CN104931870B - 柔性基板检测装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种可以对柔性电路基板顺利地进行检测，同时能容易实现简化及轻量化的基板检测装置。对柔性基板进行检测的基板检测装置具有输送路径和检测部机构。在输送路径中，连续地输送由多个单位基板排列配置的柔性基板。检测部机构可使用于检测在输送路径上输送的柔性基板的夹具接近/远离柔性基板。输送路径包含向垂直下方输送柔性基板的纵向输送部分。检测部机构对于在纵向输送部分所输送的所述柔性基板，以垂直柔性基板的方向移动夹具，从而使该夹具接近/远离柔性基板。

Description

柔性基板检测装置
技术领域
本发明涉及检测柔性基板的检测装置。
背景技术
以往，曾有提出检测在基板上形成的电路图形的基板检测装置。专利文献1揭示这类基板检测装置。
专利文献1的基板检测装置具有固定电路基板的固定装置，和对电路基板进行探测(probing)的探测装置。固定装置具有夹紧机构，其构成为能夹紧电路基板的边缘部。探测装置具有能对电路基板的导体图形接触探针的探针单元。对应电路基板的正反面分别具备探针单元。
由此构成，电路基板是在水平状态下由固定装置夹紧，在其两面从上下分别接触探针。然后，通过探针单元输入电信号，执行所定的电性检测。
在所述专利文献1中揭示的基板检测装置所设定的是针对具有一定刚性的所谓硬式(rigid)基板进行检测的。另一方面，最近为了基板的薄型化、提高电特性等目的，便有使用柔性基板的情况。该柔性基板是，例如，以长胶片状多个面板基板(Multi-panelsubstrate)的形态成批制造多个触控面板，再将该长胶片卷绕成基板卷的形态供应给下一个工序，因此通过大量生产在实现降低成本和提高操作性方面具有优点。
该柔性基板具有如上所述的优点，但从另一方面容易产生弯曲或曲折，必须慎重处理。在这种观点下，所述专利文献1的基板检测装置是将电路基板在水平状态下夹紧，从该电路基板的上下夹在探测装置之间进行检测。因此，若在如专利文献1的基板检测装置中对软性电路基板进行检测时，由于电路基板因自重容易向下成凸状弯曲，因此认为很难使探针接触在电路基板的正确位置上，尤其对电路基板的双面同时进行检测会非常困难。
另外，在柔性基板的检测中采用专利文献1的情况下，考虑从电路基板的上方接触探针时，由于对电路基板施加其自重和探针的向下施加压力两者，因此电路基板会更容易弯曲。在这种情况下，为使电路基板不弯曲，可以考虑用夹紧装置强力夹紧的方法，但这种情况下夹紧装置将变得大型化、复杂化、重型化，不值得采取。
另外，专利文献1的基板检测装置是以上下方向移动探针，从而对电路基板接触/远离探针。因此，不得不抵抗重力而将重物，即探针单元及其支撑部件提升，从而需要大型的驱动手段，这便是增加费用的原因。
【现有技术文献】
【专利文献1】
日本专利第5179289号公报
发明内容
本发明提供一种可以对软性电路基板顺利进行检测，同时容易实现简化及轻量化的基板检测装置。
根据本发明的观点，提供具有以下构成的柔性基板检测装置。即，对柔性基板进行检测的柔性基板检测装置具有输送路径和检测部机构。在所述输送路径连续地输送由多个单位基板排列配置的柔性基板。所述检测部机构可使用于检测在所述输送路径上输送的所述柔性基板的检测部，接近/远离所述柔性基板。所述输送路径包含向垂直向上和垂直向下中的至少一个方向输送所述柔性基板的纵向输送部分。所述检测部机构对于在所述纵向输送部分所输送的所述柔性基板，以垂直所述柔性基板的方向移动所述检测部，从而使检测部接近/远离所述柔性基板。
在所述柔性基板检测装置中，所述检测部机构具有作为所述检测部的夹具，所述夹具具有能与所述柔性基板导通接触的多个探针。所述检测部机构使所述检测部接触/远离所述柔性基板。
在所述柔性基板检测装置中，所述夹具包含在所述柔性基板的厚度方向的一侧面能导通接触的第一夹具，和在所述柔性基板的厚度方向的另一侧面能导通接触的第二夹具。在由所述第一夹具和所述第二夹具夹住所述柔性基板的状态下，可以检测所述柔性基板。
在所述柔性基板检测装置中，所述检测部机构具有第一移动机构、第二移动机构和姿势改变机构。所述第一移动机构可以使所述夹具在平行于所述柔性基板的面上移动。所述第二移动机构可以使所述夹具向所述柔性基板的厚度方向平行移动。所述姿势改变机构可以改变在平行于所述柔性基板的面上的所述夹具的倾斜度。
在所述柔性基板检测装置中，所述检测部机构具有作为所述检测部的用于测定所述柔性基板的检测部位的光学单元。所述检测部机构使所述检测部接近/远离所述柔性基板，由此保持该检测部和所述柔性基板的检测距离。
