JPH0612783B2 - テープキリヤの検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、テープキャリヤの検査装置に関する。

（従来の技術） 近年、ＩＣ等の半導体チップ（以下単にチップと略称す
る）のカメラ・時計・電卓などへの小形・薄形実装や、
コンピュータへの高密度実装の必要性から、該チップを
帯状のテープキャリヤに装着し、その状態で検査装置に
送って検査するテープキャリア方式が本格的な実用段階
に入って来た。

こうした方式に用いられるテープキャリヤは、プラスチ
ックフィルムを例えば幅35mm幅の長尺な帯状に裁断し、
この帯状フィルムの左右両側縁部に長手方向に一定間隔
を存して多数のスプロケットホールを、センター部に多
数のチップ装着用のデバイスホールを、それぞれパンチ
ングにより穿設し、次いで容易した銅箔をラミネート
し、ホトレジスト技術、エッチング技術を用いてチップ
の電極配置に合せたリードパターンを形成したものであ
る。このテープキャリアの各デバイスホール上にそれぞ
れチップが一個ずつ各々の電極端子をリードパターンと
ボンディングにより配線接続して装着実装されている。

このようなテープキャリヤのリードパターンや実装チッ
プと言った被検査部分の電気的特性の検査を実行する場
合は、未検査のテープキャリヤを巻装した供給リールを
供給側にセットし、これから該未検査のテープキャリヤ
を順次引き出しながら検査部に供給し、この検査部でテ
ープキャリヤの被検査部分の電気的特性の検査、即ちテ
ープキャリヤのリードパターン等の導通チェックや、実
装されたチップの電気的特性チックを次々と実行し、そ
の検査済みテープキャリヤは反対側にセットした収納リ
ールに漸次巻き取るようにしている。このような検査を
各リール単位で連続して行う。

（発明が解決しようとする課題） ところで、上記のようなテープキャリヤの検査装置で
は、テープキャリヤ自体が帯城の薄いプラスチックフイ
ルムで、色々な送りガイド機構を用いても、検査部への
正確な位置合わせ送りが困難であり、このために検査部
に対するテープキャリヤのチップなどの被検査部分の位
置決め精度が悪く、検査部の例えば複数本のプローブ針
と該被検査部分である例えばチップの各電極端子との電
気的な接触不良が発生して、適確な検査が出来ない問題
があった。

また、テープキャリアの各チップなどを検査して各々良
品と不良品とを判定しても、そのまま検査済みテープキ
ャリアを収納リールに巻き取ってしまうので、その検査
済みテープキャリアを次の処理工程で引き出しても、ど
のチップが良品なのか不良品なのか目視的に簡単に判別
することができず、検査装置のモニターやプリントアウ
トされる紙上の表示とチップ順番を照らし合わせて良否
判断を行わなければならないなどの面倒があった。

この発明は上記事情に鑑みなされ、その目的とするとこ
ろは、供給リールから引き出してテープキャリヤを検査
部に送る際に、そのテープキャリヤの各被検査部分を次
々と検査部に対し正確に位置決めできて、接触不良等を
招くことなく適確な電気的検査ができると共に、その検
査済みテープキャリヤを収納リールに巻き取る前に、検
査結果を基にテープキャリアの各被検査部分に良品と不
良品とを判別するための印しを付すことができ、次の処
理工程で良品と不良品との判別が目視により簡単にでき
て便利となる優れたテープキャリヤの検査装置を提供す
ることにある。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） この発明は、供給リールに巻装されている未検査のテー
プキャリヤを引き出しながら検査部に順次送って、その
検査部で該テープキャリアの各被検査部分の電気的検査
を次々と実行し、その検査済みテープキャリヤを収納リ
ールに巻き取る構成のテープキャリヤの検査装置におい
て、 上記検査部の前後位置に、それぞれテープキャリヤのス
プロケットホールにトラクターを噛合して回転により該
テープキャリアをピッチ送りするスプロケットを設ける
と共に、その前側のスプロケットと検査部との間に位置
しテープキャリアの被検査部分を撮像してパターン認識
を行う画像認識用カメラを設置し、このパターン認識情
報に基づき上記前後のスプロケットの回転量を設定して
所要のピッチ送りを行わしめると共に、これで検査部に
送られたテープキャリアを載置固定し被検査部分を検査
に供する載置台を該テープキャリアを載置固定した状態
で送り方向と直交する方向にスライド調整してアライメ
ントを行って検査を実行させる制御器を備え、且つその
検査部と後側のスプロケットとの間に位置し検査部での
検査の結果からテープキャリアの各被検査部分に良品と
不良品との目視判別のための印しを付すマーキング装置
を設けて構成したことを特徴とする。

