JPH03161947A - Lcdプローブ装置 - Google Patents

Lcdプローブ装置

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JPH03161947A
JPH03161947A JP30278489A JP30278489A JPH03161947A JP H03161947 A JPH03161947 A JP H03161947A JP 30278489 A JP30278489 A JP 30278489A JP 30278489 A JP30278489 A JP 30278489A JP H03161947 A JPH03161947 A JP H03161947A
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Akira Ikeda
彰 池田
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、LCDプローブ装置及びセラ稟ツタ基板プロ
ーブ装置等に関する。
(従来の技{+y) L C Dプローブ装置は、被検査体として例えば液晶
表示素子基板(以下、L C D基板と略記する)等を
載置台上に支持固定し、この被検査体の電極パッドにプ
ローブ電極を接触させ、テスタによる通電検査、表示画
面の目視による機能検査等の電気的特性検査を実行する
ものである。
L C D基板を被検査体とする時は、LCD基板内に
複数個形威された被検査単位体である液晶バ不ルの各辺
に設けられた複数の電極バットに対応して複数のプロー
ブ電極を有するブローフユニット等を設け各ユニット等
のプローブ電極を被検査体に接触させて検査を行ってい
た。
(発明が解決しようとする?J.題) しかし、近年の各種サイズ及び大型の液晶バ不ルの電気
的特性を検査する場合には、液晶パネルの各辺上の電極
バット配列に合わせて、それぞれ固有のプローブカード
あるいはプローブユニット等を交換しなければならず、
交換作業及びその後の位置合わせ作業等が作業者の負担
を増大させるだけではなく、装置の使用効率の低下を招
いていた。
又、液晶パ不ルは一辺に対して多数の電極バノト例えは
i . ooo個の電極バノドが直線状に形或されてい
る場合もあり、この電極バッド構或に対応してプローブ
ユニントを製造するとコストが嵩み各種サイスの被検査
体及び大型の被検査体の検査にはσt用性に欠けていた
。又、特開昭61−181143号公報に開示されるよ
うな機能を用い電極パノド列に対し分割的にプローブ電
極群を接触させれば被検査体に対して装置の汎用性が生
しるが、電極パッドが極端に多く大型の液晶バ不ル等に
対応させるとブローフユニッ1・を高精度に大型化する
必要が生し、位置制御及び装置機構が複雑になる等の問
題がある。
この発明は、上記点を鑑みなされたもので、被検査体の
各種サイズ及び大型の被検査領域サイズ内にある多数の
電極パッドに対してより少ない簡素な駆動機構で汎用性
を持たせ、従来の検査前工程であるプローブユニットの
交換作業を低減すると共にブローフユニッ]・の製作費
用を削戚ずるプローブ装置を提供するものである。
3 〔発明の構或] (課題を解決するための手段) この発明は、被検査体の電極パッドにプローフ電極を接
触させ被検査体の電気的特性を検査し、被検査体の位置
を移動させる載置台を有するプローブ装置において、1
個の駆動系により1個又は2個のプローブ電極ユニント
を1軸方向に被検査体の検査単位体の大きさの範囲以内
で移動可能にし、該移動距離と同じ量だけ載置台を移動
させ、被検査単位体を分割検査することを特徴とするプ
ローブ装置を得るものである。
(作用効果) 本発明によれば、移動可能なプローブ電極ユニノトと被
検査体の載置台を同期させて移動することにより、該プ
ローブ電極ユニノ1・は被検査体との相対的な位置は変
化しないが、他の固定のプローブ電極ユニットと被検査
体の相対的な位置が変化するので、各種サイズの被検査
単位体の検査を区域に分けて順次検査が可能であり、少
ない駆動系による短い距離の移動動作で効率的に広い範
囲4 の検査を分割的に行っていくことができるので、装置に
汎用性を持たせることができ、更にブローフユニノトの
交換作業を少なくさセ、作業者の負担及ひ装置稼働費用
の削減がはかれる。
(実施例) 以下に本発明をLCDプローブ装置に適用した実施例に
ついて図面を参照して説明する。
まず検査方法の説明を行う。通常の液晶バ不ルは7夜品
表示セルの集合体であり、各セルは液晶パネル周辺に設
けられているゲート電極及びドレイン電極に各々配線さ
れ、これら電極より各セルに対して電流電圧印加が行わ
れる。この液晶表示セルの集合体である液晶パネルの検
査はゲート電極パッドに電圧をかけながらドレイン電極
パッドの漏れ電流を検出して液晶表示セルの良否を判定
する。更に、目視により表示が正しく行われているか否
かを62 HR.する。このようにして、戚晶パネルの
検査が行われていく。
次に装置の説明をする。このLCDプローブ装置(1)
は第l図に示すように、犬別して、被検査5 体であるLCD基板(10)の電気的特性検査を実行す
る検査部(2)と、この検査部(2)にLCD基板(l
