JP2006268050A - 画像検査装置、パネル検査方法及び表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 検査機能を向上させた画像検査装置、パネル検査方法及び表示パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明による画像検査装置は、表示パネルを撮影する複数のカメラと、撮影された映像を処理する処理装置３とを備える。より詳細には、表示パネルが装着されるパネル装着部を有する作業台２と、前記パネル装着部の法線方向に位置し、行列状に配置された複数のカメラを含むカメラモジュール１と、前記カメラが撮影したパネル画像を処理する処理装置３とを備える。このような装置は、行列形態のカメラを備えており、様々な不良を効果的に検出することに用いられる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、画像検査装置、この装置を利用した表示パネルの検査方法及び表示パネルの製造方法に関する。

近年、液晶ディスプレイ、有機発光ディスプレイ、電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ）、プラズマ表示パネル（ＰＤＰ）のような平面表示装置（ＦＰＤ）などの開発が幅広く進められ、これら平面表示装置（ＦＰＤ）が広く使用されている。

このような平面表示装置（ＦＰＤ）は、市場に出荷する前に様々な検査過程を経る。表示パネルにおいて、ラインが短絡したり、パネル内に異物が入るなど、パネル製造工程中に不良が生じるおそれがあるため、不良の有無を判断し、修理（ｒｅｐａｉｒ）及び廃棄、さらに不良の原因を除去することなどは生産収率の向上のために重要である。

このような検査のひとつとして、パネルに表示される画像によって画素不良、ライン不良などを検出する画像検査がある。画像検査方法は、表示パネルに表示される画像によって、画像検査装置や肉眼で不良有無を判断する検査方法である。通常、パネル製造工程において、映像信号印加によって表示パネルに画像が表示される段階、つまり独立した個別パネルが製造された後に画像検査が行われる。

このような検査過程において、不良表示パネルを正常と判断したり、正常表示パネルを不良と判断するエラー（誤り）が生じることがあり、検査時間が長くかかる場合、製品の製造時間を増加させ、かつ表示パネル毎に大きさが異なることもある。よって、多様な製品群を生産する場合、各々の製品群に応じて検査過程を最適化する必要があるので、正確な検査、速い検査速度、簡単な検査条件の変更は、表示パネルの検査において重要な課題となっている。

速い速度で検査を行ないつつ、不良を正確に検出でき、かつ多様な製品群に対応可能な検査装置が要求されている。

本発明は、前記のような従来の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、検査機能が向上した画像検査装置、パネル検査方法及び表示パネルの製造方法を提供することである。

前述した目的を達成するための本発明に係る画像検査装置は、表示パネルを撮影する複数のカメラと、撮影された画像を処理する処理装置とを備える。

本発明の一実施形態による画像検査装置は、表示パネルが装着されるパネル装着部を有する作業台、前記パネル装着部の法線方向に位置し、行列状に配置された複数のカメラからなるカメラモジュール、並びに前記カメラが撮影したパネル画像を処理する処理装置を備える。

本発明の他の実施形態による画像検査装置は、前記作業台下部で前記パネル装着部方向に光を供給する第１光源を始めとして、場合によっては、前記作業台の上側面で前記パネル装着部方向に光を供給する第２光源をさらに備えることが望ましい。

本発明の他の実施形態による画像検査装置は、前記第１光源と前記パネル装着部との間に位置し、前記パネル装着部からの距離が可変である光学シートをさらに備えることが望ましい。

本発明によるパネル検査方法は、複数のカメラで表示パネルを撮影し、処理装置で撮影された画像を処理することを特徴とする。また、本発明の一実施形態によるパネル検査方法は、作業台のパネル装着部に表示パネルを装着し、行列状に配置された複数のカメラで前記表示パネルを撮影し、処理装置において前記カメラが撮影したパネル画像を処理することを特徴とする。

