KR101280569B1 - 기판검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 기판검사장치는 지지프레임과, 상기 지지프레임의 상측에 설치되며 기판을 이송하는 기판이송부와, 상기 기판을 향해 설치되어 상기 기판을 촬영하는 검사카메라 및 상기 검사카메라가 향하는 상기 기판의 검사면에 대하여 사선방향으로 검사광을 제공하는 조명부를 포함하여, 기판의 진행방향과 평행하게 발생한 흠결을 포함하여 기판의 흠결을 더욱 높은 확률로 발견할 수 있어, 불량 기판 발생을 방지할 수 있는 효과가 있으며, 나아가 불량 기판에 의한 불량 제품 발생을 방지할 수 있어 제조수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

기판검사장치{APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE}
본 발명은 기판검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 발생된 결함을 감지하는 기판검사장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, EL 등의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 각종 얼룩 및 스크래치 등의 결함 또는 기판에 형성된 패턴의 결함 여부를 확인하기 위하여 검사를 실시한다. 검사장치로는, 검사자의 육안을 통한 마크로 검사장치(Macro Inspection)와, 광학렌즈와 CCD(charged coupled device) 카메라를 사용하는 인라인 자동광학검사장치(In-Line Automatic Optical Inspection)가 있다.
특히 인라인 자동광학검사장치는 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡처(Capture)한 후 비전(Vision) 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장치이다.
이러한 자동광학검사장치는 기판을 스테이지 상에 위치시킨 후, 기판의 양측을 클램프로 고정한 상태에서 기판을 이동시키며, 광학장비를 이용해 기판의 결함을 검출한다.
특히 기판의 이송과정에서 이송롤러 등에 의해 기판의 이송방향과 평행한 스크래치가 발생하거나 이물질이 묻는 경우가 있는데, 종래 자동광학검사장치는 기판의 진행방향과 평행하게 발생된 미세한 스크래치 또는 이물질을 종종 발견하지 못하는 문제가 있다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판의 진행방향과 평행하게 형성된 미세한 흠결 등을 포함한 기판의 흠결을 용이하게 검출하는 기판검사장치를 제공하기 위한 것이다.
전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판검사장치는 지지프레임과, 상기 지지프레임의 상측에 설치되며 기판을 이송하는 기판이송부와, 상기 기판을 향해 설치되어 상기 기판을 촬영하는 검사카메라 및 상기 검사카메라가 향하는 상기 기판의 검사면에 대하여 사선방향으로 검사광을 제공하는 조명부를 포함한다.
또한 상기 조명부는 광소스와, 상기 광소스과 광화이버로 연결되어 상기 검사광을 방출하는 광가이드를 구비할 수 있다.
또한 상기 광 가이드는 상기 광소스로부터 상기 광 화이버를 통해 전달된 상기 검사광을 선광원 또는 면광원으로 형성하여 방출할 수 있다.
또한 상기 조명부는 상기 광가이드와 상기 검사카메라 사이에 구비되어, 상기 광가이드에서 방출된 상기 검사광을 상기 검사면에 대해 사선방향으로 반사시키고, 상기 검사면에서 재반사된 상기 검사광을 상기 검사카메라를 향해 통과시키는 하프미러를 더 포함할 수 있다.
또한 상기 검사카메라와 상기 조명부는 상기 기판의 상면을 향해 설치될 수 있다.
또한 상기 검사카메라와 상기 조명부는 상기 기판의 하면을 향해 설치될 수 있다.
또한 상기 기판이송부는 상기 지지프레임에 회전 가능하게 설치되는 회전축과, 상기 회전축에 일정간격으로 설치되어 상기 기판과 접촉하는 이송롤러를 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 기판검사장치는, 기판의 진행방향과 평행하게 발생한 흠결을 포함하여 기판의 흠결을 더욱 높은 확률로 발견할 수 있어, 불량 기판 발생을 방지할 수 있는 효과가 있으며, 나아가 불량 기판에 의한 불량 제품 발생을 방지할 수 있어 제조수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이상과 같은 본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판검사장치를 도시한 개략적 측단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 제2 조명부의 구성예를 도시한 사시도이다.
도 3은 제2 조명부과 하부 기판검사카메라에 의한 기판검사를 설명하기 위한 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면 상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판검사장치를 도시한 개략적 측단면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판검사장치(100)는 기판이 이송되는 이송영역을 구비한 프레임(101), 이송영역에 설치되어 기판(S)을 이송하는 기판이송부(110), 프레임(101)의 상부에 위치하여 기판(S)의 상면을 촬영하는 상부검사모듈(130, 140), 이송영역의 하부에 위치하여 기판의 하면을 촬영하는 하부검사모듈(160, 170)을 구비한다.
