KR100973164B1 - Ｔｃｐ 시험장치 및 ｔｃｐ 시험장치의 준비방법 - Google Patents

Ｔｃｐ 시험장치 및 ｔｃｐ 시험장치의 준비방법 Download PDF

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Abstract

준비시간의 단축화와 불량 TCP의 유출을 방지하는 것이 가능한 TCP 시험장치를 제공한다.
TCP 시험장치는 캐리어 테이프(30)에서의 로트 개시위치를 검출하는 제 1카메라(27a) 및 화상 처리장치(29a)와, 캐리어 테이프(30)의 선단부에 연결된 리더 테이프(40) 및 캐리어 테이프(30)를 반송하는 스프로켓(264),(265) 및 서보 모터(266),(267)와, 서보 모터(266),(267)를 구동 제어하는 제어장치(29b)를 구비하고 있고, 제어장치(29b)는 화상 처리장치(29a)의 검출 결과에 기초하여 스프로켓(264),(265)이 리더 테이프(40) 및 캐리어 테이프(30)를 소정의 반송 방향 또는 이것과는 반대의 방향으로 반송하도록 서보 모터(266),(267)를 제어한다.
Figure R1020070134052
TCP 시험장치

Description

ＴＣＰ 시험장치 및 ＴＣＰ 시험장치의 준비방법{TCP TESTING APPARATUS AND METHOD FOR PREPARING TCP TESTING APPARATUS}
본 발명은 IC 디바이스의 일종인 TCP(Tape Carrier Package)나 COF(Chip On Film)(이하, TCP, COF 및 TAB(Tape Automated Bonding) 실장 기술에 의해 실장된 디바이스를 종합하여「TCP」라 칭한다.)를 시험하기 위하여 사용되는 TCP 시험장치 및 캐리어 테이프를 교환한 때의 TCP 시험장치의 준비방법에 관한 것이다.
IC 디바이스 등의 전자부품의 제조과정에 있어서는, 최종적으로 제조된 IC 디바이스나 그 중간단계에 있는 디바이스 등의 성능이나 기능을 시험하는 전자부품 시험장치가 사용되고 있고, TCP의 성능이나 기능을 시험하는 경우에는 TCP 시험 장치가 사용된다.
TCP 시험장치는 일반적으로 테스터 본체와, 테스트 헤드와, TCP 핸들링 장치(이하, 단독으로 TCP 핸들러라고도 칭한다.)로 구성되어 있다. 상기 TCP 핸들러는 테이프(필름의 개념도 포함하는 것으로 한다. 이하 동일.) 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 프로브 카드의 프로브침으로 캐리어 테이프를 눌러, TCP의 입출력 단자를 프로브침에 전기 적으로 접속시킴으로써 복수의 TCP를 순차 시험을 수행하는 것이 가능하게 되어 있다.
이러한 TCP 시험장치에서는 하나의 로트가 종료될 때마다 시험이 종료된 캐리어 테이프를 TCP 핸들러의 공급 릴로부터 분리하고 신규의 캐리어 테이프를 상기 공급 릴에 거는 작업이 수행되고 있다. 이들 작업을 수행한 후에 다음의 로트가 개시되지만, 이때에 콘택트부에 대하여 하류측에 설치된 제 3카메라를 사용하여 캐리어 테이프에서 선두의 IC칩을 자동적으로 검출하는 방법이 종래부터 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).
도 4 및 도 5는 TCP 시험장치에 사용되는 리더 테이프 및 캐리어 테이프를 도시한 평면도 및 확대 평면도이다.
일반적으로, TCP 핸들러에서 2개의 릴의 사이에서 캐리어 테이프를 건네주기 위하여, 도 4에 도시한 바와 같이 캐리어 테이프(30)의 선단부에 리더 테이프(40)가 연결되어 있다. 상기 리더 테이프(40)는 캐리어 테이프(30)와 다르고 TCP 등이 일절 형성되어 있지 않으며, 예컨대 투명 또는 흑색의 테이프로만 구성되어 있다. 그리고, 상기 연결부분(45) 근방의 소정 갯수(도 4에서 도시한 예에서는 3개. 일반적으로 1~5개 정도)의 TCP(31)(도 4의 프레임(F1~F3에서의 TCP(31))는 리더 테이프(40)와 캐리어 테이프(30)의 연결시나, 릴 사이로 캐리어 테이프(30)를 건네주는 때 등에 부하가 가해져 있을 우려가 있기 때문에, 불량품으로 간주하여 전(前) 공정에서 IC칩(33)에 리젝트공(35)이 형성되어 있는 경우가 있다. 절단 공정 등의 후(後) 공정을 위하여 상기 리젝트공(35)이 형성되어 있는 IC칩(33)을 갖는 TCP(31)를 콘택트부의 하류측에 위치하는 리젝트 펀치로 펀칭해야만 한다.
상술한 선두 IC칩을 자동적으로 검출하는 방법에서는 연결부분(45) 근방의 불량 TCP(31)를 검출할 수 없어, 캐리어 테이프(30) 상에서 리젝트공(35)이 형성되어 있지 않은 IC칩(33)(도 4의 프레임(F4)에서의 IC칩(33))을 선두로서 검출한다. 이 때문에 캐리어 테이프(30)의 선두부분의 불량 TCP(31)(도 4의 프레임(F1~F3)에서의 TCP(31))를 수동으로 펀칭하지 않는다면 결과적으로 준비작업을 자동적으로 수행할 수가 없어 준비시간이 길어지는 경우가 있다.
또한, 일반적으로 TCP 시험장치에서는 콘택트부의 상류측에 위치하는 제 1카메라에 의해 TCP의 유무 및 리젝트공의 유무를 체크한 후에 콘택트부에서의 테스트나 리젝트 펀치에 의한 펀칭을 실행한다. 이에 대하여, 상술한 선두 IC칩을 자동적으로 검출하는 방법에서는 콘택트부의 하류측에 위치하는 제 3카메라에 의해 선두 TCP를 검출하기 때문에 로트를 스타트하기 전에 제 1카메라까지 캐리어 테이프를 되돌릴 필요가 있어 준비작업의 효율화를 충분히 도모할 수 없다.
오퍼레이터가 육안으로 캐리어 테이프 상의 로트 개시위치를 검출하는 방법도 있지만, 오조작이나 로트 개시위치의 오인식에 의해 불량 TCP가 펀칭되지 않고 캐리어 테이프 상에 남아버려서 후 공정에 불량 TCP가 유출될 우려가 있다. 최근, 디바이스가 소형화하는 경향이 있지만 이에 따라 오조작·오인식의 가능성도 높아진다.