（作 用） こうした構成のテープキャリアの検査装置であれば、供
給リールから引き出したテープキャリアを検査部に対
し、その前後に配するスプロケットのトラクターが該テ
ープキャリアのスプロケットホールに噛合して回転によ
りピッチ送りするが、その際に、検査部の手前にて画像
認識用カメラによりテープキャリアの引検査部分を撮像
してパターン認識を行う。このパターン認識情報に基づ
いた制御器の指令により、上記前後のスプロケットの回
転量が設定されて所要のピッチ送りを行うと共に、これ
で検査部に送られたテープキャリアを載置台が載置固定
し、その状態で更に上記パターン認識情報に基いた制御
器の指令により該載置台をテープキャリアの送り方向と
直交する方向にミクロン単位であるがスライド調整す
る。こうしてテープキャリアの送り方向及びこれと直交
する方向とのアライメントを行うことで、そのテープキ
ャリアの被検査部分を検査部に対し正確に位置決めし
て、その電気的特性の検査を実行する。つまり、テープ
キャリアをピッチ送りしながら、その各被検査部分を次
々と検査部に対しアライメントして正確に位置決めし、
電気的接触不良等を招くことなく適確に電気的特性の検
査を実行できるようになる。

また、その検査済みテープキャリアを収納リールに巻き
取る前に、先の検査結果を基にマーキング装置でもって
テープキャリアの各被検査部分に良品と不良品とを判別
するめの印しを付す。これで収納リールに巻き取ったテ
ープキャリヤを次の処理工程等で引き出す時に、どの被
検査部分が良品が不良品かの判別が目視により簡単にで
きて便利となる。

（実施例） 以下、本発明のテープキャリヤの検査装置の一実施例を
図面を参照して説明する。ここで例示する検査装置は、
テープキャリアに実装した半導体チップの各電極端子に
プローブ針を接触させて該チップの電気的特性を検査す
るプローブ装置１である。

このプローブ装置１により送り込まれて検査されるテー
プキャリヤ２は、第３図に示すように、プラスチックフ
ィルム例えば厚さ１２５μｍのポリイミドフィルムを、
例えば幅３５mmの長尺な帯状に裁断したもので、この左
右両側縁部２ａに長手方向に一定間隔を存して多数個の
角形スプロケットホール３が穿設されていると共に、そ
の中央帯位に半導体チップ装着用のデバイスホール（図
示せず）が複数個長手方向に所定の間隔を存して穿設さ
れている。また、このテープキャリヤ２上には、その各
デバイスホールに対応して実装される半導体チップ（以
下単にチップと略称する）４の電極配意に合わせたリー
ドパターン６及び電極端子５が印刷され、これらにチッ
プ４がインナーリードボンディング法等により接続して
装着されている。

このようにチップ４を装着したテープキャリヤ２を検査
するプローブ装置１の構成を次に説明する。

このプローブ装置１は、まず、第２図に示すように、未
検査のテープキャリヤ２を巻装した供給リール７が供給
側の第１の回転軸８にセットされるようになっている。
この供給リール７から該テープキャリヤ２が引き出され
てテープキャリヤ送り用スプロケット９，９及びその間
の検査部１０を経由し、先端が他方の第２の回転軸１１
にセットされた収納リール１２に巻き取られるようにな
っている。

