JP3257861B2 - 基板の検査装置 - Google Patents
基板の検査装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板の検査装置、特に
液晶ディスプレイ等に用いる薄膜トランジスタ基板の検
査装置に関するものである。
液晶ディスプレイ等に用いる薄膜トランジスタ基板の検
査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、薄膜トランジスタ基板は、マト
リクス状に配列された（モザイク状、千鳥格子状等の配
列を含む）複数の画素電極と、画素電極に接続された薄
膜トランジスタ（ＴＦＴ: Thin Film Transistor 以下
ＴＦＴという）とをガラス基板上に形成したものであ
る。また、前記薄膜トランジスタには、ゲート配線によ
って走査信号が供給され、データ配線によって、前記薄
膜トランジスタを介して前記画素電極にデータ信号が供
給され、これらのゲート配線、データ配線も基板上に形
成されている。
リクス状に配列された（モザイク状、千鳥格子状等の配
列を含む）複数の画素電極と、画素電極に接続された薄
膜トランジスタ（ＴＦＴ: Thin Film Transistor 以下
ＴＦＴという）とをガラス基板上に形成したものであ
る。また、前記薄膜トランジスタには、ゲート配線によ
って走査信号が供給され、データ配線によって、前記薄
膜トランジスタを介して前記画素電極にデータ信号が供
給され、これらのゲート配線、データ配線も基板上に形
成されている。
【０００３】このＴＦＴ基板においては、製造工程での
ゴミやパターンずれ、絶縁膜の欠陥等に起因する配線の
短絡、断線、ＴＦＴの不良などに伴う画素欠陥が発生す
る場合があった。
ゴミやパターンずれ、絶縁膜の欠陥等に起因する配線の
短絡、断線、ＴＦＴの不良などに伴う画素欠陥が発生す
る場合があった。
【０００４】従来、ＴＦＴ基板の欠陥検査は、ＴＦＴ基
板内の全てのゲート配線とデータ配線について、ゲート
配線とデータ配線に検査信号を印加した時の、両方の配
線の電気抵抗を測定し、配線の短絡と断線とを検出する
方法が採られていた。
板内の全てのゲート配線とデータ配線について、ゲート
配線とデータ配線に検査信号を印加した時の、両方の配
線の電気抵抗を測定し、配線の短絡と断線とを検出する
方法が採られていた。
【０００５】図４に、従来の基板の検査装置の概略構成
図を示した。
図を示した。
【０００６】ここで５０はポジショナであって、プロー
ブ（触針）５８を、基板１１上の配線に位置決めして検
査を行う装置である。ポジショナ基台５７上に、Ｙ軸レ
バー５３によってＹ軸方向に移動・位置決め可能なＹス
テージ５４が保持され、Ｙステージ５４上にはＸ軸レバ
ー５１によってＸ軸方向に移動・位置決め可能なＸステ
ージ５２が保持されている。このＸステージ５２にはＺ
軸レバー５５によってＺ軸方向に移動・位置決め可能な
Ｚステージ５６が保持され、Ｚステージ５６には、プロ
ーブ５８がアーム６０によって固定されている。
ブ（触針）５８を、基板１１上の配線に位置決めして検
査を行う装置である。ポジショナ基台５７上に、Ｙ軸レ
バー５３によってＹ軸方向に移動・位置決め可能なＹス
テージ５４が保持され、Ｙステージ５４上にはＸ軸レバ
ー５１によってＸ軸方向に移動・位置決め可能なＸステ
ージ５２が保持されている。このＸステージ５２にはＺ
軸レバー５５によってＺ軸方向に移動・位置決め可能な
Ｚステージ５６が保持され、Ｚステージ５６には、プロ
ーブ５８がアーム６０によって固定されている。
【０００７】チャック台１２上に基板１１が吸着固定さ
れると、手動によって各軸レバー５１、５３、５５を操
作して、基板１１上の所定の配線にプローブ５８が接触
されるように位置合わせをしてから配線の検査をしてい
た。これを基板内の全てのゲート配線とデータ配線につ
いて行っていたので、一枚の基板の検査に長時間を有し
ていた。
れると、手動によって各軸レバー５１、５３、５５を操
作して、基板１１上の所定の配線にプローブ５８が接触
されるように位置合わせをしてから配線の検査をしてい
た。これを基板内の全てのゲート配線とデータ配線につ
いて行っていたので、一枚の基板の検査に長時間を有し
