KR20020049820A

KR20020049820A - 반도체 제조를 위한 노광시스템의 레티클 로딩장치

Info

Publication number: KR20020049820A
Application number: KR1020000079115A
Authority: KR
Inventors: 정재관
Original assignee: 박종섭; 주식회사 하이닉스반도체
Priority date: 2000-12-20
Filing date: 2000-12-20
Publication date: 2002-06-26

Abstract

본 발명은 노광용 스텝퍼의 레티클 로딩장치의 구조 개선을 통해, 노광 장비안의 레티클 카세트 내에 수납되는 레티클에 대한 보관 방법의 변경이 가능하도록 하므로써, 장기 보관시에도 레티클의 크리스탈 뒷면 오염이 방지되도록 한 것이다.

이를 위해, 본 발명은 메인프레임(1)과, 상기 메인프레임(1)상에 Z축 방향을 따라 승강가능함과 더불어 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 설치되는 제1아암(2)과, 상기 제1아암(2) 선단부에 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 설치되는 제2아암(3)과, 레티클(14)이 안착되는 핑거(5)를 구비한 레티클 리시버(4)와, 상기 레티클(14)이 안착된 레티클 리시버(4)를 X축 또는 Y축을 중심으로 회전시키는 레티클 리시버 회전수단을 포함하여서 됨을 특징으로 하는 반도체 제조를 위한 노광시스템의 레티클 로딩장치가 제공된다.

Description

반도체 제조를 위한 노광시스템의 레티클 로딩장치{device for loading reticle in exposure system in fabrication of semiconductor device}

본 발명은 반도체 제조를 위한 노광시스템의 레티클 로딩장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 노광을 위한 스텝퍼 내의 레티클 카세트에 수납되는 레티클(즉, 마스크)에 대한 보관 방법 개선을 위해, 레티클 로딩장치의 구조를 개선한 것이다.

도 1은 종래 노광공정용 스텝퍼의 레티클 로딩 시스템(reticle loading system)을 나타낸 사시도로서, 레티클 로딩 순서를 설명하기 위한 사시도로서, 레티클 카세트 적재실(9)의 레티클 카세트(10)내에 수납되어 있던 레티클(14)은 카세트 로봇(11)에 의해 레티클 카세트(10)를 빠져 나온 후, 레티클 로딩유니트(12)로 이동하게 된다.

이어, 상기 레티클 로딩유니트(12)로 빠져 나온 레티클(14)은 레티클 핸드(13)로 이동한 다음, 다시 반송로봇(도시는 생략함)의 작용에 의해 레티클 스테이지(도시는 생략함)로 이동한 후 노광에 투입된다.

한편, 도 2는 레티클 로딩유니트(12)를 나타낸 사시도로서, 메인프레임(1)과, 상기 메인프레임(1)상에 Z축 방향을 따라 승강가능함과 더불어 Z축을 중심으로회전 가능하도록 설치되는 제1아암(2)과, 상기 제1아암(2) 선단부에 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 설치되는 제2아암(3)과, 상기 제2아암(3) 선단부에 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 설치되는 레티클 리시버(4)를 포함하여 구성된다.

이 때, 상기 레티클 리시버(4)에는 레티클(14)이 직접 안착되는 핑거(5)가 구비된다.

한편, 종래에는 레티클(14)이 도 3에 도시된 바와 같은 형태로 레티클 카세트(10)내에 보관된다.

즉, 종래에는 레티클(14)을 레티클 카세트(10)내에 수납시, 레티클(14) 제작시 기판 역할을 하는 크리스탈(15)의 양면 중에서 패턴(16)이 형성되지 않은 면이 상부를 향하고 미세패턴(16)이 형성된 면은 하부를 향하도록 레티클(14)이 카세트 내부에 수납된다.

또한, 패턴(16)이 형성된 면은 박막(17)(pellicle)에 의해 2차적으로 커버링되어 패턴(16)영역에 이물질이 유입되는 것이 보다 확실히 방지된다.