その供給リール８と収納リール１２とは、各々の回転軸
８，１１に連動するモータ（図示せず）により正逆方向
に選択的に回転可能とされている。また、上記前後のス
プロケット９，９もそれぞれ図示しない駆動装置である
モータに連動して所望の回転方向に回転可能とされてい
る。

しかも、この前後のスプロケット９，９はこの駆動モー
タごと図示しないスライド機構に搭載支持されてそれぞ
れの軸方向（テープキャリア送り方向１４と直交する左
右方向）に僅かであるがスライド可能とされている。

これら各スプロケット９には、上記テープキャリヤ２の
スプロケットホール３と対応して突起状のトラクター１
３が周配されている。このトラクター１３はスプロケッ
ト９の回転によりスプロケットホール３に噛み合うよう
に挿入してテープキャリヤ２をピッチ送りするが、その
トラクター１３の送り方向側とスプロケットホール３の
送り方向側とが、互いに接合することで該テープキャリ
ヤ２を左右幅方向に位置合わ可能となる形状とされてい
る。また、これら前後のスプロケット９，９は、テープ
キャリヤ２の左右両側縁部２ａ，２ａのスプロケットホ
ール３，３に対応するように、各々同軸的に２個１組ず
つ設けられている。

この前後のスプロケット９，９間に配する検査部１０の
手前、即ち第４図に示すように前側のスプロケット９と
検査部１０との間の位置に、テープキャリア２の被検査
部分である例えばここではチップ４を撮像してパターン
認識を行う画像認識用カメラ（ＩＴＶカメラ）１５が設
置されている。この画像認識用カメラ１５のパターン認
識情報は検査装置１全体の制御用ＣＰＵなどに組み込ん
だアライメント用の制御器（図示省略）に送られるよう
になっている。

この制御器が上記画像認識用カメラ１５のパターン認識
情報に基づき上記前後のスプロケット９，９の回転量を
設定して所要のピッチ送り（テープキャリア２の送り方
向１４のアライメント）を行わしめるようになってい
る。

また上記カメラ１５の後方に配する検査部１０には、上
側部位にプローブユニット１６が設置されている。この
プローブユニット１６は、いわゆるプリント基板と呼ば
れている基板にテープキャリヤ２の各電極端子５の配列
パターンと対応する多数本のプローブ針１７が装着され
ている構成で、この各プローブ針１７がそれぞれプリン
ト基板を介し図示しないテスタに接続されている。この
プローブユニット１６は、図示しない昇降機構に支持さ
れてテープキャリヤ２に対して上下方向に移動可能とさ
れている。

また、そのプローブユニット１６と対向するテープキャ
リヤ２の下方位置に、該テープキャイヤ２を載置固定し
て被検査部分を検査に供する装置台１８が設置されてい
る。即ち、この載置台１８は、上面に開口するバキュー
ム孔（図示せず）が設けられ、テープキャリヤ２を下側
から真空吸着して水平に固定支持する構成で、且つ図示
しない昇降機構に支持されてテープキャリヤ２に対して
上下方向に移動可能とされ、これで上昇して上面にテー
プキャリヤ２を真空吸着により載置固定すると共に、そ
のまま上記プローブユニット１６と上下方向に相対的に
接近移動して、該プローブユニット１６のプローブ針１
７にテープキャリヤ２の被検査部分であるチップ４の各
電極端子５を接触させる構成である。

しかも、この載置台１８は、図示しないスライド機構に
よりテープキャリヤ２の送り方向１４に対して直交する
方向（左右方向）に水平にスライド調整可能とされてい
る。この載置第１８のスライド機構が、上記画像認識用
カメラ１５のパターン認識情報に基いた制御器の指令に
より該載置台１８をミクロン単位であるが水平にスライ
ド調整して、テープキャリア２の送り方向１４と直交す
る方向のアライメントを行うようになっている。