ていた。
【０００８】また、ＴＦＴの不良に関する検査は、基板
の周辺にテスト用に設けたＴＦＴを測定する以外に方法
はなく、ＴＦＴ基板を液晶ディスプレイとして用いた場
合に、画像表示を行う画素電極を直接検査する手段がな
かった。
の周辺にテスト用に設けたＴＦＴを測定する以外に方法
はなく、ＴＦＴ基板を液晶ディスプレイとして用いた場
合に、画像表示を行う画素電極を直接検査する手段がな
かった。
【０００９】この画素電極を検査するために、最近、画
素電極とは非接触のプローブを用い、画素電極の検査を
行う方法が提案されている。
素電極とは非接触のプローブを用い、画素電極の検査を
行う方法が提案されている。
【００１０】まず、基板上のゲート配線に検査用の走査
信号を印加して所望のＴＦＴをオンさせる。同時にデー
タ配線に検査データ信号を印加し、このＴＦＴに接続さ
れた画素電極に検査データ信号を書き込む。この時、検
査対象の画素電極上に、画素電極とは非接触のプローブ
を配置すると、画素電極にデータ信号が供給されていれ
ば、画素電極と非接触プローブとの間に容量結合が形成
され、この容量結合を増幅して測定することによって、
画素電極の動作検査を行う。これを、ＴＦＴ基板上に形
成された全ての画素電極について行い、画素電極の欠陥
検査をするというものである。
信号を印加して所望のＴＦＴをオンさせる。同時にデー
タ配線に検査データ信号を印加し、このＴＦＴに接続さ
れた画素電極に検査データ信号を書き込む。この時、検
査対象の画素電極上に、画素電極とは非接触のプローブ
を配置すると、画素電極にデータ信号が供給されていれ
ば、画素電極と非接触プローブとの間に容量結合が形成
され、この容量結合を増幅して測定することによって、
画素電極の動作検査を行う。これを、ＴＦＴ基板上に形
成された全ての画素電極について行い、画素電極の欠陥
検査をするというものである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ポジシ
ョナ５０を用いた検査装置に、非接触型のプローブを応
用した場合、基板上の全ての配線に、ポジショナ５０に
よって接触プローブを接触させる動作に加え、全ての画
素電極に非接触プローブを配置させなければならないた
め、一枚の基板の検査時間が長時間となり、従来の画素
数の基板であっても実現性に乏しく、基板の大型化、細
密化に対応することは到底不可能であった。
ョナ５０を用いた検査装置に、非接触型のプローブを応
用した場合、基板上の全ての配線に、ポジショナ５０に
よって接触プローブを接触させる動作に加え、全ての画
素電極に非接触プローブを配置させなければならないた
め、一枚の基板の検査時間が長時間となり、従来の画素
数の基板であっても実現性に乏しく、基板の大型化、細
密化に対応することは到底不可能であった。
【００１２】そこで、本発明は、非接触プローブ型の基
板の検査装置にとって、最適な移動機構を提案すること
により、この非接触プローブ型の検査装置を実現可能と
することを目的とする。
板の検査装置にとって、最適な移動機構を提案すること
により、この非接触プローブ型の検査装置を実現可能と
することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、マトリクス状に配列された複数の画素電
極と、前記画素電極に信号を印加する複数の配線とを有
してなる基板の検査装置において、前記基板を着脱自在
に吸着可能なチャック台の移動機構部と、前記基板の配
線に信号を印加するためのプローブカードの移動機構部
とからなる第１移動機構部と、基台の上に前記第１移動
機構部を保持し、少なくとも一方向に基台ごと移動可能
な第２移動機構部とを有することを特徴とする。
に、本発明は、マトリクス状に配列された複数の画素電
極と、前記画素電極に信号を印加する複数の配線とを有
してなる基板の検査装置において、前記基板を着脱自在
に吸着可能なチャック台の移動機構部と、前記基板の配
線に信号を印加するためのプローブカードの移動機構部
とからなる第１移動機構部と、基台の上に前記第１移動
機構部を保持し、少なくとも一方向に基台ごと移動可能
な第２移動機構部とを有することを特徴とする。
【００１４】更に、前記基板に非接触で前記画素電極の
