CN101206240A - Tcp试验装置以及tcp试验装置的安排方法 - Google Patents

Tcp试验装置以及tcp试验装置的安排方法 Download PDF

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CN101206240A CNA2007101600370A CN200710160037A CN101206240A CN 101206240 A CN101206240 A CN 101206240A CN A2007101600370 A CNA2007101600370 A CN A2007101600370A CN 200710160037 A CN200710160037 A CN 200710160037A CN 101206240 A CN101206240 A CN 101206240A
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Abstract

提供一种可以安排时间的缩短化和可以防止不良TCP的流出的TCP试验装置。TCP试验装置具备检测在载带(30)中的批量开始位置的第1照相机(27a)以及图像处理装置(29a)；搬运与载带(30)的前端部连结的读取带(40)以及载带(30)的链轮(264、265)以及伺服电机(266、267)；驱动控制伺服电机(266、267)的控制装置(29b)，控制装置(29b)根据图像处理装置(29a)的检测结果控制伺服电机(266、267)，使得链轮(264、265)在规定的搬运方向，或者和其相反的方向上搬运读取带(40)以及载带(30)。

Description

TCP试验装置以及TCP试验装置的安排方法
技术领域
本发明涉及为了试验IC器件的1种即TCP(Tape CarrierPackage：带载封装)和COF(Chip On Film：覆晶薄膜)(以下将利用TCP、COF以及TAB(Tape Automated Bonding：带式自动接合)安装技术安装的器件统一称为“TCP”。)而使用的TCP试验装置，以及交换载带时的TCP试验装置的安排方法。
背景技术
在IC器件等的电子零件的制造过程中，使用有对最终制造的IC器件和在其中间阶段的器件等的性能和功能进行试验的电子零件试验装置，当试验TCP的性能和功能的情况下使用TCP试验装置。
TCP试验装置一般含有：测试器主体、测试头、TCP搬运装置(以下，还简称为TCP处理器)。该TCP处理器搬运在带(假设还包含薄膜概念，以下同)上形成多个TCP的载带，在与测试头电气连接的探头卡的探针上按压载带，通过让TCP的输入输出端子与探针电气连接，可以对多个TCP顺序进行试验。
在这样的TCP试验装置中，在每1批量结束时，进行将试验结束的载带从TCP处理器的供给卷轴上取下，将新的载带换挂到该供给卷轴上的作业。在进行了这些作业之后开始下一批量的测试，但此时，以往已知有使用相对连接部设置在下游一侧上的第3照相机，在载带上自动地检测起始的IC芯片的方法(例如，参照专利文献1(特开2003-98219号公报))。
图4以及图5是表示在TCP试验装置中使用的读取带以及载带的平面图以及放大平面图。
一般，在TCP处理器中，为了在2个卷轴之间架设载带，所以如图4所示，在载带30的前端部上连结读取带40。该读取带40和载带30不同，不形成有任何TCP等，例如只用透明或者黑色的带来构成。而后，该连结部分45的附近的若干个(在图4所示的例子中是3个。一般是1～5个左右)TCP31(图4的框F1～F3中的TCP31)因为在读取带40和载带30的连结时、在卷轴间架设载带时等有增加负荷的危险，所以有被视为次品，在前一工序中在IC芯片33上形成废品孔35的情况。为了切断工序等的后段工序，必须用位于连接部的下游一侧上的废品冲孔机打穿形成该废品孔35的IC芯片33的TCP31。
在自动地检测上述的起始IC芯片的方法中，不能检测连结部分45的附近的不良TCP31，将在载带30上没有形成废品孔35的IC芯片33(图4的框F4中的IC芯片33)作为起始检测。因此，必须手动打穿载带30的起始部分的不良TCP31(图4的框F1～F3中的TCP31)，其结果有不能自动地进行安排作业，安排时间变长的情况。
此外，一般在TCP试验装置中，在用位于连接部的上游一侧的第1照相机检查TCP的有无以及废品孔的有无后，执行在连接部上的测试和废品冲孔机进行的打孔。相对于此，在自动检测上述的起始IC芯片的方法中，因为用位于连接部的下游一侧上的第3照相机检测起始TCP，所以在开始批量之前，需要让载带返回到第1照相机，不能充分地谋求安排作业的高效率。
