JP3101687B2 - 角型ガラス基板の位置決め載置台 - Google Patents
角型ガラス基板の位置決め載置台Info
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- JP3101687B2 JP3101687B2 JP4292591A JP4292591A JP3101687B2 JP 3101687 B2 JP3101687 B2 JP 3101687B2 JP 4292591 A JP4292591 A JP 4292591A JP 4292591 A JP4292591 A JP 4292591A JP 3101687 B2 JP3101687 B2 JP 3101687B2
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- JP
- Japan
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- glass substrate
- roller
- sides
- substrate
- mounting table
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、液晶パネルなどの任
意のサイズの角型ガラス基板を位置決めして載置する載
置台に関する。
意のサイズの角型ガラス基板を位置決めして載置する載
置台に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルや半導体用のマスク板には角
型ガラス基板が用いられており、その表面に欠陥がある
と品質が劣化するので検査装置により検査される。検査
においては基板は載置台に載置されて行われるが、欠陥
の位置を特定するために載置台に対して基板を位置決め
することが必要である。
型ガラス基板が用いられており、その表面に欠陥がある
と品質が劣化するので検査装置により検査される。検査
においては基板は載置台に載置されて行われるが、欠陥
の位置を特定するために載置台に対して基板を位置決め
することが必要である。
【０００３】図２(a),(b) は検査装置に使用されている
載置台の１例を示す。図(a) において、載置台は方形の
フレーム２をベース３に固定して構成され、フレームの
４辺の内側に設けられた載置用のエッジ21に被検査の角
型ガラス基板１が載置され、図示しない光学系により検
査される。角型ガラス基板には大小種々のサイズのもの
があるので、図(a) のフレーム２は最大のサイズに適用
し、これより小さい基板に対しては、図(b) の補助枠４
をフレームにねじ止めする方法が行われている。しか
し、ガラス基板の寸法精度は必ずしも高精度でなく、フ
レームや補助枠を高精度としても基板がピッタリ嵌合す
るわけでないので、正確な位置決めを必要とする場合に
は適用できない。また各種のサイズごとに補助枠４を用
意して、いちいち取り替えることは効率的でない。これ
らの欠点に対して、フレキシブルで正確に位置決めでき
る載置台が必要である。
載置台の１例を示す。図(a) において、載置台は方形の
フレーム２をベース３に固定して構成され、フレームの
４辺の内側に設けられた載置用のエッジ21に被検査の角
型ガラス基板１が載置され、図示しない光学系により検
査される。角型ガラス基板には大小種々のサイズのもの
があるので、図(a) のフレーム２は最大のサイズに適用
し、これより小さい基板に対しては、図(b) の補助枠４
をフレームにねじ止めする方法が行われている。しか
し、ガラス基板の寸法精度は必ずしも高精度でなく、フ
レームや補助枠を高精度としても基板がピッタリ嵌合す
るわけでないので、正確な位置決めを必要とする場合に
は適用できない。また各種のサイズごとに補助枠４を用
意して、いちいち取り替えることは効率的でない。これ
らの欠点に対して、フレキシブルで正確に位置決めでき
る載置台が必要である。
【０００４】図３はフレキシブルな位置決め載置台の例
を示し、長さがフレーム２の一方の内径に一致する移動
具22と他方の内径より短い移動具23とをＸおよびＹ方向
に設ける。任意のサイズのガラス基板１をエッジ21に載
置し、各移動具をＹまたはＸ方向に移動して固定機構22
1,231 により一時的に固定することにより、基板の２辺
の側面が押圧されて基板の隅11がフレームの隅24に一致
して位置決めされる。
を示し、長さがフレーム２の一方の内径に一致する移動
具22と他方の内径より短い移動具23とをＸおよびＹ方向
に設ける。任意のサイズのガラス基板１をエッジ21に載
置し、各移動具をＹまたはＸ方向に移動して固定機構22
1,231 により一時的に固定することにより、基板の２辺
の側面が押圧されて基板の隅11がフレームの隅24に一致
して位置決めされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上のフレキシブルな
位置決め載置台は、各ガラス基板ごとに手作業で移動具
22,23 を移動して位置決めするものであり、たとえ同一
