JP2003045919A - Ｔｃｐ用ハンドラ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 デバイス特性の多分類表示を簡易な構成でで
きるＴＣＰ用ハンドラを提供する。 【解決手段】 ＴＣＰ用ハンドラ１００は、フィルムに
デバイスを貼付したＴＣＰが複数連接されたＴＣＰテー
プ１を走行させる。試験装置２００は、ＴＣＰテープ１
の走行経路中に設けられ、デバイスと接続することによ
りデバイスを試験する。制御装置ＣＯＮＴは、フィルム
に対してインクを射出することによりドットを描画可能
な射出部３１の射出動作を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フィルムにデバイ
スを貼付したＴＣＰ（Tape Carrier Package）が複数連
接されたＴＣＰテープを走行させるとともに、デバイス
を試験装置に接続することにより選別するＴＣＰ用ハン
ドラに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、ＴＣＰは、ＴＡＢ（Tape
Automated Bonding）技術を用いることによりフィルム
上に半導体チップ（デバイス）を実装している。実際
に、デバイスがプリント基板に搭載される前の搬送段階
では、ＴＣＰは複数が連接されたテープ状となってい
る。このようなテープ形態のＴＣＰ（以下、「ＴＣＰテ
ープ」と称する）におけるデバイスは、専用のＴＣＰ用
ハンドラによって選別される。

【０００３】従来におけるＴＣＰ用ハンドラは、ＴＣＰ
テープが巻かれている供給リールと、ＴＣＰテープを巻
き取ることによって走行させる収容リールと、試験装置
による試験結果に基づいて、ＴＣＰフィルムに前記試験
結果に関する情報を含む所定のマーク穴を形成するマー
クパンチ部と、前記試験結果に基づいて不良と判断され
たＴＣＰのデバイスを打ち抜くリジェクトパンチ部とを
備えている。前記試験装置の内、プローブカードはＴＣ
Ｐテープの走行経路中に設けられる。ＴＣＰのテストパ
ッドにプローバを接触させて、デバイスを試験する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＴＣＰ
用ハンドラは、マークパンチ部及びリジェクトパンチ部
のそれぞれを通常１基しか備えておらず、したがって、
例えば、マークパンチ部においては、デバイスの良品・
不良品グレードの表示を、マーク穴を形成するか否かに
よって２通りしか表示できない。このように、従来にお
いては、試験結果に基づくデバイスの分類表示を２通り
しか表示できず、それ以上のデバイス毎の試験結果を得
るには、別途に保存された分類データと照合するなど煩
雑な作業を必要とした。一方、マークパンチ部を複数設
けることも考えられるが、装置の大型化・コスト上昇を
招く。

【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、デバイス特性の多分類表示を簡易な構成ででき
るＴＣＰ用ハンドラを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１記載のＴＣＰ用ハンドラは、フィルムにデ
バイスを貼付したＴＣＰが複数連接されたＴＣＰテープ
を走行させ、前記ＴＣＰテープの走行経路中に前記デバ
イスと接続することにより該デバイスを試験装置で試験
するＴＣＰ用ハンドラにおいて、前記走行経路中に、前
記フィルムに対してインクを射出することによりドット
を描画可能な射出部と、前記射出部の射出動作を制御す
る制御装置とを備えることを特徴とする。

【０００７】本発明によれば、インクを用いてドットを
描画可能な射出部を設けたことにより、簡易な構成でデ
バイスを多分類できる。また、従来のリジェクトパンチ
部に替えて射出部を設置することにより不良判定された
デバイスの打抜き工程もなくなる。

【０００８】請求項２記載のＴＣＰ用ハンドラは、請求
項１記載のＴＣＰ用ハンドラにおいて、前記射出部は複
数設けられ、前記制御装置は、前記複数の射出部のそれ
ぞれの射出動作を制御して前記フィルムに所定のドット
パターンを描画することを特徴とする。

【０００９】本発明によれば、複数の射出部を用いてド
ットパターンを描画することによりデバイスを多分類で
きる。したがって、従来のように別途に保存された分類
データとフィルムとの照合といったような煩わしい作業
がなくなり、多分類表示からデバイスの良否やグレード
を判別できる。そして、本発明によれば、開発段階にお
けるテープの不良解析や通常の量産品検査作業が改善さ
れる。

