JP2008157657A

JP2008157657A - Ｔｃｐ試験装置及びｔｃｐ試験装置の段取方法

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Publication number: JP2008157657A
Application number: JP2006343984A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Onishi; 武士大西; Katsuhiro Imaizumi; 勝博今泉
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2006-12-21
Filing date: 2006-12-21
Publication date: 2008-07-10
Anticipated expiration: 2026-12-21
Also published as: KR20080058222A; KR100973164B1; CN101206240A; JP4842793B2; TW200837369A

Abstract

【課題】段取時間の短縮化と不良ＴＣＰの流出を防止することが可能なＴＣＰ試験装置を提供する。
【解決手段】ＴＣＰ試験装置は、キャリアテープ３０におけるロット開始位置を検出する第１のカメラ２７ａ及び画像処理装置２９ａと、キャリアテープ３０の先端部に連結されたリーダテープ４０及びキャリアテープ３０を搬送するスプロケット２６４，２６５及びサーボモータ２６６，２６７と、サーボモータ２６６，２６７を駆動制御する制御装置２９ｂと、を備えており、制御装置２９ｂは、画像処理装置２９ａの検出結果に基づいて、スプロケット２６４，２６５がリーダテープ４０及びキャリアテープ３０を、所定の搬送方向、又は、それとは反対の方向に搬送するように、サーボモータ２６６，２６７を制御する。
【選択図】図２

Description

本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ及びＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装技術によって実装されたデバイスをまとめて「ＴＣＰ」と称する。）を試験するために用いられるＴＣＰ試験装置、及び、キャリアテープを交換した際のＴＣＰ試験装置の段取方法に関する。

ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が用いられており、ＴＣＰの性能や機能を試験する場合にはＴＣＰ試験装置が使用される。

ＴＣＰ試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下、単にＴＣＰハンドラとも称する。）と、から構成されている。このＴＣＰハンドラは、テープ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブ針にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの入出力端子をプローブ針に電気的に接続させることで、複数のＴＣＰを順次試験を行うことが可能となっている。

こうしたＴＣＰ試験装置では、一つのロットが終了する毎に、試験が終了したキャリアテープをＴＣＰハンドラの供給リールから取り外し、新規のキャリアテープを当該供給リールに掛け直す作業が行われている。これらの作業を行った後に次のロットが開始されるが、この際に、コンタクト部に対して下流側に設けられた第３のカメラを用いて、キャリアテープにおいて先頭のＩＣチップを自動的に検出する方法が従来から知られている（例えば、特許文献１参照）。

図４及び図５はＴＣＰ試験装置に用いられるリーダテープ及びキャリアテープを示す平面図及び拡大平面図である。

一般的に、ＴＣＰハンドラにおいて、２つのリールの間でキャリアテープを架け渡すために、図４に示すように、キャリアテープ３０の先端部にリーダテープ４０が連結されている。このリーダテープ４０は、キャリアテープ３０と異なり、ＴＣＰ等が一切形成されておらず、例えば透明又は黒色のテープのみから構成されている。そして、この連結部分４５の近傍の数個（図４で示す例では３個。一般的に１〜５個程度）のＴＣＰ３１（図４のフレームＦ_１〜Ｆ_３におけるＴＣＰ３１）は、リーダテープ４０とキャリアテープ３０の連結時や、リール間にキャリアテープ３０を架け渡す際等に負荷が加わっているおそれがあるため、不良品とみなして、前工程にてＩＣチップ３３にリジェクト孔３５が形成されている場合がある。切断工程等の後工程のために、このリジェクト孔３５が形成されているＩＣチップ３３を有するＴＣＰ３１を、コンタクト部の下流側に位置するリジェクトパンチにより打ち抜かなければならない。

上述した先頭ＩＣチップを自動的に検出する方法では、連結部分４５の近傍の不良ＴＣＰ３１を検出することができず、キャリアテープ３０上においてリジェクト孔３５が形成されていないＩＣチップ３３（図４のフレームＦ_４におけるＩＣチップ３３）を先頭として検出してしまう。そのため、キャリアテープ３０の先頭部分の不良ＴＣＰ３１（図４のフレームＦ_１〜Ｆ_３におけるＴＣＰ３１）を手動で打ち抜かねばならず、結果的に段取作業を自動的に行うことはできず、段取時間が長くなってしまう場合がある。

また、一般的に、ＴＣＰ試験装置では、コンタクト部の上流側に位置する第１のカメラにより、ＴＣＰの有無、及び、リジェクト孔の有無をチェックした後に、コンタクト部でのテストやリジェクトパンチによる打ち抜きを実行する。これに対し、上述した先頭ＩＣチップを自動的に検出する方法では、コンタクト部の下流側に位置する第３のカメラにより先頭ＴＣＰを検出するため、ロットをスタートする前に、第１のカメラまでキャリアテープを戻す必要があり、段取作業の効率化を十分に図ることができない。