프레임(101)은 본 실시예에 따른 기판검사장치(100)를 구성하는 각종 장치들이 설치되는 뼈대가 된다. 프레임(101) 상측 중앙부에는 기판(S)이 이송될 수 있는 이송영역이 구비된다.
이송영역에는 기판이송부(110)가 구비된다. 기판이송부(110)는 프레임(101)의 내측에 설치될 수 있으며, 기판(S)을 지지하며 이송하는 이송롤러(111), 이송롤러(111)와 일체로 형성되어 이송롤러(111)를 회전시키는 회전축(112), 회전축(112)에 회전력을 전달하는 구동원(미도시)과 동력전달수단(미도시)을 구비할 수 있다.
복수 개의 회전축(112)들은 이송영역을 가로질러 프레임(101)에 회전가능하게 설치되며, 각 회전축(112)에는 회전축(112)과 동축을 갖도록 결합되는 이송롤러(111)들이 일정간격으로 설치될 수 있다. 이송롤러(111)는 기판(S)의 하면과 직접 접촉하여 기판(S)을 지지하면서 회전에 의해 기판(S)을 이송하므로, 기판(S)과의 마찰력을 높임과 동시에 스크래치 등이 발생되지 않도록 고무 또는 합성수지 등으로 형성될 수 있다.
회전축(112)에 회전력을 전달하는 구동원으로는 회전동력을 발생하는 전동모터가 사용될 수 있으며, 회전동력을 회전축(112)으로 전달하는 동력전달수단으로는 예를 들면, 벨트와 풀리가 이용될 수 있다. 또는 체인과 스프라켓이 이용될 수 있으며, 그 외에도 자력에 의해 동력이 전달되는 마그네틱 롤러가 이용될 수도 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 상면을 촬영하는 상부검사모듈(130, 140)은 프레임(101)으로부터 연장 지지되어, 기판이송부(110)의 상부에 설치될 수 있다. 상부검사모듈(130, 140)은 기판(S)의 상면에서 반사된 검사광에 의해 기판(S)의 상면을 촬영하는 상부검사카메라(130)와 기판(S) 상면의 결함 영역을 정밀 검사하는 상부리뷰카메라(130)를 포함할 수 있다.
상부검사카메라(130)는, 기판이송부(110)의 상부에 설치되는 카메라지지대(181)에 설치될 수 있다. 더욱 자세하게는, 상부검사카메라(130)는 기판(S)의 폭 전체를 촬영할 수 있도록 카메라지지대(181)의 일면에 기판(S)의 폭 방향으로 다수 개가 배열될 수 있다. 상부검사카메라(130)로는 CCD(charged coupled device) 카메라를 사용할 수 있다.
상부검사카메라(130)의 일측에는 제1 조명부(120)가 위치할 수 있다. 제1 조명부(120)는 상부검사카메라(130)가 기판(S) 상면의 이미지를 획득할 수 있도록, 상부검사카메라(130)에 검사광을 제공한다. 제1 조명부(120)는 각각의 상부검사카메라(130)마다 구비될 수 있다.
제1 조명부(120)는 검사광을 방출하는 제1 광가이드(121)와 제1 하프미러(122)를 구비할 수 있다. 그리고 제1 광가이드(121)의 검사광의 광축과 상부검사카메라(130)의 중심축이 교차하는 위치에는 제1 하프미러(122)가 구비될 수 있다. 제1 조명부(120)에서 방출된 검사광은 제1 하프미러(122)에 의해 반사되어 기판(S)을 향해 조사된다. 기판에 조사된 검사광은 기판(S) 상면에서 반사되어 다시 제1 하프미러(122)에 조사되고, 이 검사광은 제1 하프미러(122)를 통과해 상부검사카메라(130)에 입사된다. 그 결과 상부검사카메라(130)는 기판(S) 상면의 이미지를 획득할 수 있게 된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상부리뷰카메라(130)는 기판이송부(110)의 상부에 설치되는 갠트리(gantry)(182)에 설치될 수 있다. 갠트리(182)는 상부검사카메라(130)가 설치되는 카메라지지대(181)보다 기판(S) 이동방향으로 일정간격 이격되어 카메라지지대(181)과 대략 평행하게 설치될 수 있다.
