JP3135153U - 表面検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】多層プリント配線板の層間接続のための導電性凸部や、液晶表示器用フィルタの製造時に生じる凸部を鮮明に撮影でき、精度よく検査することができる。
【解決手段】被検査物を位置決めした状態で置く検査台、検査台の上に置かれた被検査物の表面近傍からその表面に沿うように光を被検査物に照射する直線状の第一光源、第一光源に対向する被検査物の表面近傍位置に配置されその表面に沿うように第一光源から照射された光が到達する被検査物の表面に光を被検査物に照射する直線状の第二光源、第一光源から照射された光の光量と第二光源から照射された光の光量とがほぼ等しくなる非検査物表面のその全幅に亘る直線状の領域を被検査物にほぼ垂直な方向からの画像として撮影する撮影手段、及び第一光源と第二光源と撮影手段とを被検査物の全長に亘って同時に移動させている間に撮影手段が撮影した領域に存在する凸部の位置を撮影した画像に基づいて特定する位置特定手段を備えてなる。
【選択図】図１

Description

本考案は、多層プリント配線板の層間接続のための導電性凸部や、液晶表示器用フィルタの製造時に生じる凸部などを検査する表面検査装置に関するものである。

従来、特許文献１において示されるような、被検査物の表面における欠陥が凸状であるのか又は凹状であるのかを判定する表面検査方法が知られている。この特許文献１においては、撮像カメラの光軸と同軸の落射照明を行いながら撮像カメラで被検査物の表面を撮像し、その画像から欠陥の有無を判定し、また被検査物に対し斜め方向一方向からコリメートされた光を斜光照明により照射して撮像カメラで被検査物の表面を撮像し、その画像から欠陥が凸状か凹状かを判定するものである。つまり、落射照明により被検査物の表面を撮影すると、凸状あるいは凹状の欠陥は落射照明からの光が散乱することで反射光がほとんどなく、その欠陥が暗い画像として撮影されるものである。また、斜光照明により被検査物の表面を検査すると、凸状の欠陥と凹状の欠陥とで影の形成される方向が異なることにより、欠陥の形状を判定するものである。
特開２００５−２７４２５６号公報

ところが、このような構成のものであると、落射照明からの光は、例えば凸状の欠陥において反射しないが、その欠陥の周囲において反射するために、同軸にある撮像カメラにはそのような反射光が入射することにより、欠陥の画像をぼやけさせるものとなる。つまり、欠陥の周囲における反射光が欠陥からのわずかな反射光に重なり合うために、欠陥の画像が鮮明にならないことがある。

そこで本考案は、このような不具合を解消することを目的としている。

すなわち、本考案の表面検査装置は、被検査物を位置決めした状態で置く検査台、検査台の上に置かれた被検査物の表面近傍からその表面に沿うように光を被検査物に照射する直線状の第一光源、第一光源に対向する被検査物の表面近傍位置に配置されその表面に沿うように第一光源から照射された光が到達する被検査物の表面に光を被検査物に照射する直線状の第二光源、第一光源から照射された光の光量と第二光源から照射された光の光量とがほぼ等しくなる非検査物表面のその全幅に亘る直線状の領域を被検査物にほぼ垂直な方向からの画像として撮影する撮影手段、及び第一光源と第二光源と撮影手段とを被検査物の全長に亘って同時に移動させている間に撮影手段が撮影した領域に存在する凸部の位置を撮影した画像に基づいて特定する位置特定手段を備えてなることを特徴とする。

このような構成であれば、第一光源と第二光源とはそれぞれ、検査台の上に置かれた被検査物の表面近傍に対向して配置される。第一光源と第二光源とから出た光は、被検査物の表面に沿うようにして被検査物の表面に照射され、被検査物の表面にある凸部で反射して散乱する。したがって、撮影手段が、第一光源から照射された光の光量と第二光源から照射された光の光量とがほぼ等しくなる非検査物表面のその全幅に亘る直線状の領域を被検査物にほぼ垂直な方向からの画像として撮影した場合、凸部は影の画像となって撮影される。つまり、撮影手段が撮影して得られる画像は、凸部の周囲は明るく、逆に凸部が暗い画像となる。それ故、その画像に基づいて、位置特定手段は、凸部の位置を特定するものである。このようにして、被検査物の表面にある凸部の位置を特定することで、被検査物の良否を判定することが可能になる。

