JPH01170864A - テープキャリヤの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、テープキャリヤの検査方法に関する。

（従来の技術） 近年、時計・電卓・コンピュータメモリなどの小形化・
薄形化・軽量化実装として又、カメラ・ＯＡ機器など特
殊形状機器への実装の必要性から、ＩＣ実装はテープキ
ャリヤ方式が本格的実用段階に入ってきた。テープキャ
リヤは、ＩＣチップの電極配列に合わせたリードパター
ンが、スプロケットホールとデバイスホールを持つプラ
スチックフィルム上に形成されたものである。このよう
なテープキャリヤは、連続的にテープ状に形成されてい
て、各デバイスホール部に、ＩＣチップを例えばバンプ
方式でボンディングする。このテープキャリヤのリード
パターンとＩＣチップの各電極パッドを接続したものを
、テープ状のままピッチ送りして、順次各チップの電気
特性を検査する装置が要望されている。又、上記のよう
に、テープキャリヤにＩＣチップを装着し、テープ状の
ままＩＣチップの電気特性の検査をする装置は、特公昭
６２−５７５号公報に開示されている。又上記のような
テープキャリヤ状のまま検査を含む装置として特開昭５
３−２７３６４号公報に開示されている。

（発明が解決しようとする問題点） ここで、ＩＣを装着したテープキャリヤの検査する装置
の稼働率向上およびそのことに伴ない自動化の促進が要
求されている。

しかしながら、上記記載の公報によるとテープキャリヤ
に装着された各■ｃの検査の結果で、不良品と判断され
だものにおいては、インク等によりマークを付加し、後
゛工程においては、そのルーフをパターン認識等により
良・不良の目視判断をしていた。このような構成にする
と、テープキャリヤの検査装置にマーキング機構を設け
る必要があり、装置自体が大型化してしまい、マーキン
グ時間に多くの時間を費やし、又、マーキングミスやマ
ーキング不良が発生した場合、良品を不良品と判断した
り、不良品を良品と判断したりして歩留りおよび信頼性
の低下を招く恐れがあった。さら−に、後工程において
も、マーキングの有無を認識する機構が必要となり汎用
性に欠けていた。

この発明は上記点に対処してなされたもので、ＩＣを装
着したテープキャリヤを検査する装置の自動化促進によ
る装置自体の稼働率の向上および信頼性も高く歩留りの
向上に寄与するテープキャリヤの検査方法を提供するも
のである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） この発明は、テープキャリヤに装着された多数の電子部
品の電気特性を順次検査するに際し、上記検査した結果
を記憶機構に記憶する手段と、この手段により記憶され
た検査の結果を表示機構に表示することを特徴とする。

（作用効果） テープキャリヤに装着された多数の電子部品の電気特性
を順次検査するに際し、検査した結果を記憶機構に記憶
する手段と、この機構により記憶された検査の結果を表
示機構に表示することにより、マーキング機構を必要と
せず装置自体の小型化と稼働率の向上が可能となり、マ
ーキング不良やマーキングミスなどがなくなるため、こ
のことによる歩留りの低下がなく信頼性の向上となる効
果が得られる。

（実　施　例） 次に、本発明方法をＩＣを装着したテープキャリアをプ
ローブ装置で検査する方法に適用した一実施例を図面を
参照して説明する。

プローブ装置０）における被検査体であるテープキャリ
ヤ■は、第３図に示すように、プラスチックフィルム例
えばポリイミドフィルム例えば幅３５ｍｍ厚さ１２５μ
ｍの長手方向の両側縁部（２ａ）に、所定の一定間隔を
設けて複数個同一大きさの長方形状から成る貫通孔例え
ば角形スプロケットホール（３）が設けられている。さ
らに、長手方向の中央帯位置即ち、１．Ｃチップ←）の
実装位置にも、所定の一定間隔を設けて貫通孔であるデ
バイスホール（図示せず）が設けられている。このデバ
イスホールに対応して実装されるＩＣチップ■の各電極
端子（５）が上記テープキャリヤ■上に印刷され、この
電極パッド０と上記ＩＣチップ（４）の端子間を接続す
る如く、リードパターン（０が形成されている。このよ
うなテープキャリヤ（２）の上記各デバイスホールには
、電子部品の半導体素子であるＩＣチップ（４）がイン
ナーリードボンディング法等により、装着され、この時
、ＩＣチップ（４）の各電極パッドと上記各対応するリ
ードパターン０が配線されている。上記のようなＩＣチ
ップ（へ）を装着したテープキャリヤ■を検査するプロ
ーブ装置（υの構成を次に説明する。

