JP2003121382A

JP2003121382A - 検査装置

Info

Publication number: JP2003121382A
Application number: JP2001319182A
Authority: JP
Inventors: Takao Omae; 貴雄大前; Kazuya Sawada; 一也澤田; Akira Miyahara; 章宮原; Yasushi Oda; 裕史小田
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2001-10-17
Filing date: 2001-10-17
Publication date: 2003-04-23

Abstract

(57)【要約】【課題】長尺の基材の検査領域を高精度に撮影すると
ともに、適切な検査を行う検査装置を提供する。【解決手段】検査装置に撮影部６、ブロア７、吸着テ
ーブル３０、テーブル駆動部３２、巻き出しローラ２
１、巻き取りローラ２２、ローラ駆動部２０、およびブ
レーキ機構４０を設ける。ローラ駆動部２０が巻き出し
ローラ２１および巻き取りローラ２２を回転させること
により検査領域が所定の位置に搬送されると、ブレーキ
機構４０がＯＮとなる。次に、テーブル駆動部３２が吸
着テーブル３０と補助ローラ３１とを一体として基材９
１に対して進出させ、基材９１を搬送位置よりも撮影部
６側に移動させる。さらに、ブロア７が吸着テーブル３
０内の空気を抜き、吸着テーブル３０内の気圧を低下さ
せて基材９１を吸着保持する。この状態で、撮影部６が
検査領域を撮影する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、長尺の基材の表面
を検査する検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】長尺の基材の表面に形成された配線パタ
ーンなどを検査する検査装置として、例えば、特開２０
００−４６７５３公報に記載される配線パターン欠陥確
認装置（以下、「検査装置」と称する。）が知られてい
る。この検査装置は、評価テーブルの一方側に配置され
た巻き出し機から長尺の基材を評価テーブル上に間欠的
に繰り出すとともに、評価テーブルの一方側または他方
側に配置された巻き取り機によって検査後の基材を巻き
取る。そして、評価テーブルと巻き出し機などの間に配
置された基材の下面を支持する昇降ロールを昇降させる
ことによって、評価テーブル上で静止された基材を、搬
送高さ位置である上方位置と、評価テーブルに載置され
る下方位置との間で昇降させる。評価テーブル上に配置
された基材の検査領域は、基材の上方に水平移動自在に
配置された画像検出器によりその画像が検出されて、検
査領域内に形成された配線パターンの欠陥の確認処理が
実行される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
検査装置によると昇降ローラによって、評価テーブル上
に配置された基材の検査領域表面が波打ち、評価テーブ
ル上に均一に配置されない。この結果、検査領域面内に
おいて画像検出器の焦点位置が基材表面からずれる箇所
が生じ、この箇所での検査が正確に行えないという問題
が発生する。

【０００４】また、画像検出器を移動させながら画像の
取得を行うと移動によっても焦点位置などがずれるた
め、検査が正確に行えないという問題が発生する。

【０００５】本発明は、上記課題に鑑みなされたもので
あり、高精度な画像を取得することができ、かつ、適切
な検査が行える検査装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、長尺の基材の表面を検査する検査装置において、前
記基材の検査すべき検査領域を有する検査面と反対側の
他方面側から前記基材の前記検査領域を支持面で支持す
る支持手段と、前記支持手段により支持された前記検査
領域を撮影する撮影手段と、前記支持手段と前記撮影手
段との間の搬送位置に前記基材を間欠的に繰り出す繰り
出し手段と、前記搬送位置にある前記基材に対して前記
支持手段を進退させる進退手段と、前記撮影手段によっ
て前記検査領域を撮影するときに、前記繰り出し手段に
よって繰り出されて静止した前記検査領域を、前記搬送
位置よりも前記撮影手段側で支持する位置まで前記支持
手段を進出させるように、前記進退手段を制御する制御
手段とを備える。

【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の検査装置において、前記支持面で前記検査領域の他方
面を吸着保持する吸着保持手段をさらに備える。

【０００８】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２に記載の検査装置において、前記撮影手段に対して前
記基材の搬送方向と直交する軸心周りに回動自在である
とともに、前記進退手段によって前記支持手段と一体に
進退させられる一対のローラ部材をさらに備え、前記一
対のローラ部材の上端が前記支持面とほぼ同一面内とな
るように、前記基材の前記搬送方向に沿った前記支持手
段の両側に設けられている。

【０００９】請求項４に記載の発明は、請求項１ないし
３のいずれかに記載の検査装置において、前記進退手段
によって前記支持手段が進出されているときに、前記繰
り出し手段からの前記基材の繰り出しを止めるブレーキ
手段をさらに備える。