상부리뷰카메라(130)는 갠트리(182)의 일면에 기판(S)의 폭 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 상부리뷰카메라(130)는 상부검사카메라(130)가 촬영한 이미지를 기초로, 흠결이 존재하는 것으로 의심되는 영역으로 이동되어 해당 영역을 상부검사카메라(130)보다 높은 해상도로 촬영할 수 있다. 또는, 갠트리(182)의 일면에 다수 개의 상부리뷰카메라(130)가 고정식으로 배열될 수도 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판이송부(110)의 하부에 위치하는 하부검사모듈(160, 170)은, 기판(S)의 하면에서 반사된 검사광에 의해 기판(S)의 하면을 촬영하는 하부검사카메라(140)와, 기판 하면의 흠결 의심 영역을 정밀 검사하는 하부리뷰카메라(150)를 포함할 수 있다.
프레임(101) 내부의 저면에는 베이스(184)가 구비된다.
베이스(184) 상면에는 하부검사카메라(140)를 지지하는 제1 지지대(183)가 구비되며, 제1 지지대(183)의 일측에는 하부검사카메라(140)가 기판(S) 하면의 폭 전체를 촬영할 수 있도록 기판이송부(110)의 회전축(112) 사이에 위치하여 기판(S)의 폭 방향으로 다수 개가 설치될 수 있다. 하부검사카메라(140)는 CCD(charged coupled device) 카메라를 사용할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 하부검사카메라(140)의 일측에는 제2 조명부(150)가 위치할 수 있다. 제2 조명부(150)는 하부검사카메라(140)이 기판 하면(S)의 이미지를 획득할 수 있도록, 하부검사카메라(140)에 검사광을 제공한다. 제2 조명부(150)는 각각의 하부검사카메라(140)마다 구비될 수 있다. 이에 대한 자세한 내용은 후술한다.
베이스(184)의 상부에는 하부리뷰카메라(150)를 지지하고 이동시키는 제2 지지대(185)가 구비될 수 있다. 제2 지지대(185)는 제1 지지대(183)로부터 기판(S) 이동방향으로 일정간격 이격되어 제1 지지대(183)와 대략 평행하게 설치될 수 있다.
하부리뷰카메라(150)는 제2 지지대(185)의 일면에 기판의 폭 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 하부리뷰카메라(150)는 하부검사카메라(140)가 촬영한 이미지를 기초로, 흠결이 존재하는 것으로 의심되는 영역으로 이동하여 해당 영역을 하부검사카메라(140)보다 높은 해상도로 촬영할 수 있다. 또는, 제2 지지대(185)의 일면에 다수 개의 하부리뷰카메라(150)가 고정식으로 배열될 수도 있다.
상부검사카메라(130), 상부리뷰카메라(130), 하부검사카메라(140) 및 하부리뷰카메라(150)는 각 카메라의 촬영을 제어하는 제어부(미도시)와 연결될 수 있다.
또한 상부검사카메라(130), 상부리뷰카메라(130), 하부검사카메라(140) 및 하부리뷰카메라(150)는 영상처리부(미도시)와도 연결될 수 있다. 영상처리부는 기 설정된 비전(Vision) 이미지 프로세싱 알고리즘을 이용해 각 카메라가 촬영한 이미지를 판독하여 결함의 존재여부를 판단한다.
영상처리부는 제어부와 연결되어, 기판(S)의 위치정보를 기초로 결함이 존재하는 영역의 위치좌표를 생성할 수 있다. 그리고 상부검사카메라(130) 및 하부검사카메라(140)가 촬영한 이미지를 판독하여 발견한 결함영역의 위치좌표를 제어부에 전달할 수 있다. 제어부는 영상처리부로부터 전달받은 결함의 위치좌표를 근거로 해당 결함영역이 상부리뷰카메라(130) 또는 하부리뷰카메라(150)가 설치된 라인에 도달하면 각 리뷰카메라를 이동시켜 해당 결함영역을 보다 높은 해당도로 촬영할 수 있다.
각 리뷰카메라에 의해 촬영된 이미지는 다시 영상처리부에 전달되어 결함의 존재여부를 재확인하게 된다.
이하에서는 제2 조명부(150)에 대해 설명한다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 제2 조명부의 구성예를 도시한 사시도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 제2 조명부(150)는 검사광을 발생시키는 광소스(light source)(151)와, 검사광을 방출하는 제2 광가이드(light guide)(153)와, 광소스(151)와 제2 광가이드(153)를 연결하는 광파이버(optical fiber)(152), 그리고 검사광을 반사시키거나 통과시키는 제2 하프미러(154)를 포함할 수 있다.
