KR102426032B1 - 가요성 기판 검사 장치 - Google Patents

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도시히데 마츠카와
오사무 히키타
미치오 가이다
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니혼덴산리드가부시키가이샤
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Abstract

가요성 회로 기판의 검사를 원활하게 행할 수 있고, 간소화 및 경량화를 용이하게 실현할 수 있는 기판 검사 장치를 제공한다. 가요성 기판(11)의 검사를 행하는 기판 검사 장치(10)는, 반송 경로(23)와, 검사부 기구(30)를 구비한다. 반송 경로(23)에 있어서는, 복수의 단위 기판이 배열되어 배치되는 가요성 기판(11)이 연속적으로 반송된다. 검사부 기구(30)는, 반송 경로(23)에 반송되는 가요성 기판(11)을 검사하기 위한 지그(33, 34)를, 가요성 기판(11)에 대하여 접근시키거나 멀어지게 하는 것이 가능하다. 반송 경로(23)는, 연직 하방으로 가요성 기판(11)을 반송하는 세로 반송 부분(23a)을 포함한다. 검사부 기구(30)는, 세로 반송 부분(23a)에 있어서 반송되는 가요성 기판(11)에 대하여 지그(33, 34)를 가요성 기판(11)과 수직인 방향으로 이동시킴으로써 당해 지그(33, 34)를 접근시키거나 멀어지게 한다.

Description

가요성 기판 검사 장치{FLEXIBLE SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS}
본 발명은 가요성 기판을 검사하는 검사 장치에 관한 것이다.
종래부터, 기판에 형성된 회로 패턴을 검사하는 기판 검사 장치가 제안되고 있다. 특허문헌 1은, 이러한 종류의 기판 검사 장치를 개시한다.
특허문헌 1의 기판 검사 장치는, 회로 기판을 고정하는 고정 장치와, 회로 기판에 프로빙(probing)하는 프로빙 장치를 구비하고 있다. 고정 장치는, 클램프 기구를 구비하고 있고, 회로 기판의 테두리부를 클램프 가능하게 구성되어 있다. 프로빙 장치는, 회로 기판의 도체 패턴에 프로브 핀을 접촉시키는 것이 가능한 프로브 유닛을 구비하고 있다. 프로브 유닛은, 회로 기판의 표리에 대응하여 각각 구비되어 있다.
이 구성에서, 회로 기판은 수평하게 향해진 상태에서 고정 장치에 의해 클램프되고, 그 양면에 상하로부터 프로브 핀이 각각 접촉된다. 그리고, 프로브 유닛을 통해 전기 신호가 입력되어, 소정의 전기적 검사가 행하여진다.
일본 특허 제5179289호 공보
상기 특허문헌 1에서 나타낸 기판 검사 장치는, 어느 정도의 강성을 갖는, 소위 리지드한 기판을 검사하는 것을 상정하고 있다. 한편, 최근에는, 기판의 박형화, 전기 특성의 향상 등을 목적으로, 가요성을 갖는 기판이 사용되는 경우가 있다. 이 가요성 기판은, 예를 들어, 긴 필름 형상의 멀티플 챔퍼링 기판의 형태로 다수의 터치 패널을 일괄적으로 제조하여, 이 긴 필름을 감은 기판 롤의 형태로 다음 공정에 공급함으로써, 대량 생산에 의한 비용 삭감과 핸들링성의 향상을 실현할 수 있는 점에서 우수하다.
이 가요성 기판은, 상기와 같이 장점을 갖는 반면, 휨이나 굴곡이 발생하기 쉬워, 신중하게 취급할 필요가 있다. 이러한 점에서, 상기 특허문헌 1의 기판 검사 장치는, 회로 기판을 수평 방향을 향한 상태에서 클램프하면서, 당해 회로 기판의 상하로부터 프로빙 장치로 사이에 끼워 검사한다. 따라서, 가요성을 갖는 회로 기판을 특허문헌 1과 같은 기판 검사 장치에서 가령 검사하고자 하면, 회로 기판이 그 자중에 의해 아래로 볼록해지게 휘기 쉽기 때문에, 회로 기판의 정확한 위치에 프로브 핀을 접촉시키는 것이 어렵고, 특히 회로 기판의 양면을 동시에 검사하는 것은 매우 곤란할 것으로 생각된다.
또한, 특허문헌 1을 가요성 기판의 검사에 적용한 경우에 있어서, 회로 기판의 위로부터 프로브 핀이 접촉되었을 때를 생각하면, 회로 기판에 대해서는, 자중과, 프로브 핀으로부터의 하향의 가압력의 양쪽이 가해지기 때문에, 회로 기판이 더 휘기 쉬울 것으로 생각된다. 이러한 경우에도 회로 기판이 휘지 않도록 하기 위해서는, 클램프 장치로 강하게 클램프하는 것을 생각할 수 있지만, 이 경우에는 클램프 장치가 대형화, 복잡화, 대중량화되어 바람직하지 않다.
또한, 특허문헌 1의 기판 검사 장치는, 프로브 핀을 상하 방향으로 이동시킴으로써, 회로 기판에 대한 당해 프로브 핀의 접촉/이격이 행하여진다. 따라서, 중량물인 프로브 유닛 및 그 지지 부재를 중력에 저항하여 상승시키지 않으면 안되기 때문에, 대형의 구동 수단이 필요하게 되어, 비용을 증가시키는 원인으로 되고 있었다.
본 발명은, 가요성의 회로 기판에 대한 검사를 원활하게 행할 수 있음과 함께, 간소화 및 경량화를 용이하게 실현할 수 있는 기판 검사 장치를 제공한다.
본 발명의 관점에 의하면, 이하의 구성의 가요성 기판 검사 장치가 제공된다. 즉, 가요성 기판의 검사를 행하는 가요성 기판 검사 장치는, 반송 경로와, 검사부 기구를 구비한다. 상기 반송 경로에 있어서는, 복수의 단위 기판이 배열되어 배치되는 가요성 기판이 연속적으로 반송된다. 상기 검사부 기구는, 상기 반송 경로에 반송되는 상기 가요성 기판을 검사하기 위한 검사부를, 상기 가요성 기판에 대하여 접근시키거나 멀어지게 하는 것이 가능하다. 상기 반송 경로는, 연직 상방 및 연직 하방 중 적어도 어느 하나의 방향으로 상기 가요성 기판을 반송하는 세로 반송 부분을 포함한다. 상기 검사부 기구는, 상기 세로 반송 부분에 있어서 반송되는 상기 가요성 기판에 대하여 상기 검사부를 상기 가요성 기판과 수직인 방향으로 이동시킴으로써 상기 검사부를 접근시키거나 멀어지게 한다.
상기 가요성 기판 검사 장치에서는, 상기 검사부 기구는, 상기 검사부로서, 상기 가요성 기판과 도통 접촉 가능한 복수의 프로브를 갖는 지그를 구비한다. 상기 검사부 기구는, 상기 검사부를 상기 가요성 기판에 대하여 접촉시키거나 이격시킨다.
상기 가요성 기판 검사 장치에서는, 상기 지그는, 상기 가요성 기판의 두께 방향 일측의 면에 도통 접촉 가능한 제1 지그와, 상기 가요성 기판의 두께 방향 타측의 면에 도통 접촉 가능한 제2 지그를 포함한다. 상기 제1 지그와 상기 제2 지그로 상기 가요성 기판을 끼운 상태에서 상기 가요성 기판의 검사를 행하는 것이 가능하다.
상기 가요성 기판 검사 장치에서는, 상기 검사부 기구는, 제1 이동 기구와, 제2 이동 기구와, 자세 변경 기구를 구비한다. 상기 제1 이동 기구는, 상기 지그를 상기 가요성 기판에 평행한 면 내에서 이동시키는 것이 가능하다. 상기 제2 이동 기구는, 상기 지그를 상기 가요성 기판의 두께 방향으로 평행하게 이동시키는 것이 가능하다. 상기 자세 변경 기구는, 상기 가요성 기판에 평행한 면 내에서의 상기 지그의 기울기를 변경 가능하다.