【００１０】請求項３記載のＴＣＰ用ハンドラは、請求
項２記載のＴＣＰ用ハンドラにおいて、前記射出部は少
なくとも４つ設けられていることを特徴とする。

【００１１】本発明によれば、射出部を４つ設けること
によって４ドット表示の有無による１６通りの分類表示
ができる。

【００１２】請求項４記載のＴＣＰ用ハンドラは、請求
項１〜請求項３の何れかに記載のＴＣＰ用ハンドラにお
いて、前記制御装置は、前記試験装置の試験結果に応じ
て前記射出部の射出動作を制御することを特徴とする。

【００１３】本発明によれば、試験装置の試験結果に応
じて射出部からインクが射出されるので、試験結果に基
づくデバイスの良否やグレードを多分類表示できる。

【００１４】請求項５記載のＴＣＰ用ハンドラは、請求
項１〜請求項４の何れかに記載のＴＣＰ用ハンドラにお
いて、前記ＴＣＰテープを挟んで前記射出部と反対側に
設けられたステージ部と、前記ＴＣＰテープに対して前
記射出部を接離方向に移動可能に支持するとともに、前
記射出部の前記ＴＣＰテープに対する接近に応じて、前
記ステージ部を前記ＴＣＰテープに接触させるように移
動させる移動装置とを備えることを特徴とする。

【００１５】本発明によれば、ＴＣＰテープに対する射
出部の接近に応じて反対側からステージ部がＴＣＰテー
プに接触することにより、射出部のインク転写動作時に
おいてＴＣＰテープはステージ部に支持される。したが
って、インク転写動作は安定する。

【００１６】請求項６記載のＴＣＰ用ハンドラは、請求
項５記載のＴＣＰ用ハンドラにおいて、前記移動装置
は、シリンダ本体と、前記シリンダ本体を軸方向に移動
可能に支持するスライドガイド部と、前記シリンダ本体
に対して所定ストロークで出入可能なロッドと、前記ロ
ッドの前記シリンダ本体に対する最も出た位置から挿入
方向への移動を所定位置で規制するストッパ部材とを備
え、前記所定ストロークのうち、前記ストッパ部材によ
って前記ロッドの移動が規制された後の残りストローク
だけ前記シリンダ本体は前記スライドガイド部に支持さ
れながら軸方向に移動するように設けられ、前記射出部
は前記ロッドに接続され、前記ステージ部は前記シリン
ダ本体に接続されていることを特徴とする。

【００１７】本発明によれば、ＴＣＰテープに対する射
出部の接近動作とステージの接近動作とを１つのシリン
ダで兼ねるので装置構成をシンプルかつコンパクト化で
きる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明のＴＣＰ用ハンドラ
について図面を参照しながら説明する。図１は本発明の
ＴＣＰ用ハンドラの一実施形態に係る全体図、図２は本
発明の特徴部分であるインキ射出部近傍の正面図、図３
は図２の側面図、図４はインク射出部の拡大図、図５は
インクによるドットパターンが描画されたＴＣＰを示す
図である。

【００１９】図１において、ＴＣＰ測定システムＳは、
ＴＣＰテープ１を走行させるＴＣＰ用ハンドラ１００
と、ＴＣＰテープ１の走行経路中に設けられ、ＴＣＰテ
ープ１のデバイスと接続することによりデバイスを試験
する試験装置２００とを備えている。ＴＣＰテープ１
は、フィルムにデバイス（半導体チップ）を貼付したＴ
ＣＰ（Tape Carrier Package）が複数連接されたもので
ある。