また、上記検査部１０と後側のスプロケット９との間に
位置に、該検査部での検査の結果からテープキャリア２
の各被検査部分に良品と不良品との目視判別のための印
しを付すマーキング装置が設置されている。なお、この
実施例のマーキング装置１９は、検査結果から不良品と
判断された被検査部分に例えば即乾性のインクやマーキ
ングテープなどで不良印しを付する。なおその印しの代
わりにパンチングにより穴を開けても良い。

一方、上記チップ４が装着されたテープカリヤ２が、供
給リール７及び収納リール１２に巻かれる際、該チップ
４及びテープキャリヤ２の保護の目的で、テープキャリ
ヤ２の間にスペーサ２０が巻かれている。このスペーサ
２０は、上記テープキャリヤ２と同じ幅例えば３５ｍｍ
に設けられており、このスペーサ２０の両端即ち、上記
テープキャリヤ２が有するスプロケットホール３と対応
する位置に突起が表裏交互に設けられている。この突起
によりテープキャリヤ２を供給リール７及び収納リール
１２に巻く際に、上記チップ４に他の物が接触すること
を防止する構成になっている。又、スペーサ２０は、テ
ープキャリヤ７から例えば２箇所に設けられたガイドロ
ーラ２１を介して収納リール１２に再び検査済テープキ
ャリヤ２と重合して巻き取られて、該検査済テープキャ
リヤ２及びそのチップ４を保護するようになっている。

次に、上記したプローブ装置１によるテープキャリヤ２
に実装された被検査部分であるチップ４の検査方法を説
明する。

プローブ装置１は、プローブ装置１に内蔵されていＣＰ
Ｕに記憶されたプログラムに従って動作する。まず、テ
ープキャリヤ送り用スプロケット７及びスプロケット
９，９並びに収納リール１２がそれぞれモータ駆動によ
り連動回転し、供給リール７からテープキャリヤ２を引
き出しながら検査部１０に対し、その前後に配するスプ
ロケット９，９のトラクター１３が該テープキャリヤ２
のスプロケットホール３に噛合して回転によりピッチ送
りする。その際に、検査部の手前にて画像認識用カメラ
１５によりテープキャリア２の各被検査部分であるチッ
プ４の電極パット５部分を撮像し、この撮像出力と予め
記憶されている基準データを比較する。いわゆるパター
ン認識を行う。このパターン認識情報に基づき上記ＣＰ
Ｕに組み込まれた制御器が働き、これからの指令により
上記前後のスプロケット９．９の回転量が設定されて所
要のピッチ送りを行う。つまりテープキャリヤ２の被検
査部分であるチップ４が検査部１０のプローブユニット
１６の真下まで来るようにピッチ送り（送り方向のアラ
イメント）を行う。

これで検査部１０に送られたテープキャリヤ２を載置台
１８が一度上昇して真空吸着により載置固定し、その状
態で上記パターン認識情報に基いた制御器の指令により
該載置台１８がスライド機構でテープキャリア２の送り
方向と直交する方向にミクロ単位であるが水平にスライ
ド移動して位置合わせ調整（テープキャリア２の送り方
向と直交する方向のアライメト）を行う。

こうしてテープキャリア２の送り方向及びこれと直交す
る方向とのアライメントを行うことで、そのテープキャ
リア２の被検査部分であるチップ４を検査部１０に対し
正確に位置決めしたら、プローブユニット１６と載置台
１８とを昇降機構により上下方向に相対的に移動させ
る。例えばプローブユニット１６を所定量下降する。こ
れで各プローブ針１７とテープキャリヤ２のチップ４の
各電極端子５とが正確に接触して電気的に接続する状態
となる。この状態で、各プローブ針１７と導通状態のテ
スタで該チップ４の電気特性の検査を実行する。

