KR20140032659A - 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 - Google Patents

기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 Download PDF

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KR20140032659A
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Abstract

본 발명은 기판 검사 장치에 관한 것으로, 검사대상물이 제공되는 언와인딩롤과, 상기 언와인딩롤로부터 제공되는 검사대상물을 검사하는 검사부와, 상기 검사부의 일측에 형성되어 검사대상물의 이동방향을 전환하는 방향전환롤 및 상기 검사부에서 검사를 마친 검사대상물이 언로딩되는 리와인딩롤을 포함한다.

Description

기판 검사 장치 및 기판 검사 방법{APPARATUS FOR INSPECTING A SUBSTRATE AND METHOD FOR INSPECTING A SUBSTRATE}
본 발명은 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 롤 단위로 권취된 플렉시블 인쇄회로기판의 상면과 하면의 불량을 한번에 검사할 수 있는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로 인쇄회로기판(Printed Circuit Board : PCB)은 모바일, 광학, 노트북, 프린터, LCD 등의 전자 통신 기기 등에 사용되는 가장 기본적인 부품으로서, 최근 전자제품이 소형화, 박판화, 고밀도화, 패키지(package)화 및 개인휴대화로 경박 단소화되는 추세에 따라 필름, 테이프 타입 등의 플렉시블 인쇄회로기판(Flexible Printed Circuit Board : FPCB)을 많이 사용하고 있으며, 소형화, 박판화 등의 추세에 따라 TAB(Tape Automated Bonding), TBGA(Tape Ball GridArray), ASIC(Application Specific Integrated Circuit), TCP(Tape Carrier Package), COF(Chip on Film) 등의 다양한 형태로 개발되고 있다.
이러한, 플렉시블 인쇄회로기판은 일반 필름이나 테이프와 같이 얇고 휘기 쉬운데다가 연이어 길게 붙어 있기 때문에 롤에 감아 보관하게 된다.
이와 같은 플렉시블 인쇄회로기판은 필름 형태의 길이가 긴 소재로 완성된 후, LCD나 모바일 등 각종 박형의 전자제품(완제품)의 생산라인에 투입되기 전에 기판 검사 장치에 의해 패턴의 단락이나 단선, 긁힘, 크랙, 이물질, 칩의 파손, 또는 이물질 부착 등의 각종 결합 유무를 검사하는 외관검사를 거친다.
상기 기판 검사 장치로는, 검사자의 육안을 통한 마크로 검사장치(Macro Inspection)와, 광학렌즈와 CCD(Charged Coupled Device) 카메라를 사용하는 자동광학검사장치(Automatic Optical Inspection)가 있다.
특히, 상기 자동광학검사장치는 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 플렉시블 인쇄회로기판의 이미지를 캡처한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함 유무를 검출해 내는 장치이다.
이러한, 상기 자동광학검사장치를 이용한 플렉시블 인쇄회로기판의 검사는 검사할 플렉시블 인쇄회로기판이 감겨 있는 언와인딩롤과, 언와인딩롤에서 풀려 검사를 마친 플렉시블 인쇄회로기판을 다시 감아 보관하는 리와인딩롤과, 언와인딩롤과 리와인딩롤 사이에 형성되어 플렉시블 인쇄회로기판을 검사하는 검사부로 구성되어 플렉시블 인쇄회로기판을 검사하게 된다.
그러나, 종래의 자동광학검사장치는 플렉시블 인쇄회로기판의 상하면의 검사를 위해서는 하나의 롤에 감겨진 모든 플렉시블 인쇄회로기판의 상면을 검사한 후, 플렉시블 인쇄회로기판이 감겨진 롤을 반전시켜 하면에 대한 검사를 진행하므로, 검사를 위한 많은 시간이 소요되고, 플렉시블 인쇄회로기판의 하면에 대한 검사를 위하여 작업자에 의한 플렉시블 인쇄회로기판의 롤을 이동 및 방향을 전환해주는 작업이 필요하다는 문제점이 있다.
한국 공개특허공보 10-2011-0116369 한국 공개특허공보 10-2004-0108539
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 본 발명은 플렉시블 인쇄회로기판의 상면과 하면의 결함 유무를 한번에 검출할 수 있는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치는 검사대상물이 제공되는 언와인딩롤과, 상기 언와인딩롤로부터 제공되는 검사대상물을 검사하는 검사부와, 상기 검사부의 일측에 형성되어 검사대상물의 이동방향을 전환하는 방향전환롤 및 상기 검사부에서 검사를 마친 검사대상물이 언로딩되는 리와인딩롤을 포함한다.