【００１０】請求項５に記載の発明は、長尺の基材の表
面を検査する検査装置において、前記基材の検査すべき
検査領域を有する検査面と反対側の他方面側から前記基
材の前記検査領域を支持面で支持する支持手段と、前記
支持手段により支持された前記検査領域を撮影する撮影
手段と、前記支持手段と前記撮影手段との間の搬送位置
に前記基材を間欠的に繰り出す繰り出し手段と、前記支
持面で前記検査領域の他方面を吸着保持する吸着保持手
段と、前記吸着保持手段が検査領域を吸着保持するとき
に、前記搬送位置にある前記検査領域と前記支持面とが
接近するよう移動させる第１移動手段と、前記撮影手段
によって前記検査領域を撮影するときに、前記検査領域
を吸着保持した前記支持面を、前記撮影手段に対して前
記基材の搬送方向に沿って移動させる第２移動手段とを
備える。

【００１１】請求項６に記載の発明は、請求項５に記載
の検査装置において、前記第２移動手段が前記支持面を
移動させる場合に、前記繰り出し手段からの前記基材の
繰り出しを止めるブレーキ手段と、前記第２移動手段が
前記支持面を移動させることによる前記検査領域の移動
を許容するために、前記基材を所定の長さ寸法だけ蓄積
するとともに、前記検査領域の移動に応じて前記基材の
蓄積量を変化させる基材蓄積手段とをさらに備える。

【００１２】請求項７に記載の発明は、請求項５または
６に記載の検査装置において、前記第２移動手段が、前
記検査領域を吸着保持した前記支持面を、前記撮影手段
に対して往復移動させる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。

【００１４】＜１．第１の実施の形態＞図１は、第１
の実施の形態における検査装置１の正面図である。検査
装置１は、後述するＣＰＵなどの回路類を収める検査部
２、オペレータが指示を入力するボタン類やマウス、キ
ーボードなどからなる操作部４を載せるラック３、およ
びチューブ７１から空気を吸い込むブロア７から構成さ
れる。

【００１５】検査部２は、上面に画像データなどの各種
データを表示するディスプレイ５、中央には可撓性の長
尺の基材（以下、単に「基材」と略す。）の検査領域を
撮影して画像データを取得する撮影部６を備える。な
お、撮影部６は略水平方向に移動することができるよう
にされており、本発明における撮影手段に相当する。

【００１６】また、この実施の形態において、検査対象
となる基材は、例えば樹脂層上に配線パターンが形成さ
れてなり、最終的には所定長ごとにカットされて電子装
置のフレキシブル配線基板として利用される中間製品で
ある。

【００１７】図２は、検査装置１の検査部２の側面図で
ある。検査部２は、内部に基材９１を導く案内ローラ２
３および基板保護ローラ２４を備え、検査部２の外部に
設置されている図示しない基材収容部の巻き出しローラ
２１に巻かれた基材９１を仮想線（２点鎖線）で示すよ
うに内部に搬送することができるようにされている。さ
らに、撮影が終了し検査が終了した基材９１は、同じく
基材収容部の巻き取りローラ２２に順次巻き取られる。

【００１８】図３は、検査装置１の機能構成を示すブロ
ック図である。検査装置１は、ＣＰＵ１０にＲＯＭ１１
およびＲＡＭ１２を接続した構成となっている。さら
に、オペレータからの入力を受け付ける操作部４、ディ
スプレイ５、およびメモリ１３が、適宜、インターフェ
イス（図示せず）を介する等してＣＰＵ１０に接続され
る。

【００１９】検査装置１では、操作部４からの入力操作
に基づいてＣＰＵ１０を介してＲＡＭ１２とメモリ１３
との間で各種データの受け渡しが可能とされており、デ
ィスプレイ５には、ＣＰＵ１０の制御により、各種情報
の表示やＲＡＭ１２およびメモリ１３に記憶されいてる
画像の表示が行われる。

【００２０】また、ＣＰＵ１０には、撮影部６、ブロア
７、ローラ駆動部２０、テーブル駆動部３２およびブレ
ーキ機構４０が同様に接続される。

【００２１】撮影部６は、ＣＰＵ１０からの制御信号に
基づいてＸ軸およびＹ軸方向に移動しつつ、所定の位置
から基材９１の検査領域の撮影を行う。ブロア７は、チ
ューブ７１で接続された吸着テーブル３０内の空気を吸
い出す機能を有する。ブロア７の機能は、例えば、ファ
ンをモータで回転させることにより実現することができ
るが、もちろん他の方法が用いられてもよい。

