KR100622335B1

KR100622335B1 - 대형 펠리클의 지지장치 및 어태치먼트

Info

Publication number: KR100622335B1
Application number: KR1020040036497A
Authority: KR
Inventors: 구리야마호즈마; 와끼모또이찌로
Original assignee: 아사히 가세이 일렉트로닉스 가부시끼가이샤
Priority date: 2003-05-23
Filing date: 2004-05-21
Publication date: 2006-09-14
Also published as: KR20040101081A; TWI241625B; CN1573574A; TW200509186A; CN1287225C

Abstract

대형 펠리클인 경우에도 용이하게 잡고 돌릴 수 있어, 그 전체면을 용이하게 검사하는 것을 가능하게 하는 지지장치를 제공하기 위해, 본 발명에 관한 대형 펠리클의 지지장치의 대표적인 구성은, 대형 펠리클의 지지장치로서, 밸런서 장치와, 상기 밸런서 장치에 설치되는 어태치먼트와, 상기 어태치먼트와 걸어맞추고, 또한 펠리클의 프레임과 끼워맞추는 걸어맞춤부재를 구비하였다.

Description

대형 펠리클의 지지장치 및 어태치먼트{SUPPORT DEVICE AND ATTACHMENT FOR LARGE SIZE PELLICLE}

도 1 은 본 발명의 실시형태의 일례인 펠리클의 지지장치의 전체 구성도이다.

도 2 는 본 발명의 실시형태의 일례인 어태치먼트를 설명하는 도면이다.

도 3 은 본 발명의 실시형태의 일례인 펠리클의 걸어맞춤부재를 설명하는 도면이다.

도 4 는 본 발명의 실시형태의 일례인 펠리클을 설명하는 도면이다.

본 발명은 펠리클막에 부착된 이물질을 제거하거나 또는 펠리클막을 검사하는 설비 및 그 사용 방법에 관한 것으로, 특히, IC (집적회로), LSI (대규모 집적회로), TFT-LCD (박막 트랜지스터 액정 디스플레이) 등의 반도체 장치를 제조할 때의 리소그래피 공정에서 사용되는 포토마스크나 레티클 (이하, 「마스크」라고 함) 에 고착하여 사용되는 대형 사이즈의 펠리클을 용이하게 지지하고, 취급하기 위한 설비 및 그 사용 방법에 관한 것이다.

펠리클은, 마스크에 대하여 소정의 거리를 두고 펠리클막을 위치시켜, 마스 크 위에 진애(塵埃) 등의 이물질이 부착하는 것을 방지하는 것이다.

포토리소그래피 공정에 있어서, 이물질 등이 펠리클 상에 부착되었다고 해도 이들의 이미지는 포토레지스트가 도포된 반도체 웨이퍼 위에 결상되지 않는다. 따라서, 마스크를 펠리클로 보호하는 것에 의해, 이물질 등의 이미지에 의한 반도체 집적회로의 단락이나 단선 등, 또한 액정 디스플레이 (이하, 「LCD」라고 한다) 의 결함을 방지할 수 있어, 포토리소그래피 공정에서의 제조 수율이 향상된다. 또, 마스크의 클리닝 회수가 감소하여, 그 수명을 연장시키는 등의 효과가 펠리클에 의해 얻어진다.

최근 LCD 에서는 TFT (박막 트랜지스터) 의 실용화에 의해 대화면화, 고정세화, 대용량화 등이 달성되고 있지만, TFT-LCD 제조에서 사용되는 펠리클도 이에 대응하여 대형화 및 면내 광투과성의 균일성이 요구되고 있으며, 또한 반도체 제조용의 펠리클에 있어서도 균일한 고(高)광선투과율을 갖는 펠리클막이 요구되고 있다. 그리고, 펠리클 자체 및 그 주변에서 미크론급(級)의 진애 등과 같은 이물질의 발생도 허용되지 않는 펠리클이 요구되고 있다.