也有通过操作者的目视检测载带上的批量开始位置的方法，但由于误操作和批量开始位置的误识别而未打穿不良TCP，留在在载带上，有不良TCP流出到后道工序的危险。近年，器件有小型化的趋势，但随之误操作、误识别的可能性也增加。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可以缩短安排时间和防止不良TCP流出的TCP试验装置。
(1)为了实现上述目的，如果采用本发明，则提供一种TCP试验装置，是搬运形成有许多TCP的载带，在与测试头电气连接的连接部上按压上述载带，通过让上述TCP的输入输出端子与上述连接部的接触端子接触而顺序试验许多TCP用的TCP试验装置，具备：检测在上述载带上的批量开始位置的第1检测部件；搬运与上述载带的前端部连结的读取带以及上述载带的搬运部件；控制上述搬运部件的动作的控制部件，上述控制部件根据上述第1检测部件的检测结果控制上述搬运部件，使得上述搬运装置将上述读取带以及上述载带在规定的搬运方向上搬运，或者，在和上述规定的搬运方向相反的方向上搬运。
在本发明中，在TCP试验装置上设置检测在载带中的批量开始位置的第1检测部件，根据该第1检测部件的检测结果进行搬运部件的动作控制。由此，即使在位于载带的前端部分上的几个IC芯片上形成废品孔也不需要手动打穿不良TCP，因为能够检测批量开始位置自动地开始批量，所以在谋求安排的缩短的同时，可以防止不良TCP的流出。
虽然在本发明中没有特别限定，但理想的是，上述第1检测部件根据上述读取带和上述载带的不同检测上述批量开始位置。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，上述第1检测部件在上述规定搬运方向上在与上述连接部相比在上游一侧上设置，由此能够谋求安排作业的高效率。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，上述载带具备至少分别分配1个上述TCP的许多框，上述载带中的上述批量开始位置是在上述载带中的上述规定搬运方向的最初的上述框。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，上述第1检测部件根据在上述读取带上不存在但在上述最初的框中存在的规定的图案形状，检测上述批量开始位置。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，上述图案形状包含形成在上述载带上的TCP定位用的标记、配线，或者，测试底座的至少一个。
在TCP定位用的标记和配线、测试底座等的TCP中通过根据IC芯片以外的形状检测载带中的批量开始位置，即使在位于载带的前端部分上的某几个IC芯片中形成有废品孔，也能够通过检测批量开始位置自动地开始批量。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，上述第1检测部件具有：可以拍摄上述读取带以及上述载带的拍摄部件；通过对由上述拍摄部件拍摄到的图像信息进行规定的图像处理检测上述图案形状的图像处理部件。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，上述控制部件当上述第1检测部件没有检测上述批量开始位置的情况下，直到上述第1检测部件检测上述批量开始位置之前，如上述搬运部件沿着上述规定搬运方向搬运上述读取带以及上述载带那样，控制上述搬运部件。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，当上述第1检测部件检测到上述批量开始位置的情况下，上述控制部件在上述第1检测部件未检测到上述批量开始位置之前，控制上述搬运部件，使得上述搬运部件在上述相反方向上搬运上述读取带以及上述载带。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，进一步具备检测上述载带上的上述IC芯片的第2检测部件，当上述第2检测部件检测到上述IC芯片的情况下，上述控制部件在上述第1检测部件没有检测到上述批量开始位置前，控制上述搬运部件，使得上述搬运部件在上述相反方向上搬运上述读取带以及上述载带。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，进一步具备检测形成在上述载带上的贯通孔的第3检测部件，当上述第3检测部件检测到上述贯通孔的情况下，上述控制部件在上述第1检测部件检测出上述批量开始位置之前，控制上述搬运部件，使得上述搬运部件在上述相反方向上搬运上述读取带以及上述载带。