JPH03161947A - Ｌｃｄプローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、ＬＣＤプローブ装置及びセラ稟ツタ基板プロ
ーブ装置等に関する。

（従来の技｛＋ｙ） Ｌ　Ｃ　Ｄプローブ装置は、被検査体として例えば液晶
表示素子基板（以下、Ｌ　Ｃ　Ｄ基板と略記する）等を
載置台上に支持固定し、この被検査体の電極パッドにプ
ローブ電極を接触させ、テスタによる通電検査、表示画
面の目視による機能検査等の電気的特性検査を実行する
ものである。

Ｌ　Ｃ　Ｄ基板を被検査体とする時は、ＬＣＤ基板内に
複数個形威された被検査単位体である液晶バ不ルの各辺
に設けられた複数の電極バットに対応して複数のプロー
ブ電極を有するブローフユニット等を設け各ユニット等
のプローブ電極を被検査体に接触させて検査を行ってい
た。

（発明が解決しようとする？Ｊ．題） しかし、近年の各種サイズ及び大型の液晶バ不ルの電気
的特性を検査する場合には、液晶パネルの各辺上の電極
バット配列に合わせて、それぞれ固有のプローブカード
あるいはプローブユニット等を交換しなければならず、
交換作業及びその後の位置合わせ作業等が作業者の負担
を増大させるだけではなく、装置の使用効率の低下を招
いていた。

又、液晶パ不ルは一辺に対して多数の電極バノト例えは
ｉ　．　ｏｏｏ個の電極バノドが直線状に形或されてい
る場合もあり、この電極バッド構或に対応してプローブ
ユニントを製造するとコストが嵩み各種サイスの被検査
体及び大型の被検査体の検査にはσｔ用性に欠けていた
。又、特開昭６１−１８１１４３号公報に開示されるよ
うな機能を用い電極パノド列に対し分割的にプローブ電
極群を接触させれば被検査体に対して装置の汎用性が生
しるが、電極パッドが極端に多く大型の液晶バ不ル等に
対応させるとブローフユニッ１・を高精度に大型化する
必要が生し、位置制御及び装置機構が複雑になる等の問
題がある。

この発明は、上記点を鑑みなされたもので、被検査体の
各種サイズ及び大型の被検査領域サイズ内にある多数の
電極パッドに対してより少ない簡素な駆動機構で汎用性
を持たせ、従来の検査前工程であるプローブユニットの
交換作業を低減すると共にブローフユニッ］・の製作費
用を削戚ずるプローブ装置を提供するものである。

３ 〔発明の構或］ （課題を解決するための手段） この発明は、被検査体の電極パッドにプローフ電極を接
触させ被検査体の電気的特性を検査し、被検査体の位置
を移動させる載置台を有するプローブ装置において、１
個の駆動系により１個又は２個のプローブ電極ユニント
を１軸方向に被検査体の検査単位体の大きさの範囲以内
で移動可能にし、該移動距離と同じ量だけ載置台を移動
させ、被検査単位体を分割検査することを特徴とするプ
ローブ装置を得るものである。

（作用効果） 本発明によれば、移動可能なプローブ電極ユニノトと被
検査体の載置台を同期させて移動することにより、該プ
ローブ電極ユニノ１・は被検査体との相対的な位置は変
化しないが、他の固定のプローブ電極ユニットと被検査
体の相対的な位置が変化するので、各種サイズの被検査
単位体の検査を区域に分けて順次検査が可能であり、少
ない駆動系による短い距離の移動動作で効率的に広い範
囲４ の検査を分割的に行っていくことができるので、装置に
汎用性を持たせることができ、更にブローフユニノトの
交換作業を少なくさセ、作業者の負担及ひ装置稼働費用
の削減がはかれる。

（実施例） 以下に本発明をＬＣＤプローブ装置に適用した実施例に
ついて図面を参照して説明する。

まず検査方法の説明を行う。通常の液晶バ不ルは７夜品
表示セルの集合体であり、各セルは液晶パネル周辺に設
けられているゲート電極及びドレイン電極に各々配線さ
れ、これら電極より各セルに対して電流電圧印加が行わ
れる。この液晶表示セルの集合体である液晶パネルの検
査はゲート電極パッドに電圧をかけながらドレイン電極
パッドの漏れ電流を検出して液晶表示セルの良否を判定
する。更に、目視により表示が正しく行われているか否
かを６２　ＨＲ．する。このようにして、戚晶パネルの
検査が行われていく。

