JP4121662B2 - 基板検査装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板などの外観検査に用いられる基板検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＦＰＤのガラス基板などの基板検査では、ガラス基板を手で保持し、照明光の範囲で移動させながら、ガラス基板表面に照明光を当て、その反射光の光学的変化から基板表面の傷などの欠陥部を観察する外観検査を可能にする方法が知られている。
【０００３】
ところで、最近、ＦＰＤ用ガラス基板は、大型画面への対応と、一枚のガラス基板から複数枚の製品を得ることによる効率アップを図ることなどから、ますます大型化してきているが、このようにガラス基板が大型化すると、手で保持することは難しくなり、観察が不可能になっている。
【０００４】
そこで、ガラス基板を手に代えて基板ホルダ上に載置し、この基板ホルダを移動させながらガラス基板の外観観察を行なう基板検査装置が考えられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、これまでの基板検査装置では、基板ホルダの移動機構の制約などから手の保持による検査方法と比較してガラス基板移動の自由度がかなり制限され使いづらい欠点があった。
【０００６】
また、従来の基板検査装置では、検査時の揺動および移動機構を達成するため、ガラス基板の載置方向が決められているが、最近では、スペースの限られた効果なクリーンルームでの利用効率アップの観点からも、いろいろな方向からの載置を可能にしたものが望まれている。
【０００７】
さらにまた、ガラス基板などは、非常に精密なもので、わずかなパーティクルでも欠陥となる。一般のクリーンルームの構造として天井からエアーを床に向かって流し（ダウンフロー）、そのエアーによってパーティクルを床下に流す構造になっている。このため、装置の構造として発生するパーティクルをガラス基板に落ちないようにするため、パーティクル発生源を隔離するか、できる限りガラス基板の下に配置する必要があった。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、精度の高い被検査基板の外観検査を実現できる基板検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係る発明は、ガラス基板に照明光を照射して前記ガラス基板上の欠陥を検査する基板検査装置において、前記ガラス基板の周縁部を支持する矩形の枠状に形成した前記ガラス基板より小さな開口を有する枠状保持部と、前記枠状保持部の開口部内に複数架設される棒状に形成された複数の補助保持部と、前記各補助保持部の上面に複数設けられ前記開口部内における前記ガラス基板の裏面を吸着保持する第１の吸着部と、前記枠状保持部の開口周縁に沿って複数設けられた前記ガラス基板の周縁部を吸着保持する第２の吸着部と、前記枠状保持部を回転可能に支持する回転支持手段と を具備したことを特徴とする基板検査装置である。
【００１０】
また、請求項２記載の発明は、前記回転支持手段は、観察者に対して前記枠状保持部の対向する左右側部の中央を通る水平軸上で回転可能に支持する一対の直立枠を有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置である。
【００１１】
また、請求項３記載の発明は、前記回転支持手段は、観察者に対して前記枠状保持部の対向する左右側部の中央を通る水平軸上で回転可能に支持する一対の直立枠及び両直立枠の間を連結する水平枠からなる架台と、この架台を前記水平枠の略中央部を垂直軸で回転可能に支持することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置である。