[특허문헌 1] 특개 2003-98219호 공보
본 발명은 준비시간의 단축화와 불량 TCP의 유출을 방지하는 것이 가능한 TCP 시험장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(1) 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면, TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 상기 캐리어 테이프를 눌러 상기 TCP의 입출력 단자를 상기 콘택트부의 접촉단자에 접촉시킴으로써 복수의 TCP를 순차 시험하기 위한 TCP 시험장치로서, 상기 캐리어 테이프에서의 로트 개시위치를 검출하는 제 1검출수단과, 상기 캐리어 테이프의 선단부에 연결된 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 반송하는 반송수단과, 상기 반송수단의 동작을 제어하는 제어수단을 구비하고, 상기 제어수단은 상기 제 1검출수단의 검출결과에 기초하여 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를, 소정의 반송방향 또는 상기 소정 반송방향과는 반대방향으로 반송하도록 상기 반송수단을 제어하는 TCP 시험장치가 제공된다(청구항 1 참조).
본 발명에서는 TCP 시험장치에 캐리어 테이프에서의 로트 개시위치를 검출하는 제 1검출수단을 설치하고, 상기 제 1검출수단의 검출결과에 기초하여 반송수단의 동작제어를 수행한다. 이에 따라, 캐리어 테이프의 선단부분에 위치하는 몇개의 IC칩에 리젝트공이 형성되어 있더라도 수동으로 불량 TCP를 펀칭하는 것을 필요로 하지 않고, 로트 개시위치를 검출하여 자동적으로 로트를 스타트시키는 것이 가능 하기 때문에 준비시간의 단축을 도모하는 동시에 불량 TCP의 유출을 방지하는 것이 가능하다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출수단은 상기 리더 테이프와 상기 캐리어 테이프의 차이에 기초하여 상기 로트 개시위치를 검출하는 것이 바람직하다(청구항 2 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출수단은 상기 소정 반송방향에서 상기 콘택트부보다도 상류측에 설치되어 있는 것이 바람직하다(청구항 3 참조). 제 1검출수단을 콘택트부보다도 상류측에 설치함으로써 준비작업의 효율화를 도모할 수 있다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 캐리어 테이프는 적어도 하나의 상기 TCP를 각각 할당하여 된 복수의 프레임을 구비하고 있고, 상기 캐리어 테이프에서의 상기 로트 개시위치는 상기 캐리어 테이프에서의 상기 소정 반송방향의 최초의 상기 프레임인 것이 바람직하다(청구항 4 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출수단은 상기 리더 테이프에는 존재하지 않지만 상기 최초의 프레임에 존재하는 소정의 패턴 형상에 기초하여 상기 로트 개시위치를 검출하는 것이 바람직하다(청구항 5 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 패턴 형상은 상기 캐리어 테이프 상에 형성된 TCP 위치 결정용 마크, 배선 또는 테스트 패턴 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것이 바람직하다(청구항 6 참조).
TCP 위치 결정용의 마크나 배선, 테스트 패드 등의, TCP에서 IC칩 이외의 형 상에 기초하여 캐리어 테이프에서의 로트 개시위치를 검출함으로써, 캐리어 테이프의 선단부분에 위치하는 몇개의 IC칩에 리젝트공이 형성되어 있더라도 로트 개시위치를 검출하여 자동적으로 로트를 스타트시킬 수 있다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출수단은 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 촬상 가능한 촬상수단과, 상기 촬상수단에 의해 촬상된 화상정보에 대하여 소정의 화상처리를 수행함으로써 상기 패턴 형상을 검출하는 화상 처리수단을 갖는 것이 바람직하다(청구항 7 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제어수단은 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하지 않은 경우, 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하기까지 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 소정 반송방향을 따라 반송하도록 상기 반송수단을 제어하는 것이 바람직하다(청구항 8 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 캐리어 테이프 상의 상기 IC칩을 검출하는 제 2검출수단과, 상기 캐리어 테이프에 형성된 관통공을 검출하는 제 3검출수단과, 상기 캐리어 테이프 상의 TCP를 상기 콘택트부로 누르는 누름수단과, 상기 캐리어 테이프 상에서 소정의 TCP를 펀칭하는 펀칭수단을 더 구비하고 있고, 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 소정 반송방향을 따라 반송하고 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출한 후에, 또는 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되어 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프의 상기 소정 반송방향으로의 반송을 개시 한 후에, 상기 제 2검출수단이 상기 IC칩을 검출한 경우에 상기 누름수단이 상기 TCP를 누르고, 상기 제 3검출수단이 상기 관통공을 검출한 경우 또는 TCP가 불량인 경우에 상기 펀칭수단이 상기 TCP를 펀칭하는 것이 바람직하다(청구항 9 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출한 경우에, 상기 제어수단은, 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되기까지, 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 반대방향으로 반송하도록 상기 반송수단을 제어하는 것이 바람직하다(청구항 10 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 캐리어 테이프 상의 상기 IC칩을 검출하는 제 2검출수단을 더 구비하고, 상기 제 2검출수단이 상기 IC칩을 검출한 경우에 상기 제어수단은 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되기까지 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 반대방향으로 반송하도록 상기 반송수단을 제어하는 것이 바람직하다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 캐리어 테이프에 형성된 관통공을 검출하는 제 3검출수단을 더 구비하고, 상기 제 3검출수단이 상기 관통공을 검출한 경우에 상기 제어수단은 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되기까지 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 반대방향으로 반송하도록 상기 반송수단을 제어하는 것이 바람직하다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되면 상기 제어수단은, 상기 반송수단이 상기 리더 테이 프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 소정 반송방향으로 반송하도록 상기 반송수단을 제어하는 것이 바람직하다(청구항 11 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 캐리어 테이프 상의 상기 IC칩을 검출하는 제 2검출수단과, 상기 캐리어 테이프에 형성된 관통공을 검출하는 제 3검출수단과, 상기 캐리어 테이프 상의 TCP를 상기 콘택트부로 누르는 누름수단과, 상기 캐리어 테이프 상에서 소정의 TCP를 펀칭하는 펀칭수단을 더 구비하고 있고, 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 소정 반송방향을 따라 반송하고, 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출한 후에, 또는, 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되어 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프의 상기 소정 반송방향으로의 반송을 개시한 후에, 상기 제 2검출수단이 상기 IC칩을 검출한 경우에 상기 누름수단이 상기 TCP를 누르고, 상기 제 3검출수단이 상기 관통공을 검출한 경우 또는 TCP가 불량인 경우에 상기 펀칭수단이 상기 TCP를 펀칭하는 것이 바람직하다(청구항 12 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 캐리어 테이프에서 불량으로 간주하는 TCP의 상기 로트 개시위치로부터의 소정 갯수를 상기 제어수단에 설정 가능하게 되어 있고, 상기 펀칭수단은 상기 제 3검출수단의 검출결과에 관계없이 상기 소정 갯수의 TCP를 펀칭하는 것이 바람직하다.