상기 가요성 기판 검사 장치에서는, 상기 검사부 기구는, 상기 검사부로서, 상기 가요성 기판의 검사 부위를 측정하는 광학 유닛을 구비한다. 상기 검사부 기구는, 상기 검사부를 상기 가요성 기판에 대하여 접근시키거나 멀어지게 함으로써, 상기 검사부와 상기 가요성 기판의 검사 거리를 유지한다.
상기 가요성 기판 검사 장치에서는, 상기 검사부 기구는, 상기 검사부로서, 상기 가요성 기판의 두께 방향 일측의 면의 검사 부위를 측정하는 제1 광학 유닛과, 상기 가요성 기판의 두께 방향 타측의 면의 검사 부위를 측정하는 제2 광학 유닛을 구비한다. 상기 제1 광학 유닛과 상기 제2 광학 유닛은, 그 높이를 서로 상이하게 하여 배치되어 있다.
상기 가요성 기판 검사 장치에서는, 상기 검사부 기구는, 상기 가요성 기판을 촬상하는 촬상부를 구비한다. 상기 검사부 기구는, 상기 촬상부가 상기 가요성 기판을 촬상한 촬상 정보를 기초로, 상기 검사부를 상기 가요성 기판에 대하여 위치 정렬한다.
상기 가요성 기판 검사 장치에서는, 상기 검사부 기구는, 제1 검사부와, 제2 검사부와, 제1 촬상부와, 제2 촬상부를 구비한다. 상기 제1 검사부는, 상기 세로 반송 부분에 있어서 반송되는 상기 가요성 기판의 두께 방향 일측에 배치된다. 상기 제2 검사부는, 상기 가요성 기판의 두께 방향 타측에 배치된다. 상기 제1 촬상부는, 상기 가요성 기판의 두께 방향 일측에 배치된다. 상기 제2 촬상부는, 상기 가요성 기판의 두께 방향 타측에 배치된다. 상기 제1 촬상부는 상기 제2 검사부를 촬상 가능하다. 상기 제2 촬상부는 상기 제1 검사부를 촬상 가능하다.
상기 가요성 기판 검사 장치에서는, 상기 가요성 기판을 연속적으로 공급하는 기판 롤을 세트 가능한 공급부를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 가요성 기판 검사 장치에서는, 이물을 회수하는 것이 가능한 이물 회수부가, 상기 검사부보다 낮은 위치에 설치되어 있는 것이 바람직하다.
상기 가요성 기판 검사 장치에서는, 부압에 의해 상기 가요성 기판을 흡착 가능한 흡착 가이드가 상기 세로 반송 부분에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 검사부는, 가요성 기판의 직선성이 유지되어 있는 세로 반송 부분에 대하여 접근하거나 멀어진다. 이에 의해, 자중에 의한 가요성 기판의 만곡을 고려하지 않아도 되기 때문에, 가요성 기판에 대하여 검사부를 고정밀도로 위치 정렬하여 검사를 행할 수 있다. 따라서, 가요성 기판을 클램프하는 기구나 가이드 기구 등을 생략 또는 간략화하기 쉬워지므로, 장치의 저비용화, 경량화를 실현할 수 있다. 나아가, 예를 들어 검사부를 이동시키기 위한 구동 기구가 열을 발생했다고 해도, 가요성 기판의 세로 반송 부분에 있어서는, 그 열을 상하 방향으로 내보내는 것이 용이하다. 따라서, 온도나 습도의 불균일이 발생하기 어려워지므로, 보다 안정된 환경에서 가요성 기판의 검사를 행할 수 있다.
또한, 가요성 기판의 직선성이 유지되어 있는 세로 반송 부분에 대하여 지그를 접촉/이격시킴으로써, 가요성 기판에 대하여 지그를 정확한 위치에 접촉시킬 수 있다. 그 결과, 전기적 검사를 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 가요성 기판의 직선성이 유지되는 세로 반송 부분에 대하여 각 지그를 접촉시키기 때문에, 2개의 지그를 가요성 기판의 표리 양면의 정확한 위치에 각각 동시에 접촉시켜서 전기적 검사를 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 가요성 기판의 양면을 한번에 검사할 수 있기 때문에, 검사의 효율을 대폭 높일 수 있다.
또한, 가요성 기판에 대하여, 지그를 적절하게 위치 정렬하여 접촉/이격시킬 수 있으므로, 전기적 검사를 원활하게 행할 수 있다.
또한, 광학 유닛과 가요성 기판의 거리가 적절하게 제어되기 때문에, 광학적인 검사를 원활하게 행할 수 있다.
또한, 가요성 기판의 표리 양면을 한번에 검사할 수 있으므로, 광학적 검사의 효율을 높일 수 있다. 또한, 2개의 광학 유닛이 높이를 상이하게 하여 배치되므로, 서로의 측정에 영향을 미치기 어려운 레이아웃을 실현할 수 있다.
또한, 실제로 가요성 기판을 촬상하여 얻어진 정보에 기초하여, 검사부를 가요성 기판에 대해 고정밀도로 위치 정렬할 수 있다.
또한, 가요성 기판의 두께 방향 반대측을 각각 검사하는 제1 및 제2 검사부를 제1 및 제2 촬상부가 촬상함으로써, 그 위치 관계나 표면 상태 등에 관한 유용한 정보를 얻을 수 있다.
또한, 기판 롤로부터 가요성 기판을 연속적으로 공급하여, 다수의 단위 기판에 대하여 연속적으로 검사할 수 있으므로, 검사 효율을 높일 수 있다.
또한, 검사부의 이동 등에 수반하여 파티클 등의 이물이 발생한 경우에도, 자중으로 낙하하는 당해 이물을 이물 회수부에서 효율적으로 회수할 수 있다. 이 때문에, 이물의 부착에 의한 가요성 기판의 품질 저하를 피할 수 있다.
또한, 연직 방향으로 향해진 상태의 가요성 기판이 움직이지 않도록 흡착 가이드로 보유 지지할 수 있으므로, 검사부 기구에 의한 검사를 원활하게 행할 수 있다. 또한, 흡착 가이드에 대한 부압의 공급/정지의 절환에 의해, 가요성 기판의 보유 지지/해방을 용이하게 절환할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 검사 장치의 전체적인 구성을 나타내는 모식 사시도이다.
도 2는 가요성 기판의 세로 반송 부분 주변의 구성을 도시하는 정면도이다.
도 3은 지그 기구의 상세한 구성을 도시하는 사시도이다.
도 4는 정전 흡착판을 설치한 변형예를 도시하는 정면도이다.
도 5는 제2 실시 형태의 기판 검사 장치에 있어서, 세로 반송 부분 주변의 구성을 도시하는 정면도이다.
도 6은 제2 실시 형태의 변형예를 도시하는 정면도이다.
이어서, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태를 설명한다. 도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 검사 장치(10)의 전체적인 구성을 나타내는 모식 사시도이다. 도 2는, 가요성 기판(11)의 세로 반송 부분(23a)의 주변의 구성을 도시하는 정면도이다. 도 3은, 지그 기구(31)의 상세한 구성을 도시하는 사시도이다.
도 1에 도시하는 제1 실시 형태의 기판 검사 장치(가요성 기판 검사 장치)(10)는, 검사 대상으로서의 가요성 기판(11)을 세팅하여, 당해 가요성 기판(11)에 형성되어 있는 회로 패턴을 전기적으로 검사할 수 있도록 구성되어 있다. 전기적인 검사란, 구체적으로는, 회로 패턴의 도통이나 단락의 검사, 회로 패턴의 용량의 검사 등이 있고, 기판 검사 장치(10)는 이러한 검사를 필요에 따라 행함으로써, 회로 패턴의 불량을 판정한다.