在所述柔性基板检测装置中，所述检测部机构具有作为所述检测部的用于测定所述柔性基板的厚度方向的一侧面检测部位的第一光学单元，和用于测定所述柔性基板的厚度方向的另一侧面检测部位的第二光学单元。所述第一光学单元和所述第二光学单元是以相互不同的高度配置。
在所述柔性基板检测装置中，所述检测部机构具有用于拍摄所述柔性基板的拍摄部。所述检测部机构以所述拍摄部拍摄所述柔性基板的拍摄信息为基础，对所述柔性基板对齐所述检测部的位置。
在所述柔性基板检测装置中，所述检测部机构具有第一检测部、第二检测部、第一拍摄部和第二拍摄部。所述第一检测部配置在于所述纵向输送部分上所输送的所述柔性基板的厚度方向的一侧。所述第二检测部配置在所述柔性基板的厚度方向的另一侧。所述第一拍摄部配置在所述柔性基板的厚度方向的一侧。所述第二拍摄部配置在所述柔性基板的厚度方向的另一侧。所述第一拍摄部可以拍摄所述第二检测部。所述第二拍摄部可以拍摄所述第一检测部。
优选地，所述柔性基板检测装置具有供应部，其可以设置连续供应所述柔性基板的基板卷。
优选地，在所述柔性基板检测装置中，能回收异物的回收部设置在比所述检测部更低的位置上。
优选地，在所述柔性基板检测装置中，由负压能吸附所述柔性基板的吸附导向件配置在所述纵向输送部分。
根据本发明，检测部是接近/远离保持柔性基板直线性的纵向输送部分。由此，无需考虑自重产生的柔性基板的弯曲，因此可以对柔性基板以高精密度对齐检测部位置进行检测。因此，易于省略或简化用于夹紧或引导柔性基板的机构，从而可以实现装置的低成本化、轻量化。而且，例如，即使用于移动检测部的驱动机构发热，在柔性基板的纵向输送部分以上下方向容易排除其热。因此，很难产生温度或湿度的不均匀，可以在更稳定的环境下进行柔性基板的检测。
而且，对保持柔性基板直线性的纵向输送部分接触/远离夹具，从而对柔性基板可以使夹具接触正确的位置。其结果，可以有效地进行电性检测。
并且，对保持柔性基板直线性的纵向输送部分接触各夹具，从而可以在柔性基板的正反两面的正确位置分别同时接触两个夹具进行电性检测。因此，可以在柔性基板的两面一并进行检测，可以大幅提高检测的效率。
而且，可以使夹具适当地对齐位置而接触/远离柔性基板，因此可以顺利地进行电性检测。
并且，可以适当地控制光学单元和柔性基板的距离，因此可以顺利地进行光学检测。
而且，可以一并检测柔性基板的正反两面，因此可以提高光学检测的效率。而且，两个光学单元以不同的高度配置，因此可以实现很难影响彼此测定的布局。
并且，基于实际拍摄柔性基板而获取的信息，可以对柔性基板以高精密度对齐检测部的位置。
而且，由第一及第二拍摄部拍摄对柔性基板的厚度方向的相对侧分别进行检测的第一及第二检测部，因此可以获取有关其位置关系或表面状态等的有用信息。
并且，从基板卷连续供应柔性基板，可以对多个单位基板连续地进行检测，因此可以提高检测效率。
而且，随着检测部的移动等产生粒子等异物时，也可由异物回收部有效地回收因自重落下的所述异物。因此，可以防止因异物的粘附所导致的柔性基板的品质下降。
并且，用吸附导向件可以使垂直方向状态的柔性基板保持不动，因此检测部机构可以顺利地进行检测。而且，通过对吸附导向件进行负压供应/停止的切换，可以容易切换柔性基板的保持/解放。
附图说明
图1是本发明第一实施形态之基板检测装置整体构成的概略立体图。
图2是柔性基板的纵向输送部分周围构成的正面图。
图3是第一夹具机构详细构成的立体图。
图4是设置有静电吸附板的变形例的正面图。
图5是在第二实施形态的基板检测装置中，纵向输送部分周围构成的正面图。
图6是第二实施形态的变形例的正面图。
[附图标记说明]
10：柔性基板检测装置 11：柔性基板
11a：基板卷 21：(操出部)供应部
23：输送路径 23a：纵向输送部分
30：检测部机构 33：第一夹具(第一检测部，检测部)
33x：第一光学单元(第一检测部，检测部)
34：第二夹具(第二检测部，检测部)
34x：第二光学单元(第二检测部，检测部)
41：移动机构 80：静电吸附板(异物回收部)
82：吸附导向件
具体实施方式
接着，结合附图对本发明的实施形态进行说明。图1是本发明第一实施形态之基板检测装置10整体构成的概略立体图。图2是柔性基板11的纵向输送部分23a周围构成的正面图。图3是第一夹具机构31详细构成的立体图。