小型化するためには、第一光源と第二光源とから照射されて被検査物の表面にて反射した光の進行方向を変更する変更手段をさらに備えてなり、変更手段にて進行方向の変更された光が入射するように撮影手段を配置するものが好ましい。このような変更手段としては、被検査物の全幅から反射される光を反射する長尺の鏡が挙げられる。

撮影を高速化するには、撮影手段が、ラインセンサを備えてなるものが好適である。

本考案は、以上説明したような構成であり、凸部を鮮明に撮影することができ、したがって、被検査物表面における凸部を確実に判定でき、その位置を精度よく特定することができる。したがって、凸部が設定された位置にあるか否か、つまり被検査物の良否を判定することができる。

以下、本考案の一実施形態を、図１〜４を参照して説明する。

この表面検査装置ＦＥＡは、多層プリント配線板における層間接続を行うための、凸部（以下、バンプと称する）が形成された被検査物としての導電性シート部材１の表面を、導電性シート部材１の製造ライン内において検査するものである。導電性シート部材１は、例えば銅箔に銀ペーストを印刷し、その印刷した銀ペーストにより表面に導電性の凸部であるバンプＢＰを形成し、そのバンプＢＰの先端部分を露出させてそれぞれのバンプＢＰを絶縁するプリプレグが銅箔表面に形成されてなるものである。バンプＢＰは、銅箔の表面に銀ペーストにより形成されるほぼ円錐形状になって突出するもので、例えば高さが１００マイクロメートルであり、目的とする多層プリント配線板のパターンに応じて所定の位置関係を有して形成されるものである。このバンプＢＰは理想的な円錐形状ではなく、少なからずいびつな円錐形状であるので、その表面において光は乱反射のような状態で反射する。

表面検査装置ＦＥＡは、機械本体２と、機械本体２を制御するとともに撮影した画像の処理を行う電気制御本体３とを備えている。

機械本体２は、導電性シート部材１を製造する製造ラインの下流に配置され、搬送されてきた導電性シート部材１を受け付ける受付部２１と、受付部２１で受け付けた導電性シート部材１を検査する検査台部２２と、検査台部２２の上方を移動し得る撮影部２３と、検査の完了した導電性シート部材１を選別する選別部２４と、受付部２１、検査台部２２、撮影部２３、及び選別部２４を支持するフレーム（図示しない）とを備えている。

受付部２１は、導電性シート部材１を製造ラインから受け取る部分で、送られてきた導電性シート部材１を一旦静止した状態にする。そして受付部２１は、静止させた導電性シート部材１を吸引して、次段の検査台部２２の検査台上に導電性シート部材１を移動させる。

検査台部２２は、導電性シート部材１を載せる検査台２２ｂを備えてなり、受付部２１から送られてきた導電性シート部材１は、検査台２２ｂを下方に移動させた状態で受け入れる。そして検査台２２ｂが上昇した状態において、検査台部２２は受け入れた導電性シート部材１を検査台２２ｂ上において位置決めさせる。この後、検査台部２２は、位置決めを完了した導電性シート部材１を、検査台２２ｂに吸着することにより固定し、撮影部２３による撮影の間に導電性シート部材１が検査台２２ｂ上において移動しないようにしている。

撮影部２３は、第一光源２３ｂ、第二光源２３ｃ、変更手段である鏡２３ｄ及び撮影手段を構成する複数のカメラユニット２３ｆを備えてなり、検査台部２２に対して移動するように構成されている。すなわち、撮影部２３は、導電性シート部材１の移動方向に対して垂直な横方向に移動可能に、フレームに対して取り付けてある。なお、変更手段は、鏡２３ｄに代えて、プリズムを用いるものであってもよい。

第一光源２３ｂ及び第二光源２３ｃはそれぞれ、検査台２２ｂの幅とほぼ同じ長さの直線状のもので、例えば長尺の蛍光灯を備えてなる。蛍光灯は、その長手方向に光の照射方向に蛍光塗料が塗布されていない窓を有するものである。第一光源２３ｂと第二光源２３ｃとは、撮影部２３が検査台部２２上に移動した場合に、検査台２２ｂの上に置かれた導電性シート部材１の表面近傍に位置するように、また、第一光源２３ｂと第二光源２３ｃとは互いに向き合ってほぼ平行に配置される。したがって、導電性シート部材１の表面の撮影される直線状領域からほぼ等距離の位置に第一光源２３ｂと第二光源２３ｃとが配置されるもので、直線状領域に置いては第一光源２３ｂと第二光源２３ｃとから照射される光の光量がほぼ等しくなるものである。

