TW201935012A - 探針、探測單元以及檢查裝置 - Google Patents

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Abstract

[課題] 將複數個探針的前端部在接近的狀態下接觸於接觸對象。
[解決手段] 探針被形成為柱狀且在基端部21a被支持的狀態下，將設置於前端部21b之接觸部31接觸於接觸對象，而構成可與接觸對象之間進行電信號之輸入輸出。基端部21a係，垂直於探針的中心軸A的剖面C之剖面形狀為非圓形的方式形成。接觸部31係，藉由以對於中心軸A傾斜的平面，將前端部21b的一部份切掉而各自形成的兩個切面S2、S3、以及前端部21b的兩個外周面F1、F4界定，而構成在沿著中心軸A突出的部位。

Description

探針、探測單元以及檢查裝置
本發明係關於為了進行與接觸對象之間電信號之輸入輸出的探針、包括此探針之探測單元、以及包括此探測單元之檢查裝置。
作為此種探測單元，在下面提到的專利文獻1中，申請人揭露之探測單元已廣為人知。此種探測單元係包括為了進行與探測對象之間電信號之輸入輸出而將前端部接觸於探測對象的探針，以及支持探針之支持部所構成。這種情況，探針係形成為圓柱狀，其前端部為圓錐狀(前端部是尖的)。
[先前技術文獻]
[專利文獻1] 日本特開2016－170159號公報(第8頁、第1圖)
[發明所欲解決之問題]
然而，上述習知的探針以及包括此探針之探測單元係有以下的課題應改善。具體而言，此探針係形成為圓柱狀，其前端部為圓錐狀。這種情況，這樣圓錐狀的前端部係使用轉盤等旋轉加工系之工作機械而形成之緣故，在加工特性上，圓錐的頂部因而位於探針的中心軸上。因此，位於探針中心軸上的圓錐的頂部因而接觸探測對象。另一方面，接觸探測對象的圓錐的頂部係為了避免接觸時破損，必須確保足夠之強度，因此，圓錐的頂部設有圓角(SR)，而此部分之形成盡可能小是較理想的。因此，在此種探針中，採用探針越細、圓錐的頂部的角度越大(成鈍角)之構成。
這種情況，舉例來說，如第12、13圖所示般，將兩個探針521的前端部(圓錐的頂部)互相接近的狀態下、接觸於作為探測對象的基板100的導體部101(被接觸位置)的時候，圓錐的頂部的角度越大，各探針521的各中心軸A形成之角度越大(對於基板100的傾斜角度則越小)，而使各探針521對於基板100大角度傾斜是必要的。然而，藉由使探針521這樣大角度的傾斜，探針521的前端部以外的部位也因而靠近基板100(也就是說，探針521整體靠近基板)的緣故，舉例來說，實際安裝於基板100上的電子零件等，被實際安裝在導體部101(被接觸位置)的附近時，因為探針521前端部以外的部分接觸電子零件等，而恐怕使探針521的前端部接觸導體部101變得困難。因此，在習知的探針以及包括此探針的探測單元中，因為使複數個探針的前端部接近的狀態下，恐怕使接觸探測對象變得困難，故期望改善這一點。
本發明係有鑑於這樣的問題，主要目的為提供能將複數個探針的前端部在接近的狀態下接觸於接觸對象之探針、探測單元以及檢查裝置。
[解決問題之技術手段]
為了達成上述目的，申請專利範圍第1項所述之探針係，被形成為柱狀且基端部被支持的狀態下，使設置於前端部之接觸部與接觸對象接觸，而其係為了進行與接觸對象之間電信號之輸入輸出的探針，前述基端部與探針的中心軸垂直的剖面之剖面形狀，係形成非圓形，前述接觸部係，藉由以對於前述中心軸傾斜的平面，將前述前端部的一部份切掉而各自形成的兩個切面、以及前端部的兩個外周面被界定，而構成在沿著中心軸突出的部位。
