JP3449372B2 - Ｔａｂ用オートハンドラ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ＴＡＢ用オート
ハンドラについてのものである。ＴＡＢ用オートハンド
ラはＩＣテスタと接続してＴＡＢの電気的特性を測定
し、分類する。ＴＡＢには、例えばＬＣＤ（液晶ディス
プレイ）の駆動用ＩＣがある。

【０００２】

【従来の技術】ＴＡＢ用オートハンドラは、リールに巻
かれたＴＡＢを自動的に測定位置まで逐次搬送し、ＩＣ
テスタのテスト結果にもとづいて選別する装置である。
なお、リールに巻かれたＴＡＢ用ローラのテンション機
構は実願平２−４１３５６号明細書に記載されいる。ま
た、ＴＡＢと電極の精密位置決め機構は、実開昭６４−
３４５７６号公報、実開平１−１６３３３５号公報、実
願平２−１０６２５１号明細書などに記載されている。

【０００３】次に、従来技術によるＴＡＢ用オートハン
ドラの構成を図８により説明する。図８の１はＴＡＢ、
２Ａは供給リール、２Ｂは収容リール、４Ｃと４Ｄはプ
ーリ、５Ｃと５Ｄはテンションプーリ、６Ｃと６Ｄはガ
イド、７Ａと７Ｂはスプロケット、８はテープクラン
プ、９と１０はプッシャである。

【０００４】図８では、供給リール２Ａに巻かれたＴＡ
Ｂ１を収容リール２Ｂは巻き取る。プッシャ９の両翼に
はスプロケット７Ａ・７Ｂが配置され、スプロケット７
Ａとスプロケット７Ｂは同期回転してＴＡＢ１を走行さ
せる。プッシャ９の下面にはテープクランプ８が配置さ
れ、ＴＡＢ１はプッシャ９とテープクランプ８間を走行
する。プッシャ１０はプッシャ９を昇降させ、テープク
ランプ８とプッシャ９で保持されたＴＡＢ１をプッシャ
１０は降下させ、前記ＴＡＢ１をプローブカード１２に
接触させて試験する。

【０００５】図８のプローブカード１２はプッシャ９と
対向する形で装置に保持される。プローブカード１２と
アタッチメントユニット１３は機械的または電気的に分
離可能接続される。ＩＣテスタのテストヘッド１４は上
部にアタッチメントユニット１３を配置する。プローブ
カード１２とアタッチメントユニット１３間にはＴＡＢ
１を撮像する画像認識用のカメラ１７が配置される。

【０００６】図８では、ＴＡＢ１はスプロケット７Ａ・
７Ｂが同期して回転することによりＴＡＢのピッチ分送
られ、供給リール２Ａからテンションプーリ５Ｃ、スプ
ロケット７Ａ・７Ｂ、テンションプーリ５Ｄ、収容リー
ル２Ｂの順に移動する。

【０００７】プーリ４Ｃは供給リール２Ａとテンション
プーリ５Ｃ間に配置され、プーリ４Ｄは収容リール２Ｂ
とテンションプーリ５Ｄ間に配置される。プーリ４Ｃ・
４ＤＤは回転中心が固定され、円周面が転動してＴＡＢ
１を案内する。テンションプーリ５Ｃ・５Ｄは回転中心
が水平方向に自在に移動する。ガイド６Ｃはテンション
プーリ５Ｃとスプロケット７Ａ間に配置され、ガイド６
Ｄはテンションプーリ５Ｄとスプロケット７Ｂ間に配置
される。ガイド６Ｃ・６ＤはＴＡＢ１を介在させ、スプ
ロケット７Ａ・７Ｂと対向する形で配置されており、ガ
イド６Ｃ・６Ｄの上面は円弧状に形成され、ＴＡＢ１を
案内する。

【０００８】図８では、ＴＡＢ１の屈曲や波うちを防止
するためＴＡＢ１にある程度の張力をかける。すなわ
ち、テンションプーリ５Ｃは図８の左側に移動するする
力が付与されている。同様に、テンションプーリ５Ｄは
図８の右側に移動する力が付与されている。

【０００９】次に、テンションプーリ５Ｃ・５Ｄのテン
ション機構を図９により説明する。なお、図８のＴＡＢ
用オートハンドラは左右対称になっており、前述のテン
ション機構も構成は左右対称となっている。したがっ
て、図９ではテンションプーリ５Ｃの部分拡大図を例に
とって説明する。

【００１０】図９では、スプロケット７Ａにより送り出
されるＴＡＢ１の移動方向にプーリ５２Ｃを配置し、プ
ーリ案内５１Ｃで移動するテンションプーリ５Ｃの中心
軸にロープ５３Ｃの一端を連結する。ロープ５３Ｃはプ
ーリ５２Ｃに掛けられ、ロープ５３Ｃの他端に重り５４
Ｃを吊るしている。重り５４Ｃにかかる重力をロープ５
３Ｃとプーリ５２Ｃを仲介してテンションプーリ５Ｃに
伝えることにより、テンションプーリ５Ｃはプーリ案内
５１Ｃに沿い、左方に引かれる。図９では、テンション
プーリ５Ｃがどの位置にあっても重り５４Ｃの重力によ
りＴＡＢ１は一定の張力が与えられる。

【００１１】次に、図９のテンション機構を採用したテ
ンションプーリ５Ｃの動作を図１０から図１２により説
明する。図１０の５５Ｃはテンションプーリ５Ｃに取り
付けられた検出板、５６Ｃ〜５８Ｃはセンサである。図
１０では、テンションプーリ５Ｃが右方に移動すると、
検出板５５Ｃがセンサ５６Ｃで検出される。このとき、
供給リール２ＡはＴＡＢ１を送り出す方向にＴＡＢ１の
送り速度より速い速度で回転する。

【００１２】図１１は、図１０の状態からテンションプ
ーリ５Ｃが左方に移動している状態図である。図１０の
状態から供給リール２Ａが回転すると、テンションプー
リ５ＣはＴＡＢ１の送りに関係なく、左方向に移動す
る。

【００１３】図１２は、図１１の状態からテンションプ
ーリ５Ｃがさらに左方に移動した状態図である。図１１
の状態が続くと、テンションプーリ５Ｃは図１２の位置
にくる。図１２では、検出板５５Ｃはセンサ５７Ｃで検
出され、供給リール２ＡはＴＡＢ１の送りに関係なく停
止する。図１２の状態からＴＡＢ１を送り出すことによ
り、テンションプーリ５Ｃは図１０の状態になるまで右
方に移動する。

【００１４】図１０から図１２に示されるように、テン
ションプーリ５Ｃは左右に移動するが、ＴＡＢ１にかか
る張力は一定となる。なお、ＴＡＢ１が切れた場合はテ
ンションプーリ５Ｃは左方に移動し、検出板５５Ｃがセ
ンサ５８Ｃで検出される。センサ５８Ｃの検出で装置を
停止するので、ＴＡＢ１を保護できる。

【００１５】図１３は、図９のテンション機構を採用し
たテンションプーリ５Ｄの近傍の構成図である。図１３
では、テンションプーリ５Ｄが右方に移動すると、検出
板５５Ｄがセンサ５７Ｄで検出される。このとき、収容
リール２ＢはＴＡＢ１を卷き取る方向にＴＡＢ１の送り
速度より速い速度で回転を始める。図１３の状態から、
収容リール２Ｂが回転すると、テンションプーリ５Ｄは
ＴＡＢ１の送りに関係なく、左方向に移動する。テンシ
ョンプーリ５Ｄが移動して、検出板５５Ｄがセンサ５６
Ｄで検出されると、収容リール２ＢはＴＡＢ１の送りに
関係なく停止する。次に、ＴＡＢ１を送り出すことによ
り、テンションプーリ５Ｄは図１３の状態になるまで右
方に移動する。なお、ＴＡＢ１が切れた場合はテンショ
ンプーリ５Ｄは左方に移動し、検出板５５Ｄがセンサ５
８Ｄで検出される。センサ５８Ｄの検出で装置は停止す
る。

【００１６】図８に戻り、動作を説明する。スプロケッ
ト７Ａ・７Ｂで位置決めされたＴＡＢ１は、テープクラ
ンプ８とプッシャ９により固定される。次に、プッシャ
１０はテープクランプ８とプッシャ９を一体にしてＴＡ
Ｂ１を下降させ、ＴＡＢ１をプローブカード１２のプロ
ーブ１２Ａに接触させる。ＴＡＢ１がプローブ１２Ａに
接触した状態で、カメラ１７はＴＡＢ１の画像データを
取り込み、ＴＡＢ１の位置の補正量を算出する。画像デ
ータを取り込み後、ＴＡＢ１を一度上昇し、ＴＡＢ１の
位置を補正後、ＴＡＢ１を再下降する。次に、ＴＡＢ１
がプローブ１２Ａに接触した状態で、ＩＣテスタ側にオ
ートハンドラからテストスタート要求信号を送る。テス
トが終了するとプッシャ９・１０は上昇し、スプロケッ
ト７Ａ・７Ｂが回転して次のＴＡＢ１が送られる。

