JP2004354981A - 画像パターン記録方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 供給装置20により基板10Aを供給する記録媒体供給工程、測定装置30により基板10Aを測定する第1測定工程と、載替装置40により基板を測定装置30から記録装置50に載せ替える載替工程と、記録装置50による基板10Aに対する第2測定工程、基準マーク位置取得工程、画像データ修正工程、および記録工程とをこの順に実行するとともに、記録装置50による上記基板10Aに対する第2測定工程、基準マーク位置取得工程、画像データ修正工程、および記録工程のうちのいずれかの工程、あるいは、それらのうちの複数の工程と平行して、上記先発の基板10Aにつづいて上記記録媒体供給工程により供給された後続の基板10Bに対する測定装置30による第1測定工程を実施する。
【選択図】 図1
Description
まず始めに、測定装置30がカメラ39を通して、基板中の2箇所の位置測定用マーク12、および基板10中の12箇所の画像記録用基準マーク11の位置を測定し、位置関係データを取得する。このときの測定時間は記録装置50による基板10への記録時間と同程度となる。
始めの記録媒体供給工程において、供給装置20は、多数の基板が積み重ねられている供給ストッカ21の最上部に位置する基板10Aを搬送アーム22の吸着部22Aで吸着し、位置決め部24のテーブル24F上に移送する。そして、位置決め部24が基板10Aの位置を上記所定の基板供給位置に位置決めする。その後、載替え部25により上記基板供給位置に位置決めされた基板10Aを測定装置30のXテーブル32に載せ替える。これにより、基板10Aが測定装置30に供給される。
なお、上記基板10Aに対する第1測定工程が開始されると、これと平行して、基板10Bに対する記録媒体供給工程が実施される。すなわち、供給装置20にり、供給ストッカ21の最上部に位置していた上記先発の基板10Aにつづく基板10Bを搬送アーム22の吸着部22Aで吸着し、位置決め部24のテーブル24F上に移送し、位置決め部24が基板10Bの位置を上記所定の基板供給位置に位置決めする。その後、基板10Aの測定装置30から記録装置50への載せ替えのために、載替装置40によって基板10Aが測定装置30から外されると、供給装置20の基板移送部25Cが基板10Bを位置決め部24から測定装置30に載せ替える。
上記基板10Bに対する第1測定工程が開始されると、これと平行して、基板10Cに対する記録媒体供給工程が実施される。すなわち、供給装置20により、供給ストッカ21の最上部に位置していた基板10Bにつづく後続の基板10Cを搬送アーム22の吸着部22Aで吸着し、位置決め部24のテーブル24F上に移送し、位置決め部24が基板10Cの位置を上記所定の基板供給位置に位置決めする。
20 供給装置
30 測定装置
40 載替装置
50 記録装置
60 回収装置
Claims (4)
- 記録媒体の位置を測定するための位置測定用マークと画像パターンが記録される際の該画像パターンの記録位置の基準となる画像記録用基準マークとが配された前記記録媒体に対して、前記画像パターンを記録する画像パターン記録方法において、
供給装置により、前記記録媒体を測定装置に供給する記録媒体供給工程、
前記測定装置により、該測定装置に供給された前記記録媒体における前記位置測定用マークの位置と画像記録用基準マークの位置との位置関係を示す位置関係データを取得する第1測定工程、
載替装置により、前記記録媒体を前記測定装置から記録装置に載せ替える載替工程、
前記記録装置により、該記録装置に載せ替えられた前記記録媒体における前記位置測定用マークの該記録装置に対する位置を示す位置データを取得する第2測定工程、
前記記録装置により、前記第1測定工程で取得した前記位置関係データと前記第2測定工程で取得した前記位置データに基づいて前記画像記録用基準マークの該記録装置に対する位置を取得する基準マーク位置取得工程、
前記記録装置により、前記基準マーク位置取得工程で取得された画像記録用基準マークの位置を基準にして前記画像パターンが前記記録媒体に記録されるように、該画像パターンを表す画像データを修正する画像データ修正工程、
前記記録装置により、前記修正が施された画像データを用いて、該画像データが示す画像パターンを前記記録媒体に記録する記録工程とをこの順に実行するとともに、
前記記録装置による前記記録媒体に対する前記第2測定工程、前記基準マーク位置取得工程、前記画像データ修正工程、および前記記録工程のうちのいずれかの工程、あるいは、それらのうちの複数の工程の実行と平行して、前記測定装置による、前記記録媒体につづいて前記記録媒体供給工程により該測定装置へ供給された後続の記録媒体に対する前記第1測定工程を実施することを特徴とする画像パターン記録方法。 - 前記測定装置と前記載替装置とを防振体で接続し、前記載替装置により前記記録媒体が前記測定装置から外されるときに前記防振体の作動を禁止して両装置間の互いの位置関係を固定し、前記測定装置により前記第1測定工程が実施されるときに前記防振体を作動させるとともに、前記載替装置と前記記録装置とを防振体で接続し、前記載替装置により前記記録媒体が前記記録装置に載置されるときに前記防振体の作動を禁止して両装置間の互いの位置関係を固定し、前記記録装置により前記第2測定工程あるいは前記記録工程が実施されるときに前記防振体を作動させることを特徴とする請求項1記載の画像パターン記録方法。
- 前記位置測定用マークが、前記画像記録用基準マークを兼用するものであることを特徴とする請求項1または2記載の画像パターン記録方法。
- 前記測定装置に供給された前記記録媒体を保持するテーブル、および前記記録装置に載せ替えられた前記記録媒体を保持するテーブルのそれぞれを一定温度にする制御を行う工程を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の画像パターン記録方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004129810A JP2004354981A (ja) | 2003-05-06 | 2004-04-26 | 画像パターン記録方法 |
US10/838,538 US20050002553A1 (en) | 2003-05-06 | 2004-05-05 | Image pattern recording method |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003127895 | 2003-05-06 | ||
JP2004129810A JP2004354981A (ja) | 2003-05-06 | 2004-04-26 | 画像パターン記録方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004354981A true JP2004354981A (ja) | 2004-12-16 |
Family
ID=33554361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004129810A Pending JP2004354981A (ja) | 2003-05-06 | 2004-04-26 | 画像パターン記録方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050002553A1 (ja) |
JP (1) | JP2004354981A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005005449A1 (de) | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Grünenthal GmbH | Verfahren zur Herstellung einer gegen Missbrauch gesicherten Darreichungsform |
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- 2004-04-26 JP JP2004129810A patent/JP2004354981A/ja active Pending
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Publication number | Publication date |
---|---|
US20050002553A1 (en) | 2005-01-06 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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