JPH0725679Y2 - ガラス基板検査用フレキシブル載置台 - Google Patents
ガラス基板検査用フレキシブル載置台Info
- Publication number
- JPH0725679Y2 JPH0725679Y2 JP7456189U JP7456189U JPH0725679Y2 JP H0725679 Y2 JPH0725679 Y2 JP H0725679Y2 JP 7456189 U JP7456189 U JP 7456189U JP 7456189 U JP7456189 U JP 7456189U JP H0725679 Y2 JPH0725679 Y2 JP H0725679Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reference frame
- glass substrate
- mounting table
- size
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は、ガラス基板検査用のフレキシブル載置台に
関し、詳しくは各種のサイズのガラス基板に対応できる
フレキシブルな載置台である。
関し、詳しくは各種のサイズのガラス基板に対応できる
フレキシブルな載置台である。
［従来の技術］ 半導体IC製造用のマスク基板や液晶表示パネルにはガラ
ス基板が使用されている。いずれも表面に欠陥または付
着した塵埃があるときは品質が劣化するので、ガラス基
板検査装置により検査されている。
ス基板が使用されている。いずれも表面に欠陥または付
着した塵埃があるときは品質が劣化するので、ガラス基
板検査装置により検査されている。
第２図（ａ），（ｂ）はガラス基板検査装置における光
学式の検査方法の概念を説明するもので、ガラス基板１
は載置台３に載置されて水平に支持され、検査光学系２
の光源2aより検査光Ｌが照射される。これに対して、表
面側と裏面側に設けられた欠陥検出器2b,2cにより、表
面または裏面の散乱光を受光して欠陥や塵埃が検出され
る。この場合、可能な限り広い範囲に渡って微小な欠陥
または塵埃を効率的に検出するために、欠陥検出器2b,2
cはオプチカルファイバの素線を図示の形状に集合し、
その先端をガラス基板１の表面および裏面に極力接近し
て使用する。この接近により先端に対応する範囲の散乱
光が効率的に受光される。なお、ガラス基板１は図示し
ない移動機構によりX,Y方向に移動して全面が検査され
る。
学式の検査方法の概念を説明するもので、ガラス基板１
は載置台３に載置されて水平に支持され、検査光学系２
の光源2aより検査光Ｌが照射される。これに対して、表
面側と裏面側に設けられた欠陥検出器2b,2cにより、表
面または裏面の散乱光を受光して欠陥や塵埃が検出され
る。この場合、可能な限り広い範囲に渡って微小な欠陥
または塵埃を効率的に検出するために、欠陥検出器2b,2
cはオプチカルファイバの素線を図示の形状に集合し、
その先端をガラス基板１の表面および裏面に極力接近し
て使用する。この接近により先端に対応する範囲の散乱
光が効率的に受光される。なお、ガラス基板１は図示し
ない移動機構によりX,Y方向に移動して全面が検査され
る。
第３図にガラス基板検査装置における従来の載置台３を
示す。載置台３は、基準枠3aの内側にガラス基板１を支
持するエッジ3bを設けたもので、これがX,Y方向に移動
するベース盤４に固定されている。被検査基板のサイズ
はまちまちで、小は100mm程度の角形から大は400mm×50
0mmに達する。これに対して、基準枠3aを最大のサイズ
のものを載置できる大きさとする。これより小さい基板
１に対しては、補助枠3cを作って基準枠3aの内側に嵌入
してねじ止めするものである。
示す。載置台３は、基準枠3aの内側にガラス基板１を支
持するエッジ3bを設けたもので、これがX,Y方向に移動
するベース盤４に固定されている。被検査基板のサイズ
はまちまちで、小は100mm程度の角形から大は400mm×50
0mmに達する。これに対して、基準枠3aを最大のサイズ
のものを載置できる大きさとする。これより小さい基板
１に対しては、補助枠3cを作って基準枠3aの内側に嵌入
してねじ止めするものである。
［解決しようとする課題］ 以上のような補助枠3cは被検査基板のサイズごとに用意
して交換することが必要であるので、経費が安価でなく
交換の手間が大きい。これに対して手間があまりかから