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，如果上述第1检测部件未检测到上述批量开始位置，则上述控制部件控制上述搬运部件，使得上述搬运部件在上述规定搬运方向上搬运上述读取带以及上述载带。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，进一步具备：检测上述载带上的上述IC芯片的第2检测部件；检测形成在上述载带上的贯通孔的第3检测部件；将上述载带上的TCP按压在上述连结部上的按压部件；在上述载带上打穿规定的TCP的冲孔部件，上述搬运部件沿着上述规定搬运方向搬运上述读取带以及上述载带，在上述第1检测部件检测出上述批量开始位置后，或者，上述第1检测部件未检测出上述批量开始位置，上述搬运部件开始上述读取带以及上述载带在上述规定搬运方向上的搬运后，当上述第2检测部件检测到上述IC芯片的情况下，上述按压部件按压该TCP，当上述第3检测部件检测到上述贯通孔的情况下，或者，当TCP不良的情况下，上述冲孔部件打穿该TCP。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，在上述控制部件中可以设定从在上述载带中看作不良的TCP的上述批量开始位置开始的规定个数，上述冲孔部件不管上述第3检测部件的检测结果如何，都打穿对上述规定个数的TCP。
(2)为了实现上述目的，如果采用本发明，则提供一种TCP试验装置的安排方法，在搬运形成许多TCP的载带，在与测试头电气连接的连接部上按压上述载带，通过将上述TCP的输入输出端子与上述连接部的连接端子接触顺序试验许多TCP的TCP试验装置中，是对交换上述载带时的上述TCP试验装置进行安排的安排方法，具备：检测在上述载带上的批量的开始位置的第1检测步骤；根据在上述第1检测部件中的检测结果，将与上述载带的前端连结的读取带以及上述载带在规定的搬运方向或者和上述规定搬运方向相反方向上搬运的搬运步骤。
在本发明中，在第1检测步骤中检测在载带中的批量开始位置，根据该检测结果在搬运步骤中将载带在规定的搬运方向或者和它相反方向上搬运。由此，即使在位于载带的前端部分上的某几个IC芯片上形成废品孔，也不需要手动打穿不良TCP，因为能够检测批量开始位置自动地开始批量，所以，在谋求安排时间的缩短的同时，可以防止不良TCP的流出。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，在上述第1检测步骤中，根据上述读取带和上述载带的不同检测上述批量开始位置。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，上述第1检测步骤在上述TCP试验装置中在与上述连接部相比在上述规定搬运方向上游一侧的位置上执行。通过与连接部相比在上游一侧的位置执行第1检测步骤，能够谋求安排作业的高效率。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，上述载带具备分别分配至少1个上述TCP的许多框，上述载带中的上述批量开始位置是在上述载带中的上述规定搬运方向的最初的上述框。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，在上述第1检测步骤中，根据在上述读取带上不存在但在上述最初的框中存在的规定的图案形状，检测上述批量开始位置。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，上述图案形状包含形成在上述载带上的TCP定位用的标记、配线，或者测试底座中的至少一个。
在TCP定位用的标记和配线、测试底座等的TCP中，通过根据IC芯片以外的形状检测在载带中的批量开始位置，即使在位于载带的起始部分上的几个IC芯片上形成废品孔，也能够检测批量开始位置并自动地开始批量。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，上述第1检测步骤具有：拍摄上述载带的拍摄步骤；通过对在上述拍摄步骤中拍摄的图像信息进行规定的图像处理检测上述图案形状的图像处理步骤。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，直到在上述第1检测步骤中检测出上述批量开始位置之前，在上述搬运步骤中，沿着上述规定搬运方向搬运上述读取带以及上述载带。