【００１７】図８では、スプロケット７Ａ・７Ｂが反時
計方向に同期して回転することにより、ＴＡＢ１は図８
の左側から右側に送られていく。図８では、ＴＡＢ１に
無理な力が加わらないようにしているので、プッシャ９
が降下前にはＴＡＢ１はたわんでいる。ＴＡＢ１のたわ
みをとって測定するため、図８では、スプロケット７Ｂ
の回転を停止し、スプロケット７Ａを時計方法に逆回転
する。

【００１８】前述のＴＡＢ測定時のたわみ取り機構は、
この出願人が実願平1-131293号で開示している。このた
わみ取り機構をオートハンドラに採用することにより、
ＴＡＢ１のテストパッドとプローブカード１２のプロー
ブ１２Ａは±60μｍの位置合わせ精度が確保される。Ｔ
ＡＢ１を±60μｍ以上の高精度でプローブ１２Ａと位置
合わせするためには、後述するアライメント機能が必要
となる。

【００１９】次に、ＴＡＢ１とプローブ１２Ａの位置決
め方法を説明する。図１４はＴＡＢ１を部分拡大したパ
ターン図であり、パターン図の一隅に位置決め用の基準
マーク１Ａがある。中央部にはＩＣチップ１Ｂが実装さ
れ、ＩＣチップ１Ｂの両側にはＩＣチップ１Ｂとパター
ンで接続するテストパッド１Ｃが配置される。ＴＡＢ１
は、図１４のパターン図が等間隔で連続して形成されて
おり、図１４のパターンの単位をデバイスと呼ぶことと
する。

【００２０】図１４に示されるＴＡＢ１は、装置が稼動
する前に予め位置決め調整される。この位置決め調整を
初期設定と呼称することとする。初期設定後、装置が稼
動するとＴＡＢ１は自動的に位置調整される。この自動
調整をアライメント機能と呼ぶこととする。

【００２１】次に、ＴＡＢ１の初期設定の手順を図１５
により説明する。図１５は図８の要部拡大断面図であ
る。図１５の７Ｃと７Ｄはそれぞれスプロケット７Ａ・
７Ｂに転動してＴＡＢ１を案内するローラである。ま
た、１７Ａはカメラ１７に接続される画像処理装置であ
り、１７Ｂはカメラ１７に接続され、カメラ１７の撮像
を表示するテレビモニタである。なお、図１５に示され
るそれぞれの可動部はボタンまたはスイッチの切り換え
により個別に操作できる。

【００２２】図１５では、テープクランプ８とプッシャ
９でＴＡＢ１を固定する。次に、プッシャ１０でＴＡＢ
１を下降し、ＴＡＢ１をプローブ１２Ａに接触させる。
次に、カメラ１７を移動してテストパッド１Ｃとプロー
ブ１２Ａとの接触状態をテレビモニタ１７Ｂで確認す
る。テレビモニタ１７Ｂで確認しながら、プローブ１２
Ａの接触端がテストパッド１Ｃの中央に位置するように
プローブカード１２を微小移動またはスプロケット７Ａ
・７Ｂを微少回転し、位置補正する。なお、ＴＡＢ１を
移動する場合は、プローブ１２Ａを損傷しないようＴＡ
Ｂ１を上昇させておく。

【００２３】テストパッド１Ｃとプローブ１２Ａの位置
合わせが完了すると、次に、カメラ１７で基準マーク１
Ａを撮像し、撮像データを基準撮像データとして装置に
記憶する。この基準撮像データがＴＡＢ１とプローブカ
ード１２が接触する位置の基準となり、初期設定が完了
する。

【００２４】次に、アライメント機能を実現する構成を
図１６と図１７により説明する。図１６はプッシャ９・
１０の拡大斜視図であり、図１７は図１６の断面図であ
る。図１６の９Ａと１０Ａはモータであり、図１７の１
６ＡはＸテーブル、１６ＢはＹテーブル、１６Ｘと１６
Ｙはモータである。

【００２５】図１６では、モータ７Ｅはスプロケット７
Ａを回転し、モータ７Ｆはスプロケット７Ｂを回転す
る。スプロケット７Ａはアーム７Ｇで保持され、アーム
７Ｇはブロック９Ｂの第１の側面に取り付けられる。ス
プロケット７Ｂはアーム７Ｈで保持され、アーム７Ｈは
ブロック９Ｂの第１の側面と反対側の第２の側面に取り
付けられる。

【００２６】図１７では、モータ９Ａはブロック９Ｂの
上面に取り付けられ、モータ９Ａの回転軸はボールねじ
９Ｄに連結し、ボールねじ９Ｄはプッシャ９に保持され
るボールナットと結合する。モータ９Ａが回転すると、
プッシャ９はガイド９Ｃに案内されて昇降する。

【００２７】モータ１０ＡはＸテーブル１６Ａの前段上
面に取り付けられ、モータ１０Ａの回転軸はボールねじ
１０Ｄに連結し、ボールねじ１０Ｄはブロック９Ｂに保
持されるボールナットと結合する。モータ１０Ａが回転
すると、ブロック９Ｂはガイド１０Ｃに案内されて昇降
する。すなわち、プッシャ１０は、スプロケット７Ａ・
７Ｂとテープクランプ８とプッシャ９を一体にして昇降
する。図１７ではモータ１０ＡでＴＡＢ１の昇降位置を
粗調整し、モータ９Ａでプッシャ９によるＴＡＢ１の昇
降位置を微調整している。

【００２８】次に、ＸＹステージ１６の構成を説明す
る。ＸＹステージ１６はＸテーブルとＹテーブルで構成
される。Ｘテーブル１６Ａの後段にはモータ１６Ｘが連
結される。モータ１６Ｘが回転すると、Ｘテーブル１６
ＡはＴＡＢ１の走行方向と平行に微小移動する。すなわ
ち、モータ１６ＸはＴＡＢ１とスプロケット７Ａ・７Ｂ
とプッシャ９・１０を一体にしてＸ方向に移動する。モ
ータ１６Ｘが取り付けられるＹテーブル１６Ｂの下段は
モータ１６Ｙが連結される。モータ１６Ｙが回転する
と、Ｙテーブル１６ＢはＴＡＢ１の走行方向と直交する
方向と平行に微小移動する。すなわち、モータ１６Ｙは
ＴＡＢ１をＹ方向に移動させる。

【００２９】次に、アライメント機能を説明する。装置
が稼動すると、カメラ１７は基準マーク１Ａを撮像し、
初期設定で記憶された基準撮像データと比較する。次
に、前記比較値から補正値を演算し、補正値分ＸＹステ
ージ１６を移動すると、ＴＡＢのテストパッド１Ｃとプ
ローブ１２Ａが位置合わせできる。このアライメント機
能を採用することにより、ＴＡＢ１とプローブカード１
２を±10μｍ以内の高精度で位置合わせできる。

【００３０】図１４におけるＴＡＢ１のテープ幅Ｗは、
例えば、35mm、48mm、70mmと複数種類ある。図８におけ
るＴＡＢ用オートハンドラでは、機械的にも電気的にも
複数種類のＴＡＢに対応できるようになっている。図８
では、スプロケット７Ａ・７Ｂとスプロケットガイド７
Ｃ・７Ｄとガイド６Ｃ・６Ｄおよびテープクランプ８は
テープ幅Ｗに対応して交換する。一方、プーリ４Ｃ・４
Ｄとテンションプーリ５Ｃ・５Ｄはテープ幅Ｗがかわっ
ても交換しないで共用できる。図１８はこのような共用
プーリであるプーリ４Ｃの一例を示している。図１８で
はテープ幅Ｗに対応して、ＴＡＢの案内面である回転軸
の外径に段差を設けてある。プーリ４Ｃ・４Ｄとテンシ
ョンプーリ５Ｃ・５Ｄは図１８に示されるような構造に
なっているのでテープ幅の変更時は交換の必要がない。

【００３１】図８の検出器群１９・２０は、ＴＡＢ１上
のＩＣチップ１Ｂの有無などの情報を読み取るためのも
のである。図８では、検出器群１９は３つの検出器で構
成され、スプロケット７Ａの前段に配置される。検出器
群２０は３つの検出器で構成され、パンチユニット１１
の後段に配置される。なお、検出器群１９と検出器群２
０は同様の構成である。

【００３２】図１９は検出器群２０の１検出器の構成図
である。検出体２０Ａはコの字状に形成され、検出体２
０Ａの先端部の第１の端部には投光器２０Ｂが取り付け
られ、第１の端部と反対面の第２の端部には投光器２０
Ｂの光出力を受光する受光器２Ｃが取り付けられる。

【００３３】図１９では、検出体２０Ａの溝にＴＡＢ１
が走行し、ＴＡＢを検出する。検出体２０Ａは移動体２
０Ｄに保持され、ＴＡＢ１の走行方向に対して横切る形
で前後進できる。移動体２０Ｄは検出体２０ＡをＴＡＢ
１の走行方向と平行に移動し保持できる。検出器群１９
・２０の検出器はすべて図１９に示された構成であり、
装置の稼動に先立ち、ＴＡＢの検出位置が調整される。

【００３４】図２０はＴＡＢ１上の検出器群２０の配置
図である。図２０では、検出器Ｋ１は検出光がテストパ
ッド１Ｃを遮光する位置に移動調整される。検出器Ｋ２
は検出光がＩＣチップ１Ｂを遮光する位置に移動調整さ
れる。検出器Ｋ３は検出光がパンチ穴１Ｄを遮光する位
置に移動調整される。