【００２２】動作は後述するが、ローラ駆動部２０は、
巻き出しローラ２１と巻き取りローラ２２とをＣＰＵ１
０の制御に基づいて間欠的に回転駆動することにより、
吸着テーブル３０と撮影部６との間の搬送位置に基材９
１を間欠的に繰り出す。すなわち、巻き出しローラ２
１、巻き取りローラ２２およびローラ駆動部２０などに
より、本発明の繰り出し手段が実現される。なお、本実
施の形態において、ローラ駆動部２０、巻き出しローラ
２１、巻き取りローラ２２、およびブレーキ機構４０
は、図示しない基材収容部に備えられており、図３に示
すＣＰＵ１０との接続がケーブルなどにより実現されて
いるため、ＣＰＵ１０からの制御信号により制御が可能
とされている。

【００２３】吸着テーブル３０は、検査面（基材９１の
検査すべき検査領域を有する面）と反対側の他方面側か
ら基材９１の検査領域を支持面３００（図５参照）で支
持する。補助ローラ３１は、基材９１の搬送方向と直交
する軸心周りに回動自在にされる。テーブル駆動部３２
は、吸着テーブル３０と補助ローラ３１とを図３におけ
る上下方向に進退させることにより、搬送位置にある基
材９１に対して吸着テーブル３０を進退させる機能を有
する。すなわち、吸着テーブル３０が本発明における支
持手段に相当し、テーブル駆動部３２などが進退手段に
相当する。

【００２４】ブレーキ機構４０は、ＣＰＵ１０により制
御され、ＯＮ状態において巻き出しローラ２１および巻
き取りローラ２２からの基材９１の繰り出しを止める機
能を有する。すなわち、ブレーキ機構４０が本発明にお
けるブレーキ手段に相当し、ＣＰＵ１０などが制御手段
に相当する。なお、これらＣＰＵ１０による制御は、オ
ペレータが操作部４を操作することにより入力される指
示入力に基づいて、予めＲＯＭ１１内に記憶されている
プログラムに従って行われる。

【００２５】図４（ａ）ないし図４（ｃ）は、検査装置
１の搬送および検査における一連の動作を示した概略図
である。これらの図を用いて検査装置１において基材９
１の搬送および検査がどのように行われるかについて説
明する。なお、図４（ｃ）に示す方向は、図４において
共通である。

【００２６】まず、図４（ａ）に示すように、前の検査
領域の検査が終了した時点でＣＰＵ１０は、ブレーキ機
構４０をＯＦＦにするとともに、ブロア７を制御するこ
とにより吸着テーブル３０の吸着保持状態を解除する。
さらに、テーブル駆動部３２を制御して、吸着テーブル
３０を基材９１に対して後退させる。

【００２７】続いて、図４（ｂ）に示すようにローラ駆
動部２０が巻き出しローラ２１および巻き取りローラ２
２をそれぞれ図４（ｂ）の矢印で示す方向に回転させ、
基材９１の検査領域を搬送方向に搬送する。

【００２８】検査領域が所定の位置まで搬送されたこと
をＣＰＵ１０が検出し、ローラ駆動部２０を制御して、
巻き出しローラ２１および巻き取りローラ２２の回転を
停止する。なお、基材９１の検査領域が所定位置まで送
られたことを検出する手法として、例えば、基材９１の
所定の位置に位置決め用の目印を設け、位置決め用カメ
ラの撮影画像の所定の位置に当該目印が撮影されたこと
を画像認識により検出する手法が用いられる。

【００２９】次に、図４（ｃ）に示すように、ＣＰＵ１
０が、ブレーキ機構４０をＯＮに切り替えるとともに、
テーブル駆動部３２を制御して、搬送位置に静止してい
る基材９１に対して吸着テーブル３０をＺ方向に進出さ
せる。

【００３０】これにより、搬送位置に静止した基材９１
の検査領域を搬送位置よりも撮影部６側で支持する位置
まで吸着テーブル３０を進出させるようにテーブル駆動
部３２を制御することができ、基材９１の検査領域に張
力が付与され、基材９１が波打つことが防止されるた
め、撮影部６により高精度な画像を得ることができる。
また、テーブル駆動部３２によって吸着テーブル３０が
進出されているときに、巻き出しローラ２１および巻き
取りローラ２２からの基材９１の繰り出しを止めること
により、検査領域に付与される張力をより強くすること
ができる。