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，当在上述第1检测步骤中检测到上述批量开始位置的情况下，在上述搬运步骤中，在上述第1检测步骤中未检测到上述批量开始位置之前，将上述读取带以及上述载带在上述相反方向上搬运。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，进一步具备检测上述载带上的IC芯片的第2检测步骤，当在上述第2检测步骤中检测到上述IC芯片的情况下，在上述搬运步骤中，在上述第1检测步骤中没有检测到上述批量开始位置之前，将上述读取带以及上述载带在上述相反方向上搬运。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，进一步具备检测形成在上述载带上的贯通孔的第3检测步骤，当在上述第3检测步骤中检测到上述贯通孔的情况下，在上述搬运步骤中，在上述第1检测步骤中未检测到上述批量开始位置之前，将上述读取带以及上述载带在上述相反方向上搬运。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，如果在上述第1检测步骤中没有检测到上述批量开始位置，则在上述搬运步骤中将上述读取带以及上述载带在上述规定搬运方向上搬运。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，进一步具备：在上述搬运步骤中沿着上述规定搬运方向搬运上述读取带以及上述载带，在上述第1检测步骤中检测了上述批量开始位置后，或者，在上述第1检测步骤中检测上述批量开始位置，在上述搬运步骤中开在向上述读取带以及上述载带的上述规定方向开始搬运后，当在上述载带上检测到上述IC芯片的情况下，将上述载带上的TCP按压在上述连接部上的按压步骤；在上述搬运步骤中沿着上述规定搬运方向搬运上述读取带以及上述载带，在上述第1检测步骤中检测到上述批量开始位置后，或者，在上述第1检测步骤中没有检测出上述批量开始位置，在上述搬运步骤中向上述读取带以及上述载带的上述规定搬运方向开始搬运后，当在上述载带上检测到上述贯通孔或者TCP是不良的情况下，打穿该TCP的穿孔步骤。
在上述发明中虽然没有特别限定，但理想的是，进一步具备不管上述贯通孔的有无，都从上述载带上的上述批量开始位置打穿规定个数的TCP的初始穿孔步骤。
附图说明
图1是表示涉及本发明的实施方式的TCP试验装置的全体的正面图。
图2是表示涉及本发明的实施方式的TCP试验装置的控制系统的方框图。
图3是在涉及本发明的实施方式的TCP试验装置中表示安排方法的流程图。
图4是表示在TCP试验装置中使用的读取带以及载带的平面图。
图5是表示在TCP试验装置中使用的读取带以及载带的放大平面图。
符号说明
1：TCP试验装置、10：测试头、2：TCP处理器、21、22：卷轴、26：推出单元、261：推出主体、262：伺服电机、263：推出载物台、264、265：链轮、266、267：伺服电机、28a～28c：照相机、29a：图像处理装置、29b：控制装置、30：载带、Fn：框、31：TCP、32：配线、33：IC芯片、34：测试底座、35：废品孔、36：对准用标记、40：读取带、45：连结部分。
具体实施方式
以下，根据附图说明本发明的实施方式。
首先，参照图4以及图5说明在涉及本实施方式的TCP试验装置中成为搬运对象的载带30。
载带30如图4所示，是沿着该载带30的长度方向以规定的长度分别被划分的框Fn(n是自然数)被连接成多个而构成。各框Fn用打孔PF(参照图5)的数量来管理，在图5所示的例子中如果推进5个穿孔则移动到下一框Fn+1。在本实施方式中，在各自的框Fn上各分配1个TCP31。各TCP31如图5所示，分别含有：载带30的一部分；形成在该载带30上的配线32；在配线32的一端上连接凸出的IC芯片33；设置在各配线32的另一端上的测试底座34；密封配线32和IC芯片33的密封材料(未图示)。而且，在载带的框上也可以沿着载带的长度方向(图4的横方向)形成多个TCP31，也可以沿着载带的宽度方向(图4的纵方向)形成多个TCP31。
在载带30的前端部上为了在TCP处理器2的卷轴21、22(以后说明)之间架设载带30，例如通过粘接等连结读取带40。该读取带40和载带30不同，不形成有任何TCP31等，例如只包含透明或者黑色的带。另外，如图4所示，该连结部分45的附近的框F1～F3中的3个TCP31因为在读取带40和载带30的连结时，和在卷轴21、22之间架设载带30时等有增加负荷的危险，所以，贯通IC芯片33的废品孔35在前一工序中形成，视为不良的TCP。相对于此，如同一图所示，从连结部分45开始数，在第4个框F4以后的框F5～Fm(m是比5大的自然数)中的IC芯片35中没有形成废品孔35。
