JPH0719821B2 - 検査方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、検査方法に関する。

（従来の技術） 近年、時計・電卓・コンピュータメモリなどの小形化・
薄形化・軽量化実装として又、カメラ・OA機器など特殊
形状機器への実装の必要性から、IC実装はテープキャリ
ヤ方式が本格的実用段階に入ってきた。テープキャリヤ
は、ICチップの電極の配列に合わせたリードパターン
が、スプロケットホールとデバイスホールを持つプラス
チックフィルム上に形成されたものである。このような
テープキャリヤは、連続的にテープ状に形成されてい
て、各デバイスホール部に、ICチップを例えばバンプ方
式でボンディングする。このテープキャリヤのリードパ
ターンとICチップの各電極パッドを接続したものを、テ
ープ状のままピッチ送りして、順次各ICチップの電気特
性を検査する装置が要望されている。又、上記のよう
に、テープキャリヤにICチップを装着し、テープ状のま
まICチップの電気特性の検査をする装置は、特公昭62-5
75号公報に開示されている。又、上記のようなテープキ
ャリヤ状のままの検査を含む装置として特開昭53-27364
号公報に開示されている。

（発明が解決しようとする問題点） ここで、ICチップを装着したテープキャリヤに形成され
た電極端子は、極小例えば100μｍ角の場合もあり、こ
のためテスタに接続した接続端子であるプローブ体との
接続には高度な精度が要求される。

しかしながら、ICを装着したテープキャリヤをピッチ送
りして連続自動工程で検査を実行していると、装置自体
のメカ的な精度の誤差や、外的な要因により、テープキ
ャリヤの電極端子とプローブ体に位置ズレが生じる場合
がある。このように位置ズレが生じたまま検査を続行し
たり、さらに、装置自体に異常が起きたまま検査を続行
すると、良品のICにもかかわらず、不良品と判定されて
しまう場合が多々あり、歩留りの低下を招く恐れがあっ
た。

この発明は上記点に対処してなされたもので、装置に起
きた動作異常などにもすばやく対応可能とする効果を得
る検査方法を提供するものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） この発明は、ICを装着したテープキャリヤの電極端子に
プローブ体を接続して上記ICの電気特性を検査するに際
し、予め定められた数だけ連続して不良が起きた時その
ことを認識し、検査を停止することを特徴とする検査方
法を得るものである。

（作用効果） ICを装着したテープキャリヤの電極端子にプローブ体を
接続して上記ICの電気特性を検査するに際し、予め定め
られた数だけ連続して不良が起きた時そのことを認識
し、検査を停止するようにしたことにより、装置自体に
起きた動作異常にもすばやく対応可能とする。

特に、検査を停止した後、不良が発生した直前の良品の
ICを装着したテープキャリヤの位置から再び検査を続け
るようにすると、テープキャリヤの電極端子とプローブ
体との位置合わせミス等を自動で修正することが可能と
なり、信頼性の高い検査結果を提供できる。

（実施例） 次に、本発明方法をICを装着したテープキャリヤをプロ
ーブ装置で検査する方法に適用した一実施例を図面を参
照して説明する。

プローブ装置（１）における被検査体であるテープキャ
リヤ（２）は、第３図に示すように、プラスチックフィ
ルム例えばポリイミドフィルム例えば幅35mm厚さ125μ
ｍの長手方向の両側縁部（1a）に、所定の一定間隔を設
けて複数個同一大きさの長方形状から成る貫通孔例えば
角形スプロケットホール（３）が設けられている。さら
に、長手方向の中央帯位置即ち、ICチップ（４）の実装
位置にも、所定の一定間隔を設けて貫通孔であるデバイ
スホール（図示せず）が設けられている。このデバイス
ホールに対応して実装されるICチップ（４）の各電極端
子（５）が上記テープキャリヤ（２）上に印刷され、こ
の電極パッド（５）と上記ICチップ（４）の端子間を接
続する如く、リードパターン（６）が形成されている。
このようなテープキャリヤ（２）の上記各デバイスホー
ルには、半導体素子であるICチップ（４）がインナーリ
ードボンディング法等により、装置され、この時、ICチ
ップ（４）の各電極パッドと上記各対応するリードパタ
ーン（６）が配線されている。上記のようなICチップ
（４）を装着したテープキャリヤ（２）を検査するプロ
ーブ装置（１）の構成を次に説明する。このプローブ装
置（１）は、第２図に示すように被検査体であるICチッ
プ（４）を実装したテープキャリヤ（２）が供給リール
（７）の回転軸（８）に巻装されている。