オペレータの目視によりキャリアテープ上のロット開始位置を検出する方法もあるが、誤操作やロット開始位置の誤認識により不良ＴＣＰが打ち抜かれずにキャリアテープ上に残ってしまい、後工程に不良ＴＣＰが流出してしまうおそれがある。近年、デバイスが小型化する傾向にあるが、これに伴って誤操作・誤認識の可能性も高くなる。

特開２００３−９８２１９号公報

本発明は、段取時間の短縮化と不良ＴＣＰの流出を防止することが可能なＴＣＰ試験装置を提供することを目的とする。

（１）上記目的を達成するために、本発明によれば、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に前記キャリアテープを押圧し、前記ＴＣＰの入出力端子を前記コンタクト部の接触端子に接触させることにより複数のＴＣＰを順次試験するためのＴＣＰ試験装置であって、前記キャリアテープにおけるロット開始位置を検出する第１の検出手段と、前記キャリアテープの先端部に連結されたリーダテープ及び前記キャリアテープを搬送する搬送手段と、前記搬送手段の動作を制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記第１の検出手段の検出結果に基づいて、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを、所定の搬送方向、又は、前記所定搬送方向とは反対方向に搬送するように、前記搬送手段を制御するＴＣＰ試験装置が提供される（請求項１参照）。

本発明では、ＴＣＰ試験装置に、キャリアテープにおけるロット開始位置を検出する第１の検出手段を設けて、この第１の検出手段の検出結果に基づいて搬送手段の動作制御を行う。これにより、キャリアテープの先端部分に位置する幾つかのＩＣチップにリジェクト孔が形成されていても手動で不良ＴＣＰを打ち抜くことを要さず、ロット開始位置を検出して自動的にロットをスタートさせることができるので、段取時間の短縮を図ると共に、不良ＴＣＰの流出を防止することが可能となる。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出手段は、前記リーダテープと前記キャリアテープとの相違に基づいて、前記ロット開始位置を検出することが好ましい（請求項２参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出手段は、前記所定搬送方向において前記コンタクト部よりも上流側に設けられていることが好ましい（請求項３参照）。第１の検出手段をコンタクト部よりも上流側に設けることで、段取作業の効率化を図ることができる。

上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープは、少なくとも一つの前記ＴＣＰをそれぞれ割り当てられた複数のフレームを備えており、前記キャリアテープにおける前記ロット開始位置は、前記キャリアテープにおける前記所定搬送方向の最初の前記フレームであることが好ましい（請求項４参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出手段は、前記リーダテープには存在しないが前記最初のフレームに存在する所定のパターン形状に基づいて、前記ロット開始位置を検出することが好ましい（請求項５参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記パターン形状は、前記キャリアテープ上に形成されたＴＣＰ位置決め用のマーク、配線、又は、テストパッドのうちの少なくともを含むことが好ましい（請求項６参照）。

ＴＣＰ位置決め用のマークや配線、テストパッド等の、ＴＣＰにおいてＩＣチップ以外の形状に基づいて、キャリアテープにおけるロット開始位置を検出することで、キャリアテープの先端部分に位置する幾つかのＩＣチップにリジェクト孔が形成されていても、ロット開始位置を検出して自動的にロットをスタートさせることができる。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出手段は、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを撮像可能な撮像手段と、前記撮像手段により撮像された画像情報に対して所定の画像処理を行うことで前記パターン形状を検出する画像処理手段と、を有することが好ましい（請求項７参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記制御手段は、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出しない場合、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出するまで、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送するように、前記搬送手段を制御することが好ましい（請求項８参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出した場合に、前記制御手段は、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなるまで、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送するように、前記搬送手段を制御することが好ましい（請求項９参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープ上の前記ＩＣチップを検出する第２の検出手段をさらに備え、前記第２の検出手段が前記ＩＣチップを検出した場合に、前記制御手段は、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなるまで、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送するように、前記搬送手段を制御することが好ましい。

上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープに形成された貫通孔を検出する第３の検出手段をさらに備え、前記第３の検出手段が前記貫通孔を検出した場合に、前記制御手段は、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなるまで、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送するように、前記搬送手段を制御することが好ましい。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなったら、前記制御手段は、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に搬送するように、前記搬送手段を制御することが好ましい（請求項１０参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープ上の前記ＩＣチップを検出する第２の検出手段と、前記キャリアテープに形成された貫通孔を検出する第３の検出手段と、前記キャリアテープ上のＴＣＰを前記コンタクト部に押圧する押圧手段と、前記キャリアテープ上において所定のＴＣＰを打ち抜く打抜手段と、をさらに備えており、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送し、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出した後に、又は、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなり、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープの前記所定搬送方向への搬送を開始した後に、前記第２の検出手段が前記ＩＣチップを検出した場合に、前記押圧手段が当該ＴＣＰを押圧し、前記第３の検出手段が前記貫通孔を検出した場合、又は、ＴＣＰが不良であった場合に、前記打抜手段が当該ＴＣＰを打ち抜くことが好ましい（請求項１１参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープにおいて不良とみなすＴＣＰの前記ロット開始位置からの所定個数を前記制御手段に設定可能となっており、前記打抜手段は、前記第３の検出手段の検出結果に関わらず、前記所定個数のＴＣＰを打ち抜くことが好ましい。