图1所示第一实施形态的基板检测装置(柔性基板检测装置)10，其通过设置检测对象即柔性基板11，从而对形成在该柔性基板11的电路图形进行电性检测。具体地，电性检测有电路图形的导通或短路检测、电路图形的电容检测等，基板检测装置10根据需要进行这种检测，由此判断电路图形的不良。
在本实施形态中，柔性基板11是以长而薄的片状(胶片状)形成。此柔性基板11是由多个相同构成的单位基板排列配置的所谓多个面板基板(Multi-panelsubstrate)形成。
在本实施形态中，柔性基板11是由作为单位基板的透明触控面板基板排列配置的具有可挠性的透明触控面板胶片构成。但并不受限于此，例如挠性基板(flexiblesubstrate)等，还可由其他种类的柔性基板构成。
基板检测装置10具有在水平安装面3上设置的基座部件16，和在基座部件16上设置的收容室17。而且，基板检测装置10是将操出部(供应部)21、卷取部22、输送路径23和检测部机构30具备在收容室17内部。
操出部21可以设置卷绕状态的柔性基板11(基板卷11a)。由操出部21的基板卷11a连续供应的柔性基板11经由基板检测装置10具备的输送路径23所输送，并输送到卷取部22。卷取部22为了卷绕柔性基板11具备未图示的电动马达。该电动马达间歇地驱动，以反复柔性基板11的输送和用于通过检测部机构30检测柔性基板11的停止输送。另外，用于这种输送的电动马达还可以在输送路径23的途中配置的后述的导向辊5上具备。
基板检测装置10是沿着输送路径23具有用于引导柔性基板11的多个导向辊5。通过该导向辊5的布置，在输送路径23的中途部分(基板检测装置10的中央部分)形成从上到下输送柔性基板11的纵向输送部分23a(参照图1及图2)。在这纵向输送部分23a中柔性基板11的输送方向是垂直方向，也可以说是对安装面3垂直的方向，或是重力方向。
而且，在以下说明中，在纵向输送部分23a中，与所输送的柔性基板11平行的面称为XY平面，对其垂直的方向称为Z方向。XY平面是与垂直方向平行的面，Z方向是朝向水平方向。
基板检测装置10具有水平的检测台7。在该检测台7顶板部分的中央形成有通孔7a，以便纵向输送部分23a的柔性基板11通过该通孔7a。
在检测台7的上面配置检测部机构30。该检测部机构30具有第一夹具机构31和第二夹具机构32，该两个夹具机构31、32配置为在其之间夹住纵向输送部分23a的柔性基板11。第一夹具机构31和第二夹具机构32彼此相对配置。
第一夹具机构31具有能接触/远离柔性基板11的第一夹具(第一检测部，检测部)33。而且，第二夹具机构32具有能接触/远离柔性基板11的第二夹具(第二检测部，检测部)34。第一夹具33配置在柔性基板11的厚度方向的一侧，第二夹具34配置在柔性基板11的厚度方向的另一侧。第一夹具33和第二夹具34彼此相对配置。
第一夹具机构31具有能拍摄柔性基板11的第一照相机(第一拍摄部)91。而且，第二夹具机构32具有能拍摄柔性基板11的第二照相机(第二拍摄部)92。第一照相机91配置在柔性基板11的厚度方向的一侧，第二照相机92配置在柔性基板11的厚度方向的另一侧。第一照相机91是相对第二夹具机构32而配置，第二照相机92是相对第一夹具机构31而配置。因此，在纵向输送部分23a没有输送柔性基板11时，第一照相机91可以拍摄第二夹具34，且第二照相机92可以拍摄第一夹具33。另外，柔性基板11被输送时，如本实施形态，若该柔性基板11透明，则照相机91、92可以拍摄在该柔性基板11对面的相对侧夹具33、34。由此，可以获取相对侧夹具33、34的位置或表面状态等用于决定位置或维修的有用信息。
在本实施形态中，两个照相机91、92分别配置在夹具33、34的上方，但并不限定于此。例如，可以考虑将第一照相机91配置在第一夹具33的上方，将第二照相机92配置在第二夹具34的下方的布局。
第一夹具机构31具有用于移动第一夹具33的移动机构41。该移动机构41具有XY移动机构(第一移动机构)，可以使第一夹具33在与纵向输送部分23a的柔性基板11平行的面上(与XY平面平行的面上)移动。而且，移动机构41还具有Z移动机构(第二移动机构)，可以使第一夹具33向水平方向，即Z方向移动，由此可以接近柔性基板11而接触该柔性基板11，或是解除(隔离)该接触而远离该柔性基板11。而且，移动机构41具有姿势改变机构，可以改变在平行于柔性基板11的面上的第一夹具33的倾斜度。