さらに、本発明による表示パネルの製造方法は、マザー基板に独立の複数の表示素子を形成した後、マザー基板を切断して独立の複数の表示パネルを準備し、作業台のパネル装着部に前記複数の表示パネルのうちの一つを装着し、行列状に配置された複数のカメラを用いて、前記カメラ間の間隔を変化させながら前記装着された表示パネルを撮影し、前記撮影された表示パネルを取り外し、前記複数の表示パネルのうちの他の一つを前記パネル装着部に装着し、処理装置で前記複数のカメラが撮影した前記パネルの映像から前記撮影された表示パネルの欠陥の有無を判断し、前記撮影された表示パネルに欠陥がある場合、前記撮影された表示パネルを処理することを特徴とする。

本発明による画像検査装置は、行列状に配置されたカメラを備えており、様々な大きさを有する表示パネルの様々な不良を検出することができる。また、表示パネルに存在する不良検出と、その他の原因（例えば、ホコリやスクラッチなど）による不良検出とを区別できるので、製造工程で正常表示パネルを不良と判断することを減少させることができる。

以下、添付した図を参照して本発明の好適な実施形態をより詳細に説明する。

図１は、画像検査装置を構成する構成要素の関係を示した図である。

図１に示すように、画像検査装置は、大きく分けてカメラモジュール１、作業台２、処理装置（ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）３、制御部（ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）４を備えて構成される。場合によっては、光源５をさらに備えることが望ましい。

本発明の一実施形態によれば、制御部４は、処理装置３の信号に従って、カメラモジュール１、作業台２、光源５を制御する。通常、カメラモジュール１と作業台２の間隔やカメラモジュール１内にある各カメラ（図示せず）の間隔を制御し、カメラの焦点及び倍率を制御できる。そして、作業台２の振動有無及びパネル（図示せず）の装着、脱着などを制御できる。また、光源５の点滅や明るさなどを制御できる。

本発明の一実施形態によれば、処理装置３は、各カメラのオーバーラップ撮影領域を判断したり、撮影されたパネル画像の欠陥（ｄｅｆｅｃｔ）の有無及び欠陥の種類を判断する。また、撮影されたパネル画像で欠陥の位置座標を判断し、全体パネル画像データを生成する。さらに、このような情報を必要とする他の装置、例えば、欠陥を修理する装置（図示せず）などに伝送する。

図２は、カメラモジュール、作業台、光源などの位置関係を示した図である。

図２に示すように、カメラモジュール１０１は、作業台２２０の法線方向に位置し、光源３０１は、作業台２２０の下部に位置する。

カメラモジュール１０１は、複数のカメラ（図示せず）を含み、作業台２２０に装着される表示パネル（図示せず）を垂直に撮影できるように配置される。複数のカメラは行列状に配置される。距離変化によって所望の映像を得るために、カメラモジュール１０１と作業台２２０との距離は可変である。

作業台２２０は、支持台（ｓｕｐｐｏｒｔｉｎｇ ｍｅｍｂｅｒ）２０１とパネル装着部２１０とを含み、パネル装着部２１０は、表示パネルを装着し、表示パネルに映像信号を印加することができる信号印加部（図示せず）を備える。

光源３０１は、自ら発光しない表示装置、例えば、液晶表示装置のような表示装置に映像を表示するために必要であり、場合によって、光学シート２０５が光源３０１とパネル装着部２１０との間に介在されることが望ましい。

パネル装着部２１０と光学シート２０５との間の距離は可変である。これは、光学シート２０５上下に付着したホコリなどがパネル画像に影響を与えるおそれがあるためである。例えば、ホコリが付着した光学シート２０５がパネル装着部２１０に装着された表示パネルのすぐ下に位置する場合、ホコリが光の進路を妨害してホコリが付着した部分が暗く表示される。一実施形態において、光学フィルム２０５は拡散フィルムであってもよい。

また、場合によって映像検査装置は、光源３０１とパネル装着部２１０との間に位置した下側偏光板４０１と、パネル装着部２１０とカメラモジュール１０１との間に位置した上側偏光板４０５とをさらに備えてもよい。偏光板４０１、４０５は、液晶表示装置のような表示装置で映像を表示するために必要である。また、自ら発光する表示装置においても上側偏光板４０５が用いられる場合がある。

