KR20200047260A - 광학 필름의 결함 검사 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 광학 필름의 결함 검사 방법은 (a) 광학 필름을 스테이지에 위치시키는 단계; (b) 권출롤로부터 투명 필름을 권출하여 상기 광학 필름 상에 위치시키는 단계; (c) 상기 투명 필름 상에 구비된 제1 및 제2 가이드롤을, 상기 투명 필름의 하부가 상기 광학 필름의 상부에 접할때까지 하강시키는 단계; (d) 상기 광학 필름의 하부에서 확산판이 구비된 면조명을 이용하여 광을 조사하여 상기 광학 필름 상부의 표면 이미지를 획득하는 단계; (e) 상기 표면 이미지로부터 결함을 검출하는 단계; 및 (f) 상기 제1 및 제2 가이드롤을 상승시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

광학 필름의 결함 검사 방법 및 장치{METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING DEFECT OF OPTICAL FILM}

본 발명은 광학 필름의 결함 검사 방법 및 장치에 관한 것이다.

최근 스마트폰, 태블릿 PC와 같은 모바일 기기의 발전과 함께 디스플레이용 기재의 박막화 및 슬림화 뿐만 아니라, 접을 수 있는 디스플레이까지 개발하려는 시도가 있다.

일반적으로, LCD(liquid crystal display), LED(light emitting diode), OLED(organic light emitting diode) 등의 디스플레이 패널은 디스플레이 패널 자체의 패턴 불량 또는 디스플레이 패널을 구성하고 있는 광학 필름의 내부 또는 표면에 존재하는 파티클(이물질) 등으로 인하여 불량 화소가 발생할 수 있기 때문에, 광학카메라를 이용하여 불량 여부를 검출하는 공정을 거치게 된다.

도 1a를 참고하면, 시트 형태의 검사체(100)는 스테이지(10) 상에 위치될 수 있다. 도 1b와 같이 상기 검사체(100)가 롤 형태로 제공이 가능한 경우 상기 검사체(100)는 권출롤(20)로부터 권출되어 결함 검사가 수행되며, 검사가 완료된 상기 검사체(100)은 권취롤(30)에 의해 권취되는 과정을 거치게 된다. 이때, 검사는 면조명(40)에 조사된 광에 의하여, 상기 검사체(100)의 상부에 위치하는 영상 획득부(50)가 상기 검사체(100)의 일면을 표면 이미지를 획득하게 됨으로써 수행되고 있다.

예컨대, 대한민국 공개특허 제2011-0024608호는 광학 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법에 관한 것으로서, 검사 대상물이 안착되는 지지유닛; 상기 지지유닛 상부에 설치되고, 단파장을 갖는 제1 광을 생성하여 상기 지지유닛에 안착된 검사 대상물을 향해 조사하는 제1 조명 유닛; 및 상기 제1 광이 조사되는 상기 검사 대상물을 촬상하는 촬상 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치에 관한 내용을 개시하고 있다.

그러나, 종래의 광학 검사 장치를 이용하여 광학 필름, 특히 최근 필름형 터치 센서와 같은 시트형태의 플렉서블(flexible)한 광학 필름을 검사하는 경우, 필름 자체의 컬(curl) 발생으로 인하여 상기 광학 필름을 검사하기 위한 영상획득부의 아웃 포커스(out of focus) 현상이 발생하기 때문에 검사가 용이하지 않은 문제가 있다.

그러므로, 컬 발생을 억제, 요컨대 평탄도를 확보하여 결함 검사가 용이한 광학 필름의 결함 검사 방법 및 장치의 개발이 요구되고 있는 실정이다.

대한민국 공개특허 제2011-0024608호(2011.03.09.)