如图5所示，在载带30中的各框Fn中，在TCP31的周围上设置4个对准标记36。TCP处理器2以这些对准标记36为基准，可以将TCP31相对探头卡12对位。
以下，说明本发明的实施方式的TCP试验装置的构成。图1是在本发明的实施方式的TCP试验装置中表示全体的正面图，图2是表示本发明的实施方式的TCP试验装置的控制系统的方框图。
如图1所示，本实施方式的TCP试验装置1含有：没有特别图示的测试器主体、与测试器主体电气连接的测试头10、设置在测试头10的上侧的TCP处理器2。
TCP处理器2通过搬运载带30，可以顺序试验在载带30上沿着其长度方向排成一列形成的各TCP31。
TCP处理器2具备供给卷轴21以及卷绕卷轴22。在供给卷轴21上卷绕具有测试前的TCP31的测试带30。该测试带30的搬运是从供给卷轴21绕出，用测试头10进行了TCP31的试验后卷绕到卷绕卷轴22上。
在供给卷轴21和卷绕卷轴22之间，设置用于将从载带30剥离的保护带50从供给卷轴21架设到卷绕卷轴22上的3个间隔滚轮23a～23c。各间隔滚轮23a～23c如可以调整保护带50的张力那样，可以分别在上下移动。
在供给卷轴21的下侧上设置供给一侧带导轨24a、供给一侧限制滚轮25a、供给一侧子链轮25c以及供给一侧导轨滚轮25e。从供给卷轴21绕出的载带30一边被供给一侧带导轨24a引导，一边经由供给一侧限制滚轮25a、供给一侧子链轮25c以及供给一侧导轨滚轮25e搬运到推出单元26。
在卷绕卷轴22的下侧上还设置卷绕一侧带导轨24b、卷绕一侧限制滚轮25b、卷绕一侧子链轮25d以及卷绕一侧导轨滚轮25f。通过了推出单元26后的载带30经由卷绕一侧导轨滚轮25f、卷绕一侧子链轮25d以及卷绕一侧限制滚轮25b，一边用卷绕一侧带导轨24b引导，一边卷绕在卷绕卷轴22上。
在供给一侧导轨滚轮25c和卷绕一侧导轨滚轮25d之间设置推出单元26。推出单元26具备：可以吸附保持载带30的推出主体261；让该推出主体261沿着Z轴方向上下移动的伺服电机262；在使用滚珠螺杆机构等沿着XY平面方向让推出主体261微小移动的同时，可以以Z轴为中心旋转的推出载物台263(参照图2)；设置在推出主体261的上游一侧(在图1中左侧)上的牵引链轮264；设置在推出主体261的下游一侧(图1中右侧)上的主链轮265。
链轮264、265与图2所示的伺服电机266、267的驱动轴连结，可以转动。伺服电机266、267与TCP处理器2的控制装置29b可控制地被连接。当从供给卷轴21向卷绕卷轴22搬运载带30的情况下，控制装置29b在规定方向上旋转驱动伺服电机266、267。当从卷绕卷轴22向供给卷轴21一侧送回载带30的情况下，控制装置29b在相反方向上旋转驱动伺服电机266、267。顺便说一下，在用以后说明的推出单元26将TCP31按压在探头卡12上时，因为控制装置29b控制伺服电机266使得牵引链轮264在相反方向上转动，所以在载带30上适度地加上拉力变成不松弛的状态。
在推出单元26的下侧上相对地设置测试头10。在该测试头10的上部设置安装有多个探针121的探头卡12。如果用伺服电机262让吸附保持着载带30的推出主体261下降，则TCP31的测试底座34与探头卡12的探针121电气接触，经由探头10由测试器主体(未图示)执行TCP31的测试。
在推出单元26和卷绕一侧导轨滚轮24b之间设置标记冲孔机27a以及废品冲孔机27b。标记冲孔机27a例如含有金属模和气缸，根据试验结果，为了在形成有相应的TCP31的框Fn的规定位置上开设1个或者多个孔而使用。废品冲孔机27b也含有例如金属模和气缸，为了打穿在试验中判断为次品的TCP31、具有在前一工序中形成有废品孔35的IC芯片33的TCP31而使用。
在供给一侧导轨一侧25e和推出单元26之间，为了可以拍摄载带30，例如，设置具有CCD照相机、CMOS照相机等的第1照相机28a。如图2所示，该第1照相机28a与图像处理装置29a连接，为了判断在载带30上的IC芯片33的有无、废品孔35的有无而使用。此外，在本实施方式中，该第1照相机28a也是为了检测在载带30中的批量开始位置(第1框F1)而使用。
对于第1照相机28a拍摄的图像信息，图像处理装置29a进行图像处理，根据其结果图像处理装置29a向控制装置29b发送指令信号。控制装置29b根据该指令信号进行伺服电机266、267的驱动控制，控制载带30的搬运。
在本实施方式中，图像处理装置29a根据在读取带40中不存在但在最初的框F1中存在的，对位用标记36和配线32、测试底座34等的有无，检测在载带30中的批量开始位置。
