KR20100058395A - 평판 디스플레이 패널의 검사장치 - Google Patents

평판 디스플레이 패널의 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 패널의 검사장치에 관한 것으로, 본 발명에 의한 평판 디스플레이 패널의 검사장치는, 액정패널이 지지되는 베이스; 상기 베이스의 일단에 설치되어 상기 액정패널에 형성된 복수의 패드 방향으로 이동되는 이동 플레이트; 상기 이동 플레이트의 상부에 다수 배치되어 상기 패드에 각각 대응되게 접촉하는 프로브 블록; 및 상기 다수의 프로브 블록 각각을 개별 구동시켜 각각의 프로브 블록의 간격을 자동으로 조절하는 이동 유닛;을 포함한다.
본 발명에 따르면, 액정패널에 형성된 복수의 패드에 각각 접촉한 상태로 검사하는 프로브 블록의 간격 조정이 가능하여 패널 사이즈에 상관없이 검사가 가능하고, 하나의 장비에서 범용적인 패널 검사가 가능하여 검사장치 구입 비용 절감, 검사 시간 단축, 유지보수 용이 및 차지 공간이 감소하는 효과가 있다.
프로브 블록, 간격, 조정, 얼라인, 액정패널, 범용

Description

평판 디스플레이 패널의 검사장치{TESTING APPARATUS FOR FLAT PANEL DISPLAY}
본 발명은 평판 디스플레이 패널의 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하나의 장비에서 액정패널 크기에 상관없이 범용적으로 라인 불량이나 픽셀불량을 검사할 수 있는 평판 디스플레이 패널의 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로, LCD를 비롯한 디스플레이 패널의 제조공정에서 액정패널의 불량 여부를 검사하기 위해 다양한 검사공정이 이루어지고 있고, 각 검사공정을 위한 다양한 장비들이 개발되어 있다.
대표적으로 비쥬얼 검사(Visual Inspection: VI)와 그로스 테스트가 있는데, 상기 비쥬얼 검사는 다수개의 게이트 라인 및/또는 데이터 라인이 연결된 쇼팅바(shorting bar)에 소정의 전압을 인가하여 액정패널에 흑백 상태의 화상을 표시하여 게이트 라인 및/또는 데이터 라인의 불량 여부를 검사하는 공정이다.
여기서, 흑백 상태의 화상은 쇼팅바에 소정의 전압을 인가하여 구현될 수 있다. 이와 같이 구현된 흑백 화상은 CCD카메라를 통해 도트(dot), 라인(line), 유니폼(uniform) 등의 불량 여부를 확인하는 데 이용된다.
그로스 테스트(Gross Test: GT)는 게이트 및 데이터 구동 IC를 실장하기 전에 백라이트 유닛 및 구동 IC들이 조립된 모듈(module)과 동일한 환경에서 액정패널의 동작 특성 및 도트(dot)/화소(pixel)의 불량 여부를 판단하는 공정으로, 쇼팅바를 제거한 후 모든 개별 화소에 대해 독립적인 신호를 인가하여 완제품과 동일하게 풀 컬러(full color)를 디스플레이되게 한다.
이때, 도 1은 일반적인 액정패널(1)의 구조를 나타낸 것으로서, TFT기판(12)과, 칼라필터기판(14)으로 구비되며, 비쥬얼 검사를 위하여 프로브 블록의 탐침핀에 접촉되는 검사신호 입력패드 또는 그로스 테스트시 접촉되는 OLB패드(이하 '패드'라고 함)인 패드(18)가 구비되어 있다. 미설명부호 16은 액티브 영역을 나타낸 것이다.
이렇게 비쥬얼 검사 또는 그로스 테스트를 하기 위해 액정패널에 형성된 입력패드 또는 OLB패드인 패드에 접촉시키는 프로브 블록은 일렬로 다수 배치되면서 액정패널이 위치되는 워크 테이블의 일단에 구비되어 로딩된 액정패널의 패드 수와 대응되면서 상기 패드를 향해 X, Y 방향으로 이동하거나 액정패널의 검사 완료한 후 원위치로 복귀하도록 X, Y 방향으로 이동한다.