又，申請專利範圍第2項所述之探針係，在如申請專利範圍第1項所述之探針中，前述接觸部係形成於鄰接的前述各外周面彼此之交叉部分的附近。
又，申請專利範圍第3項所述之探針係，在如申請專利範圍第2項所述之探針中，前述前端部係，鄰接的前述各外周面彼此垂直交叉所形成。
又，申請專利範圍第4項所述之探測單元係，包括如申請範圍第1項所述之探針、以及支持探針之支持部，前述支持部係，包括可與處於繞前述探針的前述中心軸之旋轉被限制的狀態下之該探針嵌合的插入孔以及溝部之任一方形成的嵌合部，並構成為可在將前述探針嵌合於嵌合部的狀態下支持探針。
又，申請專利範圍第5項所述之探測單元係，包括如申請範圍第2項所述之探針、以及支持探針之支持部，前述支持部係，包括可與處於繞前述探針的前述中心軸之旋轉被限制的狀態下之該探針嵌合的插入孔以及溝部之任一方形成的嵌合部，並構成為可在將前述探針嵌合於嵌合部的狀態下支持探針。
又，申請專利範圍第6項所述之探測單元係，包括如申請範圍第3項所述之探針、以及支持探針之支持部，前述支持部係，包括可與處於繞前述探針的前述中心軸之旋轉被限制的狀態下之該探針嵌合的插入孔以及溝部之任一方形成的嵌合部，並構成為可在將前述探針嵌合於嵌合部的狀態下支持探針。
又，申請專利範圍第7項所述之探測單元係，在如申請專利範圍第4項所述之探測單元中，前述探針係，前述剖面形狀為矩形的方式形成，前述嵌合部係，由具有與前述探針的前述剖面形狀互補之形狀的前述插入孔，以及具有與前述探針的前述剖面形狀互補之形狀的前述溝部之任一方所形成。
又，申請專利範圍第8項所述之探測單元係，在如申請專利範圍第5項所述之探測單元中，前述探針係，前述剖面形狀為矩形的方式形成，前述嵌合部係，由具有與前述探針的前述剖面形狀互補之形狀的前述插入孔，以及具有與前述探針的前述剖面形狀互補之形狀的前述溝部之任一方所形成。
又，申請專利範圍第9項所述之探測單元係，在如申請專利範圍第6項所述之探測單元中，前述探針係，前述剖面形狀為矩形的方式形成，前述嵌合部係，由具有與前述探針的前述剖面形狀互補之形狀的前述插入孔，以及具有與前述探針的前述剖面形狀互補之形狀的前述溝部之任一方所形成。
又，申請專利範圍第10項所述之探測單元係，在如申請專利範圍第7項所述之探測單元中，前述支持部係，包括腕部所構成，前述嵌合部係，前述矩形的各邊相對於腕部的長度方向傾斜的方式形成於腕部的一端部側。
又，申請專利範圍第11項所述之探測單元係，在如申請專利範圍第8項所述之探測單元中，前述支持部係，包括腕部所構成，前述嵌合部係，前述矩形的各邊相對於腕部的長度方向傾斜的方式形成於腕部的一端部側。
又，申請專利範圍第12項所述之探測單元係，在如申請專利範圍第9項所述之探測單元中，前述支持部係，包括腕部所構成，前述嵌合部係，前述矩形的各邊相對於腕部的長度方向傾斜的方式形成於腕部的一端部側。
又，申請專利範圍第13項所述之檢查裝置係，包括如申請範圍第4項至第12項中之任一項所述之探測單元，以及使探測單元移動而使前述探針接觸於前述接觸對象之移動機構，以及經由以前述探針輸入輸出的電信號為基準、對作為前述接觸對象的檢查對象實行檢查的檢查部。
[發明效果]
在申請專利範圍第1項所述之探針，以及申請專利範圍第4項所述之探測單元中，形成基端部的剖面形狀為非圓形之探針，藉由以對於探針的中心軸傾斜的平面，將探針的前端部的一部份切掉而形成的兩個切面、以及前端部的兩個外周面界定，在沿著中心軸突出的部位構成接觸部。因此，根據此探針以及探測單元，與基端部剖面形狀為圓形之構成比較，能確實防止探針以中心軸為中心旋轉的緣故，能確實進行定位接觸部的同時，能將接觸部形成於探針的前端部偏離中心軸的位置。所以，根據此探針以及探測單元，於鄰接的兩個探測單元之各探針的各接觸部將各接觸部定位於各自相對的位置的狀態下，因為能將於各前端部的接觸部附近的外周面彼此靠近，不須使各探針對於接觸對象大角度傾斜，也能使各接觸部彼此在足夠接近的狀態下與接觸對象接觸。此結果，根據此探針以及探測單元，於探針的接觸部以外的部位及支持探針的支持部因而靠近接觸對象，舉例來說，因為於探針的接觸部以外的部位及支持部接觸到實際安裝於接觸對象的附近的電子零件等，而使接觸部與接觸對象接觸變得困難的這件事得以避免，使接觸部能夠確實地與接觸對象接觸。