（２）上記目的を達成するために、本発明によれば、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に前記キャリアテープを押圧し、前記ＴＣＰの入出力端子を前記コンタクト部の接触端子に接触させることにより複数のＴＣＰを順次試験するＴＣＰ試験装置において、前記キャリアテープを交換した際の前記ＴＣＰ試験装置を段取りする段取方法であって、前記キャリアテープにおけるロット開始位置を検出する第１の検出ステップと、前記第１の検出ステップにおける検出結果に基づいて、前記キャリアテープの先端に連結されたリーダテープ及び前記キャリアテープを、所定の搬送方向又は前記所定搬送方向とは反対方向に搬送する搬送ステップと、を備えたＴＣＰ試験装置の段取方法が提供される（請求項１２参照）。

本発明では、第１の検出ステップでキャリアテープにおけるロット開始位置を検出し、その検出結果に基づいて、搬送ステップでキャリアテープを所定の搬送方向又はそれとは反対方向に搬送する。これにより、キャリアテープの先端部分に位置する幾つかのＩＣチップにリジェクト孔が形成されていても、手動で不良ＴＣＰを打ち抜くことを要さず、ロット開始位置を検出して自動的にロットをスタートさせることができるので、段取時間の短縮を図ると共に、不良ＴＣＰの流出を防止することが可能となる。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出ステップにおいて、前記リーダテープと前記キャリアテープとの相違に基づいて、前記ロット開始位置を検出することが好ましい。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出ステップは、前記ＴＣＰ試験装置において前記コンタクト部よりも前記所定搬送方向上流側の位置で実行されることが好ましい。コンタクト部よりも上流側の位置で第１の検出ステップを実行することで、段取作業の効率化を図ることができる。

上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープは、少なくとも一つの前記ＴＣＰをそれぞれ割り当てられた複数のフレームを備えており、前記キャリアテープにおける前記ロット開始位置は、前記キャリアテープにおける前記所定搬送方向の最初の前記フレームであることが好ましい。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出ステップにおいて、前記リーダテープには存在しないが前記最初のフレームに存在する所定のパターン形状に基づいて、前記ロット開始位置を検出することが好ましい。

上記発明においては特に限定されないが、前記パターン形状は、前記キャリアテープ上に形成されたＴＣＰ位置決め用のマーク、配線、又は、テストパッドのうちの少なくとも一つを含むことが好ましい。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出ステップは、前記キャリアテープを撮像する撮像ステップと、前記撮像ステップにて撮像された画像情報に対して所定の画像処理を行うことで前記パターン形状を検出する画像処理ステップと、を有することが好ましい。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されるまで、前記搬送ステップにおいて、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送することが好ましい（請求項１３参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置が検出された場合に、前記搬送ステップにおいて、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されなくなるまで、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送することが好ましい（請求項１４参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープ上のＩＣチップを検出する第２の検出ステップをさらに備え、前記第２の検出ステップで前記ＩＣチップが検出された場合に、前記搬送ステップにおいて、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されなくなるまで、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送することが好ましい。

上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープに形成された貫通孔を検出する第３の検出ステップをさらに備え、前記第３の検出ステップで前記貫通孔が検出された場合に、前記搬送ステップにおいて、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されなくなるまで、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送することが好ましい。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されなくなったら、前記搬送ステップにおいて、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に搬送することが好ましい（請求項１５参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送し、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置を検出した後に、又は、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置を検出しなくなり、前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープの前記所定搬送方向への搬送を開始した後に、前記キャリアテープ上に前記ＩＣチップを検出した場合に、前記キャリアテープ上のＴＣＰを前記コンタクト部に押圧する押圧ステップと、前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送し、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置を検出した後に、又は、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置を検出しなくなり、前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープの前記所定搬送方向への搬送を開始した後に、前記キャリアテープ上に前記貫通孔を検出し又はＴＣＰが不良であった場合に、当該ＴＣＰを打ち抜く打抜ステップと、をさらに備えていることが好ましい（請求項１６参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記貫通孔の有無に関わらず、前記キャリアテープ上の前記ロット開始位置から所定個数のＴＣＰを打ち抜く初期打抜ステップをさらに備えていることが好ましい。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