【００３１】さらに、ＣＰＵ１０がブロア７を制御して
空気を吸い出し、基材９１を吸着テーブル３０の支持面
３００に吸着させる。

【００３２】図５は、吸着テーブル３０が基材９１を吸
着保持する様子を概念的に示した図である。図５に示す
ように、吸着テーブル３０は内部が一部空洞となってお
り、支持面３００には、基材９１を吸着する吸着穴３０
２が一面に設けられ、下面にはチューブ７１が取り付け
られる。ブロア７が空気を吸い出すと、吸着テーブル３
０の内部の気圧が低下し、各吸着穴３０２に基材９１が
吸着される。

【００３３】これにより、吸着テーブル３０の支持面３
００で検査領域の他方面を吸着保持することができ、基
材９１が波打つことを防止することができるため、撮影
部６により高精度な画像を得ることができる。すなわ
ち、ブロア７、チューブ７１および吸着穴３０２などに
より本発明における吸着保持手段が実現される。

【００３４】また、図５に示すように補助ローラ３１
は、補助ローラ３１の上端が吸着テーブル３０の支持面
３００とほぼ同一面内となるように、基材９１の搬送方
向に沿った吸着テーブル３０の両側に設けられる。

【００３５】これにより、補助ローラ３１が基材９１の
保護部材としての機能を発揮するため、吸着テーブル３
０が基材９１を吸着保持する際などに、吸着テーブル３
０の角部で基材９１が傷つけられることを防止すること
ができ、適切な検査を行うことができる。すなわち、補
助ローラ３１は、本発明における一対のローラ部材に相
当する。

【００３６】基材９１の検査領域が吸着テーブル３０に
吸着されると、撮影部６がＣＰＵ１０の制御に基づいて
Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動しつつ、基材９１の検査
領域の撮影を行う。撮影された画像はディスプレイ５に
表示され、オペレータが直接観察することにより検査が
行われる。なお、検査の手法としては、撮影部６によっ
て取得された基材９１の検査領域の画像データに対し
て、パターンマッチング法やデザインルールチェック法
などの画像処理を実行して、検査領域に形成されたパタ
ーン等の欠陥を検出する手法が用いられてもよい。

【００３７】撮影部６による検査領域の撮影が終了する
と、図４（ａ）に示すように、再びＣＰＵ１０がブロア
７による吸着を停止し、ブレーキ機構をＯＦＦ状態にす
るとともに、吸着テーブル３０を後退させるようテーブ
ル駆動部３２を制御し、一つの検査領域の検査が終了す
る。検査装置１では、以上の動作が繰り返されることに
より長尺の基材９１の検査領域の検査を順次行うことが
できる。

【００３８】以上により、本実施の形態における検査装
置１は、吸着テーブル３０を静止した基材９１に押し当
てて基材９１に張力を発生させるとともに、吸着テーブ
ル３０の支持面３００に基材９１を吸着保持させること
により、基材９１が波打たない状態で撮影部６に検査領
域の撮影をさせることができる。これにより、撮影部６
が撮影する画像の焦点位置が狂うことがなくなり、高精
度の画像を得ることができ、適切な検査を行うことがで
きる。

【００３９】＜２．第２の実施の形態＞第１の実施の
形態では、長尺の基材が波打つことを防止して、撮影す
る画像の精度を向上させる検査装置について説明した
が、画像の精度を向上させることにより、適切な検査を
行うためには、撮影部を静止させた状態で検査領域を撮
影することも有効である。

【００４０】図６は、このような原理に従って構成した
第２の実施の形態における検査装置８の検査部９の側面
図である。なお、以下、第１の実施の形態における検査
装置１と同様の機能を有する構成については、適宜同じ
符号を用いて説明する。また、図６には巻き出しローラ
２１および巻き取りローラ２２のみ示しているがこれら
は図示しない基材収容部に他の構成とともに収容されて
いる。

【００４１】検査装置８の撮影部６０は、Ｙ軸方向には
固定されており、Ｘ軸方向にのみ移動することができる
ようにされている。図７（ａ）および図７（ｂ）は、本
実施の形態における撮影部６０が移動する前後を示した
概略図である。撮影部６０は、複数のカメラ６１がＸ軸
方向に沿って一列に配置された構造を有する。それぞれ
のカメラ６１は互いに位置関係が固定されており、検査
部９に固定されたガイド部材６３に沿ってＸ軸方向に一
体としてカメラ移動機構６２により往復移動させられ
る。なお、図７（ａ）は、撮影部６０の第１撮影位置を
示しており、図７（ｂ）は、撮影部６０の第２撮影位置
を示している。これらの位置関係については後述する。