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로서, 광학 필름의 결함 검사 과정 중 평탄도의 확보가 가능하여, 필름형 터치 센서와 같은 플렉서블한 광학 필름의 검사가 가능한 광학 필름의 결함 검사 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 (a) 광학 필름을 스테이지에 위치시키는 단계; (b) 권출롤로부터 투명 필름을 권출하여 상기 광학 필름 상에 위치시키는 단계; (c) 상기 투명 필름 상에 구비된 제1 및 제2 가이드롤을, 상기 투명 필름의 하부가 상기 광학 필름의 상부에 접할때까지 하강시키는 단계; (d) 상기 광학 필름의 하부에서 확산판이 구비된 면조명을 이용하여 광을 조사하여 상기 광학 필름 상부의 표면 이미지를 획득하는 단계; (e) 상기 표면 이미지로부터 결함을 검출하는 단계; 및 (f) 상기 제1 및 제2 가이드롤을 상승시키는 단계;를 포함하는 광학 필름의 결함 검사 방법을 제공하고자 한다.

또한, 본 발명은 광학 필름의 일면을 촬영하여 표면 이미지를 획득하는 영상획득부; 확산판을 구비하고, 상기 광학 필름의 하부에 광을 조사하는 면조명; 투명 필름을 권출하는 권출롤 및 상기 투명 필름을 권취하는 권취롤; 상기 권출롤과 권취롤 사이에 구비되어, 권출된 상기 투명 필름을 상승 및 하강시키는 제1 및 제2 가이드롤; 및 상기 광학 필름이 위치되는 스테이지;를 포함하는 광학 필름의 결함 검사 장치를 제공하고자 한다.

본 발명에 따른 광학 필름의 결함 검사 방법 및 장치는 검사 과정 중 발생할 수 있는 컬을 억제하고, 평탄도를 확보하여 플렉서블한 광학 필름의 검사가 용이한 이점이 있다.

도 1a 및 1b는 종래의 광학 필름의 결함 검사 장치를 예시한 도이다.
도 2는 본 발명에 따른 광학 필름의 결함 검사 장치를 예시한 도이다.
도 3 내지 7은 실시예 및 비교예에 따른 광학 필름의 결함 검사 이미지를 나타낸 도이다.

본 발명에서 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 직접 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 개재되는 경우도 포함한다.

본 발명에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 광학 필름의 결함 검사 방법 및 장치에 대하여 더욱 상세히 설명한다.

본 발명의 한 양태는, (a) 광학 필름(100)을 스테이지(10)에 위치시키는 단계; (b) 권출롤(20)로부터 투명 필름(200)을 권출하여 상기 광학 필름(100) 상에 위치시키는 단계; (c) 상기 투명 필름(200) 상에 구비된 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)을, 상기 투명 필름(200)의 하부가 상기 광학 필름(100)의 상부에 접할때까지 하강시키는 단계; (d) 상기 광학 필름의 하부에서 확산판이 구비된 면조명을 이용하여 광을 조사하여 상기 광학 필름 상부의 표면 이미지를 획득하는 단계; (e) 상기 표면 이미지로부터 결함을 검출하는 단계; 및 (f) 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)을 상승시키는 단계;를 포함하는 광학 필름(100)의 결함 검사 방법에 관한 것이다.

도 2에 본 발명의 일 실시형태에 따른 광학 필름(100)의 결함 검사 장치를 도시하였다. 도 2를 참고하면, 면조명(40) 및 영상획득부(50)를 통하여 검사하고자 하는 광학 필름(100)의 표면 이미지를 얻을 수 있다.

본 발명에서 "광학 필름(100)"이란, 광학 특성을 갖는 필름을 일컬을 수 있으며, 예컨대 필름형 터치센서, 패턴이 구비된 필름, 편광자, 투명 보호 필름, 상기 편광자의 적어도 일면에 보호 필름이 부착된 편광판, 위상차 필름 등을 들 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 구체적으로 상기 "광학 필름(100)"은 시트 형태의 플렉서블(flexible) 광학 필름(100)일 수 있다.

더욱 구체적으로 상기 “광학 필름(100)”은 금속 패턴을 구비하고 있는 플렉서블 광학 필름(100)일 수 있다.