ず、経済的な方式が望まれる。なお、この場合注意を要
することは、前記したように欠陥検出器2b,2cの先端が
基板１に接近しているためにギャップＧはかなり狭いの
で、移動する載置台３が先端に接触しないように厚さが
限定されることである。
して交換することが必要であるので、経費が安価でなく
交換の手間が大きい。これに対して手間があまりかから
ず、経済的な方式が望まれる。なお、この場合注意を要
することは、前記したように欠陥検出器2b,2cの先端が
基板１に接近しているためにギャップＧはかなり狭いの
で、移動する載置台３が先端に接触しないように厚さが
限定されることである。
この考案は、以上に鑑みてなされたもので、従来の基準
枠と厚さが同一の条件の下に、簡易な構造で各種のサイ
ズのガラス基板に対応できるフレキシブルな載置台を提
供することを目的とするものである。
枠と厚さが同一の条件の下に、簡易な構造で各種のサイ
ズのガラス基板に対応できるフレキシブルな載置台を提
供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］ この考案は、水平に載置された４辺形の被検査のガラス
基板に対して上方より検査光を照射し、基板の表面およ
び裏面にそれぞれ接近して設けられた２組の欠陥検出器
により、基板の散乱光を検出して基板の欠陥を検査する
ガラス基板検査装置におけるフレキシブル載置台であっ
て、２組の欠陥検出器の先端のなすギャップに挿入でき
る厚さを有し、検査対象の各種異なるサイズのうちの最
大サイズのガラス基板を載置できる基準枠を設ける。基
準枠に対して同一の厚さを有して内側に着脱自由に嵌入
され、基準枠の隣接する２辺に沿ってそれぞれ移動する
カーソル式ホルダーを設ける。これにより基準枠の１角
に載置部を設定し、上記最大サイズ以下で、一定の下限
サイズ以上の任意のガラス基板を載置するものである。
基板に対して上方より検査光を照射し、基板の表面およ
び裏面にそれぞれ接近して設けられた２組の欠陥検出器
により、基板の散乱光を検出して基板の欠陥を検査する
ガラス基板検査装置におけるフレキシブル載置台であっ
て、２組の欠陥検出器の先端のなすギャップに挿入でき
る厚さを有し、検査対象の各種異なるサイズのうちの最
大サイズのガラス基板を載置できる基準枠を設ける。基
準枠に対して同一の厚さを有して内側に着脱自由に嵌入
され、基準枠の隣接する２辺に沿ってそれぞれ移動する
カーソル式ホルダーを設ける。これにより基準枠の１角
に載置部を設定し、上記最大サイズ以下で、一定の下限
サイズ以上の任意のガラス基板を載置するものである。
［作用］ 以上の構成によるフレキシブル載置台においては、対象
とされる最大のサイズのガラス基板は、直接基準枠に載
置される。これより小さいサイズの基板に対しては、着
脱自由の２個のカーソル式ホルダーを基準枠の内側に嵌
入し、その隣接する２辺に沿って移動し、基準枠の１角
に載置部を設定して載置される。ここで基準枠の厚さ
は、２組の欠陥検出器の先端のなすギャップより小さい
ので欠陥検出器の先端に接触せず、またカーソル式ホル
ダーの厚さは基準枠と同一であるので同様に接触せず安
全である。
とされる最大のサイズのガラス基板は、直接基準枠に載
置される。これより小さいサイズの基板に対しては、着
脱自由の２個のカーソル式ホルダーを基準枠の内側に嵌
入し、その隣接する２辺に沿って移動し、基準枠の１角
に載置部を設定して載置される。ここで基準枠の厚さ
は、２組の欠陥検出器の先端のなすギャップより小さい
ので欠陥検出器の先端に接触せず、またカーソル式ホル
ダーの厚さは基準枠と同一であるので同様に接触せず安
全である。
［実施例］ 第１図（ａ），（ｂ）はこの考案によるフレキシブル載
置台５の実施例の全体斜視図と部分図である。図（ａ）
において、基準枠5aはベース盤４に固定され、図示しな
い移動機構によりX,Y方向に移動する。基準枠5aは最大
サイズの被検査ガラス基板１を載置できる大きさとし、
内側に支持用のエッジ5bを有する。またその厚さは２組
の欠陥検出器2b,2cの先端のなすギャップより薄いもの
とする。次に、基準枠5aの内側に着脱自由に嵌入され、
隣接する２辺に沿って矢印Ｙ′およびＸ′の方向にそれ
ぞれ移動する２個のカーソル式ホルダー5c,5dを設け
る。ここで、ホルダー5cの長さは基準枠5aの内側と同一
とするが、ホルダー5dの長さはこれと同一にできないの
で、最小のサイズのガラス基板に対応する長さとする。