【００３５】図２０では、検出器Ｋ１は検出光の有無で
ＴＡＢ１がリーダテープか被測定ＴＡＢかを確認する。
検出器Ｋ２は検出光の有無でＩＣチップ１Ｂの有無を確
認し、ＴＡＢ１の測定の可否を判断する。検出器Ｋ３は
検出光の有無でパンチ穴１Ｄの有無を確認し、ＴＡＢ１
が測定分類済みかを判断する。図２０では、前述の機能
をはたしており、ＴＡＢのテープ幅Ｗも複数種類あるの
で、図１９の機構で検出器が位置調整される。なお、図
１９と図２０は特願平5-254806号明細書に記載の図５と
図６と技術的に同じものである。

【００３６】なお、図２０に示されるＴＡＢ上のパンチ
穴１ＤはＴＡＢの様々な検査工程の関係で、パンチ穴１
ＤがあけられたＴＡＢを再試験する場合や、試験終了後
に良品・不良品の識別穴としてパンチユニット１１でパ
ンチ穴１Ｄを設ける場合など様々である。さらに、パン
チユニット１１はパンチ穴をあける場合と不良品と判定
されたＴＡＢのＩＣチップ１Ｂを打ち抜く場合がある。

【００３７】図２１は前述に記載されたように様々なＴ
ＡＢの種類や打抜方法に対応したパンチユニット１１の
外観図である。図２１では駆動源１１Ａとフレーム１１
Ｂとベース１１Ｃを第１のユニットとし、パンチ１１Ｄ
とパンチガイド１１Ｅとパンチホルダ１１Ｆとパンチダ
イ１１Ｇを第２のユニットとしているので、第１のユニ
ットに第２のユニットを交換すれば前記の色々な対応が
可能となる。なお、図２１は実願平04-26012号明細書の
図３と同じものである。

【００３８】次に、図８の動作を図２２のフローチャー
トにより説明する。図２２のステップ２０１では、スプ
ロケット７Ａ・７Ｂは同期回転して１デバイス分ＴＡＢ
１を送る。ステップ２０２では、プッシャ９を下降し、
ＴＡＢ１をテープクランプ８に挟み固定する。ステップ
２０３では、プッシャ１０を下降し、ＴＡＢ１をプロー
ブカード１２との接触位置まで下降させる。このとき、
前述のたわみ取り機構によりＴＡＢ１は±60μｍの精度
で位置決めされる。

【００３９】ステップ２０４では、カメラ１７で基準マ
ーク１Ａを取り込み、ＸＹステージ１６の補正値を計算
する。ステップ２０５では、プッシャ１０を上昇する。
ステップ２０６では前記補正値にもとづきＸテーブル１
６Ａを微小移動する。ステップ２０７では前記補正値に
もとづきＹテーブル１６Ｂを微小移動する。

【００４０】ステップ２０８では、プッシャ１０を下降
し、ＴＡＢ１をプローブカード１２に接触させる。ステ
ップ２０９では、ＴＡＢ１を測定する。ステップ２１０
では、プッシャ１０を上昇し、ＴＡＢ１とプローブカー
ド１２との接触を解除する。ステップ２１１ではプッシ
ャ９を上昇し、ＴＡＢ１をテープクランプ８から解除す
る。ステップ２１２では、パンチユニット１１を駆動
し、検出器群２０でＴＡＢ１を読み込み、１インデック
スが終了する。

【００４１】図２３は、図２２のフローチャートをタイ
ムチャートで示したものである。図２３アでスプロケッ
ト７Ａ・７Ｂが同期回転終了すると、図２３イで、プッ
シャ９が下降する。プッシャ９が下降停止すると、図２
３ウで、プッシャ１０が下降する。プッシャ１０が下降
停止すると、図２３エで、ＴＡＢ１の画像を読み込み、
補正値を算出する。前記演算が完了すると、次に、図２
３ウでプッシャ１０が上昇完了すると、図２３オでＸテ
ーブル１６Ａが移動する。図２３オでＸテーブル１６Ａ
が移動完了すると、図２３カでＹテーブル１６Ｂが移動
する。

【００４２】図２３カでＹテーブル１６Ｂが移動完了す
ると、図２３ウでプッシャ１０が上昇する。プッシャ１
０が上昇完了すると、ＩＣテスタ側にオートハンドラか
らテストスタート要求信号を送る。図２３キで測定が終
了すると、図２３ウでプッシャ１０が上昇する。プッシ
ャ１０が上昇完了すると、図２３イでプッシャ９が上昇
する。プッシャ９が上昇完了する、図２３クでパンチユ
ニット１１が駆動し、検出器群２０でＴＡＢ１を確認す
る。図２３アでＴＡＢ１が確認されると、スプロケット
７Ａ・７Ｂが回転して次のＴＡＢ１が送るよう指令され
る。図２３アで、スプロケット７Ａ・７Ｂが駆動開始し
て次に駆動開始するまでの時間ＴINDEXがこの装置の１
インデックス時間となる。

【００４３】

【発明が解決しようとする課題】図２４はパンチユニッ
ト１１を中心とした部分構成図である。図２４アの状態
から、プッシャ９・１０がＴＡＢ１を下降させると、テ
ンションプーリ５Ｄは左方に移動して図２４イの状態に
なる。図２４イの状態では、パンチユニット１１、検出
器群２０の位置で、ＴＡＢ１は数ミリ移動している。図
２４アの状態では、パンチ穴の位置精度とデバイスの検
出が補償できない。したがって、従来技術では、測定終
了後にプッシャ９・１０を上昇させた状態でパンチユニ
ット１１を駆動または、検出器群２０でデバイスを検出
する。このため、図２３に示されるインデックス時間Ｔ
INDEXは約４ｓｅｃ程度要するという問題がある。ま
た、図２３に示されるように、Ｘテーブル１６ＡとＹテ
ーブル１６Ｂおよび、プッシャ９とプッシャ１０を個別
に駆動制御していることがインデックス時間が長くする
要因となっている。

【００４４】インデックス時間を短くするため、スプロ
ケット７Ａ・７Ｂの回転速度を速くすると、図１０に示
されるテンション機構では、供給リール２Ａの回転速度
をスプロケット７Ａ・７Ｂの送り速度より速くしなけれ
ばならない。しかし、テンションプーリ５Ｃの追従能力
にも限界があるので、ＴＡＢ１に衝撃を与えることにな
る。この事情は収容リール２Ｂ側も同様であり、インデ
ックス時間を短くするためのテンション機構が要求され
る。

【００４５】また、図８では、ＴＡＢ１のテープ幅変更
時には、スプロケット７Ａ・７Ｂ、スプロケットガイド
７Ｃ・７Ｄ、ガイド６Ｃ・６Ｄ、テープクランプ８を交
換する。テンションプーリ５Ｃ・５Ｄとプーリ４Ｃ・４
Ｄは図１８に示されるように交換は不要であるが、ＴＡ
Ｂ１の幅により走行高さが変わる。このため、図２４と
同様な事情で、パンチ穴の位置精度とデバイスの検出が
安定しないという問題がある。

【００４６】第１の発明は、ＴＡＢを測定中にＴＡＢに
パンチ穴をあける構成のＴＡＢ用オートハンドラを提供
することを目的とする。第２と第３の発明は第１の発明
において、インデック時間を短くする方法を提供する。
第４と第５の発明は第１の発明において、ＴＡＢに衝撃
力を与えない卷き取り機構を提供する。第６から第９の
発明は、第１の発明において、ＴＡＢのテープ幅の切換
容易な案内構造の提供を目的とする。

【００４７】

【課題を解決するための手段】これらの目的を達成する
ため、第１の発明は、供給リール２Ａに巻かれたＴＡＢ
１を収容リール２Ｂは巻き取り、スプロケット７Ａとス
プロケット７Ｂは同期回転してＴＡＢ１を走行し、スプ
ロケット７Ａとスプロケット７Ｂの間にテープクランプ
８とプッシャ９を配置し、テープクランプ８とプッシャ
９で保持されたＴＡＢ１をプッシャ１０は降下させ、前
記ＴＡＢ１をプローブカード１２に接触させて試験する
ＴＡＢ用オートハンドラにおいて、供給リール２Ａが送
り出すＴＡＢ１をプッシャ９側に走行するスプロケット
３Ａと、収容リール２Ｂ側にＴＡＢ１を走行するスプロ
ケット３Ｂと、スプロケット３Ａとスプロケット７Ａ間
に介在し、回転中心を固定するプーリ４Ａと、スプロケ
ット７Ｂとスプロケット３Ｂ間に介在し、回転中心を固
定するプーリ４Ｂと、プーリ４Ａとスプロケット７Ａ間
に配置し、ＴＡＢ１を上昇方向に押圧するテンションプ
ーリ６Ａと、スプロケット７Ｂとプーリ４Ｂ間に配置
し、ＴＡＢ１を上昇方向に押圧するテンションプーリ６
Ｂと、プーリ４Ａとテンションプーリ６Ａ間に配置し、
回転中心を固定し、ＴＡＢ１を案内するガイド５Ａと、
テンションプーリ６Ｂとプーリ４Ｂ間に配置し、回転中
心を固定し、ＴＡＢ１を案内するガイド５Ｂと、ガイド
５Ｂとプーリ４Ｂ間に配置し、試験結果によりＴＡＢ１
にパンチ穴をあけるパンチユニット１１とを備え、スプ
ロケット３Ｂの回転を保持し、ＴＡＢ１を測定中にパン
チ穴をあける。