그러나, 종래에는 이같은 방식으로 레티클(14)을 레티클 카세트(10)내에 보관함에 따라 레티클 카세트 적재실(9)(reticle cassette library)내에 레티클(14)이 장기간 방치될 경우, 마스크 제작시 기판 역할을 하는 크리스탈(15) 뒷면이 이물질로 인해 오염되는 문제점이 있었다.

따라서, 이를 해소하기 위해서는 카세트 내의 레티클(14) 수납 방향을 바꾸어, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 레티클(14)의 박막(17)이 위쪽을 향하도록 하면 된다.

그러나, 이 경우에는 레티클(14) 상하면의 방향이 바뀌어 수납됨에 따라, 이에 맞추어 레티클 로딩유니트(12)의 구조 변경이 수반되어야 한다.

즉, 노광공정에의 투입을 위해 레티클(14)을 레티클 카세트 적재실(9)에 적재된 레티클 카세트(10)로부터 빼내어 레티클 핸드(13)측으로 이동시킬 경우, 레티클 로딩유니트(12)의 구조가 개선되지 않으면 안된다.

이는, 기존의 레티클 로딩유니트(12)는 기능상 상하 및 평면상으로의 이동은 가능하나, 레티클(14)의 상하면을 뒤집을 수 있는 회전기능은 없기 때문이다.

본 발명은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 레티클 로딩장치의 구조 개선을 통해, 노광 장비안의 레티클 카세트 내에 수납되는 레티클에 대한 보관 방법의 변경이 가능하도록 하므로써, 장기 보관시 레티클의 크리스탈 뒷면 오염을 방지하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래 노광공정용 스텝퍼의 레티클 로딩 시스템을 나타낸 사시도로서, 레티클 로딩 순서를 설명하기 위한 사시도

도 2는 레티클 로딩 유니트를 나타낸 사시도

도 3은 레티클 카세트에 레티클이 놓인 모습을 나타낸 종단면도

도 4는 본 발명에 따른 레티클 로딩 유니트를 나타낸 사시도

도 5는 도 4의 측면도

도 6은 본 발명 장치 적용시, 레티클 카세트에 레티클이 수납된 모습을 나타낸 종단면도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1:메인프레임 2:제1아암

3:제2아암 4:레티클 리시버

5:핑거 6:진공홀

7:레티클 리시버 마운트 8:구동모터

9:레티클 카세트 적재실 10:레티클 카세트

11:카세트 로봇 12:레티클 로딩유니트

13:레티클 핸드 14:레티클

15:크리스탈 16:패턴

17:박막

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 메인프레임과, 상기 메인프레임상에 Z축 방향을 따라 승강가능함과 더불어 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 설치되는 제1아암과, 상기 제1아암 선단부에 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 설치되는 제2아암과, 레티클이 안착되는 핑거를 구비한 레티클 리시버와, 상기 레티클이 안착된 레티클 리시버를 X축 또는 Y축을 중심으로 회전시키는 레티클 리시버 회전수단을 포함하여서 됨을 특징으로 하는 반도체 제조를 위한 노광시스템의 레티클 로딩장치가 제공된다.

이하, 본 발명의 일실시예를 첨부도면 도 4 내지 도 6를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명에 따른 레티클 로딩유니트(12)를 나타낸 사시도이고, 도 5는 도 4의 측면도로서, 메인프레임(1)상에 Z축 방향을 따라 승강가능함과 더불어 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 제1아암(2)이 설치되고, 상기 제1아암(2) 선단부에는 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 제2아암(3)이 설치되며, 상기 제2아암(3) 선단부에는 Z축을 중심으로 회전 가능한 레티클 리시버 마운트(7)(reticle receiver mount)가 설치되고, 상기 레티클 리시버 마운트(7) 상에는 구동모터(9)가 장착되며, 상기 구동모터(9)의 회전축에는 진공홀(6)이 형성된 핑거(5)가 구비된 레티클 리시버(4)(reticle receiver)가 결합되어 구성된다.

즉, 상기 구성에서, 제2아암(3) 선단부에 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 설치되는 레티클 리시버 마운트(7)와, 상기 레티클 리시버 마운트(7) 상면에 장착되는 구동모터(9)는 레티클 리시버 회전수단을 구성한다.