본 발명에 따른 광학 필름(100)의 결함 검사 방법은, (a) 광학 필름(100)을 스테이지(10)에 위치시키는 단계;를 포함한다.

상기 스테이지(10)는 상기 광학 필름(100)을 지지하며, 투명한 재질이다.

상기 스테이지(10)는 상기 광학 필름(100)을 흡착할 수 있는 흡착 홀이 구비될 수도 있으나 이에 한정되지는 않는다.

본 발명에 따른 광학 필름(100)의 결함 검사 방법 및 장치는 "투과 광학계"를 이용한 것일 수 있다.

구체적으로, 동축 반사와 같은 반사 광학계를 이용하는 경우 광학 필름(100)의 일면 또는 양면에 위치할 수 있는 보호 필름의 표면이 시인되고, 이에 따라 보호 필름(200)의 표면 결함이 결함으로 인식되어 검사가 용이하지 않은 문제가 발생할 수 있다.

그러므로, 본 발명에서는 투과 광학계, 특히 정투과 방식을 사용하는 것이 바람직하다.

상기 스테이지(10)는 바람직하게는 광투과성이 우수하면서도, 평탄도의 확보가 용이한 점에서 유리로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.

본 발명에 따른 광학 필름(100)의 결함 검사 방법은 (b) 권출롤(20)로부터 투명 필름(200)을 권출하여 상기 광학 필름(100) 상에 위치시키는 단계;를 포함한다.

상기 권출롤(20)은 구동모터에 의해 회전 구동됨으로써 상기 투명 필름(200)을 권출하는 역할을 수행한다. 도시하지는 않았으나, 상기 권출롤(20)을 회전 구동하는 구동모터와 후술할 상기 권취롤(30)을 회전 구동하는 구동모터는 컨트롤러에 의해 상기 투명 필름(200)의 장력을 유지시켜주면서 상호간에 이동되도록 제어될 수 있다.

상기 권출롤(20) 및 후술할 상기 권취롤(30)의 하부측에 장력 조절구가 설치될 수도 있으나 이에 한정되지는 않는다.

상기 투명 필름(200)은 상기 광학 필름(100)의 결함 검사 시 상기 광학 필름(100)의 일면에 접하도록 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)에 의하여 상승 및 하강되는 것으로서, 투명도를 가지고 있어 상기 광학 필름(100)의 결함 검사에 영향을 주지 않은 것이라면 한정되지 않으나, 예컨대 광투과성이 좋고, 필름 자체의 결함의 발생이 적은 면에서 PET 필름, 또는 TAC 필름 등이 바람직하다.

상기 권출롤(20)에 의해 권출된 상기 투명 필름은(200)은, 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)에 의하여 하강된다. 구체적으로, 본 발명에 따른 광학 필름(100)의 결함 검사 방법은 (c) 상기 투명 필름(200) 상에 구비된 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)을, 상기 투명 필름(200)의 하부가 상기 광학 필름(100)의 상부에 접할때까지 하강시키는 단계를 포함한다.

상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)은 수직방향으로 이동 가능하고, 상기 권출된 상기 투명 필름(200)의 상부에 위치하도록 설치된다.

상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)이 수직 방향으로 이동하게 됨에 따라, 상기 투명 필름(200) 역시 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)에 따라 수직 방향으로 이동이 가능하게 된다.

상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)은 상기 투명 필름(200)의 장력을 유지하는 역할을 수행할 수 있다.

상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)은 도 2과 같이, 상기 제1 가이드(60)와 상기 제2 가이드롤(70)의 사이에서 결함 검사가 이루어지도록 위치되는 것이 평탄도 확보 면에서 바람직하다.

본 발명에 따른 광학 필름(100)의 결함 검사 방법 및 장치는, 상기 제1 및 제2 가이드롤에 의하여 상기 투명 필름(200)이 상기 광학 필름(100)과 적절한 장력을 가지고 접할 수 있기 때문에, 상기 광학 필름(100)의 평탄도를 확보할 수 있으며, 결함 검사 과정 중 발생할 수 있는 컬을 억제할 수 있는 이점이 있다.