このような第一光源２３ｂ及び第二光源２３ｃに対して、鏡２３ｄは、第一光源２３ｂとほぼ同じ長さを有するもので、導電性シート部材１の表面で反射し第一光源２３ｂと第二光源２３ｃとの間を通って上方に向かう反射光を、入射方向とほぼ垂直な方向に反射するものである。鏡２３ｄは、その取付角度を調整し得るようにして取り付けてあり、導電性シート部材１の表面で反射した光に対するカメラユニット２３ｆの光軸の調整を容易にし得るようになっている。

カメラユニット２３ｆは、例えば１４台である。カメラユニット２３ｆの数は、検査台２２ｂの幅寸法に依存するもので、検査台２２ｂの幅が小さいものではその数が少なくなるものである。それぞれのカメラユニット２３ｆは同一のもので、撮像素子としてラインセンサＬＳを備えている。したがって、１台のカメラユニット２３ｆが撮影し得る領域は、使用するラインセンサＬＳにより設定されるもので、ラインセンサＬＳに応じた直線状の所定幅と所定長さの領域であり、そのような領域を１４倍することにより、導電性シート部材１の全幅に対応する領域の長さとなる。それぞれのカメラユニット２３ｆは、特許第３３８５００２号に開示される検出ユニットを採用するものが好適である。そしてカメラユニット２３ｆは、撮影部２３において、鏡２３ｄが反射した反射光が入射するように配置してある。

選別部２４は、撮影を完了し、検出したバンプＢＰの位置が仕様通りであるかないかの判定結果により、仕様に一致するものを良品、一致しないものを不良品として選別して、良品を通過させ、不良品を排出する。したがって、製造ラインには良品のみが搬送されるものである。

電気制御本体３は、機械本体制御部３１と画像処理部３２と各種データなどの入力装置３３と各種データなどを表示する表示装置３４を備えてなる。機械本体制御部３１は、受付部２１に送られてきた導電性シート部材１の検査台部２２への移動、検査台部２２における導電性シート部材１の固定、撮影部２３の移動、選別部２４における導電性シート部材１の送り出しと排出などの作動を制御する。

画像処理部３２は、それぞれのカメラユニット２３ｆから出力された画像信号を画像データに変換する変換回路３２ｂと、変換回路３２ｂから出力される画像データを合成して導電性シート部材１の全体画像データを作製する被検査物画像形成回路３２ｃと、全体画像データにおけるバンプＢＰの画像データを抽出しあらかじめ記憶されている導電性シート部材１の基準画像データのバンプＢＰの画像データとを比較してバンプＢＰの位置を特定する位置特定回路３２ｄとを備えている。

入力装置３３は、キーボードやマウスなどである。また、表示装置３４としては、例えば液晶ディスプレイが挙げられる。

このような構成において、受付部２１において受け付けられた導電性シート部材１は、検査台部２２に送られて検査台２２ｂ上に位置決めされた後に吸引により固定される。導電性シート部材１を検査台２２ｂに固定した後、電気制御本体３は機械本体２に制御信号を出力し、撮影部２３を検査台２２ｂの上の検査開始位置すなわち導電性シート部材１の前縁近傍を撮影する位置まで移動させる。この位置において、第一光源２３ｂと第二光源２３ｃとが導電性シート部材１の表面に沿うように光を照射し、導電性シート部材１の全幅に亘って、直線状に光が照射された領域つまり直線状の領域が形成される。

このようにして、第一光源２３ｂと第二光源２３ｃとにより導電性シート部材１に対して光を照射している状態で、第一光源２３ｂと第二光源２３ｃとの間を通って直線状の領域から反射してくる光により導電性シート部材１の撮影を行う。カメラユニット２３ｆは、直線状の領域から反射してくる反射光に感応してラインセンサＬＳが画像信号を出力するもので、その位置での導電性シート部材１の表面の所定幅の画像を、導電性シート部材１の表面に垂直な上方から撮影する。次に、電気制御本体３は、撮影部２３に制御信号を出力し、撮影部２３を所定距離だけ検査台２２ｂの奥行き方向に移動させる。移動が完了した位置において、上述と同様に、導電性シート部材１の表面の画像を撮影する。