このプローブ装ｗ（１）は、第２図に示すように被検査
体であるＩＣチップ（４）を実装したテープキャリヤ■
が供給リール■の回転軸（８）に巻装されている。

上記供給リールωに巻装されたテープキャリヤ■は、テ
ープキャリヤ送り用スプロケット（９）及び検査部（１
０）を介して回転軸（１１）を中心に回転自在に設けら
れた収納リール（１２）に巻かれている。上記スプロケ
ット（９）は、図示しない駆動装置であるモータに連設
しており、このモータを正逆方向に選択的に回転可能と
することにより、所望の回転方向にスプロケッ１〜（９
）は、回転可能とされている。

又、スプロケット（９）は、モータごと中心軸方向にス
ライド自在に設けられたスライド体（図示せず）に載置
されている。このようなスプロケット（９）には、テー
プキャリヤ■のスプロケットホール（３）の対応した位
置に突起例えばトラクター（１３）が設けられている。

このトラクター（１３）は、スプロケットホール（３）
に挿入し、かみ合う状態に設けられていて、トラクター
（１３）の送り方向（１４）側と上記スプロケットホー
ル（３）の送り方向（１４）側との形状が位置合わせし
ながら送ることが可能な形状である。

上記スプロケット■は、例えば検査部（１０）の前後に
２系統設けられている。この検査部（１０）には、第４
図に示すように、テープキャリヤ■の送り方向（１４）
順にまず、テープキャリヤ■上方向に、ＩＴＶカメラ（
１５）が設置されている。このＩＴＶカメラ（１５）で
パターン認識による画像処理アライメン１−が行なわれ
る。次に、プローブユニット（１６）が配設されている
。このプローブユニット（１６）は、いわゆるプリン１
へ基板と呼ばれている基板にテープキャリヤ■に形成さ
れた電極端子０の配列パターンに対応する如く多数のプ
ローブ体例えばプローブ針（１７）が配列装着されてい
る。各プローブ針（１７）の装着位置からは、夫々絶縁
状態で図示しないテスタに接続する如くプリント配線さ
れている。

このようなプローブユニット（１６）は、図示しない昇
降機構に係合されていて、テープキャリヤ■に対して上
下方向に移動可能とされている。又、プローブユニット
（１６）との対向位置であり、テープキャリヤ■の下方
向には、テープキャリヤ■を載置固定するための載置台
（１８）が設置されている。

載置台（１８）の上面には、バキューム孔（図示せず）
が設けられていて、テープキャリヤ■を真空吸着可能と
されている。又、載置台（１８）は、図示しない昇降機
構に係合されていて、テープキャリヤ■に対して上下方
向に移動可能であり、さらに、テープキャリヤ■の送り
方向（１４）に対して直角に水平方向にスライド自在と
されている。又、上記ＩＣチップ（４）が装着接続され
たテープキャリヤ■が、供給リールω及び収納リール（
１２）に巻かれる際、上記ＩＣチップＧ）及びテープキ
ャリヤ■の保護の目的で、テープキャリヤ■の間にスペ
ーサ（１９）が巻かれている。このスペーサ（１９）は
、上記テープキャリヤ■と同じ幅例えば３５ｍｍに設け
られており、このスペーサ（１９）の両端即ち、上記テ
ープキャリヤ（２）が有するスプロケットホール■と対
応する位置に突起が表裏交互に設けられている。この−
突起によりテープキャリヤ■を供給リール■及び収納リ
ール（１２）に巻く際に、上記ＩＣチップ（へ）に他の
物が接触することを防止する構成になっている。

又、スペーサ（１９）は、テープキャリヤ■の移動に従
って、テープキャリヤ■を離れて供給リール■から例え
ば２箇所に設けられたガイドローラー（２０）を介して
収納リール（１２）に巻き取られる。この巻き取られた
時点でスペーサ（１９）は、再び検査部テープキャリヤ
■と接続して保護をする構成になっている。

一８＝ 上記したようなプローブ装置のは、内臓されているＣＰ
Ｕにより動作が制御されていて、プローブ装置（υの動
作設定する場合は１図示しない操作パネルからキー人力
することが可能とされている。