【００２０】更に、ＴＣＰ用ハンドラ１００は、ＴＣＰ
テープ１を装着する供給リール２Ａと、供給リール２Ａ
に装着されているＴＣＰテープ１を巻き取る収容リール
２Ｂとを備えている。収容リール２Ｂは、試験装置２０
０によって電気試験あるいは分類識別されたＴＣＰテー
プ１を巻き取る。供給リール２Ａ及び収容リール２Ｂの
それぞれには傾斜ガイド２１，２２が設けられている。
また、供給リール２Ａと収容リール２Ｂとの間における
ＴＣＰテープ１の走行経路中には、スプロケット３Ａ、
プーリ４Ａ、ガイド５Ａ、テンションプーリ６Ａ、スプ
ロケット７Ａ、スプロケット７Ｂ、テンションプーリ６
Ｂ、ガイド５Ｂ、プーリ４Ｂ、スプロケット３Ｂが設け
られている。そして、これらスプロケット、プーリ、ガ
イド、テンションプーリ、及び収容リールによって、Ｔ
ＣＰテープ１を所定の速度・張力で走行させるＴＣＰ用
ハンドラ１００が構成されている。ここで、各スプロケ
ットが制御されて回転することによりＴＣＰテープ１が
移送されるが、ＴＣＰテープ１は、これらスプロケット
によって間欠送りされる。

【００２１】試験装置２００は、プローブカード１２
と、アタッチメントユニット１３と、テストヘッド１４
とを備えている。プッシャ９，１０がＴＣＰテープ１を
押下することにより、ＴＣＰのテストパッドと測定ピン
とが接触導通する。試験装置２００の試験結果は制御装
置ＣＯＮＴに出力される。デバイスを試験する際、ＴＣ
Ｐテープ１を間欠送り可能なＴＣＰ用ハンドラ１００は
ＴＣＰのデバイスと試験装置２００とを位置合わせしつ
つＴＣＰテープ１の走行を停止する。前記位置合わせは
カメラ１５によるＴＣＰの撮像結果に基づいて行われ
る。つまり、カメラ１５によるＴＣＰ画像の撮像結果は
画像処理装置１５Ｃに出力され、画像処理装置１５Ｃは
カメラ１５による画像データに基づいて画像処理し、処
理結果を制御装置ＣＯＮＴに出力する。制御装置ＣＯＮ
Ｔは画像処理装置１５Ｃの処理結果に基づいて、ＴＣＰ
のデバイスと試験装置２００の測定ピンとが位置合わせ
されるように試験時のＴＣＰを位置制御する。

【００２２】ＴＣＰテープ１の走行経路のうち測定部の
下流側には、ＴＣＰのフィルムに対してマーク穴を形成
可能なマークパンチ部１１と、ＴＣＰのフィルムに対し
てインクを射出することによりドットを描画可能な射出
部３１を備えた分類部３０とが設けられている。マーク
パンチ部１１は、試験装置２００の試験結果に基づいて
ＴＣＰのフィルムにマーク穴を打ち抜く。

【００２３】供給リール２Ａの走行経路下流側には検出
器群２３が配置されており、収容リール２Ｂの走行経路
上流側には検出器群２５が配置されている。検出器群２
３は、リーダテープ及び被試験ＴＣＰの有無を感知す
る。検出器群２３の検出結果は制御装置ＣＯＮＴに出力
される。制御装置ＣＯＮＴは、カメラ１５Ａで検出され
たＴＣＰが測定部に移動したとき、前記検出結果に基づ
いてＴＣＰの試験の可否を試験装置２００に指示する。
検出器群２５も、ＴＣＰテープ１の有無を感知する。ま
た、測定部の上流側及び下流側のそれぞれにはＴＣＰテ
ープ１の画像を撮像可能なカメラ１５Ａ，１５Ｂが設け
られている。これらカメラ１５Ａ，１５Ｂの撮像信号は
画像処理装置１５Ｃに出力され、この画像処理結果によ
って、走行するテープがリーダテープか被試験ＴＣＰか
の確認や、デバイスの有無の確認及びＴＣＰの試験の可
否の判断、あるいはパンチ穴を検出できる。

【００２４】次に、本発明の特徴的な部分である分類部
（射出部）３０について説明する。図２と図３に示すよ
うに、分類部３０は、ＴＣＰのフィルムに対してインク
を射出することによりドットを形成可能な射出部３１を
備えている。射出部３１は、図４に示すように、カート
リッジ方式のインク貯留部６６と、インク射出口３１ａ
とを有している。そして、ホルダ６４内のソレノイド６
５に一定のパルス電流を流すことによりエレメント６７
が上下に動く。