O)を殿送するための殿送部(3)とから構或されてい
る。
この搬送部(3)は、未検査L C D基仮(1o)を
収納したキャリアAをセットするための収納部(3l)
と、検査済LCD基Fi.(10)を収納したキャリア
Bをセッ]・するための収納部(32)を有し、更に前
記キャリアAから未検査LCDi板(10)を取り出し
て前記検査部(2)に殿送し、かつ、検査済LCD基板
(10)をキャリアBに搬送するためのバキュームピン
ッセノト(33)と、このバキュームピンセット(33
)によって搬送されたL C I)基板(10)を一時
載置し、所定の位置合わせを実行するブリアライメント
ステーシ(34)が備えられている。このプリアライメ
ントステージ(34)は、上下動及びθ回転が可能であ
り、載置されたL C D基板(10)を回転させ、透
過型センサ例えばフォトインクラプタ等を利用して予備
アライメントする。このように、LCD基板(10)の
位置決めを予め実行することで、6 後述する検査部(2)でのアライメンI・を軽法し、か
つ、相当の大きさを有するLCDi板(10)が搬送さ
れる場合の周囲機構への衝突等の弊害を防止することが
可能となる。
次に、本実施例装置の特徴的構成である前記検査部(2
)の構戒について、第l図、第2図及び第3図を参照し
て説明する。
前記検査部(2)には、L C D基板(10)を例え
ば真空吸着して支持する載置台(20)が設けられてい
る。この載置台(20)は、!!置面上の直交軸方向で
あるX軸、Y軸方向、上下方向であるZ軸方向及ひZ軸
の周方向であるθ方向に移動自在となっており、図示し
ないアライメント制御機構とCCDカメラ(21)を用
いてLCD基手反(IO)をX,Y、θ方向に移動する
ことでアライメント可能であると共に、後述するプロー
ブ電極にLCD基板(10)を接触できるようにZ方向
の駆動が可能となっている。
上記L C D基仮(10)は例えば縦450mm横4
5Qmmで、X−Yマトリックス配線回路やTFT技一
7 術により形威された液晶表示!.動回路からなる例えは
対角長10インチの長方形液晶パ不ル(l5)か同間隔
の距離をおいて複数形威され、更に、LCD基板(10
)の角周辺にはアライメント用のターゲノl・マークが
設けられている。上記液晶パネル(15)の周辺の3辺
には、多数の電極バットが、同ピンチ間隔例えは200
μmで直線状に形威されてるり、対向する長手2i22
にはトレイン電極(l7)が例えは各辺に800個形威
され、他の辺にはゲート%i極(25)が例えば200
個形威されている。このような液晶パネル(15)の電
気的特性の測定例えは導通チェノクを実行し、LCDi
板(10)内すぺての7夜晶パネル(l5)の検査を行
っていく。又検査部(2)は、上記液晶パネル(15)
の測定に対応する如く構或されている。即ち、検査部(
2)には、ブローフ機構(16)が設けられており、次
にこのプローブ機構(l6)の構或を説明する。
プローフ機構(16)には、第2図及び第3図に示すよ
うに、被検査体である液晶パ不ル(l5)の検査時に、
トレイン電極パノド(l7)と接続するドレイ−8 ンプローブユニソト(18a) (18b)が固定支持
台(22a)(22b)に固定されている 。又、ゲー
ト電極パッド(25)と接続するゲートプローブユニッ
l−(26)が可動支持台(27)に固定されている。
上記ドレインプローフユ−’− ・ノl・(18a) 
(18b)にはドレインプローブ電極(19a) (1
9b)が液晶パネル(15)上のドレイン電極バンド(
l7)の配列状態と同じ配列で例えば400個形威され
、同様にゲートプローブユニット(26)にもケートプ
ローブ電極(28)が例えば200個形威されており、
ドレインプローブ電極(19a) (19b)とゲート
プローブ電極(28)はそれぞれケーブル等を介してテ
スタ(図示せず)に電気的に接続されている。
上記可動支持台(27)は図中A及びBで示される1軸
方向へ駆動機構(30)により所望の距離移動可能にな
っており、ガイドシャフト(33)により方向が固定さ
れ、各々の固定支持台(22a) (22b)と可動支
持台(27)はドレインプローブ電極(19a) (1
9b)及びゲートプローブ電極(28)が液晶パネル(
l5)上のドレイン電極パッド(17)及びゲート電極
バノド(29 5)のそれぞれに接触するように所定の距離に調整され
た後に設置固定されている。液晶パネル(15)の検査
開始時には可動支持台(27)はゲートプローフ電極(
28)とドレインプローブ電極(l9)が液晶パ不ル(
15)内の電極パッドと同じ位置関係になるように配置
移動されている。
次に上記プローブ装置(1)で被検査体であるLCD基
板(10)に形威された液晶パネル(15)を測定る動
作作用について説明する。
未検査LCD基板(10)が収納されたキャリアAから
バキュームピンセット(33)によりLCD基板(10
)がプリアライメントステーシ(34)に搬送され、プ
ローフ機構(16)内のX軸、Y軸にそれぞれ平行にな
るようにLCD基板(lO)の方向が粗調整される。
後にLCD基板(lO)は載置台(20)へ平行搬送さ
れ、載置台(20)に載置される。この時LCD基板(
lO)内の所定のターゲソトマークはそれそれのCCD