この検査後、プローブユニット１６を所定量だけ上昇
し、各プローブ針１７と電極端子５を非接触状態とす
る。さらに、載置台１８によるテープキャリヤ２の真空
吸着固定を解除し、その載置台１８を下降させてテープ
キャリヤ２と非接触状態とする。

こうした後に、テープキャリヤ２を前回同様に所要量だ
けピッチ送りして、次の被検査部分である各チップ４の
検査を行う。つまり、テープキャリヤ２をピッチ送りし
ながら、その各被検査部分である各チップ４を次々と検
査部１０に対しアライメントして正確に位置決めし、電
気的接触不良等を招くことなく適確に電気的特性の検査
を実行する。

こうして次々と検査されて検査部１０後方に送り出され
て来るテープキャリヤ２上の各チップ４は、収納リール
１２に巻き取られる前に、先の検査結果を基にマーキン
グ装置１９でもってテープキャリア２の各被検査部分で
あるチープ４付近に良品と不良品とを判別するための印
しが付される。これで収納リール１２に巻き取られた検
査済みテープキャリヤ２を次の処理工程等で引き出す時
に、どの被検査部分が良品が不良品かの判別が目視によ
り簡単にできて便利となる。

なお、上記説明では、被検査部分としてテープキャリヤ
２に実装されたチップ４の検査を実行したが、それらチ
ップ４等の電子部品等を装着していないテープキャリヤ
については、該テープキャリヤに形成されたリードパタ
ーン５を被検査部分として、その電気的導通チェックを
実行しても良い。

なお、前述の如くチップ４を装着したテープキャリヤ２
をリール・ツゥー・リール方式で搬送し、その各チップ
４の電気的特性を検査するプローブ装置１では、供給リ
ール７単位の検査終了ごとに、空となった供給リール７
および検査済のテープキャリヤ２を巻き取った収納リー
ル１２を、次に検査すべき未検査のテープキャリヤ２を
巻装した供給リール７と空の収納用リール１２に交換す
る必要がある。

このリール交換作業を簡便にするために、次のような手
段が装備されている。

まず第１図に示す如く、未検査のテープキャリヤ２を巻
装した複数個の供給リール７をローダ側の収納容器２２
内に所定の間隔を存して複数段に収納しておく。また、
この収納容器２２内から供給リール７を１つずつ取出し
て上記第１の回転軸８の移載セットするローダ側のロボ
ットアーム２３が設けられている。

また、検査済のテープキャリヤ２を巻き取った収納リー
ル１２を、第２の回転軸１１から取外して搬出するアン
ローダ側のロボットアーム２５と、このロボットアーム
２５により搬出される収納リール１２を収納する収納容
器２４が設置されている。

更に、検査終了後に空となった供給リール７を上記ロー
ダ側にロボットアーム２３で搬出してもよいが、次の検
査済みテープキャリヤ２を巻き取る収納リール１２とし
て再利用すべく、供給リール７の設置された第１の回転
軸８の位置から、収納リール設置させるべき第２の回転
軸１１の位置まで空のリールを搬送するスライドロボッ
トアーム２６が設けられている。

これら各ロボットアーム２３，２５，２６の動作は、ま
ず検査済のテープキャリヤ２を収納した収納リール１２
を第２の回転軸１１からアンローダ側のロボットアーム
２５で取外し、収納容器２４の所定の収納位置まで搬出
する。

この動作と同時に、空となった供給リール７を第１の回
転軸８からスライドロボットアーム２６で取り外して上
記第２の回転軸１１に収納リールとしてセットする。

さらに、これらの動作と同時に、ローダ側のロボットア
ーム２３が、収納容器２２内から未検査のテープキャリ
ヤ２を巻装した供給リール７を一個選択して取出し、そ
れを上記第１の回転軸８にセットする。

こうした状態で、その供給リール７に巻装されている未
検査のテープキャリヤ２の先端を図示省略したオートセ
ットアップ機構で引き出して前後のスプロケット９，９
を介し収納リール１２に巻き付ける。これで再び上記し
た検査動作を行う。