(2) 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면, TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테이프 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 상 기 캐리어 테이프를 눌러 상기 TCP의 입출력 단자를 상기 콘택트부의 접촉단자에 접촉시킴으로써 복수의 TCP를 순차 시험하는 TCP 시험장치에서, 상기 캐리어 테이프를 교환한 때의 상기 TCP 시험장치를 준비방법으로서, 상기 캐리어 테이프에서의 로트 개시위치를 검출하는 제 1검출스텝과, 상기 제 1검출스텝에서의 검출결과에 기초하여, 상기 캐리어 테이프의 선단에 연결된 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를, 소정의 반송방향 또는 상기 소정 반송방향과는 반대방향으로 반송하는 반송스텝을 구비한 TCP 시험장치의 준비방법이 제공된다(청구항 13 참조).
본 발명에서는 제 1검출스텝에서 캐리어 테이프에서의 로트 개시위치를 검출하고, 그 검출결과에 기초하여 반송스텝에서 캐리어 테이프를 소정의 반송방향 또는 그것과는 반대방향으로 반송한다. 이에 따라 캐리어 테이프의 선단부분에 위치하는 몇개의 IC칩에 리젝트공이 형성되어 있더라도 수동으로 불량 TCP를 펀칭하는 것을 필요로 하지 않고, 로트 개시위치를 검출하여 자동적으로 로트를 스타트시킬 수 있기 때문에 준비시간의 단축을 도모하는 동시에 불량 TCP의 유출을 방지하는 것이 가능하다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출스텝에서 상기 리더 테이프와 상기 캐리어 테이프의 차이에 기초하여 상기 로트 개시위치를 검출하는 것이 바람직하다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출스텝은 상기 TCP 시험장치에서 상기 콘택트부보다도 상기 소정 반송방향 상류측의 위치에서 실행되는 것이 바람직하다. 콘택트부보다도 상류측의 위치에서 제 1검출스텝을 실행함으로써 준비작업의 효율화를 도모할 수 있다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 캐리어 테이프는 적어도 하나의 상기 TCP를 각각 할당하여 된 복수의 프레임을 구비하고 있고, 상기 캐리어 테이프에서의 상기 로트 개시위치는 상기 캐리어 테이프에서의 상기 소정 반송방향의 최초의 상기 프레임인 것이 바람직하다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출스텝에서 상기 리더 테이프에는 존재하지 않지만 상기 최초의 프레임에 존재하는 소정의 패턴 형상에 기초하여 상기 로트 개시위치를 검출하는 것이 바람직하다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 패턴 형상은 상기 캐리어 테이프 상에 형성된 TCP 위치 결정용 마크, 배선, 또는 테스트 패드 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
TCP 위치 결정용 마크나 배선, 테스트 패드 등의 TCP에서 IC칩 이외의 형상에 기초하여 캐리어 테이프에서의 로트 개시위치를 검출함으로써 캐리어 테이프의 선단부분에 위치하는 몇개의 IC칩에 리젝트공이 형성되어 있더라도 로트 개시위치를 검출하여 자동적으로 로트를 스타트시킬 수 있다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출스텝은 상기 캐리어 테이프를 촬상하는 촬상스텝과, 상기 촬상스텝에서 촬상된 화상정보에 대하여 소정의 화상처리를 수행함으로써 패턴 형상을 검출하는 화상 처리스텝을 갖는 것이 바람직하다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치가 검출되기까지, 상기 반송스텝에서 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 소정 반송방향을 따라 반송하는 것이 바람직하다(청구항 14 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치가 검출된 경우에, 상기 반송스텝에서, 상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치가 검출되지 않게 되기까지, 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 반대방향으로 반송하는 것이 바람직하다(청구항 15 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 캐리어 테이프 상의 IC칩을검출하는 제 2검출스텝을 더 구비하고, 상기 제 2검출스텝에서 상기 IC칩이 검출된 경우에 상기 반송스텝에서, 상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치가 검출되지 않게 되기까지 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 반대방향으로 반송하는 것이 바람직하다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 캐리어 테이프에 형성된 관통공을 검출하는 제 3검출스텝을 더 구비하고, 상기 제 3검출스텝에서 상기 관통공이 검출된 경우에 상기 반송스텝에서, 상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치가 검출되지 않게 되기까지 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 반대방향으로 반송하는 것이 바람직하다.
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치가 검출되지 않게 되면 상기 반송스텝에서 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 소정 반송방향으로 반송하는 것이 바람직하다(청구항 16 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 반송스텝에서 상기 리더 테 이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 소정 반송방향을 따라 반송하여, 상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치를 검출한 후에, 또는 상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되어, 상기 반송스텝에서 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프의 상기 소정 반송방향으로의 반송을 개시한 후에, 상기 캐리어 테이프 상에 상기 IC칩을 검출한 경우에 상기 캐리어 테이프 상의 TCP를 상기 콘택트부로 누르는 누름스텝과, 상기 반송스텝에서 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 소정 반송방향을 따라 반송하여, 상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치를 검출한 후에, 또는 상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되어, 상기 반송스텝에서 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프의 상기 소정 반송방향으로의 반송을 개시한 후에, 상기 캐리어 테이프 상에 상기 관통공을 검출하거나 TCP가 불량인 경우에 상기 TCP를 펀칭하는 펀칭스텝을 더 구비하고 있는 것이 바람직하다(청구항 17 참조).
상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 관통공의 유무에 관계없이 상기 캐리어 테이프 상의 상기 로트 개시위치로부터 소정 갯수의 TCP를 펀칭하는 초기 펀칭스텝을 더 구비하고 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면 캐리어 테이프의 선단부분에 위치하는 몇개의 IC칩에 리젝트공이 형성되어 있더라도 수동으로 불량 TCP를 펀칭하는 것을 필요로 하지 않고, 로트 개시위치를 검출하여 자동적으로 로트를 스타트시키는 것이 가능하기 때문에 준비시간의 단축을 도모하는 동시에 불량 TCP의 유출을 방지하는 것이 가능하다.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.