動作検査を行う非接触プローブを有する場合、前記非接
触プローブは、前記基板上に、少なくとも前記第２移動
機構部の移動方向と異なる一方向に移動可能に保持、ま
たは固定されてなることを特徴とする。
動作検査を行う非接触プローブを有する場合、前記非接
触プローブは、前記基板上に、少なくとも前記第２移動
機構部の移動方向と異なる一方向に移動可能に保持、ま
たは固定されてなることを特徴とする。
【００１５】
【作用】本発明に基づく基板の検査装置は、第２移動機
構部上に、配線に検査信号を印加するための接触プロー
ブの移動機構部と、基板を保持するチャック台の移動機
構部とからなる第１移動機構部が保持されている。
構部上に、配線に検査信号を印加するための接触プロー
ブの移動機構部と、基板を保持するチャック台の移動機
構部とからなる第１移動機構部が保持されている。
【００１６】このため、一旦、第２移動機構部上で、接
触プローブと基板上の配線との位置を決定し固定すれ
ば、第２移動機構部によって、非接触プローブに対し
て、接触プローブと基板とを同時に移動可能であり、検
査対象の画素電極上に、順次非接触プローブを配置させ
ても、接触プローブと配線との位置がずれない。
触プローブと基板上の配線との位置を決定し固定すれ
ば、第２移動機構部によって、非接触プローブに対し
て、接触プローブと基板とを同時に移動可能であり、検
査対象の画素電極上に、順次非接触プローブを配置させ
ても、接触プローブと配線との位置がずれない。
【００１７】従って、位置合せの回数を最小限にするこ
とができる。
とができる。
【００１８】一般に、薄膜トランジスタ基板は、静電気
の影響でＴＦＴが破壊されるのを防止するために、全て
のゲート配線が短絡されている。従って、第１移動機構
部を作動させることにより、基板上の１箇所に接触プロ
ーブを接触させれば、短絡されているゲート配線に接続
されている全てのＴＦＴを制御することができる。ま
た、データ配線についてもゲート配線と同様短絡されて
いる。
の影響でＴＦＴが破壊されるのを防止するために、全て
のゲート配線が短絡されている。従って、第１移動機構
部を作動させることにより、基板上の１箇所に接触プロ
ーブを接触させれば、短絡されているゲート配線に接続
されている全てのＴＦＴを制御することができる。ま
た、データ配線についてもゲート配線と同様短絡されて
いる。
【００１９】このように、第１移動機構部によって接触
プローブの位置を決定・固定させた状態で、第２移動機
構部を作動して、ＴＦＴに接続されている全ての画素電
極に対し順次非接触プローブを配置させて検査を行うこ
とができるので、検査時間を大幅に短縮して欠陥検査を
行うことができる。
プローブの位置を決定・固定させた状態で、第２移動機
構部を作動して、ＴＦＴに接続されている全ての画素電
極に対し順次非接触プローブを配置させて検査を行うこ
とができるので、検査時間を大幅に短縮して欠陥検査を
行うことができる。
【００２０】なお、これらの短絡は、薄膜トランジスタ
基板の製造工程の最終工程で切り離され、本来の薄膜ト
ラジスタ基板として機能する。
基板の製造工程の最終工程で切り離され、本来の薄膜ト
ラジスタ基板として機能する。
【００２１】
【実施例】本発明の実施例に関わる基板の検査装置の例
を、図１、図２、図３を用いて説明する。図１は検査装
置の平面図、図２は検査装置をＹ軸方向から見た側面
図、図３はＸ軸方向から見た側面図であり、同一のもの
には同一の符号を付け説明を省略する。
を、図１、図２、図３を用いて説明する。図１は検査装
置の平面図、図２は検査装置をＹ軸方向から見た側面
図、図３はＸ軸方向から見た側面図であり、同一のもの
には同一の符号を付け説明を省略する。
【００２２】図中、ＴＦＴ基板１１は、チャック台１２
の上に着脱自在に吸着固定され、チャック台１２は、θ
方向に回転可能なθステージ３５上に保持されている。
の上に着脱自在に吸着固定され、チャック台１２は、θ
方向に回転可能なθステージ３５上に保持されている。
【００２３】接触プローブ１４を有するプローブカード
１５は、ＴＦＴ基板１１上のゲート配線とデータ配線に
検査信号を印加し、プローブカードステージ１６に保持
されている。プローブカードステージ１６は、プローブ