先ず、本実施形態に係るＴＣＰ試験装置において搬送対象となるキャリアテープ３０について、図４及び図５を参照しながら説明する。

キャリアテープ３０は、図４に示すように、当該キャリアテープ３０の長手方向に沿って所定の長さでそれぞれ区切られたフレームＦ_ｎ（但しｎは自然数）が複数連なって構成されている。各フレームＦ_ｎは、パーフォレーションＰＦ（図５参照）の数で管理されており、図５に示す例ではパーフォレーションを５つ進むと次のフレームＦ_ｎ＋１に移動するようになっている。本実施形態では、それぞれのフレームＦ_ｎにＴＣＰ３１が１つずつ割り当てられている。各ＴＣＰ３１は、図５に示すように、キャリアテープ３０の一部と、このキャリアテープ３０上に形成された配線３２と、配線３２の一端にバンプが接続されているＩＣチップ３３と、各配線３２の他端に設けられたテストパッド３４と、配線３２やＩＣチップ３３を封止しているモールド材（不図示）と、からそれぞれ構成されている。なお、キャリアテープのフレームには、キャリアテープの長手方向（図４の横方向）に沿って複数個のＴＣＰ３１が形成されていても良く、キャリアテープの幅方向（図４の縦方向）に沿って複数個のＴＣＰ３１が形成されていても良い。

キャリアテープ３０の先端部には、ＴＣＰハンドラ２のリール２１，２２（後述）間にキャリアテープ３０を架け渡すために、例えば接着等によりリーダテープ４０が連結されている。このリーダテープ４０は、キャリアテープ３０と異なり、ＴＣＰ３１等が一切形成されておらず、例えば透明又は黒色のテープのみから構成されている。そして、図４に示すように、この連結部分４５の近傍のフレームＦ_１〜Ｆ_３における３個のＴＣＰ３１は、リーダテープ４０とキャリアテープ３０の連結時や、リール２１，２２間にキャリアテープ３０を架け渡す際等に負荷が加わっているおそれがあるので、ＩＣチップ３３を貫通するリジェクト孔３５が前工程にて形成され、不良ＴＣＰとみなされている。これに対し、同図に示すように、連結部分４５から数えて４番目のフレームＦ_４以降のフレームＦ_５〜Ｆ_ｍ（但しｍは５より大きな自然数）におけるＩＣチップ３３にはリジェクト孔３５は形成されていない。

図５に示すように、キャリアテープ３０における各フレームＦ_ｎには、ＴＣＰ３１の周囲に４つのアライメントマーク３６が設けられている。ＴＣＰハンドラ２は、これらアライメントマーク３６を基準として、ＴＣＰ３１をプローブカード１２に対して位置決めすることが可能となっている。

次に、本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置の構成について説明する。図１は本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置に全体を示す正面図、図２は本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置の制御系を示すブロック図である。

図１に示すように、本実施形態に係るＴＣＰ試験装置１は、特に図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２と、から構成されている。

ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ３０を搬送することで、キャリアテープ３０上にその長手方向に沿って一列に並んで形成されている各ＴＣＰ３１を順次試験することが可能となっている。

ＴＣＰハンドラ２は、供給リール２１及び巻取リール２２を備えている。供給リール２１には、試験前のＴＣＰ３１を有するキャリアテープ３０が巻き取られている。このキャリアテープ３０は、供給リール２１から巻き出され、テストヘッド１０によりＴＣＰ３１の試験を行った後に巻取リール２２に巻き取られるように搬送される。

供給リール２１と巻取リール２２との間には、キャリアテープ３０から剥離した保護テープ５０を、供給リール２１から巻取リール２２に架け渡すための３個のスペーサロール２３ａ〜２３ｃが設けられている。各スペーサロール２３ａ〜２３ｃは、保護テープ５０の張力を調整可能なように、それぞれ上下動可能となっている。

供給リール２１の下側には、供給側テープガイド２４ａ、供給側リミットローラ２５ａ、供給側サブスプロケット２５ｃ及び供給側ガイドローラ２５ｅが設けられている。供リール２１から巻き出されたキャリアテープ３０は、供給側テープガイド２４ａに案内されつつ、供給側リミットローラ２５ａ、供給側サブスプロケット２５ｃ及び供給側ガイドローラ２５ｅを経てプッシャユニット２６に搬送される。

巻取リール２２の下側にも、巻取側テープガイド２４ｂ、巻取側リミットローラ２５ｂ、巻取側サブスプロケット２５ｄ及び巻取側ガイドローラ２５ｆが設けられている。プッシャユニット２６を通過した後のキャリアテープ３０は、巻取側ガイドローラ２５ｆ、巻取側サブスプロケット２５ｄ及び巻取側リミットローラ２５ｂを経て、巻取側テープガイド２４ｂによって案内されつつ、巻取リール２２に巻き取られる。

供給側ガイドローラ２５ｃと巻取側ガイドローラ２５ｄとの間には、プッシャユニット２６が設けられている。プッシャユニット２６は、キャリアテープ３０を吸着保持可能なプッシャ本体２６１と、このプッシャ本体２６１をＺ軸方向に沿って上下動させるサーボモータ２６２と、ボールネジ機構等を用いてプッシャ本体２６１をＸＹ平面方向に沿って微小移動させると共にＺ軸を中心として回転させることが可能なプッシャステージ２６３（図２参照）と、プッシャ本体２６１の上流側（図１において左側）に設けられたテンションスプロケット２６４と、プッシャ本体２６１の下流側（図１において右側）に設けられたメインスプロケット２６５と、を備えている。

