KR101396456B1 - Ito필름의 전도성 패턴 검사장치 및 그 검사방법 - Google Patents

Ito필름의 전도성 패턴 검사장치 및 그 검사방법 Download PDF

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김철수
손영택
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세광테크 주식회사
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Abstract

본 발명은 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치 및 그 검사방법에 관한 것으로, ITO필름의 양면에 부착된 보호필름의 오염이나 손상에도 불구하고 ITO필름의 전도성 패턴을 깨끗한 영상으로 나타내어 보다 정확한 검사를 할 수 있는 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치 및 그 검사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 위해, 본 발명에 따른 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치는 ITO필름의 양면에 밀착되는 투명연질패드부와, 상기 ITO필름에 빛을 조사하여 상기 ITO필름의 전도성 패턴을 촬상하는 촬상부를 포함한다.

Description

ITO필름의 전도성 패턴 검사장치 및 그 검사방법{Apparatus for inspection of ITO film pattern and inspection method thereof}
본 발명은 ITO(Indium Tin Oxide)필름의 전도성 패턴을 검사하기 위한 검사장치 및 그 검사방법에 관한 것이다.
최근 스마트폰이나 태블릿 PC 등과 같은 모바일 기기나, 노트북, PC, 평판 TV 등에 적용되는 다양한 크기의 디스플레이에는 전극기판용이나 터치스크린용으로 투명한 ITO필름이 채용되고 있다.
ITO필름에는 투명 전도성 패턴이 형성된다. 이러한 ITO필름의 패턴이 제대로 형성되어 있는지를 검사하기 위해 회로검사가 시행되지만, 회로검사에서 정상으로 판정되더라도 패턴 라인에 식각용액이 튀었거나 하는 등의 영향으로 패턴의 라인 폭이 협소해지거나 패턴에 원하지 않는 라인이 형성되었을 수 있다. 이러한 불량은 ITO필름이 휘었을 때 기기의 고장을 일으키는 원인이 된다.
그래서 ITO필름은 회로검사뿐만 아니라 패턴을 촬상하여 영상으로 검사하는 공정이 진행된다. 그런데 ITO필름은 추후 공정에서 외부 유리 기판에 깨끗하게 부착되어야 하기 때문에 아무런 보호 없이 패턴을 검사하는 공정을 실시할 수 없다. 보호 없이 패턴검사를 진행한다면 ITO필름에 먼지 같은 불순물이 붙거나 미세한 스크래치가 형성될 수 있기 때문이다. 그래서 ITO필름의 패턴을 안전하게 검사하기 위해서 ITO필름의 양면에 투명 보호필름을 부착한 상태에서 ITO필름의 패턴을 검사한다.
그러나 이 보호필름에도 ITO필름의 이송 시에 불가피하게 먼지 같은 불순물이 붙거나 스크래치가 형성될 수 있다. 이러한 보호필름의 불순물이나 스크래치는 ITO필름에 빛을 조사하여 ITO필름의 패턴을 영상으로써 정상여부를 판단하는데 방해가 된다.
본 발명의 목적은 ITO필름의 양면에 부착된 보호필름의 오염이나 손상에도 불구하고 ITO필름의 전도성 패턴을 깨끗한 영상으로 나타내어 보다 정확한 검사를 할 수 있는 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치 및 그 검사방법을 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 양면에 보호필름이 부착되어 있는 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치는 상기 ITO필름의 양면에 밀착 가능한 투명연질패드부와, 상기 투명연질패드부를 상기 ITO필름의 양면에 밀착시키거나 이격시키는 구동부와, 상기 ITO필름의 상면에 빛을 조사하여 상기 ITO필름의 전도성 패턴을 촬상하는 촬상부를 포함한다.
여기서, 상기 투명연질패드부는 상부 투명연질패드와 하부 투명연질패드를 포함하며, 상기 상부 투명연질패드 및 상기 하부 투명연질패드의 외측면에는 각각 상부 유리판 및 하부 유리판이 부착되는 것이 상기 상부 투명연질패드와 상기 하부투명연질패드를 다루는데 용이하다.