우선, 본 실시 형태에 따른 TCP 시험장치에서 반송대상이 되는 캐리어 테이프(30)에 대하여 도 4 및 도 5를 참조하면서 설명한다.
캐리어 테이프(30)는 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 캐리어 테이프(30)의 길이 방향을 따라 소정의 길이로 각각 구분된 프레임(Fn)(단 n은 자연수)이 복수 연속해서 구성되어 있다. 각 프레임(Fn)은 퍼포레이션(PF)(도 5 참조)의 수로 관리되어 있고, 도 5에 도시한 예에서는 퍼포레이션(PF)을 5개 나아가서 다음의 프레임(Fn +1)으로 이동하도록 되어 있다. 본 실시 형태에서는 각각의 프레임(Fn)에 TCP(31)가 한개씩 할당되어 있다. 각 TCP(31)는 도 5에 도시한 바와 같이 캐리어 테이프(30)의 일부와, 상기 캐리어 테이프(30) 상에 형성된 배선(32)과, 배선(32)의 일단에 뱀프(vamp)가 접속되어 있는 IC칩(33)과, 각 배선(32)의 타단에 설치된 테스트 패드(34)와, 배선(32)이나 IC칩(33)을 봉하여 막고 있는 몰드재(미도시)로 각각 구성되어 있다. 한편, 캐리어 테이프의 프레임에는 캐리어 테이프의 길이 방향(도 4의 횡방향)을 따라 복수개의 TCP(31)가 형성되어 있어도 좋고, 캐리어 테이프의 폭방향(도 4의 종방향)을 따라 복수개의 TCP(31)가 형성되어 있어도 좋다.
캐리어 테이프(30)의 선단부에는 TCP 핸들러(2)의 릴(21),(22)(후술) 사이에 캐리어 테이프(30)를 건네주기 위하여 예컨대 접속 등에 의해 리더 테이프(40)가 연결되어 있다. 상기 리더 테이프(40)는 캐리어 테이프(30)와 다르고, TCP(31) 등 이 일절 형성되어 있지 않으며, 예컨대 투명 또는 흑색의 테이프로만 구성되어 있다. 그리고, 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 연결 부분(45)의 근방의 프레임(Fn~Fn)에서의 3개의 TCP(31)는 리더 테이프(40)와 캐리어 테이프(30)의 연결시나, 릴(21),(22) 사이로 캐리어 테이프(30)를 건네줄 때 등에 부하가 걸려 있을 우려가 있기 때문에, IC칩(33)을 관통하는 리젝트공(35)이 전 공정에서 형성되어 불량 TCP 로 간주되어 있다. 이에 대하여, 도 4에 도시한 바와 같이, 연결 부분(45)부터 4번째의 프레임(F4) 이하의 프레임(F5~Fm)(단 m은 5보다 큰 자연수)에서의 IC칩(33)에는 리젝트공(35)은 형성되어 있지 않다.
도 5에 도시한 바와 같이, 캐리어 테이프(30)에서의 각 프레임(Fn)에는 TCP(31)의 주위에 4개의 얼라인먼트용 마크(36)가 설치되어 있다. TCP 핸들러(2)는 이들 얼라인먼트용 마크(36)를 기준으로 하여 TCP(31)를 프로브 카드(12)에 대하여 위치 결정하는 것이 가능하게 되어 있다.
다음에, 본 발명의 실시 형태에 따른 TCP 시험장치의 구성에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 TCP 시험장치의 전체를 도시한 정면도, 도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 TCP 시험장치의 제어계를 도시한 플로우 차트도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 TCP 시험장치(1)는 특별히 도시하지 않은 테스터 본체와, 테스터 본체에 전기적으로 접속된 테스트 헤드(10)와, 테스트 헤드(10)의 상측에 설치된 TCP 핸들러(2)로 구성되어 있다.
TCP 핸들러(2)는 캐리어 테이프(30)를 반송함으로써 캐리어 테이프(30) 상에 그 길이 방향을 따라 일렬로 늘어서 형성되어 있는 각 TCP(31)를 순차 시험하는 것이 가능하게 되어 있다.
TCP 핸들러(2)는 공급 릴(21) 및 권취 릴(22)을 구비하고 있다. 공급 릴(21)에는 시험 전의 TCP(31)를 갖는 캐리어 테이프(30)가 감겨져 있다. 상기 캐리어 테이프(30)는 공급 릴(21)로부터 풀려지고, 테스트 헤드(10)에 의해 TCP(31)의 시험을 수행한 후에 권취 릴(22)에 감겨지도록 반송된다.
공급 릴(21)과 권취 릴(22)의 사이에는 캐리어 테이프(30)로부터 박리된 보호 테이프(50)를 공급 릴(21)로부터 권취 릴(22)로 건네주기 위한 3개의 스페이서 롤(23a~23c)이 설치되어 있다. 각 스페이서 롤(23a~23c)은 보호 테이프(50)의 장력을 조정 가능하도록 각각 상하 이동 가능하게 되어 있다.
공급 릴(21)의 하측에는 공급측 테이프 가이드(24a), 공급측 리미트 롤러(25a), 공급측 서브 스프로켓(25c) 및 공급측 가이드 롤러(25e)가 설치되어 있다. 공급 릴(21)로부터 풀려진 캐리어 테이프(30)는 공급측 테이프 가이드(24a)로 안내되면서 공급측 리미트 롤러(25a), 공급측 서브 스프로켓(25c) 및 공급측 가이드 롤러(25e)를 통과하여 푸셔 유니트(26)로 반송된다.
권취 릴(22)의 하측에도 권취측 테이프 가이드(24b), 권취측 리미트 롤러(25b), 권취측 서브 스프로켓(25d) 및 권취측 가이드 롤러(25f)가 설치되어 있다. 푸셔 유니트(26)를 통과한 후의 캐리어 테이프(30)는 권취측 가이드 롤러(25f), 권취측 서브 스프로켓(25d) 및 권취측 리미트 롤러(25b)를 통과하여 권취 측 테이프 가이드(24b)에 의해 안내되면서 권취 릴(21)에 감겨진다.