第二夹具机构32也和第一夹具机构31一样，具有移动机构41。该移动机构41具有XY移动机构(第一移动机构)，可以使第二夹具34在与纵向输送部分23a的柔性基板11平行的面上(与XY平面平行的面上)移动。而且，移动机构41还具有Z移动机构(第二移动机构)，可以使第二夹具34向水平方向，即Z方向移动，由此可以接近柔性基板11而接触该柔性基板11，或是解除(隔离)该接触而远离该柔性基板11。而且，移动机构41具有姿势改变机构，可以改变在平行于柔性基板11的面上的第二夹具34的倾斜度。
另外，两个夹具机构31、32的移动机构41的详细构成将后述。
通过上述的构成，基板检测装置10使检测部机构30的第一夹具33及第二夹具34相对于向纵向输送部分23a输送的柔性基板11移动，由此可以使两个夹具33、34在其厚度方向的两侧同时夹住而接触该柔性基板11，或是解除(隔离)该接触。换句话说，可以使夹具33、34接触及远离在柔性基板11的电路图形上形成的检测点。
虽然第一夹具33及第二夹具34在附图上显示得很简略，但都是由含多个导电性针状部件(探针)的部件，或是由在加压状态下具有导电性的导电橡胶部件所构成。第一夹具33的探针可以导通接触在柔性基板11的厚度方向的一侧面(第一面)设定的所定检测点。第二夹具34的探针可以导通接触在柔性基板11的厚度方向的另一侧面(第二面)设定的所定检测点。另外，在本说明书中，将“夹具33、34具有的探针导通接触在柔性基板11”简单地表述为“夹具33、34导通接触在柔性基板11”。
在本实施形态中，第一夹具33及第二夹具34均构成为可以接触一个单位基板的电路图形的检测点。而且，第一夹具33及第二夹具34除了上述的构成以外，还可以构成为与所定的检测点电容耦合，从而收发电信号。
第一夹具33及第二夹具34的探针连接于基板检测装置10所具有但没有图示的电流供应部及电流测定部，由此，可以对柔性基板11进行电性检测。具体地，基板检测装置10在柔性基板11的所述检测点接触两个夹具33、34的状态下，可以对柔性基板11具有的电路图形供应电流，从而测定流过电流的大小。而且，基板检测装置10具有没有图示的电压测定部，从而可以测定对电路图形供应电流时所产生的电位差。而且，基板检测装置10是在所述夹具电容耦合于柔性基板11的电路图形时，可以测定该夹具的静电容量，从而计算电位差。
接着，结合图3，对检测部机构30具有的两个夹具机构31、32进行详细说明。而且，因为第一夹具机构31和第二夹具机构32的构成相同，所以以下代表性地对第一夹具机构31的构成进行说明。另外，为了方便说明，在图3省略了检测台7及第二夹具机构32的图示。
第一夹具机构31具有底板51，固定框架52，第一移动框架53，第二移动框架54，进退部件55和旋转部件56。
底板51是配置在第一夹具机构31的下部，以平板状形成的部件。该底板51可以固定在上述的检测台7上面。
固定框架52是门状部件，并以直立的状态固定在底板51上面。固定框架52是由以一对配置的纵向部件61、61和配置为连接纵向部件61、61上端部的横向部件62所构成。在各个纵向部件61上固定有纵向导轨63。而且，在各个纵向部件61上设置有以电动马达和螺旋移送机构形成的纵向移送机构64。
第一移动框架53是矩形框架形状的部件，支撑在固定框架52上。具体地，在第一移动框架53上设置有纵向滑块65，该纵向滑块65可以沿着在所述固定框架52上设置的纵向导轨63移动。而且，在第一移动框架53连接有固定框架52上设置的纵向移送机构64、64。在此构成，通过驱动纵向移送机构64的电动马达，从而可以使第一移动框架53沿着纵向输送部分23a的柔性基板11的长度方向(Y方向)移动。
在第一移动框架53上固定有横向导轨66。而且，在第一移动框架53上设置有以电动马达和螺旋移送机构形成的横向移送机构67。
第二移动框架54是框形部件，支撑在第一移动框架53上。具体地，在第二移动框架54上设置有横向滑块68，该横向滑块68可以沿着所述第一移动框架53上设置的横向导轨66移动。而且，在第二移动框架54连接有第一移动框架53上设置的横向移送机构67。在此构成，通过驱动横向移送机构67的电动马达，从而可以使第二移动框架54沿着纵向输送部分23a的柔性基板11的宽度方向(X方向)移动。
在第二移动框架54上固定有进退滑块69。而且，在第二移动框架54上设置有以电动马达和螺旋移送机构形成的进退机构70。
进退部件55是块状部件，支撑在第二移动框架54上。具体地，在进退部件55上设置有进退导轨71，在所述第二移动框架54上设置的进退滑块69可以沿着进退导轨71移动。而且，在进退部件55连接有第二移动框架54上设置的进退机构70。在此构成，通过驱动进退机构70的电动马达，从而可以使进退部件55沿着纵向输送部分23a的柔性基板11的厚度方向(接近或远离柔性基板11的方向，Z方向)移动。