光が照射された直線状の領域では、導電性シート部材１の表面に形成された被写体であるバンプＢＰに対してその前方向と後方向とから光が照射されることになる。その結果、バンプＢＰの前方からの光によりその後側面が暗くなり、一方、バンプＢＰに後方から照射される光によりその前側面に影が形成される。つまり、第一光源２３ｂと第二光源２３ｃとから照射された光の光量それぞれは、バンプＢＰの位置ではほぼ等しいので、光がバンプＢＰにより遮られた面は影となる。したがって、この状態を導電性シート部材１の表面に垂直な上方からその表面を撮影すると、バンプＢＰの部分がほぼ円形に暗くなった画像が得られる。

このようにして、撮影部２３を所定距離だけ検査台２２ｂの奥行き方向に移動させ、移動させたその位置で導電性シート部材１の表面の画像の撮影することを、導電性シート部材１の奥行き方向の後縁近傍まで、つまり導電性シート部材１の検査すべき全域に亘って繰り返し行う。この移動と撮影との動作は、連続して行うものである。

そして以上のようにして、撮影部２３が導電性シート部材１の全域に亘ってその表面を撮影すると、それぞれのカメラユニット２３ｆから画像信号が電気制御本体３の画像処理部３２に入力される。画像処理部３２では、変換回路３２ｂにより入力された画像信号を画像データに変換した後、被検査物画像形成回路３２ｃにより導電性シート部材１の全体画像データを作製し、位置特定回路３２ｄにおいてこの全体画像データからバンプＢＰの画像データを抽出して、抽出したバンプＢＰの画像データのほぼ中心と基準画像データとを比較して撮影した導電性シート部材１のそれぞれのバンプＢＰの位置を特定する。特定したバンプＢＰの位置は、個別に表示装置３４に表示することが可能である。

したがって、第一光源２３ｂ及び第二光源２３ｃが導電性シート部材１の表面近傍位置に配置され、第一光源２３ｂ及び第二光源２３ｃから照射された光がその表面を沿うようにしてバンプＢＰに達するので、撮影された画像は、ほぼバンプＢＰの大きさに対応して良好なコントラストを保っており、鮮明なものである。したがって、バンプＢＰの位置を特定することが容易になり、かつその精度を高くすることができる。また、ラインセンサを使用しているので、導電性シート部材１の全体に亘る撮影であっても、撮影に要する時間を短時間にすることができる。

特定の結果、バンプＢＰが欠損している、あるいは形成されている位置が許容値以上にずれているなどの欠陥を発見した場合、位置特定回路３２ｄは機械本体制御部３１に対して欠陥信号を出力する。機械本体制御部３１は、欠陥信号を受けて選別部２４を制御し、欠陥の発見された導電性シート部材１を欠陥品として排出する。これに対して、上述した欠陥が発見されなかった導電性シート部材１は、選別部２４から製造ラインの最終工程に対して送り出される。欠陥を発見した導電性シート部材１には、ＩＤカードなどの欠陥を証明するものを添付して、さらなる検査を行えるようにするものである。

このような個別の検査のために、画像処理部３２においては、全体の画像データから欠陥を発見した部位、つまりバンプＢＰが基準となる画像データのものより許容値以上に位置ずれしているなどの画像データのみを切り出して、全体の画像データとは別に保存するようにしている。つまり、画像処理部３２では、欠陥品のために、欠陥部位の欠陥画像データを個別に保存することにより、迅速な検索が実行し得るようにしている。この欠陥画像データは、そのバンプＢＰの位置を示す位置データと、撮影されたバンプＢＰの画像データとを含むものである。なお、画像処理部３２における画像データの保存効率を高めるために、画像データとしては欠陥画像データのみを、導電性シート部材１を識別し得るデータとともに保存するものであってもよい。