본 실시 형태에 있어서, 가요성 기판(11)은, 길고 얇은 시트 형상(필름 형상)으로 형성되어 있다. 이 가요성 기판(11)은, 동일한 구성인 단위 기판이 다수 배열되어 배치된, 소위 멀티플 챔퍼링의 기판으로서 구성되어 있다.
본 실시 형태에서는 가요성 기판(11)은, 단위 기판으로서의 투명한 터치 패널 기판이 배열되어 배치된, 가요성을 갖는 투명 터치 패널 필름으로서 구성되어 있다. 그러나 이것에 한정되지 않고, 예를 들어 플렉시블 기판 등, 다른 종류의 가요성 기판으로 할 수도 있다.
기판 검사 장치(10)는, 수평한 설치면(3)에 설치되는 베이스 부재(16)와, 베이스 부재(16)의 위에 설치되는 수용실(17)을 구비한다. 또한, 기판 검사 장치(10)는, 조출부(공급부)(21)와, 권취부(22)와, 반송 경로(23)와, 검사부 기구(30)를 수용실(17)의 내부에 구비하고 있다.
조출부(21)에는, 감긴 상태의 가요성 기판(11)(기판 롤(11a))을 세팅할 수 있도록 구성되어 있다. 조출부(21)의 기판 롤(11a)로부터 연속적으로 공급된 가요성 기판(11)은, 기판 검사 장치(10)가 구비하는 반송 경로(23)로 반송되면서 권취부(22)에 보내진다. 권취부(22)는, 가요성 기판(11)을 권취하기 위해 구동되는 도시하지 않은 전동 모터를 구비하고 있다. 이 전동 모터는 간헐적으로 구동되어, 가요성 기판(11)의 반송과, 검사부 기구(30)에 의한 가요성 기판(11)의 검사를 행하기 위한 반송 정지를 반복한다. 또한, 이 반송을 위한 전동 모터는, 반송 경로(23)의 중도에 배치되는 후술하는 안내 롤(5)에 구비되어 있어도 된다.
기판 검사 장치(10)는, 반송 경로(23)를 따라 가요성 기판(11)을 안내하기 위한 복수의 안내 롤(5)을 구비하고 있다. 이 안내 롤(5)의 레이아웃에 의해, 반송 경로(23)의 중도부(기판 검사 장치(10)의 중앙부)에는, 가요성 기판(11)을 위에서 아래로 반송하는 세로 반송 부분(23a)이 형성되어 있다(도 1 및 도 2를 참조). 이 세로 반송 부분(23a)에서의 가요성 기판(11)의 반송 방향은 연직 방향인데, 설치면(3)에 대하여 수직인 방향, 또는 중력을 따른 방향이라 바꿔 말할 수도 있다.
또한, 이하의 설명에서는, 세로 반송 부분(23a)에 있어서 반송되는 가요성 기판(11)과 평행한 면을 XY 평면이라 칭하고, 이것에 수직인 방향을 Z 방향이라 칭하는 경우가 있다. XY 평면은 연직 방향과 평행한 평면이며, Z 방향은 수평을 향하고 있다.
기판 검사 장치(10)는, 수평한 검사 테이블(7)을 구비하고 있다. 이 검사 테이블(7)의 천장판 부분의 중앙에는 통과 구멍(7a)이 형성되어 있고, 이 통과 구멍(7a)을, 세로 반송 부분(23a)의 가요성 기판(11)이 통과하도록 구성되어 있다.
검사 테이블(7)의 위에는, 검사부 기구(30)가 배치되어 있다. 이 검사부 기구(30)는, 제1 지그 기구(31)와, 제2 지그 기구(32)를 구비하고, 2개의 지그 기구(31, 32)는, 세로 반송 부분(23a)의 가요성 기판(11)을 사이에 끼우도록 하여 배치되어 있다. 제1 지그 기구(31)와 제2 지그 기구(32)는, 서로 대향하여 배치되어 있다.
제1 지그 기구(31)는, 가요성 기판(11)에 접촉/이격 가능한 제1 지그(제1 검사부, 검사부)(33)를 구비하고 있다. 또한, 제2 지그 기구(32)는, 가요성 기판(11)에 접촉/이격 가능한 제2 지그(제2 검사부, 검사부)(34)를 구비하고 있다. 제1 지그(33)는, 가요성 기판(11)의 두께 방향 일측에 배치되고, 제2 지그(34)는, 가요성 기판(11)의 두께 방향 타측에 배치된다. 제1 지그(33)와 제2 지그(34)는, 서로 대향하도록 하여 배치되어 있다.
제1 지그 기구(31)는, 가요성 기판(11)을 촬영 가능한 제1 카메라(제1 촬상부)(91)를 구비하고 있다. 또한, 제2 지그 기구(32)는, 가요성 기판(11)을 촬영 가능한 제2 카메라(제2 촬상부)(92)를 구비하고 있다. 제1 카메라(91)는, 가요성 기판(11)의 두께 방향 일측에 배치되고, 제2 카메라(92)는, 가요성 기판(11)의 두께 방향 타측에 배치된다. 제1 카메라(91)는, 제2 지그 기구(32)측을 향해 배치되고, 제2 카메라(92)는, 제1 지그 기구(31)측을 향해 배치된다. 따라서, 세로 반송 부분(23a)에 있어서 가요성 기판(11)이 반송되고 있지 않을 때, 제1 카메라(91)는 제2 지그(34)를 촬영할 수 있고, 제2 카메라(92)는 제1 지그(33)를 촬영할 수 있다. 또한, 가요성 기판(11)이 반송되고 있는 경우에도, 본 실시 형태와 같이 당해 가요성 기판(11)이 투명하면, 카메라(91, 92)는, 그 가요성 기판(11)의 맞은편에 있는 상대측의 지그(33, 34)를 촬영하는 것이 가능하다. 이에 의해, 상대측의 지그(33, 34)의 위치나 표면 상태 등, 위치 결정이나 유지 보수를 위해 유용한 정보를 얻을 수 있다.
본 실시 형태에 있어서, 2개의 카메라(91, 92)는 각각 지그(33, 34)의 상방에 배치되어 있지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제1 카메라(91)는 제1 지그(33)의 상방에 배치하는 한편, 제2 카메라(92)는 제2 지그(34)의 하방에 배치하는 레이아웃을 생각할 수 있다.
제1 지그 기구(31)는, 제1 지그(33)를 이동시키기 위한 이동 기구(41)를 구비하고 있다. 이 이동 기구(41)는 XY 이동 기구(제1 이동 기구)를 구비하고 있고, 제1 지그(33)를, 세로 반송 부분(23a)에 있어서의 가요성 기판(11)과 평행한 면 내(XY 평면과 평행한 면 내)에서 이동시킬 수 있다. 또한, 이동 기구(41)는 또한 Z 이동 기구(제2 이동 기구)를 구비하고 있어, 제1 지그(33)를, 수평한 방향인 Z 방향으로 이동시킴으로써, 가요성 기판(11)에 접근시켜서 당해 가요성 기판(11)에 접촉시키거나, 이 접촉을 해제(이격)시켜서 당해 가요성 기판(11)으로부터 멀어지게 할 수 있다. 또한 이동 기구(41)는 자세 변경 기구를 구비하고 있어, 가요성 기판(11)과 평행한 면 내에서의 제1 지그(33)의 기울기를 변경할 수도 있게 되어 있다.