在进退部件55形成有圆形孔72，并且在其内部设置有没有图示的轴承。而且，在进退部件55上设置有以电动马达和螺旋移送机构形成的旋转机构71。
旋转部件56具有以圆筒状构成没有图示的轴部，和固定在该轴部的安装板74。轴部插入在进退部件55形成的圆形孔72，并可旋转地支撑在所述轴承上。在安装板74上可拆卸地固定上述的第一夹具33。
旋转部件56的轴部通过在进退部件55形成的孔插入臂部(arm)75连接在该进退部件55上设置的旋转机构73。在此构成，通过驱动旋转机构73的电动马达，从而可以旋转旋转部件56，使安装板74(进一步来讲，固定在该安装板74的第一夹具33)在与XY平面平行的面上旋转。
在上述构成的第一夹具机构31中，纵向移送机构64及横向移送机构67的组合相当于XY移动机构，进退机构70相当于Z移动机构，旋转机构73相当于姿势改变机构。而且，由这些XY移动机构、Z移动机构、姿势改变机构构成移动机构41。另外，在第一夹具机构31上设置有所述第一照相机91，通过解析由该第一照相机91拍摄柔性基板11所获取的图像(拍摄信息)，从而可以检出黏贴在柔性基板11上但没有图示的位置决定标记(基准标记(fiducialmark))的位置。在基板检测装置10中，没有图示的控制器(控制部)控制移动机构41，根据检出的基准标记位置适当地调整夹具33在XY平面上的位置及姿势，便将夹具33接触到柔性基板11的单位基板12。由此，相对于柔性基板11的单位基板12正确地对齐夹具33的位置而进行接触(探测)，从而可以顺利地实施电性检测。另外，以上虽然对第一夹具机构31进行了说明，但对于第二夹具机构32来讲也完全相同。
在此，第一夹具机构31及第二夹具机构32使第一夹具33及第二夹具34向水平方向移动，并接触在纵向输送部分23a上以上下方向输送的柔性基板11，以进行电性检测。柔性基板11在水平输送部分的导向辊5和导向辊5之间，因自重可能产生弯曲，但在纵向输送部分23a可以良好地保持柔性基板11的直线性。因此，根据本实施形态，即使不使用特定的夹紧机构或导向机构，也可以使夹具机构31、32的夹具33、34接触由自重平坦展开的柔性基板11，从而对柔性基板11以简化的构成可以提高夹具33、34的接触位置的精密度。因此，如本实施形态，从柔性基板11的厚度方向的一侧使第一夹具33，从另一侧使第二夹具34分别接触正确的位置，从而毫无问题地可以实现在正反两面输入输出电信号的检测。
另外，构成所述纵向移送机构64、横向移送机构67、进退机构70、旋转机构73的电动马达随着其驱动会发热，但因这种电动马达均配置在纵向输送部分23a的附近，从而以上下方向可容易地排除其热(另外，也可在收容室17内部，实际随着纵向输送部分23a的柔性基板11积极地引起上下方向的空气流动)。其结果，可以稳定夹具33、34接触柔性基板11部位周边的温度或湿度，从而检测环境的稳定性良好。
而且，夹具33、34是通过进退机构70的电动马达向水平方向移动，从而进行对柔性基板11的接触/远离。因此，夹具33、34的重量，或支撑其的第一移动框架53，第二移动框架54，进退部件55，旋转部件56的重量是由固定框架52(纵向移送机构64)承受，便可以进行夹具33、34在Z方向上的移送。因此，进退机构70的电动马达无需支撑大重量，从而可以实现电动马达的简化、小型化等。而且，通过这样抑制进退机构70电动马达的负载，其结果针对夹具33、34的接触/远离动作，能够做到电动马达的快速加速及停止，从而可以实现检测效率的提升。
如上所述，本实施形态的基板检测装置10进行柔性基板11的检测。该基板检测装置10具有输送路径23和检测部机构30。在输送路径23中，连续地输送由多个单位基板12排列配置的柔性基板11。检测部机构30可使用于检测在输送路径23上输送之柔性基板11的第一夹具33及第二夹具34接近/远离柔性基板11。输送路径23包含向垂直下方输送柔性基板11的纵向输送部分23a。检测部机构30是相对于在纵向输送部分23a输送的柔性基板11，向垂直于柔性基板11的方向移动第一夹具33及第二夹具34，由此使该第一夹具33及第二夹具34接近/远离柔性基板11。
在此构成中，第一夹具33及第二夹具34是接近/远离保持柔性基板11直线性的纵向输送部分23a。由此，无需考虑由自重产生的柔性基板11的弯曲，可以使第一夹具33及第二夹具34容易地接触柔性基板11上的正确位置而进行检测。因此，易于省略或简化用于夹紧或引导柔性基板11的机构，可以实现基板检测装置10的低成本化、轻量化。而且，例如，即使用于移动第一夹具33或第二夹具34的驱动机构发热，在柔性基板11的纵向输送部分23a以上下方向容易排除其热。因此，很难产生温度或湿度的不均匀，可以在更稳定的环境下检测柔性基板11。