본 발명에서 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)에 의하여 부여되는 장력을 한정하지는 않는다. 예컨대, 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)에 의하여 상기 투명 필름(200)이 상기 광학 필름(100)과 접할 때 상기 투명 필름(200)에 부여되는 장력은 50 내지 1000N일 수 있다.

본 발명에서 "접한다"는 것은, 상기 투명 필름(200)이 장력에 의하여 상기 광학 필름(100)의 표면에 완전히 밀착된 상태 또는 상기 광학 필름(100)의 검사가 가능한 수준으로 상기 광학 필름(100)의 컬이 상기 투명 필름(200)에 의하여 억제된 상태를 의미할 수 있다.

본 발명의 일 실시형태에 있어서, 상기 스테이지(10)에 구비된 스테이지 핀(90)을 상기 투명 필름(200)의 하부가 상기 광학 필름(100)의 상부에 접하도록, 하강시키는 단계;를 더 포함할 수 있다.

상기 스테이지 핀(90)은, 상기 광학 필름(100)이 움직이지 않도록 상기 광학 필름(100)을 받치고 고정시키는 역할을 수행할 수 있으므로, 상기 스테이지(10)는 상기 스테이지 핀(90)을 도 2과 같이 상기 광학 필름(100)의 주변부에 2 이상 구비되도록 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 상기 스테이지 핀(90)은 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)과 같이 수직 방향으로 이동할 수 있다.

도 2를 참고하면, 상기 스테이지 핀(90)은 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)이 상승된 상태일 때는 상기 광학 필름(100)이 움직이지 않도록 일정 높이를 가진 상태로 구비되어 있다가, 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)이 하강하는 경우 상기 투명 필름(200)에 걸리지 않도록 상기 스테이지 핀(90)도 하강할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시형태에 있어서, 상기 권출롤(20)로부터 권출되는 상기 투명 필름(200)을 이오나이저(80)로 이온화 처리하는 단계;를 더 포함할 수 있다.

상기 이오나이저(80)은 상기 투명 필름(200)에 이온화 처리를 하여 상기 투명 필름(200)의 정전기를 제거하는 역할을 수행하는 것으로, 도 2를 참고하면, 상기 권출롤(20)과 상기 제1 가이드롤(60)에 배치되어 권출된 상기 투명 필름(200)을 이온화 처리할 수 있다.

본 발명에 따른 광학 필름(100)의 결함 검사 방법은 (d) 상기 광학 필름의 하부에서 확산판이 구비된 면조명(40)을 이용하여 광을 조사하여 상기 광학 필름 상부의 표면 이미지를 획득하는 단계;를 포함한다.

상기 광을 조사하는 면조명(40)은 본 발명에서 특별히 제한하지는 않는다. 구체적으로, 상기 면조명(40)은 상기 광학 필름(100)에 광을 조사하는 것으로서, LED, 금속 할라이드 등, 형광등 및 할로겐 등 등을 들 수 있다.

본 발명에 따른 광원은 면조명(40)이기 때문에 빛의 산란, 확산 효과로 인하여상기 광학 필름(100)의 결함 검출이 용이하고, 상기 광학 필름(100)과 접하는 상기 투명 필름(200) 및/또는 보호 필름의 표면 이미지가 결함으로 인식되는 현상을 억제할 수 있다. 또한, 일반적으로 보호필름을 포함하는 경우 보호필름으로 인하여 발생하는 과검 요소로 인하여 보호 필름을 제거하고 제품을 검사하였으나, 본 발명에서는 면조명(40)을 이용함으로서, 보호 필름을 제거할 필요 없이 광학 필름(100)의 검사가 가능하다.

상기 표면 이미지를 획득하는 방법을 본 발명에서 특별히 제한하지는 않는다. 예컨대 상기 표면 이미지는 라인 스캔(line scan) 또는 면 스캔(area scan) 방법을 이용하여 획득할 수 있다.

