이드 가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명에 따른 기판 검사장치는, 공급되는 기판을 고정 및 지지하는 기판 지지기구와, 상기 기판 지지기구의 상방에 설치되어 상기 기판 표면에 광을 조사하는 상방 조명기구와, 상기 기판 지지기구의 후방에 설치되어 상기 기판의 후면에서 투과 조명을 조사하는 후방 조명기구로 구성된 기판 검사장치에 있어서, 상기 기판 지지기구는, 한 쌍의 세로빔 및 가로빔으로 구성된 사각틀 형상의 프레임과, 상기 한 쌍의 세로빔의 상방에 서로 대응되게 각각 위치하고, 각각의 양단이 상기 한 쌍의 가로빔을 따라 슬라이드 가능하게 각각 설치되어 서로 근접하거나 멀어지도록 이동하는 한 쌍의 세로 지지바와, 상기 한 쌍의 가로빔의 상방에 서로 대응되게 각각 위치하고, 각각의 양단이 상기 한 쌍의 세로빔을 따라 슬라이드 가능하게 각각 설치되어 서로 근접하거나 멀어지도록 이동하는 한 쌍의 세로 지지바와, 상기 한 쌍의 세로 지지바의 상부에 각각 돌출 형성되어 공급되는 기판의 세로 측면을 각각 접촉 고정시키는 한 쌍의 세로 고정바와, 상기 한 쌍의 가로 지지바의 상부에 각각 돌출 형성되어 공급되는 기판의 가로 측면을 각각 접촉 고정시키는 한 쌍의 가로 고정바를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 지지기구는, 프레임 상에서 세로 지지바 및 가로 지지바가 슬라이드 이동하면서 세로 고정바 및 가로 고정바를 이용하여 공급되는 기판의 크기에 상관없이 용이하게 기판을 고정 및 지지할 수 있다.
또한, 세로 고정바 및 가로 고정바에 슬릿홈 또는 탄성체를 형성하여 기판을 더욱 견고히 고정 및 지지할 수 있다.
또한, 가로 고정바의 양측단을 절곡하여 기판의 각 모서리을 접촉 고정시킬 수 있고, 이 경우 두개의 하프 고정바로 분리하여 슬라이드 이동하면서 대면적을 가지는 기판의 고정 및 지지도 용이하게 수행할 수 있다.
한편, 상기와 같은 기판 지지기구를 구비한 본 발명의 기판 검사장치는, 기 판의 크기에 상관없이 견고히 기판을 고정 및 지지할 수 있으므로 제조원가의 감소 및 신속한 검사의 수행과 더불어 효율적인 기판 검사를 수행할 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 본 발명에 따른 기판 지지기구 및 이를 구비한 기판 검사장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 지지기구의 일 실시예를 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3의 실시예의 평면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 기판 지지기구의 다른 실시예를 도시한 사시도이고, 도 6은 도 5의 실시예의 평면도이며, 도 7 내지 도 9는 도 5의 실시예에 따라 크기가 다른 각각의 기판을 지지하고 있는 상태를 도시한 사용 상태도이다.
본 발명에 따른 기판 지지기구는, 도 3 내지 6에 도시된 바와 같이 프레임(100), 세로 지지바(200), 가로 지지바(300), 세로 고정바(400) 및 가로 고정바(500)를 포함하여 이루어진다.
프레임(100)은 사각틀 형상으로서, 한 쌍의 세로빔(120) 및 가로빔(130)으로 구성된다. 프레임(100)은 후술할 각종 구성요소가 취부되므로 견고히 제작되어야 한다. 프레임(100)을 고정하여 작업자가 움직임으로써 기판(1)을 검사할 수도 있으나, 프레임(100)을 회전 가능하게 설치함으로써 작업자가 고정된 상태로 기판(1)을 검사할 수도 있다. 작업자의 편의를 위하여 프레임(100)을 상하 또는 좌우로 회전 가능하게 설치하는 것이 바람직할 것이다.