【００４８】第２の発明は、スプロケット７Ａと、スプ
ロケット７Ｂと、テープクランプ８と、プッシャ９と、
プッシャ１０を一体にしてＸＹステージ１６上に配置
し、Ｘテーブル１６ＡはＸＹステージ１６上のＴＡＢ１
を走行方向に微小移動し、Ｙテーブル１６ＢはＸＹステ
ージ１６上のＴＡＢ１を走行方向と直交する方向に微小
移動し、画像処理用のカメラ１５でＴＡＢ１の基準マー
ク１Ａを参照し、ＸＹステージ１６に保持されたＴＡＢ
１の位置を補正するとき、Ｘテーブル１６ＡとＹテーブ
ル１６Ｂは同時に移動開始する。

【００４９】第３の発明は、プッシャ９とプッシャ１０
は同時に降下開始または同時に上昇開始する。

【００５０】第４の発明は、供給リール２Ａの下方外側
にスプロケット３Ａを配置し、傾斜ガイド２１は供給リ
ール２Ａから自重で垂下するＴＡＢ１を案内し、センサ
２３とセンサ２４は傾斜ガイド２１とスプロケット３Ａ
間で垂下するＴＡＢ１の有無を検出し、センサ２３とセ
ンサ２４がＴＡＢ１を検出しないときは供給リール２Ａ
はＴＡＢ１を送り出し、センサ２３とセンサ２４がＴＡ
Ｂ１を検出したときは供給リール２Ａは回転を停止す
る。

【００５１】第５の発明は、収容リール２Ｂの下方外側
にスプロケット３Ｂを配置し、傾斜ガイド２２は収容リ
ール２Ｂから自重で垂下するＴＡＢ１を案内し、センサ
２５とセンサ２６は傾斜ガイド２２とスプロケット３Ｂ
間で垂下するＴＡＢ１の有無を検出し、センサ２５とセ
ンサ２６がＴＡＢ１を検出しないときは収容リール２Ｂ
は回転を停止し、センサ２５とセンサ２６がＴＡＢ１を
検出したときは収容リール２ＢはＴＡＢ１を巻き取る。

【００５２】第６の発明は、スプロケット３Ａは段付き
スプロケット３１と段付きスプロケット３２と回転軸３
３で構成し、スプロケット３Ｂは段付きスプロケット３
４と段付きスプロケット３５と回転軸３６で構成し、回
転軸３３と回転軸３６に幅の違うＴＡＢに対応する複数
の溝Ｖを円周に形成し、段付きスプロケット３１と段付
きスプロケット３２と段付きスプロケット３４と段付き
スプロケット３５の段部に溝Ｖに入る球Ｂを設け、球Ｂ
を押圧する圧縮コイルばねＳを前記段部に内蔵し、幅の
違うＴＡＢに対応する。

【００５３】第７の発明は、プーリ４Ａは段付きプーリ
４１と段付きプーリ４２と回転軸４３で構成し、プーリ
４Ｂは段付きプーリ４４と段付きプーリ４５と回転軸４
６で構成し、回転軸４３と回転軸４６に幅の違うＴＡＢ
に対応する複数の溝Ｖを円周に形成し、段付きプーリ４
１と段付きプーリ４２と段付きプーリ４４と段付きプー
リ４５の段部に溝Ｖに入る球Ｂを設け、球Ｂを押圧する
圧縮コイルばねＳを前記段部に内蔵し、段付きプーリ４
１の段部と段付きプーリ４２の段部を対向して配置し、
段付きプーリ４４の段部と段付きプーリ４５の段部を対
向して配置し、前記段部で幅の違うＴＡＢを案内する。

【００５４】第８の発明は、ガイド５Ａは段付きガイド
５１と段付きガイド５２と回転軸５３で構成し、ガイド
５Ｂは段付きガイド５４と段付きガイド５５と回転軸５
６で構成し、回転軸５３と回転軸５６に幅の違うＴＡＢ
に対応する複数の溝Ｖを円周に形成し、段付きガイド５
１と段付きガイド５２と段付きガイド５４と段付きガイ
ド５５の段部に溝Ｖに入る球Ｂを設け、球Ｂを押圧する
圧縮コイルばねＳを前記段部に内蔵し、段付きガイド５
１の段部と段付きガイド５２の段部を対向して配置し、
段付きガイド５４の段部と段付きガイド５５の段部を対
向して配置し、前記段部で幅の違うＴＡＢを案内する。

【００５５】第９の発明は、テンションプーリ６Ａは段
付き円弧ブロック６１と段付き円弧ブロック６２と揺動
板６３で構成し、テンションプーリ６Ｂは段付き円弧ブ
ロック６４と段付き円弧ブロック６５と揺動板６６で構
成し、揺動板６３と揺動板６６に幅の違うＴＡＢに対応
する複数の穴Ｈをあけ、段付き円弧ブロック６１と段付
き円弧ブロック６２と段付き円弧ブロック６４と段付き
円弧ブロック６５の底面に穴Ｈに入るピンＰを突出し、
段付き円弧ブロック６１の円弧段部と段付き円弧ブロッ
ク６２の円弧段部を対向して配置し、段付き円弧ブロッ
ク６４の円弧段部と段付き円弧ブロック６５の円弧段部
を対向して配置し、前記円弧段部で幅の違うＴＡＢを案
内する。

【００５６】

【作用】第１の発明の構成によれば、ＴＡＢ１を同期回
転するスプロケット７Ａ・７Ｂの両翼には、回転中心を
固定するガイド５Ａ・５Ｂが配置される。ガイド５Ａ・
５Ｂの両翼にはＴＡＢ１の走行を平行にし、回転中心を
固定するプーリ４Ａ・４Ｂが配置される。プーリ４Ａ・
４Ｂの両翼にはＴＡＢ１をピッチ送りするスプロケット
３Ａ・３Ｂが配置される。プッシャ９・１０とスプロケ
ット７Ａ・７Ｂが一体になってＴＡＢ１を昇降すると
き、スプロケット３Ｂは回転を停止しているので、ＴＡ
Ｂ１がプッシャ９・１０側に走行しない。したがって、
プッシャ９・１０の動作にかからわらずパンチユニット
１１が駆動でき、パンチユニット１１の駆動後のＴＡＢ
１の状態も安定して検出できる。

【００５７】第２の発明では、ＴＡＢ１を走行方向に微
小移動補正するＸテーブル１６ＡとＴＡＢ１を走行方向
と直交する方向に微小移動補正するＹテーブル１６Ｂは
同時に移動開始するので、従来の制御方法よりインデッ
クス時間を短縮できる。

【００５８】第３の発明では、第１のプッシャ９と第２
のプッシャ１０は同時に降下開始または同時に上昇開始
するので、従来の制御方法よりインデックス時間を短縮
できる。

【００５９】第４の発明では、供給リール２Ａは常時余
裕をもってスプロケット３ＡにＴＡＢ１を供給するの
で、スプロケット７Ａ・７Ｂのインデックス送り速度を
速くできる。また、ＴＡＢは自重で落下するため、衝撃
力が加わることはない。

【００６０】第５の発明では、収容リール２Ｂは常時余
裕をもってスプロケット３Ｂから送られるＴＡＢ１を収
容するので、スプロケット７Ａ・７Ｂのインデックス送
り速度を速くできる。また、ＴＡＢは自重で落下するた
め、衝撃力が加わることはない。

【００６１】第６から第８の発明では、ＴＡＢ１のテー
プ幅に対応して回転軸の円周に複数の溝Ｖを形成し、駆
動輪または案内輪は回転軸上の保持位置を前記溝Ｖに押
圧すことにより規制され、相対向する駆動輪または案内
輪の位置を容易に変える。

【００６２】第９の発明では、揺動板には幅の違うＴＡ
Ｂに対応する複数の穴Ｈがあけられ、段付き円弧ブロッ
クに穴ＨにはいるピンＰを形成し、相対向する段付き円
弧ブロックの間隔を揺動板上で容易に変えられる。

【００６３】

【発明の実施の形態】次に、この発明によるＴＡＢ用オ
ートハンドラの構成を図１の実施例により説明する。図
１の３Ａと３Ｂはスプロケット、４Ａと４Ｂはプーリ、
５Ａと５Ｂはガイド、６Ａと６Ｂはテンションプーリ、
１５Ａと１５Ｂは画像処理用のカメラ、その他は図８と
同じものである。

【００６４】図１では、スプロケット３Ａは、供給リー
ル２Ａが送り出すＴＡＢ１をプッシャ９側に走行させ
る。スプロケット３Ｂは、収容リール２Ｂ側にＴＡＢ１
を走行させる。プーリ４Ａは回転中心を固定し、スプロ
ケット３Ａとスプロケット７Ａ間に介在して配置され
る。プーリ４Ｂは回転中心を固定し、スプロケット７Ｂ
とスプロケット３Ｂ間に介在して配置される。