また、請求項４記載の発明は、前記枠状保持部は、前記ガラス基板の４辺のうちの３辺に対応させて、前記ガラス基板より内側に突出する固定鍵部を配置し、前記ガラス基板周縁部の残る１辺に対応させて、前記ガラス基板より内側に突出する回転鍵部を配置し、前記固定鍵部と前記回転鍵部により前記ガラス基板の周縁部を挟持する基板固定部を備えたことを特徴とする請求項３に記載の基板検査装置である。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００１８】
（第１の実施の形態）
図１（ａ）（ｂ）は、本発明が適用される基板検査装置の概略構成を示している。図において、１は基台で、この基台１は、直線方向に延びるガイド１ａと複数の固定脚２を有する。
【００１９】
このような基台１により装置本体４を支持している。装置本体４は、基台１のガイド１ａに沿って移動される支持台５と、この支持台５に突設された軸部５ｂに複数の軸受け６ａを介して回転可能に支持される筒状の回転部６を有している。
【００２０】
この場合、支持台５は、複数のローラ５ａを有していて、ガイド１ａに沿って図示矢印方向に移動可能にしている。また、支持部５には、ガイド１ａに沿った方向にシリンダ７、８を配置している。これらシリンダ７、８は、ガイド１ａに沿った装置本体４の移動のために必要な力とほぼ同じ程度の動作力を有するもので、図示ない左スイッチを押しながら装置本体４を移動させることで、シリンダ７の動作力が加わって軽い力で装置本体４を図示左方向に移動可能とし、同様に、図示ない右スイッチを押しながら装置本体４を移動させることで、シリンダ８の動作力が加わって軽い力で装置本体４を図示右方向に移動可能にしている。これらスイッチを後述する基板支持台９の直立枠９ａ、９ｂ、好ましくは直立枠９ａ、９ｂの取手部に設けると、スイッチの操作性をよくすることができる。
【００２１】
回転部６には、基板支持架台９を設けている。この基板支持架台９は、対峙しする一対の直立枠９ａ、９ｂと、これら直立枠９ａ、９ｂ間を連結する水平枠９ｃを有する。水平枠９ｃの中央部を回転部６に固定し、軸部５ｂを中心に回転可能になっている。
【００２２】
そして、直立枠９ａ、９ｂ先端部に、基板保持手段としての基板ホルダ１０を設けている。この基板ホルダ１０は、ＦＰＤのガラス基板などの被検査基板１１周縁部をエアなどを用いて吸着保持するもので、基板ホルダ１０の両側縁の中央部をフリクション機構を有する軸部１２、１２を介して直立枠９ａ、９ｂにＸ軸を中心に回転可能に支持されている。この場合、軸部１２、１２のフリクション機構は、図２に示すように軸部１２の先端部を小径部１２ａに形成し、この小径部１２ａにバネ１２ｂを介して直立枠９ａ（９ｂ）の先端部を挿入するとともに、バネ性を有する押え板１２ｃを介してナット１２ｄにより締付け固定することで、基板ホルダ１０を所定角度回転させた状態で、この状態を維持できる程度のフリクションを得られるようにしている。
【００２３】
一方、直立枠９ａ、９ｂは、伸縮可能な構造になっていて、それぞれシリンダ１３、１４が埋設されている。これらシリンダ１３、１４は、被検査基板１１を保持した基板ホルダ１０の自重とバランスするような押上げ力を有するもので、これらシリンダ１３、１４の動作力により軽い力で基板ホルダ１０を上下動できるようにしている。
【００２４】
次に、このように構成した実施の形態の動作を説明する。
【００２５】
最初に、基板ホルダ１０を、Ｚ軸方向に下降させた後に、Ｘ軸を中心に水平状態になるまで回転させ、装置本体４を基台１のガイド１ａに沿って基板渡し位置まで移動させる。そして、図示しない基板搬送手段より基板ホルダ１０上に被検査基板１１を載置して図示しない位置決め部材により被検査基板１１を所定位置に位置決めし、図示しない基板押え部材により吸着保持させる。
【００２６】
この状態から、再び装置本体４を基台１のガイド１ａに沿って外観観察のためのマクロ照明が用意された観察位置まで移動し、この照明の下で外観検査を行なう。
【００２７】