又，根據申請專利範圍第2項所述之探針，以及申請專利範圍第5項所述之探測單元，藉由在前端部之鄰接的各外周面彼此交叉部分的附近形成接觸部，因為能將在鄰接的兩個探測單元的各探針的各前端部的外周面彼此交叉部分靠近，使各接觸部彼此能在更接近的狀態下與接觸對象接觸。
又，根據申請專利範圍第3項所述之探針，以及申請專利範圍第6項所述之探測單元，藉由鄰接的各外周面彼此垂直交叉的方式形成前端部，進行將前端部切面加工時，將前端部正確定位並能夠保持(固定)的緣故，能夠將接觸部按照規定的形狀正確地形成。
又，根據申請專利範圍第4項到第6項所述之探測單元，以及申請專利範圍第13項所述之檢查裝置，藉由包括可與處於繞探針的中心軸之旋轉被限制的狀態下之探針嵌合的嵌合部而構成支持部，因為使探針的基端部與嵌合部嵌合，接觸部能確實定位於預先決定的位置。
又，根據申請專利範圍第7項到第9項所述之探測單元，以及申請專利範圍第13項所述之檢查裝置，剖面形狀為矩形的方式形成探針，藉由具有與探針的剖面形狀為互補形狀的插入孔，以及具有與探針的剖面形狀為互補形狀的溝部的其中任一方形成嵌合部，舉例來說，與探針的剖面形狀，以及插入孔或是溝部的剖面形狀為五角以上形成的多角形之構成比較，偏離中心軸的接觸部的位置掌握容易的緣故，使探針與嵌合部嵌合，而定位接觸部的作業便能容易進行。
又，根據申請專利範圍第10項到第12項所述之探測單元，以及申請專利範圍第13項所述之檢查裝置，藉由嵌合部的矩形剖面的各邊對於腕部的長度方向傾斜的方式、將嵌合部形成於腕部的一端部側，與矩形的各邊平行於腕部的長度方向之構成比較，能夠將接觸部定位於更遠離腕部的寬度方向中心的位置。因此，根據此探針以及檢查裝置，鄰接的兩個探測單元的各插入孔的對應各邊彼此互相藉由以相反方向傾斜的方式形成各插入孔，與矩形的各邊平行於腕部的長度方向之構成比較，各探測單元的各探針的各接觸部彼此能在更接近的狀態下與接觸對象接觸。
以下，關於探針、探測單元以及檢查裝置的實施形態，參考所附圖示以說明。
首先，關於第1圖表示基板檢查裝置1的構成做說明。基板檢查裝置1係為檢查裝置之一例，如同圖所示般，包括兩個探測單元2、2，兩個移動機構3、3，操作部4，記錄部5，顯示部6以及處理部7。基板檢查裝置1為可實行如第9圖所示、作為檢查對象(也或是接觸對象)之一例的基板100之檢查所構成。
探測單元2係為探測單元之一例，如第2圖所示般，包括探針21以及支持部22所構成。
探針21係為探針之一例，如第9圖所示，將設置於前端部21b之接觸部31接觸作為接觸對象(也或是檢查對象)的基板100之導體部101，而進行與導體部101之間的電信號之輸入輸出。如第3圖到第7圖所示般，探針為被形成為柱狀。具體而言，探測單元2係，將後面提到之切面S1~S3的形成部位排除，從基端部21a至前端部21b的各部位中，垂直中心軸A的剖面C(參考第7圖)的剖面形狀為矩形(基端部21a的剖面形狀為非圓形且為多角形之一例)所形成之形狀(四角柱狀)。這種情況，藉由基端部21a的剖面形狀為矩形(非圓形)的方式形成探針21，與基端部21a的剖面形狀為圓形所構成之探針比較，藉由支持部22，於支持之狀態下之中心軸A作為中心之探針21的轉動能確實地防止的緣故，接觸部31的定位確實地進行變得可能。