在推出单元26的下侧上设置例如具有CCD照相机、CMOS照相机等的第2照相机28b，使得可以拍摄载带30以及探针121。如图2所示，该第2照相机28b也与图像处理装置29a连接，是为了相对探头卡12的探针121决定载带30上的测试底座34的位置而使用。
对于第2照相机28b拍摄的图像信息，图像处理装置29a进行图像处理，检测在该图像信息中的对位用标记36的位置。图像处理装置29a根据该对位用标记36的位置算出相对探针121的测试底座34的位置的补正量，将该补正量送到控制装置29b。控制装置29b根据该补正量驱动推出载物台263，相对探针121进行测试底座34的高精度对位。
而且，使用该第2照相机28b，操作者经由监视器(未图示)，可以掌握载带30的测试底座34和探头卡12的探针121的接触状态。
在推出单元26和卷绕一侧导轨滚轮25f之间设置例如具有CCD照相机、CMOS照相机的第3照相机28c，以便可以拍摄载带30。如图2所示，该第3照相机28c与图像处理装置29a连接，为了确认不良的TCP31是否被废品冲孔机27b可靠地打穿而使用。
以下，参照图3说明在TCP的批量结束并开始下一批量时，在进行载带更换时进行的本发明的实施方式所涉及的TCP试验装置的安排方法。图3表示本发明的实施方式的TCP试验装置的安排方法的流程图。
首先，操作者将具有TCP31的新的批量的载带30设置在TCP处理器2的供给卷轴21上，将读取带40经由供给一侧带导轨24a、供给一侧限制滚轮25a、供给一侧子链轮25c、供给一侧导轨滚轮25e、推出单元26、卷绕一侧导轨滚轮25f、卷绕一侧子链轮25d、卷绕一侧限制滚轮25b以及卷绕一侧带导轨24b，导入到卷绕卷轴22(图3的步骤S10)。与此同时，操作者对保护带50进行设置，使得从供给卷轴21经由3个间隔滚轮23a～23c导入到卷绕卷轴22。
接着，操作者经由TCP处理器2的监视器以及输入装置(都未图示)将IC芯片33的形状以及废品孔35的形状登记在图像处理装置29a上(步骤S20)。涉及IC芯片33的登记数据在判断TCP31的试验的必要性中使用，涉及废品孔35的登记数据在判断通过废品冲孔机27b进行打孔的必要性中使用。
进而，在该步骤S20中，操作者将表示在载带30中的批量开始位置的形状、表示批量开始位置的形状的最初的框F1中的位置登记在图像处理装置29a中。作为表示在该载带30中的批量开始位置的形状，虽然在读取带40上不存在但能够示例在最初的框F1中存在的对位用标记36和配线32、测试底座34等的形状。表示这些批量开始位置的形状以及位置由用户在监视器(未图示)上如图5的W1和W2所示那样，用窗口指定。如果这些登记作业完成，则操作者按下TCP处理器2的起动键(未图示)(步骤S30)。
如果TCP处理器起动后，伺服电机266、267进行驱动，链轮264、265转动，读取带40从供给卷轴21向卷绕卷轴22搬运。此间，图像处理装置29a对用第1照相机28a拍摄的图像信息针对每1框进行图像处理，判断在该图像信息中是否存在表示批量开始位置的形状(步骤S40)。而且，在该步骤S40中，代替表示批量开始位置的形状，或者加上它，也可以判断在用第1照相机28a拍摄的图像信息中是否存在IC芯片33和废品孔35。
在图像信息中当判断为表示批量开始位置的形状存在的情况下(步骤S40中是)，因为载带30的前端部分45与第1照相机28b相比位于卷绕卷轴22一侧，所以控制装置29b控制链轮用的伺服电机266、267，将载带30回绕到供给卷轴21一侧(步骤S50)。
在该载带30的回绕期间，图像处理装置29a对用第1照相机28a拍摄的图像信息针对每1框进行图像处理，判断在该图像信息中是否有表示批量开始位置的形状(步骤S60)。例如，当作为表示批量开始位置的形状登记对位用标记36的情况下，只要在图像信息中存在对位用标记36就判断为未达到批量开始位置，如果对位用标记36从图像信息中消失则判断为达到批量开始位置。
只要表示批量开始位置的形状未从图像信息中消失，就继续载带30的回绕(步骤S60中是)。与此相反，如果从图像信息中判断为没有了表示批量开始位置的形状(步骤S60中否)，则将载带30向卷绕卷轴22一侧只搬运1框(步骤S70)，结束TCP处理器2的安排作业。在该状态中，载带30的第1框F1(批量开始位置)位于第1照相机28a的上方。
另一方面，在步骤S40中，当判断为在图像信息中不存在表示批量开始位置的形状的情况下(步骤S40中否)，因为读取带40还位于第1照相机28b的上方，所以控制装置29b控制链轮用伺服电机266、267，将读取带40搬运到卷绕卷轴22一侧(步骤S80)。