換言すれば、この長さにより載置できる最小のサイズが
決まるものである。以上の２個のホルダー5c,5dにより
最小から最大の範囲内の任意のサイズのガラス基板を載
置することができる。なお、ホルダー5c,5dにはストッ
パが必要である。図（ｂ）はストッパ６の構造を示すも
ので、ホルダー5cに貫通孔6aを設け、この内部にスプリ
ング6bにより外方に付勢されたロッド6cを貫通し、その
両端に当接ゴム6dを取り付ける。ホルダー5cを移動する
ときは２個のノブ6eを引き寄せて当接ゴム6dをフリーと
し、ノブ6eを復帰すると当接ゴム6dが基準枠5aの内側の
側面に接触して固定される。一方、ホルダー5dの場合は
図示を省略するが、基準枠5aに案内溝を設けて摺動する
構造とし、上記と同様な当接ゴムにより固定し、または
フリーとするものである。
置台５の実施例の全体斜視図と部分図である。図（ａ）
において、基準枠5aはベース盤４に固定され、図示しな
い移動機構によりX,Y方向に移動する。基準枠5aは最大
サイズの被検査ガラス基板１を載置できる大きさとし、
内側に支持用のエッジ5bを有する。またその厚さは２組
の欠陥検出器2b,2cの先端のなすギャップより薄いもの
とする。次に、基準枠5aの内側に着脱自由に嵌入され、
隣接する２辺に沿って矢印Ｙ′およびＸ′の方向にそれ
ぞれ移動する２個のカーソル式ホルダー5c,5dを設け
る。ここで、ホルダー5cの長さは基準枠5aの内側と同一
とするが、ホルダー5dの長さはこれと同一にできないの
で、最小のサイズのガラス基板に対応する長さとする。
換言すれば、この長さにより載置できる最小のサイズが
決まるものである。以上の２個のホルダー5c,5dにより
最小から最大の範囲内の任意のサイズのガラス基板を載
置することができる。なお、ホルダー5c,5dにはストッ
パが必要である。図（ｂ）はストッパ６の構造を示すも
ので、ホルダー5cに貫通孔6aを設け、この内部にスプリ
ング6bにより外方に付勢されたロッド6cを貫通し、その
両端に当接ゴム6dを取り付ける。ホルダー5cを移動する
ときは２個のノブ6eを引き寄せて当接ゴム6dをフリーと
し、ノブ6eを復帰すると当接ゴム6dが基準枠5aの内側の
側面に接触して固定される。一方、ホルダー5dの場合は
図示を省略するが、基準枠5aに案内溝を設けて摺動する
構造とし、上記と同様な当接ゴムにより固定し、または
フリーとするものである。
［考案の効果］ 以上の説明により明らかなように、この考案による載置
台においては、基準枠には最大サイズの被検査基板が直
接載置され、これより小さい任意のサイズのガラス基板
に対しては、基準枠に嵌入された２個のカーソル式ホル
ダーにより、基準枠の１角に載置部を設定するフレキシ
ブルなもので、サイズごとに補助枠を必要とした従来の
方式に比べて著しく経済性があるとともに取り扱いが容
易であり、任意のサイズのガラス基板に対して効率的な
検査作業が行われる効果が大きい。
台においては、基準枠には最大サイズの被検査基板が直
接載置され、これより小さい任意のサイズのガラス基板
に対しては、基準枠に嵌入された２個のカーソル式ホル
ダーにより、基準枠の１角に載置部を設定するフレキシ
ブルなもので、サイズごとに補助枠を必要とした従来の
方式に比べて著しく経済性があるとともに取り扱いが容
易であり、任意のサイズのガラス基板に対して効率的な
検査作業が行われる効果が大きい。
第１図（ａ）および（ｂ）は、この考案によるガラス基
板検査用フレキシブル載置台の実施例における全体構造
図および部分図、第２図（ａ）および（ｂ）は、ガラス
基板検査方法の概念の説明図、第３図はガラス基板検査
装置の従来の載置台の構造図である。 １……ガラス基板、２……検査光学系、2a……光源、2
b,2c……欠陥検出器、３……載置台、3a,5a……基準
枠、3b,5b……エッジ、3c……補助枠、４……ベース
盤、５……フレキシブル載置台、5c,5d……カーソル式
ホルダー、６……ストッパ、6a……貫通孔、6b……スプ
リング、6c……ロッド、6d……当接ゴム、6e……ノブ。
板検査用フレキシブル載置台の実施例における全体構造
図および部分図、第２図（ａ）および（ｂ）は、ガラス
基板検査方法の概念の説明図、第３図はガラス基板検査
装置の従来の載置台の構造図である。 １……ガラス基板、２……検査光学系、2a……光源、2
b,2c……欠陥検出器、３……載置台、3a,5a……基準
枠、3b,5b……エッジ、3c……補助枠、４……ベース