又、他の実施例として第５図を参照して供給リール及び
収納のリールの交換について説明する。

第１のリール機構２７および第２のリール機構２８が上
記実施例と同様に設置されている。又、図示省略するが
他の部分は上記実施例と同様とし、検査部においては、
テープキャリヤ２の送り方向が正逆方向どちらにでも検
査が可能なようにプローブユニットの前後にＩＴＶカメ
ラおよびマーキング装置が夫々設置されている。ここ
で、まず第１のリール機構２７に未検査のテープキャリ
ヤ２を巻装したリールを設置し、第２のリール機構２８
の空のリールを設置する。次に、テープキャリヤ２の検
査を実行する。このことにより、第１のリール機構２７
に設置されたリールは空となり、又、第２のリール機構
２８に設置されたリールには検査済のテープキャリヤ２
が収納される。次に、ロボットアーム２９等の搬送機構
で、第２のリール機構２８から検査済のテープキャリヤ
が収納されたリールを取外し、収納容器３０の所定の位
置に搬送する。この後、この収納容器２８もしくは別系
統の収納容器から未検査のテープキャリヤ２を巻装した
リールを上記ロボットアーム２９もしくは他の搬送アー
ムで搬出し、第２のリール機構２８に設置する。ここ
で、第２のリール機構２８には未検査のテープキャリヤ
２を巻装したリールが設置されていて、第１のリール機
構２７には空のリールが設置されている。このような状
態で、上記した検査とは逆回転で各リールを回転し、テ
ープキャリヤ２を前回検査の送り方向と比較して逆送り
しながら検査を実行する。すると、第１のリール機構２
７に設置されたリールには検査済のテープキャリヤ２を
収納し、第２のリール機構２８のリールは空になる。次
に、第１のリール機構２７においてリールの交換動作を
行う。このような動作を繰り返して行っても上記実施例
と同様な効果が得られる。

さらに、他の実施例を第６図を参照して説明する。未検
査のテープリャリヤ２を巻装したリール３１を並列に複
数例えば５構成スライド棒３２に設置する。このスライ
ド棒３２は、駆動機構例えばモータ３３に係合してい
て、横方向にスライド可能とされている。又、空のリー
ル３４が並列に複数例えば５機構が他のモータ３５に係
合されたスライド棒３６に設置されていて横方向にスラ
イド可能とされている。ここで、まず各スライド棒３
２，３６をスライドして端の各リール３１，３４を検査
部１０の対応する位置に設置する。この状態で、夫々別
系統のモータにより各リール３１，３４および図示しな
いスプロケットを回転して、リール３１から未検査のテ
ープキャリヤ２を検査部１０に搬送し、検査後に、リー
ル３４に収納する。次に、このリール３１巻装されたテ
ープキャリヤ２をすべて検査後に、各モータ３３，３５
を駆動して各スライド棒３２，３６を同一方向に所定の
量だけ移動する。ここで再び検査動作を行う。このよう
にしても上記実施例と同様な効果が得られる。