이러한 마스크 보호장치로서의 펠리클은, 일정 폭을 갖는 펠리클 프레임과, 그 펠리클 프레임의 한쪽 측면에 접착제에 의해 접착된 투명 박막으로 이루어지는 펠리클막으로 구성되어 있다. 펠리클 프레임의 다른쪽 측면에는 마스크에 점착시키기 위한 점착재가 도포되어 있고, 점착재에는 보호필름이 접착되어 있다.

펠리클에 부착된 진애의 검사는, 암실에서 펠리클에 검사광을 조사하고, 그 반사광을 관찰함으로써 이루어지고 있었다. 검사광은 강력한 할로겐 램프광으 로, 육안에 의한 관찰 검사에 있어서는 작업자의 배후에서 조사된다. 작업자가 검사광을 펠리클에 갖다 대었을 때, 진애 등의 이물질이 존재하면 이것에 반사되어 광점으로서 관찰된다. 작업자는 이물질을 발견하면, 에어 건을 쏘아 이물질을 제거하고 있다.

충분한 검사를 하기 위해서는, 모든 각도로부터 검사광을 조사할 필요가 있다. 여기서, 종래 펠리클의 검사는, 지그에 펠리클 프레임을 끼워맞춰 지지하고, 한쪽 손으로 잡고 돌리면서 검사광에 갖다 댐과 동시에, 다른쪽 손으로 에어 건을 취급하고 있었다.

상기와 관련되는 배경기술은, 일본 공개특허공보 평6-13362호, 일본 공개특허공보 평8-226900호 및 일본 공개특허공보 2002-55059호에 개시된다.

그러나, 상기 기술한 바와 같이 최근에는 펠리클의 대형화가 진행되고 있다. 이 때문에 지그를 통하여 펠리클을 지지했다고 하여도, 예를 들어 펠리클막의 긴변이 400㎜ 정도에 도달하면, 그 크기때문에 펠리클 전체면을 관찰하기에는 손의 가동 범위내에서는 불충분하다. 이 때문에 펠리클의 선회 범위가 한정되어, 모든 각도로부터 검사광을 조사하는 것이 어려워진다.

또한, 이와 같이 펠리클 사이즈가 크면, 펠리클을 양손으로 잡아서 돌릴 필요가 있다. 이 때문에 에어 건을 동시에 취급할 수가 없어, 이물질을 발견하여도 제거하기가 어려워진다.

한편, 펠리클을 대(臺) 위에 탑재하여 검사하는 것도 생각할 수 있지만, 작 업원이 광원과 에어 건을 가지고 펠리클의 주위를 돌지 않으면 안되어, 작업 효율이 나쁠 뿐만 아니라 진애의 발생을 초래할 우려도 있다.

그래서 본 발명은, 대형 펠리클이라도 용이하게 잡고 돌릴 수 있어, 그 전체면을 용이하게 검사하는 것을 가능하게 하는 지지장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기 과제를 해결하기 위해, 펠리클막을 그 위에 장착하기 위한 프레임을, 조작자 (작업원) 가 이동할 수 있도록 바닥에 대하여 이동가능하게 지지하기 위한, 본 발명에 관한 대형 펠리클의 지지장치의 대표적인 구성은,

밸런서(balancer) 장치 (대상물을 조작자가 유지하고 있지 않아도, 대상물의 중량을 감당하고, 대상물의 수직방향 위치와 수평방향 위치와 자세를 정지시켜, 공중에 유지하는 장치) 의 대상물 설치부재로서의, 바닥에 대하여 이동가능한 이동가능부재와,

(필요에 따라서 프레임과 자유롭게 착탈시킬 수 있도록 끼워맞춰) 프레임을 유지가능하고, 또한 이동가능부재에 의해 유지되도록 이동가능부재에 (필요에 따라서) 자유롭게 착탈시킬 수 있도록 접속가능한 걸어맞춤부재를 갖는다.

이 구성에 의해, 한쪽 손으로 펠리클을 이동시킬 수 있고, 또한 사람의 손으로 유지하지 않고 임의의 자세에서의 각도와 위치로 펠리클을 정지시켜 지지할 수 있다. 이 때문에, 면적이 크고 또한 무거운 대형 펠리클이라도, 모든 각도로부터 검사광을 조사하여, 충분한 검사를 수행할 수 있다.