而且，在本实施形态的基板检测装置10中，检测部机构30是具有作为检测部的夹具33、34，而该夹具33、34具有能与柔性基板11导通接触的多个探针。检测部机构30使该两个夹具33、34接触/远离柔性基板11。
由此，可以使用多个夹具33、34，从而可以有效地进行电性检测。
而且，在本实施形态的基板检测装置10中，夹具33、34是由在柔性基板11的厚度方向的一侧面能导通接触的第一夹具33，和在柔性基板11的厚度方向的另一侧面能导通接触的第二夹具34形成。基板检测装置10是用第一夹具33和第二夹具34在之间夹住柔性基板11的状态下，可以检测该柔性基板11。
由此，对保持柔性基板11直线性的纵向输送部分23a接触第一夹具33及第二夹具34，从而可以在柔性基板11的正反两面的正确位置分别同时接触两个夹具33、34进行电性检测。因此，可以在柔性基板11的两面一并进行检测，可以大幅提高检测的效率。
而且，在本实施形态的基板检测装置10中，检测部机构30具有XY移动机构(纵向移送机构64及横向移送机构67)、Z移动机构(进退机构70)、和姿势改变机构(旋转机构73)。XY移动机构可以使第一夹具33(第二夹具34)在平行于柔性基板11的面上移动。Z移动机构可以使第一夹具33(第二夹具34)向柔性基板11的厚度方向平行移动。姿势改变机构可以改变在平行于柔性基板11的面上的第一夹具33(第二夹具34)的倾斜度。
由此，可以使夹具33、34适当地对齐位置而接触/远离在柔性基板11上形成的单位基板，从而可以顺利地进行电性检测。
而且，在本实施形态的基板检测装置10中，检测部机构30具有拍摄柔性基板11的照相机91、92。检测部机构30是以照相机91、92拍摄柔性基板11的图像为基础，对柔性基板11对齐夹具33、34的位置。
由此，基于实际拍摄柔性基板11而获取的信息，可以对柔性基板11以高精密度对齐夹具33、34的位置。
而且，在本实施形态的基板检测装置10中，检测部机构30具有第一夹具33、第二夹具34、第一照相机91和第二照相机92。第一夹具33配置在纵向输送部分23a输送的柔性基板11的厚度方向的一侧。第二夹具34配置在柔性基板11的厚度方向的另一侧。第一照相机91配置在柔性基板11的厚度方向的一侧。第二照相机92配置在柔性基板11的厚度方向的另一侧。第一照相机91可以拍摄第二夹具34。第二照相机92可以拍摄第一夹具33。
由此，由第一及第二照相机91、92拍摄分别用于检测柔性基板11的厚度方向相反侧的第一及第二夹具33、34，因此可以获取有关其位置关系或表面状态等有用信息，并应用在维修等方面。
而且，在本实施形态的基板检测装置10具有操出部21，其可以设置用于连续供应柔性基板11的基板卷11a。
由此，从基板卷11a连续供应柔性基板11，可以对多个单位基板12连续地进行检测，因此可以提高检测效率。
接着，说明所述实施形态的变形例。图4是设置有静电吸附板80的变形例的正面图。而且，在变形例的说明中，对与上述的实施形态相同或类似的部件在附图中赋予相同的符号，并省略其说明。
在本变形例的基板检测装置10x中，如图4所示，在检测台7的上面配置有使纵向输送部分23a的柔性基板11位于其之间的一对静电吸附板(异物回收部)80、80。静电吸附板80是对柔性基板11相隔适当的间隔而配置。而且，静电吸附板80、80配置的高度比夹具33、34的高度低。
在该静电吸附板80上施加有高电压，因此能吸附回收例如当夹具33、34被驱动而接触/远离柔性基板11时所产生而落下的粒子等异物。由此，可以防止异物落下及粘附到柔性基板11所导致的柔性基板11的品质下降。
如上所述，在本变形例的基板检测装置10x中，能够回收异物的静电吸附板80设置在比夹具33、34的高度(或是，夹具33、34接触柔性基板11之部位的高度)低的位置上。
由此，夹具33、34的接触/远离等产生粒子等异物时，也可由静电吸附板80回收因自重落下的该异物。因此，可以防止异物的粘附所导致的柔性基板11的品质下降。
接着，结合图5，对第二实施形态的基板检测装置10y进行说明。该第二实施形态的基板检测装置10y是，对柔性基板11不是进行电性检测，而是进行光学检测。基板检测装置10y具有检测部机构30x，该检测部机构30x具有第一光学单元机构31x和第二光学单元机构32x，以替代所述第一实施形态中的夹具机构31、32。