【００４２】図６に戻って、検査装置８の吸着テーブル
３５は、点線で示す位置と仮想線（二点鎖線）で示す位
置との間を、テーブル移動機構３６（図９参照）によっ
てＹ軸方向に往復移動させられる。テーブル移動機構３
６は、例えば、吸着テーブル３５に螺合され、Ｙ軸方向
に延設されたボールネジと、このボールネジを回転駆動
するモータとで構成される。そして、このモータをＣＰ
Ｕ１０で制御してボールネジを正逆回転駆動して、吸着
テーブル３５をＹ軸方向に沿って往復移動させれば良
い。

【００４３】図８は、検査部９を上から見た図である。
検査部９は、前部の両側にオペレータが検査装置８に対
して、指示を入力するための操作部４を備える。

【００４４】図９は、検査装置８の機能構成を示すブロ
ック図である。なお、本実施の形態において、ローラ駆
動部２０、巻き出しローラ２１、巻き取りローラ２２、
ブレーキ機構４０、およびダンサーロール機構５１，５
２は、図示しない基材収容部に備えられており、第１の
実施の形態と同様に図９に示すＣＰＵ１０との接続がケ
ーブルなどにより実現されているため、ＣＰＵ１０から
の制御信号により制御が可能とされている。

【００４５】ダンサーロール機構５１，５２は、基材９
２を所定の長さ寸法だけ蓄積するとともに、テーブル移
動機構３６の移動に応じてダンサーロール５１０，５２
０をそれぞれ移動させることにより、基材９２の蓄積量
を変化させることができるようにされている。すなわ
ち、ダンサーロール機構５１，５２などが本発明におけ
る基材蓄積手段に相当する。なお、ダンサーロール機構
５１，５２に蓄積される基材９２の蓄積量が最大のとき
のダンサーロール５１０，５２０の位置を第１蓄積位
置、同じく最小のときのダンサーロール５１０，５２０
の位置を第２蓄積位置と称する。

【００４６】テーブル移動機構３６は、撮影部６０によ
って検査領域を撮影するときに、検査領域を吸着保持し
た吸着テーブル３５を、撮影部６０に対して基材９２の
搬送方向に沿って移動させる機能を有する。すなわち、
テーブル移動機構３６は、本発明における第２移動手段
に相当する。

【００４７】図１０は、吸着テーブル３５、テーブル移
動機構３６、移動ローラ３７、およびローラ移動機構３
８の構造を示す概略図である。ローラ移動機構３８は、
シリンダ構造を有しており、上部に移動ローラ３７が固
定され、Ｚ軸方向に進退することが可能である。また、
テーブル移動機構３６の上面には吸着テーブル３５が固
定される。

【００４８】移動ローラ３７は、基材９２の搬送方向
（図１０においてＹ軸方向）と直交する軸心周りに回動
自在にされており、ローラ移動機構３８およびガイド３
９により支持される。ガイド３９は、移動ローラ３７が
下方位置にある場合は、取付部材３０１に埋没してお
り、移動ローラ３７がローラ移動機構３８により上方位
置（図１０に示す位置）に移動するにともなって露出す
る構造となっており、移動ローラ３７の移動方向を規定
する機能を有する。

【００４９】移動ローラ３７およびローラ移動機構３８
は、取付部材３０１によりテーブル移動機構３６に取り
付けられており、移動ローラ３７およびローラ移動機構
３８をこのようなモジュール構造とすることにより、組
み立てなどの際にこれらの構造を容易に検査装置８に取
り付けることができる。

【００５０】図１１（ａ）ないし図１１（ｅ）は、検査
装置８の搬送および検査における一連の動作を示した概
略図である。これらの図を用いて検査装置８における基
材９２の搬送動作と検査がどのように行われるかを説明
する。なお、図１１（ｅ）に示す方向は図１１において
共通である。

【００５１】まず、図１１（ａ）に示すように、前の検
査領域の検査が終了した時点でＣＰＵ１０は、ブレーキ
機構４０をＯＦＦにするとともに、ブロア７を制御する
ことにより吸着テーブル３５の吸着保持状態を解除す
る。さらに、ダンサーロール５１０，５２０が移動しな
いように固定する。このとき、ダンサーロール５１０が
第２蓄積位置、ダンサーロール５２０が第１蓄積位置に
固定される。

【００５２】次に、図１１（ｂ）に示すように、ローラ
移動機構３８を制御して移動ローラ３７を基材９２に対
して進出させ、吸着テーブル３５に支持されている基材
９２を搬送位置まで移動させる。さらに、ローラ駆動部
２０を制御することにより、巻き出しローラ２１および
巻き取りローラ２２を回転させ、次に検査すべき検査領
域を所定の位置に搬送する。

