JPS5942583A

JPS5942583A - 液晶表示器用検査装置

Info

Publication number: JPS5942583A
Application number: JP15319482A
Authority: JP
Inventors: 大橋　允; 井上　研二
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1982-09-02
Filing date: 1982-09-02
Publication date: 1984-03-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、液晶表示器用基板に形成された透明電極パタ
ーンの切れや隣のパターンとのタッチを検出するための
液晶表示器用検査装置に関する。

〔発明の技術的背景〕

現在、液晶表示器は７セグメントタイプの表示器を始め
、各種の分野に使用されており、その応用分野は近年増
々拡大されつつある。この液晶表示器は周知の如く、ガ
ラス基板上に透明電極パターンを形成したものであり、
透明電極パターンに欠陥があるか否かを検査する必要が
ある。

ここで、前述した７セグメントタイプの液晶表示器は、
透明笛極パターン自体およびこれら電極パターン相互の
隙間が比較的太きかったので、透明γ’１．　：！＠パ
ターンに欠陥が発生１ろことはなく、投影器による目視
検査法で抜取り検査を行えば充分であった。

〔背景技術の問題点〕

しかし、液晶表示器の新しいＩＦＱ用分野の−っに、度高密表示をめざしたドツトマトリックス形液晶表示器が
あるが、この透明質（版パターンは、微細パターンであ
るために欠陥発生のｃｌ能性が多く、精密な検査が不可
欠であり、従来の投影器による目視検査法では対応でき
なかった。

すなわち、現在のピッチ０．５門で、たて６４ドツト、
よこ１２８０ドツトの高密度大形ディスプレーが可能と
なっており、さらに高密度化が試みられている。上述し
たピッチ０．、５　ｍｍの場合、透明電極パターンは電
極幅は４５０１Ｇ７Ｗ、電極間の隙間は５０　Ｐｍとい
う、きわめて微細なパターンが要求される。このような
透明電極パターンの製造には、ガラス基板に透明電極材
料として酸化インジウム（以下Ｉ、Ｌ０２と記す）を全
面にスパッターした後、ＰＥＰ処理によって所望のパタ
ーンを形成する方法がとられている。

しかし、このような方法によっても、前述した微細パタ
ーンを大面積にわたって無欠陥で製作することは困難で
ある。例えばＰＥＰ工程におけるゴミの介在や、保管運
搬中のキズ等が原因で、パターンに切れが生じたり、隣
のパターンどの間のタッチ等が生じる。

従って、形成後の全透明％６極パターンにつき精密な検
査を行い、不良個所を確実に検出して適切に対応してお
く必要があり、精密かつ迅速な検査が不可欠であった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、７７、：板に形成された微細な透明箱
、極パターンのパターン切れや隣のパターンとのタッチ
等を、１ｈ、気的手段により正イ、７７＋かっ迅ジ・］
（に（へ出することができる液晶貞示士；、各月１　ｔ
’＝ｉ査装置を挟供することにある。

〔発明の４既要〕本発明による液晶表示器用検査県闘は、基板上に微小間
隔を保って抜取個並設された微細な電極パターンに対し
、この市、（ツトパターンの長さ方向両端部および隣の
電極パターンにそＪｌそれ先端が接触する複数本のプロ
ーブを設け、これらプローブを電極パターンの幅方向に
一定速度で移動させることにより、電極パターンの両端
部に接触するプローブ間の導通チェックにより１個の電
極パターンのパターン切れを検査し、またこの両端部に
接触するいずれか一方と腓の電）ａパターンに接触する
プローブとの導〕＋１１チェックにより電本箕パターン
相互間のタッチを検査するものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明を図面に示す一実施例を参照して詳細に説
明する。

牙１図（α）ｆ６）は高密度ドツトマトリックス形液晶
表示器の透明電極パターンの例をそれぞれ示すもので、
ガラス製の基板αυ上に、一定の長さおよび幅寸法を有
する複数個の電極パターン０２）が、一定の微小間１ｍ
を保ってその幅方向に並設されるように前述の製法によ
り形成する。ソ、（お、回Ｍ（α）は（ｔ◇側基板で、
タテストライブ状のｍ、　、（＋ｉパターンが、また同
ト１（旬はσつ仰１基板で、ヨコストライプ状の電４：
ヘパターンがそれぞれ形成されている。ここで、表示密
度を０．５悶とすると、前５７片のよう匠Ｌ、電、極パ
ターン（＋２の幅は４５０　＋Ｉ−ｍ、　ｌｌ！’ｉの
７１Ｔ、　４Ｍパターン（１力との隙間は５０　ｌｕｇ
ときわめて微細ｌＩものである。