제2 지그 기구(32)도 제1 지그 기구(31)와 마찬가지로, 이동 기구(41)를 구비하고 있다. 이 이동 기구(41)는 XY 이동 기구(제1 이동 기구)를 구비하고 있고, 제2 지그(34)를 세로 반송 부분(23a)에 있어서의 가요성 기판(11)과 평행한 면 내(XY 평면과 평행한 면 내)에서 이동시킬 수 있다. 또한, 이동 기구(41)는 또한 Z 이동 기구(제2 이동 기구)를 구비하고 있어, 제2 지그(34)를 수평한 방향인 Z 방향으로 이동시킴으로써, 가요성 기판(11)에 접근시켜서 당해 가요성 기판(11)에 접촉시키거나, 이 접촉을 해제(이격)시켜서 당해 가요성 기판(11)으로부터 멀어지게 할 수 있다. 또한 이동 기구(41)는 자세 변경 기구를 구비하고 있어, 가요성 기판(11)과 평행한 면 내에서의 제2 지그(34)의 기울기를 변경할 수도 있게 되어 있다.
또한, 2개의 지그 기구(31, 32)에서의 이동 기구(41)의 상세한 구성은 후술한다.
기판 검사 장치(10)는, 이상의 구성에 의해, 세로 반송 부분(23a)에 반송되는 가요성 기판(11)에 대하여 검사부 기구(30)의 제1 지그(33) 및 제2 지그(34)를 이동시킴으로써, 2개의 지그(33, 34)를, 그 두께 방향 양측으로부터 동시에 끼워 넣도록 하여 당해 가요성 기판(11)에 접촉시키거나, 이 접촉을 해제(이격)시키거나 할 수 있다. 바꿔 말하면, 가요성 기판(11)이 갖는 회로 패턴 위에 형성된 검사 포인트에 대하여 지그(33, 34)를 접촉 및 이격시킬 수 있다.
제1 지그(33) 및 제2 지그(34)는, 도면에서는 간략하게 그려져 있지만, 모두, 전기 전도성을 갖는 바늘 형상의 부재(프로브)를 다수 갖는 부재, 또는 가압 상태에서 도전성을 갖는 도전 고무 부재로서 구성되어 있다. 제1 지그(33)의 프로브는, 가요성 기판(11)의 두께 방향 일측의 면(제1 면)에 설정된 소정의 검사 포인트에 도통 접촉할 수 있다. 제2 지그(34)의 프로브는, 가요성 기판(11)의 두께 방향 타측의 면(제2 면)에 설정된 소정의 검사 포인트에 도통 접촉할 수 있다. 또한, 본 명세서에서는, 지그(33, 34)가 갖는 프로브가 가요성 기판(11)에 도통 접촉하는 것을, 간단히 「지그(33, 34)가 가요성 기판(11)에 도통 접촉한다」라고 표현하는 경우가 있다.
본 실시 형태에 있어서, 제1 지그(33) 및 제2 지그(34)는 모두, 단위 기판 1개분의 회로 패턴의 검사 포인트에 접촉할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 제1 지그(33) 및 제2 지그(34)는, 상기와 같이 구성하는 것 대신에, 소정의 검사 포인트와 용량 결합함으로써 전기적 신호의 송수신이 가능하도록 구성할 수도 있다.
제1 지그(33) 및 제2 지그(34)의 프로브는, 기판 검사 장치(10)가 구비하는 도시 생략한 전류 공급부 및 전류 측정부에 접속되어 있고, 이에 의해, 가요성 기판(11)의 전기적 검사를 행할 수 있다. 구체적으로는, 기판 검사 장치(10)는, 2개의 지그(33, 34)를 가요성 기판(11)의 상기 검사 포인트에 접촉시킨 상태에서, 가요성 기판(11)이 구비하는 회로 패턴에 대하여 전류를 공급하여, 흐른 전류의 크기를 측정할 수 있다. 또한, 기판 검사 장치(10)는, 도시하지 않은 전압 측정부를 구비하고 있어, 회로 패턴에 대하여 전류를 공급했을 때에 발생하는 전위차를 측정할 수도 있게 되어 있다. 또한, 기판 검사 장치(10)는, 상기 지그가 가요성 기판(11)의 회로 패턴에 대하여 용량 결합하고 있는 경우에는, 이 지그의 정전 용량을 측정함으로써 전위차를 산출할 수 있게 되어 있다.
이어서, 검사부 기구(30)가 구비하는 2개의 지그 기구(31, 32)에 대해서, 도 3을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 제1 지그 기구(31)와 제2 지그 기구(32)의 구성은 실질적으로 동일하기 때문에, 이후에는 대표적으로 제1 지그 기구(31)의 구성에 대하여 설명한다. 또한, 도 3에서는, 도면에서 이해하기 쉽게 표현하기 위해서, 검사 테이블(7) 및 제2 지그 기구(32)의 도시를 생략하고 있다.
제1 지그 기구(31)는, 저판(51)과, 고정 프레임(52)과, 제1 이동 프레임(53)과, 제2 이동 프레임(54)과, 진퇴 부재(55)와, 회전 부재(56)를 구비하고 있다.
저판(51)은, 제1 지그 기구(31)의 하부에 배치되는, 평판 형상으로 형성된 부재이다. 이 저판(51)은, 상술한 검사 테이블(7)의 상면에 고정할 수 있다.
고정 프레임(52)은 문 형태의 부재이며, 저판(51)의 상면에 세운 상태로 고정되어 있다. 고정 프레임(52)은 한 쌍으로 배치되는 세로 부재(61, 61)와, 세로 부재(61, 61)의 상단끼리를 연결하도록 배치되는 가로 부재(62)에 의해 구성된다. 각각의 세로 부재(61)에는 세로 안내 레일(63)이 고정되어 있다. 또한, 각각의 세로 부재(61)에는, 전동 모터와 나사 이송 기구로 이루어지는 세로 이송 기구(64)가 설치되어 있다.
제1 이동 프레임(53)은 직사각형 프레임 형상의 부재이며, 고정 프레임(52)에 지지되어 있다. 구체적으로는, 제1 이동 프레임(53)에는 세로 슬라이더(65)가 설치되어 있고, 이 세로 슬라이더(65)가, 상기 고정 프레임(52)에 설치한 세로 안내 레일(63)을 따라 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 제1 이동 프레임(53)에는, 고정 프레임(52)에 설치되어 있는 세로 이송 기구(64, 64)가 연결되어 있다. 이 구성에서, 세로 이송 기구(64)의 전동 모터를 구동함으로써, 제1 이동 프레임(53)을 세로 반송 부분(23a)에 있어서의 가요성 기판(11)의 길이 방향(Y 방향)으로 이동시킬 수 있다.
제1 이동 프레임(53)에는, 가로 안내 레일(66)이 고정되어 있다. 또한, 제1 이동 프레임(53)에는, 전동 모터와 나사 이송 기구로 이루어지는 가로 이송 기구(67)가 설치되어 있다.
제2 이동 프레임(54)은, 틀 형상의 부재이며, 제1 이동 프레임(53)에 지지되어 있다. 구체적으로는, 제2 이동 프레임(54)에는 가로 슬라이더(68)가 설치되어 있고, 이 가로 슬라이더(68)가, 상기 제1 이동 프레임(53)에 설치한 가로 안내 레일(66)을 따라 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 제2 이동 프레임(54)에는, 제1 이동 프레임(53)에 설치되어 있는 가로 이송 기구(67)가 연결되어 있다. 이 구성에서, 가로 이송 기구(67)의 전동 모터를 구동함으로써, 제2 이동 프레임(54)을, 세로 반송 부분(23a)에 있어서의 가요성 기판(11)의 폭 방향(X 방향)으로 이동시킬 수 있다.
제2 이동 프레임(54)에는, 진퇴 슬라이더(69)가 고정되어 있다. 또한, 제2 이동 프레임(54)에는, 전동 모터와 나사 이송 기구로 이루어지는 진퇴 기구(70)가 설치되어 있다.