基板ホルダ１０をＸ軸を中心に回転させて被検査基板１１を所定の角度に傾けるとともに、基板支持架台９の直立枠９ａ、９ｂの長さを調整して観察者の観察しやすい高さに合わせる。そして、マクロ照明下で被検査基板１１上を目視し、基板表面の観察を行なうが、この場合、基板ホルダ１０の側部を持って引き押しすると、装置本体４全体がＺ軸を中心に回転することで、左右方向の揺動を加えながらの外観観察が可能になり、また、基板ホルダ１０の上下端部を持って引き押しすると、基板ホルダ１０がＸ軸を中心にも回転することで、上下方向の揺動を加えながらの外観観察が可能になる。
【００２８】
その後、被検査基板１１の検査を終了したならば、基板ホルダ１０を水平状態になるまで回転させ、検査済み被検査基板１１を新たな被検査基板１１と取り替え、上述したと同様な動作を繰り返すようになる。
【００２９】
従って、このようにすれば、被検査基板１１を保持する基板ホルダ１０を有する装置本体４全体を基台１のガイド１ａに沿って直線移動可能にするとともに、装置本体４を回転部６を介してＺ軸を中心に回転可能とし、さらに、基板ホルダ１０自身もフリクション機構を有する軸部１２を介してＸ軸を中心に回転可能に構成したので、手動による独立した操作により、基板ホルダ１０上の被検査基板１１に対し左右および上下の揺動を加えながら自由度の高い動きの下で、外観検査を行なうことができるようになり、精度の高い検査結果を得ることができる。
【００３０】
また、基板ホルダ１０のＸ軸中心の回転も、フリクション機構により回転途中で手を放してもその位置に停止できるようになっているので、観察者に対する安全性も十分に確保できる。
【００３１】
さらに、装置本体４を基台１のガイド１ａに沿って移動させる移動手段、基板支持架台９の伸縮可能な直立枠９ａ、９ｂを有する移動手段は、これら移動手段の移動負荷を緩和させるシリンダ７、８および１３、１４とともに、基板ホルダ１０の回転中心軸Ｘより下方に配置されるので、これら移動手段および負荷緩和手段でパーティクルが発生しても基板ホルダ１０上の被検査基板１１を汚染させることがない。
【００３２】
なお、上述した基板ホルダ１０では、被検査基板１１の周縁部をエアなどを用いて吸着することで保持するようにしているが、例えば被検査基板１１が大型になる場合は、図３に示すように被検査基板１１の周縁部を吸着する基板吸着部１０ｂを有する枠部１０ａの他に、被検査基板１１の板面を吸着する基板吸着部１０ｂを有する補助保持部１０ｃ設けるようにすればよい。こうすれば、被検査基板１１全面を平らな状態を保って保持できる。また、被検査基板１１が肉厚で重量の大きなものの場合は、図４に示すように基板ホルダ１０の被検査基板１１周縁部に対応させて、これら周縁部を挟持する固定鍵部１０ｄを設けるとともに、一方側縁に対応させて支持点１０ｆにより回転可能に支持された鍵部１０ｅを設け、最初に固定鍵部１０ｄにより被検査基板１１周縁部の三方を保持させ、この状態から回転可能な鍵部１０ｅを回転させて残り一方を保持させるようにしている。このようにすれば、肉厚で重量の大きな被検査基板１１についても、確実に保持することができる。
【００３３】
（第２の実施の形態）
図５（ａ）（ｂ）は、本発明の第２の実施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付している。
【００３４】
この場合、基板ホルダ１０は、回転ホルダ１５を設け、この回転ホルダ１５に被検査基板１１を保持可能にしている。回転ホルダ１５は、基板ホルダ１０面で回転可能になっており、この回転中心は、Ｘ軸とＺ軸の交点で、かつＸ軸とＺ軸を有する面と垂直な軸Ｙ上である。
【００３５】
このようにすれば、基板ホルダ１０上の被検査基板１１は、Ｚ軸およびＸ軸を中心とした回転だけでなく、Ｙ軸を中心とした回転も得られ、さまざまな方向から外観検査を行なうことができるので、さらに精度の高い検査結果を得ることがができる。
【００３６】