【００２５】分類部３０は、基板部３８Ａ，３８Ｂと、
基板部３８Ｂに垂直に立てられた柱部３９と、柱部３９
に支持されたスライドガイド部４０と、スライドガイド
部４０に接続されたシリンダ本体４１ａと、シリンダ本
体４１ａに対して所定ストロークＬで出入可能なロッド
４１ｂとを備えている。シリンダ本体４１ａとロッド４
１ｂとによってエアシリンダ４１が構成されており、ロ
ッド４１ｂはエアシリンダ４１の軸方向にシリンダ本体
４１ａに対して軸方向（図中、上下方向）に移動する。
また、シリンダ本体４１ａはスライドガイド部４０によ
って軸方向に移動可能に支持されている。シリンダ本体
４１ａの上部と柱部３９とは、ばね４３及び連結部材４
３ａ、４３ｂを介して連結されている。ばね４３は上下
方向（すなわちシリンダ４１の軸方向）に伸縮するよう
に設けられており、シリンダ本体４１は、ばね４３によ
って下方への付勢力を作用されつつスライドガイド部４
０に軸方向に移動可能に支持される。

【００２６】ロッド４１ｂの上端には連結部材４２ａが
固定され、連結部材４２ａにはプレート４２が固定され
ている。そして、プレート４２には射出部３１を保持す
るアーム部４４が固定されている。

【００２７】図２に示すように、射出部３１は複数並列
に設けられ、本実施形態においては４つ設けられてい
る。これら複数の射出部３１はアーム部４４によって、
互いに所定の角度で一体に保持されている。複数（４
つ）設けられた射出部３１のそれぞれのインク射出動作
は、制御装置ＣＯＮＴによって制御される。

【００２８】射出部３１のインク射出口３１ａと対向す
る位置にはステージ部５２が設けられている。ＴＣＰテ
ープ１は射出部３１のインク射出口３１ａとステージ部
５２との間を走行するように設定されている。ステージ
部５２はシリンダ本体４１ａに接続している。シリンダ
本体４１ａに接続しているステージ部５２はシリンダ本
体４１ａの移動によってＴＣＰテープ１に対して接離方
向に移動可能となっている。また、連結部材４２ａ、プ
レート４２、アーム部４４を介してロッド４１ｂに接続
している射出部３１は、ロッド４１ｂの移動によってＴ
ＣＰテープ１に対して接離方向に移動可能となってい
る。なお、ステージ部５２のうちＴＣＰテープ１と対面
する部分には絶縁材によって構成されているマット５１
が設けられている。マット５１はＴＣＰのデバイス位置
が異なる数種のＴＣＰテープに対応するため、ＴＣＰテ
ープ１の走行方向に対して例えば±３ｍｍ微動可能とな
っている。

【００２９】アーム部４４は、ネジ３５とネジ３６Ａ，
３６Ｂとを調整することにより、ＴＣＰテープ１に対し
て垂直方向及び幅方向にそれぞれ所定範囲（例えば±５
ｍｍ）の位置調整が可能である。また、アーム部４４の
位置調整が完了してネジ４７を固定すればアーム部４４
とエアシリンダ４１との位置関係が維持される。ＴＣＰ
テープ１の走行方向に対するアーム部４４の位置調整
は、ネジ４８の調整にてユニット全体がこの方向に移動
可能となるため、ＴＣＰテープ１に対して自由に位置調
整できる。

【００３０】プレート４２の下端にはアテガネ（ストッ
パ部材）５９ａが設けられている。一方、基板部３８Ａ
側において、アテガネ５９と対向する位置にはストップ
ピン（ストッパ部材）５９ｂが設けられている。

【００３１】次に、上述した構成を備えるＴＣＰ用ハン
ドラ１００の分類部３０によってＴＣＰのフィルムにド
ットを描画する方法について説明する。ＴＣＰ用ハンド
ラ１００によってＴＣＰテープ１が間欠送りされ、停止
した状態で試験装置２００がＴＣＰを試験する。試験結
果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。

【００３２】試験装置２００によって試験されたＴＣＰ
が分類部３０に移送される。なお、このとき（描画開始
前）、エアシリンダ４１のロッド４１ｂはシリンダ本体
４１ａから最も出た状態（上方に出た状態）となってお
り、ロッド４１ｂに連結部材４２ａ及びプレート４２を
介して接続されているアーム部４４も上方に移動された
状態となっている。したがって、アーム部４４に保持さ
れている射出部３１も上方に移動されており、射出部３
１とＴＣＰテープ１とは離間している。