제2 광가이드(153)의 일단에는 복수 개의 광파이버(152)가 장방형으로 정렬되어, 광소스(151)에서 전달된 검사광이 선광원 또는 면광원으로 방출되게 할 수 있다. 제2 광가이드(153)는 제2 광가이드(153)에서 방출되는 선광원 또는 면광원의 진행방향 즉 광축이 하부검사카메라(140)가 기판(S)을 지향하는 방향과 수직이 되도록 설치될 수 있다.
그리고 광축과 하부검사카메라(140)의 지향방향의 교차점에는 제2 하프미러(154)가 구비될 수 있다. 제2 하프미러(154)는 제2 광가이드(153)에서 방출된 검사광을 기판(S)의 하면을 향해 반사시키고, 하면에서 재반사된 검사광은 통과시켜 하부검사카메라(140)로 제공되도록 한다.
한편 제2 광가이드(153) 및 제2 하프미러(154)는 기판(S)의 하면에 대하여 일정각도 기울어지도록 설치된다. 즉 제2 광가이드(153)는 기판의 길이방향(Y축)을 중심으로 일정각도 기울여 설치될 수 있다. 또한, 제2 하프미러(154)도 제2 광가이드(153)와 대응되도록 동일한 각도로 기울어져 구비될 수 있다.
따라서 제2 광가이드(153)에서 방출된 검사광은 제2 하프미러(154)에 반사된 후, 기판(S)의 하면에 사선방향으로 입사될 수 있다. 검사광의 입사각이 기판(S)의 하면에 대해 사선방향을 이루므로 반사각 역시 입사각과는 다른 사선방향으로 형성되고, 반사되어 나간 검사광은 제2 하프미러(154)를 통과한 후, 하부검사카메라(140)로 제공된다. 도시되진 않았지만, 하부검사카메라(140)와 제2 하프미러(154) 사이에는 제2 하프미러(154)를 통과한 검사광을 집광하는 렌즈가 구비될 수 있다.
도 3은 제2 조명부과 하부검사카메라에 의한 기판검사를 설명하기 위한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 폭방향(X축)으로 다수 개의 하부검사카메라(140)들과 제2 조명부(150)들이 설치될 수 있다. 상술한 바와 같이, 제2 광가이드(153)와 제2 하프미러(154)는 기판(S)의 하면에 대하여 일정각도 기울여 설치된다. 한편 각 제2 광가이드(153)는 단일의 광소스(151)에서 분기된 광파이버(152)로 연결될 수 있다.
제2 광가이드(153)에서 방출된 검사광은 제2 하프미러(154)에 의해 반사되어 기판(S)의 검사면에 사선방향으로 입사되고, 검사면에서 재반사된 검사광은 입사방향과 다른 사선방향으로 반사되어 나아간다. 검사면에서 반사된 검사광은 제2 하프미러(154)를 통과해 하부검사카메라(140)에 제공된다.
검사광을 기판(S)의 검사면에 수직으로 입사되도록 구성하는 경우, 기판(S)의 이동방향(기판의 길이방향)과 평행하게 형성된 스크래치 등의 기판(S) 흠결은 잘 검출되지 않으나, 검사광을 검사면에 사선방향으로 입사하는 경우 스크래치 양측 내벽에서 반사되는 광량의 차이가 커져 스크래치 검출이 용이해진다.
기판(S)의 상면을 검사하는 제1 조명부(120) 또한 제2 조명부(150)와 유사하게 기판(S)의 상면에 대하여 일정각도 기울어지도록 설치하여 동일한 효과를 얻을 수 있다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 기판검사장치(100)의 동작에 대해 설명한다.
본 실시예에 따른 기판검사장치(100)는 기판(S) 상에 형성된 패턴의 크기, 단차 및 결함 등을 검사할 수 있다. 동시에 기판(S) 하부에 발생한 이물질 부착 및 스크래치 등의 흠결을 검사할 수 있다.
이러한 검사는 하나의 단위공정이 끝날 때마다 이루어지도록 할 수 있고, 또는 기판이 완성된 상태에서 검사가 이루어지도록 할 수도 있다. 예를 들면, 포토레지스트 코팅, 노광, 현상 공정 이후에 기판검사를 할 수 있고, 모듈공정에서 TAB(tape automated bonding) 부착 공정과 PCB(printed circuit board) 부착 공정 이후에 각각 기판검사를 실시할 수 있다. 또한 배면광 조립이후, 일정시간의 에이징(aging) 공정 이후 기판검사를 실시할 수도 있다.