スプロケット２６４，２６５は、図２に示すサーボモータ２６６，２６７の駆動軸に連結されており、回転可能となっている。サーボモータ２６６，２６７は、ＴＣＰハンドラ２の制御装置２９ｂに制御可能に接続されている。供給リール２１から巻取リール２２へキャリアテープ３０を搬送する場合には、制御装置２９ｂがサーボモータ２６６，２６７を所定の方向に回転駆動させる。巻取リール２２から供給リール２１側にキャリアテープ３０を戻す場合には、制御装置２９ｂがサーボモータ２６６，２６７を反対方向に回転駆動させる。因みに、後述するプッシャユニット２６によりＴＣＰ３１をプローブカード１２に押し付ける際には、テンションスプロケット２６４を反対方向に回転させるように、制御装置２９ｂがサーボモータ２６６を制御するので、キャリアテープ３０にテンションが適度に掛かって弛みのない状態となる。

プッシャユニット２６の下側には、テストヘッド１０が対向するように設けられている。このテストヘッド１０の上部には、プローブ針１２１が多数実装されたプローブカード１２が設けられている。キャリアテープ３０を吸着保持しているプッシャ本体２６１がサーボモータ２６２により下降すると、ＴＣＰ３１のテストパッド３４と、プローブカード１２のプローブ針１２１とが電気的に接触し、テストヘッド１０を介してテスタ本体(不図示)によりＴＣＰ３１の試験が実行される。

プッシャユニット２６と巻取側ガイドローラ２４ｂとの間には、マークパンチ２７ａ及びリジェクトパンチ２７ｂが設けられている。マークパンチ２７ａは、例えば金型とエアシリンダから構成されており、試験結果に基づいて、該当するＴＣＰ３１が形成されたフレームＦ_ｎの所定位置に１個又は複数個の孔を開けるために用いられる。リジェクトパンチ２７ｂも、例えば金型とエアシリンダから構成されており、試験において不良品であると判断されたＴＣＰ３１や、前工程でリジェクト孔３５が形成されているＩＣチップ３３を有するＴＣＰ３１を打ち抜くために用いられる。

供給側ガイドローラ２５ｅとプッシャユニット２６との間には、キャリアテープ３０を撮像可能なように、例えばＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラ等からなる第１のカメラ２８ａが設けられている。図２に示すように、この第１のカメラ２８ａは画像処理装置２９ａに接続されており、キャリアテープ３０上におけるＩＣチップ３３の有無や、リジェクト孔３５の有無を判断するために用いられる。また、本実施形態では、この第１のカメラ２８ａは、キャリアテープ３０におけるロット開始位置（第１のフレームＦ_１）を検出するためにも用いられる。

第１のカメラ２８ａが撮像した画像情報に対して画像処理装置２９ａが画像処理を行い、その結果に基づいて画像処理装置２９ａが制御装置２９ｂに指令信号を送信する。制御装置２９ｂは、この指令信号に基づいて、サーボモータ２６６，２６７の駆動制御を行い、キャリアテープ３０の搬送を制御する。

本実施形態では、画像処理装置２９ａは、リーダテープ４０には存在しないが最初のフレームＦ_１に存在する、アライメント用マーク３６や配線３２、テストパッド３４等の有無に基づいて、キャリアテープ３０におけるロット開始位置を検出する。

プッシャユニット２６の下側には、キャリアテープ３０及びプローブ針１２１を撮像可能なように、例えばＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラ等からなる第２のカメラ２８ｂが設けられている。図２に示すように、この第２のカメラ２８ｂも、画像処理装置２９ａに接続されており、プローブカード１２のプローブ針１２１に対してキャリアテープ３０上のテストパッド３４を位置決めするために用いられる。

第２のカメラ２８ｂが撮像した画像情報に対して画像処理装置２９ａが画像処理を行って、当該画像情報におけるアライメント用マーク３６の位置を検出する。画像処理装置２９ａは、このアライメント用マーク３６の位置からプローブ針１２１に対するテストパッド３４の位置の補正量を算出し、この補正量を制御装置２９ｂに送信する。制御装置２９ｂは、この補正量に基づいてプッシャステージ２６３を駆動させて、プローブ針１２１に対してテストパッド３４を高精度に位置決めする。

なお、この第２のカメラ２８ｂを用いて、オペレータが、モニタ（不図示）を介して、キャリアテープ３０のテストパッド３４と、プローブカード１２のプローブ針１２１との接触状態を把握しても良い。

プッシャユニット２６と巻取側ガイドローラ２５ｆとの間には、キャリアテープ３０を撮像可能なように、例えばＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラからなる第３のカメラ２８ｃが設けられている。図２に示すように、この第３のカメラ２８ｃは画像処理装置２９ａに接続されており、不良のＴＣＰ３１がリジェクトパンチ２７ｂにより確実に打ち抜かれているか否かを確認するために用いられる。