상기 표면 이미지를 획득한 후 상기 표면 이미지로부터 이물, 실오라기, 요철, 눌림, 스크래치, 기포, 크랙, 버(burr), 들뜸과 같은 결함을 검출할 수 있다.

본 발명에 따른 광학 필름(100)의 결함 검사 방법은 (f) 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)을 상승시키는 단계;를 포함한다.

상기 표면 이미지를 획득한 후, 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)을 상승시켜 상기 광학 필름(100)과 접하고 있던 상기 투명 필름(200)을 상승시킨다.

본 발명의 또 다른 실시형태에 있어서, 상기 (f) 단계 이후에 상기 투명 필름(200)을 권취롤(30)로 권취하여 회수하는 단계;를 더 포함할 수 있다.

상기 권취롤(30)로 권취된 상기 투명 필름(200)은 필요에 따라 새로운 투명 필름(200)으로 교체될 수도 있고, 검사가 완료된 상기 광학 필름(100) 외 새로운 광학 필름을 검사할 때 다시 사용할 수도 있다. 필요에 따라서, 상기 투명 필름(200)을 회수하는 사행 수정을 위한 전자장치 등이 추가로 구비될 수도 있으나 이에 한정되지 않는다.

본 발명에 따른 광학 필름(100)의 결함 검사 방법은 검사가 완료된 상기 광학 필름(100)을 이동하는 단계를 더 포함할 수도 있으나 이에 한정되지는 않는다. 이때, 상기 광학 필름(100)의 이동은 당업계에서 통상적으로 사용되는 방법을 통하여 수행될 수 있으며, 예컨대 컨베이너 벨트, 흡착 방식 등을 이용하여 수행될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.

본 발명의 또 다른 실시형태에 있어서, 상기 광학 필름(100)은 플렉서블 광학 필름(100)일 수 있다.

본 발명에 따른 광학 필름(100)의 결함 검사 방법은 검사시 상기 광학 필름(100)과 상기 투명 필름(200)이 접하도록 하여 상기 광학 필름(100)의 평탄도를 확보할 수 있으며, 검사시 발생하는 컬 현상을 억제할 수 있어, 상기 광학 필름(100)이 플렉서블한 형태를 나타내도 검사가 용이한 이점이 있다.

본 발명의 또 다른 실시형태에 있어서, 상기 광학 필름(100)은 패턴층을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 광학 필름(100)은 터치 센서일 수 있으며, 본 발명에 따른 광학 필름(100)의 결함 검사 방법은 미세한 패턴을 검사하기 위한 고해상도 상태의 짧은 초점심도를 가져야 하는 검사 과정에서도, 대상 기재 요컨대 광학 필름(100)의 컬 등의 변형을 물리적으로 억제할 수 있기 때문에, 미세한 패턴층을 포함하는 경우에도 검사가 용이한 이점이 있다.

구체적으로, 상기 광학 필름(100)은 금속 패턴층을 포함할 수 있다.

더욱 구체적으로 상기 광학 필름(100)은 금속 패턴층을 포함하고, 보호 필름을 포함하고 있는 것일 수 있다.

본 발명의 다른 양태는, 광학 필름(100)의 일면을 촬영하여 표면 이미지를 획득하는 영상획득부(50); 상기 광학 필름(100)의 일면에 광을 조사하는 면조명(40); 투명 필름(200)을 권출하는 권출롤(20) 및 상기 투명 필름을 권취하는 권취롤(30); 상기 권출롤(20)과 권취롤(30) 사이에 구비되어, 권출된 상기 투명 필름(200)을 상승 및 하강시키는 제1 및 제2 가이드롤(60, 70); 및 상기 광학 필름(100)이 위치되는 스테이지(10);를 포함하는 광학 필름의 결함 검사 장치에 관한 것이다.