カメラ(21)の視野にはいり、アライメント制御機構
を用いて載置台(20)をX軸、Y軸及びθ軸l0 の各方向へ動かし、L. C D基板(10)内のXY
θ各軸はプローブ機構(l6)内のXYθ各軸の方向と
同じになるように微調整される。又Z軸方向はプロブ電
極への接触ストロークのために所定の距離間隔がおかれ
る。LCD基板(10)内の液晶パネル(15)の位置
情報は予めプローブ装置(1)に人力されており該情報
に基づいて、裁許台(20)を駆動させ、■@目に検査
される液晶バ不ル(lO)がプロフ機構の所定位置へ移
動させる。
プローフ機構の所定位置に移動された液晶パネル〈15
)は第2図に示された状態であり、載置台(20)をZ
方向上方へ駆動してゲートプローブ電極(28)とドレ
インプローブ電極(19a) (19b)を液晶パネル
(15)のケート電極バッド(25)とドレイン電極バ
ンド(17)のそれぞれに接触させ、テスト信号を印加
する。この時点では液晶パ不ル(l5)の左方側領域(
34)の検査が行われる。該検査終了後に、載置台(2
0)をZ方向下方に下げ、更に、図中の駆動機構(30
)の軸方向と同じ方向である八方向に載置台(20)を
所定距離し、例えば本実施例では液晶パネl l ル(15)のトレイン電極側の辺長2分の1と同じ距離
I7たけ移動させ、史に、可動支持台(27)を駆動機
構(30)を用いて同じ長さLの距離たけ八方向へ移動
させる。次に、前記と同様に、載置台(2o)を上方へ
上けると、ゲートプローブ電極(28)は再度ゲート電
極バンド(25)に、ドレインプローブ電極(19)は
新たに液晶バ不ル(l5)の右方碩域(35)のトレイ
ン電極バノド(17)に接触する。次に、テスタ(図示
セす)から予め定められたテスト信号を印加し液晶パ不
ル(l5)の右方領域(35)の検査をおこなう。以上
で1個の液晶パ不ル(15)の検査が終了する。大型7
夜晶バ不ルの場合は再度所定距離L移動することにより
被検査液晶パネルの分割検査を行うことができる。
以下同様にL C D基板(10)内のすべての液晶パ
不ル(15)を順次検査を行いL C l)基板(10
)の検査を終了する。
検査の終了したLCD,74板(10)はハキュームピ
ンセンl・(33)により、検査部(2)より収納部(
3)へ鰭送され、キャリアBに収納される。
l2 上記述べた一連の動作はすべてCPUで自動制御され、
L C D基板(1o)の位置情報を人力すれば該情報
に基づいて、位置合わせ制?′111 ,検査等を自動
でおこなってゆく。
以上は1個の可動ゲートプローブ電極ユニノトを設けた
実施例装置の説明であるが、この場合の液晶バ不ル(l
5)には3辺に電極パッドが配列されていた。しかし、
他の液晶パネルでは4i22に電極バノドが設けられた
ものもあり、該液晶パ不ルの対同する各辺にゲー1−電
極バンドおよびドレイン電極バンドが設けられている。
この様な液晶バ不ルの場合には2個の可動ゲートプロー
ブ電極ユニットを設けると同様な作用効果かえられる。
その時の構或は第3図に示すように、第2図における可
動支持台(27)及びガイドシャフト(33)等を対向
する位置にそれぞれ設け、動作はゲートプローブ電極(
28)間の距離がたえず液晶パ不ル(15)のゲ1・電
極パッド(25)列間の距離に等しくなるように動作す
れば良く、対向するゲートプローブユニソ1− A (
41)とゲートプローブユニットB (43)をそれ1
 3一 それ保持する可動支持台A (40)と可動支持台B(
42)同士を連結する支持体(44)によりゲートプロ
ーブユニノト間距離を調整固定しておけば、一方の駈動
機構(30)により2個のプローブユニソトが万いの距
離を保ちつつ移動することによって、液晶パネル(15
)内の領域を分割して検査を行っていくことが可能であ
る。
又、本実施例では、被検査体としてLCDi板をもちい
たが、これに限定されるものでは無く、被検査体として
セラくンク基板等を用いても同様な効果を得ることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のプローブ装置の概略説明図、第2図は
第l図のプローブ機構の説明図、第3図は第2図のプロ
ーブ機構において2個の可動プローブユニントを設けた
場合の説明図。 l5・・液晶パ不ル   10・・L C D基板27
・・可動支持台   l9・・固定支持台20・・載置
台     21・・CCDカメラ26・・ケートプロ
ーブユニノ1− l4 l8・ トレインプローブユニノト 44 ・支持体

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被検査体の電極パッドにプローブ電極を接触させ被検査
    体の電気的特性を検査し、被検査体の位置を移動させる
    載置台を有するLCDプローブ装置において、1個の駆
    動系により1個又は2個のプローブ電極ユニットを1軸
    方向に被検査体の検査単位体の大きさの範囲以内で移動
    可能にし、該移動距離と同じ量だけ載置台を移動させ、
    被検査単位体を分割検査することを特徴とするLCDプ
    ローブ装置。
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