세로 지지바(200)는 한 쌍이 구비되어 상기 한 쌍의 세로빔(120)의 상방에 서로 대응되게 각각 위치하고, 각각의 양단이 상기 한 쌍의 가로빔(130)을 따라 슬라이드 가능하게 각각 설치되어 서로 근접하거나 멀어지도록 이동한다. 즉, 세로 지지바(200)는 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 프레임(100)을 구성하는 한 쌍의 세로빔(120)의 상방에 각각 위치하는데, 세로지지바(200)와 세로빔(120)은 서로 평행하게 위치한다. 상기 한 쌍의 세로 지지바(200)는 각각의 양단이 프레임(100)을 구성하는 한 쌍의 가로빔(130)을 따라 슬라이드 가능하게 설치됨으로써, 서로 근접하거나 멀어지도록 이동한다.
상기 한 쌍의 세로 지지바(200)는 세로 구동부(미도시)에 의하여 슬라이드 구동된다. 세로 구동부는 상기 한 쌍의 세로 지지바(200)가 상기 한 쌍의 가로빔(130)을 따라 슬라이드 이동하도록 구동시키면 족하므로 어떠한 구성이든 상관없다. 예컨대, 일반적인 회전모터를 이용하여 랙 앤 피니언 구동 또는 볼스크류 구동에 따라 회전모터의 회전 운동을 직선운동으로 바꾸어주는 기구 등을 이용할 수 있다. 다만, 세로 구동부는 간단한 구성으로 신속, 고정밀 제어를 이루어낼 수 있는 리니어 모터를 사용하는 것이 바람직할 것이다. 이러한 세로 구동부는 상기 프레임(100)을 구성하는 한 쌍의 가로빔(130) 내부에 설치될 수 있고, 프레임(100)의 상부에 설치될 수도 있다.
가로 지지바(300)는 한 쌍이 구비되어 상기 한 쌍의 가로빔(130)의 상방에 서로 대응되게 각각 위치하고, 각각의 양단이 상기 한 쌍의 세로빔(120)을 따라 슬 라이드 가능하게 각각 설치되어 서로 근접하거나 멀어지도록 이동한다. 가로 지지바(300)의 구성 및 작동은 상기 세로 지지바(200)와 대동소이하며, 다만 세로 지지바(200)와 가로 지지바(300)의 슬라이드 이동 방향이 서로 직교할 뿐이다. 한편, 도면에서는 가로 지지바(300)가 세로 지지바(200)의 상방에 위치하여 서로 간섭되지 않도록 구성하고 있으나, 반대로 세로 지지바(200)가 가로 지지바(300)의 상방에 위치하도록 구성할 수도 있다.
상기 한 쌍의 가로 지지바(300)는 가로 구동부(미도시)에 의하여 슬라이드 구동되는데, 가로 구동부 역시 상기 세로 구동부와 대동소이하며, 다만, 세로 지지바(200)를 구동시키느냐 가로 지지바(300)를 구동시키느냐에 따른 설치 위치의 차이가 있을 뿐이다.
제어부(미도시)는 도 7 내지 9에 도시된 바와 같이, 공급되는 기판(1)의 크기에 따라 상기 세로 구동부 및 가로 구동부를 작동시킨다. 후술하겠지만, 세로 지지바(200) 및 가로 지지바(300)의 상부에는 세로 고정바(400) 및 가로 고정바(500)가 돌출 형성되어 공급되는 기판(1)의 세로 및 가로 측면을 접촉 고정시키게 된다. 따라서, 세로 지지바(200) 및 가로 지지바(300)의 슬라이드 이동에 따라 세로 고정바(400) 및 가로 고정바(500) 역시 함께 이동하면서 기판(1)을 고정시키는 것이다. 결국, 기판(1)의 크기에 따라 기판(1)을 고정 및 지지하기 위하여 세로 지지바(200) 및 가로 지지바(300)를 슬라이드 이동시켜야 하고, 이를 위하여 제어부는 공급되는 기판(1)의 크기에 따라 상기 세로 구동부 및 가로 구동부를 작동시키는 것이다.