그러나 종래의 평판 디스플레이 패널의 검사장치는 액정패널 검사시 프로브 블록이 로딩된 액정패널의 패드 수와 대응되게 각각 구비되므로 검사장치가 액정패널의 사이즈별로 구비되어 검사장치의 구매 비용 증가 및 설치 공간이 확장되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 액정패널에 형성된 복수의 패드에 각각 접촉한 상태로 검사하는 프로브 블록의 간격 조정이 가능하여 하나의 장비에서 패널 사이즈에 상관없이 검사가 가능할 수 있게 한 평판 디스플레이 패널의 검사장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 액정패널이 지지되는 베이스; 상기 베이스의 일단에 설치되어 상기 액정패널에 형성된 복수의 패드 방향으로 이동되는 이동 플레이트; 상기 이동 플레이트의 상부에 다수 배치되어 상기 패드에 각각 대응되게 접촉하는 프로브 블록; 및 상기 다수의 프로브 블록 각각을 개별 구동시켜 각각의 프로브 블록의 간격을 자동으로 조절하는 이동 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서의 상기 이동 유닛은, 이웃한 한 쌍이면서 각각의 상하에 배치되는 가이드; 상기 가이드마다 각각 설치되며 각각에 연결된 해당 프로브 블록을 개별 이동시키도록 회동되는 볼 스크루; 및 상기 볼 스크루에 각각 연결되어 개별 구동시키는 구동모터;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서의 상기 이동 플레이트는 대향된 양단에 상기 프로브 블록의 이동방향과 동일방향으로 이동되는 얼라인 유닛이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서의 상기 얼라인 유닛은, 상기 액정패널의 얼라인 마크를 촬영하는 카메라 모듈; 상기 카메라 모듈이 연결되어 상기 카메라 모듈을 전후 이동시키도록 회동하는 볼 스크루; 및 상기 볼 스크루를 구동시키는 구동모터;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서의 상기 이동 유닛에는 상기 액정패널의 정보에 따라 상기 프로브 블록의 간격을 조절할 수 있도록 구동 신호를 출력하는 제어부가 연결되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서의 상기 얼라인 유닛은 상기 프로브 블록과 동시에 상기 프로브 블록의 이동방향과 직교방향으로 이동되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서의 상기 제어부는 상기 액정패널의 기준점에서 이동 간격이 등간격 또는 비등간격으로 커지도록 상기 프로브 블록의 이동을 제어하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서의 상기 제어부는 상기 패드에 대응하지 않은 상기 프로브 블록을 간섭하지 않도록 상기 이동 유닛의 끝단으로 이송하게 제어하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명의 평판 디스플레이 패널의 검사장치는, 액정패널에 형성된 복수의 패드에 각각 접촉한 상태로 검사하는 프로브 블록의 간격 조정이 가능하여 패널 사이즈에 상관없이 검사가 가능한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 평판 디스플레이 패널의 검사장치는, 하나의 장비에서 범용적인 패널 검사가 가능하여 검사장치 구입 비용 절감, 검사 시간 단축, 유지보수 용이 및 차지 공간이 감소하는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 평판 디스플레이 패널의 검사장치를 첨부도면을 참조하여 일 실시 예를 들어 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 평판 디스플레이 패널의 검사장치(100)는 도 2에 도시된 바와 같이 베이스(110), 프로브 블록(120), 이동 유닛(130), 얼라인 유닛(140) 및 제어부를 포함하여 이루어진다.
베이스(110)는 그 중심에 라인 불량이나 픽셀불량을 검사할 평판 디스플레이 패널(이하 '액정패널'이라고 함)이 흡착 등에 의해 고정되는 플레이트 형태로 형성되되, 베이스(110)의 중심이 베이스 포인트(Base point)로 이와 액정패널(1)의 중심을 일치시킨 상태로 로딩된다. 한편, 베이스(110)는 평판 디스플레이 패널의 검사장치( 100)에 포함되는 스테이지 상에서 Z 방향으로 업/다운( Up / Down ) 하도록 구비된다.
이때, 베이스(110)의 상측 일단에 설치되어 액정패널(1)에 형성된 복수의 패드(18) 방향 또는 이격 방향인 Y축 방향으로 이동되는 "
Figure 112009021248077-PAT00001
" 자 형태의 이동 플레이트(114)가 구비되며, 이동 플레이트(114)는 Y축 구동 유닛(도면에 미도시)에 의해 프로브 블록(120)의 이동방향과 직교방향인 Y축 방향으로 이동 가능하다.