さらに又、他の実施例を第７図を参照して説明する。第
１の実施例と同様に、各リール３７が夫々第１の回転軸
３８ａと第２の回転軸３８ｂに設置され、各ロボットア
ーム３９，４０およびスライドアーム４１が設けられて
いる。ここで、未検査のテープキャリヤを巻装したリー
ル３７を積載した収納容器４２が複数ベルトコンベア４
３に所定の間隔を設けて設置されている。このように構
成された状態で順次検査を実行する。次に、この検査に
おけるリールの流れにそって説明する。未検査のテープ
キャリヤ２を巻装したリール３７は収納容器４２に積載
されている。まず、ロボットアーム３９によりリール３
７を所定の第１の回転軸３８ａに設置する。ここで、テ
ープキャリヤ２の検査を実行することによりリール３７
は空となる。この空のリール２７をスライドアームで搬
送し、収納用のリール３７として所定の第２の回転軸３
８ｂに設置する。この後、次のリール３７に巻装されて
いたテープキャリヤ２を検査後に収納する。この検査済
のテープキャリヤ２を収納したリール３７をロボットア
ーム４０により空の収納容器４２ａに収納する。上記の
ような動作を繰り返していると、未検査のテープキャリ
ヤ２を巻装したリール３７を収納した収納容器４２が空
となり、又、検査済のテープキャリヤを収納したリール
３７を収納した収納容器４２ａが満杯となる。ここで、
ベルトコンベア４３を所定量だけ送り方向４４に移送す
る。このことにより、次にひかえていた未検査の収納容
器４２がロボットアーム３９の搬出位置に設置され、
又、空となった収納容器４２ａが検査済のテープキャリ
ヤ２を収納したリール３８の収納用として所定の位置に
設置される。ここで再び上記動作をくり返す。この時、
品種の異なるテープキャリヤを検査する場合でも、図示
しないプローブユニット自動交換装置によりプローブユ
ニットを自動的に交換することにより対応できる。

上記した何れの実施例も予めプログラムをメモリに記憶
し、総て自動的に行う。この際、各リールにＩＤコード
を設けることはさらに検査の自動化に好適である。ＩＤ
コードは各ＩＣチップに付してもよい。上述したように
これらの実施例によれば、装置自体の自動化に寄与し、
稼働率、歩留り及び品質並びに生産性の向上が図れる。

〔考案の効果〕

本発明のテープキャリヤの検査装置は。上述の如く構成
したので、供給リールから引き出してテープキャリヤを
検査部に送る際に、そのテープキャリヤの各被検査部分
を次々と検査部に対し正確に位置決めできて、接触不良
等を招くことなく適確な電気的検査ができると共に、そ
の検査済みテープキャリヤを収納リールに巻き取る前
に、検査結果を基にテープキャリアの各被検査部分に良
品と不良品とを判別するための印しを付すことができ、
次の処理工程で良品と不良品との判別が目視により簡単
にできて便利となる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本発明の一実施例を示すもので、第
１図は各リールの交換を行う構成説明図、第２図はプロ
ーブ装置の構成図、第３図はテープキャリヤの部分的平
面図、第４図はプローブ装置の検査部付近の拡大図、第
５図及び第６図並びに第７図は上記装置の各リールの交
換を行う構成のそれぞれ異なった実施例を示す説明図で
ある。 １……プローブ装置、２……テープキャリヤ ３……スプロケットホール、４……半導体チップ ７……供給リール、９……スプロケット １０……検査部、１２……収納リール １３……トラクター、１５……画像認識用カメラ １８……載置台、１９……マーキング装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】供給リールに巻装されている未検査のテー
   プキャリアを引き出しながら検査部に順次送って、その
   検査部で該テープキャリアの各被検査部分の電気的検査
   を次々と実行し、その検査済みテープキャリヤを収納リ
   ールに巻き取る構成のテープキャリヤの検査装置におい
   て、 上記検査部の前後位置に、それぞれテープキャリヤのス
   プロケットホールにトラクターを噛合して回転により該
   テープキャリアをピッチ送りするスプロケットを設ける
   と共に、その前側のスプロケットと検査部との間に位置
   しテープキャリアの被検査部分を想像してパターン認識
   を行う画像認識用カメラを設置し、このパターン認識情
   報に基づき上記前後のスプロケットの回転量を設定して
   所要のピッチ送りを行わしめると共に、これで検査部に
   送られたテープキャリアを載置固定し被検査部分を検査
   に供する載置台を該テープキャリアを載置固定した状態
   で送り方向と直交する方向にスライド調整してアライメ
   ントを行って走査を実行させる制御器を備え、且つその
   検査部と後側のスプロケットとの間に位置し検査部での
   検査の結果からテープキャリアの各被検査部分に良品と
   不良品との目視判別のための印しを付すマーキング装置
   を設けて構成したことを特徴とするテープキャリヤの検
   査装置。