여기서, 상기 검사부는 상기 검사대상물의 상면을 검사하는 상면검사부와, 하면을 검사하는 하면검사부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 검사부는 상기 언와인딩롤로부터 제공되는 검사대상물이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지의 상부에 검사대상물을 향하여 설치되어 검사대상물을 촬영하는 촬영부를 포함할 수 있다.
이때, 상기 스테이지는 상기 검사대상물을 진공 흡착하기 위한 진공홀이 형성될 수 있다.
또한, 상기 촬영부는 상기 검사대상물의 폭 방향으로 이동 가능하도록 형성될 수 있다.
여기서, 상기 촬영부는 상기 검사대상물의 이송방향으로 복수개가 형성될 수 있다.
또한, 상기 검사부는 상기 상면검사부와 하면검사부가 수직방향으로 적층된 형태로 형성될 수 있다.
한편, 상기 검사부를 제어하며, 검사대상물의 결함 유무를 판별하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제어부는 상기 언와인딩롤과 리와인딩롤의 구동을 제어하여 검사대상물을 이동시킬 수 있다.
또한, 상기 검사부는 상기 검사대상물을 향하여 광을 조사하는 조명부재를 더 포함할 수 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 방법은 언와인딩롤에 감겨진 검사대상물을 풀러 이송하여 상면검사부로 검사대상물의 상면을 검사하는 단계와, 상면을 검사한 검사대상물을 방향전환롤로 하면이 상부를 향하도록 전환하여 하면검사부로 이송하는 단계와, 하면검사부로 이송된 검사대상물의 하면을 검사하는 단계 및 상면과 하면을 모두 검사를 마친 검사대상물을 리와인딩롤에 감는 단계를 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법은 방향전환롤을 통하여 플렉시블 인쇄회로기판을 반전시켜 하면을 검사함으로써, 플렉시블 인쇄회로기판의 상면과 하면을 한번에 검사할 수 있으므로, 플렉시블 인쇄회로기판 생산을 위한 리드타임(Lead Time)을 단축시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있으며, 검사를 자동으로 할 수 있으므로, 작업자에 의한 불량 및 이물 발생을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치를 나타낸 도면.
도 2는 도 1의 스테이지를 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치를 나타낸 블록도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치를 이용한 기판 검사 방법의 순서를 나타낸 순서도.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 그러나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고 후술 되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.
이하, 첨부된 도 1 내지 도 4의 도면을 참고하여 본 발명에 따른 기판 이송 장치 및 기판 이송 방법의 실시예를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치를 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 스테이지를 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치를 나타낸 블록도이다.
여기서, 도 1에서 표시된 '→' 부호는 검사대상물(B)의 이송경로를 나타낸 것이다.
도 1 내지 도 3에서 보는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치는 검사대상물(B)이 제공되는 언와인딩롤(100)과, 상기 언와인딩롤(100)로부터 제공되는 검사대상물(B)을 검사하는 검사부(200)과, 상기 검사부(200)의 일측에 형성되어 검사대상물(B)의 이동방향을 전환하는 방향전환롤(300) 및 상기 검사부(200)에서 검사를 마친 검사대상물(B)이 언로딩되는 리와인딩롤(500)을 포함한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치는 상기 언와이딩롤(100)과, 검사부(200) 및 리와인딩롤(500)을 제어하며, 검사대상물(B)의 결함 유무를 판별하는 제어부(400)를 더 포함할 수 있다
상기 언와인딩롤(100)은 검사가 진행될 검사대상물(B)을 제공하는 것으로, 검사가 진행될 검사대상물(B)을 감아 보관하는 원통 형상의 보빈(bobbin) 부재로 축을 중심으로 회전가능하게 형성될 수 있으며, 구동모터(도면 미도시)에 연결된 회전축(101)에 결합되고, 구동모터에 의해 회전됨에 따라 감겨진 검사대상물(B)이 풀어져 검사부(200)로 공급된다.
여기서, 상기 검사대상물(B)은 다수의 유닛이 연속적으로 형성된 필름(film) 또는 테이프(tape) 타입 등의 플렉시블 인쇄회로기판(B)일 수 있으며, 상기 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 일면 또는 양면에는 일정한 형태로 회로패턴이 형성될 수 있다.
