JPS63259677A - 表示パネル用プロ−バ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、表示パネル用ブローバに関するもので、例
えば、アクティブ・マトリックス構成の液晶表示パネル
用のプローバに利用して有効な技術に関するものである
。

〔従来の技術〕

液晶表示パネルとして、そのコントラスト比を高めるた
め、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を内蔵して、アクティ
ブ・マトリックス構成とした液晶表示パネルが開発され
ている（例えば、日経マグロウヒル社１９８４年１月２
日付ｒ日経エレクトロニクス」頁１０４〜頁１０５参照
）。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このような液晶表示パネルにおいては、技術の進展によ
り試作品の段階から商品として量産され始めている。こ
のため、試作の段階ではあまり問題にされなかった動作
試験のための検査装置が必要になるものである。すなわ
ち、従来の検査方向は、完成された液晶表示パネルに配
線を施してドライバーに接続して、表示動作を行わせる
ものである。このため、不良品にされた液晶表示パネル
は上記配線等ととも廃棄されるため、上記配線を接続す
るための工程やその配線自体等が無駄になってしまう。

また、良否の判定は専ら目視によるものであるため、信
頼性に問題があるとともに効率が悪くなるものである。

この発明の目的は、効率的で合理的な動作試験を可能に
した表示パネル用プローバを提供することにある。

この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
この明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。

すなわち、被試験表示パネルの試料載置台の互いに隣接
する一対の辺にそれぞれ平行及びそれと直角方向に移動
する第１及び第２のステージ機構に複数のプローブ針が
取り付けられたプローブヘッドを搭載して、表示パネル
の信号線電極と走査線電極に駆動信号を供給するととも
に、上記試料載置台の１つの辺と直角をなす他辺に平行
及びそれと直角に移動する第３のステージ機構を設けて
、これに複数のプローブ針又は光センサーを取り付けて
、上記信号線電極及び走査線電極のそれぞれの断線の有
無を検出又は表示パネルの実動作状態として画素の点灯
／非点灯状態をセンスするものである。

〔作　用〕

上記した手段によれば、表示パネルに配線を施すことな
く、その電極の断線の有無や実動作状態にして点灯／非
点灯を判定できるから、効率的で合理的な電気的試験が
可能になる。

〔実施例１〕 第１図には、この発明に係る表示パネル用プローバの一
実施例の概略斜視図が示されている。この実施例の表示
パネル用ブローバは、特に制限されないが、完成された
液晶表示パネルの動作試験に向けられている。

被試験の液晶表示パネルＬＣＤは、試料台に載せられる
。この試料台の上にはバックライト板ＥＢが設けられる
。このバックライト板ＥＢは、光源としての蛍光灯の光
に反応して液晶表示パネルＬＣＤにバックライトを供給
する。このようなバックライト板ＥＢと蛍光灯とは、液
晶テレビジョン受像機等と同様なものが用いられる。

上記試料台上に設けられたバックライト板ＥＢの表面に
載せられた液晶表示パネルＬＣＤの１つの辺（同図の縦
方向の右側の辺）に対応して、第１のＸ、ＹステージＸ
ＹＳＴＧＩが設けられる。

特に制限されないが、上記液晶表示パネルＬＣＤの１つ
の辺には、液晶表示パネルＬＣＤの複数からなる走査線
電極に対応した複数の電極ＴＭが設けられる。この電極
ＴＭへの電気的な接続を得るために、上記第１のＸ、　
ＹテスージＸＹＳＴＧ１には、プローブヘッドが設けら
れる。このプローブヘッドは、特に制限されないが、偏
芯カム等を用いた２ステージによって上下に移動可能に
される。上記プローブヘッドには、特に制限されないが
、プリント基板等に細い線条のタングステンを主成分と
する複数のプローブ針ＰＢが設けられるプローブボード
が装填され、それを捻子によって固定する。上記複数の
プローブ針は、そのピッチが上記電極ＴＭのピッチに対
応して位置合わせされて形成される。上記プローブボー
ドをプローブヘッドに取り付ける際のθ方向の位置ずれ
を補正するために、θ調整捻子が設けられる。すなわち
、θ調整捻子の調整によって、第１のステージＸ。