이와 같이 구성된 본 발명의 레티클 로딩유니트(12)의 작용은 다음과 같다.

먼저, 본 발명 장치 적용시에는, 레티클 카세트 적재실(9)에 적재된 레티클 카세트(10) 내에는 도 6에 나타낸 바와 같은 모습으로 레티클(14)이 수납된다.

이와 같이 된 상태에서 노광공정에의 투입을 위해 레티클 스테이지(도시는 생략함)으로 레티클(14)을 반송시킬 경우, 레티클 카세트 적재실(9)의 레티클 카세트(10)내에 수납되어 있던 레티클(14)은 카세트 로봇(11)에 의해 레티클 카세트(10)를 빠져 나온 후, 레티클 로딩유니트(12)로 이동하게 된다.

이어, 상기 레티클 로딩유니트(12)로 빠져 나온 레티클(14)은 레티클 핸드(13)로 이동하게 된다.

이 때, 본 발명에서는 레티클 카세트(10)에 수납된 레티클(14)이 도 6에서와 같이 패턴(16) 형성면이 상부를 향하고 있어, 카세트 로봇(11)에 의해 레티클 카세트(10)를 빠져 나온 레티클(14)은 레티클 로딩유니트(12)의 레티클 리시버(4)에 구비된 핑거(5)에 안착될 때까지 동일한 방향성을 나타내게 된다.

따라서, 레티클(14)을 레티클 핸드(13)로 반송하는 과정에서 레티클(14)의 상하면 위치를 바꾸어 주어야 하는데, 본 발명의 레티클 로딩유니트(12) 상에는 레티클 리시버(4)를 회전시킬 수 있는 수단이 구비되어 있으므로 레티클(14)을 뒤집을 수 있게 된다.

이 때, 본 발명에서는 핑거(5)에 진공홀(6)이 구비되어 있어, 레티클 리시버(4)의 X축 또는 Y축을 중심으로 한 회전시, 레티클(14)이 핑거(5)에 흡착되어 떨어지지 않게 된다.

이와 같은 레티클 로딩유니트(12)의 동작에 의해 레티클 핸드(13)측으로 이동한 레티클(14)은 다시 반송로봇(도시는 생략함)의 작용에 의해 레티클 스테이지(도시는 생략함)로 이동한 후 노광 공정에 투입된다.

이상에서와 같이, 본 발명은 노광용 스텝퍼의 레티클 로딩장치의 구조 개선을 통해, 노광 장비안의 레티클 카세트 내에 수납되는 레티클에 대한 보관 방법의 변경이 가능하도록 한 것이다.

이에 따라, 본 발명은 레티클 카세트에 레티클을 장기 보관시에도 레티클의 크리스탈 뒷면 오염을 효과적으로 방지할 수 있게 된다.

Claims

메인프레임과,

상기 메인프레임상에 Z축 방향을 따라 승강가능함과 더불어 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 설치되는 제1아암과,

상기 제1아암 선단부에 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 설치되는 제2아암과,

레티클이 안착되는 핑거를 구비한 레티클 리시버와,

상기 레티클이 안착된 레티클 리시버를 X축 또는 Y축을 중심으로 회전시키는 레티클 리시버 회전수단을 포함하여서 됨을 특징으로 하는 반도체 제조를 위한 노광시스템의 레티클 로딩장치.
제 1 항에 있어서,

상기 레티클 리시버 회전수단은,

상기 제2아암 선단부에 Z축을 중심으로 회전 가능하도록 설치되는 레티클 리시버 마운트와,

상기 레티클 리시버 마운트 상면에 장착되는 구동모터를 포함하여서 됨을 특징으로 하는 반도체 제조를 위한 노광시스템의 레티클 로딩장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 레티클 리시버의 핑거에는 레티클의 흡착을 위한 복수개의 진공홀이 형성됨을 특징으로 하는 반도체 제조를 위한 노광시스템의 레티클 로딩장치.