【００６５】テンションプーリ６Ａは、プーリ４Ａとス
プロケット７Ａ間に配置され、ＴＡＢ１を上昇方向に押
圧する。テンションプーリ６Ｂは、スプロケット７Ｂと
プーリ４Ｂ間に配置され、ＴＡＢ１を上昇方向に押圧す
る。ガイド５Ａは回転中心を固定し、プーリ４Ａとテン
ションプーリ６Ａ間に配置され、ＴＡＢ１を案内する。
ガイド５Ｂは回転中心を固定し、テンションプーリ６Ｂ
とプーリ４Ｂ間に配置され、ＴＡＢ１を案内する。パン
チユニット１１はガイド５Ｂとプーリ４Ｂ間に配置され
る。

【００６６】図１の２１と２２は傾斜ガイドであり、２
３〜２６は光反射型のセンサである。図１では、供給リ
ール２Ａの下方外側にスプロケット３Ａが配置され、傾
斜ガイド２１は供給リール２Ａから自重で垂下するＴＡ
Ｂ１を案内する形で配置される。センサ２３とセンサ２
４は傾斜ガイド２１とスプロケット３Ａ間で垂下するＴ
ＡＢ１の有無を検出する。収容リール２Ｂの下方外側に
スプロケット３Ｂが配置され、傾斜ガイド２２は収容リ
ール２Ｂから自重で垂下するＴＡＢ１を案内する形で配
置される。センサ２５とセンサ２６は傾斜ガイド２２と
スプロケット３Ｂ間で垂下するＴＡＢ１の有無を検出す
る。

【００６７】カメラ１５Ａはプーリ４Ａとガイド５Ａ間
に配置され、カメラ１５Ｂはパンチユニット１１とプー
リ４Ｂ間に配置される。カメラ１５Ａとカメラ１５Ｂは
画像処理装置１５Ｃに接続する。カメラ１５Ａは測定前
のＴＡＢ１を撮像し、撮像データを画像処理装置１５Ｃ
に送出する。カメラ１５ＢはＴＡＢ１を撮像し、カメラ
１５Ａによる画像データと比較照合またはパンチユニッ
ト１１の打ち抜き指令と比較照合する。カメラ１５Ａ・
１５Ｂは図８の検出器群１９・２０を画像処理に置き換
えたものである。

【００６８】カメラ１５はテストヘッド１４の下方に配
置され、テストヘッド１４の中央中空穴を通して、ＴＡ
Ｂ１の画像を認識する。カメラ１５は画像処理装置１５
Ｃと接続され、ＴＡＢ１の接触位置を補正演算する。

【００６９】次に、図１のセンサ２３〜２６の作用を説
明する。センサ２３とセンサ２４がＴＡＢ１を検出しな
いときは供給リール２Ａは回転してＴＡＢ１を送り出
す。センサ２３とセンサ２４がＴＡＢ１を検出したとき
は、供給リール２Ａは回転を停止し、スプロケット３Ａ
は回転してＴＡＢ１を送る。センサ２５とセンサ２６が
ＴＡＢ１を検出しないときは、収容リール２Ｂは回転を
停止し、スプロケット３Ｂは回転してＴＡＢ１を送る。
センサ２５とセンサ２６がＴＡＢ１を検出したときは、
スプロケット３Ｂは回転を停止し、収容リール２ＢはＴ
ＡＢ１を巻き取る。このように、図１ではＴＡＢ１を常
時余裕をもって供給、収容する。

【００７０】次に、図１の動作を図２のフローチャート
により説明する。図２のステップ１０１では、スプロケ
ット７Ａ・７Ｂは同期回転するとともにスプロケット３
Ａ・３Ｂが回転して１デバイス分ＴＡＢ１を送る。ステ
ップ１０２では、プッシャ９・１０は同時に駆動し、Ｔ
ＡＢ１をテープクランプ８に挟み固定するとともにＴＡ
Ｂ１をプローブカード１２との接触位置まで下降させ
る。このとき、たわみ取り機構によりＴＡＢ１は±60μ
ｍの精度で位置決めされる。

【００７１】ステップ１０３では、カメラ１５で基準マ
ーク１Ａを取り込み、ＸＹステージ１６の補正値を計算
する。ステップ１０４では、プッシャ１０を上昇する。
ステップ１０５では前記補正値にもとづきＸテーブル１
６ＡとＹテーブル１６Ｂを同時に微小移動する。

【００７２】ステップ１０６では、プッシャ１０を下降
し、ＴＡＢ１をプローブカード１２に接触させる。ステ
ップ１０７では、ＩＣテスタにテストスタート要求信号
が送出され、ＴＡＢ１を測定する。同時にパンチユニッ
ト１１を駆動し、カメラ１５Ａ・１５ＢでＴＡＢ１の画
像を読み込み、画像データを比較する。

【００７３】ステップ１０７で測定が終了すると、ステ
ップ１０８ではプッシャ９・１０を同時に上昇開始し、
ＴＡＢ１とプローブカード１２との接触を解除するとと
もにＴＡＢ１をテープクランプ８から解除し、１インデ
ックスが終了する。

【００７４】図３は、図２のフローチャートをタイムチ
ャートで示したものである。図３アでスプロケット７Ａ
・７Ｂおよびスプロケット３Ａ・３ＢがＴＡＢ１を１イ
ンデック分走行終了すと、図３イ・ウでプッシャ９・１
０が同時に下降開始する。図３エで、ＴＡＢ１の画像を
読み込み、補正値を算出する。前記演算が完了すると、
次に、図３ウでプッシャ１０が上昇する。

【００７５】プッシャ１０が上昇完了すると、図３オ・
カで示されるようにＸテーブル１６ＡとＹテーブル１６
Ｂが同時に移動する。図３ウでプッシャ１０が下降完了
すると、図３キで測定が開始されると同時に、図３クで
パンチユニット１１が駆動し、カメラ１５Ａ・１５Ｂで
ＴＡＢ１を確認する。

【００７６】図３キで測定が終了すると、図３イ・ウで
プッシャ９・１０が同時に上昇開始する。プッシャ９・
１０が上昇完了すると、図３アで、次のＴＡＢ１が送る
よう指令される。図３では、プッシャ９・１０が同時に
駆動開始している。また、Ｘテーブル１６ＡとＹテーブ
ル１６Ｂも同時に駆動開始する。測定開始動作とパンチ
駆動動作と、ＴＡＢ１の画像読込みを並列して開始して
いるので、インデックスタイムＴINDEXが短縮する。

【００７７】次に、この発明によるＴＡＢのテープ幅の
切換容易な案内構造を説明する。図４アはスプロケット
３Ａの側面図、図４イはスプロケット３Ｂの側面図であ
る。図３では、スプロケット３Ａは段付きスプロケット
３１と段付きスプロケット３２と回転軸３３で構成され
る。同様にスプロケット３Ｂは段付きスプロケット３４
と段付きスプロケット３５と回転軸３６で構成される。
回転軸３３と回転軸３６には幅の違うＴＡＢに対応する
３の溝Ｖが円周に形成される。段付きスプロケット３１
と段付きスプロケット３２と段付きスプロケット３４と
段付きスプロケット３５の段部に溝Ｖに入る球Ｂを設
け、球Ｂを押圧する圧縮コイルばねＳを前記段部に内蔵
する。図４では、幅の違うＴＡＢに対応するため、相対
向する段付きスプロケットの間隔Ｗ1 を回転軸上で容易
に切り換えることができる。

【００７８】図５アはプーリ４Ａの側面図、図５イはプ
ーリ４Ｂの側面図である。図４では、プーリ４Ａは段付
きプーリ４１と段付きプーリ４２と回転軸４３で構成さ
れる。プーリ４Ｂは段付きプーリ４４と段付きプーリ４
５と回転軸４６で構成される。回転軸４３と回転軸４６
に幅の違うＴＡＢに対応する複数の溝Ｖを円周に形成す
る段付きプーリ４１と段付きプーリ４２と段付きプーリ
４４と段付きプーリ４５の段部に溝Ｖに入る球Ｂを設
け、球Ｂを押圧する圧縮コイルばねＳを前記段部に内蔵
する。図５では段付きプーリ４１の段部と段付きプーリ
４２の段部を対向して配置し、段付きプーリ４４の段部
と段付きプーリ４５の段部を対向して配置し、前記段部
で幅の違うＴＡＢを案内する。すなわち、図５の間隔Ｗ
2 は回転軸上で容易に切り換えることができる。

【００７９】図６アはガイド５Ａの側面図、図６イはガ
イド５Ｂの側面図である。図６では、ガイド５Ａは段付
きガイド５１と段付きガイド５２と回転軸５３で構成さ
れる。ガイド５Ｂは段付きガイド５４と段付きガイド５
５と回転軸５６で構成される。回転軸５３と回転軸５６
に幅の違うＴＡＢに対応する複数の溝Ｖを円周に形成す
る。段付きガイド５１と段付きガイド５２と段付きガイ
ド５４と段付きガイド５５の段部に溝Ｖに入る球Ｂを設
け、球Ｂを押圧する圧縮コイルばねＳを前記段部に内蔵
する。段付きガイド５１の段部と段付きガイド５２の段
部を対向して配置し、段付きガイド５４の段部と段付き
ガイド５５の段部を対向して配置し、ＴＡＢ１のテープ
幅をＷ3 を変えることにより、幅の違うＴＡＢを案内す
る。