次に装置の説明をする。このＬＣＤプローブ装置（１）
は第ｌ図に示すように、犬別して、被検査５ 体であるＬＣＤ基板（１０）の電気的特性検査を実行す
る検査部（２）と、この検査部（２）にＬＣＤ基板（ｌ
Ｏ）を殿送するための殿送部（３）とから構或されてい
る。

この搬送部（３）は、未検査Ｌ　Ｃ　Ｄ基仮（１ｏ）を
収納したキャリアＡをセットするための収納部（３ｌ）
と、検査済ＬＣＤ基Ｆｉ．（１０）を収納したキャリア
Ｂをセッ］・するための収納部（３２）を有し、更に前
記キャリアＡから未検査ＬＣＤｉ板（１０）を取り出し
て前記検査部（２）に殿送し、かつ、検査済ＬＣＤ基板
（１０）をキャリアＢに搬送するためのバキュームピン
ッセノト（３３）と、このバキュームピンセット（３３
）によって搬送されたＬ　Ｃ　Ｉ）基板（１０）を一時
載置し、所定の位置合わせを実行するブリアライメント
ステーシ（３４）が備えられている。このプリアライメ
ントステージ（３４）は、上下動及びθ回転が可能であ
り、載置されたＬ　Ｃ　Ｄ基板（１０）を回転させ、透
過型センサ例えばフォトインクラプタ等を利用して予備
アライメントする。このように、ＬＣＤ基板（１０）の
位置決めを予め実行することで、６ 後述する検査部（２）でのアライメンＩ・を軽法し、か
つ、相当の大きさを有するＬＣＤｉ板（１０）が搬送さ
れる場合の周囲機構への衝突等の弊害を防止することが
可能となる。

次に、本実施例装置の特徴的構成である前記検査部（２
）の構戒について、第ｌ図、第２図及び第３図を参照し
て説明する。

前記検査部（２）には、Ｌ　Ｃ　Ｄ基板（１０）を例え
ば真空吸着して支持する載置台（２０）が設けられてい
る。この載置台（２０）は、！！置面上の直交軸方向で
あるＸ軸、Ｙ軸方向、上下方向であるＺ軸方向及ひＺ軸
の周方向であるθ方向に移動自在となっており、図示し
ないアライメント制御機構とＣＣＤカメラ（２１）を用
いてＬＣＤ基手反（ＩＯ）をＸ，Ｙ、θ方向に移動する
ことでアライメント可能であると共に、後述するプロー
ブ電極にＬＣＤ基板（１０）を接触できるようにＺ方向
の駆動が可能となっている。

上記Ｌ　Ｃ　Ｄ基仮（１０）は例えば縦４５０ｍｍ横４
５Ｑｍｍで、Ｘ−Ｙマトリックス配線回路やＴＦＴ技一
７ 術により形威された液晶表示！．動回路からなる例えは
対角長１０インチの長方形液晶パ不ル（ｌ５）か同間隔
の距離をおいて複数形威され、更に、ＬＣＤ基板（１０
）の角周辺にはアライメント用のターゲノｌ・マークが
設けられている。上記液晶パネル（１５）の周辺の３辺
には、多数の電極バットが、同ピンチ間隔例えは２００
μｍで直線状に形威されてるり、対向する長手２ｉ２２
にはトレイン電極（ｌ７）が例えは各辺に８００個形威
され、他の辺にはゲート％ｉ極（２５）が例えば２００
個形威されている。このような液晶パネル（１５）の電
気的特性の測定例えは導通チェノクを実行し、ＬＣＤｉ
板（１０）内すぺての７夜晶パネル（ｌ５）の検査を行
っていく。又検査部（２）は、上記液晶パネル（１５）
の測定に対応する如く構或されている。即ち、検査部（
２）には、ブローフ機構（１６）が設けられており、次
にこのプローブ機構（ｌ６）の構或を説明する。