ＹＳＴＧＩのＹ軸と、上記複数のプローブ針ＰＢの配列
から構成されるＹ軸とが一致するようにされる。上記プ
ローブボードに取り付けられるプロ−ブ針ＰＢの数は、
特に制限されないが、効率的な試験を行う等のために上
記液晶表示パネルＬＣＤの走査線電極数の整数分の１に
され、例えば走査線電極数が４８０本の場合、特に制限
されないが、１２０本のような多数からなる。このよう
なプローブボードの構成は、その基本的な構成が公知の
半導体ウェハの測定に用いられる固定プローブボードと
類似の構成にされる。

なお、上記プローブ針ＰＢの数は、上記整数分の１であ
ることには限定されない。プローブ針ＰＢの数が走査線
電極数の整数分の１でないときには余りが生じるが、そ
の場合には、電極に対応されないプローブ針に対する信
号の供給を無効にするか、余りのプローブ針がはみ出す
ことによって不都合が生じるなら、同じ電極に２度プロ
ーブ針が接触するようにしてもよい。この場合には、試
験法の走査線電極に対しては信号の供給を無効にすれば
よい。このように、プローブ針の数が上記整数分の１に
限定されなくした場合には、電極のピッチが同じで画面
のサイズ等が異なる他の液晶表示パネルと同じプローブ
ボードを共用できるものとなる。

同図おいて、上記１つの辺に隣接する液晶表示パネルの
横方向上側の他の１つの辺に対応して、上記同様な第２
のＸ、　ＹステージＸＹＳＴＧ２が設けられる。上記液
晶表示パネルＬＣＤの他の１つの辺には、液晶表示パネ
ルＬＣＤの複数からなる信号線電極に対応した複数の電
極が設けられる。

この電極への電気的な接続を得るために、この第２のス
テージＸ、ＹＳＴＧ２にも、上記同様なプローブヘッド
と、プローブヘッドを上下動させるＺステージが設けら
れ、上記プローブヘッドには上記信号線電極に対応した
電極への電気的な接続を行う複数のプローブ針ＰＢを備
えたプローブボードが装填される。このような信号線電
極に対応した複数のプローブ針の数も、特に制限されな
いが、効率的な゛試験を行う等のために信号線電極数Ｍ
の整数（Ｎ）分の１の数とされる。なお、上記走査線電
極の場合と同様に整数分の１にすることは特に必要では
ない。

上記各Ｘ、ＹＳＴＧＩ及びＸ、ＹＳＴＧ２は、パルス（
ステッピング）モータによって駆動されるリードスクリ
ュー等を用いることにより、上記パルスモータの回転角
度とリードスクリューの捻子ピッチに応じて、同図に矢
印で示したようにＸ軸、Ｙ軸方向に高精度に移動させら
れる。

上記プローブヘッドの移動が行われるときには、そのＺ
ステージがアップ状態にされる。そして、所定の距離だ
け移動して、上記電極ＴＭへの接続を行うとき、Ｚステ
ージがダウン状態にされ、電極ＴＭとプローブ針とは所
望の接触圧を持って電気的に接続される。

上記２つのＸ、　ＹステージＸＹＳＴＧ１とＸＹＳＴＧ
２に搭載された複数のプローブ針ＰＢから、同図のＹ軸
方向には上記のような４８０本の走査線電極に対して、
上述のように例えば１２０本のプローブ針を設けたとき
には、上記１２０本分の走査線電極の間隔を１ピンチと
して、４回の接触により全走査線電極の駆動が可能にな
る。また、上述のように例えばＭ／Ｎ本のプローブ針を
設けたときには信号線電極側は、上記Ｎ回の接触により
全信号線電極の駆動が可能になる。これにより、液晶表
示パネルＬＣＤへの１回の走査ｖＡ電極と信号線電極と
の接触によって、１２０　ＸＭ／Ｎの画素からなるエリ
アを同時に表示可能にすることができる。