又，如第3圖至第7圖所示般，在此探針21中，藉由以對於中心軸A傾斜的平面，將前端部21b的一部份(各圖中以虛線表示的部分)切掉所形成的切面S1~S3(以下，不特別區分時稱為「切面S」)的其中兩個切面S2、S3，以及於前端部21b以平面各自構成之四個外周面F1~F4(以下，不特別區分時稱為「外周面F」)的其中兩個外周面F1、F4所界定，而在沿著中心軸A突出的部位構成接觸部31。又，在此探針21中，鄰接的各外周面F彼此垂直交叉，也就是說，如第7圖以虛線所示般，以平面切掉之前的前端部21b的剖面形狀為矩形的方式所形成，鄰接的外周面F彼此(在此例中，為外周面F1與F4)交叉部分的附近形成接觸部31。所以，在此探針21中，與習知在中心軸A上形成接觸部31(圓錐的頂點)的探針不同，接觸部31是形成在偏離中心軸A的位置(在此例中，為外周面F1、F4彼此交叉部份附近的位置)。
又，在此探針21中，藉由將前端部21b的一部份以平面切掉而形成接觸部31。也就是說，在此探針21中，使用平面磨床、銑床以及線切割放電加工機等平面加工系之工作機械形成接觸部31。因此，在此探針21中，與因為使用旋轉加工系之工作機械而接觸部31形成於中心軸A上之習知探針不同，如上面所述般，變得可將接觸部31形成於偏離中心軸A的位置(在此例中，為外周面F1、F4彼此交叉部份附近的位置)。
如第2圖所示般，支持部22係包括臂41、42以及連結部43、44，被構成以可支持探針21。
如第2圖所示般，臂41、42係相當於腕部，各自形成角柱狀，沿著厚度方向(同圖中之上下方向)互相遠離之狀態下配置，各自的基端部41a、42a藉由連結部43連結，同時各自的前端部41b、42b藉由連結部44連結。這種情況，如同圖所示般，基端部41a、42a與連結部43的連結部分，以及前端部41b、42b與連結部44的連結部分係形成薄狀，為了將探針21的接觸部31接觸基板100的導體部101時，支持部22整體容易彈性變形。
又，如第2圖所示般，連結部44(臂41、42的各前端部41b、42b側(一端部側))中，各自形成可插入探針21的插入孔H(嵌合部的一例)，被插入此插入孔H之探針21的基端部21a側固定於臂41、42。
這種情況，插入孔H係，如第8圖所示般，具有與探針21的基端部21a的矩形剖面為互補的矩形剖面形狀，可嵌合基端部21a。因此，探針21係，基端部21a被插入於插入孔H而兩者嵌合的狀態下，繞中心軸A之旋轉被限制。
又，插入孔H係，如第8圖所示般，插入孔H的矩形剖面之中心位於支持部寬度方向的中心(同圖所示之一點鏈線B上)，同時矩形的各邊藉由對於臂41、42的長度方向(同圖所示之一點鏈線B的方向)傾斜而形成。這種情況，在此基板檢查裝置1中，如同圖所示般，於兩個探測單元2的各插入孔H的各矩形剖面中，對應的各邊彼此互相以相反方向的方式傾斜形成各插入孔H。藉由這樣形成插入孔H，如第9圖所示般，使於兩個探測單元2的各支持部22的各連結部44彼此接近，而使各支持部22的各連結部43彼此遠離的狀態(各探測單元2的臂41、42俯視呈V字形狀態)下，使探測單元2的各探針21的各前端部21b彼此接近時，形成於偏離探針21的中心軸A的位置的各接觸部31彼此可變得足夠接近。
移動機構3係遵從處理部7的控制而使探測單元2移動。操作部4係，包含各種可能的指示操作，被下達指示操作時將操作信號輸出。記錄部5係，記錄包括表示於基板100被接觸的位置(探針21的接觸部31接觸的位置)作為導體部101(參考第9圖)的座標等情報的基板資料Db。顯示部6係，遵從處理部7的控制而將檢查結果等顯示。