상기 검사부(200)는 상기 언와인딩롤(100)로부터 공급되는 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 일면을 검사하는 것으로, 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 일면을 촬영하여 회로패턴의 단락이나 단선, 긁힘, 크랙, 이물질, 칩의 파손, 또는 이물질 부착 등의 각종 결합 유무를 검사할 수 있다.
여기서, 상기 검사부(200)는 상기 언와인딩롤(100)로부터 공급되는 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 상면을 검사하는 상면검사부(210)와, 하면을 검사하는 하면검사부(220)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 검사부(200)는 상면검사부(210)와 하면검사부(220)가 적층된 형태로 설치되는 육면체 형상의 프레임(201)을 더 포함할 수 있다.
즉, 상기 검사부(200)의 상면검사부(210)는 프레임(201)의 상부에 설치되고, 하면검사부(210)는 프레임(201)의 하부에 형성되어 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 상면과 하면을 검사하게 된다.
한편, 상기 상면검사부(210)는 플렉시블 인쇄회로기판(B)이 안착되는 제1스테이지(211)와, 상기 제1스테이지(211)의 상부에 플렉시블 인쇄회로기판(B)을 향하여 설치되어 플렉시블 인쇄회로기판(B)을 촬영하는 제1촬영부(212)로 구성될 수 있다.
여기서, 상기 제1스테이지(211)에는 플렉시블 인쇄회로기판(B)을 진공 흡착하기 위한 진공홀(211a)이 형성될 수 있다. 이때, 상기 진공홀(211a)은 에어펌프(도면 미도시)에 연결되어 에어를 흡입할 수 있다. 즉, 상기 플렉시블 인쇄회로기판(B)이 제1스테이지(211)에 안착되면 진공홀(211a)을 통해 에어펌프가 에어를 흡입하여 플렉시블 인쇄회로기판(B)은 휘어짐 없이 제1스테이지(211)에 진공 흡착되어 고정된다.
또한, 상기 제1촬영부(212)는 제1스테이지(211)에 안착되는 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 상면을 촬영하는 것으로 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 이송방향을 따라 다수개가 형성될 수 있다.
이때, 상기 제1촬영부(212)는 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 폭 방향으로 이동 가능하도록 형성되어 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 상면을 폭 방향으로 이동하며 스캔하게 된다.
아울러, 상기 제1촬영부(212)의 양측에는 광을 조사하는 조명부재(213)가 형성될 수 있다. 이때, 상기 조명부재(213)는 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 폭 방향을 따라 다수개가 형성되어 제1촬영부(212)가 촬영하는 영역에 광을 조사하게 된다.
한편, 상기 하면검사부(220)는 상기 상면검사부(210)의 하부에 형성되어 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 하면을 검사하는 것으로, 플렉시블 인쇄회로기판(B)이 안착되는 제2스테이지(221)와, 상기 제2스테이지(221)의 상부에 플렉시블 인쇄회로기판(B)을 향하여 설치되어 플렉시블 인쇄회로기판(B)을 촬영하는 제2촬영부(222)와 제2촬영부(222)의 양측에 형성되어 제2촬영부(222)가 촬영하는 영역으로 광을 조사하는 제2조명부재(223)로 구성될 수 있다.
여기서, 상기 제2스테이지(221)에는 상기 제1스테이지(211)와 동일하게 플렉시블 인쇄회로기판(B)을 진공 흡착하기 위한 진공홀(도면 미도시)이 형성될 수 있으며, 상기 진공홀은 에어펌프(도면 미도시)에 연결되어 에어를 흡입하여 제2스테이지(221)에 안착되는 플렉시블 인쇄회로기판(B)은 휘어짐 없이 제2스테이지(221)에 진공 흡착되어 고정되게 된다.
이때, 상기 제2촬영부(222)는 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 하면을 촬영하는 것으로 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 이송방향을 따라 다수개가 형성될 수 있으며, 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 폭 방향으로 이동 가능하도록 형성되어 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 하면을 폭 방향으로 이동하며 스캔하게 된다.
아울러, 상기 제2촬영부(222)의 양측에는 광을 조사하는 조명부재(223)가 형성될 수 있다. 이때, 상기 조명부재(223)는 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 폭 방향을 따라 다수개가 형성되어 제2촬영부(222)가 촬영하는 영역에 광을 조사하게 된다.