공급측 가이드 롤러(25c)와 권취측 가이드 롤러(25d)의 사이에는 푸셔 유니트(26)가 설치되어 있다. 푸셔 유니트(26)는 캐리어 테이프(30)를 흡착 홀드 가능한 푸셔 본체(261)와, 상기 푸셔 본체(261)를 Z축 방향을 따라 상하 이동시키는 서보 모터(262)와, 볼 나사 기구 등을 사용하여 푸셔 본체(261)를 XY 평면 방향을 따라 미소 이동시키는 동시에 Z축을 중심으로 하여 회전시키는 것이 가능한 푸셔 스테이지(263)(도 2 참조)와, 푸셔 본체(261)의 상류측(도 1에서 좌측)에 설치된 텐션 스프로켓(264)과, 푸셔 본체(261)의 하류측(도 1에서 우측)에 설치된 메인 스프로켓(265)을 구비하고 있다.
스프로켓(264),(265)은 도 2에 도시한 서보 모터(266),(267)의 구동축에 연결되어 있고 회전 가능하게 되어 있다. 서보 모터(266),(267)는 TCP 핸들러(2)의 제어장치(29b)에 제어 가능하게 접속되어 있다. 공급 릴(21)로부터 권취 릴(22)로 캐리어 테이프(30)를 반송하는 경우에는 제어장치(29b)가 서보 모터(266),(267)를 소정의 방향으로 회전 구동시킨다. 권취 릴(22)로부터 공급 릴(21)측으로 캐리어 테이프(30)를 되돌린 경우에는 제어장치(29b)가 서보 모터(266),(267)를 반대 방향으로 회전 구동시킨다. 덧붙여서 설명하자면, 후술하는 푸셔 유닛(26)에 의해 TCP(31)를 프로브 카드(12)로 밀착시킬 때에는 텐션 스프로켓(264)을 반대 방향으로 회전시키도록 제어장치(29b)가 서보 모터(266)를 제어하기 때문에 캐리어 테이프(30)에 텐션이 적절하게 걸려 팽팽한 상태가 된다.
푸셔 유닛(26)의 하측에는 테스트 헤드(10)가 대향하도록 설치되어 있다.
상기 테스트 헤드(10)의 상부에는 프로브침(121)이 다수 실장된 프로브 카드(12)가 설치되어 있다. 캐리어 테이프(30)를 흡착 홀드하고 있는 푸셔 본체(261)가 서보 모터(262)에 의해 하강하면 TCP(31)의 테스트 패드(34)와, 프로브 카드(12)의 프로브침(121)이 전기적으로 접촉되어 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체(미도시)에 의해 TCP(31)의 시험이 실행된다.
푸셔 유닛(26)과 권취측 가이드 롤러(24b)의 사이에는 마크 펀치(27a) 및 리젝트 펀치(27b)가 설치되어 있다. 마크 펀치(27a)는 예컨대 금형과 에어 실린더로 구성되어 있고, 시험 결과에 기초하여 해당하는 TCP(31)가 형성된 프레임(Fn)의 소정 위치에 한개 또는 복수개의 구멍을 펀칭하기 위하여 사용된다. 리젝트 펀치(27b)도 예컨대 금형과 에어 실린더로 구성되어 있고, 시험에서 불량품이라고 판단된 TCP(31)나 전 공정에서 리젝트공(35)이 형성되어 있는 IC칩(33)을 갖는 TCP(31)를 펀칭하기 위하여 사용된다.
공급측 가이드 롤러(25e)와 푸셔 유닛(26)의 사이에는 캐리어 테이프(30)를 촬상 가능하도록 예컨대 CCD 카메라나 CMOS 카메라 등으로 이루어진 제 1카메라(28a)가 설치되어 있다. 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 제 1카메라(28a)는 화상 처리장치(29a)에 접속되어 있고, 캐리어 테이프(30) 상에서의 IC칩(33)의 유무나 리젝트공(35)의 유무를 판단하기 위하여 사용된다. 또한, 본 실시 형태에서는 상기 제 1카메라(28a)는 캐리어 테이프(30)에서의 로트 개시위치(제 1프레임(F1))를 검출하기 위해서도 사용된다.
제 1카메라(28a)가 촬상한 화상 정보에 대하여 화상 처리장치(29a)가 화상 처리를 수행하고, 그 결과에 기초하여 화상 처리장치(29a)가 제어장치(29b)로 지령 신호를 송신한다. 제어장치(29b)는 그 지령신호에 기초하여 서보 모터(266),(267)의 구동 제어를 수행하여 캐리어 테이프(30)의 반송을 제어한다.
본 실시 형태에서는 화상 처리장치(29a)는 리더 테이프(40)에는 존재하지 않지만 최초의 프레임(F1)에 존재한다. 얼라인먼트용 마크(36)나 배선(32), 테스트 패드(34) 등의 유무에 기초하여 캐리어 테이프(30)에서의 로트 개시위치를 검출한다.
푸셔 유닛(26)의 하측에는 캐리어 테이프(30) 및 프로브침(121)을 촬상 가능하도록 예컨대 CCD 카메라나 CMOS 카메라 등으로 이루어진 제 2카메라(28b)가 설치되어 있다. 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 제 2카메라(28b)도 화상 처리장치(29a)에 접속되어 있고, 프로브 카드(12)의 프로브침(121)에 대하여 캐리어 테이프(30) 상의 테스트 패드(34)를 위치 결정하기 위하여 사용된다.
제 2카메라(28b)가 촬상한 화상 정보에 대하여 화상 처리장치(29a)가 화상 처리를 수행하여 해당 화상 정보에서의 얼라인먼트용 마크(36)의 위치를 검출한다. 화상 처리장치(29a)는 상기 얼라인먼트용 마크(36)의 위치로부터 프로브침(121)에 대한 테스트 패드(34)의 위치의 보정량을 산출하고, 그 보정량을 제어장치(29b)로 송신한다. 제어장치(29b)는 그 보정량에 기초하여 푸셔 스테이지(263)를 구동시켜 프로브침(121)에 대하여 테스트 패드(34)를 고정밀도로 위치 결정한다.
한편, 상기 제 2카메라(28b)를 사용하여 오퍼레이터가 모니터(미도시)를 통 하여 캐리어 테이프(30)의 테스트 패드(34)와 프로브 카드(12)의 프로브침(121)의 접촉 상태를 파악하여도 좋다.
푸셔 유닛(26)과 권취측 가이드 롤러(25f)의 사이에는 캐리어 테이프(30)를 촬상 가능하도록 예컨대 CCD 카메라나 CMOS 카메라로 이루어진 제 3카메라(28c)가 설치되어 있다. 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 제 3카메라(28c)는 화상 처리장치(29a)에 접속되어 있고, 불량의 TCP(31)가 리젝트 펀치(27b)에 의해 확실하게 펀칭되어 있는지의 여부를 확인하기 위하여 사용된다.