【００５３】検査領域が所定の位置に搬送されると、図
１１（ｃ）に示すように、ＣＰＵ１０は、ブレーキ機構
４０をＯＮにするとともに、ローラ移動機構３８を制御
して移動ローラ３７を基材９２に対して後退させる。こ
のとき、検査領域は、基材９２の張力により搬送位置か
ら吸着テーブル３５の支持面に接近するよう移動する。
すなわち、移動ローラおよびローラ移動機構３８が本発
明における第１移動手段に相当する。なお、吸着テーブ
ル３５の支持面が検査領域を吸着保持するときに、検査
領域と吸着テーブル３５の支持面とを接近させる手法と
しては、吸着テーブル３５を基材９２の搬送位置方向に
移動させるようにしてもよい。

【００５４】吸着テーブル３５の支持面と検査領域とが
接近した時点で、ブロア７を制御することにより吸着テ
ーブル３５内の空気を吸い出し、吸着テーブル３５の支
持面に検査領域を吸着保持させる。さらに、ダンサーロ
ール５１０，５２０が移動できるように固定を解除す
る。

【００５５】次に、ＣＰＵ１０はテーブル移動機構３６
を制御して、図１１（ｄ）に示すように、吸着テーブル
３５をＹ方向（基材９２の搬送方向）に移動させる。こ
の間、検査領域は吸着テーブル３５に吸着されており、
ブレーキ機構４０により巻き出しローラ２１による基材
９２の繰り出し、および巻き取りローラ２２による基材
９２の巻き取りができないようにされている。したがっ
て、吸着テーブル３５がＹ方向に移動しようとすると、
巻き出しローラ側の基材９２が不足し、巻き取りローラ
２２側に基材９２が余ることになる。

【００５６】しかし、ＣＰＵ１０が吸着テーブル３５の
移動にあわせて、ダンサーロール５１０を第１蓄積位置
方向に移動させるとともに、ダンサーロール５２０を第
２蓄積位置方向に移動させるため、基材９２の余った部
分がダンサーロール機構５１に蓄積され、ダンサーロー
ル機構５２に蓄積されていた基材９２の部分が引き出さ
れる。そして、吸着テーブル３５が移動している間に、
撮影部６０により検査領域の撮影が行われ、検査領域の
画像が取得される。

【００５７】吸着テーブル３５が所定の位置まで移動す
ると、カメラ移動機構６２（図７）により撮影部６０が
Ｘ軸方向に所定の位置まで移動する。撮影部６０の移動
が完了すると、テーブル移動機構３６がＣＰＵ１０から
の制御に基づいて、吸着テーブル３５をＹ方向とは逆の
方向に移動させる。この間も、吸着テーブル３５の移動
にあわせて、ダンサーロール５１０が第２蓄積位置方向
に移動するとともに、ダンサーロール５２０が第１蓄積
位置方向に移動する。そして、撮影部６０により検査領
域の撮影が行われ、検査領域の画像が取得される。

【００５８】このように、ダンサーロール機構５１，５
２により吸着テーブル３５の移動が許容され、例えば、
吸着テーブル３５の移動にあわせて巻き出しローラ２１
および巻き取りローラ２２を逆転させるなどする場合に
比べて、基材９２に生ずる弛みを減少させることがで
き、適切な検査を行うことができる。

【００５９】図１２は、撮影部６０の位置ごとに撮影さ
れる検査領域の範囲を示した図である。図１２に斜線で
示す領域９２０は、撮影部６０が図７（ａ）に示す第１
撮影位置に固定されているとき（吸着テーブル３５に吸
着されている検査領域がＹ方向に移動しているとき）に
撮影される領域であり、白色で示す領域９２１は、撮影
部６０が図７（ｂ）に示す第２撮影位置に固定されてい
るとき（吸着テーブル３５に吸着されている検査領域が
Ｙ方向と逆向きに移動しているとき）に撮影される領域
である。撮影部６０は、第１撮影位置と第２撮影位置と
がそれぞれの撮影領域を互いに補う位置関係となるよう
に移動量が定められる。

【００６０】このように、検査領域を吸着保持した吸着
テーブル３５を撮影部６０に対して往復移動させること
により、検査領域の撮影の際に撮影部６０を第１撮影位
置または第２撮影位置に固定して撮影することができる
ことから、高精度の画像を得ることができる。また、撮
影部６０に複数のカメラ６１を配置した場合に、撮影可
能な領域の間を補うことができ、適切な検査を行うこと
ができる。