즉, 이동 플레이트(114)의 Y축 이동은 베이스(110)의 상면 양단에 Y축 방향으로 구비된 한 쌍의 리니어 가이드(112) 상에 각각 안착되면서 이와 대응되는 이 동 플레이트(114)의 저면 양단에 구비된 가이드 블록(116) 및 Y축 구동 유닛에 의해 실시된다.
결국, 이동 플레이트(114)의 Y축 이동이 Y축 구동 유닛에 의해 실시되므로 이동 플레이트(114) 상에 설치된 프로브 블록(120), 이동 유닛(130) 및 얼라인 유닛(140)이 일률적으로 Y축으로 이동하며, 이에 프로브 블록(120)의 탐침핀과 얼라인 유닛(140)의 카메라 모듈(C)이 동시에 Y축 방향으로 이동하게 된다.
그리고 이동 플레이트(114)의 상면 양단에는 이동 플레이트(114)의 Y축 이동을 위해 설치되는 한 쌍의 리니어 가이드(112)와 설치 방향이 직교한 X축 방향으로 리니어 가이드(114a)가 동일 선상에 각각 설치되고 리니어 가이드(114a) 상에 얼라인 유닛(140)을 이동시킬 수 있도록 안내하는 가이드 블록(142)이 안착 지지된다.
프로브 블록(Probe block: 120)은 탐침핀이 각각 구비되며, 매니퓰레이터( Manipulator : 120a)가 프로브 블록(120)을 X축으로 이송가능하도록 이동 플레이트( 114)의 일측단에 일렬로 다수 배치되는 연결부재(122)의 선단에 지지되는 구조를 취하면서 어 액정패널(1)에 형성된 복수의 패드(18)에 각각 접촉한 후 검사하며, 이동 유닛(130)에 의해 각각이 개별적으로 구동되도록 설치된다.
이때, 프로브 블록(120)은 각각 개별 구동할 수 있도록 절곡 형태인 연결부재(122)에 의해 이동 유닛(140)에 개별적으로 연결되며, 절곡 형태인 연결부재(122)의 수직 부분 내벽에 이동 플레이트(114)의 중심 내벽에 설치된 리니어 가이드(118)에 안착 지지된 가이드 블록(124)이 고정되어 리니어 가이드(118)를 따라 X축 방향으로 이동된다.
더욱이, 프로브 블록(120)은 최대 검사 크기에 따른 액정패널(1)의 패드(18) 수와 일대일 대응되는 수로 구비되는 것이 바람직하다.
이동 유닛(140)은 베이스(110)의 일측단에 구비되어 각각의 프로브 블록(120)을 X축 방향으로 개별 구동시키면서 제어부의 제어에 의해 복수의 프로브 블록(120)의 개별 간격을 부분적으로 조절 가능하며, 가이드(132), 볼 스크루(134) 및 구동모터(136)를 포함한다.
한편, 본 발명에서와 같이 프로브 블록(120)이 8개일 경우 이동 유닛(130)의 가이드(132)는 상호 평행한 2×2로 수평 배치되고 이에 볼 스크루(134) 및 구동모터(136)도 각각 8개씩 구비되며, 프로브 블록(120)의 최대개수 이하로 사용가능하며, 추가 장착이 가능하다.
가이드(132)는 액정패널(1)의 패드(18) 형성방향과 평행하되 이동 플레이트(114)의 상측에 이웃한 한 쌍이면서 각각의 상하에 설치되며 연결부재(122)의 후단이 각각 개별적으로 연결된다.
볼 스크루(Ball screw: 134)는 가이드(132)마다 내부에 개별적으로 설치되며 해당 프로브 블록(120)이 개별적으로 연결되어 각각의 프로브 블록(120)을 회동에 의해 개별 이동시킨다.
구동모터(136)는 가이드(132)의 외측단마다 각각 고정되면서 구동축에 볼 스크루(134) 일단과 커플링 등에 의해 연결되며 볼 스크루(134)의 회전수를 제어할 수 있도록 스텝핑 모터(Stepping Motor) 등을 접목시켜 고정도(高精度) 실현이 가능하다.