在该读取带40的传送搬运期间，图像处理装置29a对用第1照相机28a拍摄的图像信息针对每1框进行图像处理，判断在该图像信息中是否存在表示批量开始位置的形状(步骤S90)。例如，当作为表示批量开始位置的形状登记着对位用标记36的情况下，只要在图像信息中不存在对位用标记36就判断为未达到批量开始位置，在图像信息中如果出现对位用标记36则判断为达到批量开始位置。
只要在图像信息中未出现表示批量开始位置的形状，则连续进行载带30的传送搬运(步骤S90中否)。与此相反，如果在图像信息中出现表示批量开始位置的形状(步骤S90中是)，则结束TCP处理器2的安排作业。在该状态下，载带30的第1框F1(批量开始位置)位于第1照相机28a的上方。
如果TCP处理器2的安排作业结束，则开始用于测试TCP31的一般的TCP处理器2的动作(批量开始)。即，伺服电机266、267进行驱动，链轮264、265从供给卷轴21向卷绕卷轴22顺序搬运载带30。在该搬运期间，图像处理装置29a对用第1照相机28a拍摄的图像信息针对每1框进行图像处理，确认IC芯片33的有无和废品孔35的有无。在图像信息中当确认了IC芯片33的情况下，推出单元26将具有该IC芯片33的TCP31按压在探头卡12上，执行该TCP31的试验。此外，当在图像信息中确认了废品孔35的情况下，推出单元26不将该TCP31按压在探头卡12上(即，不进行TCP31的试验)，废品冲孔机27b打穿该TCP31。此外，在试验中判断为不良的TCP31也用废品冲孔机27b打穿。
如果开始批量，则首先必须用废品冲孔机27b对形成废品孔35的第1～第3个框F1～F3的不良TCP31进行打孔，但在本实施方式中，因为让载带30的批量开始位置自动地位于第1照相机28a上后开始批量，所以，能够用废品冲孔机27b自动地打穿框F1～F3的不良TCP31。因此，在谋求安排时间的缩短的同时，能够防止不良的TCP的流出。
此外，在本实施方式中，因为根据对位用标记36和配线32、测试底座34等的，在TCP31中的IC芯片33以外的形状，检测在载带30中的批量开始位置，所以即使在位于载带30的起始部分上的3个IC芯片33上形成废品孔35，也能够检测在载带30中的批量开始位置，自动地开始批量。
而且，上述说明的本发明是为了容易理解本发明而记载的，并不是为了限定本发明而记载的。因而，在上述实施方式中公开的各要素还包含了属于本发明的技术范围的全部的设计变更和相当物的情况。
例如，在上述的实施方式中，在载带30中，说明了从连结部分45在数个不良的TCP31上预先形成废品孔35的情况，但本发明并没有特别限定，即使在从连结部分45到数个不良的TCP31上未形成废品孔35，通过将起始部分的不良个数预先登记在控制装置29b中，不用推出单元26压住也可以用废品冲孔机27b自动地进行打孔处理。

Claims (17)

1.一种TCP测试装置，用于搬运形成有多个TCP的载带，在与测试头电气连接的连接部上按压上述载带，通过将上述TCP的输入输出端子与上述连接部的接触端子接触顺序地试验多个TCP，其特征在于包括：
第1检测部件，检测在上述载带中的批量开始位置；
搬运部件，搬运与上述载带的前端部连结的读取带以及上述载带；以及
控制部件，控制上述搬运部件的动作，
上述控制部件基于上述第1检测部件的检测结果，控制上述搬运部件，使得上述搬运部件将上述读取带以及上述载带在规定的搬运方向或者与上述规定的搬运方向相反的方向上搬运。
2.根据权利要求1所述的TCP试验装置，其特征在于：
上述第1检测部件基于上述读取带和上述载带的不同，检测上述批量开始位置。
3.根据权利要求1所述的TCP试验装置，其特征在于：
上述第1检测部件在上述规定搬运方向上与上述连接部相比设置在上游一侧上。
4.根据权利要求1所述的TCP试验装置，其特征在于：
上述载带具备分别分配至少一个上述TCP的多个框，
上述载带中的上述批量开始位置是上述载带中的上述规定搬运方向的最初的上述框。
5.根据权利要求4所述的TCP试验装置，其特征在于：
上述第1检测部件基于在上述读取带上不存在但在上述最初的框中存在的规定的图案形状，检测上述批量开始位置。
6.根据权利要求5所述的TCP试验装置，其特征在于：
上述图案形状包含形成在上述载带上的TCP对位用标记、配线，或者，测试底座中的至少一个。
7.根据权利要求5所述的TCP试验装置，其特征在于：
上述第1检测部件具有：
拍摄部件，可以拍摄上述读取带以及上述载带；
图像处理部件，通过对用上述拍摄部件拍摄的图像信息进行规定的图像处理，检测上述图案形状。