サイズの基板であってもその都度いちいち移動具を移動
する必要があるので効率的でない。これに対して位置決
めを自動的に行う自動押圧機構が望ましい。この発明
は、これを解決する位置決め載置台を提供することを目
的とする。
位置決め載置台は、各ガラス基板ごとに手作業で移動具
22,23 を移動して位置決めするものであり、たとえ同一
サイズの基板であってもその都度いちいち移動具を移動
する必要があるので効率的でない。これに対して位置決
めを自動的に行う自動押圧機構が望ましい。この発明
は、これを解決する位置決め載置台を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、角型ガラス
基板に対する検査装置に適用する位置決め載置台であっ
て、載置台を構成する方形フレームの互いに直角をなす
２辺に設けられたガイドに沿って移動する第１および第
２の押圧部とこれら第１および第２の押圧部をそれぞれ
任意の位置に設定して一時的に固定する固定機構とを設
け、これら第１および第２の押圧部が、先端にガラス基
板の対応する２辺のそれぞれの１辺を下側が突出た段差
でそれぞれに支持するエッジと、エアシリンダにより駆
動されて基板の２辺のそれぞれの側面をそれぞれに押圧
するローラーとを有し、ローラーの先端の位置が段差の
位置よりも角型ガラス基板の辺に対して後退する位置に
配置され、角型ガラス基板の２辺を支持する位置に合わ
せて第１および第２の押圧部を設定して固定機構により
一時的に固定し、エアシリンダを駆動してローラーによ
りローラーに対向する方形フレームのＸおよびＹ方向の
２辺に対して角型ガラス基板を位置決め固定するもので
ある。
基板に対する検査装置に適用する位置決め載置台であっ
て、載置台を構成する方形フレームの互いに直角をなす
２辺に設けられたガイドに沿って移動する第１および第
２の押圧部とこれら第１および第２の押圧部をそれぞれ
任意の位置に設定して一時的に固定する固定機構とを設
け、これら第１および第２の押圧部が、先端にガラス基
板の対応する２辺のそれぞれの１辺を下側が突出た段差
でそれぞれに支持するエッジと、エアシリンダにより駆
動されて基板の２辺のそれぞれの側面をそれぞれに押圧
するローラーとを有し、ローラーの先端の位置が段差の
位置よりも角型ガラス基板の辺に対して後退する位置に
配置され、角型ガラス基板の２辺を支持する位置に合わ
せて第１および第２の押圧部を設定して固定機構により
一時的に固定し、エアシリンダを駆動してローラーによ
りローラーに対向する方形フレームのＸおよびＹ方向の
２辺に対して角型ガラス基板を位置決め固定するもので
ある。
【０００７】
【作用】上記の位置決め載置台においては、１組の押圧
部の先端にそれぞれ設けられた下側が突出た段差を持つ
エッジが任意のサイズのガラス基板に対応してＸまたは
Ｙ方向に移動して押圧部の位置が設定され、固定機構に
より一時的に固定される。一時固定された位置で載置台
に任意のサイズのガラス基板を載置し、エアシリンダに
よりローラーが駆動されて基板の２辺の側面を押圧して
位置決めされる。この場合、ローラーの先端の位置が段
差の位置よりも角型ガラス基板の辺に対して後退する位
置に配置されているので、ローラーが駆動されていない
ときには、下側が突出た段差で支持されているだけであ
るので、保持されているガラス基板は容易に外れる。そ
こで、同一サイズの基板に対しては、最初に押圧部を設
定して固定すれば、これに続く基板に対してもそのまま
でよいことは明らかである。また、エアシリンダに対す
るエアの供給を制御回路により自動化することにより位
置決めが自動化される。
部の先端にそれぞれ設けられた下側が突出た段差を持つ
エッジが任意のサイズのガラス基板に対応してＸまたは
Ｙ方向に移動して押圧部の位置が設定され、固定機構に
より一時的に固定される。一時固定された位置で載置台
に任意のサイズのガラス基板を載置し、エアシリンダに
よりローラーが駆動されて基板の２辺の側面を押圧して
位置決めされる。この場合、ローラーの先端の位置が段
差の位置よりも角型ガラス基板の辺に対して後退する位
置に配置されているので、ローラーが駆動されていない
ときには、下側が突出た段差で支持されているだけであ
るので、保持されているガラス基板は容易に外れる。そ
こで、同一サイズの基板に対しては、最初に押圧部を設
定して固定すれば、これに続く基板に対してもそのまま
でよいことは明らかである。また、エアシリンダに対す
るエアの供給を制御回路により自動化することにより位
置決めが自動化される。
【０００８】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示し、図(a) は
位置決め載置台の斜視外観図、図(b) は押圧部の詳細図
である。フレーム２は被検査の角型ガラス基板１のうち
の最大サイズに対応する大きさとし、ベース３に固定さ
れる。フレーム２の互いに直角方向の２辺を２Ｘ，２Ｙ
とし、これらにガイド溝25と、各ガイド溝に沿って移動
する２組の押圧部５Ｘ，５Ｙをそれぞれ設ける。図１
(b) において、押圧部５Ｘは図示形状の２個の先端部を