上記供給リール（７）に巻装されたテープキャリヤ
（２）は、テープキャリヤ送り用スプロケット（９）及
び検査部（10）を介して回転軸（11）を中心に回転自在
に設けられた収納リール（12）に巻かれている。上記ス
プロケット（９）は、図示しない駆動装置であるモータ
に連設しており、このモータを正逆方向に選択的に回転
可能とすることにより、所望の回転方向にスプロケット
（９）は、回転可能とされている。又、スプロケット
（９）は、モータごと中心軸方向にスライド自在に設け
られたスライド体（図示せず）に載置されている。この
ようなスプロケット（９）には、テープキャリヤ（２）
のスプロケットホール（３）の対応した位置に突起例え
ばトラクター（13）が設けられている。このトラクター
（13）は、スプロケットホール（３）に挿入し、かみ合
う状態に設けられていて、トラクター（13）の送り方向
（14）側と上記スプロケットホール（３）の送り方向
（14）側との形状が位置合わせしながら送ることが可能
な形状である。上記スプロケット（１）は、例えば検査
部（10）の前後に２系統設けられている。この検査部
（10）には、第４図に示すように、テープキャリヤ
（２）の送り方向（14）順にまず、テープキャリヤ
（２）上方向に、ITVカメラ（15）が設置されている。
このITVカメラ（15）でパターン認識による画像処理ア
ライメントが行なわれる。次に、プローブユニット（1
6）が配設されている。このプローブユニット（16）
は、いわゆるプリント基板と呼ばれている基板にテープ
キャリヤ（２）に形成された電極端子（５）の配列パタ
ーンに対応する如く多数のプローブ体例えばプローブ針
（17）が配列装着されている。各プローブ針（17）の装
着位置からは、夫々絶縁状態で図示しないテスタに接続
する如くプリント配線されている。このようなプローブ
ユニット（16）は、図示しない昇降機構に係合されてい
て、テープキャリヤ（２）に対して上下方向に移動可能
とされている。又、プローブユニット（16）との対向位
置であり、テープキャリヤ（２）の下方向には、テープ
キャリヤ（２）を載置固定するための載置台（18）が設
置されている。載置台（18）の上面には、バキューム孔
（図示せず）が設けられていて、テープキャリヤ（２）
を真空吸着可能とされている。又、載置台（18）は、図
示しない昇降機構に係合されていて、テープキャリヤ
（２）に対して上下方向に移動可能であり、さらに、テ
ープキャリヤ（２）の送り方向（14）に対して直角に水
平方向にスライド自在とされている。ここで、プローブ
ユニット（16）で各テープキャリヤ（２）を接続検査後
には、マーキング装置（19）により不良品に印が付加さ
れる。この印は、例えば即乾性のインクやマーキングテ
ープなどを付加するか、パンチングにより穴を開けても
良い。又、上記ICチップ（４）が装着接続されたテープ
キャリヤ（２）が、供給リール（７）及び収納リール
（12）に巻かれる際、上記ICチップ（４）及びテープキ
ャリヤ（２）の保護の目的で、テープキャリヤ（２）の
間にスペーサ（20）が巻かれている。このスペーサ（2
0）は、上記テープキャリヤ（２）と同じ幅例えば35mm
に設けられており、このスペーサ（20）の両端即ち、上
記テープキャリヤ（２）が有するスプロケットホール
（３）と対応する位置に突起が表裏交互に設けられてい
る。この突起によりテープキャリヤ（２）を供給リール
（７）及び収納リール（12）に巻く際に、上記ICチップ
（４）に他の物が接触することを防止する構成になって
いる。又、スペーサ（20）は、テープキャリヤ（２）の
移動に従って、テープキャリヤ（２）を離れて供給リー
ル（７）から例えば２箇所に設けられたガイドローラー
（21）を介して収納リール（12）に巻き取られる。この
巻き取られた時点でスペーサ（20）は、再び検査済テー
プキャリヤ（２）と接続し保護をする構成になってい
る。又、上記のようなプローブ装置（１）の動作状態を
認識可能なようにアラームモニタ（22）が設置されてい
る。このアラームモニタ（22）は、プローブ装置（１）
筐体から垂直に立設されたポールの先端に、例えば青色
と赤色に区分されたライトが取付けられている。このラ
イトで青色が点燈中は、プローブ装置（１）の稼働を示
し、赤色が点燈中は、プローブ装置（１）の停止を示し
ている。さらに、このプローブ装置（１）の停止を示す
認識音発生機構例えばブザー（図示せず）等が設置され
ている。このブザーは、プローブ装置（１）に内蔵され
ているCPUに接続されていて、プローブ装置（１）の稼
働の停止した時に音声を発生するようにセットされてい
る。プローブ装置（１）の稼働の停止とは、ICチップ
（４）を装着したすべてもしくは所定量のテープキャリ
ヤ（２）の検査が終了した時や、プローブ装置（１）自
体に故障が起きた時や、予め定められた数量だけ連続し
て不良が発生した時など様々である。このような理由に
より、プローブ装置（１）の稼働が停止した時、停止原
因別に発生する認識音も種類別に定められている。又、
プローブ装置（１）の動作設定をする場合は、図示しな
い操作パネルにキー入力することが可能とされている。
例えばテープキャリヤ（２）を検査中、連続して不良が
発生したプローブ装置（１）の駆働を停止させる場合、
停止信号を発生させる連続不良数を予め設定することが
可能とされている。