또한, 상기 상부 투명연질패드와 상기 하부투명연질패드 중 적어도 하나는 상기 ITO필름을 향하는 일면이 볼록하게 형성되는 것이 상기 ITO필름 표면 전체를 균일하게 접촉시킬 수 있어 바람직하다.
그리고 상기 촬상부는 상기 ITO필름의 일면을 향하여 빛을 조사하며, 상기 ITO필름의 타면 측에는 검은색의 배경판이 배치되는 것이 상기 ITO필름의 전도성 패턴의 선명도를 높일 수 있어 바람직하다.
또한, 상기 촬상부는 상기 ITO필름을 촬상하는 촬상기를 복수 개 가지며, 상기 촬상기들은 상기 ITO필름을 분할하여 촬상하는 것이 상기 ITO필름을 고속으로 검사할 수 있어 바람직하다.
그리고 상기 촬상부는 조리개 값을 조절할 수 있는 촬상기를 가지며, 상기 촬상기는 낮은 조리개 값에서 높은 조리개 값으로 점진적으로 증가시키면서 상기 ITO필름에 초점을 맞추는 것이 상기 ITO필름의 전도성 패턴을 명확하게 인식하는데 유리하다.
한편, 상기 촬상부가 조사하는 상기 빛은 자외선인 것이 상기 ITO필름의 전도성 패턴을 명확하게 촬상하는데 유리하다.
본 발명에 따른 양면에 보호필름이 부착되어 있는 ITO필름의 전도성 패턴 검사방법은 상기 ITO필름의 양면에 투명연질패드부를 밀착하는 단계와, 상기 ITO필름의 상면에 빛을 조사하여 상기 ITO필름의 전도성 패턴을 촬상하는 단계와, 상기 투명연질패드부의 상기 ITO필름 양면에의 밀착상태를 해제하는 단계를 포함한다.
여기서 상기 투명연질패드부는 상부 투명연질패드와 하부 투명연질패드로 포함하며, 상기 상부 투명연질패드 및 상기 하부 투명연질패드의 외측면에는 각각 상부 유리판 및 하부 유리판이 부착되는 것이 상기 상부 투명연질패드와 상기 하부투명연질패드를 다루는데 용이하다.
또한, 상기 상부 투명연질패드와 상기 하부 투명연질패드 중 적어도 하나는 상기 ITO필름을 향하는 일면이 볼록하게 형성되는 것이 상기 ITO필름 표면 전체를 균일하게 접촉시킬 수 있어 바람직하다.
본 발명에 따르면 ITO필름의 양면에 부착된 보호필름의 오염이나 손상에도 불구하고 ITO필름의 전도성 패턴을 깨끗한 영상으로 나타내어 보다 정확한 검사를 할 수 있다.
도 1은 ITO필름의 양면에 보호필름이 부착된 ITO필름 검사체의 단면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치를 나타낸 개략도이고,
도 3은 다른 실시예에 따른 투명연질패드를 나타낸 개략도이고,
도 4는 본 발명에 따른 ITO필름의 전도성 패턴 검사방법을 나타낸 순서도이며,
도 5 (A), (B)는 각각 ITO필름 검사체에 투명연질패드를 적용하지 않고 촬상한 사진과, 투명연질패드를 밀착하여 촬상한 사진을 나타낸 것이다.
도 1은 ITO필름(11)의 양면에 보호필름(12)이 부착된 ITO필름 검사체(10)의 단면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, ITO필름(11)의 양면에는 투명의 보호필름(12)이 부착된다. ITO필름(11)에 보호필름(12)이 부착되는 이유는 ITO필름(11)이 추후 공정에서 외부 유리 기판에 부착되어야 하는데, 그 이전에 이송되는 과정 및 패턴검사과정을 거치면서 표면에 불순물이 붙거나 스크래치가 발생하는 것을 방지하기 위함이다.
또한 ITO필름(11)의 일면에는 후공정에서 외부 유리 기판과의 부착에 필요한 광학접착제(Optically Clear Adhesive: OCA층)가 도포되므로, OCA층에 불순물의 흡착을 방지하기 위하여 투명 필름과 같은 보호막으로 덮어두는 것이 바람직하다. 이하에서 설명의 편의상 ITO필름(11)에 도포되는 OCA층에 대한 설명은 생략한다.