【００３３】ＴＣＰが分類部３０に移送されたら、分類
部３０はドット描画動作を開始する。まず、エアシリン
ダ４１のロッド４１ｂが下降する。ロッド４１ｂが所定
距離Ｌ１（例えば１５ｍｍ）下方に移動すると、プレー
ト４２の下端のアテガネ５９ａとストップピン５９ｂと
が当たる。このとき、所定距離Ｌ１はロッド４１ｂのス
トロークＬより小さい。アテガネ５９ａとストップピン
５９ｂとが当たることにより、射出部３１のインク射出
口３１ａが高さ方向所定位置に設定される。ここで、イ
ンク射出口３１ａがＴＣＰテープ面と接するように設定
されている。すなわち、アテガネ５９ａ及びストップピ
ン５９ｂが、ロッド４１ｂのシリンダ本体４１ａに対す
る最も出た位置から挿入方向（図中、下方向）への移動
を所定位置（インク射出口３１ａがＴＣＰテープ面に接
する位置）で規制するストッパ部材５９となっている。

【００３４】次いで、ロッド４１ｂの下方への移動、す
なわち、射出部３１の下方への移動がストッパ部材５９
によって規制されたら、エアシリンダ４１のストローク
Ｌのうち、ストッパ部材５９によってロッド４１ｂの移
動が規制された後の残りのストロークＬ２（＝Ｌ−Ｌ
１，例えば５ｍｍ）だけ、シリンダ本体４１ａがスライ
ドガイド部４０に支持されながら上方に移動する。する
と、シリンダ本体４１ａに接続しているステージ部５２
も上方に移動する。上昇したステージ部５２は、マット
５１を介してＴＣＰテープ１下面に接触し、ＴＣＰテー
プ１を支持する。

【００３５】このように、シリンダ本体４１ａ及びロッ
ド４１ｂ、スライドガイド部４０、ストッパ部材５９に
よって、射出部３１のＴＣＰテープ１に対する接近に応
じて、ステージ部５２をＴＣＰテープ１に接触させるよ
うに移動させる移動装置３００が構成されている。

【００３６】そして、ＴＣＰテープ１の下面をステージ
部５２に支持させた状態で、射出部３１のソレノイド６
５を作動させると、インクがエレメント６７を介してイ
ンク射出口３１ａよりＴＣＰテープ１のフィルムに転写
される。

【００３７】ここで、４つの射出部３１のそれぞれの射
出動作は、試験装置２００の試験結果に応じて制御装置
ＣＯＮＴにより制御される。すなわち、試験装置２００
によるＴＣＰデバイスの良否やグレードに応じて、制御
装置ＣＯＮＴは複数の射出部３１のそれぞれの射出動作
（インクを射出するか否か）を制御して、図５に示すよ
うに、ＴＣＰテープ１のフィルムにインクを用いて所定
のドットパターンＰＡを描画する。

【００３８】ドット描画が終了したら、ロッド４１ａが
上昇し、これに伴って射出部３１が上昇するとともにス
テージ部５２が下降し、元の待機位置まで戻る。なお、
シリンダ本体４１ａを含む移動装置３００全体の一連の
動作は、シリンダ本体４１ａを下方に向けて付勢するば
ね４３によって安定する。

【００３９】以上説明したように、インクを用いてドッ
トを描画可能な射出部３１を設けたことにより、試験装
置２００の試験結果に基づくデバイスの良否やグレード
を簡易な構成で多分類表示できる。そして、マークパン
チ部１１を併用することにより、より多い選別ができ
る。

【００４０】複数の射出部３１を並列に設置することに
よりドットパターンを描画でき、分類表示をより詳細に
できる。そして、射出部３１を４つ設けることによって
４ドット表示の有無による１６通りの分類表示ができ
る。

【００４１】ＴＣＰテープ１に対する射出部３１の接近
に応じて下面側からステージ部５２をＴＣＰテープ１に
接近させ接触させることにより、射出部３１のインク転
写動作時において、ＴＣＰテープ１をステージ部３１で
支持しつつ安定してインク転写動作できる。そして、１
つのシリンダ４１で、ＴＣＰテープ１に対する射出部３
１の接近動作とステージ部５２の接近動作とを行うの
で、装置構成はシンプルかつコンパクト化される。