上述したように、ICチップ（４）を装着したテープキャ
リヤ（２）をリール・ツゥー・リール方式で搬送し、IC
チップ（４）の電気特性を検査する装置が構成されてい
る。

次に、上述したプローブ装置（１）によるテープキャリ
ヤ（２）に実装されたICチップ（４）の検査方法を説明
する。

プローブ装置（１）は、プローブ装置（１）に内蔵され
ているCPUに記憶されたプログラムに従って動作する。
まず、テープキャリヤ送り用スプロケット（９）及び収
納リール（12）が連動回転する。このことにより、同速
度で検査部（10）にテープキャリヤ（２）を移送する。
この検査部（10）に移送されたテープキャリヤ（２）
を、まずITVカメラ（15）によりアライメントする。こ
のアライメントは、ITVカメラ（15）の撮像位置に設置
されたテープキャリヤ（２）を撮像する。この撮像出力
と予め記憶されている基準データとを比較する。この場
合の基準データとは、プローブユニット（16）に装着さ
れたプローブ針（17）配列とテープキャリヤ（２）の電
極端子（５）配列とが、正確に位置合わせされている位
置においてのテープキャリヤ（２）を記憶したものであ
る。このような基準データと上記撮像出力との比較は、
例えば特徴抽出によるパターン認識である。このパター
ン認識により、基準データパターンと撮像出力パターン
が一致しているが、一致してないか認識する。ここで、
一致していると認識した場合、テープキャリヤ（２）が
正確にアライメントされていると判断し、不一致の場合
は、テープキャリヤ（２）の設置位置を補正し修正す
る。この補正は、テープキャリヤ（２）の送り方向（1
4）の場合、スプロケット（９）を正逆方向に選択的に
回転して行なう。この時、テープキャリヤ（２）は、載
置台（18）と非接触とする。又、送り方向（14）に対し
て横方向の補正は、２系統あるスプロケット（９）を同
期して同一方向にスライドさせる。この時、テープキャ
リヤ（２）は、載置台（18）と非接触状態とするか、又
は、載置台（18）で真空吸着して載置しても良い。この
テープキャリヤ（２）を載置台（18）に真空吸着してい
る場合、上記スプロケット（９）と同期して載置台（1
8）を同一方向にスライドさせる。上記したようにアラ
イメントした後、テープキャリヤ（２）を所定量だけ送
り方向（14）に移送し、テープキャリヤ（２）に実装さ
れたICチップ（４）の検査を実行する。この検査は、送
られてきたテープキャリヤ（２）の裏面を載置台（18）
の上面において真空吸着し固定する。この固定状態で、
プローブユニット（16）の各プローブ体例えばプローブ
針（17）配列と、検査対象ICチップ（４）を実装したテ
ープキャリヤ（２）の電極端子（５）は、上記アライメ
ントにより位置合わせされている。次に、プローブユニ
ット（16）と載置台（18）を上下方向に相対的に移動す
る。例えばプローブユニット（16）を所定量下降する。
このことにより、各プローブ針（17）とテープキャリヤ
（２）の各電極端子（５）は、接続状態となる。この接
続状態で、テスタ（図示せず）とプローブ針（17）は、
導通状態のため、テスタで電気特性検査例えばオープン
・ショート・チェックを実行する。この検査後、プロー
ブユニット（16）を所定量だけ上昇し、各プローブ針
（17）と電極端子（５）を非接続状態とする。さらに、
載置台（18）によるテープキャリヤ（２）の真空吸着固
定を解除する。この時、塵等の発生を防止するために、
載置台（18）を下降させて、載置台（18）とテープキャ
リヤ（２）を確実に非接触状態とするのが望ましい。こ
のような状態で、テープキャリヤ（２）を所定量だけ送
り方向（14）にピッチ送りする。上記のような検査にお
いて、プローブ装置（１）が正常に作動している場合、
アラームモニタ（22）は青色に点燈している。又、上記
のような検査を繰返していると、アライメントミス等に
より、連続して不良が発生する場合がある。このような
連続不良に対応した処置がなされる。即ち、プローブ装
置（１）に記憶された予め設置された所定数だけ連続し
て、テープキャリヤ（２）に装着されたICチップ（４）
に不良が発生すると、プローブ装置（１）の検査動作が
停止するようになっている。例えば第１図に示すよう
に、ICチップ（４）を装着したテープキャリヤ（２）を
検査（Ａ）する。検査の結果が不良の場合、カウント
（Ｂ）する。ここで、このカウント（Ｂ）数と予め記憶
してある所定数（Ｃ）とを比較（Ｄ）する。ここで不一
致の場合、再び検査（Ａ）を実行する。又、検査（Ａ）
の結果が、良と判断された場合、上記カウント（Ｃ）さ
れている数をクリア（Ｅ）する。即ち、検査（Ａ）の結
果、不良が続くとカウント（Ｃ）が加算され、良品のた
びに、不良品のカウント（Ｃ）を０にカウントクリア
（Ｅ）する。ここで検査（Ａ）の結果、不良が続き、カ
ウント（Ｂ）数と所定数（Ｃ）を比較（Ｄ）して一致し
た場合、検査動作を停止（Ｆ）する。又、この動作停止
とともにアラームモニタ（22）が赤色に点燈し、連続不
良を知らせるための認識音が発する。上記のような停止
状態で、オペレータ等が連続不良の解析を行なう。