なお、上述の実施形態においては、被検査物としての導電性シート部材１におけるバンプＢＰを検査する表面検査装置ＦＥＡを説明したが、本考案は、液晶表示装置用カラーフィルタ（以下、カラーフィルタと称する）１０１の製造時における表面を検査する検査装置に適用するものであってもよい。すなわち、カラーフィルタ１０１は、ガラス板の表面にフォトリソグラフィなどによりブラックマトリクス、赤、青及び緑を塗布して製造するものである。このようなカラーフィルタ１０１は、その製造時に、塗料が毛羽立つことがあり、液晶表示装置に組み込む場合には毛羽立った突起物が障害になるので、塗装面全体を研磨することにより取り除いている。

このようなカラーフィルタ１０１の製造工程において、塗装面全体を研磨することは、研磨が不要な領域を研磨する時間が無駄になっている。このことは、形成された突起物のみを取り除く作業であれば、カラーフィルタ１０１の全面を研磨するに要する時間より作業時間を短縮することができることを示唆している。したがって、形成された突起物のみを取り除くためには、正確に突起物の位置を検出することが必要となる。

このカラーフィルタ１０１のための表面検査装置ＦＥＡ２は、図５〜８に示すように、上述した実施形態とは異なり、変更手段である鏡を介することなく、被検査物であるカラーフィルタ１０１で反射した光が直接複数のカメラユニット１２３ｆに入射する構成である。これは、通常、カラーフィルタ１０１は例えば、長さ２５００ｍｍ、幅２２００ｍｍの大きさがあるので、均等な反射性能を有する長尺の鏡は製作が容易でないためである。

すなわち、カラーフィルタ用表面検査装置ＦＥＡ２は、上述の実施形態と同様に、機械本体１０２と電気制御本体１０３とからなり、機械本体１０２は、カラーフィルタ１０１を製造する製造ラインの下流に配置され、搬送されてきたカラーフィルタ１０１を受け付ける受付部１２１と、受付部１２１で受け付けたカラーフィルタ１０１を検査する検査台部１２２と、検査台部１２２の上方を移動する撮影部１２３と、受付部１２１、検査台部１２２、及び撮影部１２３を支持するフレーム（図示しない）とを備え、電気制御本体１０３は、機械本体制御部１３１と画像処理部１３２と入力装置１３３及び表示装置１３４を備えてなる。

受付部１２１は、カラーフィルタ１０１を製造ラインから受け取る部分で、送られてきたカラーフィルタ１０１を一旦静止した状態にする。そして受付部１２１は、静止させたカラーフィルタ１０１を吸引して、次段の検査台部１２２の検査台１２２ｂ上にカラーフィルタ１０１を移動させる。

検査台部１２２は、カラーフィルタ１０１を載せる検査台１２２ｂを備えてなり、受付部１２１から送られてきたカラーフィルタ１０１は、検査台１２２ｂを下方に移動させた状態で受け入れる。そして検査台１２２ｂが上昇した状態において、検査台部１２２は受け入れたカラーフィルタ１０１を検査台１２２ｂ上において位置決めさせる。この後、検査台部１２２は、位置決めを完了したカラーフィルタ１０１を、検査台１２２に吸着することにより固定し、撮影部１２３による撮影の間にカラーフィルタ１０１が検査台１２２ｂ上において移動しないようにしている。

撮影部１２３は、第一光源１２３ｂ、第二光源１２３ｃ、及び撮影手段を構成する複数のカメラユニット１２３ｆを備えてなり、検査台部１２２に対して移動するように構成されている。すなわち、撮影部１２３は、カラーフィルタ１０１の移動方向に対して垂直な横方向に移動するように、フレームに対して移動可能に取り付けてある。

第一光源１２３ｂ及び第二光源１２３ｃはそれぞれ、検査台１２２ｂの幅とほぼ同じ長さの直線状のもので、複数の発光ダイオードを整列させて形成してある。第一光源１２３ｂと第二光源１２３ｃとは、撮影部１２３が検査台部１２２に移動した場合に、検査台１２２ｂの上に置かれたカラーフィルタ１０１の表面近傍に位置するように、また、第一光源１２３ｂと第二光源１２３ｃとは互いに向き合ってほぼ平行に配置される。したがって、カラーフィルタ１０１の表面の撮影位置からほぼ等距離の位置に第一光源１２３ｂと第二光源１２３ｃとが配置されるものである。第一光源１２３ｂと第二光源１２３ｃとは、カラーフィルタ１０１に達する光量を調整するために、検査台１２２ｂに対する高さを調整し得るように構成するものが好適である。