이동가능부재는, 바닥에 대하여 수평방향의 이동과, 바닥에 대하여 수직방향의 이동과, 바닥에 교차하는 축선 주위에서의 선회 이동과, 바닥에 평행한 축선 주위에서의 선회 이동 중, 적어도 하나가 가능할 수도 있다.

이동가능부재 위에 설치되는 장착부재를 추가로 갖고, 걸어맞춤부재는, 장착부재에 의해 유지되도록 장착부재와 자유롭게 착탈시킬 수 있도록 걸어맞춤가능하다면, 이동가능부재와 걸어맞춤부재의 접속 구조의 선택의 폭이 증대된다.

장착부재는, 핸들부분을 구비하여, 조작자가 장착부재를 이동시키도록 핸들부분에 접촉가능하다면, 펠리클에 대한 조작자의 접촉 방지에 유효하다. 핸들부분은, 프레임에 장착되었을 때의 펠리클막의 두께방향에서 보아, 프레임의 반경방향에 있어서 프레임 (또는 프레임에 장착된 펠리클막) 보다 외측에 (바람직하게는 수직방향에 있어서는 프레임 (또는 프레임에 장착된 펠리클막) 의 적어도 일부와 동일한 높이이면서 (가장 바람직하게는 프레임 (또는 프레임에 장착된 펠리클막) 의 중심보다 높은 높이까지 연장되는 것도 수반하여), 수평방향에 있어서 프레임 (또는 프레임에 장착된 펠리클막) 보다 외측에) 배치된다면, 펠리클 상에서의 이물질의 발견 및 펠리클 상에서의 이물질의 제거시에 핸들부분이 차폐물이 되는 것이 방지된다.

장착부재는 수직방향 상측으로 돌출하는 봉형상 돌기를 갖고, 걸어맞춤부재는, 봉형상 돌기를 수용하여 끼워 넣는 구멍을 갖고, 봉형상 돌기와 구멍의 끼워맞춰짐에 따라서 걸어맞춤부재가 장착부재와 (필요에 따라서) 자유롭게 착탈시킬 수 있도록 걸어맞춰져 장착부재에 의해 유지된다면, 펠리클막이 그 위에 장착된 프레 임을 유지하는 걸어맞춤부재를, 상측으로부터 봉형상 돌기에 삽입하여 봉형상 돌기를 따라서 하강시키는 것에 의해 장착부재에 지지시키는 것이 가능해져, 장착부재 위에 걸어맞춤부재를 장착하는 것이 용이하게 실행될 수 있다. 또한, 펠리클막이 그 위에 장착된 프레임을 유지하는 걸어맞춤부재의 중량은, 봉형상 돌기의 선단, 또는 봉형상 돌기의 하단으로부터 반경방향 외측으로 연장되는 플랜지부에서 걸어맞춤부재에 접촉시키는 것에 의해 부담하는 것이 바람직하다.

걸어맞춤부재는, 구멍을 둘러싸고 연장되는 관형상 부분을 갖는다면, 걸어맞춤부재의 경량화에 유효하다. 관형상 부분은, 조작자가 관형상 부분을 통하여 걸어맞춤부재를 잡고 이동시키기에 (예를 들어, 관형상 부분을 손바닥 안에 쥐고, 보다 바람직하게는 손바닥 안을 구멍이 통과하도록 쥐고 이동시키기에) 충분한 길이를 갖는다면, 봉형상 돌기와 구멍의 정렬을 정확하게 실행할 수 있어 봉형상 돌기와 구멍의 끼워맞춤을 용이하게 실행하는 것이 가능해진다.

장착부재는 복수의 봉형상 돌기를 갖고, 걸어맞춤부재는 봉형상 돌기를 각각 수용하여 끼워 넣는 복수의 구멍을 갖는다면, 장착부재와 걸어맞춤부재의 사이의 위치결정 정밀도가 향상된다. 복수의 봉형상 돌기는, 프레임에 장착되었을 때의 펠리클막의 두께방향과 직각인 방향에서 서로 떨어져 있다면, 걸어맞춤부재의 프레임에 장착되었을 때의 펠리클막의 두께방향에서의 형상의 축소화에 유효하다. 복수의 봉형상 돌기는, 수평방향에 있어서 서로 떨어져 있다면, 장착부재와 걸어맞춤부재의 사이의 수평방향에서의 위치결정 정밀도가 향상된다.