【００６１】吸着テーブル３５が所定の予定の位置まで
移動すると、検査領域の撮影が終了し、一つの検査領域
に対する検査が終了する。このとき、ＣＰＵ１０は、ブ
レーキ機構４０をＯＦＦにするとともに、ダンサーロー
ル５１０，５２０を固定する。さらに、ブロア７を制御
して吸着テーブル３５の吸着保持を解除し、図１１
（ａ）に示す状態に戻る。検査装置８では、以上の動作
が繰り返されることにより長尺の基材９２の検査領域の
検査を順次行うことができる。

【００６２】以上により、第２の実施の形態における検
査装置８においても第１の実施の形態と同様の効果を得
ることができるとともに、検査領域を撮影する際に吸着
テーブル３５が移動することにより、撮影部６０は固定
したままで検査領域の撮影を行うことができることか
ら、より高精度な画像を得ることができ、適正な検査を
行うことができる。また、ダンサーロール機構５１，５
２により、吸着テーブル３５が移動する際の基材９２の
弛みを最小限にすることができること、および吸着テー
ブル３５を撮影部６０に対して往復移動させることによ
り検査領域のうち撮影されない領域が発生することを防
止することができることから、適正な検査を行うことが
できる。

【００６３】＜３．変形例＞以上、本発明の実施の形
態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に
限定されるものではなく様々な変形が可能である。

【００６４】例えば、長尺の基材の搬送方法は、上記実
施の形態に示す方法に限られるものではない。例えば、
基材が垂直になるように搬送してもよい。また、その場
合は、基材を搬送するための各種ローラの数や大きさ
が、必要に応じて適宜定められる。

【００６５】また、上記実施の形態に係る処理をＣＰＵ
１０に実行させるプログラムは、必ずしもＲＯＭ１１に
予め書き込まれていなくてもよい。検査装置には、事前
に読取装置などを介して記録媒体からプログラムが読み
出され、メモリ１３に記憶された後、実行されてもよ
い。

【００６６】

【発明の効果】請求項１に記載の発明では、撮影手段に
よって検査領域を撮影するときに、繰り出し手段によっ
て繰り出されて静止した検査領域を、搬送位置よりも撮
影手段側で支持する位置まで支持手段を進出させるよう
に、進退手段を制御することにより、検査領域に張力が
付与され、基材が波打つことを防止することができ、高
精度な画像が得られる。

【００６７】請求項２に記載の発明では、支持面で検査
領域の他方面を吸着保持することにより、基材が波打つ
ことをさらに防止することができ、高精度な画像が得ら
れる。

【００６８】請求項３に記載の発明では、一対のローラ
部材の上端が支持面とほぼ同一面内となるように、基材
の搬送方向に沿った支持手段の両側に設けられているこ
とにより、支持手段の角部で基材を傷つけることを防止
することができるため、適切な検査を行うことができ
る。

【００６９】請求項４に記載の発明では、進退手段によ
って支持手段が進出されているときに、繰り出し手段か
らの基材の繰り出しを止めることにより、検査領域に付
与される張力をより強くすることができ、基材が波打つ
ことを防止することができるため、高精度な画像が得ら
れる。

【００７０】請求項５に記載の発明では、撮影手段によ
って検査領域を撮影するときに、検査領域を吸着保持し
た支持面を、撮影手段に対して基材の搬送方向に沿って
移動させることにより、撮影手段を固定して検査できる
ので、高精度な画像が得られる。

【００７１】請求項６に記載の発明では、第２移動手段
が支持面を移動させることによる検査領域の移動を許容
するために、基材を所定の長さ寸法だけ蓄積するととも
に、検査領域の移動に応じて基材の蓄積量を変化させる
ことにより、第２移動手段により検査領域が移動する際
の基材の弛みを減らすことができ、適切な検査を行うこ
とができる。

【００７２】請求項７に記載の発明では、第２移動手段
が、検査領域を吸着保持した支持面を、撮影手段に対し
て往復移動させることにより、検査領域のうち撮影され
ない領域が発生することを防止することができ、適切な
検査を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態における検査装置の正面図で
ある。

【図２】検査装置の検査部の側面図である。

【図３】検査装置の機能構成を示すブロック図である。

【図４】検査装置の搬送および検査における一連の動作
を示した概略図である。

【図５】吸着テーブルが基材を吸着保持する様子を概念
的に示した図である。

【図６】第２の実施の形態における検査装置の検査部の
側面図である。

【図７】第２の実施の形態における撮影部が移動する前
後を示した概略図である。

【図８】第２の実施の形態における検査部を上から見た
図である。

【図９】検査装置の機能構成を示すブロック図である。

【図１０】吸着テーブル、テーブル移動機構、移動ロー
ラ、およびローラ移動機構の構造を示す概略図である。

【図１１】検査装置の搬送および検査における一連の動
作を示した概略図である。

【図１２】撮影部の位置ごとに撮影される検査領域の範
囲を示した図である。

【符号の説明】１，８検査装置１０ＣＰＵ１１ＲＯＭ１２ＲＡＭ１３メモリ２０ローラ駆動部２１巻き出しローラ２２巻き取りローラ３０，３５吸着テーブル３００支持面３０２吸着穴３１補助ローラ３２テーブル駆動部３６テーブル移動機構３７移動ローラ３８ローラ移動機構４０ブレーキ機構５１，５２ダンサーロール機構５１０，５２０ダンサーロール６，６０撮影部７ブロア７１チューブ９１，９２基材