又、上記ＣＰＵには、図示しない記憶機構例えばフロッ
ピィ−ディスクやＲＡＭ等が接続されていて、テープキ
ャリヤ（２）に装着されたＩＣチップ（４）の検査結果
例えば良・不良や機能レベルを記憶することが可能とさ
れている。記憶機構に記憶された検査結果は、ＣＰＵを
介してプローブ装置（ト）に設けられた表示機構例えば
ＴＶモニタ（２１）に表（マツプ）にして表示可能とさ
れている。又、図示しないプリンターによりプリントア
ウトすることも可能である。

上述したように、ＩＣチップ（４）を装着したテープキ
ャリヤ■をリール・ツウ−・リール方式で搬送し、ＩＣ
チップ（４）の電気特性を検査する装置が構成されてい
る。

次に上述したプローブ装置（１）によるテープキャリヤ
■に実装されたＩＣチップ（４）の検査方法を説明する
。

プローブ装置（１）は、プローブ装置（１）に内臓され
ているＣＰＵに記憶されたプログラムに従って動作する
。まず、テープキャリヤ送り用スプロケット（９）及び
収納リール（１２）が連動回転する。このことにより、
同速度で検査部（１０）にテープキャリヤ■を移送する
。この検査部（１０）に移送されたテープキャリヤ■を
、ＩＴＶカメラ（１５）によりアライメントする。この
アライメントは、ＩＴＶカメラ（１５）の撮像位置に設
置されたテープキャリヤ■を撮偉し、この撮像出力と予
め記憶されている基準データを比較する。いわゆるパタ
ーン認識を行なう。このアライメント後、テープキャリ
ヤ■を所定量だけ送り方向（１４）にピッチ送りし、テ
ープキャリヤ■に実装されたＩＣチップ（４）の検査を
実行する。この検査は、送られてきたテープキャリヤ■
の裏面を載置台（１８）の上面において真空吸着し固定
する。この固定状態で、プローブユニット（１６）の各
プローブ体例えばプローブ針配列と、検査対象ＩＣチッ
プを実装したテープキャリヤ（２）の電極端子０は、上
記アライメントにより位置合わせされている。次に、プ
ローブユニット（１６）と載置台（１８）を上下方向に
相対的に移動する。例えばプローブユニット（１６）を
所定量下降する。このことにより、各プローブ針（１７
）とテープキャリヤ■の各電極端子０は、接続状態とな
る。この状態で、テスタとプローブ針（１７）は、導通
状態のため、テスタで電気特性検査を実行する。この検
査結果をプローブ装置０）に内臓されているＣＰＵを介
して記憶機構に記憶する。この記憶内容は、テープキャ
リヤ■に装着されたＩＣチップに）の良・不良別に記憶
し、なおかつ機能レベルまで検査した場合は、その判断
された機能レベルまで記憶する。このように記憶した各
ＩＣチップ（４）別の検査結果は、随時所望した時に、
プローブ装置（υに設けられたＴＶモニタ（２１）に表
示もしくは図示しないプリンターによりプリントアウト
可能である。この時、テープキャリヤ■に装着された各
ＩＣチップ（４）別にマツプ形式で表示し、良品および
不良品の数から歩留りも同時に表示可能である。上記接
続検査後、プローブユニット（１６）を所定量だけ上昇
し、各プローブ針（１７）と電極端子（５）を非接続状
態とする。さらに、載置台（１８）によるテープキャリ
ヤ■の真空吸着固定を解除する。この時、塵等の発生を
防止するために、載置台（１８）を下降させて、載置台
（１８）とテープキャリヤ■を確実に非接触状態とする
のが望ましい。このような状態で、テープキャリヤ■を
所定量だけピッチ送りして順次、各ＩＣチップ（４）を
検査し、この検査結果を記憶機構に記憶する。