カードのＸ軸モータ１７ａと、中にボールネジを有する
プローブカードのＸ軸レール１７ｂとからなるプローブ
カードＸステージ１７によって、Ｘ軸方向に移動・位置
決め可能に保持されている。
１５は、ＴＦＴ基板１１上のゲート配線とデータ配線に
検査信号を印加し、プローブカードステージ１６に保持
されている。プローブカードステージ１６は、プローブ
カードのＸ軸モータ１７ａと、中にボールネジを有する
プローブカードのＸ軸レール１７ｂとからなるプローブ
カードＸステージ１７によって、Ｘ軸方向に移動・位置
決め可能に保持されている。
【００２４】また、プローブカードＸステージ１７は、
プローブカードのＹ軸モータ２５ａと、中にボールネジ
を有するプローブカードのＹ軸レール２５ｂと、Ｙ軸ガ
イド２５ｃとからなるプローブカードＹステージ２５上
に、Ｙ軸方向に移動・位置決め可能に保持されている。
プローブカードのＹ軸モータ２５ａと、中にボールネジ
を有するプローブカードのＹ軸レール２５ｂと、Ｙ軸ガ
イド２５ｃとからなるプローブカードＹステージ２５上
に、Ｙ軸方向に移動・位置決め可能に保持されている。
【００２５】プローブカードステージ１６は、Ｚ軸モー
タ１９ａと、Ｚ軸プーリー１９ｂとからなるプローブカ
ードＺステージ１９を有し、ＴＦＴ基板に対してＺ方向
に移動・位置決め可能である。
タ１９ａと、Ｚ軸プーリー１９ｂとからなるプローブカ
ードＺステージ１９を有し、ＴＦＴ基板に対してＺ方向
に移動・位置決め可能である。
【００２６】従って、これらの移動機構部により、プロ
ーブカード１５は、ＴＦＴ基板１１上のパターン１３に
対し、ＸＹＺ及びθ方向に移動・位置決めが可能であ
る。
ーブカード１５は、ＴＦＴ基板１１上のパターン１３に
対し、ＸＹＺ及びθ方向に移動・位置決めが可能であ
る。
【００２７】更に、ＴＦＴ基板１１に対してＸ方向、Ｙ
方向、Ｚ方向に移動可能なプローブカードの各ＸＹＺス
テージ１７、２５、１９と、チャック台１２のθステー
ジ３５とからなる第１移動機構部は、Ｘステージ基台３
０ｄと、Ｘ軸モータ３０ａと、Ｘ軸スライドレール３０
ｃとＸ軸ボールネジ３０ｂとからなる第２移動機構部
（Ｘステージ）３０のＸステージ基台３０ｄ上に保持さ
れ、Ｘステージ基台３０ｄごとＸ方向に移動可能であ
る。
方向、Ｚ方向に移動可能なプローブカードの各ＸＹＺス
テージ１７、２５、１９と、チャック台１２のθステー
ジ３５とからなる第１移動機構部は、Ｘステージ基台３
０ｄと、Ｘ軸モータ３０ａと、Ｘ軸スライドレール３０
ｃとＸ軸ボールネジ３０ｂとからなる第２移動機構部
（Ｘステージ）３０のＸステージ基台３０ｄ上に保持さ
れ、Ｘステージ基台３０ｄごとＸ方向に移動可能であ
る。
【００２８】なお、図３に示した非接触プローブ４０
は、画素電極との容量結合を測定し、画素電極の欠陥検
査を行うためのものであり、ＴＦＴ基板１１上を、プロ
ーブ移動機構部４１によってＺ方向及び、基枠４５に固
定されたレール４２に沿ってＹ方向に移動・位置決め可
能に保持されている。
は、画素電極との容量結合を測定し、画素電極の欠陥検
査を行うためのものであり、ＴＦＴ基板１１上を、プロ
ーブ移動機構部４１によってＺ方向及び、基枠４５に固
定されたレール４２に沿ってＹ方向に移動・位置決め可
能に保持されている。
【００２９】次に、本実施例に関わる基板の検査装置の
動作について説明する。
動作について説明する。
【００３０】まず、接触プローブ１４を、プローブカー
ドの各ＸＹＺステージ１７、２５、１９と、チャック台
１２のθステージ３５とによって、ＴＦＴ基板１１上の
所望の配線に位置決めして、接触させる。
ドの各ＸＹＺステージ１７、２５、１９と、チャック台
１２のθステージ３５とによって、ＴＦＴ基板１１上の
所望の配線に位置決めして、接触させる。
【００３１】この時、ゲート配線には検査用の走査信号
を印加して所望のＴＦＴをオンさせ、同時にデータ配線
には、検査データ信号を印加し、ＴＦＴに接続された画
素電極に検査データ信号を書き込む。
を印加して所望のＴＦＴをオンさせ、同時にデータ配線
には、検査データ信号を印加し、ＴＦＴに接続された画
素電極に検査データ信号を書き込む。
【００３２】次に、第２移動機構部３０によって、接触
プローブ１４を配線に接触させたまま、ＴＦＴ基板１１