作業台２２０は、０度〜６０度の範囲の角度だけ水平面に対して傾斜している。また、作業台２２０の法線方向に位置したカメラモジュール１０１も作業台２２０のパネル装着部２１０に装着される表示パネルを垂直に撮影するために、作業台２２０と同じ角度で傾斜している。このような傾斜によって、作業台２２０に位置した表示パネルを肉眼で容易に観察できる。

例えば、液晶表示パネルを検査する映像検査装置の実施形態において、映像検査装置は、光源３０１、下側偏光板４０１、光学シート２０５、作業台２２０に位置したパネル装着部２１０、上側偏光板４０５、カメラモジュール１０１を備える。光源３０１から出射する光の経路を基準に下側偏光板４０１と光学シート２０５の位置が入れ替わってもよい。

自ら発光する表示パネルを検査する映像検査装置の実施形態において、映像検査装置は、作業台に位置したパネル装着部２１０、カメラモジュール１０１を備えて構成される。場合によって、上側偏光板４０５をさらに備えることができる。

図３Ａ乃至図３Ｃは、画像検査装置のカメラモジュール及びその撮影領域を示した図である。

図３Ａに示すように、カメラモジュール１０１は、複数のカメラ１１１とカメラ１１１が装着されているカメラ装着部１１０を含む。カメラ装着部１１０は、四角形フレーム１１２とこれを横切って平行に接続されている複数の横台１１３を有し、カメラ１１１は、横台１１３に一列に装着されて行列状に配置される。

横台１１３方向、つまりｘ方向のカメラ１１１の個数と、これに垂直であるｙ方向のカメラ１１１の個数は特に制限はなく、カメラ１１１の間隔や表示パネル２１１までの距離などを調節して、様々な大きさを有する表示パネル２１１全体を撮影できれば良い。

カメラ１１１は、表示パネル２１１を決められた区域毎に撮影し、この時、カメラ１１１で撮影された各々の撮影領域１２１は互いに重なる（オーバーラップする）ことができ（図面符号２１２）、カメラ１１１によって表示パネル２１１及びその外郭の一部まで全部撮影される。カメラ１１１によりオーバーラップした撮影領域２１２は、まず、同じ大きさの基準パネルを撮影し、撮影された映像から処理装置で判断する。この時、基準パネルは反復性を有する特定パターン（点、線、図形など）を表示し、カメラ１１１によって測定されたパターン間の距離または特定パターンと表示パネル２１１の特定地点（例えば、短絡点、パネルの角部など）を基準に撮影された映像と、基準パネルの実際の大きさを比較して判断する。

このように、行列状に配置されたカメラは、様々な大きさを有する表示パネル２１１及び様々な不良原因に応じてカメラモジュール１０１の条件を変更させることができる。

図３Ｂ及び図３Ｃは、カメラモジュール１０１においてカメラ１１１の移動前後を示した図であり、図３Ｂは、カメラ１１１が互いに近い距離に集まっているときを示し、図３Ｃは、互いに離れているときを示す。カメラモジュール１０１において、各カメラ１１１間の間隔は可変である。場合によって、横間隔または縦間隔がそれぞれ互いに異なる固定値に変化させたり、横間隔と縦間隔が全て同じ値に変化させることができる。このように、カメラ１１１の間隔を変化させることによって、様々な大きさを有する表示パネル２１１及び様々な撮影倍率に効果的に対応できる。

図４は、パネル装着部を示した図である。

図４に示すように、パネル装着部２１０は、表示パネル２１１が装着される部分と、装着された表示パネル２１１に映像信号を印加するための信号印加部２１６を備える。信号印加部２１６は、表示パネル２１１の種類及び表示パネル２１１に存在する検査用パッド（図示せず）の配置に対応する配列及び形態を有する。例えば、表示パネル２１１が一方にデータ信号のための検査用パッドを備え、他方にゲート信号のための検査用パッドを備える構造である場合、信号印加部２１６も該一方に対応する位置にデータ信号印加部２１３を、該他方に対応する位置にゲート信号印加部２１５を備える。これと異なって、表示パネル２１１が一方にデータ信号のための検査用パッドとゲート信号のための検査用パッドを両方備える場合には、該一方に対応する位置に信号印加部２１６を備える。即ち、表示パネル２１１の映像表示のために、映像信号の印加を受ける検査用パッドに対応する位置に信号印加部２１６が配置される。

