TW200837369A - TCP testing apparatus and method for preparing TCP testing apparatus - Google Patents

Description

200837369 • 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用以測試IC元件之一種的TCP ( Tape

Carrier Pack age)或 C0F( Chip On Film)(以下將由 TCP、 COF、及 TAB ( Tape Automated Bonding )封裝技術所封裳 的元件統稱之為「T C P」），所使用之捲帶式封裝測試裝置 及其設定方法。 【先前技術】 在1C元件等的電子元件製造過程中，使用用以測試最 終製造出的電子元件或其中間階段的元件等的性能或功能 的測試之電子元件測試裝置，在測試Tcp的性能或功能時 係使用TCP測試裝置。 TCP測試裝置一般係由下列構成：測試本體、測試頭、 及TCP處理裝置（以下亦簡稱為Tcp處理器）。該處 理器，能夠運送在捲帶（亦包含膜片的概念，以4亦同『 上形成複數TCP的搬運帶，將搬運帶壓到電氣連接於測、 頭的探針卡的探針，使KP的輸出輸人端子和㈣電_ 接’並依序執行複數TCP的測試。 上述TCP測試裝置，每完成一個 1口孤夂，就將完成測讀 的搬運帶從TCP處理器的供應軸移 、』八 册舌如从—Af _ 4 亚執仃將新的搬運 …放在供應軸上的操作。在執行這些操 一個批次，但是，在此時，使用設置於接觸部之下，二 攝影機，自動檢出在搬運帶中開頭 鳊的 ic日日片的方法係為已

2247-9248-PF 5 200837369 知（例如，參見專利文獻1)。 第4及第5圖為顯示使用於Tcp測試裝置的 搬運帶的平面圖及放大平面圖。 ¥’及 一般而言’在tcp處理器中，為了使搬運帶跨越2個 捲軸之間，如第4圖所示，搬運帶3〇的前端部連姓了前導 帶4〇:該前導帶40和搬運帶30 +同，完全沒有形成Tcp ’而疋僅由例如透明或黑色的捲帶構成。而且， 分45附近的數個（在第4圖所示之例中為3個。二般：： 1〜5個之譜）TCP31 (第4圖的框Fl〜F4 TCP31) ^因為 二=則:搬運帶3。連結時，或是將搬運帶如架設在 杰〜％有可忐會使其負荷增加，而被視為是不良品，在 别私序於1C晶片33形成退出孔35。為了切 縯程序，必須將呈右γI 斤寻後

Trpri _ /、有形成了該退出孔35的IC晶片33之 、错由位於接觸部下游處之退出打孔機將之打孔。 、的IC曰曰片自動檢出方法中，無法 π附近的不良Trpqi κ逆、、、口邛刀 晶片33(Γ/円搬運帶30沒有形成退出孔 η μ… 4圖的框F4之Tcp31 )檢出為其開頭。 因此’必須手動蔣I 册 、 、運▼ 30的開頭部分的不良ΊΧΡ31 (第 4圖的框弟 ^ ^ ^ )打孔，其結果為，無法自動執行 <疋知作，而使得設定時間變長。 的上=:般而言，Tcp測試裝置中，#由位於接觸部 :上：處的弟—攝影機，監請之有無以及退出孔的有 莱之後，以接觸部的測 於此，上述的開頭IC=或退出打孔機執行打孔。相對 、曰日片的自動檢出方法中，由於藉由位.

2247-9248-PF 6 200837369 於接觸部之下游處的第 開始之前，必項你你 〜4而铋出開頭TCP，在批次 到設定操作的“化運帶回到第1攝影機’而無法充分達 始位==藉不由操作者的目視來檢出搬運帶上的批次開 而沒有把::因為錯誤操作或批次開始位置誤認 而叹有把不良Tcp打孔 不良1C流到後續程岸.斤主在搬運罗上’而可能造成 k年，70件有小型化的傾向，而使 侍錯娛刼作/誤認的可能性隨之增高。 [專利文獻1]特開2003-98219號公報 【發明内容】 本發明目的在於提供Tcp測試裝置，其能夠使設定時 間細短亚防止不良TCP流出。 (1 )為解決上述目的，佑Μ 7依據本發明，其為用以搬運形 成複數TCP的搬運帶，將該搬運帶壓到和測試頭電性連結 的接觸部’猎由使該TCP的輸出輸入端子和該接觸部的接 觸端子接觸，而依序測試複數的Tcp # Tcp測試I置，其 包含：第1檢出裝置’其檢出在該搬運帶上的批：開始;立 置；搬運裝置，其搬運與該搬運帶前端部連結的前導^及 該搬運帶；控制裝置，其控制該搬運裝置的動作；該押制 裝置，依據該第1檢出裝置的檢出結果，控制該搬運m 使該搬運裝置將該前導帶及該搬運帶在特定搬運方=或該 特定方向的相反方向搬運（參見申請專利範圍第丨項）3 ^ 在本發明中，在TCP測試裝置設有用以檢出搬運帶上

2247-9248-PF 7 W0837369 的批次開始位置的第〗檢 的檢出結果執行搬 又，而依據該第1檢出裝置 搬運帶前端部份的幾個ic“=、錯此，即使在位於 方式將不良TCP打$ π /成退出孔也無須以手動 動使批-欠二 為可以檢出批次開始位置，並自 々從那-人開始，所 1曰 不良TCP的流出。°叹疋時間的縮短，並能防止 雖在上述發明中並不特別限定， 檢出裝置依據該前導帶另兮為盒.該弟i 開始位置（史見申運帶的不同’檢測出該批次 1 >見申请專利範圍第2項）。 雖在上述發明中並 檢出裝置… 疋，但以此為佳：該第1 Γ… 特定搬運方向上較該接觸部更上游處 (參見申請專利範圍第 啊I更上與處 比接觸邻f F* 、）。錯由將第1檢出裝置設在 ° 為處’而能夠達成設㈣作的效率化。

雖在上述發明中並不转πψ ^ J * Η、 I不4寸別限疋，但以此為佳：該搬運 f ’具有为別分配給至少一 * μ A 個忒TCP的禝數之框，該搬運 、 係為该搬運T上該特定搬運方向 的取初的絲（參^請專利範圍第4項卜 雖在上述發明中並不特別m以此為佳：該第1 才欢出裝置，係依據不存在於 豕个仔隹於5亥刖導常但存在於該最初的框 的特定之圖案形狀’以檢出該批次開始位置 利範圍第5項）。 /月号 …雖在上述發明中並不特別限定，但以此為佳：該圖案 形狀包含下列至少一者：形成於該搬運帶之抑位置決定 用的記號、線路、或測試塾（參見中請專利範圍第6項）。

2247-9248-PF 8 200837369 依據用於TCP位置決定的記號、線路 在TCP上除了 Ic晶片以 - d忒墊4的 開始位置，藉此，即使在位 在搬運-的批次 片形成退出孔，也"二㈣端部份的幾個IC晶 次開始。 1夠自動檢出批次開始位置並自動使批 檢出發明中並不特別限定，但以此為佳：該第！ 帶 =·攝衫裝置’丨可以拍攝該前導帶及該搬運 :二：像處理裝置’其對於該攝影裳置拍攝的影像資料 订：疋的影像處理，藉此以檢出該圖案形狀（參見申請 專利範圍第7項）。 +雖在上述發明中並不特別限定，但以此為佳··該控制 裝置’在該第1檢出裝置未檢出該批次開始位置的情況 :，控制該搬運裝置，使得在該第刚裝置檢出該批次 口置之鈾忒搬運裝置將該前導帶及該搬運帶沿著該 特疋搬運方向搬運（參見巾請專利範圍第8項）。 雖在上述發明中並不特別限定，但以此為佳：於該第 1檢出裝置檢出該批次開始位置的情況下，該控制裝置控 制4搬運裝置，使得該搬運裝置將該前導帶及該搬運帶在 该相反方向上搬運，直到在該第丨檢出步驟中變為沒有檢 出该批次開始位置為止（參見申請專利範圍第9項）。 雖在上述發明中並不特別限定，但以此為佳：更包含 第2檢出裝置，其檢出該搬運帶上的該IC晶片；於該第2 才双出衣置檢出该IC晶片的情況下，該控制裝置控制該搬運 裝置’使得該搬運裝置將該前導帶及該搬運帶沿.著該相反

2247-9248-PF 9 200837369 方向搬運，直到兮筮 h亥弟1板出裝置變力 位置為止。 為，又有出該批次開始 „雖在上述發明寸並不特別限定，但以 弟3檢出裝置，Α 為4 ·更包含 ，、知出形成於該搬運帶 3檢出裝置檢出該貫通孔 、k孔，於該第 貝k孔的情況下 運裝置，使得爷# $控制衣置控制該搬 便ι亥搬運叙置將該前導帶及 反方向搬運，直到該第！ 運^。者該相 始位置為止。 、欠為&有檢出該批次開 雖在上述發明中並不特 1认山莊 〜丨良疋’但以此為佳：若兮筮 1檢出裝置變為沒有檢出該批次開 右該弟 控制該搬運裝置，使得嗲 °置，則该控制裝置 π道* 搬運裝置在該特定搬運方向搬運 丑亥别V ▼及該搬運帶（參男由 運 〇 τ 1 >見申凊專利範圍第10項）。 雖在上述發明中並不特别 斤n j 1民疋，但以此為佳··更句冬· 弟2檢出裝置，其檢出該搬 · # f上的該i c晶片；第3拾ψ 衣置，其檢出形成於該搬運帶 ♦ % f的貝通孔；施壓裝置，1 搬運帶上的TCP壓到該接觸部； /、、 — 打孔裝置，其將該搬運帶 上特疋的TCP打孔；在該搬運穿 、靈兮义道嫌 放置沿者該特定搬運方向搬 運δ亥則¥贡及該搬運帶，該第 χ弟1檢出裝置檢出該批次開始 位置之後，或者，該第1檢出梦 、置 '吏為沒有檢出該批次開 始位置，該搬運裝置開始向著嗲 J有邊特定搬運方向搬運該前導 帶及該搬運帶之後，於該第2檢 出裝置檢出該I c晶片的情 況下，該施壓裝置推壓該TCP，於4 # n ，弘 於该第3檢出裝置檢出該 貫通孔的情況下，或者，TCP Α τ ώ 句不良的情況下，該打孔裝 置將該TCP打孔（參見申請專利範圍第普項）。

2247-9248-PF 10 200837369 雖在上述發明中並 ^ 知別限疋，但以此為佳：可w脸 攸在該搬運帶上視為不良 了 乂將 —一 Tcp的該批次開始位置開妒的胜 定個數設定於該控制裝置 i開始的特 罢ΛΑ AΦ 該打孔裝置不論該第3檢出| 置的檢出結果，將該特定個數的TCP打孔。 衣 (2)為解決上述目的， # ^ μ μ _ + 依據本發明，其提供TCP測試 裝置的設定方法，苴伤趴椒巧 ^ ，、係於搬運形成複數Tcp 該搬運帶Μ到和測試頭電性 運▼，將 逆、、、。的接觸部，藉由播 的輸出輸入端子和該接觸部 ^ :CP測試裝置的設定方法，其包括第丨檢出步驟二= ==的批次開始位置;搬運步驟，依據該第= 出農置的檢出結果，將兮命道 …胜… 帶及該搬運帶在特定搬運方 項）。 ^搬運（麥見申請專利範圍第12 在本發明中，第！檢 始位置，依據該檢出結果，在搬運1:運…批次開 在搬運步驟中將搬運帶 的搬運方向或和其相反的方向上搬運。 · 搬運帶前端部份的幾個Ic 曰，"吏在位於 士斗时 日曰片形成退出孔也無須以手動 ，、不& TCP打孔，因為可以檢出批次開始位置，並自 開始，所以能夠達成設定時間的縮短，並能防止 不良TCP的流出。 2上述發明中並不特別限定’但以此為佳：在該第 驟中，依據該前導帶和該搬

批次開始位置。 J細ffi β 2247-9248-PF 200837369 雖在上述發明中並不特別限定，但以此為佳··該第i 檢出步驟，在該TGP測試裝置之較該接觸部更上游處的位 置貫打。藉由在較該接觸部更上游處的位置實行第丨檢出 步驟’而能夠達成設定操作的效率化。 雖在上述發明中並不特別限定，但以此為n㈣ 帶具有分別分配給至少-個胃Kp的複數之框，該搬運帶 上的該批次開始位置，係為該搬運帶上該特定搬運方向的 最初的該框。 雖在上述發明中並不特別限定，但以此為佳：在第i 檢出步驟中，係依據不存在於該前導帶但存㈣該最初的 框的特定之圖案形狀，以檢出該批次開始位置。 卜雖在上述發明中並不特別限定，但以此為佳：該圖案 形狀包含下列至少一者：形成册 y、 烕於忒1運π之1XP位置決定 用的記號、線路、或測試墊。 、 依據用於TCP位置決定的 在似上除了IC晶片以外_而：、或測試塾等的 開M W m u 的形狀，而楦出在搬運帶的批次 開始位置，藉此，即使在位於 片带忐、f山a 、運贡刖铫邛份的幾個I c晶 片形成退出孔，也能夠自動 次開始。 才双出批-人開始位置並自動使批 雖在上述發明中並不特別限定，但 檢出步驟包含··拍攝該搬 為么·该弟1 驟，其對於彡步驟，及影像處理步 理’藉此以檢出該圖=:的繼料執行特定的影像處 雖在上述發明中並不特別限定，但以此為佳：.在該搬

2247-9248-PF 12 200837369 運步驟中，、;儿益# & °者该特定搬運方向搬運該前導帶及該搬運 帶5直到兮楚 Ί ϋΛ弟1檢出步驟中檢出該批次開始位置為止（參 見申請專利範圍第13項）。 乂 人在上述發明中並不特別限定，但以此為佳：於該第 檢出二驟檢出該批次開始位置的情況下，在該搬運步驟 # : χ別導▼及該搬運帶在該相反方向上搬運，直到在該 =檢出步驟中變為沒有檢出該批次開始位置為止（參見 申凊專利範圍第14項）。

第述發明中並不特別限定，但以此為佳：更包含 :^驟’其檢出該搬運帶上的該1C晶片；於該第2 才双出步驟檢出該I「曰 、 前導帶及物* 下，在該搬運步驟中，將該 广亥搬運帶沿著該相反方向搬運，直到該第i檢出 步驟中#為、、乃女丄人， 且〜成乐丄才双出 夂為，又有檢出該批次開始位置為止。 雖在上述發明中並不特別限定，但 第3檢出步驟，盆 匕為k .更包含 q A山止 /出形成於该搬運帶的貫通孔，於哕第

仏出步驟中檢出該貫通孔的驟：弟 將該前導帶及該搬運帶沿著該相…二亥搬運步驟中’ 檢出步驟變為沒有檢出比Λ W般運，直到該第1 又有檢出4批次開始位置為止。 雖在上述發明中並不特別限 1檢出步驟變為沒有檢出該批嫩位置乂此為L若該第 中在該特定搬運方向搬運 嫌：置，則該搬運步驟 專利範圍第15項卜 W及錢運帶（參見申請 雖在上述發明中並不特別限定，作 驟，其在該搬運步驟中沿著該特定搬運* 施壓步 •搬運方向搬運談前.導帶.

2247-9248-PF 13 200837369 及該搬運帶，該第1檢出步驟中檢出％ 後’或者’該帛！檢出步驟 以批次開始位置之 置’該搬運步驟開始向著：檢出該批次開始位 該搬運帶之後，於哕在^ 4運方向搬運該前導帶及 下’將該搬運帶上的該Tcp壓 ：Ic “的情況 在該搬運步驟中沿著該特 。Ρ，及打孔步驟’ ^ ^ ^ ^ 1 ^ ψ . 運方向搬運該前導帶及該搬 步驟中檢出該批次開始位置之後，或者， 石亥弟1檢出步驟中變為、力古 ’ ……… 出該批次開始位4，該搬運 V -幵〇 〇者Μ 4寸定搬運方向、^ ^ 後，在該搬運帶上檢出^ 4 運帶之 出。亥貝通孔或TCP不良的情況下，將 該TCP打孔（參見申請專利範圍第16項）。 雖在上述發明中並不特別限定’但以此為佳：更包含 :刀期：孔步驟’其不論有無該貫通孔，將從該搬運帶上的 δ亥批次開始位置關私夕牡 夏開知之特定個數的TCP打孔。 【實施方式】 '下文配合圖式’說明本發明之實施型態。f先，參照 第4圖及第5圖’說明本發明之，測試装置中，作為搬 運對象之搬運帶30。 如第4圖所不，搬運帶3〇，係由複數個沿著該搬運帶 長适方向母隔4寸疋的長度區分出來的框Fn( n為自然數） 相連而構成。各框Fn，係以孔(參見第5圖）的數量來 加以管理，古口固 — I弟b圖所不之例中，每經過5個孔救移動到 + 1在本貫施型態中，每個框匕中分別分配i俯ΤΌρ 。

2247-9248-PF 14 200837369 如第5圖所示，各Tcp 31分別由 一都八 / j構成·搬運帶30的 ::、形成於該搬運帶3。上的料32、凸塊連結於線 端的IC晶片33、設於各線路32之另-端的測 = 34、將線路32或1(：晶片33封住的封膠材（未圖示）。 再者，搬運帶的框中，τ以沿著搬運帶的長邊方向（第4 =橫：）糧數的则，也可以沿著搬運帶的寬 度方向（弟4圖中的縱向）形成複數的Tcp 3ι。 在搬運帶3G的前端部，為了將搬運帶3Q橫跨在Tcp 2理裝置2㈣軸21、22 (後述）之間，藉由例如黏著等 方法連接了丽導帶40。該前導帶4〇和搬運帶3〇不同，其 上完全不形成TCP 31等’而僅由透明或黑色的帶子構成: 而且’如第4圖所示’該連結部分45附近的框Fi〜Fs中的 3個TCP31’因為有可能在前導帶4〇和搬運帶3〇連接時， 或將搬運帶30橫跨在捲轴2卜22時等會增加其負荷，所 以在先前程序中形成貫通IC晶片33的退出孔I而被視 為是不良TCP。相對於此，如同—圖所示，從連結部分託 開始數過來第4個框？4之後的框F5〜Fm(m為大於5之自 八、':數）中的IC晶片3 3上並未形成退出孔3 5。 如第5圖所示，搬運帶30中的各框&中，Tcp 31的 周圍設有4個料記號36。κρ處縣置2係可以用這些 對準記號36作為基準，將TCP 31相對於探針卡12決 位置。 彳、^ —繼之，說明本發明實施型態的Tcp測試裝置的構成。 第1圖顯示依據本發明實施型態之Tcp.測試襄置之整體的

2247-9248-PF !5 200837369 測試裝置的控 正面圖。苐2圖為本發明之實施型態的yep 制系統之方塊圖。 如第1圖所示，本實施型態的TCp測試裝 i 下歹 構成·未特別圖示的測試本體、和測試本體電 机連結的測 試頭10、設於測試頭10上方的TCp處理裝置2。 、

TCP:理裝4 2藉由搬運搬運帶3〇’而能夠將搬運兼 30上沿著其長邊方向並列形成之各TCp 31依序進行測、、 TCP處理裝置2具有供應捲軸21和捲取捲軸& /供應 捲轴21上捲了具有測試前的Tcp 31的搬運帶3〇。該搬^ 帶30從供應捲軸21捲出，在藉由測試頭1〇執行了⑶η 的測试後，再搬運以使得其捲到捲取捲軸22上。 供應捲軸21和捲取捲軸22之間設有3個間隔滾輪 〜23c，用以將從搬運帶3〇剝離的保護帶5〇從供應捲軸 21跨越到捲取捲軸22〇各間隔滾輪23a〜23c分別可以上 下私動’以调整保護帶5 〇的張力。 在供應捲軸21的下方設有：供應端捲帶導引24a、供 應端限制滾輪25a、供應端次鍊輪25c及供應端導引滾輪 25e。從供應捲軸21捲出的搬運帶3〇，一邊由供應端捲帶 導引24a導引，同時經由供應端限制滾輪25&、供應端次 鍊輪25c及供應端導引滾輪25e送往推進單元26。 在捲取捲軸22的下方也設有捲取端捲帶導引24b'捲 取端限制滾輪25b、捲取端次鍊輪25d及捲取端導引滾輪 25f通過推進單元2β的搬運帶3〇，經過捲取端導引滾輪 25f、捲取端次鍊輪25d及捲取端限制滾輪25七，一邊由捲

2247-9248-PF 16 200837369 取％捲v導引24b導引著，一邊捲到捲取捲軸22上。 供應端次鍊輪25c和捲取端次鍊輪25d之間，設有推 進單兀26。推進單兀26包含··可以吸附保持著搬運帶3〇 的推進器本體26卜使該推進器本體261沿著2軸方向上 下移動的伺服馬達262、使用滾珠螺桿結構等使推進器本 ，261在χγ平面小幅移動㈣以z #為中心回轉的推進平 =263 (參見第2圖）、設於推進器本體26ι的上游端（在 # 1圖中為左側）的張力鍊輪264、設於推進器本體261 下游鳊（在第1圖中為右側）的主鍊輪2 6 5。 鍊輪264、265係連結於第2圖所示之飼服馬達挪、 :67的驅動軸，其可以回轉。伺服馬達266、μ?係以可控 制的方式連結於TCP處理裝置2的控制裝i挪。在將搬 $帶30從供應捲軸21搬運到捲取捲轴22的情況下，控制 裝置29b驅動伺服馬達266、267使其向特定方向回轉。使 $運帶30從供應捲軸21回到捲取捲軸22的情況下，控制 裝置29b驅動伺服馬達266、267使其向相反方向回轉。所 以，藉由後述的推進單元26|Tcp 31壓到探針卡時， 控制裝置29b控制伺服馬達266以使得張力鍊輪264向相 反方向回# ’所以將張力適度地施於搬運帶30而使其不處 於不鬆弛的狀態。 在推進單元26的下方，以相對面的方式設有測試 1〇。在該測試頭10的上部，設有裝設了大量探針121的 針卡12。當吸附保持著搬運帶3〇的推進器本體26ι藉 伺服馬達262下降時，TCP 31的測試墊34和探針.卡12

2247-9248-PF 17 200837369 如針121電性接觸，而可以透過測試頭 圖示）執行TCP 31的測試。 L式盗本體（未 推進單元26和捲取端捲帶導引挪 孔器27a及退出打孔哭 1叹有私示打 丁孔口口 27b 〇才示示打孔5§ ?7 及汽缸構成，其俜用 ^ 彳如由模具 框匕的特定位置開出ί形成之 直同出1個或稷數個孔。 可以由如模且及# 退出打孔益27b也 良品的TCP 31，t 1右i j、， 、J八中被判断為不

>曰片在先河程序中形成退出孔35的IC

隊日日片33的TCP 31打孔。 7 iL 供應端導引滾輪25e及推進單元 ⑽攝影機或⑽s攝影 俨叮、，』 荐成的弟1攝影機.28a，以徭 传可以拍攝搬運帶30。如第2圖所示， a以使 和影像處理裝置29a連結 _弟冑影機…

Ic曰 ^ 係用以判斷搬運帶30上有1 日日片33,我有無退出孔35。 a ^…、 该弟1攝影機28a亦用於檢出在〜、令 置（第“iFi)。 搬運上的批次開始位 影像處理裝置29a針對笫〗媒取t 資料執行影像處理，影像處:二聶^ 令信號給控制裝置29b。控制依據其結果傳送指 妯衣置29b依據該指令传垆 執仃飼服馬達266、267的 4就 搬運。 動&制，以控制搬運帶30的 在本實施型態中，影像處 Αί] , ^ 衣置29&依據不存在於前 钕贡40但存在於最初的框Fi 引 測試執w举 對準用記號36或線路32、 …墊3 4專的有無，來檢出搬* 運f 3 0上的批.次開始位置。

2247-9248-PF 18 200837369 在推進單元Μ 攝影機等構成的第 ’5又有例如由CCI)攝^ ^ cmos 30及探針121。如第？影機_28b’以使得可以拍攝搬運帶 處理農置29a連結田B斤丁該第2攝影機28b和影像 決定搬運帶3〇上 、 ' 的探針]21， J ’竭忒墊34的位置。 影像處理裝晉& :欠祖針對第2攝影機28b所拍摄&公屑 貝枓執行影像處理，拾 々拍攝的衫像 的位置。影像處理^ 影像#料中的對準用記號％ 出物I %’從該對準用記號％的位置， 出測试墊34相對於探針 扪位置开 傳送到控制装置之修正"，並該修正量 進平台263, η掉t 、 據該修正量驅動推 置。 ；、月地決定測試墊34相對於探針121的位 Q 者」ί用弟2攝影機咖，操作員透過監視器（未 )，月匕夠良好地掌握搬運帶3〇的測試墊34和探針卡 之抵針121的接觸狀態。 推進單元26及捲取端導引滾於 展輪25f之間，設有例如由 CCD攝影機或⑶⑽攝影機等 卞稱攻的弟3攝影機28c，以使 得可以拍攝搬運帶3〇。如第2圖所示，該第3攝影機28c 和影像處理裝置29a連結，係用以確認確實由退出打孔器 27b將不良的TCP 31打孔。 以下，參見第3圖，說明Tcp批次結束並開始次一個 批次時’在交換搬運帶的情況下執行之本發明的實施型態 之TCP測試裝置的設定方法。第3圖為本發明之實施型態 •的TCP測試裝置的設定方法之流程圖t

2247-9248-PF 19 200837369 首先，操作員將具有TCP 31的新批次的搬運帶30裝 設在TCP處理裝置2的供應捲轴21，並婉由# 工、、二由供應端捲帶導 引24a、供應端限制滾輪25a、供應端次鍊輪^、 導引滚輪25e、推進單元26、捲取端導引滾輪况、捲取 端次鍊輪25d、捲取端限骸輪25b、捲取端捲料引⑽， 將前導帶40引導至捲取捲軸22(第3圖的步驟训）。歲 此同時’操作員設㈣護帶5G，使其從供應捲Μ〗經過3 個間隔滾輪23a〜23c導引至捲取捲軸22。 ^繼之’操作員藉由TCP處理装置2之監視器及輸入裝 置（兩者均未圖示），將1C晶片33的形狀及退出孔35的 形狀登錄於影像處理裝置29a (步驟S2Q)。關於Μ晶片 33的登錄資料，係用於判斷κρ 31測試的必要性，關於 退出孔3 5的登錄資料，孫田％私丨齒 、 係用於判断用退出打孔器27b打孔 的必要性。 另外，在該步驟S20中，操作員將顯示搬運帶3〇上批 次開始位置的形狀、顯示批次開始位置之形狀在最初框Fi 的位置登錄於影像處理裂置29a。該顯示搬運帶加上批次 開始位置的形狀可以為：不存在於前導帶4。但存在於最初 的框h之對準用§己號36或線路32、測試塾Μ #的形狀。 顯不m些批次開始位置的形狀和位置，操作員在監視器(未 圖示）上’如第5圖的^或.使用視窗指定之。當這 _丘錄才木作乡。束之後，操作員按壓TCp處理裝置2的開始 按紐（未圖示）（步驟S30)。 田TCP處理裝置2開始之後，驅動伺服.馬達· .2.66、267，

2247-9248-PF 20 200837369 回轉鍊輪264、265，將前導帶4〇從供應捲轴^向著捲取 捲軸22搬運。此時，影像處理裝 28a拍攝的影像資料之每“… 對於由弟1攝影機 執行影像處理，以判斷在 〇亥汾像貝枓中是否有表示 人開始位置的形狀（步驟 置：狀另外:WS4°，也可以不判斷表示批次開始位 嫩’或是除了批次開始形狀之外，判斷由第工攝系 ^心拍攝的影像資料中的晶片33或退出孔35是否存 Φ 二斷㈣表示批次開始位置的形狀的情況下（步 車六第i攝旦总是」），因為搬運帶30的前端部分45位於 機…還靠近捲取捲轴22的—端，所以控制裝 置㈣空制鍊輪用的祠服馬達咖,，將搬運帶㈣ 回供應捲軸21端（步驟S5〇 )。 在=運帶3。捲回的時候，影像處理裝置…對於第 以所拍攝的影像資料之每-框執行影像處理， (步 =;爾料中是否有表示批次開始位置㈣ 和對準用記號36的情況下，開始位置的形狀 3“夺判斷為未到達批次門二““料中具有對準用記號 像資料中… 置’當對準用記號36從影 像貝科“失時，判斷為已到達批次開始位置。 在影像資料中仍呈有丟一 續妒、s册Qn A I、有表不批次開始位置的形狀時，繼 、'，只叛運帶30的捲回（在步 當判斷為影像資料中表亍抵^中的（」）。相對於此， 步驟S6"的「否」.）:、：開：位置的形狀消失時（在 :搬運帶30朝向捲取棬軸22端

2247>9248-PF 21 200837369 搬運1個框（步驟ς 7 η Λ ^ 7〇)，而丁CP處理裝置2的設定操作 束〃在此狀恶下，搬運帶3〇的第〗框h (批次開始位置） 位於第1攝影機28a的上方。 另方面，在步驟S40巾，在判斷為表示批次開始位 f的形狀不存在的情況下（步驟㈣中的「否」）’因為 别導帶4 0仍位於楚*(摄' 、弟 攝衫機28a的上方，所以控制裝置 29b控制鍊輪用的伺 1 υ服馬達266、267,將前導帶4〇向著捲 取捲軸22搬運端（步驟S80)。 #在搬運前導帶4°的期間，影像處理裝置29a，對於由 弟1攝影機28a拍攝的影像資料之每1框執行影像處理’ 以判斷在該影像資料中且一 、'否有表不批次開始位置的形狀 厂 〇)。例如，在登錄了表示批次開始位置的形狀 和對準用記號％的情況下，當影像資料中不具 1 號36時判斷為未到達 ，灯旱用圯 m…置，當對準用記號％出 像貝;4中時’判斷為已到達批次開始位置。 在影像資料中未出現表示批次開始位置的形狀時，繼 =運^的捲回（在步請中的「否」）=1此 田衫像貝料中出現表示批次開始位置的形狀時（右牛； 中的「早、狀日守（在步驟S90 、 」），TCP處理裝置2的設定摔作纟士 φ 熊下，搬谨册q η αα # 作、、、口束。在此狀 ^ 、弟1框Fl (批次開始位置）位於第j摄 影機28a的上方。 於弟1攝

當TCP處理裝置2的設定操作結束時，使 3!的-般的TCP處理器2的動作開始（批次開^试TCP 驅動祠服馬達266、267，鍊輪264、邮依序將搬運

2247-9248-PF 22 200837369 Λ /、，ν«捲轴21向著捲取捲轴2 2搬運。在此搬運期間，影 像處理裝置29a，對於由第1攝影機28a拍攝的影像資^ 之每1框執行影像處理’確認1C晶片33以及退'出孔35的 :無。在已確認影像資料中的1C晶片33的情況下，推進 =^ 26將具有或1C晶片33的TCP 31壓到探針卡12，執 31的測試。再者’在已確認影像資料中的退出孔 35的情況下’推進單元26不將該TCP 31壓到探針卡12 (:即’不執行Tcp 31的測試），退出打孔器抓將該 、 打孔。另外，在測試中判斷為不良的TCP 31也由 退出打孔器27b將之打孔。 *批次開始時，首先，必須使用退出打孔器27b將形 、广出孔35的第1〜3個框Fi〜F3的不良""丁孔， 不過’在本實施型態中孫白 置位於m 錢運帶30的批次開始位

Fl〜/r 機28a_L，再使批次開始，所以能約將框 1 不良Tcp 31打孔。因此，能夠達成設定時間的縮 短，同日守防止不良Tcp的流出。 、、 再者，在本實施型態中，依據TCP 中除 33之外的對準用記號36或線路32、測試塾34等形狀： :出搬運帶中的批次開始位置，所以即使退= 成在搬運帶30前端部分的3個κ晶片％ : 搬運H0的批次開始位置，並自動使批次開始。 再者，上述說明的實施 明的理解，並非^用&载用以協助本發 態中揭露的定本發明。因此，上述實施型 糸匕3本發明技術領域令.所屬、的所有

2247-9248-PF 23 200837369 設計變更或均等物。 例如，上述實施型能中 I心中，係現明在搬運帶3〇 在從連結部分45開妒的叙加 ’事先 间始的數個不良Tcp 31上 的情況，但本發明並不特 成退出孔35 η上小特別限定於此，即 45開始的數個不良Tcp 連，部分 上/又有形成退出孔％， 開頭部分的不良個數辜纟 3由將 丨口数爭先登·錄在控制裝置 由推進單元26進行的推厣 在不執行 订叼推&而以退出打孔器27b 孔處理亦可。 目動執行打 【圖式簡單說明】 置之整 第1圖顯示依據本發明實施型態之Tc 體的正面圖。 "衣 置的控制系 第2圖為本發明之實施型態的Tcp測試裝 統之方塊圖。 的設定方 第3圖為本發明之實施型態的Tcp測試裝置 法之流程圖。 第4圖顯示使用於TCP測試展 平面圖。 第5圖顯示使用於TCP測試裝 放大平面圖。 置的蝻導帶和搬運帶的 置的韵導帶和搬運帶 的 【主要元件符號說明】 TCP測試裝置1 測試頭 10

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TCP處理裝置 2 捲轴 21 、22 推進單元 26 推進器本體 261 伺服馬達 262 推進平台 263 鍊輪 264、265 伺服馬達 266 ^ 267 攝影機 28a〜28c 影像處理裝置 29a 控制裝置 2 9b 搬運帶 30 框 Fn TCP 31 線路 32 IC晶片 33 測試墊 34 退出孔 35 對準用記號 36 前導帶 40 連結部分 45

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Claims (1)

1. 200837369 十、申請專利範圍： • t TCP '則4裝置，用以搬運形成複數TCP的搬運 f ’將該搬運帶壓到和測 j八頭電性連結的接觸部，藉由使 该TCP的輸出輸入端 序測試複數的TCP，其包含 ㈣接觸端子接觸，而依 ::·核出衣置’其檢出在該搬運帶上的批次開始位置; 搬運裝置，其搬 該搬運帶； 逆/、4搬運▼則端部連結的前導帶及 控制裝置，其控制該搬運裝置的動作； 替該控職置，依據該第1檢出裝置的檢出結果，控制 ^搬運裝置，使該搬運裝置將該前導帶及該搬運帶在特定 搬運方向或該特定方向的相反方向搬運。 2.如巾請專利範圍第丨項所述之似測試裝置，該第 /出裴置依據該前導帶及該搬運帶的不肖，檢測出該批 认開始位置。 •如申叫專利靶圍第1項所述之TCP測試裝置，該第 考出破Ϊ係、。又^ 4特定搬運方向上較該接觸部更上游 處。 •士申η月專利|巳圍第i項所述之Tcp測試裝置，該搬 運帶’具有分別分配給至少_個該Tcp的複數之框’ 遠搬運帶上的鋒次開始位置，料該搬運帶上該特定搬 運方向的最初的該框。 5.如申明專利範圍第4項所述之TCp測試裝置，該第 1檢出裝置’係依據Μ在於㈣導帶但存在於該最初的 2247-9248-PF 26 200837369 框的特定之圖案形狀，以檢出該批次開始位置。 6·如申請專利範圍第5項所述之Tcp測試裳置， 案形狀包含下列至4、 本.游七士人# u ^卸 夕一者·形成於該搬運帶之TCP位詈争 疋用的s己號、線路、或測試墊。 、 7·如申凊專利範圍第5項所述之⑽測試 1檢出裝置包含·· 1 5亥弟 攝影裝置’其可以拍攝該前導帶及該搬運帶 影像處理裝置，其對於該攝影裝置拍攝的 行特定的影像處理，藉此以檢出該圖案形狀。 δ.如申請專利範圍第工至7項中任一 試裝置，該控制裝置，在該第丨檢出裝置未檢出該= 始：直的情況下’控制該搬運裝置，使得在該第】檢出裝 置檢出该批次開始位置之前 ： 搬運帶沿著該特定搬運方向搬運。…〜-及該 含：9·如申請專利範圍第8項所述之TCP測試裝置，更包 弟2檢出裝晉甘 第3檢出裳置，：Γ該搬運帶上的該1C晶片； 施《置，其將於該搬運帶的貫通孔； 打孔-番 ▼上的TCP壓到該接觸部；及 1、其將該搬運帶上特定的TCP打孔； 在該搬運裝置、、4 且/口者該特定搬運方向搬運 搬運帶，該第1檢出#^ π微建》亥月I』¥ ▼及该 該第1檢出梦番該批次開始位置之後，或者， 運裝置開始向著^二為沒有檢出該批次開始位置，該搬 μ寻定搬運方向搬運該前導帶及該搬運帶 2247-9248-PF 27 200837369 之後， 於該第2檢出裝置檢出該IC晶片的情況下，該施壓裝 置推壓該TCP， 於該第3 &出裝置檢出該貫通孔的情況下，或者，Tcp 為不良的情況下，該打孔裝置將該TCP打孔。 ίο.如申請專利範圍第i〜7項任一項所述之Tcp測試 裝置，於該第1檢出裝置檢出該批次開始位置的情況下， 該控制裝置控制該搬運裝置，使得該搬運裝置將該前導帶 及該搬運帶在該相反方向上搬運，直到在該第1檢出” 中變為沒有檢出該抵次開始位置為止。 U ·如申明專利範圍第10項所述之ttcp測試裝置，若 4第1 k出哀置變為沒有檢出該批次開始位置，則該控制 衣直控制4搬運裝置，使得該搬運裝置在該特定搬運方向 搬運该4導帶及該搬運帶。 12.如申請專利範圍第11項所述之TCP測試裝置，更 包含： =2k出政置，其檢出該搬運帶上的該π晶片； 第2松出衣置，其檢出形成於該搬運帶的貫通孔； 施I旋置，其將搬運帶上的TCP壓到該接觸部； 打孔扁置，其將該搬運帶上特定的TCP打孔； 在該搬運裝置t # 士 忒苴，口者该特定搬運方向搬運該前導帶 搬運帶，該第1拾φ壯职 ^ 卜 出裝置檢出該批次開始位置之後，或者， 该弟1檢出裳置織或力 一 ^ ^ 置艾為》又有檢出該批次開始位置，該搬 運裝置開始向著嗲姓—& 豕搬 μ特疋搬運方向搬運該前導帶·及該搬運帶 2247-9248-PF 28 200837369 •之後， 於該第2檢出裝置檢出該IC晶片的情況下，該施壓裝 置推壓該TCP， 於該第3檢出裝置檢出該貫通孔的情況下，或者，⑽ 為不良的情況下，該打孔裝置將該Tcp打孔。 13 · —種TCP測試裝置的今宗古 罝的°又疋方法，其係於搬運形成複 數TCP的搬運帶’將該搬運帶壓 T i刻和測斌頭電性連結的接 觸部’藉由使該TCP的輪出輸入端子和該接觸部的接觸端 子接觸’而依序測試複數的TCP測試裝置中，^定 交換該搬運帶時的該TCP測試裝置的設定方法，並又· 第1檢出步驟，其檢出在該 /、匕括. 隹通搬運页上的批次開始位詈·及 搬運步驟’依據該第i檢出裝置的檢出’ 及該搬運帶在特定搬運方 導帶 運。 及这特疋方向的相反方向搬 14. 如申請專利範圍第13項所述之TCP測試裝置的t 疋方法，在《運步驟中，沿著該特定 導帶及該搬運帶，直到哕 万向搬運该刚 位置為止。 …1檢出步驟中檢出該批次開始 15. 如申請專利範圍第13項所述之抑 定方法，於該第丨檢出半 、忒裝置的口又 下，在該搬運步驟中將兮。位置的情況 上搬運，直到在該第〗逆冗在該相反方向 始位置為止。 1檢出步射變為沒有檢出該批次開 .16.如申請專利範圍第15項所述之TCP剛試裝置的設.. 2247-9248-PF 29 200837369 〇方法t «亥第1撿出步驟中變為沒有檢 置，則在該搬運步驟中，在該特定搬運方向二二開始位 及該搬運帶。 搬運該前導帶 17.如申請專利範圍第14或項 的設定方法，更包括： 、)L TCP測試裝置 =壓步驟’其在該搬運步驟中沿著該特定搬 運該前導帶及該搬運帶，該第】檢出步驟中檢出:搬 始位置之後，或者，該第1檢出步驟中變為沒有檢出= j開始位置’該搬運步驟開始向著該特定搬運方向搬 =帶及該搬運帶之後’於該在該搬運帶上檢出該叫 的情況下，將該搬運帶上的該TCP遷到該接觸部；及 “打孔步驟，在該搬運㈣中沿著該特定搬運方向搬運 该刖導帶及該搬運帶’該第！檢出步驟中檢出該批次開始 位置之後’或者’該第1檢出步驟中變為沒有檢出該批次 位置，該搬運步驟開始向著該特定搬運方向搬運該前 Vf及忒搬運帶之後，在該搬運帶上檢出該貫通孔或TCP 不良的情況下，將該TCP打孔。 2247-9248-PF 30