JP2015184052A - 可撓性基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
11 可撓性基板
11a 基板ロール
21 操出部(供給部)
23 搬送経路
23a 縦搬送部分
30 検査部機構
33 第1治具(第1検査部、検査部)
33x 第1光学ユニット(第1検査部、検査部)
34 第2治具(第2検査部、検査部)
34x 第2光学ユニット(第2検査部、検査部)
41 移動機構
80 静電吸着板(異物回収部)
82 吸着ガイド
Claims (11)
- 可撓性基板の検査を行う可撓性基板検査装置において、
複数の単位基板が並べて配置される可撓性基板が連続的に搬送される搬送経路と、
前記搬送経路を搬送される前記可撓性基板を検査するための検査部を、当該可撓性基板に対して接近/離反させることが可能な検査部機構と、
を備え、
前記搬送経路は、鉛直上方及び鉛直下方のうち少なくとも何れかの方向に前記可撓性基板を搬送する縦搬送部分を含み、
前記検査部機構は、前記縦搬送部分において搬送される前記可撓性基板に対して、前記検査部を当該可撓性基板と垂直な方向に移動させることで当該検査部を接近/離反させることを特徴とする可撓性基板検査装置。 - 請求項1に記載の可撓性基板検査装置であって、
前記検査部機構は、前記検査部として、前記可撓性基板と導通接触可能な複数のプローブを有する治具を備え、
前記検査部機構は、前記検査部を前記可撓性基板に対して接触/離間させることを特徴とする可撓性基板検査装置。 - 請求項2に記載の可撓性基板検査装置であって、
前記治具は、前記可撓性基板の厚み方向一側の面に導通接触可能な第1治具と、前記可撓性基板の厚み方向他側の面に導通接触可能な第2治具と、を含み、
前記第1治具と前記第2治具とで前記可撓性基板を挟んだ状態で当該可撓性基板の検査を行うことが可能であることを特徴とする可撓性基板検査装置。 - 請求項2又は3に記載の可撓性基板検査装置であって、
前記検査部機構は、
前記治具を前記可撓性基板に平行な面内で移動させることが可能な第1移動機構と、
前記治具を前記可撓性基板の厚み方向に平行に移動させることが可能な第2移動機構と、
前記可撓性基板に平行な面内での前記治具の傾きを変更可能な姿勢変更機構と、
を備えることを特徴とする可撓性基板検査装置。 - 請求項1に記載の可撓性基板検査装置であって、
前記検査部機構は、前記検査部として、前記可撓性基板の検査部位を測定する光学ユニットを備え、
前記検査部機構は、前記検査部を前記可撓性基板に対して接近/離反させることにより、当該検査部と前記可撓性基板との検査距離を維持することを特徴とする可撓性基板検査装置。 - 請求項5に記載の可撓性基板検査装置であって、
前記検査部機構は、前記検査部として、前記可撓性基板の厚み方向一側の面の検査部位を測定する第1光学ユニットと、前記可撓性基板の厚み方向他側の面の検査部位を測定する第2光学ユニットと、を備え、
前記第1光学ユニットと前記第2光学ユニットは、その高さを互いに異ならせて配置されていることを特徴とする可撓性基板検査装置。 - 請求項1から6までの何れか一項に記載の可撓性基板検査装置であって、
前記検査部機構は、前記可撓性基板を撮像する撮像部を備え、
前記検査部機構は、前記撮像部が前記可撓性基板を撮像した撮像情報を基に、前記検査部を前記可撓性基板に対して位置合わせすることを特徴とする可撓性基板検査装置。 - 請求項7に記載の可撓性基板検査装置であって、
前記検査部機構は、
前記縦搬送部分において搬送される前記可撓性基板の厚み方向一側に配置される第1検査部と、
前記可撓性基板の厚み方向他側に配置される第2検査部と、
前記可撓性基板の厚み方向一側に配置される第1撮像部と、
前記可撓性基板の厚み方向他側に配置される第2撮像部と、
を備え、
前記第1撮像部は前記第2検査部を撮像可能であり、
前記第2撮像部は前記第1検査部を撮像可能であることを特徴とする可撓性基板検査装置。 - 請求項1から8までの何れか一項に記載の可撓性基板検査装置であって、
前記可撓性基板を連続的に供給する基板ロールをセット可能な供給部を備えることを特徴とする可撓性基板検査装置。 - 請求項1から9までの何れか一項に記載の可撓性基板検査装置であって、
異物を回収することが可能な異物回収部が、前記検査部より低い位置に設けられていることを特徴とする可撓性基板検査装置。 - 請求項1から10までの何れか一項に記載の可撓性基板検査装置であって、
負圧により前記可撓性基板を吸着可能な吸着ガイドが前記縦搬送部分に配置されていることを特徴とする可撓性基板検査装置。
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