図５Ａ乃至図５Ｂは、パネル及びパネルに形成されている検査用パッド、検査用ラインを示した図である。

図５Ａは、行列状に映像信号ライン１０１０、１０２０が交差する表示パネルを示した図である。

図５Ａに示すように、表示パネル２１１は、映像を表示する表示領域１０００とその外郭２０００とで構成される。表示領域１０００には直交する信号ライン１０１０、１０２０が複数存在する。即ち、第１信号ライン１０１０が平行に複数存在し（図示せず）、第２信号ライン１０２０が平行に複数存在する。信号ラインが直交する領域の付近には通常アクティブ素子などが位置する。信号ライン１０１０、１０２０は、外郭領域２０００に延びており、このような外郭領域２０００に存在する信号ライン１０１０、１０２０に映像信号を印加する回路が電気的に接続されている。回路は、表示パネル２１１内に実装されたり、チップ形態で映像信号ラインに電気的に接続される。

表示パネルの製造工程において表示パネル２１１を検査するために、信号ライン１０１０、１０２０は、外郭領域２０００で選択的に検査用ライン２０１５、２０２５に接続されている。このような検査用ライン２０１５、２０２５と電気的に接続されている検査用パッド２０１０、２０２０によって、パネル装着部２１０（図４参照）の信号印加部２１６（図４参照）は、表示パネル２１１に映像信号を印加することができる。

でせたりラップうるうちルを脱着検査用パッド２０１０、２０２０と検査用ライン２０１５、２０２５は、検査目的に応じて設計することができる。例えば、図５Ａに示すように、第１信号のための検査用ライン２０１５は第１信号ライン１０１０全体と選択的に接続されているが、第２信号のための検査用ライン２０２５は、第２信号ライン１０２０一部と選択的に接続されている。第１信号のための検査用パッド２０１０は、信号遅延などの効果を考慮して、検査用ライン２０１５の中間中間に配置できる。このように、検査用パッド２０１０、２０２０の位置及び配列に対応して、パネル装着部２１０（図４参照）の信号印加部２１６（図４参照）の位置及び配列が決定される。一方、図５Ｂは、表示パネルの検査用ライン２０１５、２０２５の様々な実施形態であって、検査用ライン２０１５、２０２５の個数及び映像信号ラインとの選択的な接続を示す。一般に、検査用パッドを含めた検査用ラインは検査後に、パネル製造工程中に除去されるが、レーザー切断や研摩機を利用したグラインディング（Ｇｒｉｎｄｉｎｇ）、またはこの２つを並行して除去する。

図６は、パネル製造工程の一部を示したフローチャートである。

図６に示すように、上下部基板が付着されたマザー基板を複数個の表示パネルで切断する（Ｓ１１）。次に、切断された表示パネルの端部（角部）をグラインディング（エッジグラインディング）して微細なクラックを除去する（Ｓ１２０）。次に、検査装置を用いて表示パネル検査を行なう（Ｓ１３０）。不良表示パネルに対しては修理工程を施す（Ｓ１４０）。正常表示パネルと修理工程が完了した表示パネルに偏光板を付着して表示パネルを製造し（Ｓ１５０）、修理が不可能なパネルは廃棄する（Ｓ１６０）。