8.根据权利要求1～7的任意一项所述的TCP试验装置，其特征在于：
上述控制装置当上述第1检测部件未检测到上述批量开始位置的情况下，直到上述第1检测部件检测到上述批量开始位置为止，控制上述搬运部件，使得上述搬运部件沿着上述规定搬运方向搬运上述读取带以及上述载带。
9.根据权利要求8所述的TCP试验装置，其特征在于还包括：
第2检测部件，检测上述载带上的上述IC芯片；
第3检测部件，检测形成在上述载带上的贯通孔；
按压部件，将上述载带上的TCP按压在上述连接部上；以及
冲孔部件，在上述载带上对规定的TCP进行打孔，
上述搬运部件在将上述读取带以及上述载带沿着上述规定搬运方向搬运，上述第1检测部件检测到上述批量开始位置后，或者，
上述第1检测部件在检测不到上述批量开始位置，上述搬运部件开始将上述读取带以及上述载带向上述规定搬运方向搬运后，
当上述第2检测部件检测到上述IC芯片的情况下，上述按压部件按压该TCP，
当上述第3检测部件检测到上述贯通孔的情况下，或者TCP不良的情况下，上述冲孔部件打穿该TCP。
10.根据权利要求1～7的任意一项所述的TCP试验装置，其特征在于：
当上述第1检测部件检测出上述批量开始位置的情况下，上述控制部件在上述第1检测部件检测不到上述批量开始位置为止，控制上述搬运部件，使得上述搬运部件在上述相反的方向上搬运上述读取带以及上述载带。
11.根据权利要求10所述的TCP试验装置，其特征在于：
如果上述第1检测部件检测不到上述批量开始位置，则上述控制部件控制上述搬运部件，使得上述搬运部件在上述规定搬运方向上搬运上述读取带以及上述载带。
12.根据权利要求11所述的TCP试验装置，其特征在于还包括：
第2检测部件，检测上述载带上的上述IC芯片；
第3检测部件，检测形成在上述载带上的贯通孔；
按压部件，将上述载带上的TCP按压在上述连接部上；以及
冲孔部件，在上述载带上对规定的TCP进行打孔，
上述搬运部件沿着上述规定搬运方向搬运上述读取带以及上述载带，在上述第1检测部件检测到上述批量开始位置后，或者，
在上述第1检测部件检测不到上述批量开始位置，上述搬运部件开始对上述读取带以及上述载带的向上述规定搬运方向的搬运后，
当上述第2检测部件检测到上述IC芯片的情况下，上述按压部件按压该TCP，
当上述第3检测部件检测到上述贯通孔的情况下，或者TCP不良的情况下，上述冲孔部件打穿该TCP。
13.一种TCP试验装置的安排方法，在搬运形成有多个TCP的载带，在与测试头电气连接的连接部上按压上述载带，通过将上述TCP的输入输出端子与上述连接部的接触端子接触顺序地试验多个TCP的TCP测试装置中，对交换了上述载带时的上述TCP试验装置进行安排，其特征在于还包括：
第1检测步骤，检测在上述载带中的批量开始位置；以及
搬运步骤，基于在上述第1检测步骤中的检测结果，在规定的搬运方向或者和上述规定搬运方向相反方向上搬运与上述载带的前端连结的读取带以及上述载带。
14.根据权利要求13所述的TCP试验装置的安排方法，其特征在于：
在上述第1检测步骤中检测到上述批量开始位置为止，在上述搬运步骤中，沿着上述规定搬运方向搬运上述读取带以及上述载带。
15.根据权利要求13所述的TCP试验装置的安排方法，其特征在于：
当在上述第1检测步骤中检测到上述批量开始位置的情况下，在上述搬运步骤中，在上述第1检测步骤中在检测不到上述批量开始位置为止，在上述相反方向上搬运上述读取带以及上述载带。
16.根据权利要求15所述的TCP试验装置的安排方法，其特征在于：
如果在上述第1检测步骤中检测不到上述批量开始位置，则在上述搬运步骤中，在上述规定搬运方向上搬运上述读取带以及上述载带。
17.根据权利要求14或者16所述的试验装置的安排方法，其特征在于还包括：
按压步骤，在上述搬运步骤中沿着上述规定搬运方向搬运上述读取带以及上述载带，在上述第1检测步骤中检测到上述批量开始位置后，或者在上述第1检测步骤中检测不到上述批量开始位置，在上述搬运步骤中开始将上述读取带以及上述载带向上述规定搬运方向搬运后，当在上述载带上检测到上述IC芯片的情况下，将上述载带上的TCP按压在上述连接部上；以及
冲孔步骤，在上述搬运步骤中沿着上述规定搬运方向搬运上述读取带以及上述载带，在上述第1检测步骤中检测到上述批量开始位置后，或者，在上述第1检测步骤中检测不到上述批量开始位置，在上述搬运步骤中开始了将上述读取带以及上述载带向上述规定方向搬运后，当在上述载带上检测出上述贯通孔或者TCP是不良的情况下，打穿该TCP。
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