진퇴 부재(55)는, 블록 형상의 부재이며, 제2 이동 프레임(54)에 지지되어 있다. 구체적으로는, 진퇴 부재(55)에는 진퇴 안내 레일(71)이 설치되어 있고, 상기 제2 이동 프레임(54)에 설치한 진퇴 슬라이더(69)가, 이 진퇴 안내 레일(71)을 따라 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 진퇴 부재(55)에는, 제2 이동 프레임(54)에 설치되어 있는 진퇴 기구(70)가 연결되어 있다. 이 구성에서, 진퇴 기구(70)의 전동 모터를 구동함으로써, 진퇴 부재(55)를 세로 반송 부분(23a)에 있어서의 가요성 기판(11)의 두께 방향(가요성 기판(11)에 근접하는 방향 또는 이격되는 방향, Z 방향)으로 이동시킬 수 있다.
진퇴 부재(55)에는 원형 구멍(72)이 형성됨과 함께, 그 내부에는 도시하지 않은 베어링이 설치되어 있다. 또한, 진퇴 부재(55)에는, 전동 모터와 나사 이송기구로 이루어지는 회전 기구(73)가 설치되어 있다.
회전 부재(56)는, 원통 형상으로 구성된 도시하지 않은 축부와, 이 축부에 고정된 설치판(74)을 구비한다. 축부는, 진퇴 부재(55)에 형성되는 원형 구멍(72)에 삽입되어, 상기 베어링에 의해 회전 가능하게 지지된다. 설치판(74)에 대해서는, 상술한 제1 지그(33)를 착탈 가능하게 고정할 수 있다.
회전 부재(56)의 축부는, 진퇴 부재(55)에 설치되어 있는 회전 기구(73)에 대하여 당해 진퇴 부재(55)에 형성된 구멍에 삽입되는 아암부(75)를 개재하여 연결되어 있다. 이 구성에서, 회전 기구(73)의 전동 모터를 구동함으로써 회전 부재(56)를 회전시켜, 설치판(74)(나아가서는, 이 설치판(74)에 고정되는 제1 지그(33))을 XY 평면에 평행한 면 내에서 회전시킬 수 있다.
상기 구성의 제1 지그 기구(31)에 있어서, 세로 이송 기구(64) 및 가로 이송 기구(67)를 조합한 것이 XY 이동 기구에 상당하고, 진퇴 기구(70)가 Z 이동 기구에 상당하고, 회전 기구(73)가 자세 변경 기구에 상당한다. 그리고, 이들 XY 이동 기구, Z 이동 기구, 자세 변경 기구에 의해 이동 기구(41)가 구성되어 있다. 또한, 제1 지그 기구(31)에는 상기 제1 카메라(91)가 배치되어 있고, 이 제1 카메라(91)로 가요성 기판(11)을 촬상하여 얻어진 화상(촬상 정보)을 해석함으로써, 가요성 기판(11)에 붙여진 도시 생략한 위치 결정 마크(인식 마크(fiducial mark))의 위치를 검출할 수 있다. 기판 검사 장치(10)의 도시하지 않은 컨트롤러(제어부)는 이동 기구(41)를 제어하여, 검출된 인식 마크의 위치에 따라서 지그(33)의 XY 평면에서의 위치 및 자세를 적절하게 조정하면서, 가요성 기판(11)의 단위 기판(12)에 대하여 지그(33)를 접촉시킨다. 이에 의해, 가요성 기판(11)의 단위 기판(12)에 대하여 지그(33)를 정확하게 위치 정렬하면서 접촉(프로빙)시켜, 전기적 검사를 원활하게 행할 수 있다. 또한, 이상은 제1 지그 기구(31)에 관한 설명이지만, 제2 지그 기구(32)에 대해서도 완전히 마찬가지이다.
여기서, 제1 지그 기구(31) 및 제2 지그 기구(32)는, 세로 반송 부분(23a)에서 상하 방향으로 반송되는 가요성 기판(11)에 대하여, 제1 지그(33) 및 제2 지그(34)를 수평 방향으로 이동시켜서 접촉시켜 전기적 검사를 행한다. 가요성 기판(11)은, 수평하게 반송되는 부분에서는 안내 롤(5)과 안내 롤(5)의 사이에 자중에 의한 휨(만곡)이 일어날 수 있지만, 세로 반송 부분(23a)에서는 가요성 기판(11)의 직선성을 양호하게 유지할 수 있다. 따라서, 본 실시 형태에 따르면, 특별한 클램프 기구나 가이드 기구를 사용하지 않아도, 자중에 의해 곧게 펼쳐진 가요성 기판(11)에 지그 기구(31, 32)의 지그(33, 34)를 접촉시킬 수 있기 때문에, 가요성 기판(11)에 대한 지그(33, 34)의 접촉 위치의 정밀도를 간소한 구성으로 높일 수 있다. 따라서, 본 실시 형태와 같이, 가요성 기판(11)의 두께 방향 일측으로부터 제1 지그(33)를, 타측으로부터 제2 지그(34)를 각각 정확한 위치에 접촉시켜서, 표리 양면으로부터 전기 신호의 입출력을 행하여 검사하는 것도 문제없이 실현할 수 있다.
또한, 상기 세로 이송 기구(64), 가로 이송 기구(67), 진퇴 기구(70), 회전 기구(73)를 구성하고 있는 전동 모터는, 그 구동에 수반하여 발열하는데, 이러한 전동 모터는 모두 세로 반송 부분(23a)의 근방에 배치되어 있기 때문에, 열을 상하 방향으로 용이하게 내보낼 수 있다(또한, 수용실(17) 내에서, 세로 반송 부분(23a)의 가요성 기판(11)을 실질적으로 따른 상하 방향의 공기의 흐름을 적극적으로 일으켜도 된다). 그 결과, 지그(33, 34)를 가요성 기판(11)에 접촉시키는 부위 주변의 온도나 습도를 안정시킬 수 있으므로, 검사 환경의 안정성이 양호하다.
나아가, 지그(33, 34)는, 진퇴 기구(70)의 전동 모터에 의해 수평 방향으로 구동됨으로써, 가요성 기판(11)에 대한 접촉/이격을 행한다. 따라서, 지그(33, 34)의 중량이나, 그것을 지지하는 제1 이동 프레임(53), 제2 이동 프레임(54), 진퇴 부재(55), 회전 부재(56)의 중량은 고정 프레임(52)(세로 이송 기구(64))에서 받으면서, 지그(33, 34)의 Z 방향의 이송을 행할 수 있다. 따라서, 진퇴 기구(70)의 전동 모터는 대중량을 지지할 필요가 없어지므로, 전동 모터의 간소화, 소형화 등을 실현할 수 있다. 또한, 이렇게 진퇴 기구(70)의 전동 모터의 부하를 억제할 수 있는 결과, 지그(33, 34)의 접촉/이격 동작을 위해 전동 모터의 신속한 가속 및 정지가 가능해지므로, 검사 효율의 향상도 실현할 수 있다.
이상에 나타낸 바와 같이, 본 실시 형태의 기판 검사 장치(10)는, 가요성 기판(11)의 검사를 행한다. 이 기판 검사 장치(10)는, 반송 경로(23)와, 검사부 기구(30)를 구비한다. 반송 경로(23)에 있어서는, 복수의 단위 기판(12)이 배열되어 배치되는 가요성 기판(11)이 연속적으로 반송된다. 검사부 기구(30)는, 반송 경로(23)에 반송되는 가요성 기판(11)을 검사하기 위한 제1 지그(33) 및 제2 지그(34)를 가요성 기판(11)에 대하여 접근시키거나 멀어지게 하는 것이 가능하다. 반송 경로(23)는, 연직 하방으로 가요성 기판(11)을 반송하는 세로 반송 부분(23a)을 포함한다. 검사부 기구(30)는, 세로 반송 부분(23a)에 있어서 반송되는 가요성 기판(11)에 대하여 제1 지그(33) 및 제2 지그(34)를 가요성 기판(11)과 수직인 방향으로 이동시킴으로써 당해 제1 지그(33) 및 제2 지그(34)를 접근시키거나 멀어지게 한다.