상기 영상획득부(50)는 컬러 또는 흑백 화상의 표면 이미지를 획득할 수 있는 것이 바람직하며, CCD 카메라, 그 밖의 2차원 카메라일 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 상기 영상획득부(50)는 본 발명에 따른 상기 광학 필름(100)의 표면 이미지 또는 적층 구조 내부의 이미지를 얻는 역할을 수행한다.

상기 광학 필름(100)을 비젼 얼라인먼트를 수행하는 경우 상기 얼라인먼트를 위한 비젼 영상획득부(vision camera), 초음파 EPC(Edge Point Controller), 레이저 EPC가 추가로 구비될 수도 있다.

상기 면조명(40)은 상기 영상획득부(50)와 대향하도록 위치되는 것으로서, 구체적으로 도 2를 참고하면 상기 면조명(40)은 상기 스테이지에 하부에 위치하고, 상기 영상획득부(50)는 상기 투명 필름(200)의 상부에 위치한다.

상기 면조명(40)은 전술한 내용을 적용할 수 있다.

상기 권출롤(20)과 상기 귄취롤(30)은 각각 상기 투명 필름(200)을 권출하고 권취하는 역할을 수행하는 것으로, 전술한 내용을 적용할 수 있다.

상기 권출롤(20)과 상기 권취롤(30)은 상기 스테이지(10)로부터 일정 간격의 높이를 두고 위치될 수 있다. 구체적으로, 상기 권출롤(20)과 상기 권취롤(30)은 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)이 상승된 상태, 요컨대 상기 투명 필름(200)이 상기 광학 필름(100)과 접하도록 하강된 상태가 아닌 경우, 상기 광학 필름(100)과 상기 투명 필름(200)이 접하지 않도록 수직방향으로 적절한 높이를 가지도록 구비되는 것이 바람직하다.

상기 광학 필름(100) 및 상기 투명 필름(200)은 전술한 내용을 적용할 수 있다. 요컨대, 상기 광학 필름(100)은 플렉서블 광학 필름(100)일 수 있다. 또한, 상기 광학 필름(100)은 패턴층을 포함할 수 있다.

상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)은 상기 권출롤(20)과 권취롤(30) 사이에 구비되어, 권출된 상기 투명 필름(200)을 상승 및 하강시키는 역할을 수행한다.

도 2를 참고하면, 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70) 사이에 상기 스테이지(10)가 위치하도록 구비되는 것이 상기 투명 필름(200)의 장력을 유지하는 측면에 있어 바람직하다.

상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)은 상기 권출된 상기 투명 필름(200)의 상부에 구비되어 있으며, 수직 운동을 통하여 상기 투명 필름(200)을 상기 광학 필름(100)과 접하도록 하강시키고, 상기 광학 필름(100)과 접하던 상기 투명 필름(200)을 접하기 이전 상태로 상승시키는 역할을 수행할 수 있다. 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)에 관한 내용을 전술한 내용으로 이해될 수 있다.

상기 스테이지(10)는 검사하고자 하는 상기 광학 필름(100)이 위치되는 곳이다. 상기 스테이지(10)는 예컨대 투명한 재질일 수 있으며, 구체적으로 유리로 이루어져 있을 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.

본 발명의 또 다른 실시형태에 있어서, 상기 스테이지(10)는 상기 광학 필름(100)을 얼라인(align)하고, 상승 및 하강되는 스테이지 핀(90);을 더 포함할 수 있다.

상기 스테이지 핀(90)은 상기 상기 광학 필름(100) 상에 상기 투명 필름(200)이 접하도록 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)에 의하여 하강될 때 상기 투명 필름(200)에 걸리지 않도록, 하강될 수 있다.

상기 스테이지 핀(90)은 상기 제1 및 제2 가이드롤(60, 70)과 동시에 컨트롤 될 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.

상기 스테이지(10) 및 상기 스테이지 핀(90)은 전술한 내용을 적용할 수도 있다.