また、図６に示すように基板支持架台９の直立枠９ａ、９ｂ先端部にフリクション機構を有する軸部１２、１２を介して回転可能に支持される基板ホルダ１０は、被検査基板１１を保持する基板保持面１０１が、平行になる位置まで回転された時、この基板保持面１０１が装置本体４の最上部に位置されるようになっており、第１の実施の形態でも同様である。
【００３７】
このようにすれば、基板ホルダ１０の基板保持面１０１周囲に障害物が何も存在せず、基板保持面１０１上への被検査基板１１の載置方向に何らの制約を受けることがなくなるので、従来の基板の載置方向が決められてしまうような狭いスペースしか確保できないクリーンルームでも、有効に適用することができる。
【００３８】
なお、上述した実施の形態では、装置本体４を複数の固定脚２で固定するようにしたが、基台１全体をキャスタを用いて移動させるようにしてもよい。このようにすれば、装置本体４を自由に移動でき、被検査基板１１を収納しているカセットまたは製造ライン中とマクロ照明下の検査ステーションとの間で被検査基板１１を搬送するキャリアとしても使用できる。
【００３９】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、手動による独立した操作により、基板保持手段上の被検査基板に対し左右および上下の揺動を加えながら自由度の高い動きの下で、外観検査を行なうことができ、精度の高い検査結果を得ることができる。
【００４０】
また、被検査基板をＺ軸およびＸ軸を中心とした回転だけでなく、Ｙ軸を中心とした回転も得られ、さまざまな方向から外観検査を行なうことができるので、さらに精度の高い検査結果を得ることがができる。
【００４１】
さらに、基板保持手段の上方に障害物が何も存在せず、基板保持面上への被検査基板の載置方向に何らの制約を受けることがないようにできるので、従来の基板の載置方向が決められてしまうような狭いスペースしか確保できないクリーンルームでも、有効に適用することができる。
【００４２】
さらにまた、移動手段および負荷緩和手段でパーティクルが発生しても基板保持手段に保持される被検査基板に影響を与えないようにできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施に用いられるフリクション機構の概略構成を示す図。
【図３】第１の実施の形態に用いられる基板ホルダの変形例を示す図。
【図４】第１の実施の形態に用いられる基板ホルダの他の変形例を示す図。
【図５】本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す正面図。
【図６】本発明の第２の実施の形態の使用状態を示す正面図。
【符号の説明】
１…基台
１ａ…ガイド
２…固定脚
４…装置本体
５…支持台
５ａ…ローラ
５ｂ…軸部
６…回転部
６ａ…軸受け
７…シリンダ
８…シリンダ
９…基板支持架台
９ａ、９ｂ…直立枠
９ｃ…水平枠
１０…基板ホルダ
１０１…基板保持面
１０ａ…枠部
１０ｂ…基板吸着部
１０ｃ…補助保持部
１０ｄ…固定鍵部
１０ｅ…鍵部
１１…被検査基板
１２…軸部
１２ａ…小径部
１２ｂ…バネ
１２ｃ…押え板
１２ｄ…ナット
１３．１４…シリンダ
１５…回転ホルダ
【発明の属する技術分野】
本発明は、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板などの外観検査に用いられる基板検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＦＰＤのガラス基板などの基板検査では、ガラス基板を手で保持し、照明光の範囲で移動させながら、ガラス基板表面に照明光を当て、その反射光の光学的変化から基板表面の傷などの欠陥部を観察する外観検査を可能にする方法が知られている。
【０００３】
ところで、最近、ＦＰＤ用ガラス基板は、大型画面への対応と、一枚のガラス基板から複数枚の製品を得ることによる効率アップを図ることなどから、ますます大型化してきているが、このようにガラス基板が大型化すると、手で保持することは難しくなり、観察が不可能になっている。
【０００４】
そこで、ガラス基板を手に代えて基板ホルダ上に載置し、この基板ホルダを移動させながらガラス基板の外観観察を行なう基板検査装置が考えられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、これまでの基板検査装置では、基板ホルダの移動機構の制約などから手の保持による検査方法と比較してガラス基板移動の自由度がかなり制限され使いづらい欠点があった。
【０００６】
また、従来の基板検査装置では、検査時の揺動および移動機構を達成するため、ガラス基板の載置方向が決められているが、最近では、スペースの限られた効果なクリーンルームでの利用効率アップの観点からも、いろいろな方向からの載置を可能にしたものが望まれている。
【０００７】
さらにまた、ガラス基板などは、非常に精密なもので、わずかなパーティクルでも欠陥となる。一般のクリーンルームの構造として天井からエアーを床に向かって流し（ダウンフロー）、そのエアーによってパーティクルを床下に流す構造になっている。このため、装置の構造として発生するパーティクルをガラス基板に落ちないようにするため、パーティクル発生源を隔離するか、できる限りガラス基板の下に配置する必要があった。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、精度の高い被検査基板の外観検査を実現できる基板検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係る発明は、ガラス基板に照明光を照射して前記ガラス基板上の欠陥を検査する基板検査装置において、前記ガラス基板の周縁部を支持する矩形の枠状に形成した前記ガラス基板より小さな開口を有する枠状保持部と、前記枠状保持部の開口部内に複数架設される棒状に形成された複数の補助保持部と、前記各補助保持部の上面に複数設けられ前記開口部内における前記ガラス基板の裏面を吸着保持する第１の吸着部と、前記枠状保持部の開口周縁に沿って複数設けられた前記ガラス基板の周縁部を吸着保持する第２の吸着部と、前記枠状保持部を回転可能に支持する回転支持手段と を具備したことを特徴とする基板検査装置である。
【００１０】
また、請求項２記載の発明は、前記回転支持手段は、観察者に対して前記枠状保持部の対向する左右側部の中央を通る水平軸上で回転可能に支持する一対の直立枠を有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置である。
【００１１】
また、請求項３記載の発明は、前記回転支持手段は、観察者に対して前記枠状保持部の対向する左右側部の中央を通る水平軸上で回転可能に支持する一対の直立枠及び両直立枠の間を連結する水平枠からなる架台と、この架台を前記水平枠の略中央部を垂直軸で回転可能に支持することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置である。
また、請求項４記載の発明は、前記枠状保持部は、前記ガラス基板の４辺のうちの３辺に対応させて、前記ガラス基板より内側に突出する固定鍵部を配置し、前記ガラス基板周縁部の残る１辺に対応させて、前記ガラス基板より内側に突出する回転鍵部を配置し、前記固定鍵部と前記回転鍵部により前記ガラス基板の周縁部を挟持する基板固定部を備えたことを特徴とする請求項３に記載の基板検査装置である。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００１８】
（第１の実施の形態）
図１（ａ）（ｂ）は、本発明が適用される基板検査装置の概略構成を示している。図において、１は基台で、この基台１は、直線方向に延びるガイド１ａと複数の固定脚２を有する。
【００１９】
このような基台１により装置本体４を支持している。装置本体４は、基台１のガイド１ａに沿って移動される支持台５と、この支持台５に突設された軸部５ｂに複数の軸受け６ａを介して回転可能に支持される筒状の回転部６を有している。
【００２０】
この場合、支持台５は、複数のローラ５ａを有していて、ガイド１ａに沿って図示矢印方向に移動可能にしている。また、支持部５には、ガイド１ａに沿った方向にシリンダ７、８を配置している。これらシリンダ７、８は、ガイド１ａに沿った装置本体４の移動のために必要な力とほぼ同じ程度の動作力を有するもので、図示ない左スイッチを押しながら装置本体４を移動させることで、シリンダ７の動作力が加わって軽い力で装置本体４を図示左方向に移動可能とし、同様に、図示ない右スイッチを押しながら装置本体４を移動させることで、シリンダ８の動作力が加わって軽い力で装置本体４を図示右方向に移動可能にしている。これらスイッチを後述する基板支持台９の直立枠９ａ、９ｂ、好ましくは直立枠９ａ、９ｂの取手部に設けると、スイッチの操作性をよくすることができる。
【００２１】
回転部６には、基板支持架台９を設けている。この基板支持架台９は、対峙しする一対の直立枠９ａ、９ｂと、これら直立枠９ａ、９ｂ間を連結する水平枠９ｃを有する。水平枠９ｃの中央部を回転部６に固定し、軸部５ｂを中心に回転可能になっている。
【００２２】
そして、直立枠９ａ、９ｂ先端部に、基板保持手段としての基板ホルダ１０を設けている。この基板ホルダ１０は、ＦＰＤのガラス基板などの被検査基板１１周縁部をエアなどを用いて吸着保持するもので、基板ホルダ１０の両側縁の中央部をフリクション機構を有する軸部１２、１２を介して直立枠９ａ、９ｂにＸ軸を中心に回転可能に支持されている。この場合、軸部１２、１２のフリクション機構は、図２に示すように軸部１２の先端部を小径部１２ａに形成し、この小径部１２ａにバネ１２ｂを介して直立枠９ａ（９ｂ）の先端部を挿入するとともに、バネ性を有する押え板１２ｃを介してナット１２ｄにより締付け固定することで、基板ホルダ１０を所定角度回転させた状態で、この状態を維持できる程度のフリクションを得られるようにしている。
【００２３】
一方、直立枠９ａ、９ｂは、伸縮可能な構造になっていて、それぞれシリンダ１３、１４が埋設されている。これらシリンダ１３、１４は、被検査基板１１を保持した基板ホルダ１０の自重とバランスするような押上げ力を有するもので、これらシリンダ１３、１４の動作力により軽い力で基板ホルダ１０を上下動できるようにしている。
【００２４】
次に、このように構成した実施の形態の動作を説明する。
【００２５】
最初に、基板ホルダ１０を、Ｚ軸方向に下降させた後に、Ｘ軸を中心に水平状態になるまで回転させ、装置本体４を基台１のガイド１ａに沿って基板渡し位置まで移動させる。そして、図示しない基板搬送手段より基板ホルダ１０上に被検査基板１１を載置して図示しない位置決め部材により被検査基板１１を所定位置に位置決めし、図示しない基板押え部材により吸着保持させる。
【００２６】
この状態から、再び装置本体４を基台１のガイド１ａに沿って外観観察のためのマクロ照明が用意された観察位置まで移動し、この照明の下で外観検査を行なう。
【００２７】
基板ホルダ１０をＸ軸を中心に回転させて被検査基板１１を所定の角度に傾けるとともに、基板支持架台９の直立枠９ａ、９ｂの長さを調整して観察者の観察しやすい高さに合わせる。そして、マクロ照明下で被検査基板１１上を目視し、基板表面の観察を行なうが、この場合、基板ホルダ１０の側部を持って引き押しすると、装置本体４全体がＺ軸を中心に回転することで、左右方向の揺動を加えながらの外観観察が可能になり、また、基板ホルダ１０の上下端部を持って引き押しすると、基板ホルダ１０がＸ軸を中心にも回転することで、上下方向の揺動を加えながらの外観観察が可能になる。
【００２８】
その後、被検査基板１１の検査を終了したならば、基板ホルダ１０を水平状態になるまで回転させ、検査済み被検査基板１１を新たな被検査基板１１と取り替え、上述したと同様な動作を繰り返すようになる。
【００２９】