이 구성에서, 제1 지그(33) 및 제2 지그(34)는, 가요성 기판(11)의 직선성이 유지되어 있는 세로 반송 부분(23a)에 대하여 접근하거나 멀어진다. 이에 의해, 자중에 의한 가요성 기판(11)의 만곡을 고려하지 않아도 되기 때문에, 가요성 기판(11)의 정확한 위치에 제1 지그(33) 및 제2 지그(34)를 용이하게 접촉시켜서 전기적 검사를 행할 수 있다. 따라서, 가요성 기판(11)을 클램프하는 기구나 가이드 기구 등을 생략 또는 간략화하기 쉬워지므로, 기판 검사 장치(10)의 저비용화, 경량화를 실현할 수 있다. 나아가, 예를 들어 제1 지그(33)나 제2 지그(34)를 이동시키기 위한 구동 기구가 열을 발생했다고 해도, 가요성 기판(11)의 세로 반송 부분(23a)에서는, 그 열을 상하 방향으로 내보내는 것이 용이하다. 따라서, 온도나 습도의 불균일이 발생하기 어려워지므로, 보다 안정된 환경에서 가요성 기판(11)의 검사를 행할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 기판 검사 장치(10)에 있어서, 검사부 기구(30)는, 검사부로서, 가요성 기판(11)과 도통 접촉하는 프로브를 복수 갖는 지그(33, 34)를 구비한다. 검사부 기구(30)는, 이 2개의 지그(33, 34)를 가요성 기판(11)에 대하여 접촉/이격시킨다.
이에 의해, 지그(33, 34)를 복수 사용할 수 있으므로, 전기적인 검사를 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 기판 검사 장치(10)에 있어서, 지그(33, 34)는, 가요성 기판(11)의 두께 방향 일측의 면에 도통 접촉 가능한 제1 지그(33)와, 가요성 기판(11)의 두께 방향 타측의 면에 도통 접촉 가능한 제2 지그(34)에 의해 이루어진다. 기판 검사 장치(10)는, 제1 지그(33)와 제2 지그(34)로 가요성 기판(11)을 사이에 끼운 상태에서 당해 가요성 기판(11)의 검사를 행하는 것이 가능하다.
이에 의해, 가요성 기판(11)의 직선성이 유지되는 세로 반송 부분(23a)에 대하여 제1 지그(33) 및 제2 지그(34)를 접촉시키기 때문에, 2개의 지그(33, 34)를 가요성 기판(11)의 표리 양면의 정확한 위치에 각각 동시에 접촉시켜서 전기적 검사를 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 가요성 기판(11)의 양면을 한번에 검사할 수 있기 때문에, 검사의 효율을 대폭 높일 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 기판 검사 장치(10)에 있어서, 검사부 기구(30)는, XY 이동 기구(세로 이송 기구(64) 및 가로 이송 기구(67))와, Z 이동 기구(진퇴 기구(70))와, 자세 변경 기구(회전 기구(73))를 구비한다. XY 이동 기구는, 제1 지그(33)(제2 지그(34))를 가요성 기판(11)에 평행한 면 내에서 이동시키는 것이 가능하다. Z 이동 기구는, 제1 지그(33)(제2 지그(34))를 가요성 기판(11)의 두께 방향으로 평행하게 이동시키는 것이 가능하다. 자세 변경 기구는, 가요성 기판(11)에 평행한 면 내에서의 제1 지그(33)(제2 지그(34))의 기울기를 변경 가능하다.
이에 의해, 가요성 기판(11)에 형성되어 있는 단위 기판에 대하여, 지그(33, 34)를 적절하게 위치 정렬하여 접촉/이격시킬 수 있으므로, 검사를 원활하게 행할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 기판 검사 장치(10)에 있어서, 검사부 기구(30)는, 가요성 기판(11)을 촬상하는 카메라(91, 92)를 구비한다. 검사부 기구(30)는, 카메라(91, 92)가 가요성 기판(11)을 촬상한 화상을 기초로, 지그(33, 34)를 가요성 기판(11)에 대하여 위치 정렬한다.
이에 의해, 실제로 가요성 기판(11)을 촬상하여 얻어진 화상에 기초하여, 지그(33, 34)를 가요성 기판(11)에 대해 고정밀도로 위치 정렬할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 기판 검사 장치(10)에 있어서, 검사부 기구(30)는, 제1 지그(33)와, 제2 지그(34)와, 제1 카메라(91)와, 제2 카메라(92)를 구비한다. 제1 지그(33)는, 세로 반송 부분(23a)에 있어서 반송되는 가요성 기판(11)의 두께 방향 일측에 배치된다. 제2 지그(34)는, 가요성 기판(11)의 두께 방향 타측에 배치된다. 제1 카메라(91)는, 가요성 기판(11)의 두께 방향 일측에 배치된다. 제2 카메라(92)는, 가요성 기판(11)의 두께 방향 타측에 배치된다. 제1 카메라(91)는 제2 지그(34)를 촬상 가능하다. 제2 카메라(92)는 제1 지그(33)를 촬상 가능하다.
이에 의해, 가요성 기판(11)의 두께 방향 반대측을 각각 검사하는 제1 및 제2 지그(33, 34)를 제1 및 제2 카메라(91, 92)가 촬상함으로써, 그 위치 관계나 표면 상태 등에 관한 유용한 정보를 얻어, 유지 보수 등에 활용할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 기판 검사 장치(10)는, 가요성 기판(11)을 연속적으로 공급하는 기판 롤(11a)을 세팅 가능한 조출부(21)를 구비한다.
이에 의해, 기판 롤(11a)로부터 가요성 기판(11)을 연속적으로 공급하여, 다수의 단위 기판(12)에 대하여 연속적으로 검사할 수 있으므로, 검사 효율을 높일 수 있다.
이어서, 상기 실시 형태의 변형예를 설명한다. 도 4는 정전 흡착판(80)을 설치한 변형예를 도시하는 정면도이다. 또한, 본 변형예의 설명에서는, 상술한 실시 형태와 동일 또는 유사한 부재에는 도면에 동일한 부호를 부여하고, 설명을 생략하는 경우가 있다.
본 변형예의 기판 검사 장치(10x)에서는, 도 4에 도시한 바와 같이, 세로 반송 부분(23a)에서의 가요성 기판(11)을 사이에 두도록, 검사 테이블(7) 위에 한 쌍의 정전 흡착판(이물 회수부)(80, 80)이 배치되어 있다. 정전 흡착판(80)은, 가요성 기판(11)에 대하여 적당한 간격을 두고 배치되어 있다. 또한, 정전 흡착판(80, 80)이 배치되는 높이는, 지그(33, 34)의 높이보다 낮게 되어 있다.
이 정전 흡착판(80)에는 고압이 인가되어 있어, 예를 들어 지그(33, 34)가 구동되어 가요성 기판(11)에 접촉/이격할 때에 발생하여 낙하하는 파티클 등의 이물을, 흡착하여 회수할 수 있도록 구성되어 있다. 이에 의해, 가요성 기판(11)에 대한 이물의 낙하 및 부착에 의한 가요성 기판(11)의 품질 저하를 피할 수 있다.
이상에 나타낸 바와 같이, 본 변형예에서의 기판 검사 장치(10x)에서는, 이물을 회수하는 것이 가능한 정전 흡착판(80)이, 지그(33, 34)의 높이(또는, 가요성 기판(11)에 대하여 지그(33, 34)를 접촉시키는 부위의 높이)보다 낮은 위치에 설치되어 있다.
이에 의해, 지그(33, 34)의 접촉/이격 부분 등에서 파티클 등의 이물이 발생한 경우에도, 자중으로 낙하하는 당해 이물을 정전 흡착판(80)으로 회수할 수 있다. 이 때문에, 이물의 부착에 의한 가요성 기판(11)의 품질 저하를 피할 수 있다.