본 발명의 또 다른 실시형태에 있어서, 상기 권출롤(20)로부터 권출된 상기 투명 필름(200)을 이온화 처리하는 이오나이저(80);를 더 구비할 수 있다. 상기 이오나이저(80)는 상기 투명 필름(200)의 폭 방향 전역에 걸쳐 이온화한 기체를 분무함으로써, 상기 투명 필름(200)의 표면에 발생한 정전기를 제거할 수 있다. 구체적으로, 상기 광학 필름(100)과 접하는 상기 투명 필름(200)의 일면에 발생한 정전기를 제거하는 역할을 수행할 수 있으며, 이로 인하여 상기 광학 필름(100)의 표면의 손상을 억제할 수 있고, 이물 부착으로 인한 추가 불량을 예방할 수 있는 이점이 있다.

본 발명에 따른 광학 필름(100)의 결함 검사 방법 및 장치는, 상기 광학 필름(100)과 상기 투명 필름(200)이 접한 상태에서 결함 검사를 수행하기 때문에, 검사 과정 중 발생하는 컬을 억제할 수 있고, 상기 광학 필름(100) 자체에 컬이 형성되어 있는 경우, 요컨대 플렉서블한 광학 필름(100)의 검사도 용이한 이점이 있다.

또한, 면조명을 이용하기 때문에 상기 광학 필름(100)이 보호 필름을 포함하고 있는 상태에서도, 보호 필름으로 인하여 발생하는 과검 요인이 시인되지 않고 패턴에 대한 검사가 용이한 이점이 있다.

실시예 및 비교예

광학계와 광원에 따른 광학 필름의 결함 검사에 따른 이미지를 하기 표 1 에 나타내었다.

	광학계	촬영해상도	조명	카메라 노출시간	검사 이미지
비교예 1	동축반사	1.15㎛×1.15㎛	-	-	도 3
비교예 2	정투과	1.15㎛×1.15㎛	집광 조명	20μsec	도 4
비교예 3	정투과	1.15㎛×1.15㎛	집광 조명	28μsec	도 5
실시예 1	정투과	1.15㎛×1.15㎛	면조명	1000μsec	도 6
실시예 2	정투과	1.15㎛×1.15㎛	면조명	1300μsec	도 7

비교예 1의 경우 보호 필름의 표면이 시인되어 검사가 불가능하였다. 실시예의 경우 보호 필름의 표면의 시인성이 감소되어 광학 필름의 표면 검사가 용이한 것을 확인할 수 있다.

10: 스테이지
20: 권출롤
30: 권취롤
40: 면조명
50: 영상획득부
60: 제1 가이드롤
70: 제2 가이드롤
80: 이오나이저
90: 스테이지 핀
100: 광학 필름
200: 투명 필름

Claims (2)

1. (a) 광학 필름을 스테이지에 위치시키는 단계;
   (b) 권출롤로부터 투명 필름을 권출하여 상기 광학 필름 상에 위치시키는 단계;
   (c) 상기 투명 필름 상에 구비된 제1 및 제2 가이드롤을, 상기 투명 필름의 하부가 상기 광학 필름의 상부에 접할때까지 하강시키는 단계;
   (d) 상기 광학 필름의 하부에서 확산판이 구비된 면조명을 이용하여 광을 조사하여 상기 광학 필름 상부의 표면 이미지를 획득하는 단계;
   (e) 상기 표면 이미지로부터 결함을 검출하는 단계; 및
   (f) 상기 제1 및 제2 가이드롤을 상승시키는 단계;
   를 포함하는 광학 필름의 결함 검사 방법.
2. 광학 필름의 일면을 촬영하여 표면 이미지를 획득하는 영상획득부;
   확산판을 구비하고, 상기 광학 필름의 하부에 광을 조사하는 면조명;
   투명 필름을 권출하는 권출롤 및 상기 투명 필름을 권취하는 권취롤;
   상기 권출롤과 권취롤 사이에 구비되어, 권출된 상기 투명 필름을 상승 및 하강시키는 제1 및 제2 가이드롤; 및
   상기 광학 필름이 위치되는 스테이지;
   를 포함하는 광학 필름의 결함 검사 장치.

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