ITO필름(11)의 양면에 부착된 보호필름(12)에도 이송과정 중에 불순물이 붙거나 스크래치가 발생할 수 있다. 이러한 오염이나 스크래치는 ITO필름(11)의 투명 전도성 패턴을 영상으로 획득하여 검사하는데 정상적인 패턴과 혼동을 일으킬 수 있어 방해요소가 된다.
도 2는 본 발명에 따른 ITO필름(11)의 전도성 패턴 검사장치를 나타낸 개략도이다. 도 2에서 볼 수 있는 바와 같이, ITO필름 검사체(10)는 가로방향으로 누운 상태로 배치되며, 상면과 하면 각각에 상부 투명연질패드(21) 및 하부 투명연질패드(23)가 밀착된다. 그리고 상부 투명연질패드(21)와 하부 투명연질패드(23)의 외측면에는 각각 상부 유리판(31) 및 하부 유리판(33)이 부착된다.
이러한 상부 투명연질패드(21) 및 상부 유리판(31)과, 하부 투명연질패드(23) 및 하부 유리판(33)의 구성은 구동부(140)에 의해 각각 승강 또는 하강하면서 검사 위치로 이송될 수 있으며 이에 따라 상부 투명연질패드(21) 및 하부 투명연질패드(23) 사이에 놓이는 ITO필름 검사체(10)를 가압하여 밀착할 수 있다.
여기서, 상부 투명연질패드(21) 및 하부 투명연질패드(23)는 ITO필름 검사체(10)에 밀착되어 보호필름(12)의 외표면에 존재하는 불순물로 인한 요철이나 그 외표면에 형성된 스크래치를 메우는 역할을 한다. 상부 투명연질패드(21) 및 하부 투명연질패드(23)는 투명 실리콘 수지로 마련되는 것이 바람직하다.
또한 각 투명연질패드(21, 23)는 밀착되는 부재 외표면의 요철, 스크래치 등에 대한 메움성을 갖출 뿐만 아니라, 밀착되는 부재와의 밀착이 해소되었을 때 부재의 외표면에 밀착으로 인한 얼룩이나 흔적을 남기지 않는 재질의 것이 바람직하다.
한편, 하부 유리판(33)의 하측에는 검은색의 배경판(50)이 설치되어 있다. 그리고 그 사이에는 하부 유리판(33)과 배경판(50)을 서로 이격시키는 지지부재(40)가 구비되어 있다. 검은색의 배경판(50)은 식별성과 선명도가 높은 ITO필름(11) 패턴 영상을 얻을 수 있게 한다. 지지부재(40)는 하부 투명연질패드(23) 및 하부 유리판(33)을 승강할 수 있는 승강기능을 포함할 수도 있다.
ITO필름 검사체(10)의 상측에는 촬상부(100)가 개략적으로 도시되어 있다. 촬상부(100)는 ITO필름 검사체(10)에 빛을 조사하는 광조사부(120)와 광조사부(120)에서 발하는 빛을 ITO필름 검사체(10) 측으로 반사하는 반사판(125)을 갖는다. 그리고 반사판(125)과 ITO필름 검사체(10) 사이에는 조사되는 빛의 초점, 조도 등을 조정하기 위한 광학적 렌즈들이 배치될 수 있다. 여기서, 광조사부(120)에서 발하는 빛은 자외선인 것이 ITO필름(11)의 투명 전도성 패턴을 보다 명확히 나타내는데 유리하다. 제어부(130)는 광조사부(120)의 빛의 세기, 파장 및 색상 등을 적절히 조절한다.
또한 촬상부(100)는 광조사부(120)에 의해 나타나는 ITO필름(11)의 투명 전도성 패턴을 촬상하는 촬상기(110)를 갖는다. 촬상기(110)는 CCD(Charge Coupled Device) 이미지센서, CMOS 이미지 센서 등을 갖는 카메라로 구현될 수 있다.