第一光学单元机构31x是在上述的第一实施形态中将第一夹具机构31具有的第一夹具33以第一光学单元33x所取代的。同样地，第二光学单元机构32x是在上述的第一实施形态中将第二夹具机构32具有的第二夹具34以第二光学单元34x所取代的。因此，在本实施形态中，光学单元33x、34x相当于检测部。两个光学单元机构31x、32x具有与第一实施形态相同构成的移动机构41。
第一光学单元33x及第二光学单元34x是对柔性基板11进行光学检测。在本实施形态中，光学单元33x、34x具有用于检测的光学仪器。该光学仪器的具体例可以考虑2D照相机、3D照相机、用于照明的灯、激光照射器等，但并不受限于此。两个光学单元33x、34x分别可以测定在柔性基板11上设定的特定检测部位的形状(例如，在检测部位形成的凸状部分的宽度或高度)。
两个光学单元33x、34x是通过光学单元机构31x、32x具有的移动机构41，可以在平行于XY平面的面上移动，亦可以向Z方向移动，而且还可以改变在XY平面上的姿势。光学单元33x、34x通过所述Z方向的移动，接近/远离柔性基板11，由此，可以控制与柔性基板11之间的距离，以便与所述光学仪器适合测定的特定检测距离相等。
将柔性基板11置于中间，在第一光学单元33x的相对侧设置有非接触保持部81。而且，将柔性基板11置于中间，在第二光学单元34x的相对侧也设置有非接触保持部81。这种非接触保持部81、81是喷出压缩空气，例如利用伯努利原理可以非接触地保持柔性基板11。
如上所述，在本实施形态的基板检测装置10y中，检测部机构30x具有作为检测部的用于测定柔性基板11的检测部位的光学单元33x、34x。检测部机构30x使光学单元33x、34x接近/远离柔性基板11，由此保持该光学单元33x、34x和柔性基板11的检测距离。
由此，可以适当地控制光学单元33x、34x和柔性基板11的距离，因此可以顺利地进行光学检测。
接着，结合图6，对第二实施形态之变形例的柔性基板检测装置10z进行说明。在该柔性基板检测装置10z中，光学单元机构31x、32x所具有的移动机构41x具有使光学单元33x、34x向X方向及Z方向移动的移送机构。该移送机构与所述移动机构41一样，可以使用螺旋移送机构。而且，在本实施形态中，光学单元33x、34x不能向Y方向(垂直方向)移动。
光学单元33x、34x分别设置在检测台7上面设置的框形固定框架52x上。光学单元33x、34x是以相互不同的高度配置，由此可以防止例如一侧光学单元33x拍摄时所使用的照明对另一侧光学单元34x的拍摄所造成的影响。
将柔性基板11置于中间，在第一光学单元33x的相对侧设置有吸附导向件82。而且，将柔性基板11置于中间，在第二光学单元34x的相对侧也设置有吸附导向件82。该吸附导向件82、82是以宽平板形状形成，该平板上形成有连接于合适负压源但没有图示的吸入口。由此，通过检测部机构30x检测时，可以使柔性基板11吸附保持在吸附导向件82。
如上所述，在本变形例的柔性基板检测装置10z中，检测部机构30x具有作为检测部的用于测定柔性基板11的厚度方向的一侧面检测部位的第一光学单元33x，和用于测定柔性基板11的厚度方向的另一侧面检测部位的第二光学单元34x。第一光学单元33x和第二光学单元34x是以彼此不同的高度配置。
由此，可以对柔性基板11的正反两面一并进行检测，因此可以提高光学检测的效率。两个光学单元33x、34x是以不同的高度配置，因此可以实现对彼此的测定很难造成影响的布局。
而且，在本变形例的基板检测装置10z中，通过负压能够吸附柔性基板11的吸附导向件82、82配置在纵向输送部分23a。
由此，通过吸附导向件82可以使向垂直方向状态的柔性基板11保持不动，因此可由检测部机构30x顺利地进行检测。而且，通过切换对吸附导向件82的负压的供应/停止，可以容易地切换柔性基板11的保持/解放。
以上，对适合本发明的实施形态及变形例进行了说明，但所述构成，例如可以变更如下。
在所述实施形态的纵向输送部分23a中，柔性基板11是向垂直下方输送。然而，也可使柔性基板11向垂直上方输送。另外，根据检测工序，不只是向正方向输送柔性基板11，也可以一时向逆方向输送(复位输送)。此外，也可将操出部21及卷取部22配置在纵向输送部分23a的上下，由此可以实现实际上输送路径23只是以纵向输送部分23a构成的输送布局。
在柔性基板11上的单位基板12布局并不限定于在图3所示的布局，根据情况可任意变更。例如，将单位基板12以柔性基板11的宽度方向排列3个以上也可。