有する金属板51に、一方の先端部に基板を支持するエッ
ジ511 を、また他方の先端に基板の側面を押圧するロー
ラー52をそれぞれ設ける。エッジ511 は、図(a) に図示
するように、下側が突出た段差があって、この段差に角
型ガラス基板１の縁が載置されて支持される。ローラー
52は、アーム53の先端に軸支され、図(b) に図示するよ
うに、ローラー52の先端の位置が前記の段差の位置より
も角型ガラス基板１の辺に対して後退する位置に配置さ
れている。アームは金属板51に軸支されて他端がエアシ
リンダ55に結合される。また金属板51にはスプリング55
1 とノブ552 よりなる固定機構55を設ける。押圧部５Ｙ
も上記と同様の構造とする。
位置決め載置台の斜視外観図、図(b) は押圧部の詳細図
である。フレーム２は被検査の角型ガラス基板１のうち
の最大サイズに対応する大きさとし、ベース３に固定さ
れる。フレーム２の互いに直角方向の２辺を２Ｘ，２Ｙ
とし、これらにガイド溝25と、各ガイド溝に沿って移動
する２組の押圧部５Ｘ，５Ｙをそれぞれ設ける。図１
(b) において、押圧部５Ｘは図示形状の２個の先端部を
有する金属板51に、一方の先端部に基板を支持するエッ
ジ511 を、また他方の先端に基板の側面を押圧するロー
ラー52をそれぞれ設ける。エッジ511 は、図(a) に図示
するように、下側が突出た段差があって、この段差に角
型ガラス基板１の縁が載置されて支持される。ローラー
52は、アーム53の先端に軸支され、図(b) に図示するよ
うに、ローラー52の先端の位置が前記の段差の位置より
も角型ガラス基板１の辺に対して後退する位置に配置さ
れている。アームは金属板51に軸支されて他端がエアシ
リンダ55に結合される。また金属板51にはスプリング55
1 とノブ552 よりなる固定機構55を設ける。押圧部５Ｙ
も上記と同様の構造とする。
【０００９】上記の押圧部５Ｘ，５Ｙの動作を説明する
と、任意のサイズのガラス基板１に対応して、エッジ51
1 が基板の側面の近傍の位置なるように手作業で移動し
て押圧部の位置が設定され、ノブ552 を操作してスプリ
ング551 により押圧部をフレーム２に一時的に固定す
る。ここで、基板１をフレームのエッジ21と押圧部のエ
ッジ511 に乗せて安定に載置し、エアシリンダ54を動作
させるとローラー52が基板の２辺の側面を押圧し、基板
の隅11がフレームの対応する隅24に一致して位置決めが
なされる。なお、同一サイズの多数の基板を連続して検
査する場合は、最初に一度押圧部を移動設定すればよ
く、その回数は少なくて実用上では大きい問題とならな
い。
と、任意のサイズのガラス基板１に対応して、エッジ51
1 が基板の側面の近傍の位置なるように手作業で移動し
て押圧部の位置が設定され、ノブ552 を操作してスプリ
ング551 により押圧部をフレーム２に一時的に固定す
る。ここで、基板１をフレームのエッジ21と押圧部のエ
ッジ511 に乗せて安定に載置し、エアシリンダ54を動作
させるとローラー52が基板の２辺の側面を押圧し、基板
の隅11がフレームの対応する隅24に一致して位置決めが
なされる。なお、同一サイズの多数の基板を連続して検
査する場合は、最初に一度押圧部を移動設定すればよ
く、その回数は少なくて実用上では大きい問題とならな
い。
【００１０】以上は一実施例であって、押圧部の固定機
構、ローラーの駆動機構やガイド方法などが上記と異な
る場合であっても、上記と同様の作用をなす押圧部を有
するものは、この発明に包含される。
構、ローラーの駆動機構やガイド方法などが上記と異な
る場合であっても、上記と同様の作用をなす押圧部を有
するものは、この発明に包含される。
【００１１】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明にあって
は、任意のサイズの基板に対応する位置に２組の押圧部
を設定し、これを固定機構より一時的に固定して基板が
載置され、エアシリンダにより駆動されたローラーが基
板の２辺の側面を押圧して正確な位置決めをなすもの
で、任意のサイズの角型ガラス基板の位置決めが自動化
される効果には大きいものがある。
は、任意のサイズの基板に対応する位置に２組の押圧部
を設定し、これを固定機構より一時的に固定して基板が
載置され、エアシリンダにより駆動されたローラーが基
板の２辺の側面を押圧して正確な位置決めをなすもの
で、任意のサイズの角型ガラス基板の位置決めが自動化
される効果には大きいものがある。
【図１】 この発明の一実施例を示し、図(a) は載置台
の斜視外観図、図(b) は押圧部の構成図である。
の斜視外観図、図(b) は押圧部の構成図である。
【図２】 角型ガラス基板に対する従来の載置台の例を
示す構造図である。
示す構造図である。
【図３】 角型ガラス基板に対するフレキシブルな載置
台の例を示す構造図である。
台の例を示す構造図である。
１…角型ガラス基板、11…基板の隅、 ２…方形のフレーム、２Ｘ，２Ｙ…フレームの辺、21…
フレームのエッジ、22,23 …移動具、221,231 …固定機