カメラユニット１２３ｆは、例えば６４台である。カメラユニット１２３ｆの数は、検査台１２２ｂの幅寸法に依存する。それぞれのカメラユニット１２３ｆは同一のもので、撮像素子としてラインセンサＬＳ２を備えている。したがって、１台のカメラユニット１２３ｆが撮影し得る領域は、使用するラインセンサＬＳ２により設定されるもので、ラインセンサＬＳ２に応じた直線状の所定幅と所定長さの領域であり、そのような領域を６４倍することにより、カラーフィルタ１０１の全幅に対応する領域の長さとなる。それぞれのカメラユニット１２３ｆは、特許第３３８５００２号に開示される検出ユニットを採用するものが好適である。それぞれのカメラユニット１２３ｆは、第一光源１２３ｂと第二光源１２３ｃとからほぼ等距離離れた位置を通る反射光がカメラユニット１２３ｆの光軸とほぼ一致するように、第一光源１２３ｂと第二光源１２３ｃの上方に配置されるものである。この場合、鏡を使用しないので、カメラユニット１２３ｆの光軸調整のために、カメラユニット１２３ｆは位置調整可能に取り付ける。

電気制御本体１０３は、機械本体制御部１３１と画像処理部１３２と各種データなどの入力装置１３３と各種データなどを表示する表示装置１３４を備えてなる。機械本体制御部１３１は、受付部１２１に送られてきたカラーフィルタ１０１の検査台部１２２への移動、検査台部１２２におけるカラーフィルタ１０１の固定、撮影部１２３の移動などの作動を制御する。機械本体制御部１３１は、受付部１２１に送られてきたカラーフィルタ１０１の検査台部１２２への移動、検査台部１２２におけるカラーフィルタ１０１の固定、撮影部１２３の移動などの作動を制御する。

画像処理部１３２は、それぞれのカメラユニット１２３ｆから出力された画像信号を画像データに変換する変換回路１３２ｂと、変換回路１３２ｂから出力される画像データを合成してカラーフィルタ１０１の全体画像データを作製する被検査物画像形成回路１３２ｃと、全体画像データにおける突起物の画像のほぼ中心の位置データから突起物の位置を特定する位置特定回路１３２ｄとを備えている。

このような構成において、この変形例の表面検査装置においても、上述と同様に作動するものである。

すなわち、検査するカラーフィルタ１０１を受付部１２１から検査台部１２２の検査台１２２ｂに送り、検査台１２２ｂの上に吸引により移動不可能に置く。この場合、カラーフィルタ１０１は、吸引により検査台１２２ｂに密着させる前に、検査台１２２ｂ上で位置合わせされることは言うまでもない。

次に、撮影部１２３をカラーフィルタ１０１の撮影開始位置から検査台１２２ｂの奥行き方向に移動させながらカラーフィルタ１０１の全表面の撮影を行う。この撮影は、上述の実施形態と同様に、撮影部１２３を所定距離だけ検査台１２２ｂの奥行き方向に移動し、その移動位置においてカラーフィルタ１０１の表面を撮影することを繰り返すことにより達成するものである。

このような構成において、受付部１２１において受け付けられたカラーフィルタ１０１は、検査台部１２２に送られて検査台１２２ｂ上に位置決めされた後に吸引により固定される。カラーフィルタ１０１を検査台１２２ｂに固定した後、電気制御本体１０３は機械本体１０２に制御信号を出力し、撮影部１２３を検査台１２２ｂの上の検査開始位置すなわちカラーフィルタ１０１の前縁近傍を撮影する位置まで移動させる。この位置において、第一光源１２３ｂと第二光源１２３ｃとがカラーフィルタ１０１の表面に沿うように光を照射し、カラーフィルタ１０１の全幅に亘って、直線状に光が照射された領域つまり直線状の領域が形成される。