在所述实施形态中，夹具33、34构成为可以接触一个单位基板的电路图形的检测点。然而，也可以使夹具33、34构成为同时接触两个以上单位基板的电路图形的检测点。例如，在图3中单位基板12是以柔性基板11的宽度方向排列两个，而可以使夹具33、34构成为同时接触两个单位基板12、12的电路图形所具有的检测点。在此情况，一次可以检测两个单位基板，同时几乎没有必要将夹具33、34以柔性基板11的宽度方向(X方向)移动，因此可以大幅提高检测效率。而且，如上所述，夹具33、34可拆卸地安装在安装板74上，因此根据待检测的柔性基板11的规格，可将夹具33、34简易替换使用。
在图4所示的变形例中，取代静电吸附板80，或是除此以外，作为异物回收部可以设置用于接收因重力落下的异物的收容部件。并且，在本发明的基板检测装置上，根据需要可以使用“吸附导向件”或“非接触保持部”，除此之外，还可以使用在进行检测时能适当保持柔性基板的其他支撑部件。

Claims (10)

1.一种柔性基板检测装置，用于对柔性基板进行检测，所述柔性基板检测装置具有：
输送路径，用于连续地输送由多个单位基板排列配置的柔性基板；和
检测部机构，所述检测部机构具有第一检测部、第二检测部、第一拍摄部和第二拍摄部，所述检测部机构能使用于检测在所述输送路径上输送的所述柔性基板的第一检测部和第二检测部，接近/远离所述柔性基板，
其中，所述输送路径包含向垂直向上和垂直向下中的至少一个方向输送所述柔性基板的纵向输送部分，
所述检测部机构对于在所述纵向输送部分所输送的所述柔性基板，以垂直该柔性基板的方向移动所述第一检测部和第二检测部，从而使所述第一检测部和第二检测部接近/远离所述柔性基板，
其中，第一检测部配置在于所述纵向输送部分上所输送的所述柔性基板的厚度方向的一侧；
第二检测部配置在所述柔性基板的厚度方向的另一侧；
第一拍摄部配置在所述柔性基板的厚度方向的一侧；和
第二拍摄部配置在所述柔性基板的厚度方向的另一侧，
所述第一拍摄部能拍摄所述第二检测部，所述第二拍摄部能拍摄所述第一检测部。
2.根据权利要求1所述的柔性基板检测装置，其中，
所述检测部机构具有作为所述第一检测部和第二检测部的夹具，该夹具具有能与所述柔性基板导通接触的多个探针，
所述检测部机构使所述第一检测部和第二检测部接触/远离所述柔性基板。
3.根据权利要求2所述的柔性基板检测装置，其中，
所述夹具包含在所述柔性基板的厚度方向的一侧面能导通接触的第一夹具，和在所述柔性基板的厚度方向的另一侧面能导通接触的第二夹具，
在由所述第一夹具和所述第二夹具夹住所述柔性基板的状态下，能检测所述柔性基板。
4.根据权利要求2或3所述的柔性基板检测装置，其中，
所述检测部机构还具有：
第一移动机构，能使所述夹具在平行于所述柔性基板的面上移动；
第二移动机构，能使所述夹具向所述柔性基板的厚度方向平行移动；和
姿势改变机构，能改变在平行于所述柔性基板的面上的所述夹具的倾斜度。
5.根据权利要求1所述的柔性基板检测装置，其中，
所述检测部机构具有作为所述第一检测部和第二检测部的用于测定所述柔性基板的检测部位的光学单元，
所述检测部机构使所述第一检测部和第二检测部接近/远离所述柔性基板，由此保持所述第一检测部和所述柔性基板的检测距离以及第二检测部和所述柔性基板的检测距离。
6.根据权利要求5所述的柔性基板检测装置，其中，
所述检测部机构具有作为所述第一检测部的用于测定所述柔性基板的厚度方向的一侧面检测部位的第一光学单元，和作为所述第二检测部的用于测定所述柔性基板的厚度方向的另一侧面检测部位的第二光学单元，
其中，所述第一光学单元和所述第二光学单元是以相互不同的高度配置。
7.根据权利要求1至3、5、6中的任一项所述的柔性基板检测装置，其中，
第一拍摄部和第二拍摄部能拍摄所述柔性基板，
所述检测部机构以所述第一拍摄部和第二拍摄部拍摄所述柔性基板的拍摄信息为基础，对所述柔性基板对齐所述第一检测部和第二检测部的位置。
8.根据权利要求1至3、5、6中的任一项所述的柔性基板检测装置，其中，具有
供应部，用于设置连续供应所述柔性基板的基板卷。
9.根据权利要求1至3、5、6中的任一项所述的柔性基板检测装置，其中，
能回收异物的异物回收部设置在比所述第一检测部和第二检测部更低的位置上。
10.根据权利要求1至3、5、6中的任一项所述的柔性基板检测装置，其中，
由负压能吸附所述柔性基板的吸附导向件配置在所述纵向输送部分。
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