이어서, 제2 실시 형태의 기판 검사 장치(10y)에 대해서, 도 5를 참조하면서 설명한다. 이 제2 실시 형태의 기판 검사 장치(10y)는, 가요성 기판(11)에 대하여, 전기적인 검사가 아니라 광학적인 검사를 행하는 것이다. 기판 검사 장치(10y)는 검사부 기구(30x)를 구비하고 있고, 이 검사부 기구(30x)는, 상기의 제1 실시 형태에서의 지그 기구(31, 32) 대신에, 제1 광학 유닛 기구(31x)와, 제2 광학 유닛 기구(32x)를 구비한다.
제1 광학 유닛 기구(31x)는, 상술한 제1 실시 형태에서 제1 지그 기구(31)가 구비하고 있던 제1 지그(33)를 제1 광학 유닛(33x)으로 치환한 것이다. 마찬가지로, 제2 광학 유닛 기구(32x)는, 상술한 제1 실시 형태에서 제2 지그 기구(32)가 구비하고 있던 제2 지그(34)를 제2 광학 유닛(34x)으로 치환한 것이다. 따라서, 본 실시 형태에서는, 광학 유닛(33x, 34x)이 검사부에 상당한다. 2개의 광학 유닛 기구(31x, 32x)는, 제1 실시 형태와 마찬가지로 구성된 이동 기구(41)를 구비하고 있다.
제1 광학 유닛(33x) 및 제2 광학 유닛(34x)은, 가요성 기판(11)을 광학적으로 검사하는 것이다. 본 실시 형태에서 광학 유닛(33x, 34x)은, 검사를 위한 광학기기를 구비하고 있다. 이 광학기기의 구체예로서는, 2D 카메라, 3D 카메라, 조명을 위한 라이트, 레이저 조사기 등을 생각할 수 있지만, 이들에 한정되지 않는다. 2개의 광학 유닛(33x, 34x)은, 각각 가요성 기판(11)에 설정된 소정의 검사 부위의 형상(예를 들어, 검사 부위에 형성되어 있는 볼록 형상 부분의 폭이나 높이)을 측정할 수 있다.
2개의 광학 유닛(33x, 34x)은, 광학 유닛 기구(31x, 32x)가 구비하는 이동 기구(41)에 의해, XY 평면에 평행한 면 내에서 이동할 수 있고, Z 방향으로 이동할 수도 있고, 또한, XY 평면 내에서의 자세를 변경할 수도 있게 되어 있다. 광학 유닛(33x, 34x)은, 상기한 Z 방향의 이동에 의해, 가요성 기판(11)에 대하여 접근하거나 멀어지고, 이에 의해, 가요성 기판(11)과의 거리가, 상기 광학기기에 의한 측정에 적합한 소정의 검사 거리와 일치하도록 제어할 수 있다.
가요성 기판(11)을 사이에 두고 제1 광학 유닛(33x)의 반대측에는, 비접촉 보유 지지부(81)가 설치되어 있다. 또한, 가요성 기판(11)을 사이에 두고 제2 광학 유닛(34x)의 반대측에도, 비접촉 보유 지지부(81)가 설치되어 있다. 이러한 비접촉 보유 지지부(81, 81)는, 압축 공기를 분출함으로써, 예를 들어 베르누이의 원리를 이용하여 가요성 기판(11)을 비접촉으로 보유 지지할 수 있다.
이상에 나타낸 바와 같이, 본 실시 형태의 기판 검사 장치(10y)에 있어서, 검사부 기구(30x)는, 검사부로서, 가요성 기판(11)의 검사 부위를 측정하는 광학 유닛(33x, 34x)을 구비한다. 검사부 기구(30x)는, 광학 유닛(33x, 34x)을 가요성 기판(11)에 대하여 접근시키거나 멀어지게 함으로써, 당해 광학 유닛(33x, 34x)과 가요성 기판(11)의 검사 거리를 유지한다.
이에 의해, 광학 유닛(33x, 34x)과 가요성 기판(11)의 거리가 적절하게 제어되기 때문에, 광학적인 검사를 원활하게 행할 수 있다.
이어서, 제2 실시 형태의 변형예인 가요성 기판 검사 장치(10z)에 대해서 도 6을 참조하여 설명한다. 이 가요성 기판 검사 장치(10z)에 있어서, 광학 유닛 기구(31x, 32x)가 구비하는 이동 기구(41x)는, 광학 유닛(33x, 34x)을 X 방향 및 Z 방향으로 이동시키기 위한 이송 기구를 구비하고 있다. 이 이송 기구는, 상기 이동 기구(41)와 마찬가지로, 나사 이송 기구를 사용할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서 광학 유닛(33x, 34x)은, Y 방향(연직 방향)으로 이동할 수는 없다.
광학 유닛(33x, 34x)은, 검사 테이블(7) 위에 설치된 틀 형상의 고정 프레임(52x)에 대하여 각각 설치된다. 광학 유닛(33x, 34x)은, 서로 높이를 상이하게 하여 배치되어 있으므로, 예를 들어 한쪽의 광학 유닛(33x)에서 촬상에 사용되는 조명이, 다른 쪽의 광학 유닛(34x)에서의 촬상에 영향을 미치는 문제를 피할 수 있다.
가요성 기판(11)을 사이에 두고 제1 광학 유닛(33x)의 반대측에는, 흡착 가이드(82)가 설치되어 있다. 또한, 가요성 기판(11)을 사이에 두고 제2 광학 유닛(34x)의 반대측에도, 흡착 가이드(82)가 설치되어 있다. 이 흡착 가이드(82, 82)는 폭이 넓은 평판 형상으로 형성되어 있고, 이 평판에는, 적당한 부압원에 접속된 도시 생략한 흡인구가 형성되어 있다. 이에 의해, 검사부 기구(30)에 의한 검사 시에 있어서, 가요성 기판(11)을 흡착 가이드(82)에 흡착시켜서 유지할 수 있다.
이상에 나타낸 바와 같이, 본 변형예의 가요성 기판 검사 장치(10z)에 있어서, 검사부 기구(30x)는, 검사부로서, 가요성 기판(11)의 두께 방향 일측의 면의 검사 부위를 측정하는 제1 광학 유닛(33x)과, 가요성 기판(11)의 두께 방향 타측의 면의 검사 부위를 측정하는 제2 광학 유닛(34x)을 구비한다. 제1 광학 유닛(33x)과 제2 광학 유닛(34x)은, 그 높이를 서로 상이하게 하여 배치되어 있다.
이에 의해, 가요성 기판(11)의 표리 양면을 한번에 검사할 수 있으므로, 광학적 검사의 효율을 높일 수 있다. 2개의 광학 유닛(33x, 34x)이 높이를 상이하게 하여 배치되므로, 서로의 측정에 영향을 미치기 어려운 레이아웃을 실현할 수 있다.
또한, 본 변형예의 기판 검사 장치(10z)에서는, 부압에 의해 가요성 기판(11)을 흡착 가능한 흡착 가이드(82, 82)가 세로 반송 부분(23a)에 배치되어 있다.
이에 의해, 연직 방향으로 향해진 상태의 가요성 기판(11)이 움직이지 않도록 흡착 가이드(82)로 보유 지지할 수 있으므로, 검사부 기구(30x)에 의한 검사를 원활하게 행할 수 있다. 또한, 흡착 가이드(82)에 대한 부압의 공급/정지의 절환에 의해, 가요성 기판(11)의 보유 지지/해방을 용이하게 절환할 수 있다.
이상으로 본 발명의 적합한 실시 형태 및 변형예를 설명했지만, 상기 구성은 예를 들어 이하와 같이 변경할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 세로 반송 부분(23a)에 있어서, 가요성 기판(11)은 연직 하방으로 반송되고 있다. 그러나, 가요성 기판(11)이 연직 상방으로 반송되도록 구성해도 된다. 또한, 검사 공정에 따라서는, 가요성 기판(11)을 정방향으로만 반송하는 것이 아니라, 일시적인 역방향의 반송(복귀 반송)이 행하여져도 된다. 나아가, 조출부(21) 및 권취부(22)를 세로 반송 부분(23a)의 상하에 배치하여, 반송 경로(23)가 세로 반송 부분(23a)으로만 실질적으로 구성되는 반송 레이아웃으로 할 수도 있다.