をＸステージ基台３０ｄごと移動させ、検査対象の所望
の画素電極上に、非接触プローブ４０を配置させる。画
素電極に正常にデータ信号が供給されていれば、画素電
極と非接触プローブ４０との間に容量結合ができるの
で、これを増幅して測定し、画素電極の欠陥検査を行
う。
プローブ１４を配線に接触させたまま、ＴＦＴ基板１１
をＸステージ基台３０ｄごと移動させ、検査対象の所望
の画素電極上に、非接触プローブ４０を配置させる。画
素電極に正常にデータ信号が供給されていれば、画素電
極と非接触プローブ４０との間に容量結合ができるの
で、これを増幅して測定し、画素電極の欠陥検査を行
う。
【００３３】一画素分の検査が終了すると、第２移動機
構部３０によって、ＴＦＴ基板１１を移動させて、ゲー
ト配線の１ラインに接続されている全ての画素電極に対
して、順次非接触プローブ４０を配置させて検査を行
い、次に、非接触プローブ４０の移動機構部４１によっ
て、非接触プローブ４０を、ＴＦＴ基板１１上のＹ方向
に移動させて、他のゲート配線に接続されている画素電
極上に配置し検査を行う。これを全てのゲート配線につ
いて行えば、ＴＦＴ基板１１上に形成された全ての画素
電極の欠陥検査を行うことができる。
構部３０によって、ＴＦＴ基板１１を移動させて、ゲー
ト配線の１ラインに接続されている全ての画素電極に対
して、順次非接触プローブ４０を配置させて検査を行
い、次に、非接触プローブ４０の移動機構部４１によっ
て、非接触プローブ４０を、ＴＦＴ基板１１上のＹ方向
に移動させて、他のゲート配線に接続されている画素電
極上に配置し検査を行う。これを全てのゲート配線につ
いて行えば、ＴＦＴ基板１１上に形成された全ての画素
電極の欠陥検査を行うことができる。
【００３４】なお、第２移動機構部３０によって、ＴＦ
Ｔ基板１１をＹ方向に移動・位置決めし、データ配線の
１ラインに接続されている全ての画素電極に対して、順
次非接触プローブを配置させて検査を行い、次に、非接
触プローブ４０をＴＦＴ基板１１上のＸ方向に移動させ
て、他のデータ配線に接続されている画素電極上に配置
して検査を行っても良い。
Ｔ基板１１をＹ方向に移動・位置決めし、データ配線の
１ラインに接続されている全ての画素電極に対して、順
次非接触プローブを配置させて検査を行い、次に、非接
触プローブ４０をＴＦＴ基板１１上のＸ方向に移動させ
て、他のデータ配線に接続されている画素電極上に配置
して検査を行っても良い。
【００３５】第１移動機構部が、第２移動機構部３０か
ら独立して、図３の基枠４５に保持されているとする
と、非接触プローブ４０に対して、第２移動機構部３０
と、第１移動機構部のプローブカードＸステージ１７と
が、完全に同一速度で移動しなければ、ＴＦＴ基板１１
に対する接触プローブ４０の位置ずれが発生する。
ら独立して、図３の基枠４５に保持されているとする
と、非接触プローブ４０に対して、第２移動機構部３０
と、第１移動機構部のプローブカードＸステージ１７と
が、完全に同一速度で移動しなければ、ＴＦＴ基板１１
に対する接触プローブ４０の位置ずれが発生する。
【００３６】そこで、一旦接触プローブ１４をＴＦＴ基
板１１から離し、両者の位置を決めてから再び接触プロ
ーブ１４をＴＦＴ基板１１に接触させる動作が必要とな
る。しかし、以上のように、本実施例によれば、第２移
動機構部上にチャック台１２の移動機構部と、プローブ
カード１５の移動機構部とからなる第１移動機構部が保
持さているので、非接触プローブ４０に対して、ＴＦＴ
基板１１が移動しても、接触プローブ１４と基板との位
置がずれない。
板１１から離し、両者の位置を決めてから再び接触プロ
ーブ１４をＴＦＴ基板１１に接触させる動作が必要とな
る。しかし、以上のように、本実施例によれば、第２移
動機構部上にチャック台１２の移動機構部と、プローブ
カード１５の移動機構部とからなる第１移動機構部が保
持さているので、非接触プローブ４０に対して、ＴＦＴ
基板１１が移動しても、接触プローブ１４と基板との位
置がずれない。
【００３７】従って、位置合せの回数を最小限にするこ
とができ、検査時間を短縮することが可能である。な
お、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の移動機構部は、それぞれモータに