、４−２図は、本発明による検査Ｐ置の措成例を示す。

図において、（ＩＱは架台、（１Ｇ）はこの架台（１情
上に設けられた）ｒｅ　＆ステージで、」・１１゛川で
示した基板０１）をバキュームチャックにより固定ずろ
。（１′Ｏはプローブユニットで、基板（１１）上の市
、核パターン（１渇と接触する複数本（本実施例では６
本）のプローブ（１）ｃ、＞　（１’７４）　（１’ｉ
’（！　）を牙６図で示す所定の位■−関係に保持する
。すなわち、６本のプローブのうち２本のプローブ（１
７，）　（１７４）は、その先端がｔＩＬ　’＋にパタ
ーンｏｚの長さ方向両嬬部と接触し、また残りの１本（
１７，）が、隣の電極バタ・−ン（１２）と接触するよ
うな位置関係に保持される。このプローブユニット面は
走査機構（２）に取付けてあり、この走査機構（ｔｌに
より、電極パターン（１２＋の幅方向、すなわち牙６図
の左右方向に一定速度でｕＫ動され、電極パターン鰺を
走査する。ここで、上記プローブ（１７ｃｚ　）（１７
４）（１７ｃ）はタングステン等によるもので、その先
端は矛４図で示すように、半径２５Ｆ虞程度の球面状に
形成し、かつエツチングによりその表面をきわめてなめ
らかに仕上げたものである。そして図示の如く、その走
査方向（図示矢印方向）に約１５゜傾けて取付けてあり
、１０ｉＩ−〜６０ｙ−の接触荷置を保って走査する。

なお、プローブユニット（１７）は斉プローブ（ｌｔ、
）（１７４）（１ｙｃ）の接ハ・（荷重や、位置関係を
微調整できるように４ｆｆ成しＣいる。またプローブユ
ニットａηは、上下機構を備えており、走査中以外はプ
ローブ（１７ａ、）（１７，６Ｘｉ７．、）を上昇させ
、その先端を保Ｋｈする。

牙２図に戻って、Ｃ（砂は検査部で、前述した各部に制
御指令を与えるとともに、プローブ（１７，Ｘ１７４）
（１７ｃ）からの信号により、環４版パターン０２を検
査する。ここで、検査部（２１は雷、覆パターン（＋７
１の長さ方向両端部にｊ妾触するプローブ（ｊ７ａ）（
１７＋）間の導Ｊ巾チェックによりｉｉＪ　４＠パター
ン（１：ｌり　１　（固のパターン切れの有無を検査す
る。また上記プローブ（１７，）（１７番）のいずれか
一方と、他のブ１」−ブ（１，７，）との間の導通チェ
ックにより隣〇軍（・ｉパターン（１渇とのタッチの有
無を検査する。ＣＡＤはレコーダで、上記各プローブ（
１７ｚ）　（１７ａ）　（ｌマ。）からの信号を入力し
、それをアノログデータとして記録する。

牙５図は上述した検査部（イ）の回路構成を示ず。

図において、（ハ）はタイミング発生回路で、前記走査
により、全てのプローブ（１７（Ｌ）（１７ｚ）（１’
７ｃ）が矛６図で示すように対応する電極パターン（１
２に接触したことにより生じるタイミング信号により動
作し、Ａ／Ｄ変換回路（２）にサンプリング信号を与え
る。Ａ／Ｄ変換回路Ｑ４）は、各プローブ（１７ａ　）
（１７４）（：ｈ７．）からの測定信号をアナログ値と
して入力し、前記サンプリング信号により、これをディ
ジタル信号に変換する。ここでＡ／Ｄ変換回路Ｑ４）は
、サンプリング周波数にもよるが、プローブが電極パタ
ーン（Ｌ２）上を移動する間に数回サンプリングされ、
それぞれをディジタル値として出力する。なお、ｉｌｌ
、ｌ定侶号には、各ブ［１−ブ（１７，）（Ｊ’７４）
（１’ｉ’ｃ）による導仙ヂエツク時の％、圧信号を用
いればよい。しｊは最大値ボールド回路で、Ａｌ１）俊
換回路（λ４）から出力される１つの電極パターン（１
２１肖り数個のディジタル値の中から最大１ｉｉｆ；８
力怪定し、判定回路−に出力する。判定回路０（＋）は
、最大（１ｒｉホ一ルド回路Ｃ，！１１）からのディジ
タルｌｉＱを入力し、これを予め設定した基準値と比較
し、”ｔ’ｓ’、　４−４；パターン（Ｉ７）のパター
ン切れや、隣の質林パターンθ粉とのタッチの有無を判
定する。←］′７）はコント１１−ル部で、判定回路Ｑ
（：）からの判定結果に基づき、欠陥が検出された場合
は、牙２図で示す検査部いυの外面に設けた表示ランプ
を点灯させたり、走査を中断さぜたりするための信号を
生じる。