【００８０】図７はテンションプーリ６Ｂの詳細図であ
る。テンションプーリ６Ａとテンションプーリ６Ｂは図
１において、線対称に配置されるので、図７ではテンシ
ョンプーリ６Ａの詳細図は省略する。なお、図７におい
て、括弧内の符号はテンションプーリ６Ａの構成品を示
している。

【００８１】図７アは正面図、図７イは側面図、図７ウ
は平面図である。図７では、テンションプーリ６Ｂは段
付き円弧ブロック６４と段付き円弧ブロック６５と揺動
板６６で構成される。揺動板６６には幅の違うＴＡＢに
対応する複数の穴Ｈがあけられる。円弧ブロック６４と
段付き円弧ブロック６５の底面には穴Ｈに入るピンＰが
突出する。段付き円弧ブロック６４の円弧段部と段付き
円弧ブロック６５の円弧段部を対向して配置し、ＴＡＢ
１の幅Ｗに対応して段付き円弧ブロック６４・６５間の
幅Ｗ4 を簡単に変えることができる。

【００８２】図７では、揺動板６６は回転軸心６６Ａを
中心に揺動する。回転軸心６６Ａの縁端にはワイヤーロ
ープ６７の一端が連結される。ワイヤーロープ６７はプ
ーリ６８に掛けられ、ワイヤーロープ６７の他端に重り
６９を吊るしている。重り６９にかかる重力でＴＡＢ１
は常に上昇方向に一定の力で押圧される。

【００８３】テンションプーリ６Ａは段付き円弧ブロッ
ク６１と段付き円弧ブロック６２と揺動板６３で構成さ
れる。揺動板６３には幅の違うＴＡＢに対応する複数の
穴Ｈがあけられる。円弧ブロック６１と段付き円弧ブロ
ック６２の底面には穴Ｈに入るピンＰが突出する。段付
き円弧ブロック６１の円弧段部と段付き円弧ブロック６
２の円弧段部を対向して配置し、ＴＡＢ１の幅Ｗに対応
して段付き円弧ブロック６１・６２間の幅Ｗ4 を簡単に
変えることができる。

【００８４】揺動板６３は回転軸心６３Ａを中心に揺動
する。回転軸心６３Ａの縁端にはワイヤーロープ６７の
一端が連結される。ワイヤーロープ６７はプーリ６８に
掛けられ、ワイヤーロープ６７の他端に重り６９を吊る
している。重り６９にかかる重力でＴＡＢ１は常に上昇
方向に一定の力で押圧される。

【００８５】

【発明の効果】第１の発明は、ＴＡＢを同期回転する第
１のスプロケットと第２のスプロケットの両翼に、回転
中心を固定する第１のガイドと第２のガイドを配置す
る。第１のガイドと第２のガイドの両翼にはＴＡＢの走
行を平行にし、回転中心を固定する第１のプーリと第２
のプーリを配置する。第１のプーリと第２のプーリの両
翼にはＴＡＢをピッチ送りする第３のスプロケットと第
４のスプロケットを配置する。第１のプッシャと第２の
プッシャと第１のスプロケットと第２のスプロケットス
プロケットが一体になってＴＡＢを昇降するとき、第４
のスプロケットは回転を停止しているので、ＴＡＢがプ
ッシャ側に走行しない。したがって、プッシャの動作に
かからわらずパンチユニットが駆動でき、パンチユニッ
トの駆動中にＴＡＢの状態も安定して検出できる。

【００８６】第２の発明は、ＴＡＢを走行方向に微小移
動補正するＸテーブルと、ＴＡＢを走行方向と直交する
方向に微小移動補正するＹテーブルを同時に移動開始す
るので、従来の制御方法よりインデックス時間を短縮で
きる。

【００８７】第３の発明は、ＴＡＢを昇降する第１のプ
ッシャと第２のプッシャは同時に降下開始または同時に
上昇開始するので、従来の制御方法よりインデックス時
間を短縮できる。

【００８８】第４の発明は、供給リールは常時余裕をも
って第３のスプロケットにＴＡＢを供給するので、第１
のスプロケットと第２のスプロケットのインデックス送
り速度を速くできる。また、ＴＡＢは自重で落下するた
め、衝撃力が加わることはない。

【００８９】第５の発明は、収容リールは常時余裕をも
って第４のスプロケットから送られるＴＡＢを収容する
ので、第１のスプロケットと第２のスプロケットのイン
デックス送り速度を速くできる。また、ＴＡＢは自重で
落下するため、衝撃力が加わることはない。

【００９０】第６から第８の発明では、ＴＡＢのテープ
幅に対応して回転軸の円周に複数の溝Ｖを形成し、駆動
輪または案内輪は回転軸上の保持位置を前記溝Ｖに押圧
すことにより規制され、相対向する駆動輪または案内輪
の位置を容易に変えることができる。

【００９１】第９の発明は、揺動板には幅の違うＴＡＢ
に対応する複数の穴があけられ、段付き円弧ブロックに
穴にはいるピンを形成し、相対向する段付き円弧ブロッ
クの間隔を揺動板上で容易変えられる。また、第１のテ
ンションプーリと第２のテンションプーリは定圧でＴＡ
Ｂを押し上げる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明によるＴＡＢ用オートハンドラの構
成図である。

【図２】 図１の動作を説明するフローチャートであ
る。

【図３】 図２のタイムチャートである。

【図４】 図１のスプロケット３Ａ・３Ｂの側面図であ
る。

【図５】 図１のプーリ４Ａ・４Ｂの側面図である。

【図６】 図１のガイド５Ａ・５Ｂの側面図である。

【図７】 テンションプーリ６Ｂの詳細図である。

【図８】 従来技術によるＴＡＢ用オートハンドラの構
成図である。

【図９】 図８のテンションプーリ５Ｃの部分拡大図で
ある。

【図１０】 図９の状態変化図である。

【図１１】 図１０の状態変化図である。

【図１２】 図１１の状態変化図である。

【図１３】 図９のテンションプーリ５Ｄの近傍の構成
図である。

【図１４】 ＴＡＢ１の部分拡大図である。

【図１５】 図８の要部拡大断面図である。

【図１６】 プッシャ９・１０の拡大斜視図である。

【図１７】 図１６の断面図である。

【図１８】 共用プーリであるプーリ４Ｃの一例を示し
た図である。

【図１９】 検出器群２０の１検出器の構成図である。

【図２０】 ＴＡＢ１上の検出器群２０の配置図であ
る。

【図２１】 パンチユニット１１の外観図である。

【図２２】 図８の動作を説明するフローチャートであ
る。

【図２３】 図２２のタイムチャートである。

【図２４】 パンチユニット１１を中心とした部分構成
図である。

【符号の説明】

１ ＴＡＢ １Ａ 基準マーク ２Ａ 供給リール ２Ｂ 収容リール ３Ａ スプロケット ３Ｂ スプロケット ４Ａ プーリ ４Ｂ プーリ ５Ａ ガイド ５Ｂ ガイド ６Ａ テンションプーリ ６Ｂ テンションプーリ ７Ａ プーリ ７Ｂ プーリ ８ テープクランプ ９ プッシャ １０ プッシャ １１ パンチユニット １２ プローブカード １３ アタッチメントユニット １４ テストヘッド １５ カメラ １６ ＸＹステージ １６Ａ Ｘテーブル １６Ｂ Ｙテーブル ２１ 傾斜ガイド ２２ 傾斜ガイド ２３ センサ ２４ センサ ２５ センサ ２６ センサ ３１ 段付きスプロケット ３２ 段付きスプロケット ３３ 回転軸 ３４ 段付きスプロケット ３５ 段付きスプロケット ３６ 回転軸 ４１ 段付きプーリ ４２ 段付きプーリ ４３ 回転軸 ４４ 段付きプーリ ４５ 段付きプーリ ４６ 回転軸 ５１ 段付きガイド ５２ 段付きガイド ５３ 回転軸 ５４ 段付きガイド ５５ 段付きガイド ５６ 回転軸 ６１ 段付き円弧ブロック ６２ 段付き円弧ブロック ６３ 揺動板 ６４ 段付き円弧ブロック ６５ 段付き円弧ブロック ６６ 揺動板 Ｂ 球 Ｈ 穴 Ｐ ピン Ｓ 圧縮コイルばね Ｖ 溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−282831（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−105541（ＪＰ，Ｕ) 実開 平５−77940（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭64−34576（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/26 G01R 31/28 - 31/3193 H01L 21/66