이하에 TCP의 로트가 종료되어 다음의 로트를 개시할 때에 캐리어 테이프를 교환하는 경우에 수행하는 본 발명의 실시 형태에 따른 TCP 시험장치의 준비방법에 대하여 도 3을 참조하면서 설명한다. 도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 TCP 시험장치의 준비방법을 도시한 플로우 차트이다.
우선, TCP(31)의 신규한 로트를 갖는 캐리어 테이프(30)를 TCP 핸들러(2)의 공급 릴(21)에 오퍼레이터가 세팅하여 리더 테이프(40)를 공급측 테이프 가이드(24a), 공급측 리미트 롤러(25a), 공급측 서브 스프로켓(25c), 공급측 가이드 롤러(25e), 푸셔 유닛(26), 권취측 가이드 롤러(25f), 권취측 서브 스프로켓(25d), 권취측 리미트 롤러(25b) 및 권취측 테이프 가이드(24b)를 경유하여 권취 릴(22)까지 인도한다(도 3의 스텝(S10)). 이것과 동시에 오퍼레이터는 보호 테이프(50)를 공급 릴(21)로부터 3개의 스페이서 롤(23a~23c)을 경유하여 권취 릴(22)로 인도하도록 세팅한다.
다음에서, 오퍼레이터는 TCP 핸들러(2)의 모니터 및 입력 장치(모두 미도시) 를 통하여 IC칩(33)의 형상 및 리젝트공(35)의 형상을 화상 처리장치(29a)에 등록한다(스텝(20)). IC칩(33)에 관계되는 등록 데이터는 TCP(31)의 시험의 필요성을 판단하는데 사용되고, 리젝트공(35)에 관계되는 등록 데이터는 리젝트 펀치(27b)에 의한 펀칭의 필요성을 판단하는데 사용된다.
또한, 상기 스텝(20)에서는 오퍼레이터는 캐리어 테이프(30)에서의 로트 개시위치를 도시한 형상과, 로트 개시위치를 도시한 형상의 최초의 프레임(F1)에서의 위치를 화상 처리장치(29a)에 등록한다. 상기 캐리어 테이프(30)에서의 로트 개시위치를 도시한 형상으로서는 리더 테이프(40)에는 존재하지 않지만 최초의 프레임(F1)에 존재하는 얼라인먼트용 마크(36)나 배선(32), 테스트 패드(34) 등의 형상을 예시할 수 있다. 이들의 로트 개시위치를 도시한 형상 및 위치는 오퍼레이터가 모니터(미도시) 상에서 도 5의 W1나 W2와 같이 윈도우를 사용하여 지정한다. 이들 등록 작업이 완료되면 오퍼레이터는 TCP 핸들러(2)의 스타트 보턴(미도시)을 누른다(스텝(S30)).
TCP 핸들러(2)가 스타트하면 서보 모터(266),(267)가 구동하여, 스프로켓(264),(265)이 회전하여 리더 테이프(40)가 공급 릴(21)로부터 권취 릴(22)을 향하여 반송된다. 이 사이 화상 처리장치(29a)는 제 1카메라(28a)에 의해 촬상된 화상 정보에 대하여 1 프레임마다 화상 처리를 수행하여 해당 화상 정보 중에 로트 개시위치를 도시한 형상이 존재하는지의 여부를 판단한다(스텝(S40)). 한편 상기 스텝(S40)에서 로트 개시위치를 도시한 형상 대신에 혹은 그것에 추가하여 제 1카 메라(28a)에 의해 촬상된 화상 정보 중에 IC칩(33)이나 리젝트공(35)이 존재하는지의 여부를 판단하여도 좋다.
화상 정보 중에 로트 개시위치를 도시한 형상이 존재한다고 판단된 경우(스텝(S40))에서 YES)에는 캐리어 테이프(30)의 선단부분(45)이 제 1카메라(28b)보다도 권취 릴(22)측에 위치하고 있기 때문에 제어장치(29b)는 스프로켓용 서보 모터(266),(267)를 제어하여 캐리어 테이프(30)를 공급 릴(21)측으로 되돌려 감는다(스텝(S50)).
상기 캐리어 테이프(30)를 되돌려 감는 사이에, 화상 처리장치(29a)는 제 1카메라(28a)에 의해 촬상된 화상 정보에 대하여 1프레임마다 화상 처리를 수행하여 해당 화상 정보 중에 로트 개시위치를 도시한 형상이 있는지의 여부를 판단한다(스텝(S60)). 예컨대, 로트 개시위치를 도시한 형상으로서 얼라인먼트용 마크(36)를 등록하고 있는 경우에는 화상 정보 중에 얼라인먼트용 마크(36)가 존재하고 있는 한은 로트 개시위치에 도달하고 있지 않았다고 판단하고, 화상 정보 중에서 얼라인먼트용 마크(36)가 사라지면 로트 개시위치에 도달하였다고 판단한다.
화상 정보 중에서 로트 개시위치를 도시한 형상이 사라지지 않는 한, 캐리어 테이프(30)를 되돌려 감는 것을 계속한다(스텝(S60)에서 YES). 이에 대하여 화상 정보 중에서 로트 개시위치를 도시한 형상이 없어졌다고 판단되면(스텝(S60)에서 NO), 캐리어 테이프(30)를 권취 릴(22)측으로 1프레임만큼 반송하여(스텝(S70)), TCP 핸들러(2)의 준비작업을 종료한다. 이 상태로, 캐리어 태이프(30)의 제 1프레 임(F1)(로트 개시위치)이 제 1카메라(28a)의 상방에 위치하고 있다.
한편, 스텝(S40)에서 화상 정보 중에 로트 개시위치를 도시한 형상이 존재하지 않다고 판단된 경우(스텝(S40)에서 NO)에는 아직도 제 1카메라(28b)의 상방에 리더 테이프(40)가 위치하고 있기 때문에 제어장치(29b)는 스프로켓용의 서보 모터(266),(267)를 제어하여 리더 테이프(40)를 권취 릴(22)측으로 반송한다(스텝(S80)).