表示パネル検査（Ｓ１４０）は、肉眼検査または画像検査を行うか、その２つを並行してパネル検査を行う。画像検査は、本発明による画像検査装置を用いて行うことができる。本発明による画像検査装置を用いる際に、検査装置単独で工程上独立して行なうか、他の工程と連係してインライン工程で行うことができる。また、複数のパネルを順次に検査するために、画像検査装置内で表示パネルの検査及び移動は連続的に行うことができる。即ち、作業台のパネル装着部に表示パネルを装着した後、行列状に配置された複数のカメラで表示パネルを撮影する段階、撮影された表示パネルを脱着した後、連続的に撮影された表示パネルと他の表示パネルをパネル装着部に装着する段階に、複数の表示パネルを連続に、かつ順次に検査移動することができる。欠陥有無に対する判断は、撮影後、撮影されたイメージを処理して判断する。

このようなインライン検査過程や連続的かつ順次的な検査過程は、表示パネルの検査速度を向上させることができる。

図７は、画像検査装置で画像処理を行なうための前処理段階を示したフローチャートである。

パネル装着部に装着された表示パネルをカメラで撮影してイメージを処理するために、各々のカメラが撮影した映像のオーバーラップの有無を判断することが必要である。通常、撮影された映像のオーバーラップ領域は、カメラによって実際撮影された映像と、設定されたパネル大きさなどを比較して、カメラ毎にオーバーラップ領域を区分する。このために、表示パネルに規則的に反復するパターンを表示し、このような表示パネルを各々のカメラが撮影する（Ｐ１００）。処理装置は、各々のカメラが撮影したパターンを認識し、各々カメラが撮った映像によって、パターン間の間隔や表示パネルの特定部位から特定パターンまでの距離と、実際の表示パネルにおける間隔や距離と比較することによって（Ｐ３００）、各々のカメラが撮影した映像のオーバーラップ領域を判断する（Ｐ４００）。

規則的に反復するパターンの一例として、パターンが点パターンであるか、線パターンであることができる。よって、各々のカメラが点パターンまたは線パターンを撮影し（Ｐ１００）、これを処理装置が認識した後（Ｐ２００）、その距離を実際距離と比較して（Ｐ３００）、各カメラのオーバーラップ部位を計算する（Ｐ４００）。

図８Ａ乃至図８Ｂは、図７の前処理段階のための表示パネルの画像を示した図である。

図８Ａは、規則的に反復する点パターンを示した図であって、赤色点（Ｒ）、緑色点（Ｇ）、青色点（Ｂ）が一定の間隔で横方向に反復して配列されているパターンを示し、図８Ｂは、規則的に反復する線パターンを示した図であって、縦方向に延びた赤色線（ｒ）、緑色線（ｇ）、青色線（ｂ）が横方向に一定の間隔で反復して配列されており、横方向に延びた白色線（ｗ）が縦方向に反復して配列されている形態である。点パターンまたは線パターンは、それぞれの色相毎に区別して表示するか、単色で表示することができる。一方、特定模様でパターンを表示することができ、場合によっては、互いに異なるパターンを組み合わせて表示することもできる。

図９は、画像検査装置を用いてパネル不良を検出する方法を示した図である。

各々のカメラが撮影した映像は処理装置（Ｒ２００）に送られ、イメージ処理過程（Ｒ２１０）及び判断過程（Ｒ２２０）を経る。この過程で各々のカメラが撮影した映像のオーバーラップ部位が計算され、欠陥有無を判断する。撮影された映像の不規則な部分と正常な部分との差が誤差範囲外であるとき、その部分を欠陥と判断する。例えば、表示パネルがブラックを表示しているときにホワイトを表示する画素やラインが存在する場合、または表示パネルがホワイトを表示しているときにブラックを表示する画素やラインが存在する場合、このような不良を周辺映像との差によって判断する。このように、撮影された映像のオーバーラップ部位や不良を判断するために、処理装置はデータベース（Ｒ２５０）に記録された情報を使用し、必要情報を保存する。一方、処理装置は、判断した資料及び処理した映像情報などを他の装置に送信するか、本装置の表示装置などを用いて出力する（Ｒ３００）。