결국, 프로브 블록(120)는 프로브 블록(120)마다 개별 구동시키는 볼 스크루(134) 및 구동모터(136)를 프로브 블록(120)에 상응하도록 각각 구비하여 개별적인 이동이 가능하고 각각의 프로브 블록(120)의 간격 조정도 가능한 것이다. 이때, 프로브 블록(120)의 개별 제어는 액정패널(1)의 크기 및 패드(18)의 개수에 따라 설정 가능하다.
여기서, 각각의 프로브 블록(120)을 매니퓰레이터(Manipulator: 120a)에 의해 개별적으로 지지하는 연결부재(122)는 이동 유닛(130)의 가이드(132)마다 연결되는 위치가 중복되지 않고 상이하며 각각의 가이드(132)마다 하나의 연결부재(122)가 개별적으로 연결된다.
얼라인 유닛(Align unit: 140)은 프로브 블록(120)의 이동방향과 동일방향인 X축 방향으로 이동되도록 이동 플레이트(114)의 양단에 각각 설치되되, 이를 작동시켜 액정패널(1) 상에 마킹된 얼라인 마크(Align Mark)를 촬영한 후 제어부로 수신하여 액정패널(1)의 기준점 위치를 맞추며, 카메라 모듈(C), 지지부재(144), 볼 스크루(146) 및 구동모터(148)를 포함한다.
이때, 액정패널(1)의 얼라인 마크와 OLB패드인 패드의 얼라인 마크와의 Y축상 거리는 프로브 블록과 카메라 모듈(C)의 Y축상 거리와 동일하고, OLB패드인 패드의 얼라인 마크와 프로브 블록 접촉 에리어(Area)의 Y축상 위치가 일정하며, 이웃한 OLB패드인 패드의 얼라인 마크 간격이 액정패널(1)의 사이즈에 따라 상이하므로 이를 위해 카메라 모듈(C)의 X축 이동이 가능하다.
한편, 도 3에 도시된 바와 같이 액정패널 얼라인 마크와 OLB패드인 패드의 얼라인 마크와의 X축상 거리(A)는 액정패널(1)의 사이즈 등에 따라 상이하나 액정패널 얼라인 마크와 OLB패드인 패드의 얼라인 마크와의 Y축상 거리(B)는 액정패널(1)의 사이즈 등에 상관없이 동일하다.
그리고 프로브 블록(120)의 프로브 블록 접촉 에리어와 OLB패드인 패드의 얼라인 마크와의 위치가 Y축 동일선상에 위치되므로 프로브 블록 접촉 에리어의 Y축상 위치와 액정패널 얼라인 마크의 Y축상 위치는 항상 일정하며 이에 이동 플레이트(114)에 의해 프로브 블록(120)과 얼라인 유닛(140)이 동시에 Y축 방향으로 이동되므로 액정패널 얼라인 마크와 OLB패드인 패드의 얼라인 마크와의 X축상 거리(A)에 따라 카메라 모듈(C)을 X축 방향으로 이동시키는 것만으로도 사이즈가 다른 액정패널에 상관없이 액정패널 얼라인 마크를 범용적으로 인식할 수 있다.
카메라 모듈(C)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 액정패널(1)의 얼라인 마크를 촬영하고 촬영 결과값을 제어부로 출력하여 프로브 블록의 탐침핀이 프로브 블록 접촉 에리어에 위치될 수 있도록 Y축 구동 유닛의 구동을 제어한다.
지지부재(144)는 내부에 카메라 모듈(C)이 수평 방향으로 지지되며, 저면에 이동 플레이트(114)의 양단에 설치되는 리니어 가이드(114a)에 안착 지지되어 이동하는 가이드 블록(142)이 장착된다.
볼 스크루(146)는 지지부재(144)에 일단이 지지되고 타단은 구동모터(148)에 지지되어 회전 구동에 의해 지지부재(144)를 이동시키며, 이동 유닛(130)의 볼 스크루(134)와 동일한 기능과 구조를 가지므로 상세한 설명은 생략한다.