上記のようなエリア内の１つの画素又は複数の画素の点
灯／非点灯を自動的に検出するため、光センサ−ＣＯＤ
が設けられる。この光センサ−ＣＯＤは、特に制限され
ないが、ＣＣＤ　（電荷移送素子）を用いた固体撮像装
置（エリアセンサー）から構成される。この光センサ−
ＣＣＤを上記液晶表示パネルＬＣＤの上記のように駆動
可能にされるエリアの上に移動可能とするため、特に制
限されないが、上記１つの辺に対向する他の辺、言い換
えるならば、上記液晶表示パネルＬＣＤの左側のＹ軸に
対応する部分に、第３のＸ、　ＹステージＸＹＳＴＧ３
が設けられる。この第３のｘ、　ｙステージＸＹＳＴＧ
３も、上記他のＸ、　ＹステージＸ、ＹＳＴＧＩやＸＹ
ＳＴＧ２と同様な構成にされる。上記光センサ−ＣＯＤ
は、上記第３のＸ。

ＹステージＸＹＳＴＧ３に対して脱着可能にされる。す
なわち、この第３のＸ、ＹステージＸＹＳＴＧ３は、後
に第２図を参照して説明するように、光センサ−ＣＣＤ
に代えてプローブヘッドＰＢＨを取り付け可能にされる
。

第３図には、上記構成の液晶表示パネル用プローバを用
いた試験方法を説明するための概略平面図が示されてい
る。

上記Ｘ、　ＹステージＸＹＳＴＧ１とＸＹＳＴＧ２の制
御によって、例えば液晶表示パネルＬＣＤの右上角のエ
リアに対応した走査線電極と信号線電極に対応した外部
電極に針合わせが行われ、それぞれに信号が供給される
。第１のテストモードでは、同図に斜線を付したエリア
の各画素を点灯状態にする。上記エリアに対応して図示
しない光センサ−ＣＣＤの移動制御を行う。そして、こ
の光センサ−ＣＣＤにより検出された画像信号、言い換
えるならば、液晶の透過光量に対応した電気信号は、Ａ
／Ｄ変換されて図示しないマイクロコンピュータシステ
ム等を利用したテスターのメモリ回路に記憶される。次
に、上記第１のＸ、ＹステージＸＹＳＴＧＩと上記光セ
ンサ−ＣＯＤを、１工リア分だけＹ軸方向（下方向）移
動させて次の行に対応したエリアの透過光量を電気信号
として検出し、それを上記同様にディジタル化してメモ
リ回路に記憶させる。以下、同様にして右端の一列分の
エリアに対する透過光量に対応したディジタル信号をメ
モリ回路に記憶すると、第２のＸ。

ＹステージＸＹＳＴＧ２と上記光センサーを、１工リア
分だけＸ軸方向（左横方向）に移動させ、次の列に対応
したエリアの透過光量をディジタル化してメモリ回路に
記憶させる。このような動作の繰り返しによって、上記
プローブボードＰＢＢに取り付けられたプローブ針ＰＢ
の数に対応したエリアを単位として、液晶表示パネルＬ
ＣＤの全画面についてそれぞれの透過光量をディジタル
化して取り込むものである。

液晶表示パネルにあっては、透明な画素（ピクセル）電
極と共通電極との間に液晶が封入されて構成される。上
記両電極の反り等によってその間隔にバラツキや偏倚が
あるとそれに応じて液晶の透過率にバラツキや偏倚が生
じる。これは、表示画像に対して明るさのむらや色むら
を生じさせる原因となる。それ故、良好な表示画像を得
る場合、全エリアの明るさのバラツキが一定の許容範囲
にあることが必要になる。上記第１のテストモードは、
このようなエリア単位での明るさのむら、言い換えるな
らば、液晶のエリア単位での透過率のむらを測定するも
のである。テスターは、上記取り込んだ各エリアの明る
さが所定の基準内にあること、及びそれぞれ相互の偏倚
量が所定の基準内にあることをディジタル的に処理して
判定する。

このような第１のテストモードによって不良品とされる
液晶表示パネルは、この時点で不良として判断される。

上記第１のテストモードによって良品とされた液晶表示
パネルは、引き続いて次のような第２のテストモードが
実施される。

第２のテストモードでは、上記同時に駆動可能なエリア
の中において、画素単位での点灯／非点灯の表示試験が
行われる。すなわち、上記複数の信号線電極のうち１つ
だけ点灯状態にする信号が供給され、１つの走査線電極
が選択状態にされる。