또한, 상기 하면검사부(220)는 상기 상면검사부(210)에서 상면 검사를 마친 플렉시블 인쇄회로기판(B)이 공급되어 하면을 검사하게 되는데, 상면검사부(210)에서 검사를 마친 플렉시블 인쇄회로기판(B)은 검사부(200)의 일측인 언와인딩롤(100)의 대향되는 측에 형성된 방향전환롤(300)에 의해 이송방향이 전환되어 상면검사부(210)의 하부에 형성된 하면검사부(220)로 이송될 수 있다.
여기서, 상기 방향전환롤(300)에 의해 방향이 전환되는 플렉시블 인쇄회로기판(B)은 하면이 상부를 향하도록 뒤집혀져 하면검사부(220)로 이송되어 제2스테이지(221)에 안착되고, 제2스테이지(221)의 상부에 플렉시블 인쇄회로기판(B)을 향하여 설치된 제2촬영부(222)를 통해 제2스테이지(221)에 안착된 플렉시블 인쇄회로기판(B)을 상면을 촬영하게 되므로, 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 상면과 하면을 모두 검사하게 된다.
즉, 상기 방향전환롤(300)을 통하여 상면을 검사한 플렉시블 인쇄회로기판(B)을 반전시켜 하면을 검사함으로써, 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 상면과 하면을 한번에 검사할 수 있으므로, 플렉시블 인쇄회로기판(B) 생산을 위한 리드타임(Lead Time)을 단축시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있으며, 검사를 자동으로 할 수 있으므로, 작업자에 의한 불량 및 이물 발생을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
그리고, 상기 하부검사부(220)에서 검사가 완료된 플렉시블 인쇄회로기판(B)은 상기 언와인딩롤(100)의 하부에 형성된 리와인딩롤(500)에 로딩될 수 있다. 이때, 상기 리와인딩롤(500)은 상기 언와인딩롤(100)과 동일한 구성으로 형성될 수 있다.
즉, 상기 리와인딩롤(500)은 원통 형상의 보빈(bobbin) 부재로 축을 중심으로 회전가능하게 형성될 수 있으며, 구동모터(도면 미도시)에 연결된 회전축(501)에 결합되고, 구동모터에 의해 회전됨에 따라 검사가 완료된 플렉시블 인쇄회로기판(B)을 권취하게 된다.
한편, 상기 제1촬영부(212)와 제2촬영부(222)에서 촬영된 영상은 제어부(400)로 전송되게 된다.
여기서, 상기 제어부(400)는 미리 저장되어 있는 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 기준 회로패턴과, 상기 제1촬영부(212) 및 제2촬영부(222)에서 전송되는 영상을 비교하여 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 상면과 하면에 대한 결함 여부를 판별하게 된다.
또한, 상기 제어부(400)는 언와인딩롤(100)과 리와인딩롤(500)의 구동을 제어할 수 있다.
여기서, 상기 플렉시블 인쇄회로기판(B)은 연속적으로 이송되는 것이 아니라 일정 거리만큼 이송된 후 정지하고 다시 일정 거리만큼 이송되는 것으로, 상기 제어부(400)는 플렉시블 인쇄회로기판(B)에 대하여 검사부(200)의 검사가 진행되는 동안 언와인딩롤(100)과 리와인딩롤(500)을 정지시키고, 검사 후 일정 거리만큼 이송시키도록 언와인딩롤(100)과 리와인딩롤(500)을 구동시키게 된다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치를 이용한 기판 검사 방법의 순서를 나타낸 순서도이다.
도 4에서 보는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치를 이용한 기판 검사 방법은 먼저, 언와인딩롤(100)에 감겨진 플렉시블 인쇄회로기판(B)을 풀러 이송하여 상면검사부(210)로 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 상면을 검사하는 단계를 수행할 수 있다.
이때, 상기 플렉시블 인쇄회로기판(B)은 상면검사부(210)의 제1스테이지(211)에 진공 흡착되는데, 제어부(400)에 미리 저장된 기준위치에 대응되도록 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 안착 위치를 조정하여 제1스테이지(211)에 진공 흡착시킨다. 또한, 상기 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 상면 결합 여부는 상기 제1촬영부(212)에 의해 촬영된 영상과 제어부(400)에 미리 저장된 기준 회로패턴을 비교하여 결함 여부를 판별하게 된다.