プローフ機構（１６）には、第２図及び第３図に示すよ
うに、被検査体である液晶パ不ル（ｌ５）の検査時に、
トレイン電極パノド（ｌ７）と接続するドレイ−８ ンプローブユニソト（１８ａ）　（１８ｂ）が固定支持
台（２２ａ）（２２ｂ）に固定されている　。又、ゲー
ト電極パッド（２５）と接続するゲートプローブユニッ
ｌ−（２６）が可動支持台（２７）に固定されている。

上記ドレインプローフユ−’−　・ノｌ・（１８ａ）　
（１８ｂ）にはドレインプローブ電極（１９ａ）　（１
９ｂ）が液晶パネル（１５）上のドレイン電極バンド（
ｌ７）の配列状態と同じ配列で例えば４００個形威され
、同様にゲートプローブユニット（２６）にもケートプ
ローブ電極（２８）が例えば２００個形威されており、
ドレインプローブ電極（１９ａ）　（１９ｂ）とゲート
プローブ電極（２８）はそれぞれケーブル等を介してテ
スタ（図示せず）に電気的に接続されている。

上記可動支持台（２７）は図中Ａ及びＢで示される１軸
方向へ駆動機構（３０）により所望の距離移動可能にな
っており、ガイドシャフト（３３）により方向が固定さ
れ、各々の固定支持台（２２ａ）　（２２ｂ）と可動支
持台（２７）はドレインプローブ電極（１９ａ）　（１
９ｂ）及びゲートプローブ電極（２８）が液晶パネル（
ｌ５）上のドレイン電極パッド（１７）及びゲート電極
バノド（２９ ５）のそれぞれに接触するように所定の距離に調整され
た後に設置固定されている。液晶パネル（１５）の検査
開始時には可動支持台（２７）はゲートプローフ電極（
２８）とドレインプローブ電極（ｌ９）が液晶パ不ル（
１５）内の電極パッドと同じ位置関係になるように配置
移動されている。

次に上記プローブ装置（１）で被検査体であるＬＣＤ基
板（１０）に形威された液晶パネル（１５）を測定る動
作作用について説明する。

未検査ＬＣＤ基板（１０）が収納されたキャリアＡから
バキュームピンセット（３３）によりＬＣＤ基板（１０
）がプリアライメントステーシ（３４）に搬送され、プ
ローフ機構（１６）内のＸ軸、Ｙ軸にそれぞれ平行にな
るようにＬＣＤ基板（ｌＯ）の方向が粗調整される。

後にＬＣＤ基板（ｌＯ）は載置台（２０）へ平行搬送さ
れ、載置台（２０）に載置される。この時ＬＣＤ基板（
ｌＯ）内の所定のターゲソトマークはそれそれのＣＣＤ
カメラ（２１）の視野にはいり、アライメント制御機構
を用いて載置台（２０）をＸ軸、Ｙ軸及びθ軸ｌ０ の各方向へ動かし、Ｌ．　Ｃ　Ｄ基板（１０）内のＸＹ
θ各軸はプローブ機構（ｌ６）内のＸＹθ各軸の方向と
同じになるように微調整される。又Ｚ軸方向はプロブ電
極への接触ストロークのために所定の距離間隔がおかれ
る。ＬＣＤ基板（１０）内の液晶パネル（１５）の位置
情報は予めプローブ装置（１）に人力されており該情報
に基づいて、裁許台（２０）を駆動させ、■＠目に検査
される液晶バ不ル（ｌＯ）がプロフ機構の所定位置へ移
動させる。