펠리클막을 그 위에 장착하기 위한 프레임을, 밸런서 장치 (대상물을 조작자 가 유지하고 있지 않아도, 대상물의 중량을 감당하고, 대상물의 수직방향 위치와 수평방향 위치와 자세를 정지시켜, 공중에 유지하는 장치) 의 대상물 설치부재로서의, 바닥에 대하여 이동가능한 이동가능부재에 장착하기 위한 장치가,

이동가능부재 위에 설치되는 장착부재와,

(필요에 따라서 프레임과 끼워맞춰) 프레임을 유지가능하고, 또한 장착부재에 의해 유지되도록 장착부재와 (필요에 따라서) 자유롭게 착탈시킬 수 있도록 걸어맞춤가능한 걸어맞춤부재를 갖고,

장착부재는 수직방향 상측으로 돌출하는 봉형상 돌기를 갖고, 걸어맞춤부재는, 봉형상 돌기를 수용하여 끼워 넣는 구멍을 갖고, 봉형상 돌기와 구멍의 끼워맞춰짐에 따라서 걸어맞춤부재가 장착부재와 (필요에 따라서) 자유롭게 착탈시킬 수 있도록 걸어맞춰져 장착부재에 의해 유지될 수도 있다. 장착부재는, 핸들부분을 구비하여, 조작자가 장착부재를 이동시키도록 핸들부분에 접촉가능할 수도 있다.

펠리클막이 그 위에 장착된 프레임을, 바닥에 대하여 이동가능한 이동가능부재 위에 장착하기 위한 방법이, 걸어맞춤부재에 프레임을 유지시키도록 걸어맞춤부재에 프레임을 걸어맞추는 단계와, 이동가능부재 위에 장착되는 장착부재에, 장착부재에 의해 유지되도록 걸어맞춤부재를 걸어맞추는 단계를 갖고,

이동가능부재 위에 설치되는 장착부재에, 장착부재에 의해 유지되도록 걸어맞춤부재를 걸어맞추는 단계에 있어서, 봉형상 돌기와 구멍의 끼워맞춰짐에 의해 걸어맞춤부재가 장착부재 위에 유지되도록, 걸어맞춤부재의 구멍내에 장착부재의 수직방향 상측으로 돌출하는 봉형상 돌기를 끼워 넣은 것을 특징으로 한다면, 펠리클막이 그 위에 장착된 프레임을 유지하는 걸어맞춤부재를, 상측으로부터 봉형상 돌기에 삽입하여 봉형상 돌기를 따라서 하강시키는 것에 의해 장착부재에 지지시키는 것이 가능해져, 장착부재 위로 걸어맞춤부재를 장착하는 것이 용이하게 실행될 수 있다. 걸어맞춤부재의 구멍을 둘러싸고 연장되는 관형상 부분을 잡고, 걸어맞춤부재의 구멍내에, 장착부재의 수직방향 상측으로 돌출하는 봉형상 돌기를 끼워 넣는다면, 봉형상 돌기와 구멍의 정렬을 정확하게 수행할 수 있어 봉형상 돌기와 구멍의 끼워맞춰짐을 용이하게 실행하는 것이 가능해진다.

본 발명의 대형 펠리클의 지지장치, 어태치먼트 및 그 사용 방법은, 펠리클막의 긴변이 400㎜ 이상, 특히 700㎜ 이상인 대형 펠리클을 지지하여 취급하는 경우에 현저한 효과를 발휘한다. 또한 본 발명은, 대형 펠리클의 펠리클막에 부착된 이물질을 제거 또는 검사하는 설비 및 그 사용 방법으로서 바람직하다.

발명의 실시예의 상세한 설명

이하, 본 발명에 관한 대형 펠리클의 지지장치 및 어태치먼트의 실시형태에 대해 설명한다. 도 1 은 펠리클의 지지장치의 전체 구성도, 도 2 는 어태치먼트를 설명하는 도면, 도 3 은 펠리클의 걸어맞춤부재를 설명하는 도면, 도 4 는 펠리클을 설명하는 도면이다.

도 1 에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 관한 대형 펠리클의 지지장치는, 밸런서 장치 (1) 의 선단에 어태치먼트 (2) 가 설치되어 있고, 이 어태치먼트 (2) 에 펠리클 (4) 의 걸어맞춤부재 (3) 를 착탈가능하게 걸어맞추고 있다. 또한 검사를 실시하기 위해, 검사광을 조사하는 광원 (5), 발견된 진애를 제거하기 위한 에어 건 (6) 이 사용된다.

밸런서 장치 (1) 는, 본체 (11) 에, 상하이동 아암 (12a, 12b), 브래킷 (13), 수평 아암 (14), 선회 유닛 (15) 및 풋 페달 (16) 을 구비하고 있다. 본체 (11) 의 내부에는 구동장치가 구비되어 있고, 풋 페달 (16) 에 의한 조작에 따라서 상하이동 아암 (12a, 12b) 을 구동하여 상하방향으로 회전운동시킨다 (화살표 A 방향). 구동장치는, 압축 공기, 전기, 스프링 등을 동력으로 할 수 있다. 2 개의 상하이동 아암 (12a, 12b) 이 평행하게 설치되어 있는 것에 의해, 그 선단의 브래킷 (13) 이 수직 자세를 유지한 채로 상하이동할 수 있다. 브래킷 (13) 에 설치된 수평 아암 (14) 은 수평면내를 회전운동이 가능하게 되어 있고 (화살표 B 방향), 토크 키 바를 구비하여 소정의 슬라이딩 저항을 부여하고 있다. 수평 아암 (14) 의 선단에 구비된 선회 유닛 (15) 은, 수평 아암 (14) 에 대하여 수평면내에서 회전가능하게 되어 있고 (화살표 C 방향), 또한 수직면내에서 어태치먼트 (2) 를 회전가능하게 되어 있다 (화살표 D 방향). 수평면내에서의 회전에 대해서는 풋 페달 (16) 에 의한 브레이크 조작이 가능하게 되어 있고, 또한 수직면내에서의 회전에 대해서는 토크 키 바를 구비하여 소정의 슬라이딩 저항을 부여하고 있다.

즉, 밸런서 장치 (1) 는, 어태치먼트 (2) 를 수직방향, 수평방향, 선회의 3 축으로 움직일 수 있도록 되어 있다. 그리고 각 축은, 각각 구동장치, 브레이크, 또는 토크 키 바의 작용에 의해, 임의의 자세에서 정지시킬 수 있다.

도 2 에 나타낸 바와 같이, 어태치먼트 (2) 는, 수평방향에 배치되는 프레임 (21) 이, 플랜지 (22) 에 의해서 밸런서 장치 (1) 의 선회 유닛 (15) 에 설치되어 있다. 프레임 (21) 의 중도부(中途部)에는 상측으로 돌출하는 봉형상의 돌기 (23) 가 2 개 구비되어 있다.

2 개의 돌기 (23) 의 간격은, 걸어맞춤부재 (3) 의 원통부 (32) 의 간격과 일치되어 있어, 돌기 (23) 를 원통부 (32) 에 삽입가능하게 되어 있다. 또한 프레임 (21) 의 일단에는 손잡이 (24) 가 수직방향으로 설치되어 있고, 타단에는 손잡이 (24) 보다도 큰 착탈 손잡이 (25) 가 장착가능하게 되어 있다.

여기서, 지지될 펠리클 (4) 의 구성에 대해서 설명한다. 도 4(a), (b) 에 나타낸 바와 같이, 펠리클 (4) 은, 펠리클 프레임 (41) 의 상부 가장자리에 접착제 (42) 를 통하여 펠리클막 (43) 이 접착되어 있다. 펠리클 프레임 (41) 의 하부 가장자리 (하면) 에는 펠리클 (4) 을 포토마스크나 레티클 (이하, 간단히 마스크라고 한다) 에 점착할 때에 사용되는 점착재 (44) 가 도포되는 동시에, 이 점착재 (44) 에는 펠리클 (4) 의 접착시에 간단히 박리할 수 있는 보호필름 (45) 이 점착되어 있다. 상기 펠리클 프레임 (41) 의 둘레 측면에는, 파지용의 걸어맞춤부재 (3) 를 장착하기 위한 홈 (41a) 이 형성되어 있다.

펠리클 프레임 (41) 으로는 펠리클막 (43) 을 지지할 수 있는 프레임이면 어떠한 재질이어도 되지만, 표면을 알루마이트 처리한 알루미늄 프레임이나 크롬 도금 등을 실시한 금속 프레임 등의 지지 프레임 등이 사용되고, 그 형상도 사각형, 원형 등 기타 각종 형상이어도 된다. 통상적으로는, 제조의 용이함, 강도 등의 관점에서 금속 프레임이 사용된다.

도 3 에 나타낸 바와 같이, 걸어맞춤부재 (3) 는, 가이드부 (31) 와 원통부 (32) 를 구비하고 있다. 가이드부 (31) 는 대략 ㄷ 자 형상을 이루고 있고, 펠리클 프레임 (41) 의 양측면에 위치하는 폭으로 형성되어 있다. 가이드부 (31) 의 내면에는 리브 (31a) 가 형성되어 있어, 펠리클 프레임 (41) 의 홈 (41a) 과 끼워맞춰진다. 걸어맞춤부재 (3) 의 원통부 (32) 는 가이드부 (31) 의 ㄷ 자 형상의 개방측과 반대되는 측에 형성되어 있고, 본 실시형태에서는 2 개가 구비되어 있다. 걸어맞춤부재 (3) 의 가이드부 (31) 의 폭은 지지하는 펠리클 (4) 에 따라서 여러가지 치수로 형성되지만, 원통부 (32) 의 간격은 어태치먼트 (2) 의 돌기 (23) 의 폭과 일치하도록 일정한 폭으로 설정한다.

상기 구성의 걸어맞춤부재 (3) 에 의해 펠리클 (4) 을 지지할 때에는, 작업자가 원통부 (32) 를 잡고, 탑재된 펠리클 (4) 의 펠리클 프레임 (41) 의 홈 (41a) 에 가이드부 (31) 의 리브 (31a) 를 슬라이딩시켜 삽입하여, 세운다. 그러면 걸어맞춤부재 (3) 는 펠리클 (4) 을 상측으로 하여 지지하게 되기 때문에, 원통부 (32) 는 아래쪽으로 개구된다. 그리고 작업자는, 걸어맞춤부재 (3) 의 원통부 (32) 를 잡은 채로, 그 개구에 어태치먼트 (2) 의 돌기 (23) 를 삽입하여 설치한다.

어태치먼트 (2) 와 걸어맞춤부재 (3) 의 걸어맞춤을 위한 구조는, 본 실시형태와 같이 봉형상의 돌기 (23) 와 원통부 (32) 에 한정되지 않고, 이미 알려진 각종 걸어맞춤 구조를 채용할 수 있다. 단 본 실시형태과 같이 구성한 것에 의해, 작업자는 걸어맞춤이 종료될 때까지 원통부 (32) 의 같은 부분을 잡고 있을 수 있기 때문에, 작업을 용이하게 할 수 있다.

상기와 같이 구성한 것에 의해, 펠리클 (4) 을 밸런서 장치 (1) 에 간편하게 설치할 수 있다. 이것에 의해, 한쪽 손으로 펠리클 (4) 을 이동시킬 수 있고, 또 펠리클 (4) 의 무게를 사람의 손으로 지탱할 필요가 없어, 임의의 각도로 지지할 수 있다.

따라서, 펠리클 (4) 을 자유롭게 이동시켜 모든 각도로부터 검사광을 조사할 수 있어, 구석구석까지 충분하게 검사하는 것이 가능해진다. 그리고 검사 광원까지 움직임으로써, 보다 유연한 검사를 실시할 수 있다. 또한, 작업자가 한쪽 손으로 이동가능하고, 손을 떼어도 밸런서 장치 (1) 가 펠리클 (4) 을 그 위치 그 자세로 유지시키기 때문에, 작업자는 에어 건 (6) 을 다른쪽 손으로 취급할 수 있어, 이물질을 에어 건 (6) 으로 제거하는 작업이 용이해진다.

본 발명은, IC, LSI, TFT-LCD 등의 반도체 장치를 제조할 때의 리소그래피 공정에서 사용되는 포토마스크나 레티클에 고착하여 사용되는 대형 사이즈의 펠리클을 취급하기 위한 장치 및 그 사용 방법으로서 사용된다.

Claims

펠리클막 (43) 을 그 위에 장착하기 위한 프레임 (41) 을, 조작자가 이동할 수 있도록 바닥에 대하여 이동가능하게 지지하기 위한 장치로서,

상기 바닥에 대하여 이동가능한 이동가능부재 (22) 와,

상기 프레임 (41) 을 유지가능하고, 또한 이동가능부재 (22) 에 의해 유지되도록 이동가능부재 (22) 에 자유롭게 착탈시킬 수 있도록 접속가능한 걸어맞춤부재 (3) 를, 갖는 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 이동가능부재 (22) 는, 바닥에 대하여 수평방향의 이동과, 바닥에 대하여 수직방향의 이동과, 바닥에 교차하는 축선 주위에서의 선회 이동과, 바닥에 평행한 축선 주위에서의 선회 이동 중, 적어도 하나가 가능한 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 이동가능부재 (22) 에 설치되는 장착부재 (2) 를 추가로 갖고,

상기 걸어맞춤부재 (3) 는, 상기 장착부재 (2) 에 의해 유지되도록 이 장착부재 (2) 와 자유롭게 착탈시킬 수 있도록 걸어맞춤가능한 장치.
제 3 항에 있어서, 상기 장착부재 (2) 는, 핸들부분 (25) 을 구비하여, 조작 자가 상기 장착부재 (2) 를 이동시키도록 핸들부분 (25) 에 접촉가능한 장치.
제 4 항에 있어서, 상기 핸들부분 (25) 은, 상기 프레임 (41) 에 장착되었을 때의 펠리클막 (43) 의 두께방향에서 보아, 상기 프레임 (41) 보다 외측에 배치되는 장치.
제 3 항에 있어서, 상기 장착부재 (2) 는 수직방향 상측으로 돌출하는 봉형상 돌기 (23) 를 갖고, 상기 걸어맞춤부재 (3) 는, 봉형상 돌기 (23) 를 수용하여 끼워 맞추는 구멍을 갖고, 봉형상 돌기 (23) 와 구멍의 끼워맞춰짐에 따라서 상기 걸어맞춤부재 (3) 가 상기 장착부재 (2) 와 자유롭게 착탈시킬 수 있도록 걸어맞춰져 상기 장착부재 (2) 에 의해 유지되는 장치.
제 6 항에 있어서, 상기 걸어맞춤부재 (3) 는 구멍을 둘러싸고 연장되는 관형상 부분 (32) 을 갖는 장치.
제 7 항에 있어서, 상기 관형상 부분 (32) 은, 조작자가 관형상 부분 (32) 을 통하여 걸어맞춤부재 (3) 를 잡고 이동시키기에 충분한 길이를 갖는 장치.
제 6 항에 있어서, 상기 장착부재 (2) 는 복수의 봉형상 돌기 (23) 를 갖고, 걸어맞춤부재 (3) 는 봉형상 돌기 (23) 를 각각 수용하여 끼워 맞추는 복수의 구멍을 갖는 장치.
제 9 항에 있어서, 상기 복수의 봉형상 돌기 (23) 는, 프레임 (41) 에 장착되었을 때의 펠리클막 (43) 의 두께방향과 직각인 방향에서 서로 떨어져 있는 장치.
제 9 항에 있어서, 상기 복수의 봉형상 돌기 (23) 는, 수평방향에서 서로 떨어져 있는 장치.
펠리클막 (43) 을 그 위에 장착하기 위한 프레임 (41) 을, 바닥에 대하여 이동가능한 이동가능부재 (22) 에 설치하기 위한 장치로서,