處理部7係，遵從來自操作部4輸出的操作信號、而控制構成基板檢查裝置1的各部。又，處理部7係作為檢查部的功能，經由接觸基板100的被接觸部之探針21，以電信號輸入輸出為基準而實行基板100的檢查。
接下來，關於使用基板檢查裝置1、檢查基板100的方法、以及檢查時基板檢查裝置1各部的動作，參考圖示作說明。
首先，將基板100固定於未圖示之固定台，接下來，操作操作部4而指示檢查的開始。此時，操作部4輸出操作信號，處理部7遵從操作信號而開始檢查處理。
在此檢查處理中，處理部7係讀取來自記錄部5的基板資料Db。接著，處理部7係，以表示包含基板資料Db且作為被接觸位置、於基板100的導體部101之座標情報作為基礎，而定出探測單元2應移動之移動距離。
接下來，處理部7係，控制各移動機構3，為了將各探測單元2的探針21的接觸部31位於導體部101的上方而移動各探測單元2。接著，處理部7係，控制各移動機構3，使探測單元2朝基板100移動(下降)。此時，隨著各探測單元2下降，如第9圖所示般，各探針21的接觸部31接觸於基板100的導體部101。
這種情況，如第13圖所示般，在作為接觸部的圓錐頂點形成於中心軸A上之習知的探針521之中，將兩個探針521的接觸部彼此接近的狀態下，接觸基板100的導體部101時，必須將各探針521對於基板100以大角度傾斜。因此，於探針521的接觸部以外的部位及支持探針521的支持部接近基板100，因為於探針521的接觸部以外的部位及支持部接觸到實際安裝於導體部101附近的電子零件等，而恐怕使探針521的接觸部31與導體部101接觸變得困難。
相對於前述習知探針，在此探針21中，如第9圖所示般，接觸部31形成於探針21的前端部21b偏離中心軸A的位置(外周面F1、F4彼此交叉部分附近的位置)。因此，在此探針21中，如同圖所示般，使於兩個探測單元2之各探針21的各接觸部31彼此接近時，因為能將於各探針21的前端部21b形成接觸部31的外周面F彼此(外周面F1、F4彼此交叉的部份)靠近，而不須使各探針21對於基板100大角度傾斜(小角度傾斜下)，可使各探針21的各接觸部31彼此足夠接近的狀態下與基板100的導體部101接觸。所以，在此探針21中，因為於探針21的接觸部31以外的部位及支持探針21的支持部22接近基板100，於探針21的接觸部以外的部位及支持部22接觸到實際安裝於導體部101附近的電子零件等，而使探針21的接觸部31與導體部101接觸變得困難的這件事可確實地避免。
接下來，處理部7係控制各移動機構3，將各探測單元2在下降的時候只下降至預先決定的距離就停止。接著，處理部7係，經由各探針21輸出檢查用的電信號，這時候經由各探針21，以輸入的電信號為基礎而實行基板100的檢查（舉例來說，被接觸位置的導通狀態）。接下來，處理部7係，控制顯示部6，而將檢查結果顯示。
接著，處理部7係控制各移動機構3而將各探測單元2朝與基板100遠離的方向移動（上昇），使各接觸部31對於基板100的接觸解除。接下來，處理部7係，將探測單元2移動至初始位置，而結束檢查處理。