上述したように、予め定められた数だけ連続して不良が
起きた時、そのことを認識し、検査を停止することによ
り、装置自体に起きた動作異常にもすばやく対応可能と
し、信頼性の高い検査結果を得ることができる。

この発明は上記実施例に限定するものではない。例えば
ICチップ（４）を実装したテープキャリヤ（２）をピッ
チ送りして、順次ICチップ（４）の電気特性を検査す
る。この検査中、予め定められた数だけ不良が発生した
際、上記実施例と同様に検査動作を停止する。次に、こ
の停止と同時に、スプロケット（９）等を逆回転させ
て、テープキャリヤ（２）を逆方向送りする。ここで、
連続不良の発生した直前のICチップ（４）を装着したテ
ープキャリヤ（２）の位置をアライメント位置に設置す
る。即ち、ITVカメラ（15）の設置対向位置に設置す
る。この位置でアライメント後、再びテープキャリヤ
（２）を通常の送り方向（14）に移送して、再検査を実
行する。このような検査方法を用いると、テープキャリ
ヤ（２）の電極端子（５）とプローブ針との位置合わせ
ミス等を自動で修正することが可能となり、信頼性の高
い検査結果を得ることが可能となる。

さらに、プローブ装置において、プローブユニットに装
着されたプローブ体は、プローブ針でなくとも、内部に
スプリング等を設け、接触圧力によって縮小するピン形
式のものでも何れでも良い。

さらに、アラームモニタは、プローブ装置の稼働状況を
目視で確認できるものなら何れのものでも良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の一実施例を説明するためのフロー
図、第２図は第１図の検査方法に用いるプローブ装置の
図、第３図は第１図の被検査体であるテープキャリヤの
説明図、第４図は第２図の検査部の構成を示す図であ
る。 １……プローブ装置、２……テープキャリヤ ４……ICチップ、10……検査部 15……ITVカメラ、16……プローブユニット 17……プローブ針、22……アラームモニタ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ICを装着しテープキャリヤの電極端子にプ
   ローブ体を接続して上記ICの電気特性を検査するに際
   し、予め定められた数だけ連続して不良が起きた時その
   ことを認識し、検査を停止することを特徴とする検査方
   法。
2. 【請求項２】検査を停止した後、不良が発生した直前の
   良品のICを装着したテープキャリヤの位置から再び検査
   を続けることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   検査方法。