一実施形態において、基準明度に基準強さ（ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）を付与して撮影された映像の明度強さ（ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）を平面上に座標化する。この時、明度の測定は連続的に行うこともできるが、各画素間隔だけ間隔を置いて行なうこともできる。測定された明度データを補間（ｉｎｔｅｒｐｏｌａｔｉｏｎ）し、周期性を判断してデータの不規則な部分を決定する。その後、不規則な部分と正常な部分の強さの差が誤差範囲外であるか否かによって、パネルの不良有無及び不良部位を決定する。

一方、明度の他にも不良な部分と正常な部分に強さの差を生じさせる要因が存在すれば、その要因に基づいて撮影された映像の強さを座標化して不良有無を判断することができる。このような要因としては、明度、彩度、色相またはその組み合わせなどがある。

図１０Ａ乃至図１０Ｂは、画像検査装置を用いてパネル不良を撮影した図である。

図１０Ａ及び図１０Ｂは、画素不良（ｐｉｘｅｌ ｄｅｆｅｃｔ）を検出した図であって、十字（十）の中央付近が不良位置である。即ち、正常な部分と不良な部分の強さの差に基づいて不良有無及び不良位置を判断して検出した図である。この他にも、ライン不良や表面ムラなどを検出することができる。

図１１は、画像検査装置の他の実施形態を示した図である。

図１１に示すように、本発明による画像検査装置は、表示パネル２１１の上側面に光源３０５をさらに備えている。表示パネル２１１自体の不良で不良が検出される場合のみならず、パネル２１１上部の汚染物（ホコリなど）２１９やスクラッチ２１４などで不良が検出される場合が生じ得るので、表示パネル２１０の不良と、汚染（またはスクラッチなど）２１９、２１４による不良を区別する必要がある。表示パネル２１１の不良と異なって、汚染２１９やスクラッチ２１４は、光を乱反射させる性質があるので、検査装置の上側面に光源３０５を設けて乱反射効果を得ることができる。このような乱反射により、汚染２１３やスクラッチ２１４はパネル不良と異なる強さ（Ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）特性を有し、処理装置で認識できる。

また、作業台を振動して作業台に存在するパネル装着部及び表示パネル２１１を振動することができ、このような振動は乱反射効果をさらに高める。この他にも、上側面に位置した光源３０５を振動して乱反射効果をより高めることもできる。作業台は、画素の長軸の長さより小さい振動距離で、上下または／及び左右に振動できる。一実施形態において、作業台の振動は画素の短軸の長さの１／２以下の振動距離または５０μｍ以下の振動距離を有することができる。また、振動周波数は５Ｈｚ以下であることができる。

このような上側面光源３０５と作業台の振動により画像検査装置は、表示パネル２１１不良による不良検出と、その他の原因（例えば、ホコリやスクラッチなど）２１３、２１４による不良検出を区別でき、正常表示パネルを不良と判断するエラーを減少させることができる。

図１２は、図１１に示す画像検査装置を用いて表面が汚染されたパネルを撮影した図である。

図１２に示すように、図１０Ｂに示す不良と異なって、光の乱反射により強さ特性が異なることが分かる。このような差異に基づいて、不良有無を区別することができる。

画像検査装置を構成する構成要素等の関係を示した図である。 カメラモジュール、作業台、光源などの位置関係を示した図である。 画像検査装置のカメラモジュールを示した図である。 画像検査装置の撮影領域を示した図である。 画像検査装置の撮影領域を示した図である。 パネル装着部を示した図である。 パネル及びパネルに形成された検査用パッド、検査用ラインを示した図である。 パネル及びパネルに形成された検査用パッド、検査用ラインを示した図である。 パネル製造工程の一部を示したフローチャートである。 画像検査装置で画像処理を行なうための前処理段階を示したフローチャートである。 図７に示す前処理段階を行うための表示パネルの画像を示した図である。 図７に示す前処理段階を行うための表示パネルの画像を示した図である。 画像検査装置を用いてパネル不良を検出する方法を示した図である。 画像検査装置を用いてパネル不良を撮影した図である。 画像検査装置を用いてパネル不良を撮影した図である。 画像検査装置の他の実施形態を示した図である。 図１１に示す画像検査装置を用いて表面が汚染されたパネルを撮影した図である。。