세로 고정바(400)는 한 쌍이 구비되고, 상기 한 쌍의 세로 지지바(200)의 상부에 각각 돌출 형성되어 공급되는 기판(1)의 세로 측면을 각각 접촉 고정시킨다. 또한, 가로 고정바(500) 역시 한 쌍이 구비되고, 상기 한 쌍의 가로 지지바(300)의 상부에 각각 돌출 형성되어 공급되는 기판(1)의 가로 측면을 각각 접촉 고정시킨다. 즉, 상기 세로 지지바(200) 및 가로 지지바(300)가 프레임(100)의 가로 또는 세로 방향을 따라 슬라이드 이동하면, 상기 세로 고정바(400) 및 가로 고정바(500) 역시 상기 지지바(200)(300)를 따라 이동하게 된다. 결국, 공급되는 기판(1)의 크기에 따라 상기 지지바(200)(300)가 이동하면서 상기 세로 고정바(400) 및 가로 고정바(500)는 기판(1)의 세로 및 가로 측면을 접촉하여 고정시키게 되는 것이다.
상기 세로 및 가로 고정바(400)(500)가 기판(1)의 측면을 각각 접촉 고정하게 되면, 기판(1)이 미끄러져 고정이 해제될 우려가 있으므로 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 고정바(400)(500) 각각의 상기 기판(1)의 측면과 각각 접촉되는 면에 상기 기판(1)의 측면이 삽입 고정되도록 슬릿홈(510)을 형성시킬 수 있다. 그에 따라, 기판(1)의 측면이 상기 고정바(400)(500)에 삽입 고정됨으로써 더욱 견고하게 기판(1)을 지지할 수 있게 된다. 또한, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 세로 및 가로 고정바(400)(500) 각각의 상기 기판(1)의 측면과 각각 접촉되는 면에 탄성체(520)를 형성함으로써, 기판(1)의 측면이 탄성체(520)를 파고들어 견고히 고정될 수 있다. 이 경우, 상기 탄성체(520)를 고무재질과 같이 마찰력이 큰 재질을 사용함으로써 세로 및 가로 고정바(400)(500)로부터 기판(1)이 쉽게 미끄러지지 않게 고정 및 지지할 수 있다.
한편, 대면적의 기판(1)을 고정 및 지지하기 위해서는 대면적의 기판(1)의 측면과 함께 각 모서리를 고정 및 지지함으로써, 보다 견고히 기판(1)을 지지할 수 있을 뿐 아니라 기판(1)의 정렬도를 더욱 높일 수 있다. 이를 위하여 도 5 내지 8에 도시된 바와 같이, 상기 한 쌍의 가로 고정바(500) 각각은, 양측단이 절곡되어 상기 기판(1)의 각 모서리를 접촉 고정시킬 수 있고, 중앙을 중심으로 두 개의 하프 고정바(550)로 분리되어 각각이 상기 가로 지지바(300)의 상부에 서로 근접하거나 멀어지도록 슬라이드 가능하게 설치된다. 다만, 도 9에서는 소면적의 기판(1)이 공급되는 경우인데, 소면적의 기판(1)은 세로 및 가로 측면만을 고정하더라도 쉽게 고정이 되므로 각 모서리를 고정시키지 않아도 무방한 것이다. 이 경우, 상기 하프 고정바(500)를 슬라이드 구동시키기 위하여 하프 구동부가 설치되며, 하프 구동부(미도시)의 구성 및 작동은 상기 세로 구동부 및 가로 구동부와 대동소이하므로 그 상세한 설명은 생략한다.