このように記憶機構に、テープキャリヤに装着された各
ＩＣチップ別の良・不良を記憶した後、この記憶した内
容を次工程機器や関連機器に提供する。この提供方法と
しては、機憶機構がフロッピィ−ディスクや磁気ディス
クや光ディスク等の搬出入可能な場合、オペレータがマ
ニュアルで夫々の機器とディスク交換を行ない、又、Ｒ
ＡＭ等のプローブ装置内に固定して設けられたものにつ
いては、他の機器とインターフェイスで接続し、データ
交換を行なう。この提供された情報を基に＝１２− 各関連機器で処理を行なう。このように、記憶機構の検
査結果の情報を他の関連機器に提供するようにすると、
プローブ装置にマーキング機構を設けることなく、又、
関連機器にもマーキングの解読装置を設ける必要がない
ので、各装置の小型化が実現でき、作業効率の向上が得
られる。又、さらにプローブ装置の稼動率を向上させる
ために、事前に検査終了時間が判断可能なように、検査
終了予想時間が上記ＴＶモニタ（２１）に表示可能とな
ちている。この検査終了予想時間は第４図に示すように
計算される。例えばテープキャリヤ（２）に実装された
ＩＣチップ＠）の実装数を検査前↓こプローブ装置（，
１）のＣＰＵに入力する（Ａ）。次に所定のプログラム
に従って検査を開始する（Ｂ）。この検査開始から検査
にかかわる時間例えばテープキャリヤ送り時間やアライ
メント時間やプローブ針（１７）の接続による検査時間
などの経過時間をカウントする（Ｃ）。又、この経過時
間と同時に検査法ＩＣチップ←）数をカウントする（Ｄ
）。上記の検査対象ＩＣチップ数（Ａ）と経過時間（Ｃ
）および検査済■Ｃチップ数（Ｄ）の条件より演算を行
なう（Ｅ）。この演算（Ｅ）は、経過時間（Ｃ）を検査
部ＩＣチップ数（Ｄ）で割ったものに、検査対象ＩＣチ
ップ数（Ａ）から検査部ＩＣチップ数（Ｄ）を引いたも
のを掛けたものである。即ち式で表わすと、−検査部Ｉ
Ｃチップ数（Ｄ））　　　・・・■となる。

上記０式より導びかれる値が予想終了時間である（Ｆ）
。この予想終了時間（Ｆ）をプローブ装置■に設けられ
たＴＶモニタ（２１）もしくは、図示しない液晶表示パ
半ルに表示する。上記０式により１度導かれた検査予想
終了時間は、算出された時点から例えば１秒ごとに減算
されていき、検査部ＩＣチップがカウントされるごとに
上記演算が行なわれ、それまで表示されている予想終了
時間に誤差が生じた場合は、随時補正してほぼ正確な予
想終了時間を表示する。又、この予想終了時間をもとに
予想終了時刻を表示するようにするとより効果的である
。

上述したように、検査対象である多数のＩＣチップを装
着したテープキャリヤの検査予想終了時間を表示するこ
とにより、事前に検査時間が判断可能となり、次工程の
準備等を有効に行なうことが可能となる。

この発明は上記実施例に限定されるものではなく、記憶
機構をプローブ装置と別に設はシステム管理を行なって
も良く、他の記憶機構としては、磁気ディスクや光ディ
スクや磁気テープなど書き込みおよび読み出し可能なも
のなら何れでも良い。

又、検査予想終了時間の演算方法も上記実施例に限定し
な゛くても何れのものでも良い。さらに予想終了時間が
所定の時間内に達したら、ブザー等の警告音を発するよ
うにしても良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の一実施例に使用されるプローブ装
置の説明図、第２図は第１図プローブ装置で検査するＩ
Ｃを装着したテープキャリヤの説明図、第３図は第１図
のプローブ装置の検査部の拡大図、第４図は第１図の検
査予想終了時間の計算を説明するブロック図である。 １・・・プローブ装置　　　２・・テープキャリヤ４・
・・ＩＣチップ　　　　１０・・・検査部２１・・・Ｔ
Ｖモニタ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）テープキャリヤに装着された多数の電子部品の電
   気特性を順次検査するに際し、上記検査した結果を記憶
   機構に記憶する手段と、この手段により記憶された検査
   の結果を表示機構に表示することを特徴とするテープキ
   ャリヤの検査方法。
2. （２）記憶した検査結果を表にして表示することを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載のテープキャリヤの検
   査方法。
3. （３）電子部品はＩＣである特許請求の範囲第１項記載
   のテープキャリヤの検査方法。
4. （４）記憶機構に記憶された検査結果に基づいて選別す
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のテープ
   キャリヤの検査方法。
5. （５）記憶する検査の結果は、良・不良に分けて記憶す
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のテープ
   キャリヤの検査方法。