가요성 기판(11)에서의 단위 기판(12)의 레이아웃은, 도 3에 도시하는 것에 한정되지 않고, 사정에 따라서 임의로 변경할 수 있다. 예를 들어, 단위 기판(12)을 가요성 기판(11)의 폭 방향으로 3개 이상 배열해도 된다.
상기 실시 형태에서는, 지그(33, 34)는, 단위 기판 1개분의 회로 패턴의 검사 포인트에 접촉할 수 있도록 구성되어 있다. 그러나, 단위 기판 2개분 이상의 회로 패턴의 검사 포인트에 동시에 접촉할 수 있도록 지그(33, 34)를 구성해도 된다. 예를 들어, 도 3에서는 단위 기판(12)이 가요성 기판(11)의 폭 방향으로 2개 나열되어 있는데, 이 2개분의 단위 기판(12, 12)의 회로 패턴이 갖는 검사 포인트에 동시에 접촉하도록 지그(33, 34)를 구성할 수 있다. 이 경우, 한번에 2개분의 단위 기판을 검사할 수 있음과 함께, 지그(33, 34)를 가요성 기판(11)의 폭 방향(X 방향)으로 거의 이동시키지 않아도 되기 때문에, 검사 효율을 대폭 향상시킬 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이 지그(33, 34)는, 설치판(74)에 대하여 착탈 가능하기 때문에, 검사하고자 하는 가요성 기판(11)의 사양에 따라서 지그(33, 34)를 용이하게 교환하여 사용할 수 있다.
도 4에 도시하는 변형예에 있어서, 정전 흡착판(80) 대신에, 또는 그 외에, 중력으로 낙하하는 이물을 받는 수용 부재를 이물 회수부로서 설치해도 된다. 또한, 본 발명의 기판 검사 장치에서는 흡착 가이드 또는 비접촉 지지부를 필요에 따라 사용해도 되고, 그 외에도 검사 시 가요성 기판을 적절히 보유 유지할 수 있는 다른 지지부재를 사용해도 된다.
10: 가요성 기판 검사 장치 11: 가요성 기판
11a: 기판 롤 21: 조출부(공급부)
23: 반송 경로 23a: 세로 반송 부분
30: 검사부 기구 33: 제1 지그(제1 검사부, 검사부)
33x: 제1 광학 유닛(제1 검사부, 검사부)
34: 제2 지그(제2 검사부, 검사부)
34x: 제2 광학 유닛(제2 검사부, 검사부)
41: 이동 기구 80: 정전 흡착판(이물 회수부)
82: 흡착 가이드

Claims (11)

  1. 가요성 기판의 검사를 행하는 가요성 기판 검사 장치에 있어서,
    복수의 단위 기판이 배열되어 배치되는 가요성 기판이 연속적으로 반송되는 반송 경로와,
    상기 반송 경로에 반송되는 상기 가요성 기판을 검사하기 위한 검사부를, 상기 가요성 기판에 대하여 접근시키거나 멀어지게 하는 것이 가능한 검사부 기구
    를 구비하고,
    상기 반송 경로는, 연직 상방 및 연직 하방 중 적어도 어느 하나의 방향으로 상기 가요성 기판을 반송하는 세로 반송 부분을 포함하고,
    상기 검사부 기구는, 상기 검사부로서, 상기 가요성 기판의 두께 방향 일측의 면에 도통 접촉 가능한 제1 지그와, 상기 가요성 기판의 두께 방향 타측의 면에 도통 접촉 가능한 제2 지그를 구비하고,
    상기 검사부 기구는, 상기 세로 반송 부분에 있어서 반송되는 상기 가요성 기판에 대하여 상기 제1 지그 및 상기 제2 지그를 상기 가요성 기판과 수직인 방향으로 이동시킴으로써 상기 제1 지그 및 상기 제2 지그를 접근시키거나 멀어지게 하고,
    상기 검사부 기구는, 상기 제1 지그 및 상기 제2 지그를 서로 대향하여 상기 가요성 기판의 두께 방향 양측으로부터 상기 가요성 기판에 접근시키는, 가요성 기판 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 검사부 기구는, 상기 제1 지그 및 상기 제2 지그를, 상기 가요성 기판을 동시에 끼워 넣도록 상기 가요성 기판에 접근시키는 것이 가능한, 가요성 기판 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 지그 및 상기 제2 지그는, 상기 가요성 기판과 도통 접촉 가능한 복수의 프로브를 갖고,
    상기 검사부 기구는, 상기 제1 지그 및 상기 제2 지그를 상기 가요성 기판에 대하여 접근시키거나 멀어지게 하는, 가요성 기판 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 검사부 기구는,
    상기 제1 지그 및 상기 제2 지그를 상기 가요성 기판에 평행한 면 내에서 이동시키는 것이 가능한 제1 이동 기구와,
    상기 제1 지그 및 상기 제2 지그를 상기 가요성 기판의 두께 방향으로 평행하게 이동시키는 것이 가능한 제2 이동 기구와,
    상기 가요성 기판에 평행한 면 내에서의 상기 제1 지그 및 상기 제2 지그의 기울기를 변경 가능한 자세 변경 기구
    를 구비하는, 가요성 기판 검사 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 검사부 기구는, 상기 검사부로서, 상기 가요성 기판의 검사 부위를 측정하는 광학 유닛을 구비하고,
    상기 검사부 기구는, 상기 검사부를 상기 가요성 기판에 대하여 접근시키거나 멀어지게 함으로써, 상기 검사부와 상기 가요성 기판의 검사 거리를 유지하는, 가요성 기판 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 검사부 기구는, 상기 검사부로서, 상기 가요성 기판의 두께 방향 일측의 면의 검사 부위를 측정하는 제1 광학 유닛과, 상기 가요성 기판의 두께 방향 타측의 면의 검사 부위를 측정하는 제2 광학 유닛을 구비하고,
    상기 제1 광학 유닛과 상기 제2 광학 유닛은, 그 높이를 서로 상이하게 하여 배치되어 있는, 가요성 기판 검사 장치.
  7. 제1항 내지 제3항, 제5항 및 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검사부 기구는, 상기 가요성 기판을 촬상하는 촬상부를 구비하고,
    상기 검사부 기구는, 상기 촬상부가 상기 가요성 기판을 촬상한 촬상 정보를 기초로, 상기 검사부를 상기 가요성 기판에 대하여 위치 정렬하는, 가요성 기판 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 검사부 기구는,
    상기 세로 반송 부분에 있어서 반송되는 상기 가요성 기판의 두께 방향 일측에 배치되는 제1 검사부와,
    상기 가요성 기판의 두께 방향 타측에 배치되는 제2 검사부와,
    상기 가요성 기판의 두께 방향 일측에 배치되는 제1 촬상부와,
    상기 가요성 기판의 두께 방향 타측에 배치되는 제2 촬상부
    를 구비하고,
    상기 제1 촬상부는 상기 제2 검사부를 촬상 가능하고,
    상기 제2 촬상부는 상기 제1 검사부를 촬상 가능한, 가요성 기판 검사 장치.
  9. 제1항 내지 제3항, 제5항 및 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가요성 기판을 연속적으로 공급하는 기판 롤을 세팅 가능한 공급부를 구비하는, 가요성 기판 검사 장치.
  10. 제1항 내지 제3항, 제5항 및 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    이물을 회수하는 것이 가능한 이물 회수부가, 상기 검사부보다 낮은 위치에 설치되어 있는, 가요성 기판 검사 장치.
  11. 제1항 내지 제3항, 제5항 및 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    부압에 의해 상기 가요성 기판을 흡착 가능한 흡착 가이드가 상기 세로 반송 부분에 배치되어 있는, 가요성 기판 검사 장치.
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