한편, 본 발명에 따른 기판 검사장치는, 상기 설명한 본 발명의 기판 지지기구와 함께 도 1에 도시된 상방 조명기구(20) 및 후방 조명기구(30)를 포함하여 이루어진다. 본 발명의 기판 검사장치에 있어서, 상기 기판 지지기구는 도 3에 도시된 바와 같이 프레임(100), 세로 지지바(200), 가로 지지바(300), 세로 고정부(400) 및 가로 고정부(500)를 포함하여 이루어진다. 상기 기판 지지기구를 이루는 각각의 구성요소에 대한 설명은 상기 본 발명의 기판 지지기구와 중복되고, 상방 조명기구(20) 및 후방 조명기구(30)에 대한 설명은 종래 기술로 구현 가능하므 로 그 상세한 설명은 생략한다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
도 1은 종래의 기판 검사장치를 도시한 구성도이고,
도 2는 종래의 기판 지지기구를 도시한 사시도이며,
도 3은 본 발명에 따른 기판 지지기구의 일 실시예를 도시한 사시도이고,
도 4는 도 3의 실시예의 평면도이며,
도 5는 본 발명에 따른 기판 지지기구의 다른 실시예를 도시한 사시도이고,
도 6은 도 5의 실시예의 평면도이며,
도 7 내지 도 9는 도 5의 실시예에 따라 크기가 다른 각각의 기판을 지지하고 있는 상태를 도시한 사용 상태도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 프레임
120 : 세로빔 130 : 가로빔
200 : 세로 지지바
300 : 가로 지지바
400 : 세로 고정바
500 : 가로 고정바 550 : 하프 고정바
510 : 슬릿홈 520 : 탄성체

Claims (5)

  1. 한 쌍의 세로빔 및 가로빔으로 구성된 사각틀 형상의 프레임과,
    상기 한 쌍의 세로빔의 상방에 서로 대응되게 각각 위치하고, 각각의 양단이 상기 한 쌍의 가로빔을 따라 슬라이드 가능하게 각각 설치되어 서로 근접하거나 멀어지도록 이동하는 한 쌍의 세로 지지바와,
    상기 한 쌍의 가로빔의 상방에 서로 대응되게 각각 위치하고, 각각의 양단이 상기 한 쌍의 세로빔을 따라 슬라이드 가능하게 각각 설치되어 서로 근접하거나 멀어지도록 이동하는 한 쌍의 가로 지지바와,
    상기 한 쌍의 세로 지지바의 상부에 각각 돌출 형성되어 공급되는 기판의 세로 측면을 각각 접촉 고정시키는 한 쌍의 세로 고정바와,
    상기 한 쌍의 가로 지지바의 상부에 각각 돌출 형성되어 공급되는 기판의 가로 측면을 각각 접촉 고정시키는 한 쌍의 가로 고정바를 포함하여 이루어진 기판 지지기구.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 세로 고정바 및 가로 고정바 각각은,
    상기 기판의 측면과 각각 접촉되는 면에 상기 기판의 측면이 삽입 고정되도록 슬릿홈이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 지지기구.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 세로 고정바 및 가로 고정바 각각은,
    상기 기판의 측면과 각각 접촉되는 면에 탄성체가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 지지기구.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 가로 고정바 각각은,
    양측단이 절곡되어 상기 기판의 각 모서리를 접촉 고정시킬 수 있고,
    중앙을 중심으로 두 개의 하프 고정바로 분리되어 각각이 상기 가로 지지바의 상부에 서로 근접하거나 멀어지도록 슬라이드 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 지지기구.
  5. 공급되는 기판을 고정 및 지지하는 기판 지지기구와, 상기 기판 지지기구의 상방에 설치되어 상기 기판 표면에 광을 조사하는 상방 조명기구와, 상기 기판 지지기구의 후방에 설치되어 상기 기판의 후면에서 투과 조명을 조사하는 후방 조명기구로 구성된 기판 검사장치에 있어서,
    상기 기판 지지기구는,
    한 쌍의 세로빔 및 가로빔으로 구성된 사각틀 형상의 프레임과,
    상기 한 쌍의 세로빔의 상방에 서로 대응되게 각각 위치하고, 각각의 양단이 상기 한 쌍의 가로빔을 따라 슬라이드 가능하게 각각 설치되어 서로 근접하거나 멀어지도록 이동하는 한 쌍의 세로 지지바와,
    상기 한 쌍의 가로빔의 상방에 서로 대응되게 각각 위치하고, 각각의 양단이 상기 한 쌍의 세로빔을 따라 슬라이드 가능하게 각각 설치되어 서로 근접하거나 멀어지도록 이동하는 한 쌍의 세로 지지바와,
    상기 한 쌍의 세로 지지바의 상부에 각각 돌출 형성되어 공급되는 기판의 세로 측면을 각각 접촉 고정시키는 한 쌍의 세로 고정바와,
    상기 한 쌍의 가로 지지바의 상부에 각각 돌출 형성되어 공급되는 기판의 가로 측면을 각각 접촉 고정시키는 한 쌍의 가로 고정바를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101306757B1 (ko) * 2011-05-02 2013-09-10 주식회사 테라세미콘 기판 지지용 지지 유닛 및 이를 사용한 기판 처리 장치
KR101404776B1 (ko) * 2013-06-25 2014-06-12 (주)비원테크 Oled tv용 패널의 화상검사를 위한 지그

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