これにより、１つの画素が選ばれて、点灯状態と非点灯
状態とに点滅される。この点滅は、上記光センサーによ
って検出され、上記同様にディジタル化されてメモリ回
路に記憶される。この場合、光センサーとして固体撮像
装置を用いて、インクレースにより駆動する場合、１／
６０秒に１つの画像が得られるから、それに同期させて
１つの画素を点灯／非点灯に切り換えると、良好な点滅
画像が得られる。したがって、１秒に３０個の画素の点
滅を検出することができる。液晶の画素アドレスとその
透過率のデータとは一対一に対応されてメモリ回路に記
憶される。

上記メモリ回路に記憶される点灯状態のデータは、例え
ば４ビツトのディジタル信号にすることによって、１６
段階の輝度階調も判定できるものである。

上記１つのエリア内の各画素データは、そのアドレス情
報とから離散的な不良であって一定数以下の不良は良品
と判定する。離散的な画素の点灯／非点灯不良又は階調
不良は、表示動作において多数の画素からなる表示画像
の極一部となり、目立たなくなってしまうからである。

したがって、不良品と判定されるのは、線状又は表示画
像を損なうような一定範囲に点灯不良がある場合である
。

このような良／不良の判定基準は、テスターのソフトウ
ェアによりユーザーにおいて任意に設定可能である。

上記良／不良の判定は、上記単位のエリアの画素データ
が取り込まれると直ちに行うことが望ましい。その理由
は、不良と判定された表示パネルに対するそれ以降のテ
スト時間を省略できるからである。

〔実施例２〕 第２図には、この発明に係る表示パネル用プローバの他
の一実施例の概略斜視図が示されている。

この実施例の表示パネル用プローバは、特に制限されな
いが、半完成状態の液晶表示パネルの動作試験に向けら
れている。

半完成の液晶表示パネルＬＣＤ’　は、透明な基板上に
前記信号線電極と走査線電極が形成され、その交差点に
ＴＰＴ　（薄膜トランジスタ）と画素電極が形成された
ものである。この状態においても、上記走査線電極や信
号線電極の断線状態やＴＰＴのオン／オフ試験が可能で
ある。そこで、上記のように共通電極を設けて液晶を封
入する前に上記導通試験やＴＦＴの動作試験を行うこと
によって、不良パネルを次の組み立て工程で使用して不
良の液晶表示パネルをみすみす組み立ててしまうという
無駄を排除するものである。このため、液晶表示パネル
ＬＣＤ’　は、直接的に試料台ＴＢの上に載置される。

言い換えるならば、上記のうよな点灯／非点灯のような
動作が不能であるから、前記バックライト板ＥＢは取り
外される。なお、このバックライト板ＥＢをそのままに
して置くものであってもよい。

この実施例では、上記光センサ−ＣＣＤに代えて、第３
のＸ、　ＹステージＸＹＳＴＧ３には、プローブベッド
ＰＢＨを取り付けるものである。このプローブヘッドＰ
ＢＨには、２つのプローブボードＰＢＢが、はソ゛直角
に取り付けられる。すなわち、同図においてＹ軸（ａｘ
ｉｓ）に並んだプローブ針を持つものと、Ｘ軸（ａｘｉ
ｓ）に並んだプローブ針を持つ２つのプローブボードが
取り付け可能にされる。ただし、θ合わせのために、そ
れぞれのプローブボードＰＢＢは、独立してθ調整が可
能にされる。

上記プローブヘッドＰＢＨには、フレキシブル配線ＦＬ
（フラットケーブル）が設けられ、これを通してテスタ
ー側と上記プローブボードＰＢＨに取り付けられたプロ
ーブ針とが接続される。このようなフラットケーブルは
、他のＸ、ＹステージＸＹＳＴＧＩ、ＸＹＳＴＧ２にも
用いられる。

例えば、第１のＸ、　ＹステージＸＹＳＴＧＩにはＸ軸
のアームが空洞とされ、ここにそのプローブヘッドに設
けられ、上記プローブボードが装填される電極に接続さ
れたフラットケーブルが挿入される。同様に、第２のＸ
、　ＹステージＸＹＳＴＧ２にはＹ軸のアームの空洞に
上記フラットケーブルが挿入されている。

上記第３のＸ、ＹステージＸＹＳＴＧ３に取り付けられ
たプローブ針は、それがＸ、Ｙ方向に移動させられるこ
とによって、第１又は第２のＸ。

ＹステージＸＹＳＴＧＩ、ＸＹＳＴＧ２に設けられるプ
ローブボードのプローブ針と共動して、上記走査線電極
又は信号線電極の導通試験、言い換えるならば、断線チ
ェックを行う。