또한 촬상기(110)는 ITO필름 검사체(10)의 전체 면적을 크기의 대소에 따라 적당히 분할된 영역, 가령 가로X세로 = 5X10 또는 10X20 등으로 영역을 나누어서 각 영역을 개별적으로 촬상할 수 있도록 복수 개로 마련되는 것이 바람직하다. 이렇게 복수 개로 마련된 촬상기(110)는 한번에 ITO필름 검사체(10) 전체 면적을 촬상할 수 있다. 또는 복수의 촬상기(110)를 선형의 대열로 마련한 후 ITO필름 검사체(10) 판면에 대해 소정 거리 이격된 위치에서 ITO필름 검사체(10)의 가로 및/또는 세로방향으로 이동시키면서 ITO필름 검사체(10) 전체 면적을 촬상할 수도 있다.
여기에서 복수의 촬상기(110) 각각에는 그에 대응하여 별도의 광조사부가 마련되거나 공통의 광조사부(120)가 마련될 수 있으며, 광조사부(120)를 제어하는 제어부도 각각 별도로 마련되거나 공통의 제어부(130)로 마련될 수 있다.
이에 따라 복수의 촬상기(110)로 촬상된 영상을 처리하여 ITO필름(11)의 투명 전도성 패턴에 대한 고속 검사가 가능하다.
한편, ITO필름(11)에 형성되어 있는 투명 전도성 패턴을 보다 명확하게 촬상하기 위해, 촬상기(110)에서 광학부의 초점을 ITO필름 검사체(10) 부분에 알맞게 맞추는 것이 중요하다. 이러한 촬상기(110)의 초점은 일단 낮은 조리개값(f number, f값)에서 시작하여 점진적으로 높은 조리개값으로 변경하면서, 또는 이와 반대로 조리개값을 변경하면서 ITO필름(11)의 투명 전도성 패턴에 맞추는 것이 바람직하다. 이는 얕은 심도에서부터 초점거리를 조절하거나 또는 그와 반대로 조절하는 것이기 때문에 ITO필름(11)의 패턴을 보다 명확하게 촬상하는데 도움이 된다.
가령, ITO필름 검사체(10)를 구성하는 ITO필름(11)의 두께는 수 십 내지 수 백 마이크로미터 내외이고, 그 양면에 부착되어 있는 보호 필름(12)의 두께도 역시 수 십 내지 수 백 마이크로미터 내외이므로, ITO필름 검사체(10) 전체의 두께는 수 십 내지 수 백 마이크로미터로서 매우 미소한 값이다. 따라서 촬상기(110)의 광학부에서의 조리개값을 매우 낮게, 가령 f값을 f≤1, 또는 f=0.95, 0.9, 0.85, 0.8 등으로 조절하여 초점이 맞는 심도 범위를 ITO필름 검사체(10)의 두께 범위인 수십 내지 수백 마이크로미터 이내에 맞추도록 한다. 이에 따라 ITO필름 검사체(10)에 밀착되는 투명 재질의 각 연질패드(21, 23)와 유리판(31, 33)의 표면에 대한 영상을 배제하여 촬상할 수 있다.
도 3은 다른 실시예에 따른 투명연질패드(25, 27)를 나타낸 개략도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상부 투명연질패드(25) 및 하부 투명연질패드(27) 각각은 ITO필름 검사체(10)를 향하는 일면이 볼록하게 형성될 수도 있다. 이때, 각 투명연질패드의 일면은 외곽측에서 중앙부측으로 갈수록 볼록한 것이 바람직하다.
이러한 상부 투명연질패드(25) 및 하부 투명연질패드(27)의 형상에 의하여, 상하부 투명연질패드(25, 27)가 ITO필름 검사체(10)의 중앙 부분에서부터 밀착된 후 차츰 그 외곽측으로 밀착되어 가압되면서 ITO필름 검사체(10) 전체 면적에 골고루 밀착될 수 있게 한다. 이에 따라 상대적으로 대형 크기의 ITO필름(11)에 대한 검사시에도 ITO필름 검사체(10)를 각 연질패드 표면과 균일하게 밀착시킬 수 있어 패턴검사를 용이하게 실시할 수 있다.