這樣，在此探針21、探測單元2以及基板檢查裝置1中，基端部21a的剖面形狀為非圓形之探針21形成，藉由以對於中心軸A傾斜的平面，將探針21的前端部21b的一部份切掉的兩個切面S、以及前端部21b的兩個外周面F界定，而沿著中心軸A在突出的部位構成接觸部31。因此，根據此探針21、探測單元2以及基板檢查裝置1，與基端部21a的剖面形狀為圓形之構成比較，能確實地防止探針21以中心軸A為中心旋轉的緣故，能確實地進行定位接觸部31的同時，能將接觸部31形成於探針21的前端部21b偏離中心軸A的位置。所以，根據此探針21、探測單元2以及基板檢查裝置1，於鄰接的兩個探測單元2的各探針21的各接觸部31將各接觸部31定位於各自相對的位置的狀態下，因為能夠將於各前端部21b形成接觸部31的外周面F彼此靠近，不須使各探針21對於基板100大角度傾斜，也能使各接觸部31彼此以足夠接近的狀態與基板100的導體部101接觸。此結果，根據此探針21、探測單元2以及基板檢查裝置1，因為於探針21之接觸部31以外的部位及支持探針21的支持部22靠近基板100，於探針21的接觸部以外的部位及支持部22接觸實際安裝於導體部101附近的電子零件等，而使接觸部31與導體部101接觸變得困難的這件事得以避免，使接觸部31能夠確實地與基板100的導體部101接觸。
又，根據此探針21、探測單元2以及基板檢查裝置1，藉由於前端部21b鄰接的外周面F1、F4彼此之交叉部分的附近形成接觸部31，因為能將於鄰接的兩個探測單元2的各探針21的各前端部21b之外周面F1、F4彼此交叉部分靠近，使各接觸部31彼此能在更接近的狀態下與導體部101接觸。
又，根據此探針21、探測單元2以及基板檢查裝置1，藉由鄰接的各外周面F彼此垂直交叉的方式形成前端部21b，進行將前端部21b切面加工時，將前端部21b正確地定位並能夠保持的緣故，能夠將接觸部31按照規定的形狀正確地形成。
又，根據此探測單元2以及基板檢查裝置1，藉由包括在限制探針21繞中心軸A旋轉的狀態下、以可嵌合探針21的插入孔H形成之嵌合部所構成的支持部，因為將探針插入嵌合於插入孔H，可使接觸部31能確實地定位於預先決定的位置。
又，根據此探測單元2以及基板檢查裝置1，基端部21a剖面形狀為矩形的方式形成探針21的基端部21a，藉由具有與基端部21a的剖面形狀為互補形狀的插入孔H形成嵌合部，舉例來說，與基端部21a的剖面形狀以及插入孔H的剖面形狀為五角以上形成的多角形之構成比較，偏離中心軸A的接觸部31的位置掌握容易的緣故，將探針21的基端部21a插入於插入孔H，而定位接觸部31的作業便能容易進行。
又，根據此探測單元2以及基板檢查裝置1，藉由插入孔H的矩形剖面的各邊對於腕部41、42的長度方向傾斜的方式將插入孔H形成於腕部41、42的前端部41b、42b側，與矩形的各邊平行於腕部41、42的長度方向之構成比較，能夠將接觸部31定位於更遠離腕部41、42的寬度方向的中心的位置。因此，根據此探測單元2以及基板檢查裝置1，因為鄰接的兩個探測單元2的各插入孔H的對應各邊彼此互相以相反方向傾斜的方式形成各插入孔H，與矩形的各邊平行於腕部41、42的長度方向之構成比較，使各探測單元2的各探針21的各接觸部31彼此能在更接近的狀態下與導體部101接觸。
且，探針以及探測單元係不侷限於上述構成。舉例來說，關於基端部21a的剖面形狀為矩形，並且被切掉之前的前端部21b的剖面形狀為矩形(前端部21b的外周面F為平面並且鄰接的外周面F彼此垂直交叉)的方式形成探針21的例子前面已提過，但採用基端部21a的剖面形狀以及被切掉之前的前端部21b的剖面形狀為矩形以外之多角形(三角形以及五角以上的多邊形)所形成的探針也可以。作為一例，採用第10圖所示之探針121也可以。且，在以下的說明中，關於與上述的探測單元2以及探針21同樣的構成要素係，標示相同符號，省略重複說明。