例えば、第４図に示しように、１つの基板ＳＵＢに、複
数の液晶表示パネルＬＣＤ’　　（０）ないしＬＣＤ’
　　（３）のように比較的サイズの小さな表示画面用の
液晶用パネルが形成される場合、これら複数のパネルの
周辺部にそれぞれ設けられる電極への電気的接続も可能
になるものである。すなわち、液晶表示パネルＬＣＤ’
　　（０）の試験のときには、第２図のように第３のＸ
、ＹステージＸＹＳＴＧ３が移動して、その下辺と左辺
に対応した電極への接触を受は持つ。また、液晶表示パ
ネルＬＣＤ’　　（１）の試験のときには、第１と第２
のｘ、　ｙステージＸＹＳＴＧＩ、ＸＹＳＴＧ２がそれ
ぞれ移動して、その右辺と上辺の電極への接触を受は持
ち、第３のＸ、ＹステージＸＹＳＴＧ３が移動して、そ
の下辺と左辺に対応した電極への接触を受は持つ。この
ようにして、４つのパネルＬＣＤ’　　（０）〜（３）
の各電極配線のチェックが可能となる。

また、各ＴＦＴ毎のオン状態／オフ状態の試験を行うと
きには、上記第３のＸ、ＹステージＸＹＳＴＧ３のプロ
ーブヘッドＰＢＨには、各画素電極又はソース電極に対
応した１ないし複数のプローブ針が取り付けられる。こ
れによって、上記走査線電極により供給した選択信号に
より、ＴＰＴをオン状態／オフ状態にして、信号線電極
と各画素との間の導通／非導通の試験を行うことができ
るものである。

なお、上記アクティブ素子を含まない、例えば横方向に
走る走査電極と、縦方向に走る信号電極からなるドツト
マトリックス構成の液晶表示パネルにおいては、上記同
様な断線チェックによりその良／不良を判定できる。

上記の実施例から得られる作用効果は、下記の通りであ
る。すなわち、 （１）被試験表示パネルの試料ｗｉ置台の互いに隣接す
る一対の辺にそれぞれ平行及びそれと直角方向に移動す
る第１及び第２のステージに複数のプローブ針が取り付
けられたプローブヘッドを搭載して、表示パネルの信号
線電極と走査線電極に駆動信号を供給するとともに、上
記試料載置台の１つの辺と直角をなす他辺に平行及びそ
れと直角に移動する第３のステージ機構を設けて、これ
に複数のプローブ針又は光センサーを取り付けて、上記
信号線電極及び走査線電極のそれぞれの断線の有無を検
出又は表示パネルの実動作状態として画素の点灯／非点
灯状態をセンスすることにより、表示パネルに配線を施
すことなく、その電極の断線の有無や実動作状態にして
点灯／非点灯を判定できるから、効率的で合理的な電気
的試験が可能になるという効果が得られる。

（２）上記光センサーとして、固体撮像装置のようなエ
リアセンサーを用いることによって、表示可能な一定の
エリアの画像信号を得ることができるから、エリア単位
での透過率のむらを判定して、良品とされたものについ
て画素単位での試験を行うことができる。これによって
、効率的な試験を実現できるという効果が得られる。

（３）上記光センサーとして固体撮像装置のようなエリ
アセンサーを用いることによって、液晶の表示面と対向
する並行な面によって、その透過光量を測定できる。こ
れによって、信頼性の高い透過光量を得ることができる
という効果が得られる。

（３）上記光センサーとして固体撮像装置のようなエリ
アセンサーを用いることによって、画素単位での点灯／
非点灯の試験の際に、光センサーを選択された画素に追
従さて移動させることが必要ないから、高速な点灯／非
点灯の判定信号を得ることができるという効果が得られ
る。

（４）第３のＸ、Ｙステージに、上記光センサーとプロ
ーブ針が取り付けられるフローブヘッドとを選択的に取
り付け可能にすることによって、表示パネルの信号線電
極と走査線電極のそれぞれ断線チェックやＴＰＴの動作
試験も可能になるという効果が得られる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、光センサーと
しては、スチールカメラ等に用いられるような露出計等
を利用するものであってもよい。試料台にＺステージを
設け、半導体ウェハプローバのように、被測定物を上に
押し上げることによってプローブとの圧着を行うように
するものであってもよい。この場合には、プローブヘッ
ドの個々に設けられるＺステージを省略できるものとな
る。また、最初の針合わせのために、顕微鏡を取り付け
るものであってもよい。