이렇게 상하부 투명연질패드(25, 27)가 ITO필름 검사체(10) 전체 면적에 골고루 밀착하게 되면, ITO필름(11) 양면에 부착된 보호필름(12)의 요철이나 스크래치를 보다 확실하게 메울 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 ITO필름의 전도성 패턴 검사방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 검사방법은 보호필름(12)이 부착되어 있는 ITO필름(11)의 양면에 투명연질패드부(21, 23)를 밀착하는 단계(S1)와, ITO필름(11)에 빛을 조사하여 ITO필름(11)의 전도성 패턴을 촬상하는 단계(S2) 및 투명연질패드부(21, 23)의 밀착상태를 해제하는 단계(S3)로 이루어진다.
ITO필름 검사체(10)를 이루는 ITO필름(10)과 보호필름(12)의 구성과, ITO필름 검사체(10)의 양면에 밀착되는 투명연질패드(21, 23) 및 각 유리판(32, 33)의 구성과, ITO필름(11)의 패턴 영상을 촬상하기 위한 촬상부(100)의 구성과, 일면이 볼록하게 형성된 투명연질패드(25, 27)의 구성 등은 앞에서 상세히 설명하였으므로, 반복적인 서술을 줄이면서 검사방법의 설명에 필요한 한도에서 서술한다.
먼저 ITO필름(11)의 양면에 보호필름(12)을 부착하여 ITO필름(11)의 투명 전도성 패턴을 검사할 수 있도록 ITO필름 검사체(10)를 마련한다.
그리고 ITO필름 검사체(10)의 양면에 상하부 투명연질패드(21, 23)를 밀착시킨다(S1). 상부 투명연질패드(21) 및 하부 투명연질패드(23)는 ITO필름 검사체(10)에 밀착되어 보호필름(11)의 외표면에 존재하는 불순물로 인한 요철이나 그 외표면에 형성된 스크래치를 메우는 역할을 하며, 그 재질은 투명 실리콘 수지 등으로 마련된다.
그리고 상부 투명연질패드(21)와 하부 투명연질패드(23)의 외측면에는 각각 상부 유리판(31) 및 하부 유리판(33)이 부착되며, 구동부(140)에 의해 승강이송 가능하다.
여기에서 각 유리판(31, 33)은 상하부 투명연질패드(21, 23)에 비해 단단하기 때문에, 구동부(14)를 이용한 승강운동을 용이하게 조작할 수 있게 하며, 상하부 투명연질패드(21, 23)를 ITO필름 검사체(10)에 밀착하는 데 필요한 가압의 실시에도 효과적이다.
또한 상부 투명연질패드(25) 및 하부 투명연질패드(27) 각각은 ITO필름 검사체(10)을 향하는 일면이 볼록하게 형성되는 것이 바람직하다.
이렇게 ITO필름 검사체(10)의 양면에 상하부 투명연질패드(21, 23; 25, 27)가 밀착된 상태에서 ITO필름(11)의 판면으로부터 이격된 위치에 설치된 광조사부(120)로써 빛을 ITO필름 검사체(10)의 상면에 조사하여 촬상기(110)에서 ITO필름(11)의 전도성 패턴을 촬상한다(S2).
이에 따라 촬상된 영상에는 ITO필름(11) 양면에 부착된 보호필름(12)의 요철이나 스크래치가 나타나지 않으므로, ITO필름(11)의 투명 전도성 패턴을 명확하게 식별할 수 있다.
촬상된 영상은 영상출력장치로 전송되며, 작업자 또는 프로그램을 포함한 제어부에 의해 정상 또는 불량이 판별된다.
이때, ITO필름(11)에 조사되는 빛은 자외선인 것이 좋다. 자외선은 ITO필름(11)의 투명 전도성 패턴을 보다 명확히 나타내는데 유리하다.
다음으로, ITO필름 검사체(10)에 밀착되어 있는 상하부 투명연질패드(21, 23)를 ITO필름(11)으로부터 이격시켜 ITO필름(11) 양면에의 밀착상태를 해제한다(S3).
그리고 검사가 완료된 ITO필름 검사체(10)는 검사장치로부터 이탈된다. 이탈된 후 다음 순번의 ITO필름 검사체(10)가 검사장치로 이송되며, 계속해서 상술한 3단계의 검사방법대로 진행된다.