構、24…フレームの隅、25…フレームのガイド溝、 ３…ベース、 ４…補助枠、 ５，５Ｘ，５Ｙ…押圧部、51…金属板、52…ローラー、
53…アーム、54…エアシリンダ、55…固定機構、551 …
スプリング、552 …ノブ。
フレームのエッジ、22,23 …移動具、221,231 …固定機
構、24…フレームの隅、25…フレームのガイド溝、 ３…ベース、 ４…補助枠、 ５，５Ｘ，５Ｙ…押圧部、51…金属板、52…ローラー、
53…アーム、54…エアシリンダ、55…固定機構、551 …
スプリング、552 …ノブ。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−71948（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−91376（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−243226（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−60749（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−38021（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−104835（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−56500（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−120346（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−42537（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23Q 3/02 B23Q 3/18 G09F 9/00
Claims (1)
- 【請求項１】 角型ガラス基板に対する載置台を具備す
る検査装置において、該載置台を構成する方形フレーム
のＸおよびＹ方向の２辺に設けられたガイドに沿って移
動する第１および第２の押圧部とこれら第１および第２
の押圧部を一時的に固定する固定機構とを設け、これら
第１および第２の押圧部は、先端に該ガラス基板のＸお
よびＹ方向の２辺のそれぞれの１辺を下側が突出た段差
でそれぞれに支持するエッジと、エアシリンダにより駆
動されて該ガラス基板の２辺のそれぞれの側面をそれぞ
れに押圧するローラーとを有し、前記ローラーの先端の
位置が前記段差の位置よりも前記角型ガラス基板の辺に
対して後退する位置に配置され、前記角型ガラス基板の
２辺を支持する位置に合わせて前記第１および第２の押
圧部を設定して前記固定機構により一時的に固定し、前
記エアシリンダを駆動して前記ローラーにより前記ロー
ラーに対向する前記方形フレームのＸおよびＹ方向の２
辺に対して前記角型ガラス基板を位置決め固定すること
を特徴とする、角型ガラス基板の位置決め載置台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4292591A JP3101687B2 (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 角型ガラス基板の位置決め載置台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4292591A JP3101687B2 (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 角型ガラス基板の位置決め載置台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04261738A JPH04261738A (ja) | 1992-09-17 |
| JP3101687B2 true JP3101687B2 (ja) | 2000-10-23 |
Family
ID=12649599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4292591A Expired - Fee Related JP3101687B2 (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 角型ガラス基板の位置決め載置台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3101687B2 (ja) |
-
1991
- 1991-02-15 JP JP4292591A patent/JP3101687B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04261738A (ja) | 1992-09-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |