TWI374279B - - Google Patents

Description

1374279 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種測試作為I c裝置的一種的捲帶 式封裝（Tape Carrier Package’TCP)及薄膜覆晶封裝（Chip 〇n F i im，C0F )(以下，TCP、c〇F、其他TAB實裝技術（丁叩6 Automated Bonding)所製造的裝置統稱為「Tcp」）的捲 帶式封裝處理裝置。 【先前技術】

在1C裝置等的電子元件的製造過程中，測試最終製造 的1C裝置及中間階段的裝置等的性能及作用的電子元件 測試裝置是必要的，在TCP的情況下，使用Tcp用的測試 裝置。 TCP用的測試裝置—般係由測試器本體、測試頭以及 處理襞置（以下稱「TCP處理器」）所構成。該TCp處 理器的作用為搬運在帶（_)(也包含薄膜的概念，以 :相同）上形成複數個TCP的承裁帶，將承載帶屋於電性 二接於測試頭上的探針卡的探針，使Tcp的測試塾接觸於 探針，藉此將複數個Tcp依次做測試。 、 上述TCP處理器在推進單开 在承載帶的既定位置上開設衝孔的广、備根據試驗結果 饽膝处里 衝孔的裇圮衝頭以及對判斷為 I果的不良品的TCP打孔的退件衝頭。 又’上述TCP處理器右施、仓m 带“…攝影機(前段攝:二的前:具：承載 件衝頭的後段具—承載…二::影：

2192-9563-PF 5 (後段攝影機）。 【發明内容】 發明所欲解决的問題 因此，在备 同時對的Tcp處理器中，為了提升測試效率， U吁對—個TCP 卞 大的-驗，又，對於TCP的種類而言是相當 八幻衮置（例如電 田 的豆中之么漿顯不面板用的裝置）。此時，二個TCP 部上述前段攝影機的視野，大的-的- 野。 又，衝孔會脫離上述後段攝影機的視 的視問題，將攝影倍率降低而放大攝影機 v。：下降時，勢必導致檢測精度降低。 有鑑於此，本發明提 — 大攝影裝置的視野，檢測出各=帶式封裝處理裝置，放 解決問題的手&檢別出各種情況下的TCP及衝孔。 為達成上述目的，第一發明為提供 理裝置，搬運形成複數個捲帶：帶=裝處 ^ ^ ^ 、57瑕的承载帶’對應於且 有複數個電性連接至測試 /' ^ ^ ^ π π連接為子的測定部而推壓承 載帶，藉由捲帶式封裝的外部 艰 ..^ 1 %子連接於上述測定部的連 接知子而依序測試複數個捲帶 ^ ν式封裝，包括：攝影裝置， 位於上述測定部的前段側，對 ^ 1承栽帶上的捲帶式封裝做攝 衫，以及移動裝置，使上述攝影 1)。 衣直’ 口承載帶移動（發明 根據上述發明（發明， 通吊’即使同時測定的 數個KP的其中之一的TCP及大 义的複 的TCP的—部份不進入攝

2192-9563-PF 6 影裝置的視野時，获士 # 4 放大攝影妒置的招： >動裝置使攝影裝置移動，即使不

的全體進人攝影裝置 \較大的TCP 可對1XPH& 。此，不用降低攝影倍率而 做攝影，可高精度地檢測出TCP。 複數帶;:Γ處理裝置’搬運形成 =:::::接於上述測定部的連接端子:依= 裝製的後段，=3:衝孔;攝影裝置’位於上述衝壓 置，使上诚摄⑨ 载帶的衝孔做攝影；以及移動裝 "衫裝置沿著承载帶移動（發明2 )。 根據上述發明（發明， 數個TCP沾甘士 通常，即使同時測定的複 的其中之一的TCP的衝礼；^ % 時，藉由移動裝置使攝影，置=不進攝衫裝置的視野 的視野，也可以即使不放大攝影裝置 野。因此 數個Tcp的衝孔進入攝影裝置的視

二:屮不用降低攝影倍率而可對衝孔做攝影，可高精 度地檢測出衝孔P 種捲中（發明μ)，更包括:記憶對應於每 裡椿帶式封裝的上述攝影 述攝影裝置的位置的感測器位置的裝置；檢測上 根據上述發明，在攝置的裝置(發明3)。 浦W 1 裝㈣斷為非標準位置時，根據其 氣果，由移動裝置使攝影裝置移動至標準位置。

2192-9563-PF 1374279 又’在上述發明（發明1、2)中’記憶對應於每種捲 帶式封褒（也包含在相同種類時改變同時測定的數量的情 況）的上述攝影裝置的標準位置，在切換TCP種類時，上 述移動裝置使上述攝影裝置自動地移動至上述標準位置 (發明4) ^根據上述發明，可縮短種類切換時的攝影裝 置的設定時間。 發明的效果 低诼冬發明的 .’ Α ^ % — π其 n n 吋凋疋複數個 的It況或裝置變大的情況下，不用放大攝影裝置的視野而 可以檢測TCP或衝孔。 【實施方式】 以下，根據圖面詳細說明本發明的實施型態。 一第1圖為使用本發明的一實施型態的TCp處理器的Tcp 2試裝置的正視圖。第2圖為同一實施型態的代p處理器 中的顯示器影像的圖。 " 測針對具備本發明的實施型態的ΚΡ處理11的TCP 的㈣置的全體構造做說明。TCP測試裝置】係由未圖示 本體，、電性連接於測試器本體㈣試頭Μ'設於 山式頭1。的上側的TCP處理器2所構成。

TCP處理器2依序對形成於承 做測試。而1- *戟帶5上的複數個TCP 在本貫施型癌的TCP處@ 5| £ +，γ & | 示測試頭1。上的承載帶5的搬運方二'2二x軸表 向）表示在水平…二向（第1圖中左右方 穿铋勒正父的方向C第】圓t貫 穿紙面的方向），Z軸表示垂直 圆Η 头直方向（第1圖中上下方向）。

2192-9563-PF 8 1374279 TCP處理器2具有捲出捲盤21與捲取捲盤22，測試前 的承載帶5係捲繞於捲出捲盤21上。承載帶5從捲出捲盤 21捲出，在測試後捲繞於捲取捲盤22上。 在捲出捲盤21與捲取捲盤22之間設有三個間隔滾子 Ua、23b、23c，從承載帶5剝離的保護帶51架設於其上。 各間隔滾子23a、23b、23c分別為上下可動而調整保護帶 51的張力。 在捲出捲盤21的下側，設有導件24a'捲出中繼滾子

Ma、内側次鍊輪25b以及内側導引滾子&，從捲出捲盤 21捲出的承載帶5由導件24a導引之同時，經過捲出中繼 滾子25a'内側次鍊輪25b以及内側導引滾子25c而搬運 至推進單元。 在捲取捲盤22的下侧，設有導件24b、捲取中繼滾子 25f、外侧次鍊輪25e以及外側導引滾子25d，測試後的承 載帶、5經過外側導引滾子25d、外側次鍊輪❿以及捲取 繼浪子25f’ &導件24b導引之同時捲繞於捲取捲盤22 上0 然後’在内侧導弓丨滾子25c與外側導引滾子25d之間 設有推進單元3。 第1圖所示，使滾珠螺桿3 2旋轉的伺服馬達3丨經 由支架361安裝在推進單元3的框架（推進框架上， 同時滚珠螺桿32螺合的推進本體部33經由二根z轴方向 的線形移動料心安裝於推料元3的㈣（推進框架） 36上。該推進本體部33藉由驅動飼服馬達31，由線形移

2192-9563-PF 9 1374279 動導件37導引而可於上下方向（z軸方向）上移動。 在該推進本體部33的下端部，設有連接於負壓源（圖 示省略）而保持吸附承載帶5的吸附板34。 圆 在推進本體部33的前段側（第i圖中左側）設有張力 鍊輪35a，在推進本體部33的後段側（第丨圖巾右側 有主鍊輪35b’藉由所希望的張力而保持承載帶5。。又 在推進框架36的背面側，設有未圖示的推進台 推進台可使推進單元3在又軸方向、γ軸 田該 動》因此，推進單元3的推進本體 / 3 — 軸移 Γ附承載帶5的狀態下，使推進單元3如上所述地移動 藉此，使t載帶5在χ軸方向、Υ轴方向或繞Ζ轴移動， 可使承載帶5上的TCP與探針81進行位置配合。 另-方面，如第i圖所示，在推進單元：的下 載探針卡8的探針卡心7时於測試㈣的上部^探 針卡載台7使探針卡8於乂轴_γ_ " 旋轉移動。 轴方向移動’以及繞2轴 探針卡8具備複數個探針8卜各探針81係經由測試 頭1 〇而電性連接於測試器本體上。 如第1圖所示，第—潘县彡4^β Λ* 置）6b以及第：攝景⑷ 第二攝影機（攝影裝 第-“機6c分別設置於推進單元 側（第1圖中左侧）、推進單元3的下側以及 的後段側（第1圖中右側）。 $ d 以及與第三攝影機^之間設有標記衝頭心 以及退件衝頭26卜標記衝頭.係、根據職的結果，在

2192-9563-PF 10 1374279 :續該TCP的既定的位置上開設—個或複數個的衝孔，退 衝頭26b係將測試結果判斷為不良品的打孔。 各攝影機6a、6b、6e將由料攝影機所拍攝的影像顯 -於顯示器（未圖示）上，使操作員可目視。 第一攝影機6a為預先檢測出供給至推進單元3的 上的tcp的裝置。第二攝影機6b為觀看及探針 係;Γ位置關係而取得兩者的位置偏差資訊。第三攝影機6c ^測在承載帶5上的標記衝頭‘或退件衝頭2 造出的衝孔。 表 如第1圖及第2圖所示’本實施型態中的第一攝影機 a:搭載於攝影機座…上。該攝影機座…係由 :帶：動器驅動，使第-攝影機W轴方向(沿承 传料載於：向）移動。又，本實施型態中的第三攝影機6c 於攝影機座.上。該攝影機61c也由設於其内部 的方向)移動。…機⑷軸方向(沿承載帶5 I TCP處理器2同時對2個⑽做試驗時，由於第一 =6a由攝影機座61a而可於χ轴方向移動 :戶不，即使通常二個TCP51的其中之一會脫離第一攝影 二：Γ ’由攝影機座6U使第一攝影機6”Χ軸方 向（第3圖中左側）移動’即使第一攝影 二:使:率不降低），如第_所示，二個= 進第攝影機6a的視野。 又’在TCP處理器2測試大的TCP時，如第4⑷圖所

2192-9563-PF 1374279 禾’即使通常TCP51的一部份不進入第一攝影機6a的視野 時’由於由攝影機座61a使第一攝影機6a於X軸方向（第 4圖中左側）移動，即使不放大第一攝影機6a的視野（即 使不降低攝影倍率）’如第4(b)圖所示，TCp51的全體也 巧*進入第—攝影機6a的視野中。 因此’根據上述第一攝影機6a及攝影機座61a，由於 不降低攝影倍率也可對TCP做攝影，可高精度的檢測出 TCP 〇

又’在TCP處理器2同時對二個TCP做測試時，由方 第三=影機6c可於X軸方向移動，如第5(a)圖所示，司 使通€ —個TCP51的其中之一的TCP51的衝孔會脫籬第三 攝’v機6c的視野，由於由攝影機座6ic使第三攝影機6 於轴方向（第5圖中左側）移動，即使不放大第三攝景 機6<：的視野（即使不降低攝影倍率），如第5(b)圖所示 使二個TCP51的衝孔52進入第三攝影機&的視野。而且 第,5圖中’左側的衝孔52為退件衝頭2讥所打的孔，右御 的衝L 52為私s己衝頭26&所打的標記用衝孔。 此根據上述第三攝影機6c及攝影機座61c ’即使 不降-^〜倍率也可對衝孔攝影，可高精度地檢測出衝孔‘ 上述的第—攝影機6a或第三攝影機化的移動可 W 器2的實際動作中進行，但最好在TCP處理器 預先進仃。此時，操作員—邊觀看顯示器， 一邊知作攝影機座 機6a及第n a及攝影機座61c’而決定第-攝影 —攝〜機6c的最佳位置。

2192-9563-PF 12 1374279 々τ一CP處理器2,如上所述，將已決定的第—攝影機h 及第三攝影機6c的最佳位置記憶成為對應於每種Tcp (也 包含在種類相同時改變同時測定數量的情況）的標準位置 (例如中央、右、左等）。然後，TCP處理器2在切換 的種類時，對於該TCP讀出所記憶的標準位置，根據其資 訊，由攝影機座613及61c使第一攝影機61a及自動 地移動至標準位置。藉此，可縮短在種類切換時，第一攝 衫機6a及第三攝影機6c的設定時間。 但疋，本發明並不限定於此，在種類切換時操作員 係操作攝影機座61a及攝影機座61c，使第一攝影機'仏及 第二攝影機6c移動至標準位置。 上述的情況下，TCP處理器2,如第2圖所示，其具有 檢測第一攝影機6a位置的感測器9C、9R、礼之同時，最 好亡有檢測第三攝影機6c位置的感測器9C、9R、9l。感 測态9C、9R、9L排列於X軸方向’第一攝影機或第三 ，影機6c位於中央的情況下，由感測_ 9C檢測，第一攝 衫機6a或第三攝影機6c位於右側的情況下，由感測器⑽ 檢測，第一攝影機6a或第三攝影機6c位於左側的情況下， 由感測器9L檢測。 TCP處理器2由上述感測器9C、9R、9L檢測第一攝影 機6a及第三攝影機6c的位置，判斷第一攝影機h及第三 攝影機6c是否在對應於被測試Tcp的標準位置上。然後， 在判斷為第一攝影機6a及第三攝影機6c不位於樑準位置 時發出警報。藉此，操作員操作攝影機座61a及攝影機