以下に、ＴＣＰのロットが終了して次のロットを開始する際に、キャリアテープを交換する場合に行う本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置の段取方法について、図３を参照しながら説明する。図３は本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置の段取方法を示すフローチャートである。

先ず、ＴＣＰ３１の新規なロットを有するキャリアテープ３０をＴＣＰハンドラ２の供給リール２１にオペレータがセットし、リーダテープ４０を供給側テープガイド２４ａ、供給側リミットローラ２５ａ、供給側サブスプロケット２５ｃ、供給側ガイドローラ２５ｅ、プッシャユニット２６、巻取側ガイドローラ２５ｆ、巻取側サブスプロケット２５ｄ、巻取側リミットローラ２５ｂ及び巻取側テープガイド２４ｂを経由して、巻取リール２２まで導く（図３のステップＳ１０）。これと同時に、オペレータは、保護テープ５０を、供給リール２１から３つのスペーサロール２３ａ〜２３ｃを経由して巻取リール２２に導くようにセットする。

次いで、オペレータは、ＴＣＰハンドラ２のモニタ及び入力装置（いずれも不図示）を介して、ＩＣチップ３３の形状及びリジェクト孔３５の形状を画像処理装置２９ａに登録する（ステップＳ２０）。ＩＣチップ３３に関する登録データは、ＴＣＰ３１の試験の必要性を判断するのに用いられ、リジェクト孔３５に関する登録データは、リジェクトパンチ２７ｂによる打ち抜きの必要性を判断するのに用いられる。

さらに、このステップＳ２０では、オペレータは、キャリアテープ３０におけるロット開始位置を示す形状と、ロット開始位置を示す形状の最初のフレームＦ_１における位置と、を画像処理装置２９ａに登録する。このキャリアテープ３０におけるロット開始位置を示す形状としては、リーダテープ４０には存在しないが最初のフレームＦ_１に存在するアライメント用マーク３６や配線３２、テストパッド３４等の形状を例示することができる。これらのロット開始位置を示す形状及び位置は、オペレータがモニタ（不図示）上で、図５のＷ_１やＷ_２にように、ウィンドウを用いて指定する。これら登録作業が完了したら、オペレータは、ＴＣＰハンドラ２のスタートボタン（不図示）を押す（ステップＳ３０）。

ＴＣＰハンドラ２がスタートすると、サーボモータ２６６，２６７が駆動して、スプロケット２６４，２６５が回転し、リーダテープ４０が供給リール２１から巻取リール２２に向かって搬送される。この間、画像処理装置２９ａは、第１のカメラ２８ａにより撮像された画像情報に対して１フレーム毎に画像処理を行って、当該画像情報中にロット開始位置を示す形状が存在するか否かを判断する（ステップＳ４０）。なお、このステップＳ４０にて、ロット開始位置を示す形状に代えて、或いは、それに加えて、第１のカメラ２８ａにより撮像された画像情報中にＩＣチップ３３やリジェクト孔３５が存在するか否かを判断しても良い。

画像情報中にロット開始位置を示す形状が存在すると判断された場合（ステップＳ４０にてＹＥＳ）には、キャリアテープ３０の先端部分４５が第１のカメラ２８ｂよりも巻取リール２２側に位置しているので、制御装置２９ｂは、スプロケット用のサーボモータ２６６，２６７を制御して、キャリアテープ３０を供給リール２１側に巻き戻す（ステップＳ５０）。

このキャリアテープ３０の巻き戻しの間、画像処理装置２９ａは、第１のカメラ２８ａにより撮像された画像情報に対して１フレーム毎に画像処理を行って、当該画像情報中にロット開始位置を示す形状があるか否かを判断する（ステップＳ６０）。例えば、ロット開始位置を示す形状としてアライメント用マーク３６を登録している場合には、画像情報中にアライメント用マーク３６が存在している限りはロット開始位置に達していないと判断し、画像情報中からアライメント用マーク３６が消えたらロット開始位置に達したと判断する。

画像情報中からロット開始位置を示す形状が消えない限り、キャリアテープ３０の巻き戻しを継続する（ステップＳ６０にてＹＥＳ）。これに対し、画像情報中からロット開始位置を示す形状がなくなったと判断したら（ステップＳ６０にてＮＯ）、キャリアテープ３０を巻取リール２２側に１フレームだけ搬送し（ステップＳ７０）、ＴＣＰハンドラ２の段取作業を終了する。この状態で、キャリアテープ３０の第１のフレームＦ_１（ロット開始位置）が第１のカメラ２８ａの上方に位置している。

一方、ステップＳ４０において、画像情報中にロット開始位置を示す形状が存在しないと判断された場合（ステップＳ４０にてＮＯ）には、未だ第１のカメラ２８ｂの上方にリーダテープ４０が位置しているので、制御装置２９ｂは、スプロケット用のサーボモータ２６６，２６７を制御して、リーダテープ４０を巻取リール２２側に搬送する（ステップＳ８０）。