구동모터(148)는 이동 플레이트(114) 상에 고정되면서 볼 스크루(146)의 타 단에 커플링 등에 의해 연결되며 볼 스크루(134)의 회전수를 제어할 수 있도록 스텝핑 모터 등을 접목시킨다.
제어부(도면에 미도시)는 미리 입력한 액정패널(1)의 정보 즉, 패드 얼라인 마크의 인식 위치에 따라 프로브 블록(120)의 간격을 조절할 수 있도록 이동 유닛(140)에 구동 신호를 개별적으로 출력한다.
즉, 제어부는 얼라인 유닛(140)의 카메라 모듈(C)에 의해 액정패널(1)의 얼라인 마크를 촬영하고 이 촬영 신호를 전달받아 Y축 구동 유닛을 설정거리인 프로브 블록 접촉 에리어 위치만큼 Y축 방향으로 구동시키고 얼라인 유닛(140)의 구동모터(148) 구동을 제어하여 OLB패드인 패드의 얼라인 마크를 카메라 모듈(C)을 이동시켜 인지할 수 있다.
그리고 제어부는 액정패널(1)의 사이즈가 작을 경우 액정패널(1)에 형성된 패드(18)의 수보다 프로브 블록(120)의 수가 많으므로 패드(18)에 대응하지 않은 프로브 블록(120)의 간섭을 방지하도록 해당 이동 유닛(140)의 구동모터(136)를 출력신호에 의해 구동시켜 이동 유닛(140) 양끝단으로 프로브 블록(120)을 이송하게 한다.
그리고 제어부는 얼라인 유닛(140)에 의해 액정패널(1)의 얼라인 마크를 감지하면 감지 위치에 따른 패드(18)의 개수 및 위치를 데이터화한 상태에서 이동 유닛(130)의 구동모터(136)를 구동 제어하게 된다.
더욱이, 제어부는 액정패널(1)의 기준점에서 이동 간격이 등간격 또는 비등간격 모두 선택적으로 대응되도록 프로브 블록(120)의 간격 이동을 제어 가능하다. 이는 외곽에 위치된 프로브 블록(120)이 내곽에 위치된 프로브 블록(120)보다 이동 속도를 빠르게 하여 같은 시점에서 프로브 블록(120)을 패드(18)에 접촉시키기 위함이다.
그러므로 본 발명의 평판 디스플레이 패널의 검사장치(100)의 작동 과정은 도 1, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이 다음과 같다.
우선, 베이스(110) 상에 액정패널(1)을 베이스(110)와의 기준점이 일치한 상태로 로딩시킨 후 제어부(150)의 출력신호로 Y축 구동 유닛을 구동시켜 액정패널(1)의 얼라인 마크를 얼라인 유닛(140)의 카메라 모듈(C)이 인식할 때까지 이동시킨다.
다음으로, 액정패널(1)의 얼라인 마크를 카메라 모듈(C)이 인식하면 이 신호를 제어부로 보내고 제어부에서 얼라인 유닛(140)에 구동신호를 보내어 얼라인 모듈(140)의 구동모터(148)가 구동되고 이에 볼 스크루(146)가 회동되며 이에 연결된 카메라 모듈(C)을 전진시켜 카메라 모듈(C)이 패드(18) 얼라인 마크를 인식하게 한다.
다음으로, 제어부에 의해 패드(18) 얼라인 마크의 위치가 카메라 모듈(C)을 통해 인식되면 제어부(150)에서 액정패널(1)에 형성된 패드(18) 수를 미리 설정된 액정패널(1)의 정보에 의해 판단하고 이동 유닛(140)의 구동모터(136)를 개별 구동시켜 미리 설정된 액정패널(1)의 정보에 따라 해당 위치인 액정패널(1)의 패드(18)로 프로브 블록을 이동시킨다.
이때, 각각의 패드(18)에 각각 대응되는 프로브 블록(120)을 구동시키며 이는 해당 구동모터(136)를 제어부의 출력 신호에 따라 개별 구동시켜 이와 연결된 볼 스크루(134)를 각각 회동시키고 볼 스크루(134)에 연결된 해당 프로브 블록(120)을 해당 패드(18)에 각각 근접시킨 상태에서 Z축 구동 유닛에 의해 베이스(110)를 하강 구동시켜 패드(18)에 탐침핀을 접촉시킨 후 검사한다.