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 供給リール(2A)に巻かれたＴＡＢ(1) を
   収容リール(2B)は巻き取り、第１のスプロケット(7A)と
   第２のスプロケット(7B)は同期回転してＴＡＢ(1) を走
   行し、第１のスプロケット(7A)と第２のスプロケット(7
   B)の間にテープクランプ(8) と第１のプッシャ(9) を配
   置し、テープクランプ(8) と第１のプッシャ(9) で保持
   されたＴＡＢ(1) を第２のプッシャ(10)は降下させ、前
   記ＴＡＢ(1) をプローブカード(12)に接触させて試験す
   るＴＡＢ用オートハンドラにおいて、 供給リール(2A)が送り出すＴＡＢ(1) を第１のプッシャ
   (9) 側に走行する第３のスプロケット(3A)と、 収容リール(2B)側にＴＡＢ(1) を走行する第４のスプロ
   ケット(3B)と、第３のスプロケット(3A)と第１のスプロ
   ケット(7A)間に介在し、回転中心を固定する第１のプー
   リ(4A)と、 第２のスプロケット(7B)と第４のスプロケット(3B)間に
   介在し、回転中心を固定する第２のプーリ(4B)と、 第１のプーリ(4A)と第１のスプロケット(7A)間に配置
   し、ＴＡＢ(1) を上昇方向に押圧する第１のテンション
   プーリ(6A)と、 第２のスプロケット(7B)と第２のプーリ(4B)間に配置
   し、ＴＡＢ(1) を上昇方向に押圧する第２のテンション
   プーリ(6B)と、 第１のプーリ(4A)と第１のテンションプーリ(6A)間に配
   置し、回転中心を固定し、ＴＡＢ(1) を案内する第１の
   ガイド(5A)と、 第２のテンションプーリ(6B)と第２のプーリ(4B)間に配
   置し、回転中心を固定し、ＴＡＢ(1) を案内する第２の
   ガイド(5B)と、 第２のガイド(5B)と第２のプーリ(4B)間に配置し、試験
   結果によりＴＡＢ(1)にパンチ穴をあけるパンチユニッ
   ト(11)とを備え、 第４のスプロケット(3B)の回転が停止したＴＡＢ(1) の
   測定中にパンチ穴をあけると共に、 供給リール(2A)の下方外側に第３のスプロケット(3A)を
   配置し、 第１の傾斜ガイド(21)は供給リール(2A)から自重で垂下
   するＴＡＢ(1) を案内し、 第１のセンサ(23)と第２のセンサ(24)は第１の傾斜ガイ
   ド(21)と第３のスプロケット(3A)間で垂下するＴＡＢ
   (1) の有無を検出し、 第１のセンサ(23)と第２のセンサ(24)がＴＡＢ(1) を検
   出しないときは供給リール(2A)はＴＡＢ(1) を送り出
   し、 第１のセンサ(23)と第２のセンサ(24)がＴＡＢ(1) を検
   出したときは供給リール(2A)は回転を停止することを特
   徴とするＴＡＢ用オートハンドラ。
2. 【請求項２】 供給リール(2A)に巻かれたＴＡＢ(1) を
   収容リール(2B)は巻き取り、第１のスプロケット(7A)と
   第２のスプロケット(7B)は同期回転してＴＡＢ(1) を走
   行し、第１のスプロケット(7A)と第２のスプロケット(7
   B)の間にテープクランプ(8) と第１のプッシャ(9) を配
   置し、テープクランプ(8) と第１のプッシャ(9) で保持
   されたＴＡＢ(1) を第２のプッシャ(10)は降下させ、前
   記ＴＡＢ(1) をプローブカード(12)に接触させて試験す
   るＴＡＢ用オートハンドラにおいて、 供給リール(2A)が送り出すＴＡＢ(1) を第１のプッシャ
   (9) 側に走行する第３のスプロケット(3A)と、 収容リール(2B)側にＴＡＢ(1) を走行する第４のスプロ
   ケット(3B)と、 第３のスプロケット(3A)と第１のスプロケット(7A)間に
   介在し、回転中心を固定する第１のプーリ(4A)と、 第２のスプロケット(7B)と第４のスプロケット(3B)間に
   介在し、回転中心を固定する第２のプーリ(4B)と、 第１のプーリ(4A)と第１のスプロケット(7A)間に配置
   し、ＴＡＢ(1) を上昇方向に押圧する第１のテンション
   プーリ(6A)と、 第２のスプロケット(7B)と第２のプーリ(4B)間に配置
   し、ＴＡＢ(1) を上昇方向に押圧する第２のテンション
   プーリ(6B)と、 第１のプーリ(4A)と第１のテンションプーリ(6A)間に配
   置し、回転中心を固定し、ＴＡＢ(1) を案内する第１の
   ガイド(5A)と、 第２のテンションプーリ(6B)と第２のプーリ(4B)間に配
   置し、回転中心を固定し、ＴＡＢ(1) を案内する第２の
   ガイド(5B)と、 第２のガイド(5B)と第２のプーリ(4B)間に配置し、試験
   結果によりＴＡＢ(1)にパンチ穴をあけるパンチユニッ
   ト(11)とを備え、 第４のスプロケット(3B)の回転が停止したＴＡＢ(1) の
   測定中にパンチ穴をあけると共に、 収容リール(2B)の下方外側に第４のスプロケット(3B)を
   配置し、 第２の傾斜ガイド(22)は収容リール(2B)から自重で垂下
   するＴＡＢ(1) を案内し、 第３のセンサ(25)と第４のセンサ(26)は第２の傾斜ガイ
   ド(22)と第４のスプロケット(3B)間で垂下するＴＡＢ
   (1) の有無を検出し、 第３のセンサ(25)と第４のセンサ(26)がＴＡＢ(1) を検
   出しないときは収容リール(2B)は回転を停止し、 第３のセンサ(25)と第４のセンサ(26)がＴＡＢ(1) を検
   出したときは収容リール(2B)はＴＡＢ(1) を巻き取るＴ
   ＡＢ用オートハンドラ。
3. 【請求項３】 供給リール(2A)に巻かれたＴＡＢ(1) を
   収容リール(2B)は巻き取り、第１のスプロケット(7A)と
   第２のスプロケット(7B)は同期回転してＴＡＢ(1) を走
   行し、第１のスプロケット(7A)と第２のスプロケット(7
   B)の間にテープクランプ(8) と第１のプッシャ(9) を配
   置し、テープクランプ(8) と第１のプッシャ(9) で保持
   されたＴＡＢ(1) を第２のプッシャ(10)は降下させ、前
   記ＴＡＢ(1) をプローブカード(12)に接触させて試験す
   るＴＡＢ用オートハンドラにおいて、 供給リール(2A)が送り出すＴＡＢ(1) を第１のプッシャ
   (9) 側に走行する第３のスプロケット(3A)と、 収容リール(2B)側にＴＡＢ(1) を走行する第４のスプロ
   ケット(3B)と、 第３のスプロケット(3A)と第１のスプロケット(7A)間に
   介在し、回転中心を固定する第１のプーリ(4A)と、 第２のスプロケット(7B)と第４のスプロケット(3B)間に
   介在し、回転中心を固定する第２のプーリ(4B)と、 第１のプーリ(4A)と第１のスプロケット(7A)間に配置
   し、ＴＡＢ(1) を上昇方向に押圧する第１のテンション
   プーリ(6A)と、 第２のスプロケット(7B)と第２のプーリ(4B)間に配置
   し、ＴＡＢ(1) を上昇方向に押圧する第２のテンション
   プーリ(6B)と、 第１のプーリ(4A)と第１のテンションプーリ(6A)間に配
   置し、回転中心を固定し、ＴＡＢ(1) を案内する第１の
   ガイド(5A)と、 第２のテンションプーリ(6B)と第２のプーリ(4B)間に配
   置し、回転中心を固定し、ＴＡＢ(1) を案内する第２の
   ガイド(5B)と、 第２のガイド(5B)と第２のプーリ(4B)間に配置し、試験
   結果によりＴＡＢ(1)にパンチ穴をあけるパンチユニッ
   ト(11)とを備え、 第４のスプロケット(3B)の回転が停止したＴＡＢ(1) の
   測定中にパンチ穴をあけると共に、 第３のスプロケット(3A)は第１の段付きスプロケット(3
   1)と第２の段付きスプロケット(32)と第１の回転軸(33)
   で構成し、 第４のスプロケット(3B)は第３の段付きスプロケット(3
   4)と第４の段付きスプロケット(35)と第２の回転軸(36)
   で構成し、 第１の回転軸(33)と第２の回転軸(36)に幅の違うＴＡＢ
   に対応する複数の溝(V) を円周に形成し、 第１の段付きスプロケット(31)と第２の段付きスプロケ
   ット(32)と第３の段付きスプロケット(34)と第４の段付
   きスプロケット(35)の段部に溝(V) に入る球(B) を設
   け、 球(B) を押圧する圧縮コイルばね(S) を前記段部に内蔵
   し、幅の違うＴＡＢに対応することを特徴とするＴＡＢ
   用オートハンドラ。
4. 【請求項４】 供給リール(2A)に巻かれたＴＡＢ(1) を
   収容リール(2B)は巻き取り、第１のスプロケット(7A)と
   第２のスプロケット(7B)は同期回転してＴＡＢ(1) を走
   行し、第１のスプロケット(7A)と第２のスプロケット(7