다음으로, 상면을 검사한 플렉시블 인쇄회로기판(B)을 방향전환롤(300)로 하면이 상부를 향하도록 전환하여 하면검사부(220)로 이송하는 단계를 수행할 수 있다.
여기서, 상면을 검사가 완료된 플렉시블 인쇄회로기판(B)은 상기 언와인딩롤(100)과 대향되는 측에 형성된 방향전환롤(300)에 의해 이송방향이 전환되어 상면검사부(210)의 하부에 형성된 하면검사부(220)로 이송될 수 있다. 이때, 상기 하면검사부(220)로 이송되는 플렉시블 인쇄회로기판(B)은 상기 방향전환롤(300)에 의해 방향이 전환됨과 동시에 하면이 상부를 향하도록 뒤집혀져 하면검사부(220)로 이송될 수 있다.
이후, 상기 하면검사부(220)로 이송된 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 상면을 검사하는 단계를 수행할 수 있다.
여기서, 상하면이 반전되어 하면검사부(220)로 이송되는 플렉시블 인쇄회로기판(B)은 제2촬영부(222)를 통해 상면이 촬영되고, 촬영된 영상과 제어부(400)에 미리 저장된 기준 회로패턴을 비교하여 결함 여부를 판별하게 됨으로써, 플렉시블 인쇄회로기판(B)의 상면과 하면을 모두 검사하게 된다.
다음, 상면과 하면을 모두 검사를 마친 검사대상물(B)을 리와인딩롤(500)에 감는 단계를 수행할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법은 방향전환롤을 통하여 플렉시블 인쇄회로기판을 반전시켜 하면을 검사함으로써, 플렉시블 인쇄회로기판의 상면과 하면을 한번에 검사할 수 있으므로, 플렉시블 인쇄회로기판 생산을 위한 리드타임(Lead Time)을 단축시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있으며, 검사를 자동으로 할 수 있으므로, 작업자에 의한 불량 및 이물 발생을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다.
그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100 : 언와인딩롤
200 : 검사부
210 : 상면검사부
211 : 제1스테이지
212 : 제1촬영부
213 : 제1조명부재
220 : 하면검사부
221 : 제2스테이지
222 : 제2촬영부
223 : 제2조명부
300 : 방향전환롤
400 : 제어부
500 : 리와인딩롤

Claims (11)

  1. 검사대상물이 제공되는 언와인딩롤;
    상기 언와인딩롤로부터 제공되는 검사대상물을 검사하는 검사부;
    상기 검사부의 일측에 형성되어 검사대상물의 이동방향을 전환하는 방향전환롤; 및
    상기 검사부에서 검사를 마친 검사대상물이 언로딩되는 리와인딩롤;
    을 포함하는 기판 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 검사부는
    상기 검사대상물의 상면을 검사하는 상면검사부와, 하면을 검사하는 하면검사부를 포함하는 기판 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 검사부는
    상기 언와인딩롤로부터 제공되는 검사대상물이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지의 상부에 검사대상물을 향하여 설치되어 검사대상물을 촬영하는 촬영부를 포함하는 기판 검사 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 스테이지는
    상기 검사대상물을 진공 흡착하기 위한 진공홀이 형성되는 기판 검사 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 촬영부는
    상기 검사대상물의 폭 방향으로 이동 가능하도록 형성되는 기판 검사 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 촬영부는
    상기 검사대상물의 이송방향으로 복수개가 형성되는 기판 검사 장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 검사부는
    상기 상면검사부와 하면검사부가 수직방향으로 적층된 형태로 형성되는 기판 검사 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 검사부를 제어하며, 검사대상물의 결함 유무를 판별하는 제어부를 더 포함하는 기판 검사 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제어부는
    상기 언와인딩롤과 리와인딩롤의 구동을 제어하여 검사대상물을 이동시키는 기판 검사 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 검사부는
    상기 검사대상물을 향하여 광을 조사하는 조명부재를 더 포함하는 기판 검사 장치.
  11. 언와인딩롤에 감겨진 검사대상물을 풀러 이송하여 상면검사부로 검사대상물의 상면을 검사하는 단계;
    상면을 검사한 검사대상물을 방향전환롤로 하면이 상부를 향하도록 전환하여 하면검사부로 이송하는 단계;
    하면검사부로 이송된 검사대상물의 상면을 검사하는 단계; 및
    상면과 하면을 모두 검사를 마친 검사대상물을 리와인딩롤에 감는 단계;
    를 포함하는 기판 검사 방법.
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