JP4101206B2 - 大型ペリクルの支持装置および装着方法 - Google Patents
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Description
2 …アタッチメント
3 …ホルダ
4 …ペリクル
5 …光源
6 …エアーガン
11 …本体
12a …上下動アーム
12b …上下動アーム
13 …ブラケット
14 …水平アーム
15 …旋回ユニット
16 …フットペダル
21 …フレーム
22 …フランジ
23 …棒状突起
24 …把手
25 …ハンドル部分
31 …ガイド部
31a …リブ
32 …円筒部
33 …穴
41 …ペリクル枠
41a …溝
42 …接着剤
43 …ペリクル膜
44 …粘着材
45 …保護フィルム
Claims (12)
- 長辺が700mm以上のペリクル膜がその上で張られるための枠を、操作者が移動できるよう、床に対して移動可能に支持するための装置であり、該装置は移動可能部材に装着部材を介して該枠が嵌合している係合部材が配置された構造を有しており、
前記移動可能部材は、床に対して交差する方向の移動と、床に対して平行する方向の移動と、床に交差する軸線の回りでの旋回移動と、床に平行な軸線の回りでの旋回移動と、が可能であり、
前記装着部材が有する略垂直方向上方に突出する棒状突起が、該棒状突起を収容して嵌り合う穴を有する前記係合部材に着脱自在に係合し、
前記係合部材は、前記穴を取り囲んで延びる管状部分を有し、前記管状部分は、操作者が該管状部分を介して前記係合部材を把持して移動させるに十分な長さを有することを特徴とする大型ペリクルの支持装置。 - 前記装着部材は、ハンドル部分を備え、操作者が前記装着部材を移動させるよう前記ハンドル部分に接触可能であることを特徴とする請求項1に記載の大型ペリクルの支持装置。
- 前記ハンドル部分は、前記枠に張られた時の前記ペリクル膜の厚さ方向に見て、該枠より外側に配置されることを特徴とする請求項2に記載の大型ペリクルの支持装置。
- 前記装着部材は複数の前記棒状突起を有し、前記係合部材は該棒状突起をそれぞれ収容して嵌り合う複数の前記穴を有することを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の大型ペリクルの支持装置。
- 前記複数の棒状突起は、前記枠に張られた時のペリクル膜の厚さ方向に直角な方向に相互に離れて配置されていることを特徴とする請求項4に記載の大型ペリクルの支持装置。
- 前記複数の棒状突起は、水平方向に相互に離れて配置されていることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の大型ペリクルの支持装置。
- 長辺が700mm以上のペリクル膜がその上で張られるための枠を、床に対して移動可能な移動可能部材に取りつけるための大型ペリクル支持装置用部材であり、該部材は前記移動可能部材上に取り付けられる装着部材と、前記枠を保持可能であり、且つ前記装着部材とは着脱自在に係合する係合部材とからなり、
前記装着部材と前記係合部材とは、該装着部材に略垂直方向上方に突出する棒状突起が、該係合部材に配置された前記棒状突起を収容して嵌り合う穴に着脱自在に係合し、
前記係合部材は、前記穴を取り囲んで延びる管状部分を有し、前記管状部分は、操作者が該管状部分を介して前記係合部材を把持して移動させるに十分な長さを有することを特徴とする大型ペリクル支持装置用部材。 - 前記装着部材は、ハンドル部分を備え、操作者が前記装着部材を移動させるよう前記ハンドル部分に接触可能であることを特徴とする請求項7に記載の大型ペリクル支持装置用部材。
- 前記装着部材は複数の前記棒状突起を有し、前記係合部材は前記棒状突起をそれぞれ収容して嵌り合う複数の前記穴を有することを特徴とする請求項7または請求項8に記載の大型ペリクル支持装置用部材。
- 前記複数の棒状突起は、前記枠に張られた時のペリクル膜の厚さ方向に直角な方向に相互に離されて配置されていることを特徴とする請求項9に記載の大型ペリクル支持装置用部材。
- 前記複数の棒状突起は、水平方向に相互に離されて配置されていることを特徴とする請求項9に記載の大型ペリクル支持装置用部材。
- 枠上に長辺が700mm以上のペリクル膜が張られた大型ペリクルを床に対して移動可能な移動可能部材上に装着するための方法であり、
前記枠に嵌合する係合部材に該枠を保持させる段階と、
前記係合部材に設けられた穴内に、前記移動可能部材上に取り付けられた装着部材から略垂直方向上方に突出する棒状突起を嵌め込むことにより、前記係合部材を前記移動可能部材上に装着させる段階と、
を有し、
前記係合部材に設けられた前記穴を取り囲んで延びる管状部分を掴んで、前記穴内に前記装着部材から略垂直方向上方に突出する前記棒状突起を嵌め込むことを特徴とする大型ペリクルの装着方法。
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