プローフ機構の所定位置に移動された液晶パネル〈１５
）は第２図に示された状態であり、載置台（２０）をＺ
方向上方へ駆動してゲートプローブ電極（２８）とドレ
インプローブ電極（１９ａ）　（１９ｂ）を液晶パネル
（１５）のケート電極バッド（２５）とドレイン電極バ
ンド（１７）のそれぞれに接触させ、テスト信号を印加
する。この時点では液晶パ不ル（ｌ５）の左方側領域（
３４）の検査が行われる。該検査終了後に、載置台（２
０）をＺ方向下方に下げ、更に、図中の駆動機構（３０
）の軸方向と同じ方向である八方向に載置台（２０）を
所定距離し、例えば本実施例では液晶パネｌ ｌ ル（１５）のトレイン電極側の辺長２分の１と同じ距離
Ｉ７たけ移動させ、史に、可動支持台（２７）を駆動機
構（３０）を用いて同じ長さＬの距離たけ八方向へ移動
させる。次に、前記と同様に、載置台（２ｏ）を上方へ
上けると、ゲートプローブ電極（２８）は再度ゲート電
極バンド（２５）に、ドレインプローブ電極（１９）は
新たに液晶バ不ル（ｌ５）の右方碩域（３５）のトレイ
ン電極バノド（１７）に接触する。次に、テスタ（図示
セす）から予め定められたテスト信号を印加し液晶パ不
ル（ｌ５）の右方領域（３５）の検査をおこなう。以上
で１個の液晶パ不ル（１５）の検査が終了する。大型７
夜晶バ不ルの場合は再度所定距離Ｌ移動することにより
被検査液晶パネルの分割検査を行うことができる。

以下同様にＬ　Ｃ　Ｄ基板（１０）内のすべての液晶パ
不ル（１５）を順次検査を行いＬ　Ｃ　ｌ）基板（１０
）の検査を終了する。

検査の終了したＬＣＤ，７４板（１０）はハキュームピ
ンセンｌ・（３３）により、検査部（２）より収納部（
３）へ鰭送され、キャリアＢに収納される。

ｌ２ 上記述べた一連の動作はすべてＣＰＵで自動制御され、
Ｌ　Ｃ　Ｄ基板（１ｏ）の位置情報を人力すれば該情報
に基づいて、位置合わせ制？′１１１　，検査等を自動
でおこなってゆく。

以上は１個の可動ゲートプローブ電極ユニノトを設けた
実施例装置の説明であるが、この場合の液晶バ不ル（ｌ
５）には３辺に電極パッドが配列されていた。しかし、
他の液晶パネルでは４ｉ２２に電極バノドが設けられた
ものもあり、該液晶パ不ルの対同する各辺にゲー１−電
極バンドおよびドレイン電極バンドが設けられている。

この様な液晶バ不ルの場合には２個の可動ゲートプロー
ブ電極ユニットを設けると同様な作用効果かえられる。

その時の構或は第３図に示すように、第２図における可
動支持台（２７）及びガイドシャフト（３３）等を対向
する位置にそれぞれ設け、動作はゲートプローブ電極（
２８）間の距離がたえず液晶パ不ル（１５）のゲ１・電
極パッド（２５）列間の距離に等しくなるように動作す
れば良く、対向するゲートプローブユニソ１−　Ａ　（
４１）とゲートプローブユニットＢ　（４３）をそれ１
　３一 それ保持する可動支持台Ａ　（４０）と可動支持台Ｂ（
４２）同士を連結する支持体（４４）によりゲートプロ
ーブユニノト間距離を調整固定しておけば、一方の駈動
機構（３０）により２個のプローブユニソトが万いの距
離を保ちつつ移動することによって、液晶パネル（１５
）内の領域を分割して検査を行っていくことが可能であ
る。

又、本実施例では、被検査体としてＬＣＤｉ板をもちい
たが、これに限定されるものでは無く、被検査体として
セラくンク基板等を用いても同様な効果を得ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のプローブ装置の概略説明図、第２図は
第ｌ図のプローブ機構の説明図、第３図は第２図のプロ
ーブ機構において２個の可動プローブユニントを設けた
場合の説明図。 ｌ５・・液晶パ不ル　　　１０・・Ｌ　Ｃ　Ｄ基板２７
・・可動支持台　　　ｌ９・・固定支持台２０・・載置
台　　　　　２１・・ＣＣＤカメラ２６・・ケートプロ
ーブユニノ１− ｌ４ ｌ８・ トレインプローブユニノト ４４ ・支持体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被検査体の電極パッドにプローブ電極を接触させ被検査
   体の電気的特性を検査し、被検査体の位置を移動させる
   載置台を有するＬＣＤプローブ装置において、１個の駆
   動系により１個又は２個のプローブ電極ユニットを１軸
   方向に被検査体の検査単位体の大きさの範囲以内で移動
   可能にし、該移動距離と同じ量だけ載置台を移動させ、
   被検査単位体を分割検査することを特徴とするＬＣＤプ
   ローブ装置。