従って、このようにすれば、被検査基板１１を保持する基板ホルダ１０を有する装置本体４全体を基台１のガイド１ａに沿って直線移動可能にするとともに、装置本体４を回転部６を介してＺ軸を中心に回転可能とし、さらに、基板ホルダ１０自身もフリクション機構を有する軸部１２を介してＸ軸を中心に回転可能に構成したので、手動による独立した操作により、基板ホルダ１０上の被検査基板１１に対し左右および上下の揺動を加えながら自由度の高い動きの下で、外観検査を行なうことができるようになり、精度の高い検査結果を得ることができる。
【００３０】
また、基板ホルダ１０のＸ軸中心の回転も、フリクション機構により回転途中で手を放してもその位置に停止できるようになっているので、観察者に対する安全性も十分に確保できる。
【００３１】
さらに、装置本体４を基台１のガイド１ａに沿って移動させる移動手段、基板支持架台９の伸縮可能な直立枠９ａ、９ｂを有する移動手段は、これら移動手段の移動負荷を緩和させるシリンダ７、８および１３、１４とともに、基板ホルダ１０の回転中心軸Ｘより下方に配置されるので、これら移動手段および負荷緩和手段でパーティクルが発生しても基板ホルダ１０上の被検査基板１１を汚染させることがない。
【００３２】
なお、上述した基板ホルダ１０では、被検査基板１１の周縁部をエアなどを用いて吸着することで保持するようにしているが、例えば被検査基板１１が大型になる場合は、図３に示すように被検査基板１１の周縁部を吸着する基板吸着部１０ｂを有する枠部１０ａの他に、被検査基板１１の板面を吸着する基板吸着部１０ｂを有する補助保持部１０ｃ設けるようにすればよい。こうすれば、被検査基板１１全面を平らな状態を保って保持できる。また、被検査基板１１が肉厚で重量の大きなものの場合は、図４に示すように基板ホルダ１０の被検査基板１１周縁部に対応させて、これら周縁部を挟持する固定鍵部１０ｄを設けるとともに、一方側縁に対応させて支持点１０ｆにより回転可能に支持された鍵部１０ｅを設け、最初に固定鍵部１０ｄにより被検査基板１１周縁部の三方を保持させ、この状態から回転可能な鍵部１０ｅを回転させて残り一方を保持させるようにしている。このようにすれば、肉厚で重量の大きな被検査基板１１についても、確実に保持することができる。
【００３３】
（第２の実施の形態）
図５（ａ）（ｂ）は、本発明の第２の実施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付している。
【００３４】
この場合、基板ホルダ１０は、回転ホルダ１５を設け、この回転ホルダ１５に被検査基板１１を保持可能にしている。回転ホルダ１５は、基板ホルダ１０面で回転可能になっており、この回転中心は、Ｘ軸とＺ軸の交点で、かつＸ軸とＺ軸を有する面と垂直な軸Ｙ上である。
【００３５】
このようにすれば、基板ホルダ１０上の被検査基板１１は、Ｚ軸およびＸ軸を中心とした回転だけでなく、Ｙ軸を中心とした回転も得られ、さまざまな方向から外観検査を行なうことができるので、さらに精度の高い検査結果を得ることがができる。
【００３６】
また、図６に示すように基板支持架台９の直立枠９ａ、９ｂ先端部にフリクション機構を有する軸部１２、１２を介して回転可能に支持される基板ホルダ１０は、被検査基板１１を保持する基板保持面１０１が、平行になる位置まで回転された時、この基板保持面１０１が装置本体４の最上部に位置されるようになっており、第１の実施の形態でも同様である。
【００３７】
このようにすれば、基板ホルダ１０の基板保持面１０１周囲に障害物が何も存在せず、基板保持面１０１上への被検査基板１１の載置方向に何らの制約を受けることがなくなるので、従来の基板の載置方向が決められてしまうような狭いスペースしか確保できないクリーンルームでも、有効に適用することができる。
【００３８】
なお、上述した実施の形態では、装置本体４を複数の固定脚２で固定するようにしたが、基台１全体をキャスタを用いて移動させるようにしてもよい。このようにすれば、装置本体４を自由に移動でき、被検査基板１１を収納しているカセットまたは製造ライン中とマクロ照明下の検査ステーションとの間で被検査基板１１を搬送するキャリアとしても使用できる。