【００４２】なお、上記実施形態において、射出部３１
を複数並列して設け、これら複数の射出部３１のそれぞ
れの射出動作を制御することによって所定のドットパタ
ーンを描画するように説明したが、射出部３１を１つと
し、インク射出動作時において、射出部３１あるいはＴ
ＣＰテープ１をステップ移動させつつインク転写するこ
とにより、１つの射出部３１でも所定のドットパターン
を描画できる。

【００４３】

【発明の効果】デバイス試験結果の良否やグレード表示
のために、ＴＣＰフィルムにインクを用いてドット描画
するようにしたので、良否判定を含むグレード選別を簡
易な構成で詳細に分類表示できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のＴＣＰ用ハンドラの一実施形態に係る
全体構成図である。

【図２】射出部近傍の正面図である。

【図３】図２の側面図である。

【図４】射出部の拡大図であって（ａ）は側面図、
（ｂ）は正面図である。

【図５】ドットパターンが描画されたＴＣＰを示す図で
ある。

【符号の説明】

１ ＴＣＰテープ ３１ 射出部 ４０ スライドガイド部 ４１ エアシリンダ ４１ａ シリンダ本体 ４１ｂ ロッド ５２ ステージ部 ５９ ストッパ部材 ５９ａ アテガネ ５９ｂ ストップピン １００ ＴＣＰ用ハンドラ ２００ 試験装置 ３００ 移動装置 ＣＯＮＴ 制御装置 ＰＡ ドット、ドットパターン Ｓ ＴＣＰ測定システム

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フィルムにデバイスを貼付したＴＣＰが
   複数連接されたＴＣＰテープを走行させ、前記ＴＣＰテ
   ープの走行経路中に前記デバイスと接続することにより
   該デバイスを試験装置で試験するＴＣＰ用ハンドラにお
   いて、 前記走行経路中に、前記フィルムに対してインクを射出
   することによりドットを描画可能な射出部と、 前記射出部の射出動作を制御する制御装置とを備えるこ
   とを特徴とするＴＣＰ用ハンドラ。
2. 【請求項２】 前記射出部は複数設けられ、 前記制御装置は、前記複数の射出部のそれぞれの射出動
   作を制御して前記フィルムに所定のドットパターンを描
   画することを特徴とする請求項１記載のＴＣＰ用ハンド
   ラ。
3. 【請求項３】 前記射出部は少なくとも４つ設けられて
   いることを特徴とする請求項２記載のＴＣＰ用ハンド
   ラ。
4. 【請求項４】 前記制御装置は、前記試験装置の試験結
   果に応じて前記射出部の射出動作を制御することを特徴
   とする請求項１〜請求項３の何れかに記載のＴＣＰ用ハ
   ンドラ。
5. 【請求項５】 前記ＴＣＰテープを挟んで前記射出部と
   反対側に設けられたステージ部と、 前記ＴＣＰテープに対して前記射出部を接離方向に移動
   可能に支持するとともに、前記射出部の前記ＴＣＰテー
   プに対する接近に応じて、前記ステージ部を前記ＴＣＰ
   テープに接触させるように移動させる移動装置とを備え
   ることを特徴とする請求項１〜請求項４の何れかに記載
   のＴＣＰ用ハンドラ。
6. 【請求項６】 前記移動装置は、シリンダ本体と、 前記シリンダ本体を軸方向に移動可能に支持するスライ
   ドガイド部と、 前記シリンダ本体に対して所定ストロークで出入可能な
   ロッドと、 前記ロッドの前記シリンダ本体に対する最も出た位置か
   ら挿入方向への移動を所定位置で規制するストッパ部材
   とを備え、 前記所定ストロークのうち、前記ストッパ部材によって
   前記ロッドの移動が規制された後の残りストロークだけ
   前記シリンダ本体は前記スライドガイド部に支持されな
   がら軸方向に移動するように設けられ、 前記射出部は前記ロッドに接続され、前記ステージ部は
   前記シリンダ本体に接続されていることを特徴とする請
   求項５記載のＴＣＰ用ハンドラ。