よって駆動されるため、従来のポジショナの如く人手に
頼っていた工程を、自動化することが容易であるため、
検査時間を更に短縮可能である。
とができ、検査時間を短縮することが可能である。な
お、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の移動機構部は、それぞれモータに
よって駆動されるため、従来のポジショナの如く人手に
頼っていた工程を、自動化することが容易であるため、
検査時間を更に短縮可能である。
【００３８】なお、本実施例では、プローブカード１５
をＴＦＴ基板１１に対して移動させていたが、第２移動
機構部３０上にプローブカードステージ１６を固定し
て、チャック台１２をＸ方向、Ｙ方向に移動可能な移動
機構を設けても良い。
をＴＦＴ基板１１に対して移動させていたが、第２移動
機構部３０上にプローブカードステージ１６を固定し
て、チャック台１２をＸ方向、Ｙ方向に移動可能な移動
機構を設けても良い。
【００３９】更に、本実施例では非接触プローブを用い
た基板の検査装置についてのみ説明したが、本実施例の
構成によれば、接触プローブを用いて、配線の短絡、断
線を検出する検査装置においても効果を有するものであ
る。
た基板の検査装置についてのみ説明したが、本実施例の
構成によれば、接触プローブを用いて、配線の短絡、断
線を検出する検査装置においても効果を有するものであ
る。
【００４０】すなわち、先端に接触プローブを有するプ
ローブカードの移動機構部と、基板を保持するチャック
台の移動機構部とからなる第１移動機構部が、上述の第
２移動機構部上に保持されていれば、第２移動機構部上
に複数の第１移動機構部を設け、この第１移動機構部に
保持されている各ＴＦＴ基板を検査しながら移動させる
ことができるので、一台の検査装置において、並列的に
複数の基板の検査を行う場合、チャック台にＴＦＴ基板
を供給、排出するための装置の移動量を最小限にするこ
とが可能となる。また、各種移動機構部をモータで駆動
できるので、検査工程の全自動化に非常に有利になる。
ローブカードの移動機構部と、基板を保持するチャック
台の移動機構部とからなる第１移動機構部が、上述の第
２移動機構部上に保持されていれば、第２移動機構部上
に複数の第１移動機構部を設け、この第１移動機構部に
保持されている各ＴＦＴ基板を検査しながら移動させる
ことができるので、一台の検査装置において、並列的に
複数の基板の検査を行う場合、チャック台にＴＦＴ基板
を供給、排出するための装置の移動量を最小限にするこ
とが可能となる。また、各種移動機構部をモータで駆動
できるので、検査工程の全自動化に非常に有利になる。
【００４１】また、基板はＴＦＴ基板に限らず、他の半
導体素子基板であっても応用可能である。
導体素子基板であっても応用可能である。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る基板
の検査装置によれば、第２移動機構部上に、チャック台
の移動機構部と、プローブカードの移動機構部とからな
る第１移動機構部が保持さているので、非接触プローブ
に対して、基板が移動しても、接触プローブの基板に対
する位置がずれない。
の検査装置によれば、第２移動機構部上に、チャック台
の移動機構部と、プローブカードの移動機構部とからな
る第１移動機構部が保持さているので、非接触プローブ
に対して、基板が移動しても、接触プローブの基板に対
する位置がずれない。
【００４３】従って、位置合せの回数を最小限にするこ
とができ、検査時間を短縮することが可能である。ま
た、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の移動機構部は、それぞれモータに
よって駆動されるため、従来のポジショナの如く人手に
頼っていた工程を、自動化することが容易であるため、
検査時間を更に短縮可能である。
とができ、検査時間を短縮することが可能である。ま
た、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の移動機構部は、それぞれモータに
よって駆動されるため、従来のポジショナの如く人手に