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c 使第一攝影機6a及第三攝影機6c埃實地移動至 標準位置。 以上說明的實施型態係為了使本發明容易理解而記 載但並非用於限定本發明。因此，上述實施型態所揭露 的各要素係包含本發明所屬技術範圍全體的設計變更及均 等物。 例如’可以省略第一攝影機6a的攝影機座61a或第三 攝影機6c的攝影機座6丨c其中之一。又，可省略感測器 9C、9R、9L，也可設置比三個還多，例如5個、7個等。 產業上的可利用性 本發明適用於在TCP處理裝置中由攝影裝置高精度地 檢測出TCP或衝孔。

1J 明 說 單 簡 式 圖 rL 第1圖為使用本發明的一實施型態的TCP處理器的TCP 測試裝置的正視圖。 第2圖為同一實施型態的TCP處理器中的攝影機及感 測器的概略圖。 第3(a) 、（b)圖為同一實施型態的TCp處理器中 的第一攝影機的顯示器影像的圖。 第4(a) 、（b)圖為同一實施型態的TCp處理器中 的第二攝影機的顯示器影像的圖。

第5(a) 、 （b)圖為同一實施型態的TCP處理器中 的第三攝影機的顯示器影像的圖。 2192-9563-PF 14 1374279 【主要元件符號說明】 1〜TCP測試裝置 2〜TCP處理器（TCP處理裝置） 21〜捲出捲盤 22〜捲取捲盤 23a、23b、23c〜間隔滾子 24a〜導件 24b〜導件

25a〜捲出中繼滾子 2 5 b〜内侧次鍊輪 25c〜内側導引滚子 25d〜外侧導引滾子 2 5 e〜外侧次鍊輪 25f〜捲取中繼滾子 26a〜標記衝頭 26b〜退件衝頭

3〜推進單元 31〜伺服馬達 32〜滾珠螺桿 33〜推進本體部 35a〜張力鍊輪 35b〜主鍊輪 36〜框架（推進框架） 37〜線形移動導件 15

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361〜支架 5〜承載帶 51 〜TCP 5 2〜衝孔 6 a〜第一攝影機 6b〜第二攝影機 6c〜第三攝影機 6_la、61c〜攝影機座 8〜探針卡（測定部） 9C、9R、9L〜感測器 10〜測試頭 16

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Claims (1)

1. A u 〜79 A u 〜79 101年2月9日修正替換頁 第097112494號 :十、申謗專利範®: I 種捲帶式封裝處理裝置，搬a# 封裝的承㈣，❹# η 料成❹個捲帶式 ^ ^ i應於具有複數個電性連接至洌試Μ Μ、# 接端子的測定部而推壓#接至涮4頭的連 端子連接於上述列定部的猎由捲帶式封裝的外部 式封裝，包括·· 連接端子而依序测試複數個捲帶 攝〜裝置，位於上述測定部的前段 的播帶式封㈣攝影； 對該承載帶上 移動裝置，使上述攝影裝置沿該承載帶移動’· #憶對應於每種捲帶式封裝的 置的裝置； < 稱&褒置的標準位 檢測上述攝影裝置的位置的感測器’ ·以及 :斷由上述感測器所檢測的攝影裝 述標準位置的裝置。 1疋Φ為上 2·—種捲帶式封裝處理裝置，搬 封#的居并* 衣置搬運形成複數個捲帶式 、、載▼，對應於具有複數個電性連接至 部而推壓該承載帶，藉由捲帶式封裝的外二 子連接於上述測定部的連接端子。 式封裝，包括： 序劂忒複數個捲帶 衝屋裝置，位於上述測定部的後段側 開設衝孔； 在該承載帶上 攝影裝置，位於上述衝壓裝置的後 載帶的衝孔做攝影； 了办成於該承 裝置使上述攝影裝置沿著該承载帶移動； 2I92-9563-PF1 17 1374279 第097112494號 101年2月9日修正替換頁 己隐對應於|種捲可式封裝的上述攝影裝i的標準位 置的裝置； 檢測上述攝影裝置的位置的感測器；以及 判斷由上述感測器所檢測的攝影 述標準位置的裝置β 立置疋否為上 3. *申請專利範圍第⑷項所述之捲 中記憶對應於每種捲帶式封裝的理 標準位置，在切換TCP種類時，上述移 知裝置的 裝置自動地移動至上述標準位置。 、吏上述攝影 2192-9563-PF1 18