這種情況，探針121係，如第10圖所示，基端部121a的剖面形狀以及被切掉之前的前端部121b的剖面形狀為三角形(矩形以外之多角形的一例)的方式所形成。又，在此探針121中，藉由以對於中心軸A傾斜的平面，將前端部121b的一部份(在同圖中虛線表示之部分)切掉而形成的兩個切面S4、S5(以下，不特別區分時稱為「切面S」)、以及以平面構成的前端部121b的外周面F5~F7(以下，不特別區分時稱為「外周面F」中之兩個外周面F5、F6界定，而沿著中心軸A在突出的部位構成接觸部131。又，在此探針121中，接觸部131形成於鄰接的外周面F5、F6彼此交叉部分的附近。
又，關於前端部21b的外周面F以平面所各自構成的例子前面已提過，但採用外周面F之一個或複數個以曲面所構成的構成也可以。
又，關於基端部21a側的剖面形狀(第一剖面形狀)與前端部21b側的剖面形狀(第二剖面形狀)為相同形狀(非圓形的形狀)的方式形成探針21、121的例子前面已提過，但採用第一剖面形狀與第二剖面形狀為不同形狀(非圓形的形狀)的方式形成的探針也可以。作為一例，採用第一剖面形狀為橢圓形、而第二剖面形狀為多角形(作為一例，矩形)的構成也可以。
又，關於插入孔H的矩形剖面的各邊對於腕部41、42的長度方向傾斜的方式形成插入孔H的例子前面已提過，但採用矩形的各邊與腕部41、42的長度方向平行或垂直的方式形成插入孔H的構成也可以。
又，關於將剖面形狀為矩形的插入孔H形成於腕部41、42的例子前面已提過，但於探針與插入孔H嵌合部分的剖面形狀為矩形以外的形狀時，採用形成於腕部41、42與此剖面形狀為互補形狀的插入孔H的構成也可以。
又，如第11圖所示般，取代插入孔H，溝部G(嵌合部的另一例)形成於連結部144的側面144a的支持部122，採用包括此支持部122的探測單元102也可以。這種情況，溝部G係具有與探針21的基端部21a的矩形剖面互補之剖面形狀，可與基端部21a嵌合。因此，在探測單元102中，也因為將基端部21a嵌入溝部G使兩者嵌合，而可確實地限制繞中心軸A的探針21的旋轉。
且，由上方看溝部G的剖面形狀時，矩形剖面的各邊對於腕部41、42的長度方向傾斜的方式形成溝部G也可以。這種情況，因為於兩個探測單元102的各溝部G的各矩形剖面，對應的各邊彼此互相以相反方向傾斜的方式形成各溝部G，與上述使用各探測單元2時一樣，偏離探針21的中心軸A的位置形成之各接觸部31彼此能足夠接近。
又，包括兩個探測單元2的基板檢查裝置1已舉例說明過，但在包括三個以上的探測單元2的基板檢查裝置中，也可實現上述各效果。
1‧‧‧基板檢查裝置
2、102‧‧‧探測單元
3‧‧‧移動機構
4‧‧‧操作部
5‧‧‧記錄部
6‧‧‧顯示部
7‧‧‧處理部
21、121、521‧‧‧探針
21a、121a‧‧‧基端部
21b、121b‧‧‧前端部
22、122‧‧‧支持部
31、131‧‧‧接觸部
41、42‧‧‧臂
41a、42a‧‧‧基端部
41b、42b‧‧‧前端部
43、44‧‧‧連結部
100‧‧‧基板
101‧‧‧導體部
144a‧‧‧側面
A‧‧‧中心軸
B‧‧‧一點鏈線
C‧‧‧剖面
Db‧‧‧資料
F1~F12‧‧‧外周面
G‧‧‧溝部
H‧‧‧插入孔
S1~S11‧‧‧切面
第1圖係為表示基板檢查裝置1的構成之構成圖。
第2圖係為表示探測單元2的構成之立體圖。
第3圖係為由外周面F1側看探針21之立體圖。
第4圖係為由外周面F1側看探針21之正視圖。
第5圖係為由外周面F3側看探針21之側視圖。
第6圖係為由外周面F3側看探針21之立體圖。
第7圖係為由前端部21b側看探針21之立體圖。
第8圖係為說明在支持部22中臂41、42的構成之說明圖。
第9圖係為說明檢查方法之說明圖。
第10圖係為說明探針121的構成之說明圖
第11圖係為表示探測單元102的構成之立體圖。
第12圖係為說明習知的構成之第一說明圖。
第13圖係為說明習知的構成之第二說明圖。