盤、５……フレキシブル載置台、5c,5d……カーソル式
ホルダー、６……ストッパ、6a……貫通孔、6b……スプ
リング、6c……ロッド、6d……当接ゴム、6e……ノブ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｊ 7630−4Ｍ
Claims (1)
- 【請求項１】水平に載置された４辺形の被検査のガラス
基板に対して上方より検査光を照射し、該基板の表面お
よび裏面に対してそれぞれ接近して設けられた２組の欠
陥検出器により、該基板の散乱光を検出して欠陥を検査
するガラス基板検査装置において、上記２組の欠陥検出
器の先端のなすギャップに挿入できる厚さを有し、検査
対象の各種異なるサイズの上記ガラス基板のうちの最大
サイズの該基板を載置できる基準枠と、該基準枠と同一
の厚さを有して基準枠の内側に着脱自由に嵌入され、該
基準枠の隣接する２辺に沿ってそれぞれ移動し、上記最
大サイズ以下で、一定の下限サイズ以上の任意の上記ガ
ラス基板に対して、上記基準枠の１角に載置部を設定す
る２個のカーソル式ホルダーとにより構成されたことを
特徴とする、ガラス基板検査用フレキシブル載置台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7456189U JPH0725679Y2 (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | ガラス基板検査用フレキシブル載置台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7456189U JPH0725679Y2 (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | ガラス基板検査用フレキシブル載置台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0314454U JPH0314454U (ja) | 1991-02-14 |
| JPH0725679Y2 true JPH0725679Y2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=31614357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7456189U Expired - Lifetime JPH0725679Y2 (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | ガラス基板検査用フレキシブル載置台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0725679Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001081903A1 (fr) * | 2000-04-26 | 2001-11-01 | Olympus Optical Co., Ltd. | Mecanisme de support |
| JP2008103355A (ja) * | 2007-12-27 | 2008-05-01 | Seiko Epson Corp | 表示器用照明装置 |
-
1989
- 1989-06-26 JP JP7456189U patent/JPH0725679Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001081903A1 (fr) * | 2000-04-26 | 2001-11-01 | Olympus Optical Co., Ltd. | Mecanisme de support |
| JP2008103355A (ja) * | 2007-12-27 | 2008-05-01 | Seiko Epson Corp | 表示器用照明装置 |
| JP4659813B2 (ja) * | 2007-12-27 | 2011-03-30 | セイコーエプソン株式会社 | 表示器用照明装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0314454U (ja) | 1991-02-14 |
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