상기 리더 테이프(40)를 보내는 반송의 사이, 화상 처리장치(29a)는 제 1카메라(28a)에 의해 촬상된 화상 정보에 대하여 1프레임마다 화상 처리를 수행하고, 해당 화상 정보 중에 로트 개시위치를 도시한 형상이 있는지의 여부를 판단한다(스텝(S90)). 예컨대, 로트 개시위치를 도시한 형상으로서 얼라인먼트용 마크(36)를 등록하고 있는 경우에는 화상 정보 중에 얼라인먼트용 마크(36)가 존재하지 않는 한은 로트 개시위치에 도달하고 있지 않았다고 판단하고, 화상 정보 중에 얼라인먼트용 마크(36)가 나타나면 로트 개시위치에 도달하였다고 판단한다.
화상 정보 중에 로트 개시위치를 도시한 형상이 나타나지 않는 한, 캐리어 테이프(30)를 보내는 반송을 계속한다(스텝(S90)에서 NO). 이에 대하여, 화상 정보 중에 로트 개시위치를 도시한 형상이 나타나면(스텝(S90)에서 YES), TCP 핸들러(2)의 준비작업을 종료한다. 이 상태로 캐리어 테이프(30)의 제 1프레임(F1)(로트 개시위치)이 제 1카메라(28a)의 상방에 위치하고 있다.
TCP 핸들러(2)의 준비작업이 종료되면 TCP(31)를 테스트하기 위한 통상의 TCP 핸들러(2)의 동작이 개시된다(로트 스타트). 즉, 서보 모터(266),(267)가 구동하여 스프로켓(264),(265)이 공급 릴(21)로부터 권취 릴(22)을 향하여 캐리어 테이프(30)를 순차 반송한다. 이 반송의 사이, 화상 처리장치(29a)는 제 1카메라(28a)에 의해 촬상된 화상 정보에 대하여 1프레임마다 화상 처리를 수행하여 IC칩(33)의 유무나 리젝트공(35)의 유무를 확인한다. 화상 정보 중에 IC칩(33)이 확인된 경우에는 푸셔 유닛(26)이 해당되는 IC칩(33)을 갖는 TCP(31)를 프로브 카드(12)로 밀착시켜서 상기 TCP(31)의 시험을 실행한다. 또한, 화상 정보 중에 리젝트공(35)이 확인된 경우에는 푸셔 유닛(26)은 상기 TCP(31)를 프로브 카드(12)로 밀착시키지 않고(즉, TCP(31)의 시험을 수행하지 않고), 리젝트 펀치(27b)가 상기 TCP(31)를 펀칭한다. 또한, 시험에서 불량이라고 판단된 TCP(31)도 리젝트 펀치(27b)에 의해 펀칭된다.
로트를 스타트하면 우선 리젝트공(35)이 형성되어 있는 1~3번째의 프레임(F1~F3)의 불량 TCP(31)를 리젝트 펀치(27b)로 펀칭해야만 하지만, 본 실시 형태에서는 캐리어 테이프(30)의 로트 개시위치를 제 1카메라(28a) 상에 자동적으로 위치시키고 나서 로트를 스타트시키기 때문에 프레임(F1~F3)의 불량 TCP(31)를 리젝트 펀치(27b)로 자동적으로 펀칭할 수 있다. 이 때문에 준비시간의 단축을 도모하는 동시에 불량 TCP의 유출을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는 얼라인먼트용 마크(36)나 배선(32), 테스트 패드(34) 등의 TCP(31)에서의 IC칩(33) 이외의 형상에 기초하여 캐리어 테이프(30)에 서의 로트 개시위치를 검출하기 때문에 캐리어 테이프(30)의 선단부분에 위치하는 3개의 IC칩(33)에 리젝트공(35)이 형성되어 있더라도 캐리어 테이프(30)에서의 로트 개시위치를 검출하여 자동적으로 로트를 스타트시킬 수 있다.
한편, 이상 설명한 실시 형태는 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해 기재된 것으로서, 본 발명을 한정하기 위해 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시 형태에 개시된 각 요소는 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물을 포함하는 취지이다.
예컨대, 상술한 실시 형태에서는 캐리어 테이프(30)에서 연결부분(45)으로부터 수개의 불량의 TCP(31)에 미리 리젝트공(35)이 형성되어 있는 경우에 대하여 설명하였지만, 본 발명에서는 특별히 한정되지 않고 연결부분(45)으로부터 수개의 불량의 TCP(31)에 리젝트공(35)이 형성되어 있지 않더라도 선두부분의 불량 갯수를 제어장치(29b)에 미리 등록하여 둠으로써 푸셔 유닛(26)으로 밀착을 수행하지 않 고 리젝트 펀치(27b)로 자동적으로 펀칭 처리를 수행하여도 좋다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 TCP 시험장치의 전체를 도시한 정면도.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 TCP 시험장치의 제어계를 도시한 블록도.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 TCP 시험장치에 준비방법을 도시한 플로우 차트.
도 4는 TCP 시험장치에 사용되는 리더 테이프 및 캐리어 테이프를 도시한 평면도.
도 5는 TCP 시험장치에 사용되는 리더 테이프 및 캐리어 테이프를 도시한 확대 평면도.
부호의 설명
1…TCP 시험장치
10…테스트 헤드
2…TCP 핸들러
21,22…릴
26…푸셔 유닛
261…푸셔 본체
262…서보 모터
263…푸셔 스테이지
264,265…스프로켓
266,267…서보 모터
28a~28c…카메라
29a…화상 처리장치
29b…제어장치
30…캐리어 테이프
Fn…프레임
31…TCP
32…배선
33…IC칩
34…테스트 패드
35…리젝트공
36…얼라인먼트용 마크
40…리더 테이프
45…연결부분

Claims (17)

  1. 삭제
  2. TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 상기 캐리어 테이프를 눌러 상기 TCP의 입출력 단자를 상기 콘택트부의 접촉단자에 접촉시킴으로써 복수의 TCP를 순차 시험하기 위한 TCP 시험장치로서,
    상기 캐리어 테이프에서의 로트 개시위치를 검출하는 제 1검출수단과,
    상기 캐리어 테이프 상의 IC칩을 검출하는 제 2검출수단과,
    상기 캐리어 테이프에 형성된 관통공을 검출하는 제 3검출수단과,
    상기 캐리어 테이프 상의 TCP를 상기 콘택트부로 누르는 누름수단과,
    상기 캐리어 테이프의 선단부에 연결된 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 반송하는 반송수단과,
    상기 캐리어 테이프 상에서 소정의 TCP를 펀칭하는 펀칭수단과,
    상기 반송수단의 동작을 제어하는 제어수단을 구비하고,
    상기 제어수단은 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하지 않은 경우, 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하기까지 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 소정의 반송방향에 따라 반송하도록 상기 반송수단을 제어하고,
    상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 소정의 반송방향에 따라 반송하고 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출한 후에,
    상기 제 2검출수단이 상기 IC칩을 검출한 경우에 상기 누름수단이 상기 TCP를 누르고,
    상기 제 3검출수단이 상기 관통공을 검출한 경우 또는 상기 TCP가 불량인 경우에 상기 펀칭수단이 상기 TCP를 펀칭하는 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치.