フロントページの続き (72)発明者澤田一也京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１大日本スクリーン製造株式会社内 (72)発明者宮原章京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１大日本スクリーン製造株式会社内 (72)発明者小田裕史京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１大日本スクリーン製造株式会社内Ｆターム(参考） 2F065 AA01 AA14 AA20 AA49 AA56 BB02 BB13 BB27 CC01 DD10 EE05 FF04 FF61 JJ03 JJ26 MM07 NN20 PP03 QQ31 QQ38 RR08 2G051 AA31 AA65 AB02 AB11 AC11 AC15 CA04 CA07 DA01 DA06 DA09 EA12 EA14 ED11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】長尺の基材の表面を検査する検査装置に
おいて、前記基材の検査すべき検査領域を有する検査面と反対側
の他方面側から前記基材の前記検査領域を支持面で支持
する支持手段と、前記支持手段により支持された前記検査領域を撮影する
撮影手段と、前記支持手段と前記撮影手段との間の搬送位置に前記基
材を間欠的に繰り出す繰り出し手段と、前記搬送位置にある前記基材に対して前記支持手段を進
退させる進退手段と、前記撮影手段によって前記検査領域を撮影するときに、
前記繰り出し手段によって繰り出されて静止した前記検
査領域を、前記搬送位置よりも前記撮影手段側で支持す
る位置まで前記支持手段を進出させるように、前記進退
手段を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする
検査装置。
【請求項２】請求項１に記載の検査装置において、前記支持面で前記検査領域の他方面を吸着保持する吸着
保持手段をさらに備えることを特徴とする検査装置。
【請求項３】請求項１または２に記載の検査装置にお
いて、前記撮影手段に対して前記基材の搬送方向と直交する軸
心周りに回動自在であるとともに、前記進退手段によっ
て前記支持手段と一体に進退させられる一対のローラ部
材をさらに備え、前記一対のローラ部材の上端が前記支持面とほぼ同一面
内となるように、前記基材の前記搬送方向に沿った前記
支持手段の両側に設けられていることを特徴とする検査
装置。
【請求項４】請求項１ないし３のいずれかに記載の検
査装置において、前記進退手段によって前記支持手段が進出されていると
きに、前記繰り出し手段からの前記基材の繰り出しを止
めるブレーキ手段をさらに備えることを特徴とする検査
装置。
【請求項５】長尺の基材の表面を検査する検査装置に
おいて、前記基材の検査すべき検査領域を有する検査面と反対側
の他方面側から前記基材の前記検査領域を支持面で支持
する支持手段と、前記支持手段により支持された前記検査領域を撮影する
撮影手段と、前記支持手段と前記撮影手段との間の搬送位置に前記基
材を間欠的に繰り出す繰り出し手段と、前記支持面で前記検査領域の他方面を吸着保持する吸着
保持手段と、前記吸着保持手段が検査領域を吸着保持するときに、前
記搬送位置にある前記検査領域と前記支持面とが接近す
るよう移動させる第１移動手段と、前記撮影手段によって前記検査領域を撮影するときに、
前記検査領域を吸着保持した前記支持面を、前記撮影手
段に対して前記基材の搬送方向に沿って移動させる第２
移動手段と、を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項６】請求項５に記載の検査装置において、前記第２移動手段が前記支持面を移動させる場合に、前
記繰り出し手段からの前記基材の繰り出しを止めるブレ
ーキ手段と、前記第２移動手段が前記支持面を移動させることによる
前記検査領域の移動を許容するために、前記基材を所定
の長さ寸法だけ蓄積するとともに、前記検査領域の移動
に応じて前記基材の蓄積量を変化させる基材蓄積手段
と、をさらに備えることを特徴とする検査装置。
【請求項７】請求項５または６に記載の検査装置にお
いて、前記第２移動手段が、前記検査領域を吸着保持した前記
支持面を、前記撮影手段に対して往復移動させることを
特徴とする検査装置。