더욱이, 패드(18) 수에 따라 프로브 블록(120)이 대응될 경우 각각의 프로브 블록(120)을 패드(18)에 접촉시켜 검사하며, 로딩된 액정패널(1)의 사이즈가 작아 프로브 블록(120)이 남을 경우 작동하지 않을 프로브 블록(120)을 이동 유닛(140)의 양끝단으로 구동시켜 상호 간섭을 방지한다.
다음으로, 프로브 블록(120)이 패드(18)에 접촉한 후 검사를 완료하면 디스플레이된 화면을 통해 액정패널(1)의 라인불량이나 픽셀불량 여부가 선택적으로 출력된다.
이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 보호범위는 상기 실시 예에 한정되는 것이 아니며, 해당 기술분야의 통상의 지식을 갖는 자라면 본 발명의 사상 및 기술영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 일반적인 액정패널을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명에 의한 평판 디스플레이 패널의 검사장치를 도시한 사시도이다.
도 3은 상기 평판 디스플레이 패널의 검사장치에서 얼라인 유닛의 이동 상태를 도시한 개략도이다.
도 4 및 도 5는 상기 평판 디스플레이 패널의 검사장치에서 액정패널의 패드 수와 프로브 블록의 수가 동일한 경우에서 프로브 블록이 패널에 분리되고 접촉되는 상태를 도시한 개략도이다.
도 6은 상기 평판 디스플레이 패널의 검사장치에서 액정패널의 패드 수와 프로브 블록의 수가 상이한 경우를 도시한 개략도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100: 검사장치 110: 베이스
120: 프로브 블록 130: 이동유닛
140: 얼라인 유닛

Claims (8)

  1. 액정패널이 지지되는 베이스;
    상기 베이스의 일단에 설치되어 상기 액정패널에 형성된 복수의 패드 방향으로 이동되는 이동 플레이트;
    상기 이동 플레이트의 상부에 다수 배치되어 상기 패드에 각각 대응되게 접촉하는 프로브 블록; 및
    상기 다수의 프로브 블록 각각을 개별 구동시켜 각각의 프로브 블록의 간격을 자동으로 조절하는 이동 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 이동 유닛은,
    이웃한 한 쌍이면서 각각의 상하에 배치되는 가이드;
    상기 가이드마다 각각 설치되며 각각에 연결된 해당 프로브 블록을 개별 이동시키도록 회동되는 볼 스크루; 및
    상기 볼 스크루에 각각 연결되어 개별 구동시키는 구동모터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 검사장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 이동 플레이트는 대향된 양단에 상기 프로브 블록의 이동방향과 동일방향으로 이동되는 얼라인 유닛이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 검사장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 얼라인 유닛은,
    상기 액정패널의 얼라인 마크를 촬영하는 카메라 모듈;
    상기 카메라 모듈이 연결되어 상기 카메라 모듈을 전후 이동시키도록 회동하는 볼 스크루; 및
    상기 볼 스크루를 구동시키는 구동모터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 검사장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 이동 유닛에는 상기 액정패널의 정보에 따라 상기 프로브 블록의 간격을 조절할 수 있도록 구동 신호를 출력하는 제어부가 연결되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 검사장치.
  6. 제 3항에 있어서,
    상기 얼라인 유닛은 상기 프로브 블록과 동시에 상기 프로브 블록의 이동방향과 직교방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 검사장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 액정패널의 기준점에서 이동 간격이 등간격 또는 비등간격으로 커지도록 상기 프로브 블록의 이동을 제어하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 검사장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 패드에 대응하지 않은 상기 프로브 블록을 간섭하지 않도록 상기 이동 유닛의 끝단으로 이송하게 제어하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널의 검사장치.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101292261B1 (ko) * 2012-06-29 2013-08-07 주식회사 디이엔티 평면 디스플레이 검사장치
KR20140014970A (ko) * 2012-07-27 2014-02-06 엘지디스플레이 주식회사 액정패널 검사장비 및 검사방법
KR101650487B1 (ko) * 2015-12-10 2016-08-23 (주) 루켄테크놀러지스 오토 프로브 검사 장치 및 이를 이용한 패널 검사 방법
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