カラーフィルタ１０１の撮影は、第一光源１２３ｂと第二光源１２３ｃとによりカラーフィルタ１０１に対して光を照射している状態で、第一光源１２３ｂと第二光源１２３ｃとの間を通って直線状の領域から反射してくる光により行う。つまり、カメラユニット１２３ｆは、直線状の領域から反射してくる反射光に感応してラインセンサＬＳ２が画像信号を出力するもので、その位置でのカラーフィルタ１０１の表面の所定幅の画像を、カラーフィルタ１０１の表面に垂直な上方から撮影する。次に、電気制御本体１０３は、撮影部１２３に制御信号を出力し、撮影部１２３を所定距離だけ検査台１２２ｂの奥行き方向に移動させる。移動が完了した位置において、上述と同様に、カラーフィルタ１０１の表面の画像を撮影する。

光が照射された直線状の領域では、カラーフィルタ１０１の表面に形成された検出すべき被写体である突起物ＰＲに対してその前方向と後方向とから光が照射されることになる。その結果、突起物ＰＲの前方からの光によりその後側面が暗くなり、一方、突起物ＰＲに後方から照射される光によりその前側面に影が形成される。つまり、第一光源１２３ｂと第二光源１２３ｃとから照射された光の光量それぞれは、突起物ＰＲの位置ではほぼ等しいので、光が突起物ＰＲにより遮られた面は影となる。したがって、この状態をカラーフィルタ１０１の表面に垂直な上方からその表面を撮影すると、突起物ＰＲの存在する位置の部分が暗くなった画像が得られる。

そして、カラーフィルタ１０１の全表面の撮影を完了後、画像処理部１３２は突起物ＰＲの画像データのみを抜き出し、その突起物ＰＲの位置を特定する。位置の特定は、カラーフィルタ１０１を位置合わせすることにより、カラーフィルタ１０１全体に座標が設定されるものとなるので、突起物ＰＲのほぼ中心が重なる座標により位置を特定するものである。

このようにして特定した突起物ＰＲの位置データ（座標データ）は、例えばカラーフィルタ１０１の表面を研磨する研磨装置に対して出力すれば、検出した突起物ＰＲのみを研磨することが可能になる。この結果、カラーフィルタ１０１の全体を研磨する場合に比べて、その研磨に要する時間を確実に短縮することができる。また、全体を研磨しないので、カラーフィルタ１０１に塗布されたインクが不当に研磨されることもなく、研磨されたインクがカラーフィルタ１０１に付着するような不具合を最小限に抑制することができる。

その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本考案の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

本考案の実施形態の構成を側面から見た状態で示す構成説明図。 同実施形態の構成を正面から見た状態で示す構成説明図。 同実施形態の要部を拡大して示す側面図。 同実施形態の電気制御本体の構成を示すブロック図。 本考案の実施形態の変形例の構成を側面から見た状態で示す構成説明図。 同変形例の構成を正面から見た状態で示す構成説明図。 同変形例の要部を拡大して示す側面図。 同変形例の電気制御本体の構成を示すブロック図。

符号の説明

１…導電性シート部材
２２ｂ…検査台
２３ｂ…第一光源
２３ｃ…第二光源
２３ｆ…カメラユニット
ＢＰ…バンプ

Claims (4)

1. 被検査物を位置決めした状態で置く検査台、
   検査台の上に置かれた被検査物の表面近傍からその表面に沿うように光を被検査物に照射する直線状の第一光源、
   第一光源に対向する被検査物の表面近傍位置に配置されその表面に沿うように第一光源から照射された光が到達する被検査物の表面に光を被検査物に照射する直線状の第二光源、
   第一光源から照射された光の光量と第二光源から照射された光の光量とがほぼ等しくなる非検査物表面のその全幅に亘る直線状の領域を被検査物にほぼ垂直な方向からの画像として撮影する撮影手段、及び
   第一光源と第二光源と撮影手段とを被検査物の全長に亘って同時に移動させている間に撮影手段が撮影した領域に存在する凸部の位置を撮影した画像に基づいて特定する位置特定手段を備えてなる表面検査装置。
2. 第一光源と第二光源とから照射されて被検査物の表面にて反射した光の進行方向を変更する変更手段をさらに備えてなり、変更手段にて進行方向の変更された光が入射するように撮影手段を配置する請求項１記載の表面検査装置。
3. 撮影手段が、ラインセンサを備えてなる請求項１又は２記載の表面検査装置。
4. 変更手段が、被検査物の全幅から反射される光を反射する長尺の鏡である請求項１、２又は３記載の表面検査装置。

Images