【００３９】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、手動による独立した操作により、基板保持手段上の被検査基板に対し左右および上下の揺動を加えながら自由度の高い動きの下で、外観検査を行なうことができ、精度の高い検査結果を得ることができる。
【００４０】
また、被検査基板をＺ軸およびＸ軸を中心とした回転だけでなく、Ｙ軸を中心とした回転も得られ、さまざまな方向から外観検査を行なうことができるので、さらに精度の高い検査結果を得ることがができる。
【００４１】
さらに、基板保持手段の上方に障害物が何も存在せず、基板保持面上への被検査基板の載置方向に何らの制約を受けることがないようにできるので、従来の基板の載置方向が決められてしまうような狭いスペースしか確保できないクリーンルームでも、有効に適用することができる。
【００４２】
さらにまた、移動手段および負荷緩和手段でパーティクルが発生しても基板保持手段に保持される被検査基板に影響を与えないようにできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施に用いられるフリクション機構の概略構成を示す図。
【図３】第１の実施の形態に用いられる基板ホルダの変形例を示す図。
【図４】第１の実施の形態に用いられる基板ホルダの他の変形例を示す図。
【図５】本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す正面図。
【図６】本発明の第２の実施の形態の使用状態を示す正面図。
【符号の説明】
１…基台
１ａ…ガイド
２…固定脚
４…装置本体
５…支持台
５ａ…ローラ
５ｂ…軸部
６…回転部
６ａ…軸受け
７…シリンダ
８…シリンダ
９…基板支持架台
９ａ、９ｂ…直立枠
９ｃ…水平枠
１０…基板ホルダ
１０１…基板保持面
１０ａ…枠部
１０ｂ…基板吸着部
１０ｃ…補助保持部
１０ｄ…固定鍵部
１０ｅ…鍵部
１１…被検査基板
１２…軸部
１２ａ…小径部
１２ｂ…バネ
１２ｃ…押え板
１２ｄ…ナット
１３．１４…シリンダ
１５…回転ホルダ
Claims (4)
- ガラス基板に照明光を照射して前記ガラス基板上の欠陥を検査する基板検査装置において、
前記ガラス基板の周縁部を支持する矩形の枠状に形成した前記ガラス基板より小さな開口を有する枠状保持部と、
前記枠状保持部の開口部内に複数架設される棒状に形成された複数の補助保持部と、
前記各補助保持部の上面に複数設けられ前記開口部内における前記ガラス基板の裏面を吸着保持する第１の吸着部と、
前記枠状保持部の開口周縁に沿って複数設けられた前記ガラス基板の周縁部を吸着保持する第２の吸着部と、
前記枠状保持部を回転可能に支持する回転支持手段と
を具備したことを特徴とする基板検査装置。 - 前記回転支持手段は、観察者に対して前記枠状保持部の対向する左右側部の中央を通る水平軸上で回転可能に支持する一対の直立枠を有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
- 前記回転支持手段は、観察者に対して前記枠状保持部の対向する左右側部の中央を通る水平軸上で回転可能に支持する一対の直立枠及び両直立枠の間を連結する水平枠からなる架台と、この架台を前記水平枠の略中央部を垂直軸で回転可能に支持することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
- 前記枠状保持部は、前記ガラス基板の４辺のうちの３辺に対応させて、前記ガラス基板より内側に突出する固定鍵部を配置し、前記ガラス基板周縁部の残る１辺に対応させて、前記ガラス基板より内側に突出する回転鍵部を配置し、前記固定鍵部と前記回転鍵部により前記ガラス基板の周縁部を挟持する基板固定部を備えたことを特徴とする請求項３に記載の基板検査装置。
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