Claims (13)

  1. 一種探針，被形成為柱狀且在基端部被支持的狀態下，使設置於前端部之接觸部與接觸對象接觸，而其係與該接觸對象之間進行電信號之輸入輸出的探針，其中 前述基端部係，垂直於該探針中心軸的剖面之剖面形狀為非圓形的方式形成， 前述接觸部係，藉由以對於前述中心軸傾斜的平面，將前述前端部的一部份切掉而各自形成的兩個切面、以及該前端部的兩個外周面界定，而構成在沿著該中心軸突出的部位。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之探針，其中前述接觸部係，形成於鄰接的前述各外周面彼此交叉部分的附近。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之探針，其中前述前端部係，鄰接的前述各外周面彼此垂直交叉的方式所形成。
  4. 一種探測單元，係包括如申請範圍第1項所述之探針，以及支持該探針之支持部，其中 前述支持部係，包括可與處於繞前述探針的前述中心軸之旋轉被限制的狀態下之該探針嵌合的插入孔以及溝部之任一方形成的嵌合部，並構成為可在將前述探針嵌合於該嵌合部的狀態下支持該探針。
  5. 一種探測單元，係包括如申請範圍第2項所述之探針，以及支持該探針之支持部，其中 前述支持部係，包括可與處於繞前述探針的前述中心軸之旋轉被限制的狀態下之該探針嵌合的插入孔以及溝部之任一方形成的嵌合部，並構成為可在將前述探針嵌合於該嵌合部的狀態下支持該探針。
  6. 一種探測單元，係包括如申請範圍第3項所述之探針，以及支持該探針之支持部，其中 前述支持部係，包括可與處於繞前述探針的前述中心軸之旋轉被限制的狀態下之該探針嵌合的插入孔以及溝部之任一方形成的嵌合部，並構成為可在將前述探針嵌合於該嵌合部的狀態下支持該探針。
  7. 如申請專利範圍第4項所述之探測單元，其中 前述探針係，前述剖面形狀為矩形的方式形成， 前述嵌合部係，由具有與前述探針的前述剖面形狀互補之形狀的前述插入孔，以及具有與前述探針的前述剖面形狀互補之形狀的前述溝部之任一方形成。
  8. 如申請專利範圍第5項所述之探測單元，其中 前述探針係，前述剖面形狀為矩形的方式形成， 前述嵌合部係，由具有與前述探針的前述剖面形狀互補之形狀的前述插入孔，以及具有與前述探針的前述剖面形狀互補之形狀的前述溝部之任一方形成。
  9. 如申請專利範圍第6項所述之探測單元，其中 前述探針係，前述剖面形狀為矩形的方式形成， 前述嵌合部係，由具有與前述探針的前述剖面形狀互補之形狀的前述插入孔，以及具有與前述探針的前述剖面形狀互補之形狀的前述溝部之任一方所形成。
  10. 如申請專利範圍第7項所述之探測單元，其中 前述支持部係，包括腕部所構成， 前述嵌合部係，前述矩形的各邊相對於該腕部的長度方向傾斜的方式形成於該腕部的一端部側。
  11. 如申請專利範圍第8項所述之探測單元，其中 前述支持部係，包括腕部所構成， 前述嵌合部係，前述矩形的各邊相對於該腕部的長度方向傾斜的方式形成於該腕部的一端部側。
  12. 如申請專利範圍第9項所述之探測單元，其中 前述支持部係，包括腕部所構成， 前述嵌合部係，前述矩形的各邊相對於該腕部的長度方向傾斜的方式形成於該腕部的一端部側。
  13. 一種檢查裝置，係包括如申請範圍第4項至第12項中之任一項所述之探測單元，以及使該探測單元移動而使前述探針接觸於前述接觸對象之移動機構，以及藉由以前述探針輸入輸出的電信號為基準、對作為前述接觸對象的檢查對象實行檢查的檢查部。
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