この場合、顕微鏡は移動可能なアームに取り付けられる
。

さらに、被測定物である表示パネルの表面の反リ、歪を
検出するための高さセンサーを各１０−ブヘツドに設け
て、そのセンサー出力によってプローブの押し下げ量を
制御するような機能を付加するものであってもよい。上
記高さセンサーとしては、液晶の共通電極が導電性を持
つことからセンサー用の電極との間のキャパシタを測定
して、それを高さに換算するもの等が利用できる。この
ような高さセンサーを用いる場合には、パルスモータを
利用してＺステージが精度良く制御されることが望まし
い。すなわち、上記センサー出力に従って駆動パルス数
を形成することによって、プローブ針尖端のアップ／ダ
ウン量が高精゛度に制御できるから上記表示パネルの表
面の反り、歪に応じた最適な針圧を得ることができる。

この発明は、上記のような液晶表示パネルの他、ＥＬＤ
　（エレクトロルミセンス）ＪＰＤＰ（プラズマディス
プレイパネル）等のようなマトリックス構成の表示パネ
ル用のブローμとして広く利用できるものである。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。すなわち、被試験表示パネルの試料載置台の互いに隣
接する一対の辺にそれぞれ平行及びそれと直角方向に移
動する第１及び第２のステージ機構に複数のプローブ針
が取り付けられたプローブヘッドを搭載して、表示パネ
ルの信号線電極と走査線電極に駆動信号を供給するとと
もに、上記試料載置台の１つの辺と直角をなす他辺に平
行及びそれと直角に移動する第３のステージ機構を設け
て、これに複数のプローブ針又は光センサーを取り付け
て、上記信号線電極及び走査線電極のそれぞれの断線の
有無を検出又は表示パネルの実動作状態として画素の点
灯／非点灯状態をセンスすることにより、表示パネルに
配線を施すことなく、その電極の断線の有無や実動作状
態にして点灯／非点灯を判定できるから、効率的で合理
的な電気的試験が可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係る表示用ブローμの一実施例を
示す概略斜視図、 第２図は、この発明に係る表示用プロパの他の一実施例
を示す概略斜視図 第３図は、上記第１図の表示用ブローμによる液晶表示
パネルの動作試験の一例を説明するための平面図、 第４図は、複数の液晶表示パネルが形成される基板の一
例を示す概略平面図である。 ＸＹＳＴＧＩ〜ＸＹＳＴＧ３・・・第１〜第３のＸ、Ｙ
ステージ、ＬＣＤ・・液晶表示パネル、ＣＯＤ・・光セ
ンサ−、ＥＢ・・バックライト板、ＰＢ・・プローブ針
、ＴＭ・・電極、ＰＢＢ・・プローブボード、ＴＢ・・
試料台、ＰＢＨ・・プローブヘッド

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被試験表示パネルの測定載置台と、この測定載置台
   の互いに隣接する一対の辺にそれぞれ平行及びそれと直
   角方向に移動する第１及び第２のステージ機構と、上記
   測定載置台の１つの辺と対向する他辺に平行及びそれと
   直角に移動する第３のステージ機構と、上記第１ないし
   第３のそれぞれのステージ機構によって位置制御がなさ
   れ、上記第１及び第２のステージ機構に複数のプローブ
   針の取り付けが可能にされる第１及び第２のプローブヘ
   ッドとを含むことを特徴とする表示パネル用プローバ。 ２、上記第３のステージ機構は、上記１ないし複数のプ
   ローブ針が装填される第３のプローブヘッドと光センサ
   ーとが選択的に取り付け可能にされるものであることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の表示パネル用プ
   ローバ。 ３、上記光センサーは、固体撮像装置からなるものであ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の表示パ
   ネル用プローバ。 ４、上記被試験表示パネルは、薄膜トランジスタが内蔵
   されたアクティブ・マトリックス構成の液晶表示パネル
   であることを特徴とする特許請求の範囲第１、第２又は
   第３項記載の表示パネル用プローバ。