上記構成において、検査を行うに当っては、先ず、】・
１図（α）または伊）で示す基板ａυを、その・電極パ
ターン（Ｉ２１の長さ方向が、プローブユニット０７）
の走査方向と直交するように、基板ステージ（ｌ０上に
固定する。次に、検査部しＯ）上に設けた制御スイッチ
を操作し、走査アーム（国を動作させ、プローブ（１’
ｉ’ａ）（１’４）　（１’ｃ）を電極パターン（１湯
の幅方向に移動させ、走査を行う。この移動により、各
プローブ（１７（ｚ）（１７，６）（１″７ｃ）が牙６
図で示す状態で、電極パターン（１２に接触すると、プ
ローブユニットα力からタイミング信号が生じ、各プロ
ーブ（１７ａ）　（１７７）（１７ｃ）からの測定４８
号を入力し、矛５図で示す回路により、対応するπ〜極
パターンθりのパターン切れや、隣の’１Ｍパターンａ
ｚとのタッチの有無を検査する。ここで、プローブユニ
ット（１７）は走査アーム（田により一定速度で走査を
続けるので、寿９４却（１１）−Ｈに並設されたｒノ数
の′１イ、１１６・ｄパターン（１乃につき、順次同じ
検査を連続的に、実施づることかできる。また、欠陥を
検出した場合は、ランブシ１品示を行（・、かつ走査を
停止ずれば、欠陥個所をその塙−Ｃ確認することができ
る。また、プローブユニ゛］ノド０帥らのｌｌ１１１定
信号（アナログ値）はレコーダ（２１）に記録されるの
で、後から欠陥個所を（ｉ（６Ｍ　３−ろこともできろ
。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、基板上に形Ｉ戊された微
細な電極パターンに対し、γ３ｉ、　ＩＱ本σ）プロー
ブを用意し、これを市４１口ζパターンの配列方向に走
査させ、各プローブからの導辿チェック佃号を入力して
、指、極パターンのパターン１−ｐＪれや隣の可、１１
Ｍ。

パターンとのタッチの有無を検査するように構成したの
で、微細なパターン全てを正確かつ迅速に検査すること
ができ、高密度表示用ドツトマトリックス形液晶表示装
置の検査装置として、きわめて有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図（α）（町は本発明により検査対象となる電極パ
ターンを形成した基板の例を示す平面図、矛２図は本発
明による液晶表示器用検査装置の一実施例を示す斜視図
、］・６図は本発明におしするプローブと電極パターン
との位置関係を示す平面図、牙４図は本発明におけるプ
ローブの使用状態を示す部分図１．ｌ−５図は本発明に
おける検査部の回路構成を示すブロック図である。０υ・・基板、（［２・・電極パターン、αＱ・・基板
ステージ、（１％）（１７ｙ；）（１％）呻ゆブ１１−
ブ、（廊中・検査部。昭和５７年９月２日発明者　大　橋　　　光

Claims

【特許請求の範囲】

（１）　　一定の長さおよび１１憔寸法を有する■ｖ電
極パターン一定の微小間１’？Ａを１呆ってその幅方向
に複数個並設した基板を所定位置に固定する基イセステ
ージと、上記ｒｆｆ、極パターンの長さ方向両端部およ
び隣のｉＴ（１＠パターンにそれぞれ先ρｍが接触する
ように一定の位置関係に配設され市（・′パターンの幅
方向に一定速度で移１Ｑ１１する州数本のプローブと、
前記電極パターンの両端１〜ＩＸに接触するプローブ間
の導通チェックにより１個の電（耐パターンのパターン
切れを検査しまたこの両）瑞１１１１にｔ４１呻するプ
ローブのいずれか一方と１ｖ１１の電極パターンに接触
するプローブとの間の導通チェックにより隣接する・電
極パターン間のタッチを検査する検査部とを備えたこと
を特徴とする液晶表示器用基板装Ｎ０