頼っていた工程を、自動化することが容易であるため、
検査時間を更に短縮可能である。
【図１】本発明の実施例に係る検査装置の平面図であ
る。
る。
【図２】本発明の実施例に係る検査装置のＹ軸方向から
みた側面図である。
みた側面図である。
【図３】本発明の実施例に係る検査装置のＸ軸方向から
みた側面図である。
みた側面図である。
【図４】従来の基板の検査装置の概略構成図である。
１１ ＴＦＴ基板 １２ チャック台 １３ 基板のパターン １４ 接触プローブ １５ プローブカード １６ プローブカードステージ １７ プローブカードＸステージ １７ａ プローブカードＸ軸モータ １７ｂ プローブカードＸ軸レール １９ プローブカードＺステージ １９ａ プローブカードＺ軸モータ １９ｂ プローブカードＺ軸プーリー ２５ プローブカードＹステージ ２５ａ プローブカードＹ軸モータ ２５ｂ プローブカードＹ軸レール ２５ｃ プローブカードＹ軸ガイド ３０ Ｘステージ ３０ａ Ｘ軸モータ ３０ｂ Ｘ軸ボールネジ ３０ｃ Ｘ軸スライドレール ３０ｄ Ｘステージ基台
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−314032（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−244973（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−287272（ＪＰ，Ａ) 実開 昭55−87（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/02
Claims (2)
- 【請求項１】 マトリクス状に配列された複数の画素電
極と、前記画素電極に信号を印加する複数の配線とを有
してなる基板の検査装置において、 前記基板を着脱自在に吸着可能なチャック台の移動機構
部と、前記基板の配線に信号を印加するためのプローブ
カードの移動機構部とからなる第１移動機構部と、 基台の上に前記第１移動機構部を保持し、少なくとも一
方向に基台ごと移動可能な第２移動機構部とを有するこ
とを特徴とする基板の検査装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の基板の検査装置におい
て、更に、 前記基板に非接触で、前記画素電極の動作検査を
行う非接触プローブを有し、 前記非接触プローブは、前記基板上に、少なくとも前記
第２移動機構部の移動方向と異なる一方向に移動可能に
保持、または固定されてなることを特徴とする請求項１
記載の基板の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11687393A JP3257861B2 (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11687393A JP3257861B2 (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 基板の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06331680A JPH06331680A (ja) | 1994-12-02 |
| JP3257861B2 true JP3257861B2 (ja) | 2002-02-18 |
Family
ID=14697749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11687393A Expired - Lifetime JP3257861B2 (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3257861B2 (ja) |
-
1993
- 1993-05-19 JP JP11687393A patent/JP3257861B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06331680A (ja) | 1994-12-02 |
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