符号の説明

１ カメラモジュール
２ 作業台
３ 処理装置
４ 制御部
５ 光源

Claims (15)

1. 表示パネルが装着されるパネル装着部を有する作業台と、
   行列状に配置され、前記パネル装着部に装着された前記表示パネルを撮影する複数のカメラを含むカメラモジュールと、
   前記カメラが撮影した前記表示パネルの映像から前記表示パネルの欠陥の有無を判断する処理装置とを備え、
   前記カメラ間の間隔は可変であることを特徴とする画像検査装置。
2. 前記表示パネル装着部と前記カメラモジュールとの間隔は可変であることを特徴とする請求項１に記載の画像検査装置。
3. 前記作業台の下部にあり、前記パネル装着部の方向に光を供給する第１光源と、
   前記第１光源と前記パネル装着部との間に位置し、前記パネル装着部からの距離が可変である光学シートとをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の画像検査装置。
4. 前記第１光源と前記光学シートとの間に配置された下側偏光板と、
   前記作業台と前記カメラモジュールとの間に配置された上側偏光板とをさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の画像検査装置。
5. 前記作業台上側面より前記パネル装着部の方向に光を供給する第２光源をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の画像検査装置。
6. 前記作業台または前記第２光源は振動するよう構成したことを特徴とする請求項５に記載の画像検査装置。
7. 前記作業台の振動距離は、前記パネルの単位画素の長軸の長さよりも小さいことを特徴とする請求項６に記載の画像検査装置。
8. 前記振動距離は、前記単位画素の短軸の長さの１／２以下であることを特徴とする請求項７に記載の画像検査装置。
9. 前記パネル装着部は、水平面に対して３０度〜９０度の範囲の角度だけ傾斜しており、前記カメラは、前記パネル装着部の法線方向に配置されることを特徴とする請求項１に記載の画像検査装置。
10. 前記パネル装着部は、表示パネルに映像信号を印加できる信号印加部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の画像検査装置。
11. 作業台のパネル装着部に表示パネルを装着し、
    規則的に反復する映像パターンを表示パネルに表示し、
    行列状に配置された複数のカメラで前記表示パネルを撮影し、
    処理装置で前記カメラが撮影した前記パネルの映像から前記カメラのオーバーラップした撮影領域を判断することを特徴とするパネル検査方法。
12. 作業台のパネル装着部に表示パネルを装着し、
    ホワイト映像、ブラック映像、特定色相の映像及び中間階調のいずれか一つの映像を前記表示パネルに表示し、
    行列状に配置された複数のカメラを用いて前記カメラ間の間隔を変化させながら前記表示パネルを撮影し、
    処理装置で前記カメラが撮影した前記パネルの映像から前記表示パネルの欠陥の有無を判断することを特徴とするパネル検査方法。
13. 前記カメラが備えられているカメラモジュールと前記パネル装着部との間の間隔を調整し、
    前記カメラの間隔を調整し、
    前記表示パネルと前記表示パネルの下部に配置された光学シートの間隔を調整することを特徴とする請求項１２に記載のパネル検査方法。
14. 前記カメラでの前記表示パネルの撮影において、前記作業台を振動させることを特徴とする請求項１２に記載のパネル検査方法。
15. マザー基板に独立の複数の表示素子を形成した後、マザー基板を切断して独立の複数の表示パネルを準備し、
    作業台のパネル装着部に前記複数の表示パネルのうちの一つを装着し、
    行列状に配置された複数のカメラを用いて、前記カメラ間の間隔を変化させながら前記装着された表示パネルを撮影し、
    前記撮影された表示パネルを取り外し、
    前記複数の表示パネルのうちの他の一つを前記パネル装着部に装着し、
    処理装置で前記複数のカメラが撮影した前記パネルの映像から前記撮影された表示パネルの欠陥の有無を判断し、
    前記撮影された表示パネルに欠陥がある場合、前記撮影された表示パネルを処理することを特徴とする表示パネルの製造方法。
    

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