   B)の間にテープクランプ(8) と第１のプッシャ(9) を配
   置し、テープクランプ(8) と第１のプッシャ(9) で保持
   されたＴＡＢ(1) を第２のプッシャ(10)は降下させ、前
   記ＴＡＢ(1) をプローブカード(12)に接触させて試験す
   るＴＡＢ用オートハンドラにおいて、 供給リール(2A)が送り出すＴＡＢ(1) を第１のプッシャ
   (9) 側に走行する第３のスプロケット(3A)と、 収容リール(2B)側にＴＡＢ(1) を走行する第４のスプロ
   ケット(3B)と、 第３のスプロケット(3A)と第１のスプロケット(7A)間に
   介在し、回転中心を固定する第１のプーリ(4A)と、 第２のスプロケット(7B)と第４のスプロケット(3B)間に
   介在し、回転中心を固定する第２のプーリ(4B)と、 第１のプーリ(4A)と第１のスプロケット(7A)間に配置
   し、ＴＡＢ(1) を上昇方向に押圧する第１のテンション
   プーリ(6A)と、 第２のスプロケット(7B)と第２のプーリ(4B)間に配置
   し、ＴＡＢ(1) を上昇方向に押圧する第２のテンション
   プーリ(6B)と、 第１のプーリ(4A)と第１のテンションプーリ(6A)間に配
   置し、回転中心を固定し、ＴＡＢ(1) を案内する第１の
   ガイド(5A)と、 第２のテンションプーリ(6B)と第２のプーリ(4B)間に配
   置し、回転中心を固定し、ＴＡＢ(1) を案内する第２の
   ガイド(5B)と、 第２のガイド(5B)と第２のプーリ(4B)間に配置し、試験
   結果によりＴＡＢ(1)にパンチ穴をあけるパンチユニッ
   ト(11)とを備え、 第４のスプロケット(3B)の回転が停止したＴＡＢ(1) の
   測定中にパンチ穴をあけると共に、 第１のプーリ(4A)は第１の段付きプーリ(41)と第２の段
   付きプーリ(42)と第３の回転軸(43)で構成し、 第２のプーリ(4B)は第３の段付きプーリ(44)と第４の段
   付きプーリ(45)と第４の回転軸(46)で構成し、 第３の回転軸(43)と第４の回転軸(46)に幅の違うＴＡＢ
   に対応する複数の溝(V) を円周に形成し、 第１の段付きプーリ(41)と第２の段付きプーリ(42)と第
   ３の段付きプーリ(44)と第４の段付きプーリ(45)の段部
   に溝(V) に入る球(B) を設け、 球(B) を押圧する圧縮コイルばね(S) を前記段部に内蔵
   し、 第１の段付きプーリ(41)の段部と第２の段付きプーリ(4
   2)の段部を対向して配置し、 第３の段付きプーリ(44)の段部と第４の段付きプーリ(4
   5)の段部を対向して配置し、 前記段部で幅の違うＴＡＢを案内することを特徴とする
   ＴＡＢ用オートハンドラ。
5. 【請求項５】 供給リール(2A)に巻かれたＴＡＢ(1) を
   収容リール(2B)は巻き取り、第１のスプロケット(7A)と
   第２のスプロケット(7B)は同期回転してＴＡＢ(1) を走
   行し、第１のスプロケット(7A)と第２のスプロケット(7
   B)の間にテープクランプ(8) と第１のプッシャ(9) を配
   置し、テープクランプ(8) と第１のプッシャ(9) で保持
   されたＴＡＢ(1) を第２のプッシャ(10)は降下させ、前
   記ＴＡＢ(1) をプローブカード(12)に接触させて試験す
   るＴＡＢ用オートハンドラにおいて、 供給リール(2A)が送り出すＴＡＢ(1) を第１のプッシャ
   (9) 側に走行する第３のスプロケット(3A)と、 収容リール(2B)側にＴＡＢ(1) を走行する第４のスプロ
   ケット(3B)と、 第３のスプロケット(3A)と第１のスプロケット(7A)間に
   介在し、回転中心を固定する第１のプーリ(4A)と、 第２のスプロケット(7B)と第４のスプロケット(3B)間に
   介在し、回転中心を固定する第２のプーリ(4B)と、 第１のプーリ(4A)と第１のスプロケット(7A)間に配置
   し、ＴＡＢ(1) を上昇方向に押圧する第１のテンション
   プーリ(6A)と、 第２のスプロケット(7B)と第２のプーリ(4B)間に配置
   し、ＴＡＢ(1) を上昇方向に押圧する第２のテンション
   プーリ(6B)と、 第１のプーリ(4A)と第１のテンションプーリ(6A)間に配
   置し、回転中心を固定し、ＴＡＢ(1) を案内する第１の
   ガイド(5A)と、 第２のテンションプーリ(6B)と第２のプーリ(4B)間に配
   置し、回転中心を固定し、ＴＡＢ(1) を案内する第２の
   ガイド(5B)と、 第２のガイド(5B)と第２のプーリ(4B)間に配置し、試験
   結果によりＴＡＢ(1)にパンチ穴をあけるパンチユニッ
   ト(11)とを備え、 第４のスプロケット(3B)の回転が停止したＴＡＢ(1) の
   測定中にパンチ穴をあけると共に、 第１のガイド(5A)は第１の段付きガイド(51)と第２の段
   付きガイド(52)と第５の回転軸(53)で構成し、 第２のガイド(5B)は第３の段付きガイド(54)と第４の段
   付きガイド(55)と第６の回転軸(56)で構成し、 第５の回転軸(53)と第６の回転軸(56)に幅の違うＴＡＢ
   に対応する複数の溝(V) を円周に形成し、 第１の段付きガイド(51)と第２の段付きガイド(52)と第
   ３の段付きガイド(54)と第４の段付きガイド(55)の段部
   に溝(V) に入る球(B) を設け、 球(B) を押圧する圧縮コイルばね(S) を前記段部に内蔵
   し、 第１の段付きガイド(51)の段部と第２の段付きガイド(5
   2)の段部を対向して配置し、 第３の段付きガイド(54)の段部と第４の段付きガイド(5
   5)の段部を対向して配置し、 前記段部で幅の違うＴＡＢを案内することを特徴とする
   ＴＡＢ用オートハンドラ。
6. 【請求項６】 供給リール(2A)に巻かれたＴＡＢ(1) を
   収容リール(2B)は巻き取り、第１のスプロケット(7A)と
   第２のスプロケット(7B)は同期回転してＴＡＢ(1) を走
   行し、第１のスプロケット(7A)と第２のスプロケット(7
   B)の間にテープクランプ(8) と第１のプッシャ(9) を配
   置し、テープクランプ(8) と第１のプッシャ(9) で保持
   されたＴＡＢ(1) を第２のプッシャ(10)は降下させ、前
   記ＴＡＢ(1) をプローブカード(12)に接触させて試験す
   るＴＡＢ用オートハンドラにおいて、 供給リール(2A)が送り出すＴＡＢ(1) を第１のプッシャ
   (9) 側に走行する第３のスプロケット(3A)と、 収容リール(2B)側にＴＡＢ(1) を走行する第４のスプロ
   ケット(3B)と、 第３のスプロケット(3A)と第１のスプロケット(7A)間に
   介在し、回転中心を固定する第１のプーリ(4A)と、 第２のスプロケット(7B)と第４のスプロケット(3B)間に
   介在し、回転中心を固定する第２のプーリ(4B)と、 第１のプーリ(4A)と第１のスプロケット(7A)間に配置
   し、ＴＡＢ(1) を上昇方向に押圧する第１のテンション
   プーリ(6A)と、 第２のスプロケット(7B)と第２のプーリ(4B)間に配置
   し、ＴＡＢ(1) を上昇方向に押圧する第２のテンション
   プーリ(6B)と、 第１のプーリ(4A)と第１のテンションプーリ(6A)間に配
   置し、回転中心を固定し、ＴＡＢ(1) を案内する第１の
   ガイド(5A)と、 第２のテンションプーリ(6B)と第２のプーリ(4B)間に配
   置し、回転中心を固定し、ＴＡＢ(1) を案内する第２の
   ガイド(5B)と、 第２のガイド(5B)と第２のプーリ(4B)間に配置し、試験
   結果によりＴＡＢ(1)にパンチ穴をあけるパンチユニッ
   ト(11)とを備え、 第４のスプロケット(3B)の回転が停止したＴＡＢ(1) の
   測定中にパンチ穴をあけると共に、 第１のテンションプーリ(6A)は第１の段付き円弧ブロッ
   ク(61)と第２の段付き円弧ブロック(62)と第１の揺動板
   (63)で構成し、 第２のテンションプーリ(6B)は第３の段付き円弧ブロッ
   ク(64)と第４の段付き円弧ブロック(65)と第２の揺動板
   (66)で構成し、 第１の揺動板(63)と第２の揺動板(66)に幅の違うＴＡＢ
   に対応する複数の穴(H) をあけ、 第１の段付き円弧ブロック(61)と第２の段付き円弧ブロ
   ック(62)と第３の段付き円弧ブロック(64)と第４の段付
   き円弧ブロック(65)の底面に穴(H) に入るピン(P) を突
   出し、 第１の段付き円弧ブロック(61)の円弧段部と第２の段付
   き円弧ブロック(62)の円弧段部を対向して配置し、 第３の段付き円弧ブロック(64)の円弧段部と第４の段付
   き円弧ブロック(65)の円弧段部を対向して配置し、 前記円弧段部で幅の違うＴＡＢを案内することを特徴と
   するＴＡＢ用オートハンドラ。