본 실시예에 따른 기판검사장치(100)는 이전 공정에서 공정이 완료된 기판(S)이 진입하면 기판을 이송롤러(111) 위에 안착시키고 기판(S)의 위치를 정렬한다. 정렬이 완료되면, 구동원(미도시)이 회전축(112)에 회전력을 전달하고 회전축(112)과 이송롤러(111)가 함께 회전하며 기판(S)을 이송시킨다.
기판(S)이 상부검사카메라(130)에 위치하면 제어부는 상부검사카메라(130)에 촬영신호를 보내 기판(S) 상면에 대한 촬영을 개시할 수 있다.
상부검사카메라(130)는 기판(S)의 폭 전체를 계속하여 촬영한다. 상부검사카메라(130)에 의해 촬영된 이미지는 영상처리부에 전송되고, 영상처리부는 기 설정된 비전(Vision) 이미지 프로세싱 알고리즘을 이용해 결함이 존재하는 영역을 판단하고, 제어부으로부터 받은 기판(S)의 위치정보를 기초로 결함영역의 좌표를 생성할 수 있다. 그리고 결함영역의 좌표를 제어부에 제공할 수 있다.
기판(S)이 계속 이동하여 해당 결함영역이 상부리뷰카메라(130)가 위치한 라인에 도달하면, 제어부는 결함영역의 좌표를 기초로 상부리뷰카메라(130)를 결함영역으로 수평 이동하여 해당 영역을 정밀 촬영하고, 영상처리부는 이를 바탕으로 결함여부를 재확인한다.
기판(S)의 상부에 대해 상부검사모듈(130, 140)의 검사가 이루어지는 동안 기판(S)의 하면에 대하여도 하부검사모듈(160, 170)(140, 150)에 의해 검사가 이루어진다.
기판(S)이 하부검사카메라(140)에 위치하면 제어부는 하부검사카메라(140)에 촬영신호를 보내 기판(S) 하면에 대한 촬영을 개시할 수 있다.
하부검사카메라(140)는 기판(S)의 폭 전체를 계속하여 촬영한다. 하부검사카메라(140)에 의해 촬영된 이미지는 영상처리부에 전송되고, 영상처리부는 기 설정된 비전(Vision) 이미지 프로세싱 알고리즘을 이용해 결함이 존재하는 영역을 판단하고, 제어부로부터 받은 기판(S)의 위치정보를 기초로 결함영역의 좌표를 생성할 수 있다. 그리고 결함영역의 좌표를 제어부에 제공할 수 있다.
기판(S)이 계속 이동하여 해당 결함영역이 하부리뷰카메라(150)가 위치한 라인에 도달하면, 제어부는 결함영역의 좌표를 기초로 하부리뷰카메라(150)를 결함영역으로 수평 이동하여 해당 영역을 정밀 촬영하고, 영상처리부는 이를 바탕으로 결함여부를 재확인한다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
100: 기판검사장치 101: 프레임
110: 기판이송부 120: 제1 조명부
130: 상부검사카메라 140: 상부리뷰카메라
150: 제2 조명부 151: 광소스
152: 광파이버 153: 제1 광가이드
154: 제2 하프미러 160: 하부검사카메라
170: 하부리뷰카메라

Claims (7)

  1. 지지프레임;
    상기 지지프레임의 상측에 설치되며, 기판을 이송하는 기판이송부;
    상기 기판을 향해 설치되어, 상기 기판의 검사면을 촬영하는 검사카메라; 및
    상기 검사카메라가 지향하는 상기 검사면에 대하여 사선방향으로 검사광을 제공하는 조명부를 포함하고,
    상기 조명부는 광소스, 상기 광 소스에서 발생되는 광을 방출하는 광 가이드 및 상기 광 가이드와 상기 검사 카메라 사이에 구비되어, 상기 광 가이드에서 방출된 검사광을 상기 검사면에 대해 사선방향으로 반사시키고 상기 검사면에서 재반사된 상기 검사광을 상기 검사카메라를 향해 통과시키는 하프 미러를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 조명부는 상기 광소스와 상기 광 가이드를 연결하는 광 파이버를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 광 가이드는 상기 광소스로부터 상기 광 화이버를 통해 전달된 상기 검사광을 선광원 또는 면광원으로 형성하여 방출하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  4. 삭제
  5. 제2항에 있어서,
    상기 검사카메라와 상기 조명부는 상기 기판의 상면을 향해 설치되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 검사카메라와 상기 조명부는 상기 기판의 하면을 향해 설치되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 기판이송부는 상기 지지프레임에 회전 가능하게 설치되는 회전축과, 상기 회전축에 일정간격으로 설치되어 상기 기판과 접촉하는 이송롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
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