このリーダテープ４０の送り搬送の間、画像処理装置２９ａは、第１のカメラ２８ａにより撮像された画像情報に対して１フレーム毎に画像処理を行って、当該画像情報中にロット開始位置を示す形状があるか否かを判断する（ステップＳ９０）。例えば、ロット開始位置を示す形状としてアライメント用マーク３６を登録している場合には、画像情報中にアライメント用マーク３６が存在しない限りはロット開始位置に達していないと判断し、画像情報中にアライメント用マーク３６が現れたらロット開始位置に達したと判断する。

画像情報中にロット開始位置を示す形状が現れない限り、キャリアテープ３０の送り搬送を継続する（ステップＳ９０にてＮＯ）。これに対し、画像情報中にロット開始位置を示す形状が現れたら(ステップＳ９０にてＹＥＳ)、ＴＣＰハンドラ２の段取作業を終了する。この状態で、キャリアテープ３０の第１のフレームＦ_１（ロット開始位置）が第１のカメラ２８ａの上方に位置している。

ＴＣＰハンドラ２の段取作業が終了すると、ＴＣＰ３１をテストするための通常のＴＣＰハンドラ２の動作が開始される（ロットスタート）。すなわち、サーボモータ２６６，２６７が駆動して、スプロケット２６４，２６５が供給リール２１から巻取リール２２に向かってキャリアテープ３０を順次搬送する。この搬送の間、画像処理装置２９ａは、第１のカメラ２８ａにより撮像された画像情報に対して１フレーム毎に画像処理を行って、ＩＣチップ３３の有無やリジェクト孔３５の有無を確認する。画像情報中にＩＣチップ３３が確認された場合には、プッシャユニット２６が、該当するＩＣチップ３３を有するＴＣＰ３１をプローブカード１２に押し付けて、当該ＴＣＰ３１の試験を実行する。また、画像情報中にリジェクト孔３５が確認された場合には、プッシャユニット２６は当該ＴＣＰ３１をプローブカード１２に押し付けずに（すなわち、ＴＣＰ３１の試験を行わずに）、リジェクトパンチ２７ｂが当該ＴＣＰ３１を打ち抜く。また、試験において不良と判断されたＴＣＰ３１もリジェクトパンチ２７ｂにより打ち抜かれる。

ロットをスタートすると、先ず、リジェクト孔３５が形成されている１〜３番目のフレームＦ_１〜Ｆ_３の不良ＴＣＰ３１をリジェクトパンチ２７ｂで打ち抜かなければならないが、本実施形態では、キャリアテープ３０のロット開始位置を第１のカメラ２８ａ上に自動的に位置させてからロットをスタートさせるので、フレームＦ_１〜Ｆ_３の不良ＴＣＰ３１をリジェクトパンチ２７ｂで自動的に打ち抜くことができる。そのため、段取時間の短縮を図ると共に、不良ＴＣＰの流出を防止することができる。

また、本実施形態では、アライメント用マーク３６や配線３２、テストパッド３４等の、ＴＣＰ３１におけるＩＣチップ３３以外の形状に基づいて、キャリアテープ３０におけるロット開始位置を検出するので、キャリアテープ３０の先端部分に位置する３個のＩＣチップ３３にリジェクト孔３５が形成されていても、キャリアテープ３０におけるロット開始位置を検出して、自動的にロットをスタートさせることができる。

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

例えば、上述の実施形態では、キャリアテープ３０において、連結部分４５から数個の不良のＴＣＰ３１に予めリジェクト孔３５が形成されている場合について説明したが、本発明においては特に限定されず、連結部分４５から数個の不良のＴＣＰ３１にリジェクト孔３５が形成されていなくても、先頭部分の不良個数を制御装置２９ｂに予め登録しておくことで、プッシャユニット２６で押付を行わずにリジェクトパンチ２７ｂで自動的に打ち抜き処理を行っても良い。

図１は、本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置の全体を示す正面図である。図２は、本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置の制御系を示すブロック図である。図３は、本発明の実施形態に係るＴＣＰ試験装置に段取方法を示すフローチャートである。図４は、ＴＣＰ試験装置に用いられるリーダテープ及びキャリアテープを示す平面図である。図５は、ＴＣＰ試験装置に用いられるリーダテープ及びキャリアテープを示す拡大平面図である。

符号の説明

１…ＴＣＰ試験装置
１０…テストヘッド
２…ＴＣＰハンドラ
２１，２２…リール
２６…プッシャユニット
２６１…プッシャ本体
２６２…サーボモータ
２６３…プッシャステージ
２６４，２６５…スプロケット
２６６，２６７…サーボモータ
２８ａ〜２８ｃ…カメラ
２９ａ…画像処理装置
２９ｂ…制御装置
３０…キャリアテープ
Ｆ_ｎ…フレーム
３１…ＴＣＰ
３２…配線
３３…ＩＣチップ
３４…テストパッド
３５…リジェクト孔
３６…アライメント用マーク
４０…リーダテープ
４５…連結部分