도 5 (A), (B)는 각각 ITO필름 검사체의 양면에 투명연질패드를 적용하지 않고 촬상한 사진과, 투명연질패드를 밀착하여 촬상한 사진을 나타낸 것이다(밝은 색 부분이 투명성 전도 패턴임). 이러한 투명연질패드 적용 유무 비교사진에서 볼 수 있듯이, 투명연질패드(21, 23; 25, 27)를 적용하지 않은 경우에는 다수의 미세한 불순물들에 의해 패턴 영상이 불명확하게 나타나는 반면에, 투명연질패드(21, 23; 25, 27)를 적용한 경우에는 불순물들이 배제되어 비교적 명확하고 선명한 패턴 영상을 얻을 수 있다.
10: ITO필름 검사체 11: ITO필름
12: 보호필름 21, 25: 상부 투명연질패드
23, 27: 하부 투명연질패드 31: 상부 유리판
33: 하부 유리판 40: 지지부재
50: 배경판 100: 촬상부
110: 촬상기 120: 광조사부
125: 반사판 130: 제어부
140: 구동부 S1: 밀착단계
S2: 촬상단계 S3: 밀착해제 단계

Claims (10)

  1. 양면에 보호필름이 부착되어 있는 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치에 있어서,
    상기 ITO필름의 양면에 밀착 가능한 투명연질패드부와;
    상기 투명연질패드부를 상기 ITO필름의 양면에 밀착시키거나 이격시키는 구동부와;
    상기 ITO필름의 상면에 빛을 조사하여 상기 ITO필름의 전도성 패턴을 촬상하는 촬상부를 포함하는 것을 특징으로 하는 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 투명연질패드부는 상부 투명연질패드와 하부 투명연질패드로 포함하며, 상기 상부 투명연질패드 및 상기 하부 투명연질패드의 외측면에는 각각 상부 유리판 및 하부 유리판이 부착되는 것을 특징으로 하는 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상부 투명연질패드와 상기 하부 투명연질패드 중 적어도 하나는 상기 ITO필름을 향하는 일면이 볼록하게 형성되는 것을 특징으로 하는 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 촬상부는 상기 ITO필름의 일면을 향하여 빛을 조사하며, 상기 ITO필름의 타면 측에는 검은색의 배경판이 배치되는 것을 특징으로 하는 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 촬상부는 상기 ITO필름을 촬상하는 촬상기를 복수 개 가지며, 상기 촬상기들은 상기 ITO필름을 분할하여 촬상하는 것을 특징으로 하는 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 촬상부는 조리개 값을 조절할 수 있는 촬상기를 가지며, 상기 촬상기는 낮은 조리개 값에서 높은 조리개 값으로 점진적으로 증가시키면서 상기 ITO필름에 초점을 맞추는 것을 특징으로 하는 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 촬상부가 조사하는 상기 빛은 자외선인 것을 특징으로 하는 ITO필름의 전도성 패턴 검사장치.
  8. 양면에 보호필름이 부착되어 있는 ITO필름의 전도성 패턴 검사방법에 있어서,
    상기 ITO필름의 양면에 투명연질패드부를 밀착하는 단계와;
    상기 ITO필름의 상면에 빛을 조사하여 상기 ITO필름의 전도성 패턴을 촬상하는 단계와;
    상기 투명연질패드부의 상기 ITO필름 양면에의 밀착상태를 해제하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 ITO필름의 전도성 패턴 검사방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 투명연질패드부는 상부 투명연질패드와 하부 투명연질패드로 포함하며, 상기 상부 투명연질패드 및 상기 하부 투명연질패드의 외측면에는 각각 상부 유리판 및 하부 유리판이 부착되는 것을 특징으로 하는 ITO필름의 전도성 패턴 검사방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 상부 투명연질패드와 상기 하부 투명연질패드 중 적어도 하나는 상기 ITO필름을 향하는 일면이 볼록하게 형성되는 것을 특징으로 하는 ITO필름의 전도성 패턴 검사방법.
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