상기 이동가능부재 (22) 위에 설치되는 장착부재 (2) 와,

상기 프레임 (41) 을 유지가능하고, 또한 장착부재 (2) 에 의해 유지되도록 장착부재 (2) 와 자유롭게 착탈시킬 수 있도록 걸어맞춤가능한 걸어맞춤부재 (3) 를 갖고,

상기 장착부재 (2) 는 수직방향 상측으로 돌출하는 봉형상 돌기 (23) 를 갖고, 상기 걸어맞춤부재 (3) 는, 봉형상 돌기 (23) 를 수용하여 끼워 맞추는 구멍을 갖고, 봉형상 돌기 (23) 와 구멍의 끼워맞춰짐에 따라서 상기 걸어맞춤부재 (3) 가 상기 장착부재 (2) 와 자유롭게 착탈시킬 수 있도록 걸어맞춰져 장착부재 (2) 에 의해 유지되는 장치.
제 12 항에 있어서, 상기 장착부재 (2) 는, 핸들부분 (25) 을 구비하여, 조작자가 장착부재 (2) 를 이동시키도록 핸들부분 (25) 에 접촉가능한 장치.
제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 걸어맞춤부재 (3) 는 구멍을 둘러싸고 연장되는 관형상 부분 (32) 을 갖는 장치.
제 14 항에 있어서, 상기 관형상 부분 (32) 은, 조작자가 관형상 부분 (32) 을 통하여 걸어맞춤부재 (3) 를 잡고 이동시키기에 충분한 길이를 갖는 장치.
제 12 항에 있어서, 상기 장착부재 (2) 는 복수의 봉형상 돌기 (23) 를 갖고, 걸어맞춤부재 (3) 는 봉형상 돌기 (23) 를 각각 수용하여 끼워 맞추는 복수의 구멍을 갖는 장치.
제 16 항에 있어서, 상기 복수의 봉형상 돌기 (23) 는, 프레임 (41) 에 장착되었을 때의 펠리클막 (43) 의 두께방향과 직각인 방향에서 서로 떨어져 있는 장치.
제 16 항에 있어서, 상기 복수의 봉형상 돌기 (23) 는, 수평방향에서 서로 떨어져 있는 장치.
펠리클막 (43) 이 그 위에 장착된 프레임 (41) 을, 바닥에 대하여 이동가능한 이동가능부재 (22) 위에 장착하기 위한 방법으로,

상기 프레임 (41) 을 걸어맞춤부재 (3) 에 유지시키도록, 이 걸어맞춤부재 (3) 에 프레임 (41) 을 걸어맞추는 단계와,

상기 이동가능부재 (22) 위에 설치되는 장착부재 (2) 에, 장착부재 (2) 에 의해 유지되도록 걸어맞춤부재 (3) 를 걸어맞추는 단계를 갖고,

상기 이동가능부재 (22) 위에 설치되는 장착부재 (2) 에, 장착부재 (2) 에 의해 유지되도록 걸어맞춤부재 (3) 를 걸어맞추는 단계에서,

봉형상 돌기 (23) 와 구멍의 끼워맞춰짐에 의해 걸어맞춤부재 (3) 가 장착부재 (2) 위에 유지되도록, 걸어맞춤부재 (3) 의 구멍내에 장착부재 (2) 의 수직방향 상측으로 돌출하는 봉형상 돌기 (23) 를 끼워 맞추는 것을 특징으로 하는 방법.
제 19 항에 있어서, 상기 걸어맞춤부재 (3) 의 구멍을 둘러싸고 연장되는 관형상 부분 (32) 을 잡고, 걸어맞춤부재 (3) 의 구멍내에 장착부재 (2) 의 수직방향 상측으로 돌출하는 봉형상 돌기 (23) 를 끼워 맞추는 것을 특징으로 하는 방법.