Claims

ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に前記キャリアテープを押圧し、前記ＴＣＰの入出力端子を前記コンタクト部の接触端子に接触させることにより複数のＴＣＰを順次試験するためのＴＣＰ試験装置であって、
前記キャリアテープにおけるロット開始位置を検出する第１の検出手段と、
前記キャリアテープの先端部に連結されたリーダテープ及び前記キャリアテープを搬送する搬送手段と、
前記搬送手段の動作を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記第１の検出手段の検出結果に基づいて、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを、所定の搬送方向、又は、前記所定搬送方向とは反対方向に搬送するように、前記搬送手段を制御するＴＣＰ試験装置。
前記第１の検出手段は、前記リーダテープと前記キャリアテープとの相違に基づいて、前記ロット開始位置を検出する請求項１記載のＴＣＰ試験装置。
前記第１の検出手段は、前記所定搬送方向において前記コンタクト部よりも上流側に設けられている請求項１又は２記載のＴＣＰ試験装置。
前記キャリアテープは、少なくとも一つの前記ＴＣＰをそれぞれ割り当てられた複数のフレームを備えており、
前記キャリアテープにおける前記ロット開始位置は、前記キャリアテープにおける前記所定搬送方向の最初の前記フレームである請求項１〜３の何れかに記載のＴＣＰ試験装置。
前記第１の検出手段は、前記リーダテープには存在しないが前記最初のフレームに存在する所定のパターン形状に基づいて、前記ロット開始位置を検出する請求項４記載のＴＣＰ試験装置。
前記パターン形状は、前記キャリアテープ上に形成されたＴＣＰ位置決め用のマーク、配線、又は、テストパッドのうちの少なくとも一つを含む請求項５記載のＴＣＰ試験装置。
前記第１の検出手段は、
前記リーダテープ及び前記キャリアテープを撮像可能な撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像情報に対して所定の画像処理を行うことで前記パターン形状を検出する画像処理手段と、を有する請求項５又は６記載のＴＣＰ試験装置。
前記制御手段は、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出しない場合、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出するまで、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送するように、前記搬送手段を制御する請求項１〜７の何れかに記載のＴＣＰ試験装置。
前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出した場合に、前記制御手段は、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなるまで、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送するように、前記搬送手段を制御する請求項１〜７の何れかに記載のＴＣＰ試験装置。
前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなったら、前記制御手段は、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に搬送するように、前記搬送手段を制御する請求項９記載のＴＣＰ試験装置。
前記キャリアテープ上の前記ＩＣチップを検出する第２の検出手段と、
前記キャリアテープに形成された貫通孔を検出する第３の検出手段と、
前記キャリアテープ上のＴＣＰを前記コンタクト部に押圧する押圧手段と、
前記キャリアテープ上において所定のＴＣＰを打ち抜く打抜手段と、をさらに備えており、
前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送し、前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出した後に、又は、
前記第１の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなり、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープの前記所定搬送方向への搬送を開始した後に、
前記第２の検出手段が前記ＩＣチップを検出した場合に、前記押圧手段が当該ＴＣＰを押圧し、
前記第３の検出手段が前記貫通孔を検出した場合、又は、ＴＣＰが不良であった場合に、前記打抜手段が当該ＴＣＰを打ち抜く請求項８又は１０記載のＴＣＰ試験装置。
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に前記キャリアテープを押圧し、前記ＴＣＰの入出力端子を前記コンタクト部の接触端子に接触させることにより複数のＴＣＰを順次試験するＴＣＰ試験装置において、前記キャリアテープを交換した際の前記ＴＣＰ試験装置を段取りする段取方法であって、
前記キャリアテープにおけるロット開始位置を検出する第１の検出ステップと、
前記第１の検出ステップにおける検出結果に基づいて、前記キャリアテープの先端に連結されたリーダテープ及び前記キャリアテープを、所定の搬送方向又は前記所定搬送方向とは反対方向に搬送する搬送ステップと、を備えたＴＣＰ試験装置の段取方法。
前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されるまで、前記搬送ステップにおいて、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送する請求項１２記載のＴＣＰ試験装置の段取方法。
前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置が検出された場合に、前記搬送ステップにおいて、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されなくなるまで、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送する請求項１２記載のＴＣＰ試験装置の段取方法。
前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されなくなったら、前記搬送ステップにおいて、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に搬送する請求項１４記載のＴＣＰ試験装置の段取方法。
前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送し、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置を検出した後に、又は、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置を検出しなくなり、前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープの前記所定搬送方向への搬送を開始した後に、前記キャリアテープ上に前記ＩＣチップを検出した場合に、前記キャリアテープ上のＴＣＰを前記コンタクト部に押圧する押圧ステップと、
前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送し、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置を検出した後に、又は、前記第１の検出ステップで前記ロット開始位置を検出しなくなり、前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープの前記所定搬送方向への搬送を開始した後に、前記キャリアテープ上に前記貫通孔を検出し又はＴＣＰが不良であった場合に、当該ＴＣＰを打ち抜く打抜ステップと、をさらに備えた請求項１３又は１５記載のＴＣＰ試験装置の段取方法。