  3. TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 상기 캐리어 테이프를 눌러 상기 TCP의 입출력 단자를 상기 콘택트부의 접촉단자에 접촉시킴으로써 복수의 TCP를 순차 시험하기 위한 TCP 시험장치로서,
    상기 캐리어 테이프에서의 로트 개시위치를 검출하는 제 1검출수단과,
    상기 캐리어 테이프의 선단부에 연결된 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 반송하는 반송수단과,
    상기 반송수단의 동작을 제어하는 제어수단을 구비하고,
    상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출한 경우에, 상기 제어수단은 상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되기까지, 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 반대방향으로 반송하도록 상기 반송수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되면, 상기 제어수단은, 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 소정의 반송방향으로 반송하도록 상기 반송수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치 .
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 캐리어 테이프 상의 IC칩을 검출하는 제 2검출수단과,
    상기 캐리어 테이프에 형성된 관통공을 검출하는 제 3검출수단과,
    상기 캐리어 테이프 상의 상기 TCP를 상기 콘택트부로 누르는 누름수단과,
    상기 캐리어 테이프 상에서 소정의 상기 TCP를 펀칭하는 펀칭수단을 더 구비하고 있고,
    상기 제 1검출수단이 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되어 상기 반송수단이 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프의 상기 소정의 반송방향으로의 반송을 개시한 후에,
    상기 제 2검출수단이 상기 IC칩을 검출한 경우에 상기 누름수단이 상기 TCP를 누르고,
    상기 제 3검출수단이 상기 관통공을 검출한 경우 또는 상기 TCP가 불량인 경우에 상기 펀칭수단이 상기 TCP를 펀칭하는 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치.
  6. 제 2항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1검출수단은 상기 소정의 반송방향에서 상기 콘택트부보다도 상류측에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치.
  7. 제 2항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어 테이프는 적어도 하나의 상기 TCP를 각각 할당하여 된 복수의 프레임을 구비하고 있고,
    상기 캐리어 테이프에서의 상기 로트 개시위치를 상기 캐리어 테이프에서의 상기 소정 반송방향의 최초의 상기 프레임인 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치.
  8. 제 2항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1검출수단은 상기 캐리어 테이프 상에 형성된 상기 TCP 위치 결정용 마크, 배선 또는 테스트 패드 중 적어도 어느 하나에 기초하여 상기 로트 개시위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치.
  9. TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 상기 캐리어 테이프를 눌러 상기 TCP의 입출력 단자를 상기 콘택트부의 접촉단자에 접촉시킴으로써 복수의 TCP를 순차 시험하는 TCP 시험장치에서, 상기 캐리어 테이프를 교환한 때의 상기 TCP 시험장치를 준비하는 준비방법으로서,
    상기 캐리어 테이프에서의 로트 개시위치를 검출하는 제 1검출스탭과,
    상기 제 1검출스텝에서의 검출결과에 기초하여, 상기 캐리어 테이프의 선단에 연결된 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 소정의 반송방향 또는 상기 소정의 반송방향과는 반대방향으로 반송하는 반송스텝을 구비하고,
    상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치가 검출되기까지, 상기 반송스텝에서 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 소정 반송방향을 따라 반송하는 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치의 준비방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 반송스텝에서 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 소정의 반송방향에 따라 반송하고 상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치를 검출한 후에, 상기 캐리어 테이프 상에 IC칩을 검출한 경우에 상기 캐리어 테이프 상의 상기 TCP를 상기 콘택트부에 누르는 누름스텝과,
    상기 캐리어 테이프 상에 관통공을 검출한 경우 또는 상기 TCP가 불량인 경우에 상기 TCP를 펀칭하는 펀칭스텝을 더 구비한 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치의 준비방법.
  11. TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 콘택트부로 상기 캐리어 테이프를 눌러 상기 TCP의 입출력 단자를 상기 콘택트의 접촉단자에 접촉시킴으로써 복수의 TCP를 순차 시험하는 TCP 시험장치에서, 상기 캐리어 테이프를 교환한 때의 상기 TCP 시험장치를 준비하는 준비방법으로서,
    상기 캐리어 테이프에서의 로트 개시위치를 검출하는 제 1검출스텝과,
    상기 제 1검출스텝에서의 검출결과에 기초하여, 상기 캐리어 테이프의 선단에 연결된 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 소정의 반송방향 또는 상기 소정의 반송방향과는 반대방향으로 반송하는 반송스텝을 구비하고,
    상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치가 검출된 경우에, 상기 반송스텝에서, 상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치가 검출되지 않게 되기까지, 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 반대방향으로 반송하는 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치의 준비방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 제 1 검출스텝에서 상기 로트 개시위치가 검출되지 않게 되면 상기 반송스텝에서 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프를 상기 소정 반송방향으로 반송하는 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치의 준비방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 제 1검출스텝에서 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되어, 상기 반송스텝에서 상기 리더 테이프 및 상기 로트 개시위치를 검출하지 않게 되어, 상기 반송스텝에서 상기 리더 테이프 및 상기 캐리어 테이프의 상기 소정 반송방향으로의 반송을 개시한 후에, 상기 캐리어 테이프 상에 IC칩을 검출한 경우에 상기 캐리어 테이프 상의 TCP를 상기 콘택트부로 누르는 누름스텝과,
    상기 캐리어 테이프 상에 관통공을 검출하거나 TCP가 불량인 경우에 상기 TCP를 펀칭하는 펀칭스텝을 더 구비한 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치의 준비방법.
  14. 제 9항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어 테이프는 적어도 하나의 상기 TCP를 각각 할당하여 된 복수의 프레임을 구비하고 있고,
    상기 캐리어 테이프에서의 상기 로트 개시위치는 상기 캐리어 테이프에서의 상기 소정 반송방향의 최초의 상기 프레임인 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치의 준비방법.
  15. 제 9항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1검출스텝에서 상기 캐리어 테이프 상에 형성된 상기 TCP 위치 결정용 마크, 배선 도는 테스트 패드 중 적어도 어느 하나에 기초하여 상기 로트 개시위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 TCP 시험장치.
  16. 삭제
  17. 삭제
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